DE1160271B - Verfahren zum Aufloesen von Kupfer - Google Patents
Verfahren zum Aufloesen von KupferInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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- C23F1/14—Aqueous compositions
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-
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/067—Etchants
Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
F34913VIb/48d2
BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UND AUSGABE DER
Die vorliegende Erfindung betrifft; ein Verfahren zum schnellen Auflösen von Kupfer mittels leicht
verfügbarer Lösungen.
Die Auflösung von Kupfer wird in mehreren Wirtschaftszweigen praktiziert. Eine typische Anwendung
ist die Herstellung von z. B. gedruckten Schaltungen und Sieben nach einem Verfahren, bei dem eine
Kupferfolie selektiv gelöst wird und ein Netzwerk an ungelöstem Kupfer hinterläßt. Ein anderes typisches
Beispiel besteht in dem chemischen Ablösen geringer to Mengen Kupfer von den Oberflächen zerbrechlicher
oder besonders geformter Gegenstände, die einer mechanischen Bearbeitung nicht unterworfen werden
können. Eine weitere Anwendung besteht in der Herstellung von Druckplatten durch Hochdruckätzen.
Früher waren die am häufigsten zum Lösen von Kupfer angewandten Mittel die starken Mineralsäuren,
beispielsweise Salpeter- oder Schwefelsäure oder Eisen(III)-chloridlösungen u. dgl. In letzter Zeit
wurden wäßrige Lösungen von Dipersulfaten, die im allgemeinen Persulfate genannt werden, zum Lösen
von Kupfer entwickelt. Alle diese Mittel zeigen jedoch gewisse Nachteile. Beispielsweise neigen die starken
Säuren dazu, die zur Maskierung der Schablonen zur Herstellung von gedruckten Schaltungen, Sieben
u. dgl. angewandten Materialien anzugreifen, wodurch ein Auflösen des Kupfers auf schlecht definierte
Weise bewirkt wird. Ferner sind diese Säuren stark korrosiv und erfordern die Anwendung besonderer
Ausrüstungen. Außerdem erzeugen die Säuren schädliehe Dämpfe. Schließlich ist die Entfernung von gelöstem
Kupfer aus den Säurelösungen schwierig, so daß die Aufarbeitung der verbrauchten Säurelösung
ein Problem darstellt.
Eisen(III)-chloridlösungen sind wie die Säuren ziemlich korrosiv und erfordern die Anwendung einer
besonderen Ausrüstung. Ferner entwickeln diese Lösungen schädliche Dämpfe. Sie müssen bei hohen
Eisen(III)-chloridkonzentratibnen angewandt werden, so daß sich feste Reaktionsprodukte bilden, wenn der
Lösung gelöstes Kupfer zugeführt wird. Dies stört ein sauberes Auflösen des Kupfers. Auch hier ist die Aufarbeitung
der verbrauchten Lösung ein ernstes Problem, und die Kupferisolierung aus Eisen(III)-chloridlösungen
ist nicht durchführbar.
Wäßrige Lösungen von Dipersulfaten weisen die Nachteile der Säuren und Eisenchloridlösungen nicht
auf. Sie sind nur mäßig sauer, erzeugen keine schädlichen Dämpfe und greifen die Maskierungsmaterialien
nicht an. Auch bilden sie nur lösliche Reaktionsprodukte, und man kann anschließend gelöstes Kupfer
leicht aus ihnen entfernen. Um jedoch mit den Diper-Verfahren zum Auflösen von Kupfer
Anmelder:
FMC Corporation,
New York, N. Y. (V. St. A.)
Vertreter: Dr. F. Zumstein,
Dipl.-Chem. Dr. rer. nat. E. Assmann
und Dipl.-Chem. Dr. R. Koenigsberger,
Patentanwälte, München 2, Bräuhausstr. 4
Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 12. September 1960 (Nr. 55 175)
V. St. v. Amerika vom 12. September 1960 (Nr. 55 175)
Paul Henry Margulies t, Princeton, N. J.,
und William Joseph Tillis, Levittown, N. J.
und William Joseph Tillis, Levittown, N. J.
(V. St. A.),
sind als Erfinder genannt worden
sind als Erfinder genannt worden
sulfaten Lösungsgeschwindigkeiten zu erreichen, die mit denen konkurrenzfähig sind, die mit früheren
Ätzmitteln erreicht wurden, hat es sich als notwendig erwiesen, das System entweder durch Anwendung
eines Katalysators, Anwendung von Wärme oder Anwendung eines katalytischen elektrischen Potentials
zu aktivieren.
Das erste dieser Aktivierungssysteme, nämlich die Anwendung eines Katalysators zur Lösung, wird in
der Patentanmeldung F 24228 IVa/12 η beschrieben. Die Zugabe eines Katalysators, wie Quecksilber, zu
der Dipersulfatlösung erhöht die Geschwindigkeit der Auflösung von Kupfer in der Lösung beträchtlich.
Dieses Verfahren ist sehr wertvoll. Jedoch ist die Anwesenheit einer zweiten Substanz in der Lösung erforderlich,
nämlich des Katalysators, der nach dem Ätzen an der Oberfläche der Kupferplatte haftet und
das anschließende Drucken oder andere Verfahren stört. Ferner kann der Katalysator in manchen Fällen
eine Gefahr für die Gesundheit darstellen.
Das zweite erwähnte Verfahren, das noch nicht zum Stande der Technik gehört, besteht darin, daß
die Auflösung mit wäßrigen Dipersulfatlösungen bei erhöhten Temperaturen erfolgt gemäß Patentanmeldung
F 27772 VI/48 d. Die Anwendung erhöhter
309 770/443
3 4
Temperaturen erhöht die Lösungsgeschwindigkeit . Lösung aktiven Sauerstoff verlieren, wegen der Zerwesentlich,
ohne daß übermäßig große Mengen Per- setzung des Monopersulfats. Bei Temperaturen, die
sulfat zersetzt werden. Diese Methode ist ebenfalls wesentlich unter etwa 20° C sind, verläuft die Reakwertvoll.
Eine weitgehende Anwendung wird jedoch tion sehr langsam.
dadurch verhindert, daß die im allgemeinen ange- 5 Bei der Durchführung des Verfahrens nach der Erwandten
Vorrichtungen zum Ätzen von Kupfer nicht findung wird Kupfer in Form von Folien, eines
zum Betrieb bei erhöhten Temperaturen bestimmt Blocks, Platten u. dgl. bis zu etwa 90 bis 100% der
sind. stöchiometrischen Menge des angewandten Monoper-
Das dritte erwähnte Verfahren besteht in der An- sulfats gelöst. Die Anwesenheit von Verunreinigungen
Wendung eines katalytischen elektrischen Potentials io führt leicht dazu, das Monopersulfat zu zersetzen, so
für das Kupfer, das in der wäßrigen Persulfatlösung daß die Wirksamkeit der Lösung verringert wird. Die
anwesend ist, um die Geschwindigkeit der Auflösung Lösung muß daher von das Monopersulfat zersetzen-
zu erhöhen. Dieses Verfahren ist höchst wertvoll, den Stoffen frei gehalten werden,
jedoch muß dafür eine besondere elektrische Vorrich- Das Kupfermetall kann mit der wäßrigen Mono-
tung verwendet werden. 15 persulfatlösung nach irgendeinem der üblichen Ver-
Demzufolge war es wünschenswert, ein Verfahren fahren behandelt werden, wie Eintauchen des Metalls
und eine Lösung zum Auflösen von Kupfer zu in die Lösung, Spritzen der Monopersulfatlösung auf
schaffen, welche die wünschenswerten Eigenschaften das Metall und Sprühen der Lösung auf das Metall,
des Verfahrens und der Lösung unter Anwendung Wichtig ist nur, daß die Lösung die angegebene Menge
von Dipersulfaten zeigen, beispielsweise deren milde 20 Persulfat enthält.
Acidität, das Nichtauftreten schädlicher Dämpfe und Mit dem Verfahren nach der Erfindung wird eine
ihre leichte Aufarbeitbarkeit, wobei jedoch die zahl- Auflösegeschwindigkeit des Kupfers erzielt, die mit
reichen mit Dipersulfaten auftretenden Nachteile ver- derjenigen vergleichbar ist, die mit Quecksüberionen
mieden werden. katalysierten oder mit einem elektrischen Potential
Gemäß der Erfindung wird Kupfer gelöst, indem 25 aktivierten Dipersulfatlösungen, und ebenso mit den
das Kupfer mit wäßrigen Lösungen des Ammonium- bekannten Eisen(III)-chloridlösungen erreicht wird,
salzes der Monoperschwefelsäure kontaktiert wird,
die etwa 10 bis 60 Gewichtsprozent, vorzugsweise Beispiel 1
etwa 15 bis 40 Gewichtsprozent Monopersulfat enthalten, wobei bei den normalen Temperaturen zum 30 Kupferplatten mit den Abmessungen 5,08 X 2,54 X Auflösen von Kupfer von etwa 20 bis 45° C gearbei- 0,635 cm wurden in eine 17,2 Gewichtsprozent tet wird. Ainmoniummonopersulfat enthaltende Lösung ein-
etwa 15 bis 40 Gewichtsprozent Monopersulfat enthalten, wobei bei den normalen Temperaturen zum 30 Kupferplatten mit den Abmessungen 5,08 X 2,54 X Auflösen von Kupfer von etwa 20 bis 45° C gearbei- 0,635 cm wurden in eine 17,2 Gewichtsprozent tet wird. Ainmoniummonopersulfat enthaltende Lösung ein-
DieAuflösegeschwindigkeit für Kupfer ist fast zwei- getaucht. Die Platten wurden mit 250 Umdrehungen
mal so groß wie mit einer wäßrigen Lösung eines pro Minute rotiert. Die Temperatur der Lösung
nicht katalysierten Ammoniumdipersulfats, das eine 35 wurde auf etwa 38 bis 40° C gehalten. Die Platten
gleiche Menge an aktiven Sauerstoff enthält. Die wurden in der Lösung während einer Gesamtzeit von
Monopersulfatlösung ist hinsichtlich der Geschwindig- 22 Minuten behandelt, geteilt in drei Behandlungen
keit gegenüber Dipersulfaten auch bei erhöhten von jeweils 2 Minuten und vier Behandlungen von
Temperaturen vorteilhaft, und das erfindungsgemäße jeweils 4 Minuten. Nach jeder jeweiligen Behand-
Verfahren kann wirksam bei jeder Temperatur in 40 lungsstufe wurden die Platten mit Wasser gespült,
dem Bereich von 20 bis 80° C durchgeführt werden. getrocknet und gewogen. Die durchschnittliche Auf-
Mit der Monopersulfatlösung wird das Kupfer mit lösegeschwindigkeit des Kupfers ist aus der Tabelle
etwa derselben Geschwindigkeit wie mit einer ent- ersichtlich.
sprechenden quecksilberkatalysierten Lösung von Bezugsbeispiel A
Ammoniumdipersulfat gelöst. Diese Fähigkeit von 45 BF
Ammoniummonopersulfat, Kupfer schnell in Ab- Der Versuch nach Beispiel 1 wurde mit einer
Wesenheit von Aktivierungsmitteln und bei Zimmer- 25%igen Ammoniumdipersulfatlösung durchgeführt,
temperaturen zu lösen, ist völlig überraschend in Hin- deren Gehalt an aktivem Sauerstoff mit der 17,2°/oigen
sieht auf die Tatsache, daß Kaliummonopersulfat und Lösung des Ammoniummonopersulfats nach Bei-
Monoperschwefelsäure bezüglich der Lösung von 50 spiel 1 äquivalent ist. Die Auflösegeschwindigkeit ist
Kupfer ziemlich unwirksam sind. Es wäre zu erwarten aus der Tabelle ersichtlich,
gewesen, daß die verschiedenen Monopersulf ate gleich _ , . . , _
wirksam sind. Bezugsbeispiel B
Das Monopersulfat ist ein Salz der Monoper- Der Versuch nach Bezugsbeispiel A wurde unter
schwefelsäure, die auch unter dem Namen »Carosche 55 Zusatz von 50 Gewichtsteilen Quecksilber(II)-chlorid
Säure« bekannt ist. Das Salz wird normalerweise her- pro Million Teile der Ammoniumdipersulfatlösung
gestellt durch Neutralisieren der Säure mit Ammo- durchgeführt. Die Auflösegeschwindigkeit des Kupfers
niunihydroxyd oder durch Einwirkung von Wasser- in der durch Quecksilber(II)-chlorid katalysierten
stoffperoxyd auf Ammoniumdipersulfat. Das Salz be- Ammoniumdipersulfatlösung ist in der Tabelle ansitzt
einen großen Löslichkeitsgrad in Wasser, und es 60 gegeben.
ist demzufolge nicht schwierig, die gewünschte Menge Bezuesbeispiel C
Monopersulfat in Lösung zu bringen. In gleicher .
Weise verhindert seine große Löslichkeit die Ablage- a) Beispiel 1 wurde mit Kaliummonopersulfat an
rung von Monopersulfat, wenn gelöstes Kupfer in die Stelle von Ammoniummonopersulfat durchgeführt.
Lösung kommt. 65 Die Auflösegeschwindigkeit ist in der Tabelle an-
Das Verfahren der vorliegenden Erfindung arbeitet gegeben.
bei jeder Temperatur in dem Bereich von etwa 20 bis b) In einem anderen Versuch mit Kaliummonoper-
80° C. Mit Temperaturen über etwa 80° C kann die sulfat wurden pro 1 Million Teile der Lösung 5 Teile
Quecksilberionen als QuecksilberCirj-chlorid zugegeben.
Die Ergebnisse sind in der Tabelle angegeben.
Bezugsbeispiel D
Eine 19 Gewichtsprozent Monoperschwefelsäure enthaltende Lösung wurde bei dem Versuch nach
Beispiel 1 an Stelle von Ammoniummonopersulfat angewandt. Die Auflösegeschwindigkeit des Kupfers in
der Lösung ist in der Tabelle angegeben.
IO
Lösung
von
Beispiel
Beispiel
C,a)
Qb)
Qb)
*) Eine
Ammoniummonopersulfat Ammoniumdipersulf at ...
Ammoniumdipersulfat + HgCl2
Kaliummonopersulfat ....
Kaliummonopersulfat
+ HgCl2
+ HgCl2
Monoperschwefelsäure ... Flächeneinheit = 6,452 cm2.
Auflösegeschwindigkeit (mg/Flächeneinheit *)/Min.)
50,4 31,7
54,0 16,4
12,6 2,9
Gemäß dem Verfahren nach der Erfindung wurde eine mit einem Phenolharz imprägnierte Faserplatte
für eine gedruckte Schaltung geätzt, an deren Oberfläche eine 0,0071 cm dicke Folie adhäsiv aufgeschichtet
war. Die Kupferfolie hatte eine elektrische Schaltungsschablone, die an der Oberfläche mit einem
Mittel maskiert war, das gegenüber wäßriger Persulfatlösung inert war, wobei in diesem Fall durch
das Siebdruckverfahren ein Überzug aus Druckerschwärze vorgesehen wurde. Diese Platte wurde in
ein 11,5-1-Paddelätzgerät gegeben. Eine wäßrige
25°/oige Lösung von Ammomummonopersulfat, die
sich in einer Menge von 11,51 in dem Paddelätzgerät befand und bei etwa 40° C gehalten wurde, wurde
auf die teilweise maskierte Kupferoberfläche der Platte gespritzt.
Nach etwa 3 Minuten hatte sich das Kupfer an den nicht maskierten Stellen völlig von der Tafel gelöst,
und die Tafel wurde aus dem Paddelätzgerät entfernt und mit Wasser gewaschen.
Anschließend wurde die Maskierungstusche von der verbleibenden Kupferfolie mit Aceton entfernt.
Die erhaltene Tafel hatte eine fest bestimmte elektrische Schaltung in Form der verbleibenden Kupferfolie,
und die Fasertafel war in keiner Weise beschädigt worden.
Claims (4)
1. Verfahren zum Auflösen von Kupfer, da durch gekennzeichnet, daß das Kupfer mit einer
10 bis 60 Gewichtsprozent Ammoniummonopersulfat enthaltenden wäßrigen Lösung bei einer
Temperatur von etwa 20 bis 80° C behandelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine wäßrige Lösung mit einem
Gehalt an 15 bis 40 Gewichtsprozent Ammoniummonopersulfat verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur der Lösung
während der Behandlung des Kupfers bei 20 bis 45° C gehalten wird.
4. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 1 zur Herstellung von gedruckten Schaltungen.
© 309 770/443 12.63
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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