DE112019001477T5

DE112019001477T5 - Zustandsüberwachungssystem

Info

Publication number: DE112019001477T5
Application number: DE112019001477.3T
Authority: DE
Inventors: Fumihiko Takaoka; Ryosuke Eto
Original assignee: Shashin Kagaku Co Ltd
Current assignee: Shashin Kagaku Co Ltd
Priority date: 2018-03-22
Filing date: 2019-03-22
Publication date: 2020-12-24
Also published as: JP6558841B1; US20210001292A1; WO2019182105A1; JP2019166456A; CN111867714B; US11964246B2; JP2022116112A; CN111867714A; JP7082433B2; JPWO2019182105A1; JP7260214B2

Abstract

Zustandsüberwachungssystem 1 für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, wobei das Zustandsüberwachungssystem 1 umfasst: eine Sensoreinheit 2 und eine Analyseeinheit, wobei die Sensoreinheit 2 einen Temperatursensor 3, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt, die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit 14 aufweist, der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors 3 empfängt, ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, in Informationen einander zugeordnet werden, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet werden, und die Bestimmungseinheit 14 Informationen, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, vergleicht und gemäß einem Vergleichsergebnis die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführt.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Zustandsüberwachungssystem zur Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird.
Hintergrund der Erfindung
Zum Beobachten des Zustands eines Verarbeitungs-Zielmaterials in Echtzeit während einer Rührentgasungsverarbeitung wird herkömmlicherweise ein Beobachtungsverfahren durchgeführt, bei dem eine Stroboskopfotografie, die eine Lichtquelle und eine Kamera synchron mit der Drehbewegung verwendet, durchgeführt wird, wie im Patentdokument 1 offenbart ist. Wenn, wie oben beschrieben, der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials synchron mit der Drehbewegung geprüft wird, kann zur Optimierung der Rührentgasungsverarbeitungsbedingungen beigetragen werden.
Dieses Beobachtungsverfahren ist dahingehend vorteilhaft, dass ein Phänomen, das aktuell in der Verarbeitung auftritt, unter der Verwendung von Bilddaten geprüft werden kann, und wenn ein Problem auftritt, können Ursachen des Problems angenommen werden, was insbesondere zur Entwicklung von Produkten beiträgt.
Dokumente des Standes der Technik
Patentdokumente
Patentdokument 1: JP H11-290668A
Offenbarung der Erfindung
Von der Erfindung zu lösendes Problem
Zum Durchführen eines Beobachtungsverfahrens unter der Verwendung einer Fotokamera muss jedoch eine Installation zur Ermöglichung der Fotografie auf einer Rührentgasungsvorrichtung vorgesehen werden und muss eine bestehende Rührentgasungsvorrichtung bedeutend geändert werden.
Außerdem ist es schwierig, Bilddaten zu quantifizieren, und Erfahrung und Wissen eines ausgebildeten technischen Fachmanns sind erforderlich, um aus Bilddaten Situationen zu verstehen.
Außerdem müssen aufgenommene Bilddaten von einer Person überwacht werden, um die Qualität von Produkten zu kontrollieren, doch ist es schwierig, im entsprechenden Augenblick den Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials zu beurteilen und eine Aktion vorzunehmen. Ferner ist ein hoher Kenntnisstand der Bildverarbeitung nötig, um Bilddaten zu quantifizieren, und ist es schwierig, den Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials unter der Verwendung von Bilddaten zu Zwecken der Qualitätskontrolle automatisch zu überwachen. Als ein Ergebnis hiervon war es bisher schwierig, eine Verarbeitung gemäß dem Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials in Echtzeit durchzuführen.
Die vorliegende Erfindung wurde angesichts der oben beschriebenen Probleme gemacht, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Zustandsüberwachungssystem vorzusehen, mit dem der Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials leicht und quantitativ in Echtzeit während der Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden kann. Es wird darauf hingewiesen, dass in der Beschreibung der vorliegenden Anmeldung der Ausdruck „Rührentgasung“ ein Rühren eines Verarbeitungs-Zielmaterials, ein Entgasen zum Entfernen von in einem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltenen Blasen oder sowohl das Rühren als auch das Entgasen bedeutet.
Mittel zum Lösen des Problems
In einer charakteristischen Konfiguration eines Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung zur Lösung der oben beschriebenen Aufgabe ist das Zustandsüberwachungssystem ein Zustandsüberwachungssystem zur Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, und weist auf:

eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit,
wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt,
die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist,
der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt,
ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, in Informationen einander zugeordnet werden, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet werden, und die Bestimmungseinheit Informationen, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, vergleicht und gemäß einem Vergleichsergebnis die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführt.

Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration vergleicht die Bestimmungseinheit ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und Informationen, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, d.h. Informationen, in denen ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, einem Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung zugeordnet wird, die durch die Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführt wird. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit den Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials in Echtzeit während einer Rührentgasungsverarbeitung einfach und quantitativ überwachen kann, indem eine Bezugnahme auf Ausgabewerte des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung erfolgt.
Zusätzlich führt die Bestimmungseinheit gemäß dem Vergleichsergebnis eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit eine Verarbeitung gemäß dem Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials in Echtzeit durchführen kann.
Demgemäß ist es möglich, ein Zustandsüberwachungssystem anzugeben, mit dem der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials leicht und quantitativ in Echtzeit während der Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden kann und eine Verarbeitung gemäß dem Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials durchgeführt werden kann.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung werden Rührentgasungsverarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt der von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung in Informationen einander zugeordnet, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet werden, und
führt die Bestimmungseinheit eine Extraktionsverarbeitung zum Extrahieren, aus in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichneten Informationen, von Informationen durch, die den Rührentgasungsverarbeitungsinformationen entsprechen, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, die vor der Ausführung der Rührentgasungsverarbeitung eingestellt wurden, vergleicht die in der Extraktionsverarbeitung aus der Aufzeichnungseinheit extrahierten Informationen und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und führt gemäß einem Vergleichsergebnis die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann, selbst wenn verschiedene Arten von Rührentgasungsverarbeitungsinformationen in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, die Bestimmungseinheit eine Extraktionsverarbeitung durchführen, um aus den in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichneten Informationen Informationen zu extrahieren, die Rührentgasungsverarbeitungsinformationen entsprechen, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, die vor der Ausführung der Rührentgasungsverarbeitung eingestellt wurden. Als ein Ergebnis hiervon kann die Bestimmungseinheit entsprechend ein spezifisches Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet ist und in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und Informationen vergleichen, in denen ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, Inhalten einer von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung zugeordnet ist.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Empfindung ist das Zustandsüberwachungssystem ein Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, und weist auf:

eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit,
wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt,
die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist,
der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, und die Analyseeinheit Folgendes durchführt:
- eine Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen von Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten und von dem zweiten Transceiver empfangen werden, und
- eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen eines spezifischen Phänomens, das in den in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichneten Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, und eine Verarbeitung des Inhalts einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die gemäß dem Phänomen von der Bestimmungseinheit durchgeführt wird, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit.

Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration führt die Analyseeinheit eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen eines spezifischen Phänomens durch, das in den in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichneten Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, eines Inhalts der von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung und von Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit. Das heißt, dass eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die gemäß dem Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials während der Rührentgasungsverarbeitung durchgeführt wird, durch Bezugnahme auf in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnete Informationen erfolgen kann.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung zeichnet die Analyseeinheit in der Informations-Aufzeichnungsverarbeitung ein spezifisches Phänomen, das in den in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichneten Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, einen Inhalt der von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung auf und legt Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit ab.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration führt die Analyseeinheit eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen, in der Aufzeichnungseinheit, eines spezifischen Phänomens durch, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, die in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichnet wurden, und eines Inhalts der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die durch die Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführt wurde, in Zuordnung zu Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen. Als ein Ergebnis hiervon können, selbst wenn verschiedene Arten von Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, Informationen, die spezifischen Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen entsprechen, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, aus den in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichneten Informationen extrahiert werden.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Analyseeinheit eine Ausgabeeinheit auf, die Informationen ausgibt, und gibt die Ausgabeeinheit Informationen aus, die einen Inhalt der von der Bestimmungseinheit durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann, wenn eine Bedienperson zum Beispiel die von der Ausgabeeinheit ausgegebenen Informationen erhält, die Bedienperson von dem Inhalt der durchzuführenden Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung Kenntnis haben.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Bestimmen des Zustands oder eines Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann in der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung die Bestimmungseinheit den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem spezifischen Phänomen bestimmen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Durchführen einer Aktion gemäß dem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist. Hierbei kann die Aktion auch gemäß dem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem spezifischen Phänomen eingestellt werden, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Zusätzlich kann die Aktion auch die Ausgabe eines Alarms aus der Ausgabeeinheit sein. Alternativ dazu kann die Aktion auch ein Aufzeichnen dessen, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal durchgeführt wurde, ein Aufzeichnen dessen, dass die Rührentgasungsverarbeitung nicht normal durchgeführt wurde, oder ein Aufzeichnen dessen sein, dass ein Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet wurde und in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten wurden, nicht erfasst werden konnte. Alternativ dazu kann die Aktion auch ein Bestimmen eines Bedienungsbefehls für die Rührentgasungsvorrichtung sein.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann die Bestimmungseinheit in der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Aktion gemäß dem spezifischen Phänomen vornehmen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung sind Phänomene, die in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten, unter anderem eine zeitliche Änderung in den Ausgabewerten, die unter der Verwendung mindestens einer aus einer Anstiegsrate der Ausgabewerte, einer Verringerungsrate der Ausgabewerte, einer Änderung in der Anstiegsrate und einer Änderung in der Verringerungsrate identifiziert werden kann.
Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials leicht und quantitativ in Echtzeit während der Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden, indem auf eine zeitliche Änderung Bezug genommen wird, die in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftritt, und kann unter der Verwendung mindestens einer aus einer Anstiegsrate der Ausgabewerte, einer Verringerungsrate der Ausgabewerte, einer Änderung in der Anstiegsrate und einer Änderung in der Verringerungsrate identifiziert werden.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Zustandsüberwachungssystem ein Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, und weist auf:

eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit,
wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt,
die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist,
der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt,
eine zeitliche Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die während der Rührentgasungsverarbeitung auftritt, in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet wird, und
die Bestimmungseinheit eine Ähnlichkeit zwischen der zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet wird und während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann,
und einer zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, bestimmt.

Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration vergleicht die Bestimmungseinheit die Ähnlichkeit zwischen der zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet ist und während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und einer zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist. Das heißt, die Bestimmungseinheit kann den Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials während der Rührentgasungsverarbeitung auf Basis der Ähnlichkeit zwischen zeitlichen Änderungen leicht und quantitativ in Echtzeit überwachen.
In einer weiteren charakteristischen Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Zustandsüberwachungssystem ein Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, und weist auf:

eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit,
wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann,
und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt,
die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist,
der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, und
wenn ein Ausmaß einer Änderungsrate von Ausgabewerten des Temperatursensors größer oder gleich einem eingestellten Wert während der Rührentgasungsverarbeitung des Verarbeitungs-Zielmaterials geworden ist, die Bestimmungseinheit bestimmt, dass eine Verdampfung von in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltener Substanz stattgefunden hat.

Gemäß dieser charakteristischen Konfiguration kann die Bestimmungseinheit quantitativ in Echtzeit bestimmen, ob eine Verdampfung einer Substanz, die in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthalten ist, aufgetreten ist oder nicht.
Figurenliste

1 ist eine Darstellung, die eine Hauptkonfiguration eines Zustandsüberwachungssystem zeigt.
2 ist eine Darstellung, die ein Beispiel für eine Konfiguration einer Rührentgasungsvorrichtung zeigt, die eine Temperatursensoreinheit enthält.
3 ist eine Darstellung, die eine Hauptkonfiguration des Zustandsüberwachungssystems und der Rührentgasungsvorrichtung zeigt.
4 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten und Druck in Fall 1 zeigt.
5 zeigt Oberflächenfotografien von Proben A und B in Fall 1.
6 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten und Druck in Fall 2 zeigt.
7 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf eines Temperaturmesswerts und Druck in Fall 3 zeigt.
8 zeigt Oberflächenfotografien einer Probe in Fall 3.
9 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf eines Temperaturmesswerts in Fall 4 zeigt.
10 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf eines Temperaturmesswerts und Druck in Fall 5 zeigt.
11 zeigt Oberflächenfotografien einer Probe in Fall 5.
12 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten in Fall 6 zeigt.
13 ist eine Darstellung, die eine Analyseverarbeitung zeigt.
14 ist eine Darstellung, die eine Analyseverarbeitung zeigt.
15 ist eine Darstellung, die eine Analyseverarbeitung zeigt.
16 ist eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten zeigt.

Beste Art der Umsetzung der Erfindung
Im Folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die folgende Ausführungsform bietet jedoch keine eingeschränkte Interpretation unter Anerkennung des Geistes der vorliegenden Erfindung. Dieselben oder gleiche Elemente werden mit denselben Bezugszeichen bezeichnet, und deren Beschreibung kann weggelassen sein.
Konfiguration der Vorrichtung
Im Folgenden wird eine Konfiguration eines Zustandsüberwachungssystems 1 beschrieben, das einen Rührentgasungszustand in Echtzeit überwacht. Es wird darauf hingewiesen, dass in der Beschreibung der vorliegenden Anmeldung der Begriff „Rührentgasung“ ein Rühren eines Verarbeitungs-Zielmaterials, ein Entgasen zum Entfernen von in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltenen Blasen oder sowohl das Rühren als auch das Entgasen bedeutet. Das heißt, dass eine Rührentgasungsvorrichtung dazu verwendet werden kann, eine Rührverarbeitung zum Rühren eines Verarbeitungs-Zielmaterials, eine Entgasungsverarbeitung zum Entfernen von in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltenen Blasen oder sowohl die Rührverarbeitung als auch die Entgasungsverarbeitung durchzuführen.
1 zeigt die Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems 1 für eine Rü h rentgasu ngsverarbe itu ng. Die Sensoreinheit 2 enthält einen Temperatursensor 3 (zum Beispiel einen Infrarot-Temperatursensor), der die Temperatur eines Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, eine Stromquelle 4 (zum Beispiel eine Batterie) und eine Kommunikationseinheit 5. Der Temperatursensor 3 kann unter der Verwendung verschiedener Sensoren umgesetzt werden, die die Temperatur eines Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen können. Zum Beispiel kann der Temperatursensor 3 unter der Verwendung eines berührungslosen Temperatursensors, wie zum Beispiel eines Strahlungsthermometers, dass die Intensität eines Strahlungslichts (Infrarotlichts) misst, das von einem Verarbeitungs-Zielmaterial abgestrahlt wird, und die Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials auf Basis des gemessenen Werts bestimmt, oder eines Kontakt-Temperatursensors, der die Temperatur eines Verarbeitungs-Zielmaterials unter der Verwendung eines Thermoelements oder dergleichen bestimmt, realisiert werden. Es wird darauf hingewiesen, dass der Temperatursensor 3 in 1 als ein Strahlungsthermometer 3 gezeigt ist. Die Kommunikationseinheit 5 enthält eine Aufzeichnungseinheit 6, eine Takteinheit 7 und einen Transceiver 8 (ein Beispiel für einen „ersten Transceiver“ in der vorliegenden Erfindung), der Ausgabewerte des Temperatursensors 3 an eine Analyseeinheit 9 überträgt.
Im Folgenden wird ein Fall beschrieben, in dem der Temperatursensor 3 ein Strahlungsthermometer 3 ist, das auf der Oberseite zum Beispiel eines Deckels eines Behälters 20 installiert ist, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, und die Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials direkt auf Basis der Intensität des Strahlungslichts misst, das von dem Verarbeitungs-Zielmaterial abgestrahlt wird. In diesem Sinn bedeutet „Temperatursensor 3“ in der vorliegenden Erfindung ein Sensor, der eine physikalische Größe misst, die sich auf Strahlungslicht bezieht, wie zum Beispiel Infrarotlicht, das von einer Substanz abgestrahlt wird.
Nach einem Messbefehl, der in der Aufzeichnungseinheit 6 aufgezeichnet ist, liest die Kommunikationseinheit 5 Temperaturmesswerte des Temperatursensors 3, d.h. Ausgabewerte des Temperatursensors 3, mit einer vorbestimmten Frequenz, zum Beispiel in Intervallen von einer Sekunde, über einen vorbestimmten Zeitraum, zum Beispiel von Anfang bis Ende der Rührentgasungsverarbeitung, zu Zeitpunkten, die unter der Verwendung einer Messfunktion der Takteinheit 7 festgelegt wurden, und gibt die Temperaturmesswerte und Messzeitpunkte vom Transceiver 8 gemäß drahtlosen Kommunikationsstandards, zum Beispiel IEEE 802.15.4, aus (überträgt sie).
Die Stromquelle 4 liefert Strom an den Temperatursensor 3 und die Kommunikationseinheit 5.
Die Analyseeinheit 9 enthält einen Transceiver 10 (ein Beispiel für einen „zweiten Transceiver“ in der vorliegenden Erfindung), eine Steuerungseinheit 11, eine Ausgabeeinheit 12, eine Bedienungseinheit 13, eine Bestimmungseinheit 14 (ein Beispiel für eine „Bestimmungseinheit“ in der vorliegenden Erfindung) und eine Aufzeichnungseinheit 15. Die Analyseeinheit 9 kann zum Beispiel unter der Verwendung eines Computers oder dergleichen realisiert werden. Die Bestimmungseinheit 14 kann unter der Verwendung eines Prozessors realisiert werden, der in dem Computer enthalten ist, und kann verschiedene Arten von unten beschriebenen Verarbeitungen durchführen.
Die Analyseeinheit 9 kann über den Transceiver 10 Ausgabewerte vom Temperatursensor 3, die vom Transceiver 8 der Sensoreinheit 2 übertragen werden, empfangen, d.h. Temperaturmesswerte und Messzeitpunkte, die von der Sensoreinheit 2 übertragen werden. Deshalb kann ein Senden und Empfangen zwischen der Sensoreinheit 2 und der Analyseeinheit 9 während der Rührentgasungsverarbeitung durchgeführt werden und ein Zustand auf Basis von Temperaturmesswerten in Echtzeit überwacht werden.
Die Bedienungseinheit 13 dient als eine Schnittstelle zwischen der Analyseeinheit 9 und einer Bedienperson und gibt Befehle und Informationen von der Bedienperson ein. Zum Beispiel können Materialien, aus denen das Verarbeitungs-Zielmaterial besteht (Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen, die später beschrieben werden, und dergleichen) und Verarbeitungsbedingungen (Verarbeitungsbedingungsinformationen, die später beschrieben werden, und dergleichen) eingegeben werden, und eingegebene Informationen können in der Aufzeichnungseinheit 15 durch die Steuerungseinheit 11 aufgezeichnet (registriert) werden.
Die Ausgabeeinheit 12 kann unter der Verwendung einer Anzeigeeinheit, die Informationen unter der Verwendung von textuellen Informationen, Ein- und Ausschalten eines Lichts oder durch das Blinken eines Lichts, einen Lautsprecher, der Audioinformationen ausgeben kann, und dergleichen realisiert werden.
Die Steuerungseinheit 11 zeichnet Temperaturmesswerte, die von dem Transceiver 10 beschafft werden, zusammen mit Messzeitpunkten, in der Aufzeichnungseinheit 15 auf. Temperaturmesswerte und Messzeitpunkte können auch in der Ausgabeeinheit 12 angezeigt werden.
Die Bestimmungseinheit 14 liest Temperaturmesswerte und Messzeitpunkte, die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wurden, bestimmt den Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials auf Basis von Bestimmungsbedingungen (eine Aktion, die später beschrieben wird), die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet (registriert) sind und führt eine Aktion gemäß dem bestimmten Zustand auf Basis eines Inhalts der Aktion durch, die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist, wie zum Beispiel Anzeigen eines Alarms, Ausgeben eines Befehls zum Stoppen der Rührentgasungsverarbeitung oder Speichern einer Historie, die den normalen Abschluss angibt.
Charakteristiken des zeitlichen Verlaufs des Temperaturmesswerts werden in der Aufzeichnungseinheit 15 für einzelne Fälle, die noch beschrieben werden, aufgezeichnet (registriert), und der Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials kann auf Basis der Charakteristiken bestimmt werden.
2 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Sensoreinheit 2 an der Rührentgasungsvorrichtung 100 befestigt ist, um den Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials in Echtzeit zu beobachten.
Die Sensoreinheit 2, welche den Temperatursensor 3 (Infrarotsensor) enthält, ist auf einem Deckelteil eines Behälters 20 installiert, der das Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, und Ausgabewerte des Temperatursensors 3 werden in Echtzeit übertragen, von der Analyseeinheit 9 empfangen und als Daten in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet.
Im Folgenden wird das Funktionsprinzip eines Beispiels einer Rührentgasungsvorrichtung 100 beschrieben, auf die das Zustandsüberwachungssystem 1 angewendet wird.
Eine Drehtrommel 102, die ein Umlaufzahnrad 101 aufweist, ist über ein Lager so gelagert, dass sie relativ zu einer Umlaufwelle 103 (festen Welle) drehbar ist. Eine Drehbewegung eines Motors 104 wird über das Umlaufzahnrad 101 auf die Drehtrommel 102 übertragen, und die Drehtrommel 102 dreht sich um die Umlaufwelle 103.
Ein Umlauftisch 105 ist mit der Drehtrommel 102 gekoppelt (daran befestigt) und dreht sich zusammen mit der Drehtrommel 102.
Ein Behälterhalter 106 enthält eine Drehwelle 107 (Rotationswelle) und die Drehwelle 107 ist über ein Lager auf dem Umlauftisch 105 drehbar gelagert.
Deshalb dreht sich (läuft) der Behälterhalter 106 um eine Umlaufwelle 103 als ein Ergebnis dessen, dass sich der Umlauftisch 105 dreht.
Der Behälterhalter 106 enthält ein Drehzahnrad 108. Das Drehzahnrad 108 kämmt mit einem Zwischenzahnrad 109, das über ein Lager auf dem Umlauftisch 105 drehbar gelagert ist. Ferner kämmt das Zwischenzahnrad 109 mit einem Sonnenrad 110.
Das Sonnenrad 110 ist auf der Außenseite der Drehtrommel 102 angeordnet und ist über ein Lager so gelagert, dass es relativ zur Drehtrommel 102 drehbar ist.
Ferner kämmt das Sonnenrad 110 mit einem Zahnrad 111. Eine Bremskraft wird von einer Bremsvorrichtung 114, wie zum Beispiel einer Magnetpulverbremse, über Zahnräder 112 und 113, die miteinander kämmen, auf das Zahnrad 111 übertragen.
Wenn die Bremskraft von der Bremsvorrichtung 114 nicht angelegt wird (das heißt die Bremskraft gleich null ist), dreht sich das Sonnenrad 110 als ein Ergebnis einer Drehung der Drehtrommel 102.
Wenn die Bremskraft von der Bremsvorrichtung 114 über das Zahnrad 111 auf das Sonnenrad 110 übertragen wird, wird die Drehzahl des Sonnenrads 110 geringer als die Drehzahl der Drehtrommel 102, und es entsteht eine Differenz zwischen der Drehzahl des Sonnenrads 110 und der Drehzahl des Umlauftischs 105, der mit der Drehtrommel 102 gekoppelt ist. Als ein Ergebnis hiervon dreht sich das Zwischenzahnrad 109 relativ zum Sonnenrad 110. Da das Zwischenzahnrad 109 mit dem Drehzahnrad 108 in Eingriff ist, dreht sich das Drehzahnrad 108 und dreht sich (rotiert) der Behälterhalter 106 um die Drehwelle 107.
Es wird darauf hingewiesen, dass in dem oben beschriebenen Beispiel der Konfiguration der Rührentgasungsvorrichtung 100 eine Umlaufbewegung und eine Rotation des Behälterhalters 106 unter der Verwendung eines einzigen Antriebsmotors 104 verursacht werden, jedoch ist die Konfiguration der Rührentgasungsvorrichtung nicht auf das in 2 gezeigte Beispiel eingeschränkt.
Zum Beispiel ist auch eine Konfiguration möglich, bei der ein Antriebsmotor für die Umlaufbewegung und ein Antriebsmotor für die Rotation getrennt vorgesehen sind, um Umlaufbewegung und Rotation des Behälterhalters 106 zu verursachen, und ist auch eine andere Konfiguration möglich. Dies liegt daran, dass die Sensoreinheit 2 auf dem Behälter 20 eingebaut werden kann und daher auf verschiedene bestehende Rührentgasungsvorrichtungen angewendet werden kann.
Ferner werden zwischen der Sensoreinheit 2 und der Analyseeinheit 9 Daten unter der Verwendung einer drahtlosen Kommunikation übertragen, weshalb das Zustandsüberwachungssystem 1 auf verschiedene bestehende Rührentgasungsvorrichtungen angewendet werden kann.
In 2 sind zwei Behälter 20 eingebaut. Wie das bei diesem Beispiel der Fall ist, ist es möglich, in den Behältern 20 eine Rührentgasungsverarbeitung gleichzeitig durchzuführen und die Temperatur von Verarbeitungs-Zielmaterialien, die in den Behältern 20 enthalten sind, gleichzeitig zu messen.
Die Behälter 20, das heißt die Sensoreinheiten 2, und die einzige Analyseeinheit 9, können unter der Verwendung von drahtloser Kommunikation gemäß den oben beschriebenen Kommunikationsstandards miteinander verbunden sein.
Das Volumen der gleichzeitig in der Kommunikation übertragenen Daten ist klein, weshalb außer den oben beschriebenen Kommunikationsstandards auch verschiedene andere Kommunikationsstandards, wie zum Beispiel IEEE 802.15.1, verwendet werden können.
Der Temperatursensor 3 in der Sensoreinheit 2 hat ein Messfeld, das durch einen Winkel θ bestimmt wird. Das Messfeld wird innerhalb eines Bereichs eingestellt, der durch einen Bodenteil des Behälters 20 definiert wird, und die Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials innerhalb des Messfeld kann gemessen werden. Wenn demgemäß eine Temperaturmessung unter der Verwendung des Temperatursensors 3 durchgeführt wird, kann sich eine Änderung der Temperatur innerhalb des Messfelds in einem Temperaturmesswert niederschlagen.
Ferner spiegelt ein Ausgabewert des Temperatursensors 3 die Intensität eines Strahlungslichts wider, das von dem Messungs-Zielmaterial abgestrahlt wird, weshalb die Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials aus einem Ausgabewert des Temperatursensors 3 bestimmt werden kann. Zusätzlich können auch andere Informationen, wie zum Beispiel der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials unter Bezugnahme auf einen Ausgabewert des Temperatursensors 3 bestimmt werden. Zum Beispiel hängt die Intensität eines Strahlungslichts, das sich in einem Ausgabewerte des Temperatursensors 3 niederschlägt, von der Emissivität des Messungs-Zielmaterials ab, und wenn demgemäß die Messziele verschiedene Emissivitäten haben, gibt der Temperatursensor 3 verschiedene Temperaturmesswerte (Ausgabewerte) aus, selbst wenn die Temperatur die gleiche ist. Deshalb wird nicht nur die Temperatur gemessen, sondern auch die Intensität des Strahlungslichts in Abhängigkeit von der Art und dem Zustand eines Messungs-Zielmaterials, das mit einem Ausgabewert des Temperatursensors 3 erfasst wird. Auch wenn sowohl ein thermischer Temperatursensor als auch ein Quanten-Temperatursensor als ein Temperatursensor 3 verwendet werden kann, kann in einem Fall, in dem ein spezifisches Strahlungslicht gemäß dem Verarbeitungs-Zielmaterial erfasst wird, ein Quanten-Temperatursensor, dessen Abhängigkeit von der Wellenlänge des Lichts stark ist, vorzugsweise verwendet werden.
3 ist eine Darstellung, die eine Hauptkonfiguration des Zustandsüberwachungssystems 1 und der Rührentgasungsvorrichtung 100 zeigt. Wie in 3 dargestellt, ist ein ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltender Behälter 20 in die Rührentgasungsvorrichtung 100 eingebaut und ist eine Sensoreinheit 2 an einem Deckelteil des Behälters 20 eingebaut. Die Rührentgasungsvorrichtung 100 weist eine Steuerungsvorrichtung 30, eine Aufzeichnungseinheit 31, eine Eingabe-Annahmeeinheit 32, eine Ausgabeeinheit 33 und einen Transceiver 34 zusätzlich zum Motor 104, der Bremsvorrichtung 114 und dergleichen, die in 2 gezeigt sind, auf. Die Steuerungsvorrichtung 30 steuert den Betrieb des Motors 104 und der Bremsvorrichtung 114 zum Umlaufen-Lassen und Rotieren des Behälters 20. Die Aufzeichnungseinheit 31 zeichnet Informationen auf, die in der Rührentgasungsvorrichtung 100 auftreten. Die Eingabe-Annahmeeinheit 32 kann unter der Verwendung von Knöpfen und dergleichen realisiert werden, die eine Bedienperson der Rührentgasungsvorrichtung 100 verwendet, wenn sie einen Befehl zum Starten oder Stoppen der Rührentgasungsverarbeitung von Verarbeitungsbedingungen und dergleichen eingibt. Die Ausgabeeinheit 33 kann unter der Verwendung einer Anzeigevorrichtung, die textuelle Informationen ausgeben kann, eines Lautsprechers, der Audioinformationen ausgeben kann, oder einer optischen Vorrichtung, wie zum Beispiel einer oder mehreren Lampen, die optische Informationen durch Ein- und Ausschalten des Lichts oder zum Beispiel durch das Blinken des Lichts, ausgeben können, realisiert werden. Der Transceiver 34 kann unter der Verwendung einer Vorrichtung realisiert werden, die Informationen mit einer externen Vorrichtung unter der Verwendung drahtgebundener Kommunikation oder drahtloser Kommunikation austauscht. In der vorliegenden Ausführungsform kann die Verbindung zwischen dem Transceiver 34 der Rührentgasungsvorrichtung 100 und dem Transceiver 10 der Analyseeinheit 9 entweder eine drahtgebundene Verbindung oder eine drahtlose Verbindung sein.
Auch wenn später noch Einzelheiten beschrieben werden, werden in dem Zustandsüberwachungssystem 1 der vorliegenden Ausführungsform ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, einander in Informationen zugeordnet, die in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 aufgezeichnet werden. Wenn die Bedienperson zum Beispiel eine Rührentgasungsverarbeitung an Verarbeitungs-Zielmaterialien eines Typs jedes Mal unter denselben Verarbeitungsbedingungen durchführt, reicht es, in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 nur Informationen zu speichern, in denen ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, dem Inhalt der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, zugeordnet wird. Die Bestimmungseinheit 14 vergleicht die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichneten Informationen und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und führt gemäß dem Vergleichsergebnis eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch.
Alternativ dazu werden in dem Zustandsüberwachungssystem 1 der vorliegenden Ausführungsform Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, einander in Informationen zugeordnet, die in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 aufgezeichnet werden. Wenn die Bedienperson zum Beispiel eine Rührentgasungsverarbeitung an Verarbeitungs-Zielmaterialien unterschiedlicher Typen unter unterschiedlichen Verarbeitungsbedingungen durchführt, müssen Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, ebenfalls aufgezeichnet werden. Die Bestimmungseinheit 14 führt eine Extraktionsverarbeitung durch, um aus in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichneten Informationen Informationen zu extrahieren, die den Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen entsprechen, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, die vor der Ausführung der Rührentgasungsverarbeitung eingestellt werden, vergleicht die aus der Aufzeichnungseinheit 15 durch die Extraktionsverarbeitung extrahierten Informationen und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und führt gemäß dem Vergleichsergebnis eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch.
In dem oben beschriebenen Zustandsüberwachungssystem 1 ist die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Bestimmen des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Alternativ dazu ist die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Durchführen einer Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist. Die Aktion kann auch gemäß einem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt werden, das einem spezifischen Phänomen entspricht, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist. Zum Beispiel bedeutet die Aktion das Ausgeben eines Alarms aus der Ausgabeeinheit 12. Alternativ dazu bedeutet die Aktion ein Aufzeichnen dessen, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal ausgeführt wurde oder nicht normal ausgeführt wurde, oder eine Aufzeichnung dessen, dass ein Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist und in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten wurden, nicht erfasst werden konnte.
Alternativ dazu bedeutet die Aktion das Bestimmen eines Bedienungsbefehls für die Rührentgasungsvorrichtung 100. Beispiele von Bedienungsbefehlen, die in der Aktion bestimmt werden, sind unten aufgelistet. Ferner kann die Aktion auch dadurch durchgeführt werden, dass ein Bedienungsbefehl für die Rührentgasungsvorrichtung 100 aufgezeichnet wird.

- Erhöhen, Verringern oder Beibehalten einer Drehzahl des Behälters 20.
- Erhöhen, Verringern oder Beibehalten der Drehzahl des Behälters 20, oder stoppen der Drehung (d.h. Stoppen der Drehung und Weiterführen des Umlaufs).
- Stoppen der Drehung des Behälters 20.
- Erhöhen, Verringern oder Beibehalten des Grads des Vakuums innerhalb des Behälters 20.
- Wiederherstellen des Atmosphärendrucks innerhalb des Behälters 20.
- Erwärmen oder Abkühlen des Verarbeitungs-Zielmaterials.
- Ersetzen der Atmosphäre innerhalb des Behälters 20 durch Stickstoffgas, Argongas oder dergleichen.
- Weitergehen zum nächsten Schritt in der Rührentgasungsverarbeitung.
- Weitergehen zur nächsten Aktion.

Zustandsüberwachungsverfahren
Im Folgenden wird ein Verfahren zum Überwachen des Zustands eines Verarbeitungs-Zielmaterials unter der Verwendung des Zustandsüberwachungssystems 1 im Einzelnen beschrieben.
Zuerst wird der Grund, aus dem der Zustandsverlauf unter der Verwendung von Temperaturmesswerten überwacht werden kann, beschrieben, und hiernach wird das Verfahren insbesondere auf Basis tatsächlicher Messfälle beschrieben.
Die einfachste Änderung in der Temperatur eines Verarbeitungs-Zielmaterials wird unter der Annahme berechnet, dass beständig als ein Ergebnis der Drehbewegung des Behälters 20 erzeugte Reibungswärme in das Verarbeitungs-Zielmaterial einfließt und Wärme durch Wärmeleitung in Abhängigkeit von einer Differenz zwischen der Temperatur (T) des Verarbeitungs-Zielmaterials und einer Umgebungstemperatur (Ta) abfließt. Die Temperatur (T(t)) des Verarbeitungs-Zielmaterials kann wie folgt ausgedrückt werden: T(t) = Ta + A(1 - exp(-at)) (Ausdruck 1). Hierbei sind A und α Konstanten und repräsentiert t die Zeit.
Eine Abweichung (Differenz) einer Temperaturänderung von diesem einfachsten Modell reflektiert demgemäß eine Abweichung von dem einfachsten Modell des Zustands des Verarbeitungs-Zielmaterials.
Daher wurden Ursachen einer solchen Abweichung einer Temperaturänderung berücksichtigt und wurden die folgenden Faktoren gefunden.
Wärmeeintrag
Außer der Reibungswärme kann Wärme während der Verarbeitung durch eine chemische Reaktion des Verarbeitungs-Zielmaterials generiert werden.
Reibungswärme beinhaltet durch Reibung zwischen dem Behälter 20 und dem Verarbeitungs-Zielmaterial generierte Reibungswärme und innerhalb des Verarbeitungs-Zielmaterials generierte Reibungswärme.
Wenn zum Beispiel das Verarbeitungs-Zielmaterial aus Flüssigkeiten und Feststoffen besteht, kann Reibungswärme durch Reibung zwischen einer Flüssigkeit und einem Feststoff, zwischen Feststoffen und zwischen Flüssigkeiten generiert werden.
In einem Fall, in dem das Verarbeitungs-Zielmaterial aus einer Flüssigkeit und einem Feststoff (zum Beispiel einem Pulver) besteht, hängt der Beitrag zur Reibungswärme nicht nur von dem Mischungsverhältnis der Materialien sondern auch von dem Zustand der Mischung zur Zeit der Rührentgasungsverarbeitung ab.
Durch Reibung zwischen Flüssigkeiten generierte Reibungswärme wird durch Scherkräfte erzeugt, die in einer tangentialen Richtung einer Strömung aufgrund der Viskosität der Flüssigkeiten auftreten. Die Viskosität einer Flüssigkeit hängt nicht nur vom Zustand der Mischung der Flüssigkeit mit einer anderen Flüssigkeit oder einem Feststoff ab, sondern auch von dem Zustand der Mischung der Flüssigkeit mit Gas (Blasen).
Selbst wenn das Verarbeitungs-Zielmaterial aus einer Flüssigkeit und Feststoffen besteht, tritt eine Reibung zwischen Feststoffen auf, bevor ein gleichmäßig gemischter Zustand erreicht wurde. Ebenso tritt eine Reibung zwischen Feststoffen und Wandungen des Behälters 20 auf.
Je nach dem Verarbeitungs-Zielmaterial tritt eine chemische Reaktion auf und wird Wärme über diese chemische Reaktion generiert. Es gibt Fälle, in denen eine chemische Reaktion fortschreitet, während Aktivierungsenergie aus Reibungswärme aufgenommen wird, oder erhöht sich eine Temperatur-Anstiegsrate, wenn die Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials einen bestimmten Wert erreicht.
Wärmeabfluss
Ein Abfluss von Wärme geschieht durch Leitung von Wärme von dem Verarbeitungs-Zielmaterial an andere Substanzen, wie zum Beispiel den Behälter 20 und Luft, sowie die Generierung von Wärme über Verdunstung, wenn das Verarbeitungs-Zielmaterial verdunstet.
Ein Abfluss von Wärme über Wärmeleitung hängt von der Wärmeleitfähigkeit des Verarbeitungs-Zielmaterials ab, wenn jedoch das Verarbeitungs-Zielmaterial Substanzen enthält, die unterschiedliche Wärmeleitfähigkeiten haben oder die Wärmeleitfähigkeit gemäß dem Zustand der Mischung oder als ein Ergebnis von eingemischten Blasen variiert, hat eine Ungleichmäßigkeit der Wärmeleitfähigkeit (zum Beispiel eine Ungleichmäßigkeit der Wärmeleitfähigkeit zwischen einem mittleren Teil und einem Randteil des Behälters 20) eine Auswirkung auf die Wärmeleitung.
Es wird darauf hingewiesen, dass in einem Fall, in dem das Verarbeitungs-Zielmaterial Substanzen enthält, die verschiedene Wärmeleitfähigkeiten haben, Beispiele von Kombinationen der Substanzen unter anderem Flüssigkeiten, die verschiedene Wärmeleitfähigkeiten haben, eine Flüssigkeit und ein Feststoff und eine Flüssigkeit und Gas (Blasen) sind.
Deshalb wurden systematisch Studien an verschiedenen Verarbeitungs-Zielmaterialien unternommen und herausgefunden, dass Charakteristiken des zeitlichen Verlaufs der Temperaturmesswerte von verschiedenen Konfigurationen der Verarbeitungs-Zielmaterialien und Rührentgasungsbedingungen abhängen, es Muster von Charakteristiken der Konfigurationen und Bedingungen gibt und der Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials durch tatsächliches Messen eines zeitlichen Verlaufs (einer Zeitabhängigkeit) des Temperaturmesswerts quantitativ in Echtzeit überwacht werden kann.
Wenn ferner Kombinationen von Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsinformationen (die hiernach einfach als „Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsinformationen“ bezeichnet werden können, und „Verarbeitungsinformationen“ können auch als „Verarbeitungsbedingungsinformationen“ bezeichnet werden) werden in Zuordnung zu dem zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten aufgezeichnet (registriert), und eine Datenbank von Analyseergebnissen und Aktionen, die Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsinformationen entsprechen, wird erstellt. Der Eintrag und die Datenbank können effektiv bei der Bestimmung optimaler Bedingungen für die Rührentgasungsverarbeitung und die Beibehaltung, Verbesserung und Kontrolle der Qualität der Produkte eingesetzt werden.
Im Folgenden werden spezifisch Beziehungen zwischen Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen, Verarbeitungsinformationen (Informationen, die sich auf Bedingungen der Rührentgleisungsverarbeitung beziehen), Analyseergebnisse und Aktionen unter der Verwendung von Beispielen typischer Fälle beschrieben.
Fall 1
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Silikon 300.000 mm²/s, Gesamtgewicht: 100 g
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Normaldruck und Unterdruck (Solldruck: 0,1 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (rotiert in der Richtung gegen die Umlaufrichtung)
(3) Analyseergebnis und Aktion
4 zeigt zeitliche Änderungen in Temperaturmesswerten einer Probe (Probe A, die in 4 mit einer gestrichelten Linie gezeigt ist), die unter Normaldruck einer Rührentgasungsverarbeitung (die einfach als Bearbeitung bezeichnet wird) unterzogen wird, und einer Probe (Probe B, die in 4 mit einer durchgezogenen Linie gezeigt ist), die einer Verarbeitung unter Unterdruck zum Vergleich unterzogen wurde. Eine strichpunktierte Linie P in 4 zeigt den Druck während der Verarbeitung.
Es wird darauf hingewiesen, dass der Ursprung (0) der Zeit durch eine waagrechte Achse der Kurvendarstellung angegeben ein Zeitpunkt ist, an dem eine Messung begonnen wurde, und nicht notwendigerweise mit einem Zeitpunkt übereinstimmt, zu dem ein Drehen des Behälters 20 begonnen wurde. Dies gilt auch für andere Kurvendarstellungen.
Es kann festgestellt werden, dass in dem Fall der Probe A, die einer Verarbeitung unter Normaldruck unterzogen wurde, sich Charakteristiken des zeitlichen Verlaufs der Messtemperatur änderten, als die Zeit 120 Sekunden war.
Auf der anderen Seite hat die Probe B, die unter Unterdruck einer Verarbeitung unterzogen wurde, keinen solchen Änderungspunkt (d.h. einen Punkt, an dem sich Charakteristiken des zeitlichen Verlaufs des Ausgabewerts des Temperatursensors 3 ändern).
Deshalb wurden über Stroboskopfotografie erhaltene Bilddaten geprüft, um zu untersuchen, welche Art Zustandsverlauf in Abhängigkeit von der Verarbeitungszeit auftrat.
5 zeigt Oberflächenfotografien der Proben A und B, die durch Stroboskopfotografie an entsprechenden Zeitpunkten erhalten wurden, im Vergleich. In dem Fall der Probe A sind in einem Foto, das aufgenommen wurde, als die Zeit 40 Sekunden war, winzige Bläschen zu erkennen, und die Anzahl winziger Bläschen ist in einem Foto erhöht, das aufgenommen wurde, als die Zeit 120 Sekunden war. In einem Foto, das aufgenommen wurde, als die Zeit 140 Sekunden war, sind winzige Bläschen über die gesamte Probe verteilt und ist die gesamte Probe überschattet.
Auf der anderen Seite ist in dem Fall der Probe B eine kleine Anzahl von winzigen Bläschen in einem Foto zu erkennen, das aufgenommen wurde, als die Zeit 40 Sekunden war, doch ist die Anzahl anscheinend klein, wenn sie mit derjenigen in der Probe A vergleicht wird, und in Fotos, die aufgenommen wurden, als die Zeit 120 Sekunden und 140 Sekunden war, sind keine Bläschen zu erkennen.
Bläschen werden üblicherweise eingemischt, wenn eine Flüssigkeit gerührt wird. Die Fluidität von Bläschen, die eine Spirale bilden, die in der Probe A bis um 120 Sekunden herum zu sehen waren, ist hoch. In diesem Zustand ist die Viskosität als Ergebnis dessen verringert, dass Bläschen sich verformen, und ein Verformungswiderstand aufgrund der Oberflächenspannung verschwindet. Eine derartige rheologische Eigenschaft erhöht die Fluidität der Probe A. Wenn eine Flüssigkeit einen Bereich enthält, in dem viele Bläschen enthalten sind, und einen Bereich, in dem wenige Bläschen enthalten sind, variiert die Viskosität zwischen den Bereichen. Deshalb ist in einem Grenzbereich zwischen diesen Bereichen eine Scherkraft erhöht, ist eine Reibungswärme erhöht und ist eine Erhöhungsrate des Temperaturmesswerts in Abhängigkeit von der Zeit (hiernach einfach als „Temperaturerhöhungswert“ bezeichnet) erhöht.
Wenn auf der anderen Seite die gesamte Flüssigkeit mit Bläschen gesättigt ist, ist die oben beschriebene Variation in der Viskosität in Abhängigkeit von Positionen verringert, ist die Scherkraft verringert, ist die Reibungswärme, die innerhalb der Flüssigkeit generiert wird, verringert und ist die Temperaturanstiegsrate verringert.
Es versteht sich, dass eine Änderung in dem Temperaturmesswert den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials widerspiegelt, wie zum Beispiel eine Änderung der Viskosität, eine Änderung der Fluidität oder Unregelmäßigkeit der Fluidität aufgrund von Blasen. Deshalb kann die Bestimmungseinheit 14 eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung dadurch durchführen, dass der Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß einem spezifischen Phänomen bestimmt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Auf der anderen Seite ist die Temperaturanstiegsrate der Probe B geringer als diejenige der Probe A, wie in 4 gezeigt. Silikon hat einen extrem niedrigen Sättigungsdampfdruck und ein Kühleffekt aufgrund einer Verdampfungswärme ist vernachlässigbar, und deshalb lässt die niedrige Temperaturanstiegsrate vermuten, dass die Scherkraft klein und die Generation von Reibungswärme gering ist.
Tatsächlich zeigt 5, dass Bläschen daran gehindert wurden, in die Probe B eingemischt zu werden, und dies ist auch konsistent mit dem Verhalten des zeitlichen Verlaufs des Temperaturmesswerts.
Wenn ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, zum Beispiel eine Zeit, die einem Änderungspunkt des Temperaturmesswerts entspricht, eine Temperaturanstiegsrate oder dergleichen, in der Aufzeichnungseinheit 15 als ein Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen registriert ist, können verschiedene Arten von Aktionen durchgeführt werden, wie unten beschrieben, wenn ein Verarbeitungs-Zielmaterial verarbeitet wird, indem die registrierte Zeit des Änderungspunkt des Temperaturmesswerts oder die registrierte Temperaturanstiegsrate verwendet wird, um eine Bestimmung oder einen Vergleich mit einem Wert (der in der vorliegenden Ausführungsform auch als ein Schwellenwert oder eingestellter Wert bezeichnet werden kann) durchzuführen, der entsprechend eingestellt ist, um festzustellen, ob das Phänomen aufgetreten ist oder nicht. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung dadurch durchführen kann, dass eine Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Wenn zum Beispiel die Temperaturanstiegsrate überwacht wird und es sich herausstellt, dass sie höher als ein Schwellenwert ist, ist es möglich zu bestimmen, dass die Temperatur großenteils aufgrund des Einmischens von Bläschen in das Verarbeitungs-Zielmaterials erhöht wird, und eine Aktion, wie zum Beispiel das Ausgeben eines Alarms aus der Ausgabeeinheit 12, durchzuführen.
Es wird darauf hingewiesen, dass die Temperaturanstiegsrate berechnet werden kann, indem eine durchschnittliche Temperaturanstiegsrate in einem vorbestimmten Zeitraum bestimmt wird (zum Beispiel die Steigung einer linearen Näherungsformel einer Korrelation zwischen der Zeit und dem Temperaturmesswert in den letzten 5 Sekunden). Der Schwellenwert kann mit einer Marge eingestellt werden, die auf einer Temperaturanstiegsrate basiert, die zum Beispiel aus 4 erhalten wurde.
Wenn außerdem die Temperaturanstiegsrate überwacht wird und es sich herausstellt, dass sie kleiner oder gleich dem Schwellenwert ist, ist es möglich, den Temperaturmesswert kontinuierlich bis zum Ende der Rührentgasungsverarbeitung zu beschaffen und eine Aktion durchzuführen, indem der normale Abschluss der Verarbeitung in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wird.
Es wird darauf hingewiesen, dass bei einer Steuerung der Rührentgasungsverarbeitung unter der Verwendung von Temperaturmesswerten, d.h. Ausgabewerten des Temperatursensors 3, und nicht der Zeit, die Steuerung auch auf Basis einer Änderung eines physischen Zustands durchgeführt werden kann.
Ferner kann der Grad der Gleichmäßigkeit der Viskosität erfasst werden, weshalb eine Anwendung auf eine gleichmäßige Schaumverarbeitung ebenfalls möglich ist. Wenn in diesem Fall festgestellt (erfasst) wird, dass sich die Temperaturanstiegsrate als ein Ergebnis der Einmischung von Bläschen vorübergehend erhöht hat (höher oder gleich einem ersten Schwellenwert geworden ist), und dann als ein Ergebnis einer gleichmäßigen Vermischung von Bläschen verringert hat (kleiner oder gleich einem zweiten Schwellenwert geworden ist), ist es möglich festzustellen, dass die gleichmäßige Schaumverarbeitung abgeschlossen ist, und eine Aktion durchzuführen, indem ein Bedienungsbefehl bestimmt wird, um der Rührentgasungsvorrichtung 100 zu befehlen, die Rührentgasungsverarbeitung zu stoppen, und den Bedienungsbefehl an die Rührentgasungsvorrichtung 100 auszugeben, oder indem in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wird, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal durchgeführt wurde. Wenn im Gegensatz dazu das spezifische Phänomen, bei dem sich die Temperaturanstiegsrate vorübergehend erhöht (höher oder gleich einem ersten Schwellenwert wird) und dann als ein Ergebnis dessen, dass Bläschen gleichmäßig vermischt sind, verringert (kleiner oder gleich dem zweiten Schwellenwert wird) nicht bestimmt (erfasst) wird, kann die Bestimmungseinheit 14 auch in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzeichnen, dass das spezifische Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist und in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten wurden, nicht erfasst werden konnte.
Es wird darauf hingewiesen, dass ähnliche Bestimmungen und Aktionen auch für eine gleichmäßige Emulgierungsverarbeitung durchgeführt werden können.
Die oben beschriebene Aktion wird in Zuordnung zu Kombinationen von Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen aufgezeichnet, zum Beispiel eine Kombination von „Silikon 300.000 mm²/s, Gesamtgewicht: 100 g“ und „Normaldruck, Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (rotiert in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)“ und eine Kombination von Silikon 300.000 mm²/s, Gesamtgewicht: 100 g“ und „Unterdruck (Solldruck: 0,1 kPa), Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (rotiert in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)“. Nachdem Analyseergebnisse und Aktionen, die den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen, in der Aufzeichnungseinheit 15 registriert wurden, kann das Zustandsüberwachungssystem 1 eine entsprechende Aktion gemäß einer zeitlichen Änderung in den Temperaturmesswerten durchführen, die in Echtzeit erfasst wurden, und einen Inhalt der Aktion, die in Zuordnung zu den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen registriert ist, zum Beispiel in der Massenproduktion von Produkten durchführen. Dasselbe gilt auch für die folgenden Fälle.
Wenn eine Bestimmung auf Basis von Bilddaten durchgeführt wird, wie anhand von 5 beschrieben, muss die Bedienperson immer Bilder prüfen und kurzfristig eine Aktion bestimmen, doch ist dies praktisch unmöglich.
Wenn, wie oben beschrieben, Temperaturmesswerte des Temperatursensors 3 verwendet werden, können quantitative Daten leicht erhalten werden und kann ein Inhalt einer registrierten Aktion automatisch ausgeführt werden.
Wenn, wie oben beschrieben, eine Analyse unter der Verwendung von Bilddaten in einer Entwicklungsstufe durchgeführt wird und ein Inhalt einer Aktion, die Temperaturmesswerten des Temperatursensors 3 entspricht, im Voraus registriert ist, kann die Aktion in einer Massenproduktionsstufe automatisch ausgeführt werden.
Außerdem kann eine Technologie eines Rührentgasungsverfahrens einfach als ein Ergebnis dessen von einer Entwicklungsabteilung auf eine Produktionsabteilung übertragen werden, dass der Inhalt der Aktion eingerichtet wird. Ferner werden als ein Ergebnis einer Aktion, die unter der Verwendung eines Computers ausgeführt wird, Variationen in der Bestimmung, die von Bedienpersonen abhängen, ausgeschlossen und kann die Qualität stabil aufrechterhalten und kontrolliert werden.
Informationen, die einen Inhalt einer von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben, können ebenfalls von der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden. Das heißt, dass es auch möglich ist, aus der Ausgabeeinheit 12 Informationen, die sich auf ein Bestimmungsergebnis über den Zustand oder den Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, beziehen, oder einen Inhalt einer Aktion auszugeben, die gemäß dem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist. Als ein Ergebnis hiervon kann, wenn die Bedienperson zum Beispiel von der Ausgabeeinheit 12 ausgegebene Informationen erhält, die Bedienperson Kenntnis von Informationen erhalten, wie zum Beispiel dem oben beschriebenen Bestimmungsergebnis oder dem Inhalt der Aktion.
In diesem Fall kann die Ausgabeeinheit 12 die Informationen unter der Verwendung von Audioinformationen oder textuellen Informationen, des Ein- oder Ausschaltens von Licht oder durch ein Blinken eines Lichts ausgeben. Es ist auch eine Konfiguration möglich, bei der die Ausgabeeinheit 12 die Informationen in einem Aufzeichnungsmedium aufzeichnet und die Bedienperson später auf die Informationen zugreift oder die Informationen über Kommunikationsmittel oder dergleichen empfängt.
Fall 2
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Mischung sphärischen Graphits (30 g) und IPA (10 g)
IPA (Isopropylalkohol) mit hoher Volatilität wurde als Lösungsmittel verwendet.
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Normaldruck und Unterdruck (Solldruck: 3 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)
(3) Analyseergebnis und Aktion
6 zeigt Änderungen in Temperaturmesswerten einer Probe (Probe A, dargestellt mit einer gestrichelten Linie in 6), die unter Normaldruck (Atmosphärendruck) einer Verarbeitung unterzogen wird, und einer Probe (Probe B, die in 6 mit einer durchgezogenen Linie dargestellt ist), die unter Unterdruck einer Verarbeitung unterzogen wurde, zum Vergleich. Eine strichpunktierte Linie P in 6 zeigt den Druck während der Verarbeitung.
In dem Fall der Probe B, die einer Verarbeitung unter Unterdruck unterzogen wurde, wurde um 25 Sekunden herum eine Spitze erkannt. Dies liegt daran, dass in dem IPA enthaltenes Gas als Bläschen gleichzeitig abgegeben wurde und die Fluidität stark variierte. Wenn Bläschen gleichzeitig erzeugt werden, expandiert das Volumen, schwillt eine Oberfläche des Verarbeitungs-Zielmaterials an, variiert der Abstand zum Temperatursensor 3 und variiert auch die Emissivität aufgrund der Bläschen. Der Temperatursensor 3 kann eine solche Änderung mit hoher Empfindlichkeit erfassen.
Dieses Ergebnis zeigt, dass, wenn unter Unterdruck eine Verarbeitung unter der Verwendung eines Lösungsmittels mit einer hohen Volatilität durchgeführt wird, der Zustand unmittelbar, nachdem die Verarbeitung gestartet wird, sich plötzlich ändert.
Hiernach wurde die Temperatur der Probe B niedriger als die Temperatur der Probe A aufgrund der Verdampfungswärme gehalten, und erhöhte sich die Temperaturanstiegsrate von der Zeit 150 Sekunden an. Dies liegt daran, dass zu der Zeit 150 Sekunden ein Beitrag von Reibungswärme, die durch Reibung zwischen sphärischen Graphitteilchen generiert wurde, sich als ein Ergebnis der Verdampfung von IPA erhöhte. Nachdem die Temperaturanstiegsrate mindestens ein eingestellter Wert wurde, wurde auch die Temperaturverringerungsrate mindestens ein eingestellter Wert.
Wie oben beschrieben, kann der Zustand oder der Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials, wie zum Beispiel ein Zustand, in dem Bläschen von dem Lösungsmittel erzeugt werden, oder ein Zustand, in dem das Lösungsmittel durch Verdampfung verschwindet (eine Situation, in der zwischen Feststoffen Reibung auftritt) aus einer Änderung in dem vom Temperatursensor 3 gemessenen Temperaturmesswert erkannt werden. Außerdem kann auch ein Zustand, in dem eine Verdampfungswärme generiert wird (ein Zustand einer Verdampfung des Lösungsmittels) mit einer verstrichenen Zeit erkannt werden. Wie oben beschrieben kann, wenn ein Ausmaß einer Änderungsrate des Ausgabewerts des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung eines Verarbeitungs-Zielmaterials mindestens einen eingestellten Wert erreicht hat, die Bestimmungseinheit 14 bestimmen, dass eine Verdampfung einer in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltenen Substanz stattgefunden hat. Es wird darauf hingewiesen, dass eine Verdampfung eine Verdunstung, die ein Phasenübergangsphänomen von einer flüssigen Phase in eine Gasphase ist, sowie Sublimation mit einschließt, die ein Phasenübergangsphänomen von einer festen Phase in eine Gasphase ist.
Es ist möglich, eine Zeit (oder einen Temperaturmesswert) auf Basis des oben beschriebenen Ergebnisses in der Aufzeichnungseinheit 15 als ein Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungen zu registrieren und durch Steuern der Rührentgasungsverarbeitung auf Basis der registrierten Zeit (oder des registrierten Temperaturmesswerts) eine Aktion durchzuführen. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 dadurch eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch Durchführen einer Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, durchführen kann. Zum Beispiel bestimmt die Bestimmungseinheit 14 einen Bedienungsbefehl, damit die Rührentgasungsvorrichtung 100 die Verarbeitung innerhalb einer Verarbeitungszeit von 150 Sekunden abschließt, und überträgt den Bedienungsbefehl von dem Transceiver 10 an die Rührentgasungsvorrichtung 100. In der Rührentgasungsvorrichtung 100 empfängt der Transceiver 34 den Bedienungsbefehl und steuert die Steuerungsvorrichtung 30 den Betrieb des Motors 104 und der Bremsvorrichtung 114 gemäß dem Bedienungsbefehl.
Außerdem kann die Bedeutung der Steuerung einer Gas-Auslassgeschwindigkeit (Druckabnahmegeschwindigkeit) aus den oben beschriebenen Änderungen im Temperaturmesswert verstanden werden. Die Gasauslassgeschwindigkeit kann durch Steuern der Drehzahl einer Vakuumpumpe, den Grad der Öffnung eines Ventils eines Lufteinlasses, der an einer Zwischenposition einer Auslassleitung vorgesehen ist, oder dergleichen eingestellt werden.
Wie oben beschrieben, ist es auch möglich, dadurch eine Aktion durchzuführen, dass ein Bedienungsbefehl bestimmt wird, damit die Rührentgasungsvorrichtung 100 die Gasauslassgeschwindigkeit eines (nicht dargestellten) Gasauslasssystems der Rührentgasungsvorrichtung 100 gemäß Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen steuert, und dadurch, dass der Bedienungsbefehl an die Rührentgasungsvorrichtung 100 ausgegeben wird.
Wenn die Spitze um 25 Sekunden herum nicht erfasst wird und die Temperaturanstiegsrate sich danach in der unter Unterdruck durchgeführten Verarbeitung nicht ändert, ist es auch möglich, eine Aktion dahingehend durchzuführen, dass in der Aufzeichnungseinheit 15 eine Historie aufgezeichnet wird, die angibt, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal durchgeführt wurde.
Wie oben beschrieben, ist es, wenn der Temperatursensor 3 verwendet wird, über ein einziges Experiment möglich, Zeiten zu erfassen, die Änderungspunkten des Zustands des Verarbeitungs-Zielmaterials entsprechen, und die Zeiten zu messen, die den Änderungspunkten entsprechen.
In herkömmlichen Verfahren werden neun Proben alle 20 Sekunden innerhalb eines Bereichs von 20 Sekunden bis 180 Sekunden präpariert, und auf Basis von Ergebnissen einer an den Proben durchgeführten Verarbeitung wird davon ausgegangen, dass sich der Zustand innerhalb eines Bereichs von 20 Sekunden bis 40 Sekunden und innerhalb eines Bereichs von 140 Sekunden bis 160 Sekunden ändert.
Das heißt, wenn das Zustandsüberwachungssystem 1 gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird, dass die Anzahl von Proben auf ein Neuntel verringert werden kann und die Zeiten präziser identifiziert werden können, weshalb Entwicklungskosten und Entwicklungszeiten in der Entwicklungsphase weiter verringert werden können.
Ferner können ähnlich wie bei dem oben beschriebenen Fall 1 Informationen, die einen Inhalt einer von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben, auch von der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden. Das heißt, dass es auch möglich ist, aus der Ausgabeeinheit 12 Informationen, die sich auf ein Bestimmungsergebnis hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, oder einen Inhalt einer Aktion, die gemäß dem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, auszugeben.
Fall 3
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Knochenleim 40 g + Wasser 40 g
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Unterdruck (Solldruck: 5 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1; Rotationsdrehzahl: 297 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung) (sekundäres Rühren)
(3) Analyseergebnis und Aktion
7 zeigt Änderungen im Temperaturmesswert einer Probe (Probe A, die in 7 mit einer durchgezogenen Linie gezeigt ist), die einer Verarbeitung unter Unterdruck unterzogen wird. Eine strichpunktierte Linie P in 7 zeigt den Druck während der Verarbeitung.
Es wird darauf hingewiesen, dass diese Probe im Voraus durch ein primäres Rühren (das unter Normaldruck, Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegengesetzt der Umlaufrichtung) durchgeführt wurde) emulgiert wurde.
7 zeigt, dass der Temperaturmesswert von einer Zeit unmittelbar nach dem Start der Verarbeitung bis ungefähr 30 Sekunden nach oben und nach unten fluktuierte. Außerdem wird um 140 Sekunden herum ein Änderungspunkt (eine Verringerung um ungefähr 3°C) im Temperaturmesswert beobachtet.
Es wird nicht nur ein zeitlicher Verlauf des Temperaturmesswerts, sondern auch eine Zeit, die dem oben beschriebenen Änderungspunkt entspricht, als Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in der Aufzeichnungseinheit 15 registriert.
Die 8(a) und 8(b) zeigen Oberflächenfotografien der Probe, die mittels Stroboskopfotografie aufgenommen wurden, als die Zeit 30 Sekunden bzw. 140 Sekunden war.
Aus 8(a) lässt sich lesen, dass, als die Zeit 30 Sekunden war, ein Teil der Probe an einer Wandungsoberfläche des Behälters 20 klebte. Das heißt, dass geschlossen werden kann, dass ein starkes Stoßen erfolgte als Ergebnis der Durchführung einer sekundären Rührung unter Unterdruck an der Probe, wobei ein großes Volumen von Blasen durch das primäre Rühren eingemischt wurde.
Es ist zu erkennen, dass um 30 Sekunden herum von dem Temperatursensor 3 ein Strahlungslicht, das von dem Leim und dem Behälter 20 abgestrahlt wurde, erfasst wurde, die unterschiedliche Emissivitäten haben, und ferner ein Zustand erfasst wurde, in dem die Emissivität des Leims unter dem Einfluss von Blasen variierte, und von dem Leim abgestrahltes Strahlungslicht variierte.
Die oben beschriebene Fluktuation des Temperaturmesswerts zeigt an, dass der Temperatursensor 3 die Fähigkeit hat, eine große Variation im Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials zu erfassen. Diese Fähigkeit erwächst aus einer Charakteristik des Temperatursensors 3, der dazu fähig ist, eine Differenz (Variation) eines physischen Eigenschaftswerts, d.h. der Emissivität, jeder Substanz als eine Differenz (Variation) der Intensität des Strahlungslichts zu erfassen. Außerdem hat der Temperatursensor 3 eine hohe Reaktionsfähigkeit und kann daher mit großer Sensibilität einen Zustandsverlauf in so einer kurzen Zeit erfassen.
Aus 8(b) kann erkannt werden, dass bei der Zeit 140 Sekunden von der Nachbarschaft einer Position, an der der Behälter 20 mit der Probe in Kontakt war, eine Gelbildung ausging.
Deshalb wird davon ausgegangen, dass ein Änderungspunkt in dem Temperaturmesswert um 140 Sekunden herum einen Zustand oder einen Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials widerspiegelt, bei dem die Fluidität des Verarbeitungs-Zielmaterials durch das Fortschreiten der Gelbildung verringert war, die Generierung von Reibungswärme als ein Ergebnis einer Verringerung der Scherbelastung verringert war und die Temperatur aufgrund der Generierung von Verdampfungswärme verringert war. Deshalb kann die Bestimmungseinheit 14 eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch Bestimmen des Zustands oder Zustandsverlaufs gemäß einem spezifischen Phänomen durchführen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Aus dem oben beschriebenen Ergebnis kann ersehen werden, dass die Druckabnahmegeschwindigkeit (die Geschwindigkeit des Gasauslasses, der unter der Verwendung einer Vakuumpumpe durchgeführt wurde) optimiert werden muss, um ein Stoßen zu verhindern, wenn die Druckabnahme beginnt. Die Druckabnahmegeschwindigkeit kann unter der Verwendung eines Variationsausmaßes des Temperaturmesswerts zum Beispiel einer Differenz zwischen einem lokalen Maximalwert und einem lokalen Minimalwert als ein Parameter optimiert werden. Dies ermöglicht eine Bestimmung von Bedingungen der Druckabnahmegeschwindigkeit und vermeidet eine Situation, in der die Druckabnahmegeschwindigkeit übertrieben abnimmt und die Verarbeitungszeit unnötig verlängert wird.
Wenn außerdem das oben beschriebene Variationsausmaß einen vorbestimmten Schwellenwert bei der Verarbeitung des Verarbeitungs-Zielmaterials überschritten hat, ist es möglich festzustellen, dass ein Stoßen aufgetreten ist, und eine Aktion durchzuführen, indem ein Alarm ausgegeben wird, oder in der Aufzeichnungseinheit 15 eine Historie aufgenommen wird, die angibt, dass die Rührentgasungsverarbeitung nicht normal ausgeführt wurde. Wenn das Variationsausmaß kleiner oder gleich dem Schwellenwert war, ist es möglich, eine Aktion nach Abschluss der Rührentgasungsverarbeitung durchzuführen, indem ein normaler Abschluss der Rührentgasungsverarbeitung angezeigt wird oder in der Aufzeichnungseinheit 15 eine Historie aufgezeichnet wird, die angibt, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal ausgeführt wurde. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführen kann, indem eine Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Ferner kann die Zeit, die zum Auftreten der Gelbildung benötigt wird, bekannt sein, und deshalb kann die Verarbeitungszeit auf eine kürzere Zeit als die Zeit eingestellt werden, die zum Auftreten der Gelbildung benötigt wird. Wenn zum Beispiel die Bedienperson eine Zeit, die länger als die Zeit ist, die zum Auftreten der Gelbildung benötigt wird, als eine Verarbeitungsbedingung eingestellt hat, ist es ebenfalls möglich, eine Aktion durch Ausgeben eines Alarms aus der Ausgabeeinheit 12 durchzuführen.
Wenn ein Änderungspunkt des Temperaturmesswerts (eine Verringerung des Temperaturmesswerts) erfasst wird, ist es auch möglich festzustellen, dass die Gelbildung aufgetreten ist und einen Alarm auszugeben oder einen Alarm als Historie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen.
Außerdem ist es möglich, eine Aktion durchzuführen, indem eine Losnummer eines Produkts in Zuordnung zu einer Verarbeitungshistorie (Temperaturmesswert, Anwesenheit oder Abwesenheit eines Alarms) in einer Aufzeichnungsvorrichtung registriert wird, um eine Qualitätskontrolle zu ermöglichen. Eine solche Qualitätskontrolle, die unter der Verwendung einer Losnummer eines Produkts und einer Verarbeitungshistorie durchgeführt wird, kann auch in anderen Fällen durchgeführt werden.
Ferner können ähnlich wie bei den oben beschriebenen Fällen Informationen, die einen Inhalt der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführt wird, angeben, ebenfalls aus der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden. Das heißt, dass es auch möglich ist, aus der Ausgabeeinheit 12 Informationen, die sich auf ein Bestimmungsergebnis hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, oder einen Inhalt einer Aktion, die gemäß dem spezifischen Phänomen durchgeführt wurde, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, auszugeben.
Fall 4
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Epoxidharz Hauptmittel 100 g + Härtungsmittel 20 g
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Unterdruck (Solldruck: 0,1 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)
(3) Analyseergebnis und Aktion
9 zeigt einen zeitlichen Verlauf des Temperaturmesswerts dieser Probe. Es ist ersichtlich, dass der Temperaturmesswert sich allmählich und nichtlinear bis 150 Sekunden erhöhte, von um 150 Sekunden herum bis um 450 Sekunden herum linear anstieg und sich danach nichtlinear und schnell erhöhte.
Nicht nur der zeitliche Verlauf des Temperaturmesswerts, sondern auch Zeiten, zu denen sich die Temperaturanstiegsrate änderte und die Anstiegsrate des Temperaturmesswerts können als ein Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in der Aufzeichnungseinheit 15 registriert werden.
Ein solches Verhalten des Temperaturmesswerts wurde als ein Ergebnis dessen verursacht, dass die Temperatur während des Rührens erhöht wurde, eine chemische Reaktion (Vernetzungsreaktion) von Epoxidharz von ungefähr 75°C an aktiviert wurde, und die Temperatur aufgrund der Wärme der Reaktion schnell erhöht wurde. Ferner wird davon ausgegangen, dass der Temperaturmesswert erhöht war, weil die Viskosität des Epoxidharzes als ein Ergebnis dessen ungleichmäßig wurde, dass sie in einem Bereich erhöht wurde, in dem die Vernetzung des Epoxidharzes fortschritt, und Reibungswärme aufgrund von Scherbelastungen erhöht war.
Es wird darauf hingewiesen, dass die Reibungswärme tendenziell abnimmt, wenn die Vernetzungsreaktion endet und das Epoxidharz verfestigt ist, auch wenn dies in 9 nicht gezeigt ist.
Wie oben beschrieben, kann eine Zeit (oder eine Temperatur), zu der die Vernetzungsreaktion eines Harzes beginnt, einfach auf Basis eines Änderungspunkts in dem Temperaturmesswert durch eine einmal durchgeführte Messung gemessen werden, selbst wenn das Harz ein neuartiges Harz ist. Das bedeutet, dass behauptet werden kann, dass der Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials aus dem Temperaturmesswert bestimmt werden kann. Deshalb kann die Bestimmungseinheit 14 dadurch eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführen, dass der Zustand oder Zustandsverlauf gemäß einem spezifischen Phänomen bestimmt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist. Demgemäß ist es möglich, eine Obergrenze einer Rührverarbeitungszeit (Temperatur) gemäß dem Harz zu registrieren und die Verarbeitungszeit auf nicht länger als die Obergrenze einzustellen.
Wenn der Temperaturmesswert bei der Verarbeitung des Harzes einen oberen Grenzwert überschritten hat, kann die Analyseeinheit 9 des Zustandsüberwachungssystems 1 eine Aktion durch Ausgeben eines Alarms und Aufzeichnen des Auftretens eines Alarms als eine Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 durchführen, und wenn der Temperaturmesswert kleiner oder gleich dem oberen Grenzwert war, kann die Analyseeinheit 9 des Zustandsüberwachungssystems 1 eine Aktion durch Aufzeichnen einer Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 durchführen, die anzeigt, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal ausgeführt wurde. Wenn der Temperaturmesswert den oberen Grenzwert überschritten hat, ist es auch möglich, eine Aktion durch Bestimmen eines Bedienungsbefehls durchzuführen, sodass die Rührentgasungsvorrichtung 100 das Verarbeiten einstellt, und der Bedienungsbefehl an die Rührentgasungsvorrichtung 100 ausgegeben wird. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 dadurch eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung veranlassen kann, dass eine Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Ferner können ähnlich zu den oben beschriebenen Fällen Informationen, die einen Inhalt der von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben, auch von der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden. Das heißt, dass es auch möglich ist, aus der Ausgabeeinheit 12 Informationen, die sich auf ein Bestimmungsergebnis hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, oder einen Inhalt einer Aktion, die gemäß dem spezifischen Phänomen durchgeführt wurde, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, auszugeben.
Fall 5
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Aluminiumoxid 70 g + Silikon 10.000 mm²/s 30 g, Gesamtgewicht: 100 g
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Unterdruck (Solldruck: 0,1 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)
(3) Analyseergebnis und Aktion
10 zeigt einen zeitlichen Verlauf des Temperaturmesswerts für diese Probe und diesen Druck.
Der Temperaturmesswert wurde nach dem Start der Verarbeitung nichtlinear erhöht, hatte einen Änderungspunkt um 44 Sekunden herum, wurde danach im Wesentlichen linearer bis 100 Sekunden erhöht und erhöhte sich dann, während die Anstiegsrate allmählich sank. Nicht nur der zeitliche Verlauf des Temperaturmesswerts, sondern auch eine Zeit, die dem Änderungspunkt entsprach, und die Anstiegsrate des Temperaturmesswerts werden als Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in der Aufzeichnungseinheit 15 registriert.
Die 11(a), 11 (b) und 11 (c) zeigen Oberflächenfotografien der Probe, die über Stroboskopfotografie vor der Verarbeitung, als die Zeit 40 Sekunden war und als die Zeit 60 Sekunden war, aufgenommen wurden. Es ist ersichtlich, dass sich bei der Zeit 40 Sekunden mindestens an der Oberfläche Klumpen bildeten und das Verarbeitungs-Zielmaterial nicht gleichmäßig vermischt war. Auf der anderen Seite ist ersichtlich, dass bei der Zeit 60 Sekunden ein gleichmäßig gemischter Schlamm, der keine Klumpen enthielt, erhalten wurde.
In einem Bereich, der in einem nicht gleichmäßigen Zustand ist, ist die Fluidität gestört, wird Scherbelastung generiert und ist die Reibungswärme erhöht, weshalb die Anstiegsrate des Temperaturmesswerts groß wird, und wenn das Verarbeitungs-Zielmaterial danach gleichmäßig vermischt ist, erhöht sich der Temperaturmesswert entlang einer sanften Kurve. Wie oben beschrieben, kann behauptet werden, dass der Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials aus dem Temperaturmesswert bestimmt werden kann. Deshalb kann die Bestimmungseinheit 14 dadurch eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführen, dass der Zustand oder Zustandsverlauf gemäß einem spezifischen Phänomen bestimmt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Zum Erhalten eines homogenen Schlamms aus Aluminiumoxid und Silikon muss das Rühren mindestens über eine Zeit durchgeführt werden, während der solche Klumpen generiert werden. Ein homogener Schlamm wird durch eine Aktion erhalten, die dadurch durchgeführt wird, dass eine Zeit registriert wird, mit der der Zustand des Rührens schlecht wird, auf Basis des Verlaufs des Temperaturmesswerts, und durch Einstellen der Verarbeitungszeit auf nicht kürzer als diese Zeit. Das heißt, dass die Mindestverarbeitungszeit bestimmt werden kann. Zum Beispiel ist es auch möglich, eine Verarbeitungsbedingung zum Durchführen einer Aktion einzustellen (d.h. die Bestimmung eines Bedienungsbefehls für die Rührentgasungsvorrichtung 100) zum weiteren Durchführen einer Verarbeitung über 50 Sekunden, nachdem der oben beschriebene Änderungspunkt erfasst wird. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 so eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführen kann, dass eine Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen durchgeführt wird, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Wenn eine Zeit, die den oben beschriebenen Änderungspunkten entspricht, länger als ein Schwellenwert, zum Beispiel 60 Sekunden, ist, der im Voraus eingestellt wird, ist es auch möglich festzustellen, dass ein Zustand, in dem Klumpen generiert werden, über eine Zeit angedauert hat, die größer oder gleich einer zugelassenen Zeit ist, einen Alarm auszugeben und einen Alarm als Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen.
Es ist auch möglich, einen Schwellenwert (zum Beispiel den größten Wert der tatsächlichen Werte) auf Basis tatsächlicher Werte des Variationsausmaßes des Temperaturmesswerts einzustellen und eine Aktion durch Ausgeben eines Alarms durchzuführen, wenn das Variationsausmaß des Temperaturmesswerts den Schwellenwert bei der Verarbeitung eines Loses von Produkten überschritten hat, oder dass die Rührentgasungsverarbeitung normal durchgeführt wurde, als eine Losverarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen, wenn das Variationsausmaß kleiner als der Schwellenwert ist.
Es wird darauf hingewiesen, dass das Variationsausmaß des Temperaturmesswerts unter der Verwendung eines Variationsausmaßes an einem Änderungspunkt des Temperaturmesswerts zum Beispiel um 44 Sekunden herum evaluiert wird und auf Basis einer Differenz zwischen dem größten Temperaturmesswert und dem kleinsten Temperaturmesswert zum Beispiel innerhalb eines Bereichs von 30 Sekunden bis 60 Sekunden einfach bestimmt werden kann.
Ferner können ähnlich wie bei den oben beschriebenen Fällen Informationen, die einen Inhalt einer von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben, auch von der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden. Das heißt, dass es auch möglich ist, aus der Ausgabeeinheit 12 Informationen, die sich auf ein Bestimmungsergebnis hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, oder einen Inhalt einer Aktion, die gemäß dem spezifischen Phänomen durchgeführt wurde, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 aufgetreten ist, auszugeben.
Fall 6
(1) Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen
Probe A: Aluminiumoxid 70 g + Silikon 10.000 mm²/s 30 g
Probe B: Aluminiumoxid 30 g + Silikon 10.000 mm²/s 70 g
(2) Verarbeitungsbedingungsinformationen
Unterdruck (Solldruck: 0,1 kPa)
Umlaufdrehzahl: 1340 min^-1, Rotationsdrehzahl: 1340 min^-1 (gedreht in der Richtung entgegen der Umlaufrichtung)
(3) Analyseergebnis und Aktion
12 zeigt einen zeitlichen Verlauf des Temperaturmesswerts der Proben A und B. Das Mischungsverhältnis von Aluminiumoxid in der Probe A ist höher als das in der Probe B, und es ist ersichtlich, dass die Anstiegsrate des Temperaturmesswerts aufgrund der Differenz in dem Mischungsverhältnis des Materials variiert. Zum Beispiel wird bei 55 Sekunden in dem Temperaturmesswert der Probe A eine Spitze beobachtet, doch wird diese Spitze in dem Temperaturmesswert der Probe B nicht beobachtet, und es ist ersichtlich, dass der zeitliche Verlauf des Temperaturmesswerts gemäß dem Mischungsverhältnis des Aluminiumoxids variiert.
Es können nicht nur der zeitliche Verlauf des Temperaturmesswerts, sondern auch Spitzenwerte (eine Zeit und einen Temperaturmesswert) als Teil von Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen beziehen, in der Aufzeichnungseinheit 15 registriert werden.
Es wird angenommen, dass die Spitze als ein Ergebnis dessen, dass das Mischungsverhältnis von Aluminiumoxid in der Probe A hoch war und sich ähnlich wie im Fall 5 Klumpen bildeten, doch wurde die Bildung von Klumpen in der Probe B unterdrückt, in der das Mischungsverhältnis von Aluminiumoxid niedrig war.
Außerdem hatte die Probe A, die eine größere Menge von Aluminiumoxid enthielt, höhere Temperaturmesswerte, und daraus kann ersehen werden, dass je höher das Mischungsverhältnis von Aluminium desto größer die Generation von Wärme durch Reibung ist.
Wie oben beschrieben, kann eine Differenz im Mischungsverhältnis von Aluminiumoxid aus dem zeitlichen Verlauf der Temperaturmesswerte erfasst werden. Das heißt, wenn eine zeitliche Änderung in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wird, dass die Bestimmungseinheit 14 eine Ähnlichkeit zwischen der zeitlichen Änderung in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist und die während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und eine zeitliche Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, feststellen kann.
Wenn ferner der Temperaturmesswert überwacht wird, ist es möglich, einen Fehler im Mischungsverhältnis des Materials zu erfassen und eine Aktion zum Beispiel durch Anzeigen eines Alarms durchzuführen.
Das heißt, dass die Analyseeinheit 9 durch Aufzeichnen der Anwesenheit oder Abwesenheit eines Änderungspunkts des Temperaturmesswerts und der Anstiegsrate des Temperaturmesswerts zu einer spezifischen Zeit, zum Beispiel bei 80 Sekunden, in Zuordnung zu einer Losnummer eines Produkts durchführt, um eine Qualitätskontrolle zu ermöglichen.
Es wird darauf hingewiesen, dass die spezifische Zeit so eingestellt werden kann, dass sie länger als eine Zeit (55 Sekunden) ist, die einem Änderungspunkt entspricht, der in einer Datenbank in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen registriert ist.
Ferner können auch Informationen, die das Ergebnis einer von der Bestimmungseinheit 14 bestimmten Ähnlichkeit angeben, von der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden.
Andere
Wenn, wie in 2 gezeigt, die Rührentgasungsvorrichtung 100 Behälter 20 aufweist, ist es auch möglich, einen zeitlichen Verlauf von Temperaturmesswerten der entsprechenden Behälter zu vergleichen, die Anwesenheit oder Abwesenheit einer Abweichung voneinander zu bestimmen und eine registrierte Aktion durchzuführen.
Wenn zum Beispiel Proben derselben Konfiguration, zum Beispiel Proben, die aus Silikon und Aluminiumoxid bestehen und dasselbe Mischungsverhältnis aufweisen, als Verarbeitungs-Zielmaterialien zur gleichen Zeit in verschiedenen Behältern 20 der Rührentgasungsvorrichtung 100 bearbeitet werden, ist es möglich, eine Differenz zwischen Temperaturmesswerten der jeweiligen Proben in Echtzeit zu überwachen, und wenn die Differenz größer als ein vorbestimmter Schwellenwert ist, eine Aktion dadurch durchzuführen, dass ein Alarm ausgegeben wird und Alarminformationen zusammen mit Temperaturmesswerten als eine Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet werden, und wenn die Differenz nicht größer als der vorbestimmte Schwellenwert ist, eine Aktion dadurch durchzuführen, dass der normale Abschluss als Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wird.
Ebenfalls ist es möglich, eine Referenzprobe, zum Beispiel eine Probe, die aus Silikon besteht und kein Aluminiumoxid enthält, in einen Behälter 20 zu geben, eine Auswertungsprobe einer anderen Konfiguration, zum Beispiel einer Probe, die aus Silikon besteht und Aluminiumoxid in einem vorbestimmten Mischungsverhältnis enthält, in einen anderen Behälter 20 zu geben, an diesen Proben zur gleichen Zeit unter der Verwendung der Rührentgasungsvorrichtung 100 eine Verarbeitung durchzuführen, Temperaturen der jeweiligen Proben zu messen, zeitliche Änderungen in den Temperaturmesswerten der jeweiligen Proben und eine Differenz der Auswertungsprobe gegenüber der Referenzprobe als eine Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen, und wenn die Differenz einen vorbestimmten Schwellenwert überschritten hat, eine Aktion dadurch durchzuführen, dass ein Alarm ausgegeben wird und Temperaturmesswerte zusammen mit Alarminformationen als eine Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet werden, und wenn die Differenz nicht größer als der vorbestimmte Schwellenwert war, eine Aktion dadurch durchzuführen, dass der normale Abschluss als Verarbeitungshistorie in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet wird.
Wenn eine Probe, die keinen Änderungspunkt des Temperaturmesswerts hat, als die Referenzprobe verwendet wird und eine Differenz zwischen der Referenzprobe und der Auswertungsprobe erfasst wird, kann ein Änderungspunkt des Temperaturmesswerts einfacher erfasst werden.
In diesem Fall können Informationen, die sich auf Fälle beziehen, in denen die Verarbeitung in Behältern 20 durchgeführt wird, als Informationen registriert werden, die Analyseergebnisse und Aktionen betreffen, und können die oben beschriebenen Aktionen in dem Fall, in dem Verarbeitungs-Zielmaterialien dieselben sind, und dem Fall, in dem die Verarbeitungs-Zielmaterialien unterschiedlich sind, registriert werden. Die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 kann bestimmen, ob eine Verarbeitung an den Verarbeitungs-Zielmaterialien durchgeführt wird oder nicht, und eine Aktion für den Fall eines einzigen Verarbeitungs-Zielmaterials, eine Aktion für den Fall von Verarbeitungs-Zielmaterialien oder eine Aktion für beide Fälle durchführen, und die Bedienperson kann eine Aktion vor dem Starten der Verarbeitung auswählen und die Steuerungseinheit 11 anweisen, die ausgewählte Aktion durchzuführen.
Wenn zur gleichen Zeit verarbeitete Verarbeitungs-Zielmaterialien verglichen werden, kann die Qualität der Verarbeitungs-Zielmaterialien kontrolliert werden, ohne dass sich eine Variation in Verarbeitungsbedingungen auf sie auswirkt.
Automatische Erfassung des Änderungspunkts
Temperaturmesswerte sind quantitative Daten, weshalb ein Änderungspunkt automatisch erfasst werden kann, wenn Temperaturmesswerte in Echtzeit überwacht werden, und das beste Verfahren für die automatische Erfassung kann gemäß Verarbeitungsbedingungsinformationen ausgewählt werden.
Zum Beispiel kann eine durchschnittliche Anstiegsrate des Temperaturmesswerts aus dem zeitlichen Verlauf mehrerer Temperaturmesswerte bestimmt werden, die in der Vergangenheit gemessen wurden, und kann eine Zeit, zu der das Variationsausmaß der Anstiegsrate größer als ein Schwellenwert wird, als ein Änderungspunkt angesehen werden. Beispiele anderer Verfahren sind die folgenden.
(i) Ein Durchschnittswert des Differenzials (der Differenz) zwischen mehreren (mindestens 3) Temperaturmesswerten, die in der Vergangenheit gemessen wurden, unter Temperaturmesswerten, die schon von dem Temperatursensor 3 beschafft wurden, wird berechnet, eine Steigung wird bestimmt, und eine Bestimmung wird auf Basis einer Änderung in der Steigung durchgeführt.
(ii) Eine annähernd gerade Linie von mehreren (mindestens 3) Temperaturmesswerten, die in der Vergangenheit gemessen wurden, wird unter der Verwendung der Methode der kleinsten Quadrate berechnet, eine Steigung wird bestimmt, und es wird eine Bestimmung auf Basis einer Änderung in der Steigung durchgeführt.
(iii) Eine Fläche einer Differenz aus einer asymptotischen geraden Linie wird als der Fall mit I in einer PID-Regelung berechnet, und es wird eine Bestimmung auf Basis einer Änderung in der Fläche durchgeführt.
(iv) Auf Basis einer Änderung in dem Abstand von einem Punkt zum nächsten Punkt wird eine Bestimmung unter der Verwendung eines Lorenz-Plots durchgeführt, der für ein chaotisches System verwendet wird.
Verwendung des Zustandsüberwachungssystems 1
Wie oben beschrieben, wurde offengelegt, dass der zeitliche Verlauf des Temperaturmesswerts einen Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials widerspiegelt und von Materialien des Verarbeitungs-Zielmaterials und dem Mischungsverhältnis der Materialien abhängt.
Deshalb kann das Zustandsüberwachungssystem 1 Informationen hinsichtlich des zeitlichen Verlaufs des Temperaturmesswerts gemäß Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen beschaffen und die beschafften Informationen in der Entwicklung und Produktion (Massenproduktion) von Produkten wirksam einsetzen.
(1) Produkt Entwicklungsstufe
In einer Produktentwicklungsstufe und einer Optimierungsstufe zum Bestimmen von Rührentgasungsverarbeitungsbedingungen kann das Zustandsüberwachungssystem 1 in den folgenden Schritten eingesetzt werden.
Schritt S1: Aufzeichnen von Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen
Die Bedienungseinheit 13 der Analyseeinheit 9 beschafft Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die durch die Bedienperson zum Beispiel an einem Eingabeendgerät eingegeben werden, und die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 zeichnet die beschafften Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen in der Aufzeichnungseinheit 15 auf (registriert sie).
Es wird darauf hingewiesen, dass, wenn die Rührentgasungsverarbeitung unter denselben Verarbeitungsbedingungen an demselben Verarbeitungs-Zielmaterial durchgeführt wird, die Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen nicht notwendigerweise in der Verarbeitungseinheit 15 aufgezeichnet (registriert) werden müssen.
Schritt S2: Übertragen des Messbefehls
Die Bedienperson weist die Rührentgasungsvorrichtung 100 an, mit der Rührentgasungsverarbeitung zu beginnen, und weist das Zustandsüberwachungssystem 1 an, mit der Temperaturmessung zu beginnen, und zwar über die Bedienungseinheit 13. Nach Erhalt des Befehls zum Start der Temperaturmessung überträgt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 einen Messbefehl an die Sensoreinheit 2 über den Transceiver 10 nach dem Befehl, die Temperaturmessung zu starten.
Der Befehl zum Starten der Temperaturmessung kann nicht nur einen Zeitpunkt festlegen, zu dem die Temperaturmessung gestartet wird, sondern auch die Frequenz der Messung und einen Messzeitraum.
Zu dieser Zeit überträgt die Analyseeinheit 9 den Befehl zum Starten der Temperaturmessung an die Sensoreinheit 2 gemäß bekannten Kommunikationsstandards, wie zum Beispiel den oben beschriebenen Kommunikationsstandards, wenn jedoch Behälter 20 und Sensoreinheiten 2 vorhanden sind, ist es auch möglich, den Befehl zum Starten der Temperaturmessung zusammen mit Identifikationsnummern zum Identifizieren der jeweiligen Sensoreinheiten 2 zum Messen der Temperatur unter verschiedenen Messbedingungen, zum Beispiel mit unterschiedlichen Frequenzen, in den jeweiligen Behältern 20 zu übertragen.
Es wird darauf hingewiesen, dass auch eine Konfiguration möglich ist, bei der das Zustandsüberwachungssystem 1 einen Befehl zum Starten der Rührentgasungsverarbeitung von der Bedienperson über die Rührentgasungsvorrichtung 100 erhält, oder im Gegenteil ein Befehl zum Starten der Rührentgasungsverarbeitung, der von der Bedienperson ausgegeben wird, von dem Zustandsüberwachungssystem 1 an die Rührentgasungsvorrichtung 100 ausgegeben wird.
Schritt S3: Ausführen der Temperaturmessung
Die Kommunikationseinheit 5 der Sensoreinheit 2 empfängt den Befehl zum Starten der Temperaturmessung von der Analyseeinheit 9 über den Transceiver 8, erhält Temperaturmesswerte von dem Temperatursensor 3 mit einer vorbestimmten Frequenz über einen vorbestimmten Zeitraum unter der Verwendung der Zeitmessfunktion der Takteinheit 7 und zeichnet die Temperaturmesswerte zusammen mit Messzeiten in der Aufzeichnungseinheit 6 auf (speichert sie).
Schritt S4: Aufzeichnen des Temperaturmesswerts
Die Sensoreinheit 2 überträgt die Temperaturmesswerte, die in der Aufzeichnungseinheit 6 aufgezeichnet wurden, über den Transceiver 8.
Es wird darauf hingewiesen, dass auch eine Konfiguration möglich ist, in der Temperaturmesswerte vorübergehend in der Aufzeichnungseinheit 6 der Sensoreinheit 2 aufgezeichnet werden und nach der Übertragung gelöscht werden.
Die Analyseeinheit 9 empfängt die Temperaturmesswerte über den Transceiver 10, und die Steuerungseinheit 11 zeichnet die Temperaturmesswerte und die Messzeiten in der Aufzeichnungseinheit 15 auf. Das heißt, dass die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen von Ausgabewerten des Temperatursensors 3 durchführt, die während der Rührentgasungsverarbeitung ausgegeben und vom Transceiver 10 empfangen werden. Zu dieser Zeit können die Temperaturmesswerte und die Messzeiten auch in der Aufzeichnungseinheit 15 in Zuordnung zu Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen aufgezeichnet werden, die mindestens eine aus schon aufgezeichneten Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und schon aufgezeichneten Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten.
Es wird darauf hingewiesen, dass bei einer Verarbeitung von in Behältern 20 enthaltenen Verarbeitungs-Zielmaterialien Informationen zum Identifizieren der in den jeweiligen Behältern 20 enthaltenen Verarbeitungs-Zielmaterialien, ferner den oben erwähnten Informationen zugeordnet und als eine Datenbank in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet (registriert) werden. Wenn zum Beispiel Behälter 20 jeweils eine Referenzprobe und eine Auswertungsprobe, Proben unterschiedlicher Zusammensetzung oder Proben derselben Konfiguration enthalten, können zur Auswertung der Reproduzierbarkeit Temperaturmesswerte aufgezeichnet werden können, während die Proben identifiziert werden.
In diesem Fall werden im Voraus auf den jeweiligen Behältern 20 installierten Sensoreinheiten 2 Identifikationsnummern (Identifikationsnamen) verliehen und werden die Identifikationsnummern in der Aufzeichnungseinheit 6 der Sensoreinheit 2 aufgezeichnet. Auf der anderen Seite werden die den Sensoreinheiten 2 verliehenen Identifikationsnummern in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 aufgezeichnet und können die den jeweiligen Sensoreinheiten 2 entsprechenden Temperaturmesswerte in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet werden. Auf diese Weise können Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen, Verarbeitungsbedingungsinformationen und Temperaturmesswerte in Zuordnung zueinander für jede der in den Behältern 20 enthaltenen Proben aufgezeichnet werden.
Schritt S5: Analyse
Die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 führt eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen eines spezifischen Phänomens, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 auftritt, die in der oben beschriebenen Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichnet wurden, und eines Inhalts einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15 durch. Alternativ dazu zeichnet die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 in der Informations-Aufzeichnungsverarbeitung ein spezifisches Phänomen, das in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 auftritt, die in der oben beschriebenen Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichnet wurden, einen Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, und Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus der Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15 auf.
Insbesondere kann als ein Ergebnis dessen, dass Temperaturmesswerte in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 in der Ausgabeeinheit 12 angezeigt werden, die Bedienperson Charakteristiken des Temperaturverlaufs der Temperaturmesswerte prüfen und analysieren, die den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen. Außerdem können Daten dieser Temperaturmesswerte als digitale Daten ausgegeben und unter der Verwendung eines externen Computers oder dergleichen analysiert werden. Im Folgenden werden spezifische Beispiele für Analyseverarbeitungen anhand der 13 bis 15 beschrieben.
Wie in den 13 bis 15 gezeigt, werden Kurvendarstellungen, die zeitliche Änderungen in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 zeigen, in der Ausgabeeinheit 12 dargestellt. Die Bedienperson wählt ein in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinendes spezifisches Phänomen unter der Verwendung der Bedienungseinheit 13 der Analyseeinheit 9 aus. Zum Beispiel wählt die Bedienperson einen Bereich, der einem „Phänomen 1“ entspricht, in 13 aus, wählt Bereiche, die einem „Phänomen 1“ und einem „Phänomen 2“ entsprechen, in 14 aus und wählt einen Bereich, der einem „Phänomen 1“ entspricht, in 15 aus. Nachdem Bereiche ausgewählt wurden, die diesen Phänomenen entsprechen, zeichnet die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 in der Aufzeichnungseinheit 15 die spezifischen Phänomene, die in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinen, innerhalb der von der Bedienperson ausgewählten Bereiche auf. Zum Beispiel zeichnet die Steuerungseinheit 11 ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheint, unter der Verwendung von Informationen aus numerischen Werten auf. Alternativ dazu zeichnet die Steuerungseinheit 11 ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheint, unter der Verwendung eines Kurvenmodells auf.
In einem Fall, in dem ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheint, unter der Verwendung von Informationen aus numerischen Werten aufgezeichnet wird, zeichnet die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 in der Aufzeichnungseinheit 15 eine zeitliche Änderung in den Ausgabewerten, die unter der Verwendung mindestens einer aus einer Anstiegsrate von Ausgabewerten des Temperatursensors 3, einer Verringerungsrate der Ausgabewerte, einer Änderung in der Anstiegsrate und einer Änderung in der Verringerungsrate, die in dem „Phänomen 1“ enthalten ist, identifiziert werden können, unter der Verwendung der Informationen aus numerischen Werten auf. Zum Beispiel kann in dem in 13 dargestellten Beispiel die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Informationen aufzeichnen, die anzeigen, dass „zwischen einem Punkt, an dem die Zeit 120 Sekunden war, und einem Punkt, an dem die Zeit 140 Sekunden war, es eine Änderung gegeben hat, in der die Zunahmerate in den letzten 5 Sekunden größer oder gleich einem vorbestimmten ersten Schwellenwert war, und danach kleiner oder gleich einem vorbestimmten zweiten Schwellenwert wurde“. In dem in 14 gezeigten Beispiel kann die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Informationen aufzeichnen, die angeben, dass „die Änderungsrate (Anstiegsrate) 3°C/s oder mehr ist“, und das „Phänomen 2“ unter der Verwendung von Informationen aufzeichnen, die angeben, dass „nach Übergang in einen Zustand, in dem eine durchschnittliche Temperatur in den letzten 10 Sekunden innerhalb eines Bereichs von 1,5°C oder weniger war, die Durchschnittstemperatur in den letzten 10 Sekunden abfiel und außerhalb eines Bereichs von 1,5°C war“. In dem in 15 gezeigten Beispiel kann die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Informationen aufzeichnen, die anzeigen, dass „sich die Anstiegsrate linear änderte und danach um mindestens einen eingestellten Wert anstieg“.
In einem Fall, in dem ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheint, unter der Verwendung eines Kurvenmodells aufgezeichnet wird, bestimmt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine angenäherte Kurve (Form einer Kurve) von Ausgabewerten des Temperatursensors 3, die einen Bereich einschließen, der einem ausgewählten Phänomen entspricht. Zum Beispiel kann in dem in 13 gezeigten Beispiel die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Forminformationen aufzeichnen, die ein „Kurvenmodell 1“ angeben. In dem in 14 gezeigten Beispiel kann die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Forminformationen aufzeichnen, die ein „Kurvenmodell 1“ angeben, und das „Phänomen 2“ unter der Verwendung von Forminformationen aufzeichnen, die ein „Kurvenmodell 2“ angeben. In dem in 15 gezeigten Beispiel kann die Steuerungseinheit 11 das „Phänomen 1“ unter der Verwendung von Forminformationen aufzeichnen, die ein „Kurvenmodell 1“ angeben.
Aufzeichnung eines Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomen
Die Bedienperson gibt einen Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomen unter der Verwendung der Bedienungseinheit 13 der Analyseeinheit 9 ein. Dann führt die Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen des in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomens, das in der oben beschriebenen Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichnet wurde, und des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem Phänomen in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15 durch. Zum Beispiel gibt in dem in 13 gezeigten Beispiel die Bedienperson Informationen ein, die angeben, dass „das Verarbeitungs-Zielmaterial von einem Zustand, in dem Bläschen nicht gleichmäßig verteilt waren, in einen Zustand überging, in dem Bläschen gleichmäßig verteilt waren“ als den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem „Phänomen 1“. Dann führt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung durch zum Aufzeichnen des „Phänomens 1“ und der Informationen, die sich auf den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, die von der Bedienperson kommend entgegengenommen werden, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15. In dem in 14 gezeigten Beispiel gibt die Bedienperson Informationen ein, die angeben, dass „das Verarbeitungs-Zielmaterial verdampfte“ als den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem „Phänomen 1“. Dann führt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung durch zum Aufzeichnen des „Phänomens 1“ und der Informationen, die sich auf den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, die von der Bedienperson kommend entgegengenommen werden, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15. Außerdem gibt die Bedienperson Informationen ein, die angeben, dass „eine Gelbildung aufhörte“, als den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem „Phänomen 2“. Dann führt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung durch zum Aufzeichnen des „Phänomens 2“ und der Informationen, die sich auf den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, die von der Bedienperson kommend entgegengenommen werden, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15. In dem in 15 gezeigten Beispiel gibt die Bedienperson Informationen ein, die angeben, dass „eine Vernetzungsreaktion aktiviert wurde“, als den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem „Phänomen 1“. Dann führt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung durch zum Aufzeichnen des „Phänomens 1“ und der Informationen, die sich auf den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, die von der Bedienperson kommend entgegengenommen werden, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15.
Es wird darauf hingewiesen, dass in der Informations-Aufzeichnungsverarbeitung die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 auch ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheint, die in einer Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichnet wurden, einen Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, und Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus der Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzeichnen kann.
Aufzeichnen einer Aktion gemäß einem in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomen
Die Bedienperson gibt eine Aktion gemäß dem in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomen durch Verwendung der Bedienungseinheit 3 der Analyseeinheit 9 ein, um die Aktion in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen. In diesem Fall führt die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen des in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 erscheinenden spezifischen Phänomens, der Aktion gemäß dem Phänomen und von Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit 15 durch. In einem Beispiel der Informations-Aufzeichnungsverarbeitung gibt die Bedienperson Analyseergebnisse, wie zum Beispiel Änderungspunkte und Aktionen, die den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen, in die Analyseeinheit 9 unter der Verwendung der Bedienungseinheit 13 der Analyseeinheit 9 ein. Die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 zeichnet in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 die Eingabe-Analyseergebnisse und Aktionen, wie zum Beispiel die Aufzeichnung von Änderungspunkten, das Einstellen von Schwellenwerten oder das Anzeigen eines Alarms, in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen auf (registriert sie).
Es wird darauf hingewiesen, dass eine Aktion gemäß den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen variiert, wie in den oben beschriebenen Fällen beschrieben. Deshalb kann das Zustandsüberwachungssystem 1 dazu gebracht werden, eine Lernfunktion zu haben, in der Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen, Verarbeitungsbedingungsinformationen und Informationen, die sich auf die Aktion beziehen, gesammelt werden können, wie oben beschrieben, und in der gesammelte Informationen unter der Verwendung einer Tabelle verwaltet werden.
(2) Produktverarbeitungsstufe
S1: Daten Lesen
Die Bedienperson gibt Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf eine Rührentgasungsverarbeitung beziehen, zum Beispiel Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen, enthalten, in das Zustandsüberwachungssystem 1 ein.
Das Zustandsüberwachungssystem 1 bestimmt die Anwesenheit oder Abwesenheit von Informationen über Analyseergebnisse und Aktionen des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials, die den eingegebenen Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen, durch Bezugnahme auf eine in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 gespeicherte Datenbank, und wenn die Datenbank Informationen hinsichtlich Analyseergebnissen und Aktionen oder des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials enthält, startet das Zustandsüberwachungssystem 1 das Messen der Temperatur, und wenn die Datenbank keine Informationen hinsichtlich Analyseergebnissen und Aktionen oder des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials enthält, kann das Zustandsüberwachungssystem 1 die Bedienperson über das Fehlen von Informationen hinsichtlich Analyseergebnissen und Aktionen oder des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials informieren, indem über die Ausgabeeinheit 12 eine Warnung ausgegeben wird und die Messung und die Rührentgasungsverarbeitung angehalten wird. Das heißt, dass die Bestimmungseinheit 14 eine Extraktionsverarbeitung zum Extrahieren von Informationen aus den in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichneten Informationen durchführt, die den Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen entsprechen, die mindestens eines aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, die vor der Ausführung der Rührentgasungsverarbeitung eingestellt werden.
Es wird darauf hingewiesen, dass in manchen Fällen die Bedienperson die Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen nicht in das Zustandsüberwachungssystem 1 einzugeben braucht. Wenn zum Beispiel die Bedienperson eine Rührentgasungsverarbeitung an Verarbeitungs-Zielmaterialien eines Typs jedes Mal unter denselben Verarbeitungsbedingungen durchführt, reicht es aus, in der Aufzeichnungseinheit 15 der Analyseeinheit 9 nur Informationen zu speichern, in denen ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, einem Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung zugeordnet wird, die von der Bestimmungseinheit 14 gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, weshalb keine Notwendigkeit besteht, die Informationen zusammen mit den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen in der Aufzeichnungseinheit 15 aufzuzeichnen. Deshalb wird in solch einem Fall die oben beschriebene Extraktionsverarbeitung nicht durchgeführt.
S2: Messung
Die Analyseeinheit 9 des Zustandsüberwachungssystems 1 überträgt einen Befehl an die Sensoreinheit 2. Die Sensoreinheit 2 überträgt Temperaturmesswerte des Verarbeitungs-Zielmaterials, die vom Temperatursensor 3 gemessen wurden, und Zeiten an die Analyseeinheit 9 mit einer vorbestimmten Frequenz über einen vorbestimmten Zeitraum zusammen mit einer Identifikationsnummer der Sensoreinheit 2, die auf dem Behälter 20 installiert ist.
S3: Ausführen der Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung
Die Analyseeinheit 9 des Zustandsüberwachungssystems 1 zeichnet Temperaturmesswerte und Zeiten auf, die von der Sensoreinheit 2 empfangen wurden.
Die Steuerungseinheit 11 der Analyseeinheit 9 liest Informationen betreffend Analyseergebnisse und Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials, die in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet (registriert) wurden und Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen. Die Bestimmungseinheit 14 bestimmt, ob es notwendig ist, eine Aktion durchzuführen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß den Temperaturmesswerten, Zeiten und den gelesenen Informationen, die sich auf Analyseergebnisse und Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials beziehen, zu bestimmen oder nicht. Zum Beispiel vergleicht die Bestimmungseinheit 14 in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnete Informationen und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und führt gemäß dem Vergleichsergebnis eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch.
Ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, wird mit in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichneten Informationen verglichen durch Vergleichen tatsächlicher Ausgabewerte des Temperatursensors 3 mit numerischen Informationen oder Forminformationen, die sich auf Kurvenmodelle beziehen, die spezifischen Phänomenen entsprechen, die in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 auftreten können. In dem ersteren Fall bestimmt die Bestimmungseinheit 14, ob das spezifische Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, mit numerischen Informationen über ein Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist, übereinstimmt oder nicht durch Analysieren einer zeitlichen Änderung in den Ausgabewerten, die unter der Verwendung mindestens eines aus der Anstiegsrate, der Verringerungsrate, einer Änderung in der Anstiegsrate und einer Änderung in der Verringerungsrate der Ausgabewerte des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung identifiziert werden kann. In dem letzteren Fall bestimmt die Bestimmungseinheit 14, ob die Form einer Kurve, die eine zeitliche Änderung in den Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung angibt, mit einem Kurvenmodell eines in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichneten Phänomens übereinstimmt oder nicht. Wenn es ein Phänomen gibt, das übereinstimmt, führt die Bestimmungseinheit 14 eine dem Phänomen zugeordnete Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch. Wenn es kein übereinstimmendes Phänomen gibt, kann die Bestimmungseinheit 14 eine Aktion dadurch durchführen, dass sie zum Beispiel aufzeichnet, dass ein Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit 15 aufgezeichnet ist und in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, nicht erfasst werden konnte, wie oben beschrieben wurde.
Die Bestimmungseinheit 14 führt als eine Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Bestimmen des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem spezifischen Phänomen durch, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, oder führt eine Verarbeitung zum Durchführen einer Aktion gemäß dem spezifischen Phänomen durch, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasung aufgetreten ist. Zum Beispiel trifft die Bestimmungseinheit 14 einzelne Bestimmungen auf Basis einer Zeit und einer Temperatur, die einem Änderungspunkt entsprechen, eines Vergleichs zwischen der Anstiegsrate oder des Variationsausmaßes des Temperaturmesswerts mit einem Schwellenwert und dergleichen und führt eine Aktion durch Anzeigen eines Alarms, Stoppen der Rührentgasungsverarbeitung, Aufzeichnen eines normalen Abschlusses und dergleichen durch.
Wie oben beschrieben, registriert in der Entwicklungsstufe (Stufe zum Optimieren von Bedingungen) das Zustandsüberwachungssystem 1 Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen als eine Datenbank, registriert einen zeitlichen Verlauf (eine Zeitabhängigkeit) des Temperaturmesswerts in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen und registriert ferner als eine Datenbank Informationen über Analyseergebnisse und Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials in Zuordnung zu Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen.
In dieser Entwicklungsstufe kann der Zustandsverlauf während der Rührentgasungsverarbeitung quantitativ in Echtzeit gemessen werden, auch wenn dies schwierig war, und können Kosten und Arbeitsaufwand zur Optimierung von Rührentgasungsbedingungen, wozu Können nötig ist, verringert werden.
Außerdem beschafft in der Produktverarbeitungsstufe (Massenproduktionsstufe) das Zustandsüberwachungssystem 1 einen zeitlichen Verlauf (eine Zeitabhängigkeit) des Temperaturmesswerts des Verarbeitungs-Zielmaterials, liest registrierte Informationen über Analyseergebnisse und Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials, die Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen entsprechen, führt eine Bestimmung für jeden Fall auf Basis des beschafften zeitlichen Verlaufs (Zeitabhängigkeit) des Temperaturmesswerts und der gelesenen Informationen über Analyseergebnisse und Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials durch und führt die erforderliche Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durch.
In dieser Produktverarbeitungsstufe kann der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials quantitativ in Echtzeit während der Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden, kann eine Bestimmung des Rührentgasungszustands und eine Steuerung der Rührentgasungsverarbeitung entsprechend auf Basis von Informationen über Aktionen oder den Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials durchgeführt werden, die im Voraus registriert wurden, und dies vereinfacht das Aufrechterhalten, die Verbesserung und Kontrolle der Qualität der hergestellten Produkte.
Es folgt eine Beschreibung von Vorteilen des Zustandsüberwachungssystems 1 gemäß der vorliegenden Erfindung anhand von 16. 16 zeigt eine Kurvendarstellung, die einen zeitlichen Verlauf des Temperaturmesswerts darstellt, der derselbe ist wie die in 15 dargestellte Kurve. Folgende Beschreibung konzentriert sich auf ein Phänomen, das um 500 Sekunden in der in 16 dargestellt Kurve erscheint und bei dem „sich die Anstiegsrate linear änderte und danach um mindestens einen eingestellten Wert erhöhte“. Dieses Phänomen entspricht dem in 15 dargestellten „Phänomen 1“. Wie oben beschrieben, wird dieses Phänomen gemäß einem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt, in dem eine „Vernetzungsreaktion aktiviert wurde“. Das heißt, dass eine Aktion gemäß einem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt wird, die einem spezifischen Phänomen entspricht. Deshalb wird in der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 1 bestimmt, dass das Phänomen um einen Zeitpunkt t1 herum aufgetreten ist, und wird in der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 2 bestimmt, dass das Phänomen um einen Zeitpunkt t2 herum aufgetreten ist. Dann wird die Aktion durchgeführt, indem die Rührentgasungsverarbeitung beendet wird, zum Beispiel, gemäß dem „Vernetzungsreaktion ist aktiviert“.
Im Folgenden wird als ein Vergleichsbeispiel ein Fall betrachtet, in dem eine Aktion gemäß einem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, nicht gemäß einem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt ist, der dem spezifischen Phänomen entspricht, das heißt, dass die Aktion lediglich gemäß einem Temperaturwert eingestellt ist. Es sei zum Beispiel ein Fall angenommen, in dem die Aktion dadurch durchgeführt wird, dass die Rührentgasungsverarbeitung unabhängig von dem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials zum Beispiel dann beendet wird, wenn die Temperatur eine Temperatur T1 erreicht. In diesem Fall wird sowohl in der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 1 als auch in der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 2 bestimmt, dass das Phänomen zu einem Zeitpunkt aufgetreten ist, an dem die Temperatur die Temperatur T1 erreicht hat, und wird die Aktion zum Beispiel durch Beenden der Rührentgasungsverarbeitung durchgeführt. In der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 2 wird bestimmt, dass das Verarbeitungs-Zielmaterial in dem Zustand ist, in dem die „Vernetzungsreaktion aktiviert wurde“, wenn die Temperatur um eine Temperatur T2 herum (Zeitpunkt t2) ist, und nicht um die Temperatur T1 herum (Zeitpunkt t1). Das heißt, dass in dem Fall der Rührentgasungsverarbeitung von Beispiel 2 es ein Problem dahingehend gibt, dass, wenn festgestellt wird, dass das Phänomen aufgetreten ist und die Rührentgasungsverarbeitung zu einem Zeitpunkt beendet wird, an dem die Temperatur die Temperatur T1 erreicht, die Rührentgasungsverarbeitung zu einer unpassenden Zeit beendet wird, obwohl die Vernetzungsreaktion noch nicht aktiviert wurde.
Wie oben beschrieben, wird in der vorliegenden Ausführungsform eine Aktion gemäß einem Zustand oder Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt, der einem spezifischen Phänomen entspricht, weshalb die Aktion zu einer Zeit durchgeführt werden kann, die hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials passend ist.
Als Nächstes werden weitere Merkmale der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Ein Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Zustandsüberwachungssystem eine Analyseeinheit und eine Sensoreinheit aufweist, die Analyseeinheit eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist, die Sensoreinheit einen Temperatursensor aufweist, die Sensoreinheit Temperaturmesswerte eines Verarbeitungs-Zielmaterials einer Rührentgasungsverarbeitung, die von dem Temperatursensor gemessen wurden, an die Analyseeinheit überträgt,
eine Datenbank von Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsinformationen und eine Datenbank von Aktionen, die den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsinformationen zugeordnet sind, in der Verarbeitungseinheit aufgezeichnet ist, und die Bestimmungseinheit die in der Aufzeichnungseinheit registrierte Aktion gemäß den übertragenen Temperaturmesswerten durchführt.
Unter der Verwendung des Temperatursensors beschaffte Temperaturmesswerte hängen von dem Verarbeitungs-Zielmaterial und den Verarbeitungsbedingungen ab und spiegeln den Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials wider. Deshalb kann der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials unter der Verwendung von Temperaturmesswerten quantitativ überwacht werden.
Ferner kann als ein Ergebnis dessen, dass eine Datenbank von Aktionen, die dem Verarbeitungs-Zielmaterial und den Verarbeitungsbedingungen zugeordnet sind, im Voraus erstellt wurde, das Überwachungssystem automatisch auf Basis der beschafften Temperaturmesswerte eine registrierte Aktion durchführen.
Deshalb kann die Qualität von Produkten unter der Verwendung des Überwachungssystems quantitativ kontrolliert werden und trägt das Überwachungssystem zur Beibehaltung und Verbesserung der Qualität bei. Ferner kann in der Produktentwicklungsstufe erworbene Kenntnis und Know-how auf die Produkt-Massenproduktionsstufe übertragen werden und unabhängig von der Fähigkeit der Bedienperson entsprechend genutzt werden.
Außerdem ist das Zustandsüberwachungssystem für die Rührentgasungsverarbeitung dadurch gekennzeichnet, dass die Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen Informationen über das Mischungsverhältnis des Verarbeitungs-Zielmaterials oder eine Änderung in Charakteristiken des Verarbeitungs-Zielmaterials enthalten.
Wenn solche Informationen als Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen enthalten sind, kann eine Aktion gemäß den Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen angesichts des Einflusses von Reibungswärme aufgrund einer Änderung in der Viskosität während der Rührentgasungsverarbeitung ausgeführt werden.
Außerdem ist das Zustandsüberwachungssystem für die Rührentgasungsverarbeitung dadurch gekennzeichnet, dass die Aktion das Durchführen einer Bestimmung auf Basis eines Vergleichs zwischen einem Schwellenwert und einem Variationsausmaß des Temperaturmesswerts an einem Änderungspunkt im zeitlichen Verlauf des Temperaturmesswerts enthält.
Wenn ein Variationsausmaß des Temperaturmesswerts an einem Änderungspunkt mit einem vorbestimmten Schwellenwert verglichen wird, wie oben beschrieben, kann eine Abnormität erfasst werden, und dies trägt zur Kontrolle der Qualität der Produkte bei.
Außerdem ist das Zustandsüberwachungssystem für die Rührentgasungsverarbeitung dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoreinheit an einer Oberseite eines Behälters befestigt ist, der das Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, das der Rührentgasungsverarbeitung unterzogen wird, und ferner einen ersten Transceiver enthält, die Analyseeinheit ferner einen zweiten Transceiver enthält, der erste Transceiver die Temperaturmesswerte an die Analyseeinheit unter der Verwendung einer drahtlosen Kommunikation überträgt und der zweite Transceiver die übertragenen Temperaturmesswerte empfängt.
Mit dieser Konfiguration kann die Temperatur einer Oberfläche des Verarbeitungs-Zielmaterials gemessen werden und kann das Zustandsüberwachungssystem einfach angewendet werden, ohne dass eine bestehende Rührentgasungsvorrichtung modifiziert wird. Es wird darauf hingewiesen, dass das Befestigen der Sensoreinheit an der Oberseite des Behälters ein Befestigen der Sensoreinheit an einem Deckelteil des Behälters, einem Behälterhalter oder einer Position, die nicht der Deckelteil des Behälters und der Behälterhalter sind, unter der Verwendung einer Halterung oder dergleichen mit einschließt. Das heißt, dass es wichtig ist, die Sensoreinheit an der Oberseite zu befestigen und es keine Einschränkung hinsichtlich des Deckelteils gibt, der in der obigen Ausführungsform beschrieben ist.
Ein Rührentgasungsverfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass es aufweist: Beschaffen einer zeitlichen Änderung in Temperaturmesswerten durch Messen der Temperatur eines Verarbeitungs-Zielmaterials mit einer vorbestimmten Frequenz über einen vorbestimmten Zeitraum unter der Verwendung eines Temperatursensors von oben, wobei das Verarbeitungs-Zielmaterial in einem Behälter enthalten ist, der unter vorbestimmten Verarbeitungsbedingungen in eine Umlaufbewegung versetzt wird, und
Ausführen einer Aktion, die im Voraus registriert ist, in Zuordnung zu einer Kombination des Verarbeitungs-Zielmaterials und der Verarbeitungsbedingungen auf Basis der zeitlichen Änderung in den Temperaturmesswerten.
Spezifisch kann das Rührentgasungsverfahren mit einer Konfiguration realisiert werden, in der das oben beschriebene Zustandsüberwachungssystem für die Rührentgasungsverarbeitung die Temperaturmesswerte des Verarbeitungs-Zielmaterials mindestens über einen Zeitraum vom Start zum Ende der Rührentgasungsverarbeitung beschafft und die Aktion ausführt.
Bei diesem Rührentgasungsverfahren kann der Zustand des Verarbeitungs-Zielmaterials während der Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden und werden ein Beibehalten, eine Verbesserung und eine Kontrolle der Qualität des Verarbeitungs-Zielmaterials, das der Verarbeitung unterzogen wird, ermöglicht.
Außerdem ist das Rührentgasungsverfahren dadurch gekennzeichnet, dass Temperaturmesswerte, die hinsichtlich der Verarbeitungs-Zielmaterialien unter der Verwendung von Temperatursensoren beschafft wurden, verglichen werden und die registrierte Aktion ausgeführt wird.
Als ein Ergebnis einer Verarbeitung der Verarbeitungs-Zielmaterialien, die gleichzeitig verarbeitet werden, die in dem Rührentgasungsverfahren verglichen werden, kann die Qualität der Verarbeitungs-Zielmaterialien kontrolliert werden, ohne dass sie durch eine Variation in den Verarbeitungsbedingungen beeinträchtigt wird.
Weitere Ausführungsformen
1.
Ein spezifisches Beispiel für die Konfiguration des Zustandsüberwachungssystems ist in der oberen angegebenen Ausführungsform beschrieben, doch kann die Konfiguration entsprechend geändert werden.
Zum Beispiel kann eine Informationskommunikation zwischen der Sensoreinheit 2 und der Analyseeinheit 9 und zwischen der Rührentgasungsvorrichtung 100 und der Analyseeinheit 9 in der oben angegebenen Ausführungsform über eine andere Weiterleitungsvorrichtung, wie zum Beispiel einen WLAN-Router, durchgeführt werden.
Die Analyseeinheit 9 und die Rührentgasungsvorrichtung 100 können auch als ein einziges Stück konfiguriert sein. Das heißt, dass Funktionen und Geräte der Analyseeinheit 9 auch unter der Verwendung von Funktionen und Geräten realisiert werden können, die in der Rührentgasungsvorrichtung 100 enthalten sind. Außerdem sind einige spezifische Beispiele hinsichtlich des Zustands oder Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials beschrieben, die einem spezifischen Phänomen entsprechen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und eine Aktion gemäß dem spezifischen Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors 3 während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, doch sind diese Beispiele lediglich für einen veranschaulichenden Zweck beschrieben und ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Beispiele eingeschränkt. Zum Beispiel kann die Bestimmungseinheit 14 als eine Aktion auch eine Verarbeitung zum Ausgeben vorbestimmter Informationen aus der Ausgabeeinheit 12 durchführen, um die Bedienperson dazu zu veranlassen, den Betrieb der Rührentgasungsvorrichtung 100 zu ändern.
2.
Ein Beispiel, in dem Informationen, die einen Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben, die von der Bestimmungseinheit 14 durchgeführt wurde, aus der Ausgabeeinheit 12 der Analyseeinheit 9 ausgegeben werden, ist in der oben angegebenen Ausführungsform beschrieben, es gibt jedoch verschiedene Konfigurationen zum Ausgeben der Informationen außer der oben beschriebenen. Zum Beispiel ist auch eine Konfiguration möglich, in der die Ausgabeeinheit 12 den Transceiver 10 dazu veranlasst, Informationen an die Rührentgasungsvorrichtung 100 zu übertragen, und die Informationen aus der Ausgabeeinheit 33 der Rührentgasungsvorrichtung 100 ausgegeben werden. Alternativ dazu ist auch eine Konfiguration möglich, bei der die Ausgabeeinheit 12 den Transceiver 10 dazu veranlasst, Informationen an ein anderes Gerät, wie zum Beispiel ein tragbares Kommunikationsgerät, zu übertragen, das von der Bedienperson verwendet wird, und die Informationen von dem Gerät an die Bedienperson ausgegeben werden. In diesem Fall kann die Ausgabeeinheit 12 auch Informationen dadurch an die Bedienperson übertragen, dass Informationen, wie zum Beispiel eine E-Mail oder eine Nachricht (Push-Nachricht), an das Gerät übertragen werden. Ferner können Informationen auch an die Bedienperson übertragen werden, indem eine Vibration in dem von der Bedienperson verwendeten tragbaren Kommunikationsgerät verursacht wird.
3.
Ein Fall, in dem die Rührentgasungsvorrichtung 100 in Reaktion auf einen Befehl betrieben wird, der von der Bedienperson kommend entgegengenommen wird, ist in der obigen Ausführungsform beschrieben, jedoch ist auch eine Konfiguration möglich, in der die Steuerungsvorrichtung 30 der Rührentgasungsvorrichtung 100 automatisch einen entsprechenden Betrieb bestimmt und ausführt, und zwar unabhängig von einem Befehl von der Bedienperson.
4.
Die in den oben angegebenen Ausführungsformen offenbarten Konfigurationen (einschließlich den anderen Ausführungsformen) können in Kombination mit Konfigurationen angewendet werden, die in anderen Ausführungsformen offenbart sind, solange dabei keine Widersprüche auftreten. Die in der Beschreibung offenbarten Ausführungsformen sind Beispiele, und Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind nicht auf diese Ausführungsformen eingeschränkt, sondern können innerhalb eines Bereichs, der nicht von dem Gegenstand der vorliegenden Erfindung abweicht, entsprechend modifiziert werden.
Industrielle Anwendbarkeit
Die vorliegende Erfindung kann für ein Zustandsüberwachungssystem verwendet werden, mit dem der Zustand eines Verarbeitungs-Zielmaterials einfach und quantitativ in Echtzeit während einer Rührentgasungsverarbeitung überwacht werden kann.
Bezugszeichenliste

1: Zustandsüberwachungssystem
2: Sensoreinheit
3: Temperatursensor
8: erster Transceiver
9: Analyseeinheit
10: zweiter Transceiver
12: Ausgabeeinheit
14: Bestimmungseinheit
15: Aufzeichnungseinheit
20: Behälter
100: Rührentgasungsvorrichtung

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP H11290668 A [0004]

Claims

Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, wobei das Zustandsüberwachungssystem umfasst: eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit, wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt, die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist, der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführt wird, in Informationen einander zugeordnet werden, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet werden, und die Bestimmungseinheit Informationen, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, und ein spezifisches Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, vergleicht und gemäß einem Vergleichsergebnis die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführt.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 1, wobei die Rührentgasungsverarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, ein Phänomen, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und ein Inhalt der von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung in Informationen einander zugeordnet sind, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet sind, und die Bestimmungseinheit eine Extraktionsverarbeitung zum Extrahieren, aus in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichneten Informationen, von Informationen, die den Rührentgasungsverarbeitungsinformationen entsprechen, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, die vor der Ausführung der Rührentgasungsverarbeitung eingestellt wurden, die von der Aufzeichnungseinheit in der Extraktionsverarbeitung extrahierten Informationen und ein spezifisches Phänomen vergleicht, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, und gemäß einem Vergleichsergebnis die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung durchführt.
Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, wobei das Zustandsüberwachungssystem umfasst: eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit, wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt, die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist, der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, und die Analyseeinheit Folgendes durchführt: eine Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen von Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten und von dem zweiten Transceiver empfangen werden, und eine Informations-Aufzeichnungsverarbeitung zum Aufzeichnen eines spezifischen Phänomens, das in den in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichneten Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, und eines Inhalts einer Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung, die gemäß dem Phänomen von der Bestimmungseinheit durchgeführt wird, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 3, wobei in der Informations-Aufzeichnungsverarbeitung die Analyseeinheit ein spezifisches Phänomen, das in den in der Ausgabewert-Aufzeichnungsverarbeitung aufgezeichneten Ausgabewerten des Temperatursensors auftritt, einen Inhalt der von der Bestimmungseinheit gemäß dem Phänomen durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung und Rührentgasungs-Verarbeitungsinformationen, die mindestens eine aus Verarbeitungs-Zielmaterialinformationen und Verarbeitungsbedingungsinformationen enthalten, die sich auf die Rührentgasungsverarbeitung beziehen, in Zuordnung zueinander in der Aufzeichnungseinheit aufzeichnet.
Zustandsüberwachungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Analyseeinheit eine Ausgabeeinheit aufweist, die Informationen ausgibt, und die Ausgabeeinheit Informationen ausgibt, die einen Inhalt der von der Bestimmungseinheit durchgeführten Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung angeben.
Zustandsüberwachungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Bestimmen des Zustands oder eines Zustandsverlaufs des Verarbeitungs-Zielmaterials gemäß dem spezifischen Phänomen ist, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Zustandsüberwachungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Vorher-nachher-Vergleichs-Bestimmungs-Verarbeitung eine Verarbeitung zum Durchführen einer Aktion gemäß dem spezifischen Phänomen ist, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 7, wobei die Aktion gemäß dem Zustand oder dem Zustandsverlauf des Verarbeitungs-Zielmaterials eingestellt ist, der dem spezifischen Phänomen entspricht, das in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei die Analyseeinheit eine Ausgabeeinheit aufweist, die Informationen ausgibt, und die Aktion ein Ausgeben eines Alarms aus der Ausgabeeinheit ist.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei die Aktion ein Aufzeichnen dessen, dass die Rührentgasungsverarbeitung normal durchgeführt wurde, ein Aufzeichnen dessen, dass die Rührentgasungsverarbeitung nicht normal durchgeführt wurde, oder ein Aufzeichnen dessen ist, dass ein Phänomen, das in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet wurde und in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Rührentgasungsverarbeitung erhalten wurden, nicht erfasst werden konnte.
Zustandsüberwachungssystem gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei die Aktion ein Bestimmen eines Bedienungsbefehls für die Rührentgasungsvorrichtung ist.
Zustandsüberwachungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei Phänomene, die in Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten, unter anderem eine zeitliche Änderung in den Ausgabewerten sind, die unter der Verwendung mindestens einer aus einer Anstiegsrate der Ausgabewerte, einer Verringerungsrate der Ausgabewerte, einer Änderung in der Anstiegsrate und einer Änderung in der Verringerungsrate identifiziert werden können.
Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, wobei das Zustandsüberwachungssystem umfasst: eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit, wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Temperatur des Verarbeitungs-Zielmaterials bestimmen kann, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt, die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver, eine Aufzeichnungseinheit und eine Bestimmungseinheit aufweist, der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, eine zeitliche Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet wird, und die Bestimmungseinheit eine Ähnlichkeit zwischen der zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die in der Aufzeichnungseinheit aufgezeichnet ist und während der Rührentgasungsverarbeitung auftreten kann, und einer zeitlichen Änderung in Ausgabewerten des Temperatursensors, die während der Rührentgasungsverarbeitung aufgetreten ist, bestimmt.
Zustandsüberwachungssystem für eine Rührentgasungsverarbeitung, die durchgeführt wird, während ein Behälter, der ein Verarbeitungs-Zielmaterial enthält, in einer Rührentgasungsvorrichtung in Umlauf und Rotation versetzt wird, wobei das Zustandsüberwachungssystem umfasst: eine Sensoreinheit und eine Analyseeinheit, wobei die Sensoreinheit einen Temperatursensor, der eine Intensität von Strahlungslicht misst, das von dem Verarbeitungs-Zielmaterial abgestrahlt wird, und einen ersten Transceiver aufweist, der Ausgabewerte des Temperatursensors an die Analyseeinheit überträgt, die Analyseeinheit einen zweiten Transceiver und eine Bestimmungseinheit aufweist, der zweite Transceiver von dem ersten Transceiver übertragene Ausgabewerte des Temperatursensors empfängt, und wenn ein Ausmaß einer Änderungsrate von Ausgabewerten des Temperatursensors während der Rührentgasungsverarbeitung des Verarbeitungs-Zielmaterials größer oder gleich einem eingestellten Wert geworden ist, die Bestimmungseinheit bestimmt, dass eine Verdampfung von in dem Verarbeitungs-Zielmaterial enthaltener Substanz stattgefunden hat.