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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
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Hintergrund
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Die
JP 2014 -
073453 A offenbart eine Vakuumreinigungsvorrichtung, die eine Dampfkammer, die Dampf eines kohlenwasserstoffbasierten Reinigungsmittels erzeugt, eine Reinigungskammer, die ein Werkstück unter einem reduzierten Druck mit dem von der Dampfkammer zugeführten Dampf des kohlenwasserstoffbasierten Reinigungsmittels reinigt, und eine Trockenkammer enthält, die mit der Reinigungskammer durch ein Öffnungs- und Schließventil verbunden ist und in der ein druckreduzierter Zustand und ein Niedertemperaturzustand aufrechterhalten wird, und, nachdem das Reinigen des Werkstücks in der Reinigungskammer beendet ist, die Vakuumreinigungsvorrichtung, die Reinigungskammer und die Trockenkammer miteinander in Verbindung bringt, indem das Öffnungs- und Schließventil in einen Ventilöffnungszustand gebracht wird und dadurch das Werkstück trocknet.
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Das heißt, in der Vakuumreinigungsvorrichtung, bei der die in einem Unterdruckzustand gehaltene Trockenkammer mit der Reinigungskammer in Verbindung steht, die aufgrund der Zufuhr vom Dampf während der Reinigung in einem höheren Druckzustand als die Trockenkammer ist, wird der Druck im Inneren der Reinigungskammer schnell reduziert, wodurch eine Reinigungsflüssigkeit (ein Reinigungsmittel), das an dem Werkstück haftet, augenblicklich verdampft und sich Dampf von der Reinigungskammer in die Trockenkammer bewegt und dort kondensiert, wodurch das Trocknen des Werkstücks durchgeführt wird.
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Die
WO 2013/077336 A1 offenbart eine gattungsgemäße Vakuumreinigungsvorrichtung, die eine zu der von der
JP 2014 -
073453 A ähnliche Trockenkammer (eine Kondensationskammer) enthält.
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Die
JP 2013 -
202566 A , die
JP 2011 -
131 216 A , die JP H7- 256221 A und die
JP 2001 -
321417 A offenbaren Reinigungsvorrichtungen und Reinigungsverfahren, durch die ein Werkstück mit einer Reinigungsflüssigkeit gereinigt wird.
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Die JP H04- 179 192 A offenbart ein Verfahren zur Reinigung einer Leiterplatte und ein Reinigungsgerät dafür.
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Die
JP 2010 -
123 835 A offenbart eine Substratbearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung verschiedener Substrate, wie beispielsweise eines Halbleiterwafers, eines Glassubstrats für eine Photomaske, eines Glassubstrats für eine Flüssigkristallanzeige, eines Glassubstrats für eine Plasmaanzeige und eines Substrats für eine optische Platte mit einem Kühlfluid.
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Zusammenfassung
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Technisches Problem
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Im in der
JP 2014 -
073453 A oder dergleichen offenbarten Stand der Technik, wird der Druck im Inneren der Reinigungskammer schnell reduziert und dadurch die an dem Werkstück haftende Reinigungsflüssigkeit verdampft. Da diese schnelle Druckreduktion durchgeführt wird, wenn die Reinigungskammer und die Trockenkammer von einem Nicht-Verbindungszustand zu einem Verbindungszustand wechseln, hat die Minimierung des Rauminhalts der Reinigungskammer eine Wirkung. Falls der Rauminhalt der Reinigungskammer reduziert wird, ist es möglich, das Werkstück zuverlässig zu trocknen.
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Die vorliegende Erfindung wurde angesichts der obigen Umstände gemacht und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Reinigungsvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 so weiterzubilden, dass sie in der Lage ist, ein Werkstück einfacher als der Stand der Technik zu trocknen.
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Lösung des Problems
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Die Aufgabe wird durch eine Reinigungsvorrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst.
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Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Patentansprüchen definiert.
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Wirkungen
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Gemäß der vorliegenden Erfindung, da die Reinigungskammer und die Trockenkammer miteinander in Verbindung stehen, wenn das im Inneren der Reinigungskammer positioniert Ventilbauteil von dem Ventilsitz der ersten Öffnung getrennt ist, ist es möglich, ein Werkstück einfach zu trocknen.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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- 1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine schematische Gesamtkonfiguration einer Vakuumreinigungsvorrichtung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 2 ist eine Vorderansicht, die eine schematische Konfiguration der Vakuumreinigungsvorrichtung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 3 ist eine Querschnittsansicht, die einen detaillierten Aufbau eines Öffnungs- und Schließmechanismus der Vakuumreinigungsvorrichtung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Beschreibung von Ausführungsformen
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Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme der Zeichnungen beschrieben.
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Gemäß 1 bis 3 enthält eine Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform eine Reinigungskammer 1, einen Dampferzeuger 2, eine Vordertür 3, eine Trockenkammer 4, ein Verbindungsbauteil 5, einen Öffnungs- und Schließmechanismus 6, eine Vakuumpumpe 7, eine Kältemittelzufuhreinrichtung 8 und einen Rückgewinnungskondensator 9.
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Als erstes wird ein Überblick über die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 beschrieben. Die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung, die ein Werkstück (einen zu reinigenden Gegenstand), an dem ein Schmutzstoff haftet, dadurch reinigt, dass es Dampf (Reinigungsdampf) eines Reinigungsmittels ermöglicht wird, an dem Werkstück zu wirken. Das heißt, die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 führt den Reinigungsdampf der Reinigungskammer für eine vorbestimmte Zeitspanne (eine Reinigungszeitspanne) ununterbrochen zu, wodurch es dem Reinigungsdampf möglich ist, die Fläche des in der Reinigungskammer aufgenommenen Werkstücks ununterbrochen zu berühren und an dieser zu kondensieren, und somit den an der Fläche des Werkstücks haftenden Schmutzstoff von der Fläche des Werkstücks zusammen mit einer Kondensatflüssigkeit des Reinigungsmittels abputzt. Das Werkstück ist ein Metallbauteil, bei dem ein Schmutzstoff wie Schneidöl, zum Beispiel durch spanende Bearbeitung, an dessen Fläche haftet.
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Die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 ist auf einer vorbestimmten Basis (nicht gezeigt) platziert, sodass sich die Z-Achse der in 1 als orthogonale Koordinatenachsen gezeigten X, Y und Z-Achsen in die Vertikalrichtung erstreckt. In 1 sind Teile wie verschiedene Rohrleitungen und Ventile, die die Merkmale der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform nicht direkt betreffen, der Einfachheit halber weggelassen. In einer tatsächlichen Vakuumreinigungsvorrichtung (eine reale Vorrichtung) sind um die oben beschriebenen Komponenten Rohrleitungen und Ventile vorgesehen und sind des Weiteren Außenteile außerhalb von dieser vorgesehen.
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Die gesamte Reinigungskammer 1 ist in einem hohlen rechtwinkligen Parallelepiped (eine annäherungsweise Kastenform) ausgebildet und deren Innenraum nimmt die Werkstücke auf. Eine Seitenfläche (die Vorderfläche (die Fläche an deren linken und nahen Seite in 1)) der Reinigungskammer 1 ist mit einer Öffnung (eine Werkstückdurchgangsöffnung 1a) versehen. Die Werkstückdurchgangsöffnung 1a ist eine Öffnung, die in einer vertikalen Stellung angeordnet ist und durch die das Werkstück zwischen dem Inneren und Äußeren der Reinigungskammer 1 eingelegt und herausgenommen wird, und hat eine rechtwinklige Form, wie in den Zeichnungen gezeigt ist. Das heißt, die Werkstückdurchgangsöffnung 1a ist ausgebildet, sodass deren Öffnungsrichtung parallel zu einer Horizontalrichtung ist. Zudem ist ein Dichtungswerkstoff, der mit der Vordertüre 3 in engem Kontakt gebracht ist, um den gesamten Umfang der Werkstückdurchgangsöffnung 1a an der Außenseite der Reinigungskammer 1 vorgesehen.
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Ein Ausstoßanschluss 1b ist in einem Teil des Oberteils der Reinigungskammer 1 nahe bei der Rückfläche (die Fläche an deren rechten und entfernten Seite in 1) vorgesehen. Der Ausstoßanschluss 1b ist eine Öffnung, die zum Ausstoßen von Luft (Gas) im Inneren der Reinigungskammer 1 nach außen von dieser verwendet wird, und ist mit der Vakuumpumpe 7 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden. Ein Seitenabschnitt (der Seitenabschnitt an der rechten und nahen Seite in 1) der Reinigungskammer ist mit einer Trockenkammerverbindungsöffnung 1c (eine erste Öffnung, siehe 3), einem Ablaufanschluss 1d und einem Dampfeinlassanschluss 1e versehen.
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Gemäß 3 ist die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c vorgesehen, um der Trockenkammer 4 zugewandt zu sein, und ist eine kreisförmige Öffnung, die es der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 ermöglicht, miteinander in Verbindung zu stehen. Die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c kann eine von Kreisen verschiedene Form haben (zum Beispiel eine vieleckige Form). Die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c öffnet sich an der Innenfläche (die der Innenseite der Reinigungskammer 1 zugewandte Fläche, die Fläche an der linken Seite in 3) eines ringförmigen Bauteils 1f (ein Ventilsitz), das eine vorbestimmte Dicke (eine vorbestimmte Tiefe) hat und in der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist, um der Trockenkammer 4 zugewandt zu sein. Der Innenraum der Reinigungskammer 1 steht mit dem Innenraum der Trocknungskammer 4 durch die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c in Verbindung.
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Das ringförmige Bauteil 1f enthält die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c und dient als ein Ventilsitz, der einem Ventilbauteil 6b des nachfolgend beschriebenen Öffnungs- und Schließmechanismus 6 zugewandt ist. Das heißt, das Ventilbauteil 6b und das ringförmige Bauteil 1f (der Ventilsitz) gestalten als eine Einheit ein Öffnungs- und Schließventil.
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Der Ablaufanschluss 1d ist eine Öffnung, die zum Ablassen einer Mischflüssigkeit aus der Reinigungsflüssigkeit und dem Schmutzstoff, die durch ein Reinigen des Werkstücks hergestellt wird, von der Reinigungskammer 1 nach außen verwendet wird, und ist mit dem Rückgewinnungskondensator 9 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden. Der Dampfeinlassanschluss 1e ist eine Öffnung, durch die durch den Rückgewinnungskondensator 9 erzeugter Dampf des Reinigungsmittels in die Reinigungskammer 1 eingelassen wird, und ist mit dem Rückgewinnungskondensator 9 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden.
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Der Dampferzeuger 2 ist in dem oberen Teil der Reinigungskammer 1 vorgesehen und erzeugt Dampf des Reinigungsmittels. Der Dampferzeuger 2 enthält zum Beispiel einen Heizabschnitt (nicht gezeigt), der die Reinigungsflüssigkeit erhitzt und den Reinigungsdampf erzeugt, und einen Dampftank (nicht gezeigt), der den Reinigungsdampf vorübergehend speichert. Der Dampferzeuger 2 speichert vorübergehend durch den Heizabschnitt erzeugten Dampf in dem Dampftank und führt den Reinigungsdampf über den Dampftank der Reinigungskammer 1 zu. Da der Dampferzeuger 2 den Dampftank enthält, ist es möglich, eine vorbestimmte Durchflussmenge des Reinigungsdampfs der Reinigungskammer während der Reinigungszeitspanne zuzuführen.
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Das Reinigungsmittel ist ein kohlenwasserstoffbasierendes Reinigungsmittel wie gewöhnliches paraffinbasierendes, isoparaffinbasierendes, naphtenbasierendes oder aromatischbasierendes Reinigungsmittel. Im Speziellen ist das Reinigungsmittel ein Erdölreinigungsmittel der Klasse 3 (third-petroleum cleaning agent), „cleaning solvent“ genannt, wie zum Beispiel Teclean® N20, Clean Sol G oder Daphne Solvent.
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Die Vordertür 3 ist ein plattenförmiges Bauteil, das an der Vorderfläche der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist und die Werkstückdurchgangsöffnung 1a schließt und öffnet. Die Vordertüre 3 ist zum Beispiel eine Schiebetür und der Werkstückdurchgangsöffnung 1a zugewandt angeordnet, um in einer vertikalen Stellung (eine sich in die vertikale Richtung erstreckende Stellung) ähnlich der in der vertikalen Stellung angeordneten Werkstückdurchgangsöffnung 1a zu sein. Die Vordertür 3 schließt und öffnet die Werkstückdurchgangsöffnung 1a durch ein Bewegen in die Links- und Rechtsrichtung (die X-Achsenrichtung), während eines Aufrechterhaltens der vertikalen Stellung. Zudem berührt die Vordertür den an der Außenseite der Reinigungskammer 1 (deren Seite nahe bei der Vordertür 3) um den Umfang der Werkstückdurchgangsöffnung 1a angebrachten Dichtungswerkstoff und schließt dadurch die Reinigungskammer 1 ab.
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Die Trockenkammer 4 ist ein Kondensator, der eine rundliche Kastenform hat, wie in 1 gezeigt ist, und kondensiert (verflüssigt) darin von der Reinigungskammer 1 eingelassenen Dampf (verbleibenden Dampf). Wenn das Reinigen des Werkstücks in der Reinigungskammer 1 beendet ist, sind die Fläche des Werkstücks und die Innenfläche der Reinigungskammer 1 nass von der Reinigungsflüssigkeit. Obwohl nachfolgend detailliert beschrieben, wird in die Trockenkammer 4 von der Reinigungskammer 1 Dampf (verbleibender Dampf) des nach dem Reinigen des Werkstücks in der Reinigungskammer 1 verbliebenen Reinigungsmittel eingelassen und kondensiert (verflüssigt sich) dort.
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Wie auch in den 2 und 3 gezeigt ist, enthält die Trockenkammer 4 einen ersten flachen Flächenabschnitt 4a, einen zweiten flachen Flächenabschnitt 4b, einen Umfangsflächenabschnitt 4c, einen vertieften Abschnitt 4d, einen Ablaufanschluss 4f, einen Dampfeinlassanschluss 4g, einen Kältemitteleinlassanschluss 4h, einen Kältemittelablaufanschluss 4i, eine Dampfeinlassöffnung 4j (eine zweite Öffnung), eine Vielzahl von Rippen 4k und eine Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m.
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Der erste flache Flächenabschnitt 4a ist ein plattenförmiges Bauteil dessen Außenumfang eine ovale Form ausbildet und dessen dem Inneren der Trockenkammer 4 zugewandte Fläche mit den Rippen 4k versehen ist. Gemäß 3 enthält der erste flache Flächenabschnitt 4a einen Doppelschalenaufbau, der aus einer Außenwand 4a1 und einer Innenwand 4a2 ausgebildet ist, die mit einem vorbestimmten Abstand dazwischen einander zugewandt sind, und ein Strömungsdurchgang (einen Kältemittelströmungsdurchgang R), durch den ein Kältemittel strömt, ist zwischen der Außenwand 4a1 und der Innenwand 4a2 ausgebildet.
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Der zweite flache Flächenabschnitt 4b ist ein plattenförmiges Bauteil das parallel zu dem ersten flachen Flächenabschnitt 4a ist, und ist mit der Dampfeinlassöffnung 4j versehen, die diesen in dessen Dickenrichtung durchdringt. Das heißt, der zweite flache Flächenabschnitt 4b ist ein plattenförmiges Bauteil, dessen Außenumfang ähnlich wie der ersten flache Flächenabschnitt 4a eine ovale Form ausbildet. Zudem sind die zueinander parallelen ersten und zweiten flachen Flächenabschnitte 4a und 4b in vertikalen Stellungen (Stellungen, die sich in die Vertikalrichtung erstrecken) angeordnet.
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Der Umfangsflächenabschnitt 4c ist ein endloses (ringförmiges) plattenförmiges Bauteil, das die Außenumfangsränder der ersten und zweiten flachen Flächenabschnitte 4a und 4b verbindet. Gemäß 3 enthält der Umfangsflächenabschnitt 4c einen Doppelschalenaufbau, der aus einer Außenumfangswand 4c1 und einer Innenumfangswand 4c2 ausgebildet ist, die mit einem vorbestimmten Abstand dazwischen einander zugewandt sind, und ein Strömungsdurchgang (der Kältemittel Strömungsdurchgang R), durch den das Kältemittel strömt, ist zwischen der Außenumfangswand 4c1 und der Innenumfangswand 4c2 ausgebildet.
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Das heißt, in der Trockenkammer 4 enthalten der erste flache Flächenabschnitt 4a und der Umfangsflächenabschnitt 4c Doppelschalenaufbauten und die Innenwand 4a2 und die Innenumfangswand 4c2 werden durch den aus den Doppelschalenaufbauten gebildeten Kältemittelströmungsdurchgang R (das Kältemittel, das durch den Kältemittelströmungsdurchgang R strömt) effizient gekühlt. Der Kältemittelströmungsdurchgang R steht mit dem Kältemitteleinlassanschluss 4h und dem Kältemittelablaufanschluss 4i in Verbindung. In der Trockenkammer 4 ist deren durch den ersten flachen Flächenabschnitt 4a, den zweiten flachen Flächenabschnitt 4b und den Umfangsflächenabschnitt 4c ausgebildeter Innenraum als eine Kondensationskammer gestaltet.
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Gemäß 1 ist der vertiefte Abschnitt 4d ein Abschnitt mit einem vorbestimmten Gebiet, das vertieft ist und dessen Mitte etwas unter der Mitte des ersten flachen Flächenabschnitts 4a positioniert ist. Der Boden (ein Teil des ersten flachen Flächenabschnitts 4a) des vertieften Abschnitts 4d ist mit einem Teil des Öffnungs- und Schließmechanismus 6 (zum Beispiel einem Druckluftzylinder 6a) verbunden.
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Der Ausstoßanschluss 4e ist eine Öffnung, die zum Ausstoßen von Luft (Gas) im Inneren der Trockenkammer 4 nach außen von dieser verwendet wird, und ist mit der Vakuumpumpe 7 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden. Der Ablaufanschluss 4f ist eine Öffnung, die zum Ablassen einer Kondensatflüssigkeit (verbleibende Kondensatflüssigkeit), die durch Kondensation des verbleibenden Dampfs hergestellt wird, innerhalb der Trockenkammer 4 nach außen von dieser verwendet wird, und ist mit dem Rückgewinnungskondensator 9 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden.
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Der Dampfeinlassanschluss 4g ist eine Öffnung, durch die durch den Rückgewinnungskondensator 9 erzeugter Dampf (wiederverwerteter Dampf) des Reinigungsmittels in die Trockenkammer 4 eingelassen wird, und ist mit dem Rückgewinnungskondensator 9 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden. Der Kältemitteleinlassanschluss 4h ist eine Öffnung, durch die ein Kältemittel in den Kältemittelströmungsdurchgang R eingelassen wird, und ist mit der Kältemittelzufuhreinrichtung 8 durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden. Die Kältemittelablaufanschluss 4i ist eine Öffnung, die zum Ablassen des Kältemittels innerhalb des Kältemittelströmungsdurchgangs R von der Trockenkammer 4 nach außen verwendet wird, und ist mit einem Abfallflüssigkeitstank (nicht gezeigt) durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden.
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Gemäß 3 ist die Dampfeinlassöffnung 4j eine kreisförmige Öffnung mit einer vorbestimmten Dimension und in dem zweiten flachen Flächenabschnitt 4b vorgesehen. Die Form der Dampfeinlassöffnung 4j kann eine von Kreisen verschiedene Form haben (zum Beispiel eine vieleckige Form). Die Dampfeinlassöffnung 4j ist in einem Gebiet vorgesehen, das dem in dem ersten flachen Flächenabschnitt vorgesehenen vertieften Abschnitt 4d entspricht, das heißt, ist dem Gebiet vorgesehen, dessen Mitte etwas unterhalb der Mitte des ovalen zweiten flachen Flächenabschnitts 4b positioniert ist. Die Dampfeinlassöffnung 4j dieser Ausführungsform ist ausgebildet, um dem vertieften Abschnitt 4d des ersten flachen Abschnitts 4a in einer Horizontalrichtung zugewandt zu sein.
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Gemäß 3 sind die Rippen 4k rechtwinklige plattenförmige Bauteile, die an der Innenwand 4a2 des ersten flachen Flächenabschnitts 4a vorgesehen sind, um von dieser in Richtung der Innenseite der Trockenkammer 4 vorzustehen. Im Speziellen sind die Rippen 4k nur in einem oberen Gebiet des vertieften Abschnitts 4d innerhalb des ersten flachen Flächenabschnitts 4a an vorbestimmten Abständen in der Vertikalrichtung (die Z-Achsenrichtung) und in einer horizontalen Richtung vorgesehen, um sich in die Vertikalrichtung zu erstrecken.
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Die Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m ist eine Einrichtung, die die Trockenkammertemperatur (die Temperatur innerhalb der Trockenkammer) an einer vorbestimmten Temperatur aufrecht erhält, die niedriger als die Reinigungskammertemperatur (die Temperatur innerhalb der Reinigungskammer) ist, und ist in dem vertieften Abschnitt 4d (der erste flache Flächenabschnitt 4a) wie in 1 gezeigt vorgesehen. Im Speziellen hält die Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m die Trockenkammertemperatur an einer niedrigeren Temperatur als die Reinigungskammertemperatur unter Verwendung von sich innerhalb der Trockenkammer 4 erstreckenden Kühlrohren aufrecht. Die durch die Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m eingestellte und aufrecht erhaltene Trockenkammertemperatur ist zum Beispiel 5 °C bis 50 °C. Zudem wird die Trockenkammertemperatur durch Zufuhr eines Kältemittels von der Kältemittelzufuhreinrichtung 8 in den Kältemittelströmungsdurchgang R zusätzlich zu der Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m auf eine vorbestimmte Temperatur eingestellt und an dieser aufrecht erhalten.
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Das Verbindungsbauteil 5 ist ein zylinderförmiges Bauteil, das die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c der Reinigungskammer 1 mit der Dampfeinlassöffnung 4j der Trockenkammer 4 verbindet, und ist vorgesehen, sodass dessen Achsenrichtung (die Mittelachsenrichtung) parallel zu einer horizontalen Richtung (die X-Achsenrichtung) ist. Das Verbindungsbauteil 5 ist zum Beispiel ein zylinderförmiger Metallbalg und ist zwischen der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c und der Dampfeinlassöffnung 4j angeordnet. In der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform, da das Verbindungsbauteil 5 der Metallbalg ist, ist die Auswirkung der thermischen Verformung (insbesondere der Verformung in einer Horizontalrichtung) der Reinigungskammer 1 gegen die Trockenkammer 4 reduziert.
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Der Öffnungs- und Schließmechanismus 6 ist ein Mechanismus, der zwischen einem Verbindungszustand und einem Nicht-Verbindungszustand wechselt, die Beziehung zwischen der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4, die durch das Verbindungsbauteil 5 verbunden sind. Gemäß 3 ist der Öffnungs- und Schließmechanismus 6 aus dem Druckluftzylinder 6a (ein Stellglied), dem Ventilbauteil 6b, einem Verbindungsschaft 6c, einem Stützbauteil 6d, dem ringförmigen Bauteil 1f und dergleichen gestaltet. Es ist zu beachten, dass das ringförmige Bauteil 1f eine Komponente der Reinigungskammer 1 und ebenso eine Komponente des Öffnungs- und Schließmechanismus 6 ist.
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Das heißt, der Öffnungs- und Schließmechanismus 6 ist ein Mechanismus, der die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c, die in der Reinigungskammer 1 der Trockenkammer 4 zugewandt vorgesehen ist, schließt und öffnet und dadurch zwischen einem Verbindungszustand und einem Nicht-Verbindungszustand, der Verbindungszustand zwischen der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 durch das Verbindungsbauteil 5, wechselt. Der Druckluftzylinder 6a ist ein Stellglied, der das Ventilbauteil 6b antreibt, und ist in dem vertieften Abschnitt 4d (der erste flache Flächenabschnitt 4a) vorgesehen, sodass die Vorstehrichtung dessen beweglicher Stange parallel zu der Achsenrichtung (der X-Achsenrichtung) des Verbindungsbauteils 5 ist.
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Das Ventilbauteil 6b ist ein kreisförmiges Bauteil (ein kreisförmiges Plattenbauteil) mit einer etwas größeren Dimension als die der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c und ist an einer weiter innen liegenden Position innerhalb der Reinigungskammer als die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c angeordnet, das heißt, ist innerhalb der Reinigungskammer 1 positioniert, um der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c zugewandt zu sein. Das Ventilbauteil 6b ist mit dem Ende des Verbindungsschafts 6c verbunden, sodass der Verbindungsschaft 6c von dem Ventilbauteil 6b in Richtung einer Seite der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c nahe bei dem Verbindungsbauteil 5 (bei der Trockenkammer 4) vorsteht. Ein Dichtungsbauteil (ein O-Ring, nicht gezeigt) ist an der Fläche (die dem ringförmigen Bauteil 1f zugewandte Fläche) des Ventilbauteils 6b nahe bei der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c vorgesehen. Es ist zu beachten, dass das Dichtungsbauteil auf dem ringförmigen Bauteil 1f vorgesehen sein kann.
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Das Ventilbauteil 6b ist gestaltet, um hinsichtlich des in der Reinigungskammer 1 aufgenommenen Werkstücks (einen zu reinigenden Gegenstand) beweglich zu sein. Das heißt, in einem Zustand, in dem das Werkstück innerhalb der Reinigungskammer 1 platziert ist, wird, wenn sich das Ventilbauteil 6b bewegt, der Verbindezustand zwischen der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 zwischen dem Verbindungszustand und dem Nicht-Verbindungszustand gewechselt. Obwohl nachfolgend beschrieben, ist das Ventilbauteil 6b gestaltet, um das ringförmige Bauteil 1f während einer Reinigung des in der Reinigungskammer 1 aufgenommenen Werkstücks zu berühren, und anders gesagt, zu dem Zeitpunkt, an dem das Ventilbauteil 6b die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c schließt, sind sowohl das Ventilbauteil 6b als auch das Werkstück innerhalb der Reinigungskammer 1 platziert.
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Gemäß 3 ist der Verbindungsschaft 6c ein stabförmiges Bauteil mit einer vorbestimmten Länge, das innerhalb des Verbindungsbauteils 5 vorgesehen ist, und ist zwischen der beweglichen Stange des Druckluftzylinders 6a und dem Ventilbauteil 6b angeordnet, und verbindet die bewegliche Stange und das Ventilbauteil 6b. Das heißt, der Druckluftzylinder 6a ist mit dem Ventilbauteil 6b durch den Verbindungsschaft 6c innerhalb des Verbindungsbauteils 5 verbunden.
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Das Stützbauteil 6d ist ein kreisförmiges Bauteil, das an dem Verbindungsschaft 6c benachbart zu dem Ventilbauteil 6b vorgesehen ist, und bestimmt die Position (die Position innerhalb der Y-Z Ebene) des Ventilbauteils 6b in Bezug auf das ringförmige Bauteil 1f (die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c). Das heißt, das Stützbauteil 6d passt verschiebbar in die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c mit einer vorbestimmten Tiefe und führt dadurch das Ventilbauteil 6b, sodass der gesamte Umfangsrand des Ventilbauteils 6b, der an einer inneren Position des ringförmigen Bauteils 1f innerhalb der Reinigungskammer 1 positioniert ist, die Innenfläche des ringförmigen Bauteils 1f zuverlässig berührt. Die Außenform des Stützbauteils 6d ist annäherungsweise in der gleichen Form wie die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c ausgebildet, und ein Teil des Stützbauteils 6d nahe bei der Trockenkammer 4 ist mit einem durchmesserreduzierten Abschnitt versehen, dessen Durchmesser sich in Richtung der Trockenkammer 4 allmählich verringert. Da der durchmesserreduzierte Abschnitt darin vorgesehen ist, kann das Stützbauteil 6d leicht und angemessen in die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c eingesetzt werden, und wenn der radial äußere Teil des Stützbauteils 6d sich in die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c einpasst, wird die Positionierung des Ventilbauteils 6b in Bezug auf die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c durchgeführt. In dieser Ausführungsform, obwohl das Stützbauteil 6d mit dem Ventilbauteil 6b durch den Verbindungsschaft 6c verbunden ist, kann das Stützbauteil 6d an dem Ventilbauteil 6b direkt angebracht sein.
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In dem Öffnungs- und Schließmechanismus 6 arbeitet der Druckluftzylinder 6a, um die bewegliche Stange zu ziehen, und dadurch berührt das Ventilbauteil 6b die Innenfläche des ringförmigen Bauteils 1f und schließt somit die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c. Andererseits arbeitet der Druckluftzylinder 6a in dem Öffnungs- und Schließmechanismus 6, um die bewegliche Stange heraus zu strecken, und dadurch wird das Ventilbauteil 6b von der Innenfläche (eine Seitenfläche der Reinigungskammer 1) des ringförmigen Bauteils 1f getrennt und öffnet somit die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c.
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Die Vakuumpumpe 7 ist mit den Ausstoßanschlüssen 1b und 4e durch Rohrleitungen (nicht gezeigt) verbunden und stößt Luft (Gas) im Inneren der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 von diesen nach außen aus. Die Kältemittelzufuhreinrichtung 8 ist mit dem Kältemitteleinlassanschluss 4h durch eine Rohrleitung (nicht gezeigt) verbunden und führt der Trockenkammer 4 ein Kältemittel zu. Dieses Kältemittel ist zum Beispiel Wasser. Der Rückgewinnungskondensator 9 ist mit den Ablaufanschlüssen 1d und 4f und den Dampfeinlassanschlüssen 1e und 4g durch Rohrleitungen (nicht gezeigt) verbunden. Der Rückgewinnungskondensator 9 verdampft nochmals nur das Reinigungsmittel der Kondensatflüssigkeit, die das Reinigungsmittel und den Schmutzstoff enthält und die aus der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 gesammelt wird, führt erhaltenen Dampf der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 zu und sondert den Schmutzstoff von der Kondensatflüssigkeit ab und konzentriert den Schmutzstoff.
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Als nächstes wird der Betrieb der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform mit der obigen Konfiguration im Detail beschrieben.
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Wenn ein Werkstück in der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 gereinigt wird, wird das Werkstück in die Reinigungskammer 1 durch die Werkstückdurchgangsöffnung 1a befördert. Ein Schmutzstoff wie Schneidöl haftet an der Fläche des Werkstücks. Dann bewegt sich die Vordertür 3, sodass die Reinigungskammer 1 und die Trockenkammer 4 ein geschlossener Raum werden. Dann arbeitet die Vakuumpumpe 7, sodass sich die Innendrücke der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 verringern und der Druck in jedem Innenraum von diesen auf einen Druck (ein Anfangsdruck) von zum Beispiel 10 kPa oder niedriger eingestellt ist.
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Parallel zu dem obigen Druckreduzierungsprozess arbeitet der Dampferzeuger 2 und erzeugt Reinigungsdampf. Der Druck des Reinigungsdampfs ist dessen Sättigungsdampfdruck und die Temperatur des Reinigungsdampfs ist eine Temperatur nahe an dem Siedepunkt der Reinigungsflüssigkeit zum Beispiel 80°C bis 140°C. Zudem arbeitet der Öffnungs- und Schließmechanismus 6 parallel zu dem obigen Druckreduzierungsprozess, sodass die Reinigungskammer 1 und die Trockenkammer 4 in einzelne Räume geteilt werden, und darüber hinaus arbeiten die Temperaturaufrechterhaltungseinrichtung 4m und die Kältemittelzufuhreinrichtung, sodass die Trockenkammertemperatur auf eine niedrigere Temperatur (zum Beispiel 5 °C bis 50 °C) als die Reinigungskammertemperatur an dem Zeitpunkt, an dem das Reinigen beendet ist, eingestellt ist.
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Anschließend wird in diesem Zustand der Reinigungsdampf von dem Dampferzeuger 2 der Reinigungskammer 1 für eine vorbestimmte Reinigungszeitspanne zugeführt und dadurch wird das Werkstück im Inneren der Reinigungskammer 1 gereinigt. Das heißt, eine Berührung und Kondensation des Reinigungsdampfs an der Fläche des Werkstücks werden während der Reinigungszeitspanne ununterbrochen wiederholt und der an der Fläche des Werkstücks anhaftende Schmutzstoff strömt zusammen mit der Kondensatflüssigkeit des Reinigungsdampfs von der Fläche des Werkstücks nach unten und wird von dort entfernt (gereinigt).
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An dem Zeitpunkt, an dem der obige Reinigungsprozess beendet ist, wird der Druck im Inneren der Reinigungskammer 1 zu einem Druck, der annäherungsweise gleich dem Sättigungsdampfdruck des Reinigungsdampfs ist, und wird die Temperatur im Inneren der Reinigungskammer 1 zu einer Temperatur (80 °C bis 140 °C), die annäherungsweise gleich einer Temperatur des Reinigungsdampfs ist. Das heißt, der Druck und die Temperatur im Inneren der Reinigungskammer 1 erreichen viel höhere Werte als der Druck und die Temperatur im Inneren der Trockenkammer, die im Voraus eingestellt und aufrechterhalten werden.
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Ein Trockenprozess auf dem Werkstück im Inneren der Reinigungskammer wird im Anschluss an den obigen Reinigungsprozess durchgeführt. In dem Trockenprozess arbeitet der Öffnungs- und Schließmechanismus 6, sodass die Reinigungskammer 1 und die Trockenkammer 4 mit den obigen Druck und Temperaturbedingungen miteinander in Verbindung stehen. Das heißt, der Druckluftzylinder 6a arbeitet, sodass der Außenumfangsrand des Ventilbauteils 6b von einem die Innenfläche (die dem Inneren der Reinigungskammer zugewandten Fläche) des ringförmigen Bauteils 1f berührenden Zustand zu einem von dieser getrennten Zustand schnell bewegt wird, und dadurch die Reinigungskammer 1 und die Trockenkammer 4 durch ein vergleichsweise großes Gebiet in kurzer Zeit verbunden werden. Das heißt, das Ventilbauteil 6b wird von dem ringförmigen Bauteil 1f getrennt, wodurch die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c geöffnet wird und das Innere der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 miteinander in Verbindung stehen.
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Folglich wird der Druck im Inneren der Reinigungskammer 1 schnell reduziert und aufgrund dieser schnellen Druckreduktion siedet (beult) und verdampft die von dem Reinigungsdampf ausgebildete Kondensatflüssigkeit (verbleibende Flüssigkeit), die an der Fläche des Werkstücks haftet, augenblicklich und der verbleibende Dampf wird erzeugt. Zudem, da die Reinigungskammer 1 und die Trockenkammer 4 durch ein vergleichsweise großes Gebiet in einer kurzen Zeit verbunden werden, bewegt sich Dampf (verbleibender Dampf) der verbleibenden Flüssigkeit, der von der Fläche des Werkstücks erzeugt wird, mit einer hohen Geschwindigkeit von der Reinigungskammer 1 (ein Hochdruckgebiet) in die Trockenkammer 4 (ein Niederdruckgebiet) durch den Spalt zwischen dem Ventilbauteil 6b und der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c, dem Verbindungsbauteil 5 und der Dampfeinlassöffnung 4j. Da die verbleibende Flüssigkeit auf der Fläche des Werkstücks der verbleibende Dampf wird und sich in die Trockenkammer 4 bewegt, wird das Werkstück in kurzer Zeit getrocknet.
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Dann kondensiert der verbleibende Dampf, der sich in die Trockenkammer 4 (ein Niederdruckgebiet) bewegt hat, weil die Trockenkammertemperatur an einer Temperatur aufrecht erhalten wird, die niedriger als die Reinigungskammertemperatur ist und niedriger als der Siedepunkt der Reinigungsflüssigkeit oder gleich wie dieser ist. Zudem, falls das Flächengebiet von Bauteilen im Inneren der Trockenkammer 4 groß ist, wird die Temperatur des verbleibenden Dampfs durch Berührung zwischen dem verbleibenden Dampf und den Bauteilen einfach verringert, und somit wird die Kondensation des verbleibenden Dampfs in der Trockenkammer 4 effizient durchgeführt.
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Da die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform gestaltet ist, sodass das Ventilbauteil 6b die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c von einer weiter innen liegenden Position im Inneren der Reinigungskammer 1 als die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c schließt, ist es möglich, das Werkstück einfach zu trocknen, verglichen mit einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b außerhalb der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist, zum Beispiel ein Fall, in dem das Ventilbauteil 6b gestaltet ist, um die in der Trockenkammer 4 vorgesehene Dampfeinlassöffnung 4j zu schließen.
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Das heißt, in einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b gestaltet ist, um die in der Trockenkammer 4 vorgesehene Dampfeinlassöffnung 4j zu schließen, da der Innenraum des Verbindungsbauteils 5 in dem Trockenobjekt (der Rauminhalt einer Reinigungskammer) enthalten ist, muss ein großflächiges Gebiet getrocknet werden. Falls der Rauminhalt der Reinigungskammer vergrößert wird, vergrößert sich die Menge der Reinigungsflüssigkeit, die der Reinigungskammer zugeführt werden kann, und somit kann eine Trockenkammer mit einem großen Rauminhalt zum ausreichenden Verdampfen der Reinigungsflüssigkeit erforderlich sein, oder kann es erforderlich sein, den Druckunterschied zwischen der Reinigungskammer und der Trockenkammer zu vergrößern. In dieser Ausführungsform jedoch, da der Innenraum des Verbindungsbauteils 5 von dem Trockenobjekt ausgeschlossen ist, ist das Trockenobjekt reduziert, und es ist möglich, das Werkstück zusammen mit der Reinigungskammer 1 einfach zu trocknen.
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In einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b im Inneren des Verbindungsbauteils 5 vorgesehen ist, kann die schnelle Bewegung von Dampf (verbleibender Dampf) von der Reinigungskammer 1 (ein Hochdruckgebiet) in die Trockenkammer 4 (ein Niederdruckgebiet) verhindert werden, weil das Ventilbauteil 6b zu einem Widerstand (ein Strömungswiderstand) wird. In dieser Ausführungsform jedoch, da das Ventilbauteil 6b an einer inneren Position der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c im Inneren der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist, wird die schnelle Bewegung von Dampf (verbleibender Dampf) nicht verhindert. Zudem, in einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b im Inneren des Verbindungsbauteils 5 vorgesehen ist, da sich der Druckluftzylinder 6a in 3 nach rechts erstreckt, kann sich die Dimension der Vorrichtung vergrößern. In dieser Ausführungsform ist es jedoch möglich, die Vergrößerung einer Dimension der Vorrichtung zu verhindern.
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In einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b im Inneren der Trockenkammer 4 vorgesehen ist, kann sich eine Kondensationsleistung verschlechtern, weil der Rauminhalt der Trockenkammer 4 reduziert ist. In dieser Ausführungsform jedoch, da das Ventilbauteil 6b an einer inneren Position der Trockenkammerverbindungsöffnung 1c im Inneren der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist, ist es möglich, die Verschlechterung der Kondensationsleistung zu verhindern.
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Gemäß der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform, da das Ventilbauteil 6b im Inneren der Reinigungskammer 1 positioniert ist, das heißt, an einer weiter innen liegenden Position im Inneren der Reinigungskammer 1 als das ringförmige Bauteil 1f (ein Ventilsitz) vorgesehen ist, ist es möglich, die Reinigungskammer 1 während einer Reinigung des Werkstücks zuverlässig in einen abgeschlossenen Zustand zu bringen, verglichen mit einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b außerhalb der Reinigungskammer 1 vorgesehen ist, das heißt, an einer weiter außen liegenden Position der Reinigungskammer 1 (an einer Position näher bei der Trockenkammer 4) als das ringförmige Bauteil 1f (ein Ventilsitz) vorgesehen ist.
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Das heißt, obwohl die Anfangsdrücke im Inneren der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 während einer Reinigung des Werkstücks gleich sind, wird der Druck im Inneren der Reinigungskammer 1 in Übereinstimmung mit einer Zufuhr von Reinigungsdampf mit der Zeit erhöht. Dagegen wird der Druck im Inneren der Trockenkammer 4 an dem Anfangsdruck aufrechterhalten, und deshalb wird der Reinigungskammerdruck (der Druck im Inneren der Reinigungskammer) in Übereinstimmung mit dem Fortschreiten einer Reinigung des Werkstücks höher als der Trockenkammerdruck (der Druck im Inneren der Trockenkammer).
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In dieser Ausführungsform, da das Ventilbauteil 6b im Inneren der Reinigungskammer 1 positioniert ist, wirkt ein Druck auf das Ventilbauteil 6b aufgrund des Druckunterschieds zwischen dem Reinigungskammerdruck und dem Trockenkammerdruck, sodass das Ventilbauteil 6b auf das ringförmige Bauteil 1f (ein Ventilsitz) gedrückt wird. Das heißt, nicht nur die Zugkraft des Druckluftzylinders 6a sondern auch der auf dem obigen Druckunterschied basierende Druck wird zum Drücken des Ventilbauteils 6b auf das ringförmige Bauteil 1f verwendet, und es ist möglich, die Reinigungskammer 1 zuverlässig und einfach abzuschließen. Dagegen, in einem Fall, in dem das Ventilbauteil 6b außerhalb der Reinigungskammer 1 positioniert ist, da ein Druck auf das Ventilbauteil 6b in eine Richtung wirkt, in die das Ventilbauteil 6b von dem ringförmigen Bauteil 1f (ein Ventilsitz) getrennt wird, muss der mit dem Ventilbauteil 6b verbundene Druckluftzylinder 6a eine höhere Druckkraft als die auf obigen Druck basierende Kraft erzeugen, und somit kann ein Vergrößern der Dimension des Druckluftzylinders 6a erforderlich sein, oder kann es schwierig sein, die Reinigungskammer 1 zuverlässig in einen geschlossenen Zustand zu bringen.
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Da die Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform das Stützbauteil 6d enthält, das benachbart zu dem Ventilbauteil 6b an dem Verbindungsschaft 6c vorgesehen ist und in die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c verschiebbar passt, ist es möglich, die optimale Position des Ventilbauteils 6b in Bezug auf die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c aufrechtzuerhalten, und somit kann das Ventilbauteil 6b während einer Reinigung des Werkstücks in der Reinigungskammer 1 die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c zuverlässig schließen.
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Gemäß der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform, da der Druckluftzylinder 6a, der das Ventilbauteil 6b antreibt, in der Trockenkammer 4 vorgesehen ist und mit dem Ventilbauteil 6b im Inneren des Verbindungsbauteils 5 verbunden ist, ist es möglich, das im Inneren der Reinigungskammer 1 positionierte Ventilbauteil 6b zuverlässig anzutreiben.
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Gemäß der Vakuumreinigungsvorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist das Verbindungsbauteil 5 als Balg gestaltet. Deshalb kann sich, sogar wenn sich mindestens eine von der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 aufgrund von Hitze verformt und die Relativposition zwischen der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 verändert ist, das Verbindungsbauteil 5 verformen und die Änderung in der Relativposition absorbieren, und somit ist es möglich, den Einfluss aufeinander zu reduzieren.
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Obwohl vorstehend eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme der beigefügten Zeichnungen beschrieben ist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt. Die Form, die Kombination oder dergleichen von jeder in der obigen Ausführungsform gezeigten Komponente ist ein Beispiel und eine Ergänzung, Weglassung, Austausch, und andere Abwandlungen einer Konfiguration basierend auf einer Konstruktionsanforderung oder dergleichen kann innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung gewählt werden. Zum Beispiel können die folgenden Abwandlungen gewählt werden.
- (1) Obwohl in der obigen Ausführungsform das Stützbauteil 6d vorgesehen ist, das die Position des Ventilbauteils 6b in Bezug auf die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c bestimmt, ist die vorliegende Erfindung darauf nicht beschränkt. Falls der Außendurchmesser des Ventilbauteils 6b ausreichend größer als die Trockenkammerverbindungsöffnung 1c ist, muss das Stützbauteil 6d nicht vorgesehen sein.
- (2) Obwohl in der obigen Ausführungsform das Ventilbauteil 6b und das Stützbauteil 6d einzeln vorgesehen sind, können sie vereinigt werden.
- (3) Obwohl in der obigen Ausführungsform das Verbindungsbauteil 5 ein Balg ist, ist die vorliegende Erfindung darauf nicht beschränkt. Falls die Wärmeverformung von jeder von der Reinigungskammer 1 und der Trockenkammer 4 vernachlässigbar ist, kann das Verbindungsbauteil 5 ein allgemein gerades Rohr sein.
- (4) In der obigen Ausführungsform sind die Rippen 4k an der Innenwand 4a2 des ersten flachen Flächenabschnitts 4a, der den Doppelschalenaufbau enthält, angebracht und Reinigungsdampf (verbleibender Dampf) wird an den Rippen 4k und der Innenwand 4a2 kondensiert. Der erste flache Flächenabschnitt 4a (und der Umfangsflächenabschnitt 4c) kann jedoch einen Einfachschalenaufbau enthalten, und es kann ein Aufbau kann gewählt, bei dem ein Wärmetauscher im Inneren der Trockenkammer 4 anstelle der Rippen 4k angeordnet ist, und der Wärmetauscher Kupferröhren enthält, durch die ein Kältemittel strömt, und Rippen an den Kupferröhren angebracht sind.
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Industrielle Anwendbarkeit
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Die vorliegende Erfindung kann auf eine Reinigungsvorrichtung angewandt werden, die einen im Inneren einer Reinigungskammer aufgenommenen zu reinigenden Gegenstand mit einem Reinigungsmittel reinigt.
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Beschreibung der Bezugszeichen
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- 1
- Reinigungskammer
- 1a
- Werkstückdurchgangsöffnung
- 1b
- Ausstoßanschluss
- 1c
- Trockenkammerverbindungsöffnung (erste Öffnung)
- 1d
- Ablaufanschluss
- 1e
- Dampfeinlassanschluss
- 1f
- ringförmiges Bauteil (Ventilsitz)
- 2
- Dampferzeuger
- 3
- Vordertür
- 4
- Trockenkammer
- 4a
- erster flacher Flächenabschnitt
- 4b
- zweiter flacher Flächenabschnitt
- 4c
- Umfangsflächenabschnitt
- 4d
- vertiefter Abschnitt
- 4e
- Ausstoßanschluss
- 4f
- Ablaufanschluss
- 4g
- Dampfeinlassanschluss
- 4h
- Kältemitteleinlassanschluss
- 4i
- Kältemittelablaufanschluss
- 4j
- Dampfeinlassöffnung (zweite Öffnung)
- 4k
- Rippe
- 4m
- Temperaturaufrechterhaltungsvorrichtung
- 5
- Verbindungsbauteil
- 6
- Öffnungs- und Schließmechanismus
- 6a
- Druckluftzylinder (Stellglied)
- 6b
- Ventilbauteil
- 6c
- Verbindungsschaft
- 6d
- Stützbauteil
- 7
- Vakuumpumpe
- 8
- Kältemittelzufuhreinrichtung
- 9
- Rückgewinnungskondensator
