CN103430275A - 电子枪或离子枪的处理方法及收纳体 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种预先将阴极（1）和阳极（9）组入进行组装并且能够在将所述阴极和所述阳极组入了的状态下进行保管和输送的带电粒子枪（EG），其特征在于，在保管和输送所述带电粒子枪时，用导体（11）连接所述阴极和所述阳极。由此，能够防止由于在保管和输送过程中产生的静电所引起的放电导致带电粒子枪的电极前端受损。

Description

电子枪或离子枪的处理方法及收纳体
技术领域
本发明涉及将电子枪或离子枪进行保管或输送时的电子枪或离子枪的处理方法及收纳体。
背景技术
电子枪或离子枪一般由电绝缘的阳极和阴极对构成。在近年来普及的ZrO/W肖特基电子源中，由于容易操作，将电子源和阳极（引出电极）一体化的产品也得以实际应用。（参考专利文献1）。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平09-082255号公报
发明内容
发明所要解决的问题
当输送该电子枪或离子枪时，一般使用以下的方法：将该电子枪或离子枪固定在丙烯酸容器等塑料制容器之后，将其与树脂制包装材料一起放入瓦楞纸箱内进行保管和输送。
然而，最近发现，采用上述包装方式进行保管和输送时，在该电子枪或离子枪中，发生由包装材料等的摩擦产生的静电导致阳极和阴极之间放电、阴极前端受损的问题（参考图5）。
本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是防止因静电导致阴极和阳极之间放电而使电极受损。
用于解决问题的手段
本发明涉及一种电子枪或离子枪的处理方法，其特征在于，将具有阴极和阳极的电子枪或离子枪在用导体将两极之间进行了连接的状态下进行保管或输送。另外，本发明涉及一种电子枪或离子枪的收纳体，其特征在于：将具有阴极和阳极的电子枪或离子枪在用导体将两极之间进行了连接的状态下收纳在容器中。
发明效果
根据本发明的电子枪或离子枪的处理方法，通过在用导体将阴极部和阳极部进行了连接的状态下进行保管或输送，能够防止因静电引起阳极和阴极之间发生放电，从而能够防止阴极前端受损。另外，根据本发明的电子枪或离子枪的收纳体，并不限于保管或输送时，由于能够防止因静电导致的阳极和阴极之间的放电，因此能够防止阴极前端受损。
附图说明
图1是在本发明中使用的电子枪的示意图。
图2是示出利用以往的方法将电子枪固定在丙烯酸容器上的状态的示意图。
图3是示出根据本发明的处理方法的一例的示意图。
图4是示出根据本发明的包装的样貌的说明图。
图5是示出因放电受到损伤的阴极前端的照片。
图6是示出根据本发明的处理方法的其他例的示意图。
图7是示出根据本发明的处理方法的其他例的示意图。
图8是示出根据本发明的处理方法的其他例的示意图。
具体实施方式
以下，对本发明的具体实施方式及作用效果进行说明。
在本实施方式中，对扫描式电子显微镜、俄歇电子分光、电子线曝光机、晶圆检查装置等电子线应用设备所适用的电子枪或离子枪的保管方法及输送方法进行说明，但本发明不限于此。
在图1中示出了电子枪EG的示意图。电子枪EG如图1所示一般包括：构成电子放射源的阴极1；用于加热和保持阴极1的灯丝3；用于保持灯丝的导电端子4；用于使导电端子4绝缘并保持导电端子4的绝缘子5；用于控制被放射的电子的控制电极6；用于从阴极1引出电子的阳极9；以及用于使阳极9和控制电极6绝缘的绝缘子8。
另外，在离子枪的情况中，除了阴极1的前端位于比控制电极6靠下的位置这一点之外，具有与电子枪EG相同的结构。
当对上述电子枪EG进行保管和输送时，如图2所示，一般，将电子枪EG固定在丙烯酸容器10等的塑料制容器的基部10a后，通过盖体10b密封，将其与包装材料一起使用薄膜类进行包裹，放入瓦楞纸箱进行保管和输送。对于该包装材料，大多使用树脂性的物质，由于因振动产生摩擦的原因，在包装系统内产生静电。
此时，在以往的电子枪EG的结构中，由于阳极9的部分处于通过绝缘子8被悬浮的状态，因此在阳极9上蓄积静电荷，当静电荷达到一定量以上时，在阴极1和阳极9之间发生放电。
在本实施方式中的电子枪EG或离子枪中，通过使用导体连接阴极1和阳极9，能够防止由包装材料等的摩擦产生的静电导致阳极9和阴极1之间发生放电。作为导体，优选体积电阻率为100μΩcm以下的导体，更优选地，使用金属材料实施短路。
图3示出了本实施方式的电子枪EG的示意图。在该实施方式中，示出如下的例子：电子枪EG被收纳在容器10中，并且连接两极之间的导体为用于将导电端子4固定在容器10中的金属部件、以及通过弹性恢复力与阳极9接触的弹性金属部件11。通过利用金属板那样的弹性金属部件11及螺钉13使导电端子4和阳极9短路，阴极1和阳极9成为相同电位。因此，通过本实施方式的结构消除了在以往的电子枪EG的情况中由于蓄积在阳极9的静电的原因所产生的阳极9和阴极1之间的放电。
在图示的例子中，作为弹性金属部件11，使用开有孔的金属板，使弹性金属部件11的一端侧经由螺钉13与导电端子4导通，使弹性金属部件11的另一端侧与阳极9接触。为了使弹性金属部件11的另一端侧与阳极9接触，利用了金属板的弹性恢复力。在本发明中，优选以上述方式将弹性金属部件11构成为相对于电子枪EG或离子枪装卸自如。
在图6所示的例子中，设置了与阳极9的上表面抵接的弹性金属部件11。通过以这种方式，使金属板的一个表面与阳极9面接触，而不是金属板的边缘与阳极9面接触，能够更可靠地进行由导体实现的连接。
如图7所示的例子中，弹性金属部件11的一端侧为通过弹性恢复力与将导电端子4固定在基部10a的螺钉13接触的形状，弹性金属部件11的另一端侧为通过弹性恢复力与阳极9接触的形状。将这样的弹性金属部件11固定在容器10的盖体10b上。根据该结构，仅将盖体10b覆盖到容器10的基部10a上，就能通过导体连接两极之间。弹性金属部件11相对于盖体10b的固定可采用任何的方法，可例举通过粘结剂实现的粘结、热粘接、通过螺钉实现的固定等。
在图8所示的例子中，弹性金属部件11被固定在容器10的基部10a上，弹性金属部件11的一端侧为通过弹性恢复力与导电端子4接触的形状，弹性金属部件11的另一端侧为通过弹性恢复力与阳极9接触的形状。电子枪EG的导电端子4被插入到基部10a的固定孔中，电子枪EG被固定在基部10a上。根据该结构，仅将电子枪EG的导电端子4插入到基部10a的固定孔中，就能通过导体连接两极之间。弹性金属部件11相对于基部10a的固定可采用任何的方法，可例举通过粘结剂实现的粘结、热粘接、通过螺钉实现的固定等。
＜实施例＞
以下对实施例进行说明。
将电子枪EG的导电端子部固定在丙烯酸容器上。固定方法如图3所示，通过在丙烯酸容器10的支撑部10a上开孔，并将导电端子4的一端4a插入到该孔中，从侧面使用螺钉13进行紧固。作为弹性金属部件11，使用开有孔的金属板，并将螺钉13预先插入到弹性金属部件11的孔中。将该弹性金属部件11使用螺母12进行固定的同时，对螺钉13进行紧固使导电端子4和螺钉13接触。
然后，通过使金属板的一部分和阳极9接触并进行固定，阴极1和阳极9之间成为相同的电位。金属板优选厚度为0.1mm左右的SUS板，但不限于此。
之后，将丙烯酸容器10密封，将其与树脂制的包装材料一起包裹在薄膜中，然后放入塑料容器中。将该塑料容器放入到瓦楞纸箱中，使用泡沫聚苯乙烯填埋空隙，完成包装（参考图4）。
为了能够有意地产生静电，在上述瓦楞纸箱中附加振动发生器，将频率3Hz、振幅40mm的振动持续施加17.5小时。在本实施例中，振动发生器使用了在分析实验中使用的振动器，但不限于此。
之后将瓦楞纸箱开封，从中取出电子枪，通过扫描式电子显微镜观察阴极前端，对是否发生由放电引起的损伤进行了确认。另外，图5中示出了因放电受到损伤的阴极前端的图像例。
＜比较例1＞
对于除没有使用在实施例中使用的金属板之外、采用与实施例相同的方法进行了包装的电子枪，采用与实施例相同的方法施加振动，并在开封后通过扫描式电子显微镜实施了阴极前端观察。
＜比较例2＞
将固定容器由丙烯酸容器10变为金属制容器，除此之外，采取与比较例1相同的方法实施了实验。
＜比较例3＞
使用从电子枪上拆卸了阳极的所谓的电子源，除此之外，采取与比较例1相同的方法实施了实验。
比较结果示于表1。
[表1]
Figure BDA0000383298850000051
通过表1，确认了本发明的如下的效果：在实施例中，在60个之中没有阴极前端受到损伤的物体。另一方面，在比较例1中，60个之中有57个阴极前端受到损伤。
另外，在比较例2中，确认了60个之中有23个阴极前端受到损伤。由此可知，仅将电子枪固定容器改变为导电性的金属制容器，无法消除该阴极前端损伤。
另一方面，在比较例3中，60个之中没有阴极前端受到损伤的物体，由此可证实：由于阳极部处于经由绝缘子被悬浮的状态，因此，由于静电荷在阳极上蓄积所产生的放电的原因，该阴极前端受到损伤。
以上，基于实施例对本发明进行了说明。作为本领域的技术人员应当理解：该实施例仅是例示，在各种电子枪或离子枪中可能的变形或这样的例子也在本发明的范围之内。
即，本发明适于以阴极或阳极具有尖端为特征的电子枪或离子枪的保管及输送，进一步适于阴极或阳极由钨形成的电子枪或离子枪的保管方法及输送。
工业上的可利用性
本发明的电子枪或离子枪的处理方法及收纳体通过用导体连接阴极和阳极之间，能够防止因静电引起的两极之间的放电，生产率提高，因此，适合用于电子线曝光机、晶圆检查装置、电子线LSI检验器等电子线应用设备的电子枪或离子枪的保管及输送，在产业上非常有用。
附图标记的说明
1：阴极（芯）
2：扩散源
3：灯丝
4：导电端子
5：绝缘子
6：控制电极
7：螺钉
8：绝缘子
9：阳极（引出电极）
10：丙烯酸容器
11：弹性金属部件（导体）
12：螺母
EG：电子枪

Claims (9)

1.一种电子枪或离子枪的处理方法，其特征在于：将具有阴极和阳极的电子枪或离子枪在用导体将两极之间进行了连接的状态下进行保管或运送。
2.如权利要求1所述的电子枪或离子枪的处理方法，所述阴极或所述阳极具有尖端。
3.如权利要求2所述的电子枪或离子枪的处理方法，所述阴极或所述阳极由钨形成。
4.如权利要求1所述的电子枪或离子枪的处理方法，所述电子枪或离子枪被收纳在容器中，并且连接所述两极之间的导体包括用于将所述电子枪或离子枪的端子固定在所述容器上的金属部件。
5.如权利要求1所述的电子枪或离子枪的处理方法，连接所述两极之间的导体包括通过弹性恢复力与所述阴极或所述阳极接触的弹性金属部件。
6.如权利要求4所述的电子枪或离子枪的处理方法，所述电子枪或离子枪被收纳在容器中，并且所述弹性金属部件被固定在所述容器上。
7.一种电子枪或离子枪的收纳体，其特征在于，将具有阴极和阳极的电子枪或离子枪在用导体将两极之间进行了连接的状态下收纳在容器中。
8.如权利要求7所述的电子枪或离子枪的收纳体，所述阴极或所述阳极具有尖端。
9.如权利要求8所述的电子枪或离子枪的收纳体，所述阴极或所述阳极由钨形成。
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