DE112016003985T5

DE112016003985T5 - Mehrschichtsubstrat und Verfahren zur Herstellung desselben

Info

Publication number: DE112016003985T5
Application number: DE112016003985.9T
Authority: DE
Inventors: Kenichiro Hasegawa; Tomohiro Yokochi; Yasunori Kasama
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2015-09-01
Filing date: 2016-08-08
Publication date: 2018-05-24
Also published as: WO2017038399A1; CN107926123A; TW201717723A; JP2017050391A; TWI612866B; KR20180037968A; US20180242464A1

Abstract

Bevor ein laminierter Körper 20 einem Heißpressverfahren unterzogen wird, werden zumindest zwei oder mehr Landelektroden bzw. Anschlusselektroden 11 gegeneinander versetzt mit Blick auf die Laminationsrichtung angeordnet, wodurch zumindest zwei oder mehr Lücken 22, die in der Laminationsrichtung entstanden sind, in Laminationsrichtung gegeneinander versetzt angeordnet sind. Durch das Heißpressverfahren des laminierten Körpers 20 werden die Harzmaterialien, welche die Harzfolien 10 bilden, verflüssigt und füllen die Lücken 22 in dem laminierten Körper 20. Somit kann die Planarität eines Mehrschichtsubstratsl in höherem Maße verbessert werden als in einem Fall, in dem eine Vielzahl an Lücken 22, die in der Laminationsrichtung angeordnet ist, in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet ist.

Description

[Gebiet der Erfindung]
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Mehrschichtsubstrat (Multilayer-) und ein Verfahren zur Herstellung desselben.
[Hintergrund der Erfindung]
Ein gebräuchliches Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats schließt das Laminieren einer Vielzahl von Kunstharzfolien zur Herstellung eines laminierten Körpers ein und das Heißverpressen des laminierten Körpers (siehe beispielsweise PTL 1). Insbesondere weist jeder der Vielzahl an Kunstharzfolien Landelektroden bzw. Anschlusselektroden an seiner Oberfläche auf, sowie vertikale Verbindungen bildende Materialien, die in Durchgangslöcher eingefüllt werden. Das Heißverpressen wird bei einer Temperatur durchgeführt, bei der die Kunstharzfolien erweicht werden. Durch das Heißverpressen werden die Kunstharzfolien soweit erweicht, dass sie flüssig werden und die Lücken zwischen den anliegenden Kunstharzfolien ausfüllen, so dass die anliegenden Kunstharzfolien durch thermische Fusion miteinander gebondet werden.
[Literatur-Angaben]
[Patentschriften]
[PTL-1]
JP 2007-53393 A
[Zusammenfassung der Erfindung]
[Technisches Problem]
Üblicherweise weisen die auf den entsprechenden Kunstharzfolien gebildeten Landelektroden bzw. Anschlusselektroden dieselbe planare Strukturform auf. Weiterhin sind die Anschlusselektroden in dem laminierten Körper in derselben Position angeordnet wie in der Laminationsrichtung der Kunstharzfolien dargestellt. Weiterhin sind die vertikalen Verbindungen in den entsprechenden Kunstharzfolien in solcher Weise angeordnet, dass die Mitte der vertikalen Verbindungen jeweils mittig zu den Anschlusselektroden ausgerichtet ist. Mit anderen Worten sind die vertikalen Verbindungen linear in der Laminationsrichtung der Vielzahl der Kunstharzfolien angeordnet.
In dem laminierten Körper, der dem Heißverpressen nicht unterzogen wurde, besteht eine Lücke zwischen den anliegenden Kunstharzfolien und insbesondere zwischen den Anschlusselektroden auf der Oberfläche einer Kunstharzfolie. Mit anderen Worten besteht eine Lücke in einem Bereich, der frei von Anschlusselektroden ist. Dadurch ist das Mehrschichtsubstrat, das dem Heißverpressen unterzogen wurde, in dem Bereich, der keine Anschlusselektroden aufweist, dünner als in dem Bereich, der mit Anschlusselektroden versehen ist. Das ist der Grund, weshalb die Planarität der Körperoberfläche sich verschlechtert, nachdem das Mehrschichtsubstrat dem Heißverpressen unterzogen wird.
Unter Berücksichtigung der oben genannten Punkte ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Mehrschichtsubstrat mit verbesserter Planarität durch das Heißverpressen sowie ein Verfahren für die Herstellung desselben bereitzustellen.
[Lösung des Problems]
Um das oben genannte Ziel zu erreichen, ist der erste Aspekt ein Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats, welches Verfahren umschließt: Ein Vorbereitungsprozess zur Herstellung eine Vielzahl folienartiger isolierender Substrate mit zumindest einem Harzmaterial, wobei die isolierenden Substrate jeweils enthalten: eine Anschlusselektrode, die auf einer Oberfläche des isolierenden Substrats aufgebracht wird und eine vorbestimmte planare Form aufweist; und ein Zwischenschicht-Verbindungsmaterial, das in ein Durchgangsloch eingefüllt wird, welches das Isolierungssubstrat in der Stärkenrichtung penetriert und mit der Anschlusselektrode in Verbindung steht; ein Laminierungsprozess, in welchem die Vielzahl der isolierenden Substrate einen laminierten Körper bilden, enthaltend: eine unterbrochene Struktur, die eine Vielzahl der Anschlusselektroden und eine Vielzahl des Zwischenschicht-Verbindungsmaterials umfasst, welche durchgehend bzw. ununterbrochen in einer Laminationsrichtung des isolierenden Substrats angeordnet sind; und einer Lücke, der in einem Bereich gebildet wird, der keine Anschlusselektroden zwischen den isolierenden Substraten aufweist, wobei sich eine Vielzahl der Lücken in der Laminationsrichtung befinden; sowie ein Heißpressverfahren des Erwärmens und Pressens des laminierten Körpers in der Laminationsrichtung, um dadurch die Vielzahl der isolierenden Substrate zum Fließen zu bringen und dadurch die Lücken aufzufüllen, und der Laminationsprozess schließt das Bilden des laminierten Körpers ein, in welchem zumindest zwei oder mehr der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur formen, in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt angeordnet sind, und zumindest zwei oder mehr der Lücken, die in der Laminationsrichtung vorhanden sind, in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt angeordnet sind.
Bevor der laminierte Körper dem Heißpressverfahren unterzogen wird, werden im vorliegenden Fall zumindest zwei oder mehr Anschlusselektroden gegeneinander versetzt angeordnet, wodurch zumindest zwei oder mehr Lücken, die in der Laminationsrichtung entstanden sind, gegeneinander versetzt angeordnet sind. Demzufolge kann die Dicke des Mehrschichtsubstrats, welches dem Heißpressverfahren unterzogen wird, sehr viel gleichmäßiger sein als dies der Fall wäre, wenn sich alle einer Vielzahl von Lücken, die in der Laminationsrichtung entstanden sind, sich in Laminationsrichtung in derselben Position befänden. Daher kann gemäß der vorliegenden Erfindung die Planarität des Mehrschichtsubstrats verbessert werden.
Ein zweiter Aspekt ist ein Mehrschichtsubstrat, welches Folgendes enthält: eine Vielzahl von folienartigen isolierenden Substraten, die zumindest ein Harzmaterial enthalten und laminiert sind; eine Vielzahl von Anschlusselektroden, die auf der Oberfläche einer jeden der Vielzahl der isolierenden Substrate angeordnet sind und eine vorbestimmte planare Oberfläche aufweisen; und eine Vielzahl von Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien, die in jedem der Vielzahl der isolierenden Substrate vorhanden sind und mit den Anschlusselektroden verbunden sind. Die Vielzahl der Anschlusselektroden und die Vielzahl der Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien sind ununterbrochen in einer Laminationsrichtung der isolierenden Substrate angeordnet, um eine ununterbrochene Struktur zu bilden. Zumindest zwei oder mehr der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur bilden, sind mit Blick auf die Laminationsrichtung gegeneinander versetzt angeordnet.
Im vorliegenden Fall sind zumindest zwei oder mehr der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur bilden, mit Blick auf die Laminationsrichtung gegeneinander versetzt angeordnet. Dementsprechend kann die Dicke des Mehrschichtsubstrats so gleichmäßig wie möglich ausgelegt werden, wenn eine Vielzahl an isolierenden Substraten mit Anschlusselektroden auf deren Oberfläche ausgestattet wird, um einen laminierten Körper zu bilden und durch Erhitzen und Pressen des laminierten Körpers ein Mehrschichtsubstrat herzustellen. Daher kann gemäß der vorliegenden Erfindung die Planarität des Mehrschichtsubstrats verbessert werden.
Das in Klammern gesetzte Bezugszeichen für jedes in den Ansprüchen bezeichnete Teil ist ein Beispiel, das auf die Übereinstimmung zwischen diesem Teil und einem bestimmten Teil in den folgenden Ausführungsformen hinweist.
Figurenliste

1 ist eine Schnittzeichnung eines Mehrschichtsubstrats gemäß einer ersten Ausführungsform.
2A ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
2B ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
2C ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
3A ist eine Schnittzeichnung die einen Teil des Herstellungsverfahrens für ein Mehrschichtsubstrat gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 darstellt.
3B ist eine Schnittzeichnung die einen Teil des Herstellungsverfahrens für ein Mehrschichtsubstrat gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 darstellt.
4A ist eine Schnittzeichnung des Mehrschichtsubstrats gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 bei Raumtemperatur.
4B ist eine Schnittzeichnung des Mehrschichtsubstrats gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 bei hoher Temperatur.
4C ist eine Schnittzeichnung des Mehrschichtsubstrats gemäß dem Vergleichsbeispiel bei niedriger Temperatur.
5 ist eine Schnittzeichnung eines Mehrschichtsubstrats gemäß einer zweiten Ausführungsform.
6 ist eine Schnittzeichnung eines Mehrschichtsubstrats gemäß einer dritten Ausführungsform.
7 ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der dritten Ausführungsform darstellt.
8 ist eine Schnittzeichnung eines Mehrschichtsubstrats gemäß dem Vergleichsbeispiel 2.
9A ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für ein Mehrschichtsubstrat gemäß einer vierten Ausführungsform darstellt.
9B ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für ein Mehrschichtsubstrat gemäß der vierten Ausführungsform darstellt.
10 ist eine Draufsicht auf ein Mehrschichtsubstrat gemäß einer fünften Ausführungsform.
11 ist eine Schnittzeichnung des Mehrschichtsubstrats gemäß der fünften Ausführungsform.
12 ist eine perspektivische Ansicht des Mehrschichtsubstrats gemäß der fünften Ausführungsform.
13 ist eine Ansicht, die eine Mehrzahl an Anschlusselektroden von 11 auf dieselbe Ebene projiziert.
14 ist eine Ansicht, die eine Mehrzahl der vertikalen Verbindungen von 11 auf derselben Ebene darstellt.
15 ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der fünften Ausführungsform darstellt.
16 ist eine Draufsicht auf ein Mehrschichtsubstrat gemäß einer sechsten Ausführungsform.
17 ist eine Schnittzeichnung des Mehrschichtsubstrats gemäß der sechsten Ausführungsform.
18 ist eine Schnittzeichnung, die einen Teil des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat gemäß der sechsten Ausführungsform darstellt.

[Beschreibung der Ausführungsformen]
Nachfolgend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung auf Basis der Zeichnungen beschrieben. In der folgenden Beschreibung der Zeichnungen werden identische oder äquivalente Komponenten mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
(Erste Ausführungsform)
Wie in 1 dargestellt, weit ein Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Vielzahl an laminierten Harzfolien 10 auf. Das Mehrschichtsubstrat 1 besitzt eine erste Oberfläche 1a, die eine Oberfläche auf einer Seite in der Laminationsrichtung ist, und eine zweite Oberfläche 1b, die eine Oberfläche gegenüber der ersten Oberfläche 1a ist. In dem Mehrschichtsubstrat 1 ist eine Vielzahl an Anschlusselektroden 11 in der Laminationsrichtung der Harzfolie 10 angeordnet. Die Anschlusselektroden 11 sind auf der ersten Oberfläche 1a, der zweiten Oberfläche 1b, und zwischen den Harzfolien 10 des Mehrschichtsubstrats 1 angeordnet. Die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 ist elektrisch miteinander durch vertikale Verbindungen 12 verbunden, die in den Harzfolien 10 bereitgestellt werden. Die Anschlusselektroden 11 und die vertikalen Verbindungen 12 sind abwechselnd in der Dickenrichtung des Mehrschichtsubstrats 1 verbunden, das heißt, in der Laminationsrichtung der Mehrzahl der Harzfolien 10. Die Z-Richtung in 1 ist die Dickenrichtung des Mehrschichtsubstrats 1. Die Anschlusselektroden 11 und die vertikalen Verbindungen 12 stellen die Schaltung in der Dickenrichtung des Mehrschichtsubstrats 1 dar.
Jede Harzfolie 10 ist ein filmartiges isolierendes Substrat. Jede Harzfolie 10 ist aus einem thermoplastischen Harz hergestellt. Die Harzfolien 10 sind miteinander gebondet.
Jede Anschlusselektrode 11 ist aus einer Metallfolie, wie einer Kupferfolie hergestellt. Die planare Form einer jeden Anschlusselektrode 11 weist die gleiche Kreisform auf. Jede vertikale Verbindung 12 ist ein Zwischenschicht-Verbindungsmaterial, das die an beiden Seiten der Harzfolie 10 befindlichen Anschlusselektroden verbindet. Jede vertikale Verbindung ist aus gesintertem Metallpulver hergestellt. Die planare Form einer jeden vertikalen Verbindung 12 weist die gleiche Kreisform auf.
Die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 und die Vielzahl der vertikalen Verbindungen 12 sind elektrisch in der Dickenrichtung des Mehrschichtsubstrat in der Weise verbunden, dass eine Anschlusselektrode 11 versetzt von einer weiteren Anschlusselektrode 11 angeordnet ist, und eine vertikale Verbindung 12 versetzt von einer weiteren vertikalen Verbindung 12 angeordnet ist. Wie hierin verwendet, bedeutet der Satz „zwei Anschlusselektroden 11 sind versetzt voneinander angeordnet“, dass die Positionen der gegenüberliegenden Enden 11a einer Anschlusselektrode 11 unterschiedlich sind von jenen der anderen Anschlusselektrode 11 in der Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1. In gleicher Weise bedeutet der Satz „zwei vertikale Verbindungen 12 sind versetzt voneinander angeordnet“, dass die Positionen der gegenüberliegenden Enden 12a einer vertikalen Verbindung 12 unterschiedlich sind von jenen der anderen vertikalen Verbindung 12 in der Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 versetzt gegeneinander und die Vielzahl der vertikalen Verbindungen 12 ist in der X-Richtung versetzt gegeneinander angeordnet. In der Y-Richtung ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 in derselben Position angeordnet, und die Mehrzahl der vertikalen Verbindungen 12 ist in derselben Position angeordnet. Die X-Richtung ist eine Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1. Die Y-Richtung ist eine Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1 und vertikal zu der X-Richtung.
Nachstehend wird ein Verfahren für die Herstellung des Mehrschichtsubstrats 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben.
Zunächst wird, wie in 2A illustriert, ein Aufbereitungsverfahren für die Herstellung der Vielzahl an Harzfolien 10, die mit den Anschlusselektroden 11 und dergleichen ausgestattet werden, durchgeführt. Genauer gesagt, wird auf einer Oberfläche jeder Harzfolie 10 eine Metallfolie aufgebracht und dessiniert. Entsprechend werden die Anschlusselektroden 11 lediglich auf einer Oberfläche einer jeden Harzfolie 10 ausgebildet. Danach werden vertikale Verbindungslöcher 13 in jeder Harzfolie 10 unter Verwendung von Laserverfahren oder Bohrverfahren ausgebildet. Das vertikale Verbindungsloch 13 ist ein Loch, das von einer Oberfläche zur anderen Oberfläche der Harzfolie 10 in der Dickenrichtung der Harzfolie 10 hindurch geht. Das vertikale Verbindungsloch 13 penetriert die Anschlusselektrode 11 nicht. Mit anderen Worten ist das vertikale Verbindungsloch 13 ein geschlossenes Loch, das durch die Anschlusselektrode 11 abgedeckt wird. Das vertikale Verbindungsloch 13 ist an einer Position ausgebildet, bei der es mit der Anschlusselektrode 11 in der Dickenrichtung der Harzfolie 10 überlappt. Danach werden die vertikalen Verbindungslöcher 13 mit pastösen Metallmaterialien 14 gefüllt. Das pastöse Metallmaterial 14 ist eine pastenartige Mischung von Metallpulver und einem organischen Lösungsmittel oder dergleichen. Dementsprechend ist das Metallmaterial 14 mit der Anschlusselektrode 11 verbunden. Das Metallmaterial 14 ist ein eine vertikale Verbindung herstellendes Material, um die vertikale Verbindung 12 zu formen. Damit bildet das Metallmaterial 14 das Zwischenschicht-Verbindungsmaterial.
Nachfolgend wird, wie in 2B dargestellt, ein Laminationsprozess zum Laminieren der Vielzahl der Harzfolien 10 zur Bildung eines laminierten Körpers 20 durchgeführt. Grundsätzlich wird in dem Laminationsprozess eine Oberfläche 10a einer Harzfolie 10, die mit den Anschlusselektroden 11 versehen ist, so angeordnet, dass sie einer Oberfläche 10b einer anderen Harzfolie 10 gegenüberliegt, die nicht mit Anschlusselektroden 11 versehen ist. Dann werden zwei Harzfolien 101 und 102 in der Mitte der Vielzahl der Harzfolien 10 in der Laminationsrichtung in solcher Weise angeordnet, dass die Oberflächen 10b ohne Anschlusselektroden 11 einander gegenüberliegen. Dementsprechend sind die Mehrzahl der Anschlusselektroden 11 und die Mehrzahl der Metallmaterialien 14 ununterbrochen in der Laminationsrichtung der Mehrzahl der Harzfolien 10 angeordnet, um eine ununterbrochene Struktur 21 zu bilden, und der laminierte Körper 20, der die ununterbrochene Struktur 21 enthält, wird gebildet. Die ununterbrochene Struktur 21 gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird gebildet durch die Vielzahl der Anschlusselektroden 11, die sich auf der ersten Oberfläche 1a befinden, auf der zweiten Oberfläche 1b, und zwischen der ersten Oberfläche 1a und der zweiten Oberfläche 1b des Mehrschichtsubstrats 1. In dem laminierten Körper 20 befindet sich eine Lücke 22 in einem Bereich ohne Anschlusselektroden zwischen den laminierten Harzfolien 10, und eine Vielzahl der Lücken 22 befindet sich in der Laminationsrichtung (das heißt, in der Z-Richtung in 2A).
Zu diesem Zeitpunkt sind zumindest zwei oder mehr Anschlusselektroden 11, die eine ununterbrochene Struktur 21 bilden, gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt. Zum Beispiel sind in 2B die zweite und dritte Anschlusselektrode 11 von oben gegen die erste Anschlusselektrode 11 von oben versetzt. Weiterhin sind die sechste und siebente Anschlusselektrode 11 von oben sowohl gegen die erste als auch die zweite Anschlusselektrode 11 von oben versetzt. In gleicher Weise sind zumindest zwei oder mehr Metallmaterialien 14, welche eine ununterbrochene Struktur 21 bilden, gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt. Der Satz „zwei Metallmaterialien 14 sind gegeneinander versetzt“ bedeutet, dass die Positionen der entgegengesetzten Enden eines Metallmaterials 14 unterschiedlich sind von den Positionen des anderen Metallmaterials 14 in der Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1. Dementsprechend sind zumindest zwei oder mehr der Vielzahl der in dem laminierten Körper vorhandenen Lücken in der Laminationsrichtung ebenfalls gegeneinander versetzt, wie in der Laminationsrichtung ersichtlich.
Als Nächstes wird, wie in 2C dargestellt, ein Heißpressverfahren für das Erhitzen und Verpressen des laminierten Körpers 20 in der Laminationsrichtung durchgeführt. Die Erwärmungstemperatur zu diesem Zeitpunkt ist eine Temperatur, bei welcher das thermoplastische Harz, aus dem die Harzfolien 10 bestehen, bis zur Fließfähigkeit erweicht wird. Bei diesem Vorgang fließt das thermoplastische Harz, um die Lücke 22 in dem laminierten Körper 20 auszufüllen. Dann werden die Harzfolien 10 gebondet und integriert. Zur gleichen Zeit werden die Metallmaterialien 14 durch Hitze gesintert und werden dadurch zu den vertikalen Verbindungen 12. Dementsprechend ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11, die in der Laminationsrichtung ausgerichtet sind, elektrisch miteinander durch die Vielzahl der vertikalen Verbindungen 12 verbunden. Auf diese Weise wird das in 1 dargestellte Mehrschichtsubstrat 1 hergestellt.
In den folgenden Absätzen wird das Verfahren zur Herstellung des Mehrschichtsubstrats 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit einem Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats J1 gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 verglichen, das in den 3A und 3B gezeigt ist.
Im Vergleichsbeispiel 1, das in 3A illustriert ist, werden Anschlusselektroden 11 mit der gleichen runden Form in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet, bevor ein laminierter Körper J20 dem Heizpressverfahren unterzogen wird. Dementsprechend sind sämtliche einer Vielzahl von Lücken 22, die in der Laminationsrichtung ausgerichtet sind, in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet. In der vertikalen Richtung zur Laminationsrichtung weist der laminierte Körper 20 einen Bereich R1 auf, der mit den Anschlusselektroden 11 bestückt ist, und einen Harzbereich R2, der keine Anschlusselektroden aufweist und die Lücken 22 enthält.
Wie in 3B dargestellt, ist dementsprechend die Dicke T2 der Harzregion R2 des Mehrschichtsubstrats J1, die keine Anschlusselektroden aufweist, nach dem Heizpressverfahren geringer als die Dicke T1 der Region R1 des Mehrschichtsubstrats J1, welches die Anschlusselektroden 11 beinhaltet. Somit verursacht das Verfahren zur Herstellung des Mehrschichtsubstrats J1 gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 eine Verschlechterung in der Planarität des Mehrschichtsubstrats 1.
Im Gegensatz dazu werden in der vorliegenden Ausführungsform zumindest zwei oder mehr Anschlusselektroden 11 gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt, bevor der laminierte Körper 20 dem Heizpressverfahren unterzogen wird. Dementsprechend sind zumindest zwei oder mehr Lücken 22, die in der Laminationsrichtung angeordnet sind, gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt. Genauer gesagt, ist jede Anschlusselektrode 11 an einem beliebigen von drei unterschiedlichen Positionen von Einfügungspunkten angeordnet. Jede Lücke 22 ist an einem beliebigen von drei unterschiedlichen Arten von Einfügungspunkten angeordnet.
Daher kann die Dicke T3 des Mehrschichtsubstrats 1, das dem Heizpressverfahren unterzogen wurde, sehr viel einheitlicher sein als im Vergleichsbeispiel 1. Somit kann gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Planarität des Mehrschichtsubstrats 1 verbessert werden.
Wie in 4A dargestellt, verfügt das Mehrschichtsubstrat J1, das nach dem Herstellungsverfahren gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 hergestellt wurde, in der Harzregion R2 lediglich in dem Z-Bereich über Harz, in der Metallregion R3 lediglich in dem Z-Bereich über Metall, und in der Mischregion R4 sowohl Metall als auch Harz in dem Z-Bereich. Mit anderen Worten befindet sich in dem Mehrschichtsubstrat J1 der Bereich zwischen beliebigen zwei Anschlusselektroden 11, die in der X-Richtung benachbart zueinander positioniert sind, ein Bereich, der lediglich Harz aufweist.
Dies verursacht Probleme in Bezug auf Schäden im Inneren des Mehrschichtsubstrats J1 aufgrund von thermischen Spannungen. Genauer gesagt, wie in 4B dargestellt, expandiert das Mehrschichtsubstrat J1, wenn die Temperatur höher als normale Temperaturen ist. Damit wird eine Zugbelastung auf die vertikalen Verbindungen 12 in der Z-Richtung ausgeübt, da die Materialien, welche den Harzbereich R2, den Metallbereich R3 und den gemischten Bereich R4 darstellen, unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen. Außerdem, wie in 4C dargestellt, schrumpft das Mehrschichtsubstrat J1, wenn die Temperatur niedriger als normale Temperaturen ist. Damit wird eine Druckbelastung auf die vertikalen Verbindungen 12 in der Z-Richtung ausgeübt, da die Materialien, welche den Harzbereich R2, den Metallbereich R3 und den gemischten Bereich R4 umfassen, unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen. Diese Zugbelastung und Druckbelastung verursachen auf den vertikalen Verbindungen 12 Zugbelastungen, wodurch Risse in den vertikalen Verbindungen 12 entstehen.
Im Gegensatz dazu ist das Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform frei von Bereichen, die ausschließlich Harz in der Z-Richtung und ausschließlich Metall in der Z-Richtung aufweisen. Mit anderen Worten ist bei dem Mehrschichtsubstrat 1 der Bereich zwischen jeglichen zwei benachbarten Anschlusselektroden 11 in der X-Richtung ein gemischter Bereich, der sowohl Metall als auch Harz aufweist.
Daher kann der Stress, der sich aus dem Unterschied in den thermischen Koeffizienten zwischen Metall und Harz ergibt, aufgeteilt werden. Als Ergebnis kann das Auftreten von Schäden an dem Mehrschichtsubstrat 1 aufgrund von thermischem Stress vermieden werden. Somit kann die Zuverlässigkeit des Mehrschichtsubstrats 1 verbessert werden.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11, welche eine ununterbrochene Struktur 21 darstellt, gegeneinander versetzt, bevor der laminierte Körper 20 dem Heißpressverfahren unterzogen wird, so dass der laminierte Körper 20 vollkommen frei von der Harzregion R2 ist, welche in der Z-Richtung lediglich Harz aufweist. Jedoch ist es nicht erforderlich, dass der laminierte Körper 20 vollkommen frei von der Harzregion R2 ist. Die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 ist gegeneinander versetzt, um die Harzregion R2 kleiner zu gestalten als diejenige des laminierten Körpers J20 des Vergleichsbeispiels 1. Als Ergebnis kann die Planarität des Mehrschichtsubstrats 1 in einem größeren Umfang verbessert werden als in dem Vergleichsbeispiel 1. Es ist jedoch vorzuziehen, das Mehrschichtsubstrat 1 vollkommen frei von der Harzregion R2 auszuführen, welche lediglich Harz in der Z-Richtung aufweist, im Hinblick auf eine weitere Verbesserung der Planarität des Mehrschichtsubstrats 1.
Im Laminierungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die beiden Harzfolien 101 und 102, die sich in der Mitte der Vielzahl an Harzfolien 10 in der Laminationsrichtung befinden, derart angeordnet, dass die Oberflächen 10b, die keine Anschlusselektroden 11 aufweisen, einander gegenüber liegen. Alternativ können zwei Harzfolien 10, die sich an anderen Positionen befinden, nicht in der Mitte der Vielzahl an Harzfolien 10 in der Laminationsrichtung, derart angeordnet werden, dass die Oberflächen 10b, die keine Anschlusselektroden 11 aufweisen, einander gegenüber liegen.
(Zweite Ausführungsform)
Wie in 5 dargestellt, schließt ein Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform einen ersten Bereich R11 ein, welcher Anschlusselektroden 11 und vertikale Verbindungen 12, die gegeneinander versetzt sind, und einen zweiten Bereich R12, welcher Anschlusselektroden 11 und vertikale Verbindungen 12, die in derselben Position angeordnet sind.
Die Struktur des ersten Bereichs R11 ist ähnlich derjenigen des Mehrschichtsubstrats 1 gemäß der ersten Ausführungsform. Ein IC-Chip 31 wird auf einer ersten Oberfläche 1a des Mehrschichtsubstrats 1 in dem ersten Bereich R11 aufgebracht. Der IC-Chip 31 ist mit den Anschlusselektroden 11 mittels Lotkugeln verbunden.
Die Struktur des zweiten Bereichs R12 ist ähnlich derjenigen des Mehrschichtsubstrats J1 gemäß dem Vergleichsbeispiel 1, das in der ersten Ausführungsform beschrieben wird, Ein IC-Chip ist auf der ersten Oberfläche 1a des Mehrschichtsubstrats 1 in dem zweiten Bereich R12 aufgebracht. Der IC-Chip 33 ist mit den Anschlusselektroden durch Drähte 34 verbunden.
In der vorliegenden Ausführungsform erfordert der erste Bereich R11 eine höhere Planarität als der zweite Bereich R12. Daher sind in dem ersten Bereich R11 die Anschlusselektroden 11 und die vertikalen Verbindungen 12 gegeneinander versetzt, wie in der ersten Ausführungsform. Um es genauer zu sagen, werden zumindest zwei oder mehr Anschlusselektroden 11 gegeneinander versetzt, und zumindest zwei oder mehr Metallmaterialien 14 gegeneinander versetzt, bevor ein laminierter Körper 20 dem Heißpressverfahren unterzogen wird. Somit kann die Planarität des ersten Bereichs R11 verbessert werden.
(Dritte Ausführungsform)
Wie in 6 dargestellt, besitzt ein Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Vielzahl an Gruppen von Anschlusselektroden G1, G2, G3 und G4, die eine Vielzahl von Anschlusselektroden 11 bilden, die in der Z-Richtung angeordnet sind und elektrisch verbunden sind. Die Vielzahl an Gruppen von Anschlusselektroden G1, G2, G3 und G4 sind Seite an Seite in einer Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1 (zum Beispiel in der X-Richtung) angeordnet. Die Vielzahl an Gruppen von Anschlusselektroden G1, G2, G3 und G4 sind derart angeordnet, dass der Zwischenraum bzw. Abstand P1 zwischen den Anschlusselektroden 11, die auf einer ersten Oberfläche 1a des Mehrschichtsubstrats 1 angeordnet sind, unterschiedlich ist zu dem Abstand P4 zwischen den Anschlusselektroden 11, die auf einer zweiten Oberfläche 1b des Mehrschichtsubstrats 1 angeordnet sind. Der Abstand zwischen den Anschlusselektroden 11, wie es hierin verwendet wird, bezeichnet den Abstand zwischen den Zentren der Anschlusselektroden 11, die sich nebeneinander in der Richtung entlang der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 1 befinden.
Genauer gesagt, die Abstände P1 bis P4 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf den entsprechenden Schichten, das heißt der Abstand P1 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf der ersten Schicht der ersten Oberfläche 1a, der Abstand P2 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf der zweiten Schicht, der Abstand P3 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf der dritten Schicht, und der Abstand P4 zwischen den Anschlusselektroden auf der vierten Schicht erfüllen die Relation P1 <P2 <P3 <P4. Somit sind die Anschlusselektroden 11 in jeder der Gruppen von Anschlusselektroden G1 bis G4 gegeneinander in der Weise versetzt, dass die Abstände P1 bis P4 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf den entsprechenden Schichten größer auf den Schichten sind, die näher zur zweiten Oberfläche 1b sind und kleiner auf den Schichten, die näher zur ersten Oberfläche 1a sind. Somit ist der Abstand P4 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf der zweiten Oberfläche 1b größer als der Abstand P1 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf der ersten Oberfläche 1a.
Ein solches Mehrschichtsubstrat 1 wird auf die folgende Weise, wie in 7 gezeigt, hergestellt. Bevor ein laminierter Körper 20 dem Heißpressverfahren unterzogen wird, wird die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 in solcher Weise gegeneinander versetzt, dass die Entfernungen P1 zu P4 zwischen einem Satz Anschlusselektroden 11, die in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet sind, und einem anderen Satz Anschlusselektroden 11, die in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet sind, auf den Schichten, die näher zur einen Seite sind, geringer sind und größer auf den Schichten, die näher zu der anderen Seite in der Laminationsrichtung sind.
In den folgenden Absätzen wird das Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform verglichen mit einem Mehrschichtsubstrat J1 gemäß dem Vergleichsbeispiel 2, das in 8 dargestellt ist. In der Struktur, die im Vergleichsbeispiel 2 eingesetzt wird, sind die Anschlusselektroden 11 grundsätzlich in derselben Position in der Laminationsrichtung angeordnet, während die Lücke P1 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf einer ersten Oberfläche J1a des Mehrschichtsubstrats J1 unterschiedlich ist zu der Lücke P4 zwischen den Anschlusselektroden 11 auf einer zweiten Oberfläche J1b des Mehrschichtsubstrats J1 gegenüber der vorliegenden Ausführungsform. In diesem Fall sind jeweils Schichten von ausgehenden Verdrahtungen 15, 16 und 17 durch die Gruppen der Anschlusselektroden G2, G3 und G4 erforderlich, deren Anschlusselektroden 11 versetzt werden müssen. Somit erfordert das in 8 dargestellte Vergleichsbeispiel 2 drei Stromleiterschichten innerhalb des Mehrschichtsubstrats J1.
Im Gegensatz dazu wird in der vorliegenden Ausführungsform die Umsetzung der Lücken zwischen den Anschlusselektroden 11 ermöglicht, da die Anschlusselektroden 11 in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt sind, so dass die Lücken P1 bis P4 zwischen den Anschlusselektroden 11 schrittweise von P1 zu P4 vergrößert werden. Da der Umfang der Umsetzung zwischen den Anschlusselektroden 11 auf diese Weise auf alle leitenden Schichten verteilt wird, ist es für die Gruppen von Anschlusselektroden G2, G3 und G4 nicht erforderlich, jeweils die Schichten an ausgehenden Verdrahtungen 15, 16 und 17 wie im Vergleichsbeispiel 2 einzuschließen. Die vorliegende Ausführungsform erfordert lediglich zwei Leiterschichten, nämlich Anschlusselektroden 11, innerhalb des Mehrschichtsubstrats 1. Somit kann gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Gesamtanzahl an Leiterschichten beim Mehrschichtsubstrat 1 reduziert werden.
(Vierte Ausführungsform)
Die vorliegende Ausführungsform ist eine teilweise Abwandlung des Herstellungsverfahrens für das Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der ersten Ausführungsform.
Wie in 9A dargestellt, wird in dem Laminierungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein laminierter Körper 20, der Anschlusselektroden 11 und Metallmaterialien 14 enthält, in solcher Weise aufgebaut, dass lediglich die Anschlusselektroden 11 gegeneinander versetzt sind. Das Innere des laminierten Körpers 20 ist ähnlich dem in der ersten Ausführungsform, insofern als eine Vielzahl an in der Laminationsrichtung befindlichen Lücken 22 in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt sind.
Somit kann, wie in 9B dargestellt, der Unterschied zwischen der Dicke T4 und der Dicke T5 des Mehrschichtsubstrats 1, das dem Heißpressverfahren unterzogen wird, geringer sein als im Vergleichsbeispiel 1. Mit anderen Worten, die Dicke des Mehrschichtsubstrats 1, das dem Heißpressverfahren unterzogen wird, kann in der vorliegenden Ausführungsform sehr viel gleichmäßiger sein als in Vergleichsbeispiel 1.
(Fünfte Ausführungsform)
Wie in den 10, 11 und 12 dargestellt, schließt ein Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Vielzahl an Anschlusselektroden 11 ein, die elektrisch verbunden und spiralförmig angeordnet sind. Eine Vielzahl an vertikalen Verbindungen 12, die elektrisch die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 verbinden, ist ebenfalls spiralförmig angeordnet.
Wie hierin verwendet, bedeutet der Satz „eine Vielzahl von Anschlusselektroden 11 ist spiralförmig angeordnet“, dass die Vielzahl an Anschlusselektroden 11 derart angeordnet ist, dass eine virtuelle Linie VL1, die sequenziell die Zentren 11b der Anschlusselektroden 11 in der Laminationsrichtung verbindet, eine spiralförmige Linie bildet, wie in den 11 und 13 dargestellt. Wie in 13 dargestellt, bildet die virtuelle Linie VL1, die sequenziell die Zentren 111b bis 118b der jeweiligen Anschlusselektroden 111 bis 118 in 11 verbindet, wenn diese auf eine Ebene projiziert werden, in der Z-Richtung eine dezentrale Linie (zum Beispiel eine Umfangslinie).
In ähnlicher Weise bedeutet der Satz „eine Vielzahl an vertikalen Verbindungen 12 ist spiralförmig angeordnet“, dass die Vielzahl an vertikalen Verbindungen 12 derart angeordnet ist, dass eine virtuelle Linie VL2, die sequenziell die Zentren 12b der vertikalen Verbindungen 12 in der Laminationsrichtung verbindet, eine spiralförmige Linie bildet, wie in den 11 und 14 dargestellt. Wie in 14 dargestellt, bildet die virtuelle Linie VL2 , die sequenziell die Zentren 121b bis 127b der jeweiligen vertikalen Verbindungen 121 bis 127 verbindet, wenn diese auf eine Ebene projiziert werden, in der Z-Richtung eine dezentrale Linie (zum Beispiel eine Umfangslinie).
Wie in 14 dargestellt, ist die Position des Zentrums 11b der vertikalen Verbindung 12 unterschiedlich zur Position des Zentrums 11b der Anschlusselektrode 11, die mit der vertikalen Verbindung 12 verbunden ist. Die vertikale Verbindung 12 ist in einem Bereich angeordnet, in dem die beiden Anschlusselektroden 11, die mit dieser verbunden sind, einander in der Z-Richtung überlappen.
Als Nächstes wird ein Verfahren zur Herstellung des Mehrschichtsubstrats 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. Der Laminierungsprozess des Verfahrens zur Herstellung des Mehrschichtsubstrats 1 gemäß der ersten Ausführungsform wird wie folgt abgeändert. Insbesondere wird, wie in 15 dargestellt, ein laminierter Körper 20 in solcher Weise gebildet, dass sämtliche der Vielzahl der Anschlusselektroden 11, welche eine ununterbrochene Struktur 21 bilden, spiralförmig angeordnet werden, und sämtliche der Vielzahl der Metallmaterialien 14, welche die ununterbrochene Struktur 21 bilden, spiralförmig angeordnet werden. Auf diese Weise wird das Mehrschichtsubstrat 1 mit der oben angegebenen Struktur hergestellt.
Wie oben beschrieben, wird in der vorliegenden Ausführungsform die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 spiralförmig angeordnet, und somit ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 sowohl in der X- als auch in der Y-Richtung gegeneinander versetzt. Somit ist eine Vielzahl an Lücken 22 in dem laminierten Körper 20 sowohl in der X- als auch in der Y-Richtung gegeneinander versetzt, so dass ein ähnliches Ergebnis wie das der ersten Ausführungsform erzielt werden kann.
Weiterhin kann der folgende Effekt durch die vorliegende Ausführungsform erreicht werden. Insbesondere in einem Fall, in dem die Vielzahl an Anschlusselektroden 11 wie in der vorliegenden Ausführungsform spiralförmig angeordnet ist, können die Positionen der Anschlusselektroden 11 nach und nach verändert werden gegenüber denen in der herkömmlichen Struktur , die eine Vielzahl von Anschlusselektroden 11 aufweist, die linear angeordnet ist. Dementsprechend kann das Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit Bezug auf die herkömmliche Struktur mit einer Vielzahl an Anschlusselektroden 11, die linear angeordnet sind, ausgebildet werden.
(Sechste Ausführungsform)
Wie in den 16 und 17 dargestellt, schließt ein Mehrschichtsubstrat 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Vielzahl von Anschlusselektroden 11 und eine Vielzahl an vertikalen Verbindungen 12 ein, die elektrisch verbunden sind, wobei lediglich die Anschlusselektroden 11 spiralförmig angeordnet sind. Die Vielzahl an vertikalen Verbindungen ist linear angeordnet.
Wie in 18 dargestellt, wird in dem Laminierungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein laminierter Körper 20 solcherart gebildet, dass sämtliche einer Vielzahl von Anschlusselektroden 11, die eine ununterbrochene Struktur 21 bilden, spiralförmig angeordnet sind, und sämtliche einer Vielzahl von Metallmaterialien 14, die die ununterbrochene Struktur 21 bilden, linear angeordnet sind. Auf diese Weise wird das Mehrschichtsubstrat 1, das die obige Struktur aufweist, hergestellt.
Da die Anschlusselektroden 11 spiralförmig angeordnet sind, kann ein ähnliches Ergebnis wie das der fünften Ausführungsform in der vorliegenden Ausführungsform ebenfalls erzielt werden.
In einem Fall, in dem die Vielzahl der Metallmaterialien 14 (also die Vielzahl der vertikalen Verbindungen 12) spiralförmig angeordnet ist, können die Anschlusselektroden 11 in einem größeren Abstand voneinander gegeneinander versetzt werden als in einem Fall, in dem die Vielzahl der Metallmaterialien 14 linear angeordnet ist. Daher ist die fünfte Ausführungsform der sechsten Ausführungsform vorzuziehen.
(Andere Ausführungsformen)
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt und kann in geeigneter Weise wie folgt abgeändert werden.

(1) In der ersten Ausführungsform sind die Anschlusselektroden 11 nicht in der Y-Richtung gegeneinander versetzt, sondern lediglich in der X-Richtung. Alternativ können die Anschlusselektroden 11 sowohl in der X- als auch in der Y-Richtung gegeneinander versetzt werden. In diesem Zusammenhang muss die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 nicht notwendigerweise spiralförmig angeordnet sein, sondern kann in anderer Weise angeordnet werden.
(2) In der ersten Ausführungsform ist die Vielzahl der Anschlusselektroden 11, welche die ununterbrochene Struktur 21 bildet, an drei Positionsmustern angeordnet. Jedoch kann die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 an zwei Positionsmustern oder an vier Positionsmustern angeordnet sein. Jedoch wird die Vielzahl der Anschlusselektroden 11 bevorzugt an drei oder mehr Positionsmustern angeordnet, so dass die Vielzahl der Lücken 22 in dem laminierten Körper in einer vertikalen Richtung zur Laminationsrichtung verteilt ist.
(3) In jeder der obigen Ausführungsformen ist die planare Form der Anschlusselektrode 11 eine runde Form. Alternativ kann die planare Form der Anschlusselektrode 11 eine andere Form sein, wie eine polygonale Form. In einem Fall, in dem die planare Form der Anschlusselektrode 11 weder eine runde Form noch eine regelmäßige polygonale Form ist, weist das Zentrum 11b der Anschlusselektrode 11 auf eine baryzentrische (schwerpunktbezogene) Position einer vorbestimmten planaren Form hin.
(4) In jeder der obigen Ausführungsformen schließt die Harzfolie 10 ein thermoplastisches Harz ein. Alternativ kann die Harzfolie 10 ein anderes als ein thermoplastisches Harz enthalten. Das Harzmaterial muss lediglich soweit erweicht werden können, dass es im Heißpressverfahren fließt. Die Harzfolie 10 kann entweder nur aus Harzmaterial bestehen oder sie kann neben einem Harzmaterial auch weitere Materialien beinhalten. Kurz gesagt, die Harzfolie 10 kann aus zumindest einem Harzmaterial erzeugt werden.
(5) Die obigen Ausführungsformen sind nicht ohne Bezug zueinander, aber sie können in passender Weise kombiniert werden, es sei denn, es ist offensichtlich unmöglich, sie zu kombinieren. Es erübrigt sich, darauf hinzuweisen, dass Bestandteile, die in jeder der obigen Ausführungsformen enthalten sind, nicht notwendigerweise unverzichtbar sind, es sei denn, es ist vorgegeben, dass diese Bestandteile unverzichtbar sind und dass die Bestandteile grundsätzlich als unverzichtbar angesehen werden.

Bezugszeichenliste

10 ... 20 ...: laminierter Körper
21 ...: ununterbrochene Struktur
22 ...: Lücke

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 200753393 A [0003]

Claims

Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats, wobei das Verfahren das Folgende aufweist: einen Vorbereitungsprozess zum Vorbereiten einer Vielzahl an folienartigen isolierenden Substraten (10) mit zumindest einem Harzmaterials, wobei die isolierende Substrate jeweils enthalten: eine Anschlusselektrode (11), aufgebracht auf einer Oberfläche des isolierenden Substrats und eine vorbestimmte planare Form aufweisend; und ein Zwischenschicht-Verbindungsmaterial (14) das in ein Durchgangsloch (13) eingefüllt wird, welches das isolierende Substrat in seiner Dickenrichtung penetriert und mit der Anschlusselektrode verbunden ist; einen Laminationsprozess, durch welchen die Vielzahl der isolierenden Substrate laminiert werden, um einen laminierten Körper (20) zu bilden, enthaltend: eine ununterbrochene Struktur (21) mit einer Vielzahl der Anschlusselektroden und einer Vielzahl von Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien, ununterbrochen angeordnet in einer Laminationsrichtung der isolierenden Substrate; und einer Lücke (22), erzeugt in einem Bereich zwischen den laminierten isolierenden Substraten, der frei von Anschlusselektroden ist, wobei eine Vielzahl der Lücken in der Laminationsrichtung vorhanden sind; und ein Heißpressverfahren des Erhitzens und Pressens des laminierten Körpers in der Laminationsrichtung, um die Vielzahl der isolierenden Substrate zu verflüssigen und die Lücken zu füllen, wobei der Laminationsprozess das Formen des laminierten Körpers in der Laminationsrichtung enthält, in welchem zumindest zwei oder mehr der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellen, gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt sind, und zumindest zwei oder mehr der in der Laminationsrichtung vorhandenen Lücken gegeneinander in der Laminationsrichtung versetzt sind.
Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats gemäß Anspruch 1, wobei der Laminationsprozess das Formen des laminierten Körpers enthält, in welchem die Vielzahl an Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellt, spiralförmig angeordnet ist.
Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats gemäß Anspruch 1, wobei der Laminationsprozess weiterhin das Formen des laminierten Körpers enthält, in welchem zumindest zwei oder mehr des Zwischenschicht-Verbindungsmaterials, das die ununterbrochene Struktur darstellt, in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt sind.
Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsubstrats gemäß Anspruch 1, wobei der Laminationsprozess das Formen des laminierten Körpers enthält, in welchem die Vielzahl der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellt, spiralförmig angeordnet ist, und die Vielzahl des Zwischenschicht-Verbindungsmaterials, welches die ununterbrochene Struktur darstellt, spiralförmig angeordnet ist.
Mehrschichtsubstrat, enthaltend: eine Vielzahl an folienartigen isolierenden Substraten (10), zumindest ein Harzmaterial enthaltend und durch Laminieren erzeugt; eine Vielzahl an Anschlusselektroden (11), angeordnet auf der Oberfläche eines jeden der isolierenden Substrate und eine vorbestimmte planare Form aufweisend; und eine Vielzahl an Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien (12), bereitgestellt in jeder der Vielzahl der isolierenden Substrate und mit den Anschlusselektroden verbunden, wobei die Vielzahl der Anschlusselektroden und die Vielzahl der Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien ununterbrochen in einer Laminationsrichtung des isolierenden Substrats angeordnet sind, um eine ununterbrochene Struktur (21) zu erzeugen, und zumindest zwei oder mehr der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellen, in Laminationsrichtung gegeneinander versetzt sind.
Mehrschichtsubstrat gemäß Anspruch 5, wobei die Vielzahl der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellen, spiralförmig angeordnet ist.
Mehrschichtsubstrat gemäß Anspruch 5, wobei zumindest zwei oder mehr der Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien, welche die ununterbrochene Struktur darstellen, in der Laminationsrichtung gegeneinander versetzt sind.
Mehrschichtsubstrat gemäß Anspruch 5, wobei die Vielzahl der Anschlusselektroden, welche die ununterbrochene Struktur darstellt, spiralförmig angeordnet ist, und die Vielzahl der Zwischenschicht-Verbindungsmaterialien, welche die ununterbrochene Struktur darstellen, spiralförmig angeordnet ist.