DE112019001365T5

DE112019001365T5 - Poliermittelzusammensetzung

Info

Publication number: DE112019001365T5
Application number: DE112019001365.3T
Authority: DE
Inventors: Kazuki Moriyama
Original assignee: Nitta DuPont Inc
Current assignee: Nitta DuPont Inc
Priority date: 2018-03-15
Filing date: 2019-02-28
Publication date: 2020-12-03
Also published as: JPWO2019176558A1; CN111836869B; CN111836869A; TW201938750A; KR20200128679A; US20210024779A1; SG11202008551VA; TWI804587B; JP7324187B2; WO2019176558A1

Abstract

Eine Poliermittelzusammensetzung dient zum Polieren eines Harzes und enthält Aluminiumoxid-Schleifkörner, ein Dispergiermittel und Wasser. Das Verhältnis zwischen einer primären durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und einer durch dynamische Lichtstreuung gemessenen durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen beträgt 1:6,0 bis 1:100.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNG
Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2018-048058 , deren Offenbarung hiermit durch Verweis in ihrer Gesamtheit aufgenommen wird.
GEBIET DER TECHNIK
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Poliermittelzusammensetzung.
STAND DER TECHNIK
In den letzten Jahren haben die Miniaturisierung und die hohe Integration von Leiterplatten, Modulplatten, Gehäuseplatinen oder ähnlichem die Entwicklung von Verdrahtungen kleinerer und höherer Dichte vorangetrieben. Drähte werden in mehreren Lagen übereinander gelegt, um ein unregelmäßiges Profil zu bilden, das durch Polieren zu einem flachen Profil abgetragen werden muss.
Üblicherweise werden in einer gedruckten Leiterplatte, oder ähnlichem, Drähte aus Kupfer oder einer Kupferlegierung auf ein isolierendes Substrat aus einem Harz geschichtet, um eine leitende Schicht zu bilden. Als Poliermittelzusammensetzung zum Polieren von Kupfer oder der Kupferlegierung ist zum Beispiel eine Poliermittelzusammensetzung bekannt, die Schleifkörner wie kolloidales Siliziumdioxid, einen Kupferkomplexbildner, Alkylbenzolsulfonsäure Triethanolamin und Wasser enthält (Patentliteratur 1).
LISTE DER ANFÜHRUNGEN
Patentliteratur
Patentliteratur 1: JP 2015-090922 A
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Technische Aufgabe
In letzter Zeit gab es einen Bedarf daran, das Harz, das das isolierende Substrat bildet, zum Zeitpunkt des Polierens der Leiterplatte oder ähnlichem zu polieren. Insbesondere wurde gefordert, das Harz mit einer hohen Poliergeschwindigkeit zu polieren. Konventionell führt jedoch die Erhöhung der Partikelgröße der in der Poliermittelzusammensetzung enthaltenen Schleifkörner zur Erhöhung der Poliergeschwindigkeit zu dem Problem, dass sich die Schleifkörner in der Poliermittelzusammensetzung niederschlagen. Deshalb kann die Poliermittelzusammensetzung nicht gleichmäßig auf einem Polierkissen zugeführt werden.
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf solche Umstände konzipiert worden, und es ist daher Gegenstand der vorliegenden Erfindung, eine Poliermittelzusammensetzung bereitzustellen, die in der Lage ist, die Ausfällung von Schleifkörnern zu unterdrücken und die Poliergeschwindigkeit für ein Harz zu erhöhen.
Technische Lösung
Die gegenwärtigen Erfinder haben herausgefunden, dass, wenn eine Poliermittelzusammensetzung, die Aluminiumoxid-Schleifkörner, ein Dispergiermittel und Wasser enthält, zum Polieren eines Harzes verwendet wird, ein Verhältnis zwischen einer primären durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und einer durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxid-Schleifkörner, gemessen durch dynamische Lichtstreuung, in einen bestimmten Bereich fällt, die Schleifkörner von der Ausfällung unterdrückt und die Poliergeschwindigkeit für das Harz erhöht werden kann. Die Zusammenfassung der vorliegenden Erfindung ist nachstehend aufgeführt.
Die Poliermittelzusammensetzung gemäß der vorliegenden Erfindung ist zum Polieren eines Harzes bestimmt und enthält: Aluminiumoxid-Schleifkörner; ein Dispergiermittel; und Wasser, wobei ein Verhältnis zwischen einer primären durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und einer durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen, gemessen durch dynamische Lichtstreuung, 1:6,0 bis 1:100 beträgt.
In der Poliermittelzusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung ist das Dispergiermittel vorzugsweise ein Tensid.
In der Poliermittelzusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung ist das Tensid vorzugsweise ein Alkylbenzolsulfonat.
Figurenliste

1 ist ein Diagramm, das die Poliergeschwindigkeit für Polyimid beim Polieren unter Verwendung einer Poliermittelzusammensetzung aus jedem der Beispiele und Vergleichsbeispiele zeigt.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Im Folgenden wird eine Poliermittelzusammensetzung nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
<Poliermittelzusammensetzung>
Die Poliermittelzusammensetzung entsprechend der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst Aluminiumoxid-Schleifkörner, ein Dispergiermittel und Wasser.
(Aluminiumoxid-Schleifkörner)
Die Poliermittelzusammensetzung nach dieser Ausführungsform enthält Aluminiumoxid-Schleifkörner. Die Aluminiumoxid-Schleifkörner sind nicht besonders beschränkt und können aus verschiedenen bekannten Arten von Aluminiumoxidpartikeln zur Verwendung ausgewählt werden. Beispiele für solche bekannten Arten von Aluminiumoxidpartikeln sind α-Aluminiumoxid, γ-Aluminiumoxid, η-Aiuminiumoxid, θ-Aluminiumoxid, η-Aiuminiumoxid, κ-Aluminiumoxid und x-Aluminiumoxid. Die Beispiele der bekannten Arten von Aluminiumoxidteilchen umfassen ferner Aluminiumoxid, das als pyrogenes Aluminiumoxid bezeichnet wird (typischerweise feine Aluminiumoxidteilchen, die entstehen, wenn Aluminiumoxidsalz bei hoher Temperatur kalziniert wird), und Aluminiumoxid, das als kolloidales Aluminiumoxid oder Aluminiumoxidsol bezeichnet wird (z.B. ein Aluminiumoxidhydrat wie Böhmit), basierend auf der Klassifizierung nach Produktionsmethoden. Diese Arten von Aluminiumoxidpartikeln können einzeln verwendet werden, oder es können in Kombination zwei oder mehrere Arten davon verwendet werden.
Der Gehalt der Aluminiumoxid-Schleifkörner in der Poliermittelzusammensetzung beträgt vorzugsweise 0,3 Massen-% oder mehr und vorzugsweise 5,0 Massen-% oder weniger. Wenn der Gehalt der Aluminiumoxid-Schleifkörner in den obigen Bereich fällt, ist es möglich, eine Abnahme der Lagerungsbeständigkeit zu unterdrücken und gleichzeitig eine hohe Polierfähigkeit beizubehalten. Der Gehalt der Aluminiumoxid-Schleifkörner beträgt vorzugsweise 1,0 Massen-% oder mehr, und vorzugsweise 3,0 Massen-% oder weniger. Wenn zwei oder mehr Arten von Aluminiumoxid-Schleifkörnern enthalten sind, ist der Gehalt der Aluminiumoxid-Schleifkörner der Gesamtgehalt der zwei oder mehr Arten von Aluminiumoxid-Schleifkörnern.
In der Poliermittelzusammensetzung nach dieser Ausführungsform beträgt das Verhältnis zwischen einer primären mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und einer durch dynamische Lichtstreuung gemessenen mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen 1:6,0 bis 1:100, vorzugsweise 1:10 bis 1:50.
In der Poliermittelzusammensetzung wird ein später zu beschreibendes Dispergiermittel auf den Oberflächen der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern adsorbiert, wodurch die Aluminiumoxidteilchen Cluster bilden. In der Poliermittelzusammensetzung fällt das Verhältnis zwischen der primären mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und der durch dynamische Lichtstreuung gemessenen mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen (d.h. zu Clustern gebildete Aluminiumoxidteilchen) in den vorgenannten Bereich, so dass die Dispergierbarkeit der Aluminiumoxid-Schleifkörner verbessert und die Ausfällung der Aluminiumoxid-Schleifkörner unterdrückt werden kann. Infolgedessen kann die Poliermittelzusammensetzung auf dem Polierkissen gleichmäßig zugeführt werden. Außerdem kann die durchschnittliche Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in der Poliermittelzusammensetzung größer gemacht werden als die primäre durchschnittliche Teilchengröße dieser Aluminiumoxidteilchen, so dass die Poliergeschwindigkeit für das Harz erhöht werden kann.
(Dispergiermittel)
Die Poliermittelzusammensetzung nach dieser Ausführungsform enthält ein Dispergiermittel.
Beispiele für das Dispergiermittel sind ein oberflächenaktives Mittel, eine Polymerverbindung und ein Phosphat. Unter diesen ist das Dispergiermittel vorzugsweise ein oberflächenaktives Mittel (Tensid). Wenn das Dispergiermittel ein Tensid ist, wird das Tensid an den Oberflächen der Aluminiumoxidpartikel adsorbiert, um die Dispergierbarkeit der Aluminiumoxid-Schleifkörner zu verbessern. Infolgedessen kann die Ausfällung der Aluminiumoxid-Schleifkörner stärker unterdrückt werden. Ferner ermöglicht die Absorption des Tensids auf den Oberflächen der Aluminiumoxid-Schleifkörner, dass die durchschnittliche Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in der Poliermittelzusammensetzung größer ist als die primäre durchschnittliche Teilchengröße dieser Aluminiumoxidteilchen, um dadurch die Poliergeschwindigkeit des Harzes stärker zu erhöhen. Diese Dispergiermittel können einzeln verwendet werden, oder zwei oder mehrere Arten von ihnen können in Kombination verwendet werden.
Beispiele für das Tensid sind anionische Tenside, wie eine Polyacrylsäure, eine Alkylbenzolsulfonsäure, eine Alkansulfonsäure, eine α-Olefinsulfonsäure, eine Alkylethercarbonsäure, eine Alkylsulfonsäure und deren Salze sowie ein Alkylsulfatester-Salz. Unter diesen ist das Tensid vorzugsweise ein Alkylbenzolsulfonat. Wenn das Tensid ein Alkylbenzolsulfonat ist, wird das Alkylbenzolsulfonat an den Oberflächen der Aluminiumoxidteilchen adsorbiert, um die Dispergierbarkeit der Aluminiumoxid-Schleifkörner zu verbessern. Infolgedessen kann die Ausfällung der Aluminiumoxid-Schleifkörner stärker unterdrückt werden. Ferner ermöglicht die Absorption des Alkylbenzolsulfonats auf den Oberflächen der Aluminiumoxid-Schleifkörner, dass die durchschnittliche Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in der Poliermittelzusammensetzung größer ist als die primäre durchschnittliche Teilchengröße dieser Aluminiumoxidteilchen, um dadurch die Poliergeschwindigkeit des Harzes stärker zu erhöhen. Diese Tenside können einzeln oder zwei oder mehrere Arten von ihnen in Kombination verwendet werden.
Beispiele für die Alkylbenzolsulfonsäure sind Alkylbenzolsulfonsäuren von C6 bis C20, insbesondere eine Decylbenzolsulfonsäure, eine Undecylbenzolsulfonsäure, eine Dodecylbenzolsulfonsäure, eine Tridecylbenzolsulfonsäure und eine Tetradecylbenzolsulfonsäure. Unter diesen ist die Alkylbenzolsulfonsäure vorzugsweise eine Dodecylbenzolsulfonsäure im Hinblick auf die Unterdrückung der Ausfällung der Aluminiumoxid-Schleifkörner und die Erhöhung der Poliergeschwindigkeit für das Harz. Weitere Beispiele für Alkylbenzolsulfonat sind Natriumalkylbenzolsulfonat und Alkylbenzolsulfonsäure Triethanolamin.
Der Gehalt des Dispergiermittels in der Poliermittelzusammensetzung beträgt im Hinblick auf die Verbesserung der Dispergierbarkeit der Aluminiumoxid-Schleifkörner vorzugsweise 0,3 Massen-% oder mehr, bevorzugter 0,5 Massen-% oder mehr, und vorzugsweise 3,0 Massen-% oder weniger, bevorzugter 1,5 Massen-% oder weniger. Wenn zwei oder mehr Dispergiermittel enthalten sind, ist der Gehalt des Dispergiermittels der Gesamtgehalt der Dispergiermittel.
(Wasser)
In der Poliermittelzusammensetzung nach dieser Ausführungsform werden die Aluminiumoxid-Schleifkörner, Glycin und das Tensid in Wasser gelöst oder suspendiert. Es ist vorzuziehen, dass das Wasser mit wenigen Verunreinigungen, wie z.B. Ionenaustauschwasser, verwendet wird, um die verschiedenen Wirkungen der Aluminiumoxid-Schleifkörner, des Glycins und des Tensids nicht zu hemmen.
(pH-Regulierer)
Es ist vorzuziehen, dass die Poliermittelzusammensetzung gemäß dieser Ausführungsform einen pH-Wert von 7,0 oder mehr und 11,0 oder weniger aufweist. Diese Konfiguration kann die mechanische Polierleistung für ein Harz verbessern und die Poliergeschwindigkeit für das Harz erhöhen. Um den pH-Wert innerhalb des obigen Bereichs einzustellen, kann die Poliermittelzusammensetzung gemäß dieser Ausführung nach Bedarf einen pH-Regulierer enthalten. Beispiele für die pH-Regulierer sind: eine Säure wie eine organische Säure oder eine anorganische Säure (z.B. die organische Säure wie Glycin, Malonsäure, Äpfelsäure, Weinsäure oder Asparaginsäure oder die anorganische Säure wie Salpetersäure oder Salzsäure); eine anorganische Base wie Ammoniak oder KOH; und eine organische Base wie Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH).
(Entschäumer)
Die Poliermittelzusammensetzung nach dieser Ausführungsform kann bei Bedarf einen Entschäumer enthalten. Diese Konfiguration ermöglicht es, das Schäumen der Poliermittelzusammensetzung zu unterdrücken und ein Harz gleichmässiger zu polieren. Beispiele für den Entschäumer sind eine Silikonemulsion und ein nichtionisches Tensid. Der Gehalt des Entschäumers in der Poliermittelzusammensetzung beträgt vorzugsweise 0,05 Masse-% oder mehr, vorzugsweise 0,3 Masse-% oder weniger.
Die Poliermittelzusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die oben erwähnte Ausführungsform beschränkt. Auch die Poliermittelzusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die oben genannten betrieblichen Wirkungen beschränkt. An der erfindungsgemäßen Poliermittelzusammensetzung können verschiedene Modifikationen vorgenommen werden, ohne vom Kern der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
<Objektpolieren>
Die Poliermittelzusammensetzung nach der vorliegenden Ausführungsform dient zum Polieren eines Harzes. Beispiele für das Harz sind ein Epoxidharz, ein Phenolharz und ein Polyimidharz.
Beispiele für das mit der Poliermittelzusammensetzung gemäß dieser Ausführungsform zu polierende Polierobjekt sind eine Leiterplatte, eine Modulplatte und eine Gehäuseplatte, die das Harz enthalten.
BEISPIELE
Im Folgenden werden Beispiele für die vorliegende Erfindung beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die folgenden Beispiele beschränkt.
<Herstellung der Poliermittelzusammensetzung>
Die Poliermittelzusammensetzungen von Beispielen und Vergleichsbeispielen mit den jeweiligen in Tabelle 1 gezeigten Zusammensetzungen wurden vorbereitet. Einzelheiten zu jeder Komponente sind unten dargestellt:

Aluminiumoxid-Schleifkörner: A9225 (hergestellt von Saint-Gobain K.K.), primäre mittlere Teilchengröße = 40,3 nm
LAS: Triethanolamindodecylbenzolsulfonat (hergestellt von TOHO Chemical Industry Co., Ltd.)
KOH: hergestellt von TOAGOSEI CO., LTD.
- Glycin: hergestellt von FUSO CHEMICAL CO., LTD.
- Entschäumer auf Silikonbasis: Silikonemulsion (hergestellt von SENKA Corporation)
- Wasser: lonenausgetauschtes Wasser

<Messung des pH-Wertes>
Der pH-Wert der Poliermittelzusammensetzung der einzelnen Beispiele und Vergleichsbeispiele wurde mit einem pH-Meter gemessen.
<Primäre durchschnittliche Partikelgröße von Aluminiumoxid-Partikeln>
Die Primärteilchengröße der Aluminiumoxidteilchen wurde nach der folgenden Formel (i) berechnet, wobei angenommen wurde, dass die Teilchen kugelförmig waren. In der nachstehenden Formel (i) wurde die Dichte des Aluminiumoxids auf 4 g/cm3 festgelegt. $d = 6 / ρ S$

d:: Primärteilchengröße (µm)

ρ:: Dichte von Aluminiumoxid (g/cm3)
S:: Spezifische Oberfläche (m2/g)

Die spezifische Oberfläche in der obigen Formel (i) wurde mit der Stickstoffgas-Adsorptionsmethode (BET-Methode) unter Verwendung eines Analysators für spezifische Oberfläche und Porengröße QUADRASORB evo (hergestellt von Quantachrome Co.) gemessen. Als Aluminiumoxid-Schleifkörner wurde Aluminiumoxidschlamm verwendet, der 24 Stunden lang einer Vakuumtrocknung bei 85 °C unterzogen wurde. Detaillierte Bedingungen sind unten angegeben.
Vorbehandlung: Die Aluminiumoxid-Schleifkörner wurden in eine Messzelle gegeben und 2 Stunden lang einer Vakuumentgasung bei 85 °C unterzogen.
Prinzip der Messung: Konstant-Volumen-Methode
Adsorbiertes Gas: Stickstoffgas
Messtemperatur: 77,35 K (-195,8 °C)
Größe der Zelle: Kleine Zelle 1,5 cm3 (äußerer Stammdurchmesser von 9 mm)
Messgrößen: Mehrere Punkte auf der Adsorptionsseite von P/P0 = 0 bis 0,3
Analysepunkt: Spezifische Oberfläche nach der Mehrpunkt-BET-Methode
Die spezifische Oberfläche wurde zweimal für dasselbe Aluminiumoxid-Schleifkorn nach der obigen Methode gemessen, und der Durchschnittswert der Primärteilchengröße, der nach der obigen Formel (i) aus den jeweiligen Werten der spezifischen Oberfläche erhalten wurde, wurde als primäre durchschnittliche Teilchengröße definiert.
<Messung der durchschnittlichen Partikelgröße von Aluminiumoxid-Partikeln>
Die durchschnittliche Partikelgröße der Aluminiumoxidpartikel wurde durch dynamische Lichtstreuung mit dem Zetapotenzial/Korngrößenmesssystem ELSZ-2 (hergestellt von Otsuka Electronics Co., Ltd.) gemessen. Die erhaltene Partikelgröße, bei der die kumulative Volumenhäufigkeit der Volumenpartikelgrößenverteilung 50 % betrug, wurde als durchschnittliche Partikelgröße der Aluminiumoxid-Partikelgröße definiert. Die Messung wurde durchgeführt, indem die Messzelle mit der um den Faktor 100 mit Reinstwasser verdünnten Aluminiumoxidaufschlämmung gefüllt wurde. Als Laser wurde ein Halbleiterlaser verwendet. Die durchschnittliche Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen und das Verhältnis zwischen der primären durchschnittlichen Teilchengröße und der durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen sind in Tabelle 1 dargestellt. Da sich die Aluminiumoxid-Schleifkörner in den Poliermittelzusammensetzungen der Vergleichsbeispiele 2 und 3 niederschlugen, konnte die durchschnittliche Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen nicht gemessen werden.
<Messung der Poliergeschwindigkeit>
Unter Verwendung der Poliermittelzusammensetzung jedes der Beispiele und Vergleichsbeispiele wurde ein Polierobjekt unter den folgenden Bedingungen poliert, um die Poliergeschwindigkeit zu erhalten. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 und 1 dargestellt.
Polierobjekt: Polyimid (auf Siliziumwafern abgeschieden)
Polierer: FREX (hergestellt von EBARA CORPORATION)
Polierdruck: 3 psi
Durchflussmenge des Schlamms: 300 mL/min
Plattenrotationsgeschwindigkeit / Trägerrotationsgeschwindigkeit: 103 U/min / 97 U/min
Polierzeit: 1 Minute
Polierkissen: IC1000 (Nitta Haas Incorporated)
<Bewertung der Verteilungsstabilität>
Jeweils 100 ml der Poliermittelzusammensetzung der Beispiele und Vergleichsbeispiele wurden in einen Kunststoffbehälter mit einer durchsichtigen oder durchscheinenden Seitenwand gegeben und darin ausreichend gerührt, anschließend 10 Minuten lang bei Raumtemperatur stehen gelassen, um eine Aufschlämmung jeder Poliermittelzusammensetzung zu erhalten. Dann wurde die Aufschlämmung visuell beobachtet, um ihre Dispersionsstabilität zu beurteilen. Die Bewertungskriterien sind wie folgt. Die ausgewerteten Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.

◯: Es wird nicht beobachtet, dass die Schleifkörner im unteren Teil des Behälters ausgefällt werden.
×: Es wird beobachtet, dass die Schleifkörner im unteren Teil des Behälters ausgefällt werden.

Wie in Tabelle 1 gezeigt, waren die Poliermittelzusammensetzungen der Beispiele 1 bis 3, die alle Anforderungen der vorliegenden Erfindung erfüllen, in der Lage, die Ausfällung der Aluminiumoxid-Schleifkörner zu unterdrücken und die Poliergeschwindigkeit für das Harz zu erhöhen.
Andererseits enthält die Poliermittelzusammensetzung des Vergleichsbeispiels 1 weder ein Dispergiermittel noch hat sie ein Verhältnis zwischen der primären durchschnittlichen Teilchengröße und der durchschnittlichen Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen, das dem in der vorliegenden Erfindung angegebenen Bereich entspricht, und war daher nicht in der Lage, die Poliergeschwindigkeit für das Harz zu erhöhen.
Die Poliermittelzusammensetzungen der Vergleichsbeispiele 2 und 3, zu denen auch Glycin gehört, hatten einen erniedrigten pH-Wert (nahe dem isoelektrischen Punkt von Aluminiumoxid) und ermöglichten so eine leichte Aggregation der Aluminiumoxidpartikel. Diese Poliermittelzusammensetzungen, die kein Dispergiermittel enthalten, führten jedoch dazu, dass die Aluminiumoxid-Schleifkörner bald ausfielen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2018048058 [0001]
JP 2015090922 A [0005]

Claims

Eine Poliermittelzusammensetzung zum Polieren eines Harzes, wobei die Poliermittelzusammensetzung umfaßt: Aluminiumoxid-Schleifkörner; ein Dispergiermittel; und Wasser, wobei ein Verhältnis zwischen einer primären mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen in den Aluminiumoxid-Schleifkörnern und einer mittleren Teilchengröße der Aluminiumoxidteilchen, gemessen durch dynamische Lichtstreuung, 1:6,0 bis 1:100 beträgt.
Poliermittelzusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Dispergiermittel ein Tensid ist.
Die Poliermittelzusammensetzung nach Anspruch 2, wobei das Tensid ein Alkylbenzolsulfonat ist.