DE112012001287B4 - Gehäuse und Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder Ionenkanone - Google Patents

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Abstract

Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone, wobei eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone mit einer negativen Elektrode und einer positiven Elektrode in einem Behälter eingeschlossen ist und in einem Zustand aufbewahrt oder transportiert wird, in dem ein Leiter eine Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, so dass die negative und die positive Elektrode ein gleiches elektrisches Potential aufweisen.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Gehäuse und ein Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone während der Aufbewahrung oder des Transports der Elektronenkanone oder der Ionenkanone.
  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Im Allgemeinen besteht eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone aus einem Paar aus positiver Elektrode und negativer Elektrode, die elektrisch isoliert sind. Bei einer ZrO/W-Schottky-Elektronenquelle, die in letzter Zeit beliebt wird, werden diejenigen, in denen eine Elektronenquelle und eine positive Elektrode (Extraktionselektrode) eingebaut sind, aufgrund ihrer einfachen Handhabung in der Praxis verwendet (siehe Patentschrift 1).
  • DOKUMENTE DES STANDS DER TECHNIK
  • PATENTSCHRIFT
    • Patentschrift 1: JP-A-09-082255
  • In der Druckschrift US 5 834 781 A ist ein Verfahren zum Betreiben einer Elektronenquelle offenbart. Die Elektronenquelle umfasst eine nadelartige Kathode und eine Extraktionskathode. Weiterhin wird eine Steuerelektrode gezeigt, welche zwischen der Kathode und der Extraktionselektrode angeordnet ist und durch welche die Emission gesteuert werden kann.
  • Weiterhin ist in der Druckschrift US 2009/0096393 A1 ein Elektronenemissionselement und ein Displayelement offenbart. Das Elektronenemissionselement umfasst eine matrtixartige Emitteranordnung. Die Elektronenemitter weisen eine positive und eine negative Elektrode auf, wobei bei Anlegen einer Spannung Elektronen emittiert werden. Die einzelnen Elemente in der matrixartigen Anordnung sind mit Treiberschaltkreisen verbunden und somit ansteuerbar. Die emittierten Elektronen werden dann einem fluoreszierende Materialien enthaltenden Display zugeführt, welches dadurch Licht emittiert.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • VON DER ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Beim Transportieren der Elektronenkanone oder der Ionenkanone wird allgemein ein Verfahren angewandt, bei dem die Elektronenkanone oder die Ionenkanone an einem Behälter aus Kunststoff, wie etwa einem Acrylbehälter, fixiert wird und danach aufbewahrt und transportiert wird, indem sie zusammen mit einem Verpackungsmaterial aus Harz in eine Kartonschachtel platziert wird.
  • Es wurde jedoch vor Kurzem festgestellt, dass, wenn die Elektronenkanone oder die Ionenkanone in der oben beschriebenen Verpackungsweise aufbewahrt und transportiert wird, aufgrund der statischen Elektrizität, die durch Reibung des Verpackungsmaterials oder dergleichen in der Elektronenkanone oder der Ionenkanone erzeugt wird, elektrische Entladung zwischen der positiven Elektrode und der negativen Elektrode erzeugt wird, wodurch ein Problem der Beschädigung des Spitzenendes der negativen Elektrode entsteht (siehe 5).
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die oben beschriebenen Probleme geschaffen und es ist eine Aufgabe davon, zu verhindern, dass die Elektrode durch elektrische Entladung zwischen der negativen Elektrode und der positiven Elektrode, die durch statische Elektrizität verursacht wird, beschädigt wird.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone, wobei eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone mit einer negativen Elektrode und einer positiven Elektrode in einem Behälter eingeschlossen ist und in einem Zustand aufbewahrt oder transportiert wird, in dem ein Leiter eine Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, so dass die negative und die positive Elektrode ein gleiches elektrisches Potential aufweisen. Die vorliegende Erfindung betrifft außerdem ein Gehäuse für eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone, wobei eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone mit einer negativen Elektrode und einer positiven Elektrode in einem Zustand in einem Behälter zur Aufbewahrung oder zum Transport eingeschlossen wird, in dem ein Leiter eine Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, so dass die negative und die positive Elektrode ein gleiches elektrisches Potential aufweisen.
  • AUSWIRKUNGEN DER ERFINDUNG
  • Gemäß einem Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone gemäß der vorliegenden Erfindung kann elektrische Entladung zwischen der positiven Elektrode und der negativen Elektrode durch statische Elektrizität verhindert werden, indem der negative Elektrodenteil und der positive Elektrodenteil in einem Zustand aufbewahrt oder transportiert werden, in dem der negative Elektrodenteil durch einen Leiter mit dem positiven Elektrodenteil verbunden ist, wodurch es möglich ist, zu verhindern, dass das Spitzenende der negativen Elektrode beschädigt wird. Außerdem kann gemäß einem Gehäuse für eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone der vorliegenden Erfindung elektrische Entladung zwischen der positiven Elektrode und der negativen Elektrode durch statische Elektrizität verhindert werden, ohne auf die Zeit der Aufbewahrung oder des Transports begrenzt zu sein, wodurch es möglich ist, zu verhindern, dass das Spitzenende der negativen Elektrode beschädigt wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Ansicht einer in der vorliegenden Erfindung verwendeten Elektronenkanone.
  • 2 ist eine schematische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem eine Elektronenkanone durch ein herkömmliches Verfahren an einem Acrylbehälter fixiert ist.
  • 3 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel eines Handhabungsverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 4 ist eine erläuternde Ansicht, die einen Ablauf zum Verpacken gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 5 ist ein Foto, das ein Spitzenende einer negativen Elektrode zeigt, das durch elektrische Entladung beschädigt wurde.
  • 6 ist eine schematische Ansicht, die ein anderes Beispiel eines Handhabungsverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 7 ist eine schematische Ansicht, die ein anderes Beispiel eines Handhabungsverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 8 ist eine schematische Ansicht, die ein anderes Beispiel eines Handhabungsverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • BESTER WEG ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
  • Im Folgenden werden bestimmte Ausführungsformen sowie Funktion und Wirkung der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform werden ein Verfahren zum Aufbewahren und ein Verfahren zum Transportieren einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone beschrieben, die für die Verwendung in einer Vorrichtung geeignet sind, auf die ein Elektronenstrahl angewandt wird, wie etwa ein Rasterelektronenmikroskop, eine Auger-Elektronenspektroskopie, eine Elektronenstrahl-Belichtungsmaschine oder eine Wafer-Prüfvorrichtung; die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht darauf beschränkt.
  • 1 zeigt eine schematische Ansicht einer Elektronenkanone EG. Wie in 1 gezeigt, besteht die Elektronenkanone EG typischerweise aus einer negativen Elektrode 1, bei der es sich um eine Elektronenstrahlungsquelle handelt, einem Heizdraht 3 zum Erwärmen und Halten der negativen Elektrode 1, einem leitfähigen Anschluss 4 zum Halten des Heizdrahts 3, einem Isolator 5 zum Isolieren und Halten des leitfähigen Anschlusses 4 und weiter einer Steuerelektrode 6 zum Steuern der gestrahlten Elektronen, einer positiven Elektrode 9 zum Extrahieren der Elektronen aus der negativen Elektrode 1 und einem Isolator 8 zum Isolieren zwischen der positiven Elektrode 9 und der Steuerelektrode 6.
  • Hier, auch im Fall einer Ionenkanone, weist die Ionenkanone eine ähnliche Struktur auf wie die Elektronenkanone EG, außer, dass sich das Spitzenende der negativen Elektrode 1 unter der Steuerelektrode 6 befindet.
  • Typischerweise wird beim Aufbewahren und Transportieren der Elektronenkanone EG die Elektronenkanone EG an einem Sockelteil 10a eines Behälters aus Kunststoff wie etwa einem Acrylbehälter 10 fixiert, dann fest mit einem Deckelkörper 10b verschlossen, mit einer Folie oder dergleichen zusammen mit einem Verpackungsmaterial eingewickelt und aufbewahrt und transportiert, indem sie in eine Kartonschachtel platziert wird, wie in 2 gezeigt. Dieses Verpackungsmaterial ist häufig aus einer Harzsubstanz hergestellt und in dem Verpackungssystem wird infolge der Reibung durch Vibration statische Elektrizität erzeugt.
  • Während dieser Zeit befindet sich bei einer herkömmlichen Struktur einer Elektronenkanone EG der positive Elektrodenteil 9 über den Isolator 8 in einem potentialfreien Zustand und daher wird die statische Elektrizität an der positiven Elektrode 9 angesammelt und wenn die Menge derselben einen gewissen Wert übersteigt, wird elektrische Entladung zwischen der negativen Elektrode 1 und der positiven Elektrode 9 erzeugt.
  • Bei der Elektronenkanone EG oder der Ionenkanone der vorliegenden Ausführungsform ist es durch Verbinden der negativen Elektrode 1 mit der positiven Elektrode 9 durch einen Leiter möglich, zu verhindern, dass elektrische Entladung zwischen der positiven Elektrode 9 und der negativen Elektrode 1 infolge der durch Reibung des Verpackungsmaterials oder dergleichen erzeugten statischen Elektrizität erzeugt wird. Der Leiter weist bevorzugt einen spezifischen Durchgangswiderstand von 100 μΩcm oder weniger auf und die Elektroden sind bevorzugt unter Verwendung eines Metallmaterials kurzgeschlossen.
  • 3 zeigt eine schematische Ansicht einer Elektronenkanone EG der vorliegenden Ausführungsform. Bei dieser Ausführungsform ist ein Beispiel gezeigt, in dem die Elektronenkanone EG in einem Behälter 10 eingeschlossen ist und es sich bei dem die zwei Elektroden verbindenden Leiter um ein Metallelement zum Fixieren eines leitfähigen Anschlusses 4 an dem Behälter 10 und um ein elastisches Metallelement 11 handelt, das durch eine elastische Rückstellkraft mit einer positiven Elektrode 9 in Kontakt gebracht wird. Durch Kurzschließen des leitfähigen Anschlusses 4 und der positiven Elektrode 9 über das elastische Metallelement 11, wie etwa eine Metallplatte und eine Schraube 13, weisen die negative Elektrode 1 und die positive Elektrode 9 ein gleiches elektrisches Potential auf. Daher kann die elektrische Entladung zwischen der positiven Elektrode 9 und der negativen Elektrode 1, die im Fall einer herkömmlichen Elektronenkanone EG infolge der an der positiven Elektrode 9 angesammelten statischen Elektrizität erzeugt wird, durch die Struktur der vorliegenden Ausführungsform ausgeschlossen werden.
  • In dem abgebildeten Beispiel wird eine Metallplatte mit einem offenen Loch als das elastische Metallelement 11 verwendet, wobei ein Ende des elastischen Metallelements 11 über die Schraube 13 an den leitfähigen Anschluss 4 geleitet wird und das andere Ende mit der positiven Elektrode 9 in Kontakt gebracht wird. Eine elastische Rückstellkraft der Metallplatte wird für den Kontakt zwischen dem anderen Ende des elastischen Metallelements 11 und der positiven Elektrode 9 verwendet. Auf diese Weise ist das elastische Element 11 bei der vorliegenden Erfindung bevorzugt dazu konstruiert, in Bezug auf die Elektronenkanone EG oder die Ionenkanone frei anbringbar und abnehmbar zu sein.
  • In dem in 6 gezeigten Beispiel ist das elastische Metallelement 11 dazu vorgesehen, an der oberen Oberfläche der positiven Elektrode 9 anzustoßen. Auf diese Weise kann eine Verbindung durch einen Leiter mit größerer Gewissheit hergestellt werden, indem eine Oberfläche der Metallplatte in Oberflächenkontakt mit der positiven Elektrode 9 gebracht wird, statt einer Stirnseite der Metallplatte.
  • In dem in 7 gezeigten Beispiel hat ein Ende des elastischen Metallelements 11 eine Form, die es durch eine elastische Rückstellkraft mit der Schraube 13 in Kontakt bringt, die den leitfähigen Anschluss 4 an dem Sockelteil 10a fixiert und das andere Ende hat eine Form, die es durch eine elastische Rückstellkraft mit der positiven Elektrode 9 in Kontakt bringt. Das elastische Metallelement 11, wie oben beschrieben, ist an dem Deckelkörper 10b des Behälters 10 fixiert. Bei dieser Konstruktion können die zwei Elektroden durch einfaches Abdecken des Sockelteils 10a des Behälters 10 mit dem Deckelkörper 10b durch den Leiter miteinander verbunden werden. Die Fixierung des elastischen Metallelements 11 an dem Deckelkörper 10b kann mit einem beliebigen Verfahren erfolgen, zum Beispiel durch Kleben mit einem Klebstoff, thermisches Verschmelzen oder Fixieren mit einer Schraube.
  • In dem in 8 gezeigten Beispiel ist das elastische Metallelement 11 an dem Sockelteil 10a des Behälters 10 fixiert, wobei das eine Ende des elastischen Metallelements 11 eine Form aufweist, die es durch eine elastische Rückstellkraft mit dem leitfähigen Anschluss 4 in Kontakt bringt und das andere Ende weist eine Form auf, die es durch eine elastische Rückstellkraft mit der positiven Elektrode 9 in Kontakt bringt. Der leitfähige Anschluss 4 der Elektronenkanone EG wird in ein Fixierungsloch des Sockelteils 10a eingefügt, wodurch die Elektronenkanone EG an dem Sockelteil 10a fixiert wird. Bei dieser Konstruktion können die zwei Elektroden durch einfaches Einfügen des leitfähigen Anschlusses 4 der Elektronenkanone EG in das Fixierungsloch des Sockelteils 10a durch den Leiter miteinander verbunden werden. Die Fixierung des elastischen Metallelements 11 an dem Sockelteil 10a kann mit einem beliebigen Verfahren erfolgen, zum Beispiel durch Kleben mit einem Klebstoff, thermisches Verschmelzen oder Fixieren mit einer Schraube.
  • Beispiele
  • Im Folgenden werden Beispiele beschrieben.
  • Ein leitfähiges Anschlussteil einer Elektronenkanone EG ist an einem Acrylbehälter fixiert. Wie in 3 gezeigt, erfolgt die Fixierung mit einem Verfahren des Öffnens eines Lochs in einem Halteteil 10a des Acrylbehälters 10, des Einfügens eines Endes 4a des leitfähigen Anschlusses 4 darin hinein und des Befestigens des leitfähigen Anschlusses 4 von einer Seitenfläche mit einer Schraube 13. Als das elastische Metallelement 11 wird eine Metallplatte mit einem offenen Loch verwendet und das Loch des elastischen Metallelements 11 wird im Voraus mit der Schraube 13 eingefügt. Während des Fixierens dieses elastischen Metallelements 11 mit einer Mutter 12 wird die Schraube 13 befestigt, um den leitfähigen Anschluss 4 mit der Schraube 13 in Kontakt zu bringen.
  • Als Nächstes werden durch Inkontaktbringen eines Teils der Metallplatte mit der positiven Elektrode 9 und Fixieren des Teils daran die negative Elektrode 1 und die positive Elektrode 9 ein gleiches elektrisches Potential aufweisen. Bei der Metallplatte handelt es sich bevorzugt um eine SUS-Platte mit einer Dicke von ungefähr 0,1 mm, die Metallplatte ist jedoch nicht darauf beschränkt.
  • Danach wird der Acrylbehälter 10 fest verschlossen, zusammen mit einem Verpackungsmaterial aus Harz in eine Folie gewickelt und in einen Kunststoffbehälter platziert. Der Kunststoffbehälter wird in eine Kartonschachtel platziert und die Lücken werden mit Styropor gefüllt, um die Verpackung abzuschließen (siehe 4).
  • Um absichtlich statische Elektrizität zu erzeugen, wurde die Kartonschachtel auf einen Vibrationsgenerator montiert, um kontinuierlich während 17,5 Stunden eine Vibration mit einer Frequenz von 3 Hz und einer Amplitude von 40 mm zu erhalten. Im vorliegenden Beispiel wurde als Vibrationsgenerator ein Rüttler für die Verwendung in einem Analyseversuch verwendet, der Vibrationsgenerator ist jedoch nicht darauf beschränkt.
  • Danach wurde die Kartonschachtel geöffnet und die Elektronenkanone wurde herausgenommen und das Spitzenende der negativen Elektrode wurde mit einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet, um zu bestätigen, ob Schäden durch elektrische Entladung erzeugt wurden oder nicht. Hier zeigt 5 eine Beispielabbildung des Spitzenendes der negativen Elektrode, die durch elektrische Entladung beschädigt wurde.
  • Vergleichsbeispiel 1
  • Auf eine nach dem selben Verfahren wie in dem Beispiel verpackte Elektronenkanone wurde eine Vibration nach einem ähnlichen Verfahren wie dem des Beispiels aufgebracht, außer dass die in dem Beispiel verwendete Metallplatte nicht verwendet wurde, und nach dem Öffnen wurde eine Beobachtung des Spitzenendes der negativen Elektrode unter Verwendung eines Rasterelektronenmikroskops vorgenommen.
  • Vergleichsbeispiel 2
  • Es wurde eine Prüfung nach einem ähnlichen Verfahren, wie dem von Vergleichsbeispiel 1 ausgeführt, außer dass der Fixierungsbehälter vom Acrylbehälter 10 zu einem Behälter aus Metall geändert wurde.
  • Vergleichsbeispiel 3
  • Es wurde eine Prüfung nach einem ähnlichen Verfahren, wie dem von Vergleichsbeispiel 1 ausgeführt, außer dass eine sogenannte Elektronenquelle, bei der eine positive Elektrode aus einer Elektronenkanone entfernt wurde, verwendet wurde.
  • Die Ergebnisse des Vergleichs sind in Tabelle 1 gezeigt. Tabelle 1
    Beispiel Vergleichsbeispiel 1 Vergleichsbeispiel 2 Vergleichsbeispiel 3
    Zahl der Prüfungen 60 60 60 60
    Zahl der beschädigten Spitzenenden der negativen Elektrode 0 57 23 0
  • Wie anhand von Tabelle 1 zu erkennen, gab es in dem Beispiel bei den 60 Stück keine Elektronenkanonen mit beschädigtem Spitzenende der negativen Elektrode. Andererseits gab es im Vergleichsbeispiel 1 bei den 60 Stück 57 Elektronenkanonen mit beschädigtem Spitzenende der negativen Elektrode, womit die Wirkung der vorliegenden Erfindung bestätigt wurde.
  • Außerdem wurde im Vergleichsbeispiel 2 eine Beschädigung des Spitzenendes der negativen Elektrode bei 23 Stück bei den 60 Stück bestätigt. Daraus wurde herausgefunden, dass die Beschädigung des Spitzenendes der negativen Elektrode nicht ausgeschlossen werden kann, indem lediglich der Elektronenkanonen-Fixierungsbehälter zu einem elektrisch leitfähigen Behälter aus Metall geändert wird.
  • Andererseits gab es im Vergleichsbeispiel 3 unter den 60 Stück keine Elektronenkanonen mit beschädigtem Spitzenende der negativen Elektrode. Damit wurde nachgewiesen, dass die Beschädigung des Spitzenendes der negativen Elektrode infolge der elektrischen Entladung erzeugt wird, die durch Ansammlung von statischer Elektrizität an der positiven Elektrode erzeugt wird, da sich das positive Elektrodenteil über einen Isolator in einem potentialfreien Zustand befindet.
  • Wie oben gezeigt, wurde die vorliegende Erfindung auf der Basis des Beispiels beschrieben. Bei diesem Beispiel handelt es sich lediglich um eine Veranschaulichung und der Fachmann wird einsehen, dass die vorliegende Erfindung auf verschiedene Elektronenkanonen oder Ionenkanonen angewandt werden kann und dass diese Beispiele ebenfalls im Umfang der vorliegenden Erfindung liegen.
  • Anders ausgedrückt eignet sich die vorliegende Erfindung für die Aufbewahrung und für den Transport einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die negative Elektrode oder die positive Elektrode ein spitzes Ende aufweist, und eignet sich weiter für ein Verfahren zur Aufbewahrung oder zum Transport einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone, bei der die negative Elektrode oder die positive Elektrode aus Wolfram ist.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Das Gehäuse und das Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone der vorliegenden Erfindung können elektrische Entladung zwischen der negativen Elektrode und der positiven Elektrode infolge statischer Elektrizität verhindern, indem die zwei Elektroden mit einem Leiter verbunden werden, wodurch die Produktivität verbessert wird. Daher kann die vorliegende Erfindung auf geeignete Weise zur Aufbewahrung und zum Transport einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone verwendet werden, die für die Verwendung in einer Vorrichtung geeignet ist, auf die ein Elektronenstrahl angewandt wird, wie etwa eine Elektronenstrahl-Belichtungsmaschine, eine Wafer-Prüfvorrichtung oder ein Elektronenstrahl-LSI-Tester, und ist daher in der Industrie sehr nützlich.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    negative Elektrode (Spitze)
    2
    Diffusionsquelle
    3
    Heizdraht
    4
    leitfähiger Anschluss
    5
    Isolator
    6
    Steuerelektrode
    7
    Schraube
    8
    Isolator
    9
    positive Elektrode (Extraktionselektrode)
    10
    Acrylbehälter
    11
    elastisches Metallelement (Leiter)
    12
    Mutter
    EG
    Elektronenkanone

Claims (9)

  1. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone, wobei eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone mit einer negativen Elektrode und einer positiven Elektrode in einem Behälter eingeschlossen ist und in einem Zustand aufbewahrt oder transportiert wird, in dem ein Leiter eine Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, so dass die negative und die positive Elektrode ein gleiches elektrisches Potential aufweisen.
  2. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone nach Anspruch 1, wobei die negative Elektrode oder die positive Elektrode ein spitzes Ende aufweist.
  3. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone nach Anspruch 2, wobei die negative Elektrode oder die positive Elektrode Wolfram umfasst.
  4. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone nach Anspruch 1, wobei die Elektronenkanone oder die Ionenkanone in einem Behälter eingeschlossen ist und der Leiter, der die Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, ein Metallelement beinhaltet, um einen Anschluss der Elektronenkanone oder der Ionenkanone an dem Behälter zu fixieren.
  5. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone nach Anspruch 1, wobei der Leiter, der die Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, ein elastisches Metallelement beinhaltet, das durch eine elastische Rückstellkraft mit der negativen Elektrode oder der positiven Elektrode in Kontakt gebracht wird.
  6. Verfahren zum Handhaben einer Elektronenkanone oder einer Ionenkanone nach Anspruch 4, wobei die Elektronenkanone oder die Ionenkanone in dem Behälter eingeschlossen ist und das elastische Material an dem Behälter fixiert ist.
  7. Gehäuse für eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone, wobei eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone mit einer negativen Elektrode und einer positiven Elektrode in einem Zustand in einem Behälter zur Aufbewahrung oder zum Transport eingeschlossen wird, in dem ein Leiter eine Verbindung zwischen den zwei Elektroden herstellt, so dass die negative und die positive Elektrode ein gleiches elektrisches Potential aufweisen.
  8. Gehäuse für eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone nach Anspruch 7, wobei die negative Elektrode oder die positive Elektrode ein spitzes Ende aufweist.
  9. Gehäuse für eine Elektronenkanone oder eine Ionenkanone nach Anspruch 8, wobei die negative Elektrode oder die positive Elektrode Wolfram umfasst.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106816350B (zh) * 2017-03-24 2019-06-14 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种电子枪

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5834781A (en) * 1996-02-14 1998-11-10 Hitachi, Ltd. Electron source and electron beam-emitting apparatus equipped with same
US20090096393A1 (en) * 2007-10-16 2009-04-16 Masateru Taniguchi Electron-Emissive Element and Display Element

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4020318A (en) * 1975-01-24 1977-04-26 The Welding Institute Electron beam generators
JPS6149965U (de) * 1984-09-05 1986-04-03
JPS63168956U (de) * 1987-04-24 1988-11-02
JPH0294238A (ja) * 1988-09-29 1990-04-05 Denki Kagaku Kogyo Kk 荷電粒子放射源構造体の保管方法
JP2930701B2 (ja) * 1990-11-22 1999-08-03 日本電子株式会社 電界放出型電子銃
JPH0545887U (ja) * 1991-11-20 1993-06-18 株式会社日立製作所 荷電粒子銃
JPH0982255A (ja) * 1995-09-11 1997-03-28 Denki Kagaku Kogyo Kk 電界放射型荷電粒子銃
US6238582B1 (en) * 1999-03-30 2001-05-29 Veeco Instruments, Inc. Reactive ion beam etching method and a thin film head fabricated using the method
JP4210131B2 (ja) * 2003-02-03 2009-01-14 電気化学工業株式会社 電子源及び電子源の使用方法
EP1947674B1 (de) * 2005-11-08 2015-06-17 Advantest Corporation Elektronenkanone, elektronenstrahl-belichtungssystem und belichtungsverfahren
JP2010135068A (ja) * 2007-03-27 2010-06-17 Denki Kagaku Kogyo Kk 荷電粒子装置用部品とその製造方法
JP4782736B2 (ja) * 2007-07-12 2011-09-28 電気化学工業株式会社 電子源
JP2009100540A (ja) 2007-10-16 2009-05-07 Nippon Densan Corp チャッキング装置を備えたモータ、およびこのモータを搭載したディスク駆動装置
GB2460855B (en) * 2008-06-11 2013-02-27 Kratos Analytical Ltd Electron spectroscopy
FR2957455B1 (fr) * 2010-03-09 2012-04-20 Essilor Int Enveloppe de protection pour canon a ions, dispositif de depot de materiaux par evaporation sous vide comprenant une telle enveloppe de protection et procede de depot de materiaux

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5834781A (en) * 1996-02-14 1998-11-10 Hitachi, Ltd. Electron source and electron beam-emitting apparatus equipped with same
US20090096393A1 (en) * 2007-10-16 2009-04-16 Masateru Taniguchi Electron-Emissive Element and Display Element

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