DE19627479A1 - Glasbohrvorrichtung - Google Patents
GlasbohrvorrichtungInfo
- Publication number
- DE19627479A1 DE19627479A1 DE19627479A DE19627479A DE19627479A1 DE 19627479 A1 DE19627479 A1 DE 19627479A1 DE 19627479 A DE19627479 A DE 19627479A DE 19627479 A DE19627479 A DE 19627479A DE 19627479 A1 DE19627479 A1 DE 19627479A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- glass
- path
- cooling water
- drill
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000005553 drilling Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 8
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 210000002435 tendon Anatomy 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/10—Arrangements for cooling or lubricating tools or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/14—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by boring or drilling
Description
Die Erfindung betrifft eine Glasbohrvorrichtung zur Verwendung beim Bohren eines
Lochs in eine Glasplatte und insbesondere eine Glasbohrvorrichtung, die bei der
Herstellung einer Leuchtstoff-Anzeigeröhre oder einer Flüssigkristallanzeige ein als
Absaugrohr wirkendes Loch in eine Teilplatte bohrt.
Bei Bildanzeigevorrichtungen wie Leuchtstoff-Anzeigeröhren oder Flüssigkristall
anzeigen wird ein Absaugrohr verwendet, um ihr Inneres bei der Herstellung unter
einem Vakuum zu halten.
Nach dem Absaugen der Luft aus dem Inneren wird das Absaugrohr durchtrennt
und verschlossen. Daher besteht das Problem, daß die Produktivität der Anzeige
vorrichtungen wegen des zusätzlichen Vorgangs zum Durchtrennen des Absaug
rohres verringert ist. Da nach dem Durchtrennen des Absaugrohres ein Teil davon
hervorsteht, besteht ferner das Problem, daß der hervorstehende Teil der Anzeige
vorrichtung unansehnlich ist, so daß die Marktfähigkeit des Produktes beeinträch
tigt wird.
Um diese Probleme zu lösen, hat man eine Anzeigevorrichtung ohne Absaugrohr
entwickelt. Bei dieser Anzeigevorrichtung wird ein Loch mit ungefähr 3 mm
Durchmesser und weniger als 3 mm Tiefe in die Teilplatte gebohrt, um ihr Inneres
luftleer zu machen.
Wie in Fig. 4 gezeigt, umfaßt der Stand der Technik zum Bohren des Lochs einen
Tisch zum Bewegen des Glases nach oben, einen um den Tisch herum gebildeten
Auslaßpfad und eine Bohrvorrichtung, die eine Spindel enthält, die von einer
Antriebsvorrichtung wie einem Motor gedreht wird.
Außen an der Bohrvorrichtung ist eine Vorrichtung zur Kühlwasserzufuhr vorge
sehen, um die beim Bohren erzeugte Wärme abzuführen.
Bei einer derartigen Bohrvorrichtung wird das Loch in das Glas gebohrt, indem die
Spindel angetrieben wird, nachdem das Glas auf dem Tisch nach oben bewegt
worden ist. Da der Glasstaub in alle Richtungen verteilt werden kann und durch
Reibung Wärme erzeugt wird, wird der Bohrteil in diesem Zeitpunkt mit Kühl
wasser aus der Vorrichtung zur Kühlwasserzufuhr versorgt.
Bei der Bohrvorrichtung nach dem Stand der Technik vermischt sich der beim
Bohren erzeugte Glasstaub mit dem Kühlwasser und fließt in einen Überlauf an der
äußeren Begrenzung der Oberseite des Tisches.
Nach Bearbeitung einer Anzahl von Löchern ist das Kühlwasser auf dem Tisch
jedoch teilweise getrocknet und haftet zusammen mit dem Glasstaub an der Glas
oberfläche.
Dementsprechend wird ein Reinigungsvorgang durchgeführt, um den an der Glas
oberfläche haftenden Glasstaub zu entfernen. Es besteht daher das Problem, daß
durch diesen Vorgang die Herstellungszeit verlängert wird und die Glasoberfläche
durch darüber schleifenden Glasstaub verkratzt wird, wenn der Glasstaub nicht
vollständig von der Glasoberfläche entfernt wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, zur Lösung der Probleme des Standes
der Technik eine Glasbohrvorrichtung zu schaffen, die vor Verschmutzung durch
Aufnahme und Abgabe von Kühlwasser und Glasstaub bei der Bearbeitung des
Lochs geschützt ist, so daß die Herstellungszeit verkürzt und damit die Produk
tivität erhöht wird.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch eine Glasbohrvorrichtung gelöst,
die ein bewegliches Glied enthält, das so gelagert ist, daß es mittels einer Schub
vorrichtung nach oben und unten bewegt werden kann und das einen Pfad, in den
hinein sich ein Bohrer erstreckt, und einen an einem Bodenteil gebildeten Hohl
raumteil aufweist, der mit einem Durchflußpfad für Kühlwasser und einem Absaug
pfad verbunden ist. Ein Aufspannglied, das in einem Zustand befestigt ist, in dem
es dem beweglichen Glied gegenüberliegt, enthält einen in dem Aufspannglied ein
gerichteten Pfad zum Eindringen eines weiteren Bohrers und einen an der Obersei
te des Aufspanngliedes gebildeten Hohlraumteil, der mit einem Durchflußpfad für
Kühlwasser und einem Absaugpfad verbunden ist. Die Absaugpfade sind jeweils
mit Saugpumpen verbunden, um in den Hohlraumteilen Unterdruck zu erzeugen.
Die Glasbohrvorrichtung kann zusätzlich mit einem Stoßdämpfglied versehen sein,
das an der Unterseite des beweglichen Gliedes um den Hohlraumteil herum befe
stigt ist, um das Austreten von Wasser zu verhindern und den Stoß beim Berühren
des Glases aufzufangen.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform und aus der Zeichnung, auf die
Bezug genommen wird. Darin zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Glasbohrvorrichtung gemäß der bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2 eine Draufsicht auf einen oberen Bohrteil einer Glasbohrvorrichtung gemäß
der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 3 eine Draufsicht auf einen unteren Bohrteil einer Glasbohrvorrichtung gemäß
der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung; und
Fig. 4 eine Glasbohrvorrichtung nach dem Stand der Technik.
Die in Fig. 1 im Längsschnitt gezeigte Glasbohrvorrichtung enthält einen oberen
Arbeitsteil 20, einen unteren Arbeitsteil 22, und ein Glas G ist in die Vorrichtung
gelegt, so daß es zwischen bearbeitet werden kann.
Ein bewegliches Glied 24 des oberen Arbeitsteils 20 kann mit Hilfe einer Schub
vorrichtung 26 auf und ab bewegt werden. Ein Aufspannglied 28 des unteren
Arbeitsteils 22 ist auf einem (nicht gezeigten) Gestell angeordnet und befestigt.
Im Mittelteil des beweglichen Gliedes 24 ist ein Pfad 32 eingerichtet, in den eine
Spindel 30 mit einem Bohrer D1 genügend weit eindringen kann.
Der Pfad 32 wird zu seinem Ende hin enger, so daß lediglich der Bohrer D1 darin
eindringen kann. Er dient daher dazu, das Verstreuen von Glasstaub zu verhindern.
In dem in das bewegliche Glied 24 gebohrten Mittelteil des Pfades 32 ist ein
verhältnismäßig großer Hohlraumteil 34 gebildet, und auf der Unterseite des
beweglichen Gliedes 24 um den Hohlraumteil 34 herum ist ein Stoßdämpfglied 36
befestigt, um das Austreten von Wasser zu verhindern und den Stoß beim
Berühren des Glases G aufzufangen.
Das Stoßdämpfglied 36 kann mit einer dicken Schicht Silikon bedeckt sein.
Im Hohlraumteil 34 ist ein Durchflußpfad 38 gebildet, um Kühlwasser zu leiten,
das von einer (nicht gezeigten) Vorrichtung zur Kühlwasserzufuhr in Richtung auf
den Bohrer D1 zugeführt wird.
Der Durchflußpfad 38 steht mit einem Absaugpfad 40 zum Absaugen von Kühl
wasser und Glasstaub in Richtung auf eine gegenüberliegende Seite des Hohlraum
teils 34 gegenüber, wobei der Absaugpfad 40 mit einer Saugpumpe 42 verbunden
ist.
Fig. 2 zeigt die Beziehung, in der der Durchflußpfad 38, der an dem beweglichen
Glied 24 hergestellt ist, mit dem Absaugpfad 40 verbunden ist.
In dem gegenüber dem beweglichen Glied 24 angeordneten Aufspannglied 28 ist
ein Pfad 44 zum Eindringen eines weiteren Bohrers D2 eingerichtet, und in einem
Endteil ist ein Hohlraumteil 46 gebildet.
Der Hohlraumteil 46 steht zum einen mit einem Durchflußpfad 40, in den
Kühlwasser fließen gelassen wird, und zum anderen mit einem Absaugpfad 52 in
Verbindung, der mit einer Saugpumpe 50 verbunden ist, um Kühlwasser und
Glasstaub abzusaugen.
Fig. 3 zeigt die Beziehung, in der der Durchflußpfad 48, der an dem Aufspannglied
28 hergestellt ist, mit dem Absaugpfad 52 verbunden ist.
Die oben beschriebene Glasbohrvorrichtung wird auf die folgende Weise betrieben.
Nachdem sich die Unterseite des beweglichen Gliedes 24 durch Hochgehen der
Schubvorrichtung 26 von der Oberseite des Aufspanngliedes 28 entfernt hat, wird
das Glas G, in das ein Loch gebohrt werden soll, auf die Oberseite des Aufspann
gliedes 28 gelegt.
Danach wird die Schubvorrichtung 26 nach unten bewegt, bis die Unterseite des
beweglichen Gliedes 24 die Oberfläche des Glases G berührt.
In diesem Zeitpunkt dämpft das an der Unterseite des beweglichen Gliedes 24
vorgesehene Stoßdämpfglied 36 den Stoß gegen das Glas G, und der an der
Unterseite des beweglichen Gliedes 24 gebildete Hohlraumteil 34 wird von der
Außenseite abgeschnitten, da das Stoßdämpfglied 36 eng an der Oberfläche des
Glases G anliegt.
In diesem Zustand, dem Augenblick, in dem der Bohrer D2 in den Pfad 44 ein
dringt, erfolgt die Zufuhr von Kühlwasser durch den Durchflußpfad 48 gleichzeitig
mit dem Betrieb der Saugpumpe 50. Da in den Pfad 44 Luft strömt, kann dann
kein Kühlwasser in den Pfad 44 fließen. Daher wird das Kühlwasser gleichmäßig
durch den Absaugpfad 52 abgesaugt, und die Arbeitsvorbereitung auf der Unter
seite ist abgeschlossen. In diesem Zeitpunkt muß das Kühlwasser mit genügend
Druck zugeführt werden, um die Bearbeitung der Glasoberfläche zu erlauben, und
die Leistung der Saugpumpe muß geeignet gesteuert werden, so daß die richtige
Menge Kühlwasser zugeführt wird, wobei sichergestellt wird, daß diese Menge
einen Wert nicht übersteigt, bei dem das Kühlwasser in den Pfad 44 austreten
würde, so daß die Arbeiten nicht behindert werden. Diese Vorgänge finden auf die
gleiche Weise im oberen Arbeitsteil 20 statt.
In dem obigen Zustand wird ein Teil des Glases (ungefähr 1/2 bis 1/3 der Dicke
des Glases) mit dem Bohrer D2 von der Unterseite aus bearbeitet. Danach wird der
untere Bohrer D2 nach unten bewegt, und der obere Bohrer D1 wird nach unten
bewegt, so daß er sich in den Pfad 32 hinein erstreckt. In diesem Zeitpunkt erfolgt
ähnlich wie bei dem unteren Arbeitsteil 22 die Zufuhr von Kühlwasser durch den
Durchflußpfad 38 gleichzeitig mit dem Betrieb der Saugpumpe 42. Das Kühlwasser
wird dann gleichmäßig zugeführt, und die Arbeitsvorbereitung auf der Oberseite ist
abgeschlossen. Nachdem der Bohrer D1 den Rest gebohrt hat, wird der Bohrer D1
in seine Ausgangsposition zurückgefahren. Da die Zufuhr und das Absaugen von
Kühlwasser auf der Oberseite und der Unterseite wiederholt durchgeführt werden,
wird bis jetzt der Schleifstaub entfernt und die Bearbeitungsfläche gereinigt. Nach
dem die beiden Bohrer in ihre Ausgangspositionen zurückgekehrt sind, kann auf
der Bearbeitungsfläche zurückgebliebenes Kühlwasser entfernt werden, da die
Kühlwasserzufuhr unterbrochen wird, bevor die Saugpumpe abgeschaltet wird.
Nachdem der obige Vorgang abgeschlossen ist, wird das bewegliche Glied 24 von
der Glasoberfläche abgehoben, indem die Schubvorrichtung 26 angehoben wird,
und gegen das nächste Werkstück bewegt. Danach wird das Verfahren wiederholt,
um weitere Löcher zu bohren.
Wie oben beschrieben, kann die Glasbohrvorrichtung der Erfindung dazu dienen,
die Verschmutzung der Vorrichtung zu verhüten, da sie das Kühlwasser zusammen
mit dem Schleifttaub absaugt, wenn ein Loch in das Glas gebohrt wird.
Wenn das Loch mittels des obigen Verfahrens gebohrt wird, haftet der Glasstaub
nicht an der Glasoberfläche. Da kein weiterer Reinigungsvorgang zum Entfernen
des Glasstaubs erforderlich ist, hat die Erfindung die Vorteile, daß die benötigte
Bearbeitungszeit verkürzt und die Produktivität erhöht wird.
Die Erfindung kann ferner dazu dienen, das Problem zu lösen, daß die Glas
oberfläche durch den Schleifstaub verkratzt wird, da an der Glasoberfläche kein
Schleifstaub haften bleibt.
Die Erfindung wurde zwar in Verbindung mit der gegenwärtig als am praktischsten
angesehenen und bevorzugten Ausführungsform beschrieben, ist aber selbstver
ständlich nicht auf die offenbarte Ausführungsform beschränkt, sondern es ist im
Gegenteil beabsichtigt, verschiedene Modifikationen und äquivalente Anordnungen
abzudecken, die im Schutzumfang der beigefügten Patentansprüche enthalten
sind.
Claims (2)
1. Glasbohrvorrichtung, die folgendes aufweist:
ein bewegliches Glied (24), das mittels einer Schubvorrichtung (26) nach oben und unten beweglich ist und das einen Pfad (32), in den hinein sich ein Bohrer (D1) erstreckt, und einen an einem Bodenteil gebildeten Hohlraumteil (34) aufweist, der mit einem Durchflußpfad (38) für Kühlwasser und einem Absaugpfad (40) verbunden ist, und
ein Aufspannglied (28), das in einem Zustand befestigt ist, in dem es dem bewegli chen Glied (24) gegenüberliegt, und das einen in dem Aufspannglied eingerichteten Pfad (44) zum Eindringen eines weiteren Bohrers (D2) und einen an der Oberseite des Aufspanngliedes gebildeten Hohlraumteil (46) enthält, der mit einem Durch flußpfad (48) für Kühlwasser und einem Absaugpfad (52) verbunden ist,
wobei die Absaugpfade (40; 52) jeweils mit Saugpumpen (42; 50) verbunden sind, um in den Hohlraumteilen (34; 46) Unterdruck zu erzeugen.
ein bewegliches Glied (24), das mittels einer Schubvorrichtung (26) nach oben und unten beweglich ist und das einen Pfad (32), in den hinein sich ein Bohrer (D1) erstreckt, und einen an einem Bodenteil gebildeten Hohlraumteil (34) aufweist, der mit einem Durchflußpfad (38) für Kühlwasser und einem Absaugpfad (40) verbunden ist, und
ein Aufspannglied (28), das in einem Zustand befestigt ist, in dem es dem bewegli chen Glied (24) gegenüberliegt, und das einen in dem Aufspannglied eingerichteten Pfad (44) zum Eindringen eines weiteren Bohrers (D2) und einen an der Oberseite des Aufspanngliedes gebildeten Hohlraumteil (46) enthält, der mit einem Durch flußpfad (48) für Kühlwasser und einem Absaugpfad (52) verbunden ist,
wobei die Absaugpfade (40; 52) jeweils mit Saugpumpen (42; 50) verbunden sind, um in den Hohlraumteilen (34; 46) Unterdruck zu erzeugen.
2. Glasbohrvorrichtung nach Anspruch 1, wobei an der Unterseite des beweg
lichen Gliedes (24) um den Hohlraumteil (34) herum ein Stoßdämpfglied (36)
befestigt ist, um das Austreten von Wasser zu verhindern und den Stoß beim
Berühren des Glases (G) aufzufangen.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950031628A KR0177974B1 (ko) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | 글래스 드릴장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19627479A1 true DE19627479A1 (de) | 1997-03-27 |
Family
ID=19427726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19627479A Withdrawn DE19627479A1 (de) | 1995-09-25 | 1996-07-08 | Glasbohrvorrichtung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09117896A (de) |
KR (1) | KR0177974B1 (de) |
DE (1) | DE19627479A1 (de) |
IT (1) | IT1286150B1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008015761A1 (de) | 2008-03-26 | 2009-10-01 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Bohrkopf für eine Glasbohrmaschine |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5144909B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2013-02-13 | 剛 蓮野 | 板材の穴加工方法 |
KR100936505B1 (ko) * | 2008-03-19 | 2010-01-13 | 주식회사 아이.티.피 | 공구 고속회전 마찰을 이용한 부도체 초경질 소재 홀 가공방법 및 그 장비 |
KR101336336B1 (ko) * | 2012-09-19 | 2013-12-06 | 김동원 | 판유리 천공시스템 |
CN103341916A (zh) * | 2013-07-23 | 2013-10-09 | 济南志力数控机械有限公司 | 石墨块专用卧式多主轴双面数控钻床 |
US9862066B1 (en) * | 2016-09-29 | 2018-01-09 | The Boeing Company | Systems and methods for control of foreign object debris |
CN113561337B (zh) * | 2021-06-24 | 2023-05-16 | 安徽工程大学 | 一种汽车玻璃定位加工装置 |
-
1995
- 1995-09-25 KR KR1019950031628A patent/KR0177974B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-07-05 IT IT96TO000574A patent/IT1286150B1/it active IP Right Grant
- 1996-07-08 DE DE19627479A patent/DE19627479A1/de not_active Withdrawn
- 1996-09-24 JP JP8251038A patent/JPH09117896A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008015761A1 (de) | 2008-03-26 | 2009-10-01 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Bohrkopf für eine Glasbohrmaschine |
DE102008015761B4 (de) * | 2008-03-26 | 2010-02-25 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Bohrkopf für eine Glasbohrmaschine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ITTO960574A1 (it) | 1998-01-05 |
ITTO960574A0 (de) | 1996-07-05 |
KR970014966A (ko) | 1997-04-28 |
JPH09117896A (ja) | 1997-05-06 |
IT1286150B1 (it) | 1998-07-07 |
KR0177974B1 (ko) | 1999-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112008000079B4 (de) | Plasma-Dicing-Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Halbleiterchips | |
DE102008004817B4 (de) | Entwicklungsbearbeitungsvorrichtung | |
DE69737926T2 (de) | Reinigungsvorrichtung | |
DE102005047110B4 (de) | Waferteilungsverfahren und -teilungsvorrichtung | |
DE102005010377B4 (de) | Waferbearbeitungs-Verfahren | |
DE4037716C1 (de) | ||
EP0044567A1 (de) | Verfahren zur einseitigen Ätzung von Halbleiterscheiben | |
DE102005022530A1 (de) | Waferteilungsverfahren | |
DE102013216121A1 (de) | Laserbearbeitungsvorrichtung | |
DE10392335T5 (de) | Montagevorrichtung für elektronische Komponenten und Verfahren zur Montage elektronischer Komponenten | |
DE10222851A1 (de) | Schneidmaschine | |
DE10039672A1 (de) | Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten eines Substrats | |
DE2624156A1 (de) | Vorrichtung zur behandlung von flachen werkstuecken mit fluessigkeiten und/oder gasen | |
DE69914251T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Kleben von Platten | |
WO2018046330A1 (de) | Variabler maschinentisch | |
DE19627479A1 (de) | Glasbohrvorrichtung | |
DE19858791A1 (de) | Plattenbearbeitungsmaschine | |
DE69721111T2 (de) | Poliervorrichtung und Verfahren | |
DE102021204419A1 (de) | Bearbeitungsverfahren für ein werkstück | |
DE19861132B4 (de) | Werkzeugmaschine mit Abdeckung | |
DE102008060390A1 (de) | Substratbearbeitungsvorrichtung | |
DE10136281B4 (de) | Vorrichtung zum Polieren abgeschrägter Umfangsteile eines Wafers | |
DE4005542A1 (de) | Tragrahmen fuer einen traeger zur aufnahme von halbleiter-wafer | |
EP1112817A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten plattförmiger Werkstücke | |
DE19738091C2 (de) | Staubabsaugung für Oberfräsen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |