TWI558631B - 電子槍或離子槍之處置方法及收容體 - Google Patents

Description

電子槍或離子槍之處置方法及收容體

本發明係關於一種保管或輸送電子槍或離子槍時的電子槍或離子槍之處置方法及收容體。

一般的電子槍或離子槍係由電性絕緣之一對陽極與陰極所構成。即便是在近年普及的ZrO/W肖特基(Schottky)電子源中，從處置之容易度來看使電子源與陽極(引出電極)一體化而成者也是很實用化(參照專利文獻1)。

(專利文獻1)日本特開平09-082255號公報

輸送該電子槍或離子槍時，一般所用之方法係將其固定於丙烯酸(acrylic)容器等的塑膠製容器之後，再與樹脂製捆包材一同置入於瓦楞紙箱加以保管及輸送。

然而，最近發現到當以上述捆包形態進行保管及輸送時，會發生以下的問題：在該電子槍或離子槍中，陽極與陰極間會以因捆包材等之摩擦而產生的靜電方式進行放電，使得陰極前端受損(參照圖5)。

本發明係有鑑於上述問題而開發完成者，其目的在於防止因陰極與陽極間以靜電方式進行放電而蒙受電極之損傷。

本發明係關於一種電子槍或離子槍之處置方法，其特徵為：將具有陰極與陽極之電子槍或離子槍在以導體來連 接兩極間的狀態下進行保管或輸送。又本發明係關於一種電子槍或離子槍之收容體，其特徵為：將具有陰極與陽極之電子槍或離子槍在以導體來連接兩極間的狀態下收容於容器。

當藉由本發明之電子槍或離子槍之處置方法時，藉由在以導體來連接陰極部與陽極部的狀態下進行保管或輸送，由於能夠防止陽極與陰極間以靜電方式進行放電，所以可防止陰極前端損傷。又藉由本發明之電子槍或離子槍之收容體，由於不論保管或輸送時均能夠防止陽極與陰極間以靜電方式進行放電，所以可防止陰極前端損傷。

以下，就本發明之具體的實施形態及作用效果加以說明。

在本實施形態中，雖然係就掃描式電子顯微鏡、歐傑電子(Auger electron)分光、電子束曝光機、晶圓檢查裝置等之電子束應用機器所適用的電子槍或離子槍之保管方法及輸送方法加以說明，但是本發明並非被限定於此。

圖1係顯示電子槍EG之示意圖。如圖1所示，電子槍EG一般是包含：成為電子放射源的陰極1；用以加熱、保持陰極1的燈絲3；用以保持燈絲3的導電端子4；用以絕緣、保持導電端子4的絕緣礙子5；此外，用以控制被放射之電子的控制電極6；用以從陰極1引出電子的陽極9；以及用以絕緣陽極9與控制電極6的絕緣礙子8。

另外，在離子槍的情況，其陰極1之前端係位在比控 制電極6還靠近下方，除了此點以外其餘具有與電子槍EG同樣的構造。

當要保管及輸送上述電子槍EG時，如圖2所示，一般是在丙烯酸容器10等之塑膠製容器的基底部10a，固定電子槍EG之後，藉由蓋體10b來密塞，且與捆包材一起以薄膜類來包裹，然後置入於瓦楞紙箱內並進行保管及輸送。該捆包材常使用樹脂性之物，由於振動所致的摩擦在捆包系統內會產生靜電。

此時，在習知的電子槍EG之構造中，由於陽極9部會打通絕緣礙子8而成為浮動的狀態，所以在陽極9上會有靜電荷蓄積，當變成一定量以上時，就在陰極1與陽極9間產生放電。

在本實施形態之電子槍EG或離子槍中，藉由以導體來連接陰極1與陽極9，可防止陽極9與陰極1間以捆包材等之摩擦而產生的靜電方式進行放電。作為導體，較佳為體積電阻率(volume resistivity)100μ Ωcm以下，更佳是使用金屬材料使之短路。

圖3係顯示本實施形態的電子槍EG之示意圖。在該實施形態中，係顯示電子槍EG收容於容器10，並且連接兩極間的導體係為用以將導傳端子4固定於容器10的金屬構件、及藉由彈性復原力來與陽極9接觸的彈性金屬構件11之例。藉由使導電端子4與陽極9通過如金屬板之彈性金屬構件11及螺釘13而短路，陰極1與陽極9就會變成同電位。因而，在習知的電子槍EG之情況，因蓄積於陽極9之靜電而在陽極9與陰極1間所產生的放電，可藉由本實施形態之構造而消除。

在圖示之例中，作為彈性金屬構件11，係使用開過孔的金屬板，且使彈性金屬構件11之一端側透過螺釘13而導通至導電端子4，且使另一端側接觸陽極9。彈性金屬構件11之另一端側與陽極9的接觸，係利用金屬板之彈性復原力來完成。在本發明中，較佳是如上所述對於電子槍EG或離子槍之彈性金屬構件11以裝卸自如的方式構成。

在圖6所示之例中，係設置與陽極9之上面抵接的彈性金屬構件11。如此地使金屬板之其中一側的表面取代金屬板之端邊來與陽極9進行面接觸，藉此可更確實地進行由導體引起的連接。

在圖7所示之例中，彈性金屬構件11之一端側係相對於將導電端子4固定於基底部10a的螺釘13，成為可藉由彈性復原力進行接觸的形狀，而另一端側則成為藉由彈性復原力來與陽極9接觸的形狀。將如此的彈性金屬構件11固設於容器10之蓋體10b。當藉由該構成時，只要將蓋體10b覆蓋於容器10之基底部10a，就可藉由導體來連接兩極間。彈性金屬構件11對於蓋體10b之固設，亦可為任一種方法，可例示藉由接著劑而進行的接著、熱熔接、藉由螺釘而進行的固設等。

在圖8所示之例中，彈性金屬構件11係固設於容器10之基底部10a，其中彈性金屬構件11之一端側係成為藉由彈性復原力來與導電端子4接觸的形狀，而另一端側則成為藉由彈性復原力來與陽極9接觸的形狀。電子槍EG之導電端子4，係插入於基底部10a之固定孔，而電子槍EG係固定於基底部10a。當藉由該構成時，只要將電子槍EG之導電端子4插入於基底部10a之固定孔，就可藉由導體來 連接兩極間。彈性金屬構件11對於基底部10a之固設，亦可為任一種方法，可例示藉由接著劑而進行的接著、熱熔接、藉由螺釘而進行的固設等。

<實施例>

以下就實施例加以說明。

將電子槍EG之導電端子部固定於丙烯酸容器。如圖3所示，固定方法係藉由以下方式進行：在丙烯酸容器10之基底部10a開孔，且在該處插入導電端子4之一端4a，進而從側面以螺釘13予以鎖入。作為彈性金屬構件11，係使用開過孔的金屬板，且將彈性金屬構件11之孔事先插入螺釘13。一邊以螺帽12來固定該彈性金屬構件11，一邊鎖緊螺釘13以使導電端子4與螺釘13接觸。

其次藉由將金屬板之一部分與陽極9進行接觸及固定而使陰極1與陽極9間成為同電位。雖然金屬板較佳為厚度0.1mm左右的SUS板，但是並非被限定於此。

之後將丙烯酸容器10予以密塞，且與樹脂製之捆包材一起包上薄膜，且置入於塑膠容器中。將該塑膠容器置入於瓦楞紙箱中，且以發泡苯乙烯填埋間隙，以完成捆包作業(參照圖4)。

為了意圖性地產生靜電，而將上述瓦楞紙箱備置於振動產生器中，且提供頻率3Hz、振幅40mm之振動持續17.5小時。振動產生器在本實施例中雖然是採用供分析實驗用的振動器，但是並非被限定於此。

之後將瓦楞紙箱予以開封並從其中取出電子槍，且藉由掃描式電子顯微鏡來觀察陰極前端，確認了是否有產生因放電而造成的損傷。另外，圖5係顯示因放電而受損的 陰極前端之影像例。

<比較例1>

除了未使用實施例中所用的金屬板以外，其餘以與實施例相同的方法，將捆包後的電子槍以與實施例同樣的方法提供振動，且實施了開封後藉由掃描式電子顯微鏡而進行的陰極前端觀察。

<比較例2>

將固定容器從丙烯酸容器10變更為金屬製容器，除此以外以與比較例1同樣的方法實施了試驗。

<比較例3>

使用從電子槍拆除掉陽極之所謂的電子源，除此以外以與比較例1同樣的方法實施了試驗。

將比較結果顯示於表1。

根據表1，在實施例中，60個中並沒有在陰極前端蒙受損傷之物。另一方面，在比較例1中，60個中有57個在陰極前端蒙受損傷，可確認到藉由本發明所帶來的效果。

又，在比較例2中確認到60個中有23個陰極前端之損傷。根據此可明白：僅將電子槍固定容器變更為導電性之金屬製容器，無法使該陰極前端損傷消失。

另一方面在比較例3中，由於60個中並沒有在陰極前端蒙受損傷之物，所以可證實：該陰極前端損傷之產生要因，係由於陽極部打通絕緣礙子而成為浮動的狀態，所以在陽極上有靜電荷蓄積而產生放電所致。

以上已根據實施例說明本發明。該實施例不過是例示，對於該發明所屬技術領域中具有通常知識者而言自可理解該實施例能夠實施於各種的電子槍或離子槍中，且如此之例也涵蓋於本發明之範圍內。

亦即，本發明係適合於以陰極或陽極具有尖銳端為特徵的電子槍或離子槍之保管及輸送，此外亦適合於陰極或陽極係由鎢所構成的電子槍或離子槍之保管方法及輸送。

[產業上之可利用性]

本發明之電子槍或離子槍之處置方法及收容體，係藉由以導體來連接陰極與陽極間，而可防止因靜電而造成的電極間之放電，使生產性提高，所以適合用在電子束曝光機、晶圓檢查裝置、電子束LSI測試機等電子束應用機器所適用的電子槍或離子槍之保管及輸送上，故在產業上非常有用。

1‧‧‧陰極(晶片)

2‧‧‧擴散源

3‧‧‧燈絲

4‧‧‧導電端子

4a‧‧‧導電端子之一端

5‧‧‧絕緣礙子

6‧‧‧控制電極

7‧‧‧螺釘

8‧‧‧絕緣礙子

9‧‧‧陽極(引出電極)

10‧‧‧丙烯酸容器

10a‧‧‧基底部

10b‧‧‧蓋體

11‧‧‧彈性金屬構件(導體)

12‧‧‧螺帽

13‧‧‧螺釘

EG‧‧‧電子槍

圖1係本發明使用的電子槍之示意圖。

圖2係顯示電子槍以習知方法固定於丙烯酸容器的狀態之示意圖。

圖3係顯示本發明的處置方法之一例的示意圖。

圖4係顯示本發明的捆包樣態之說明圖。

圖5係顯示因放電而受損的陰極前端之照片。

圖6係顯示本發明的處置方法之另一例的示意圖。

圖7係顯示本發明的處置方法之另一例的示意圖。

圖8係顯示本發明的處置方法之另一例的示意圖。

1‧‧‧陰極(晶片)

2‧‧‧擴散源

3‧‧‧燈絲

4‧‧‧導電端子

8‧‧‧絕緣礙子

9‧‧‧陽極(引出電極)

10‧‧‧丙烯酸容器

10a‧‧‧基底部

11‧‧‧彈性金屬構件(導體)

13‧‧‧螺釘

EG‧‧‧電子槍

Claims (9)

1. 一種電子槍或離子槍之處置方法，其特徵為：將具有陰極與陽極之電子槍或離子槍在以導體來連接兩極間的狀態下收容於容器進行保管或輸送。
2. 如申請專利範圍第1項之電子槍或離子槍之處置方法，其中前述陰極或前述陽極係具有尖銳端。
3. 如申請專利範圍第2項之電子槍或離子槍之處置方法，其中前述陰極或前述陽極係由鎢所構成。
4. 如申請專利範圍第1項之電子槍或離子槍之處置方法，其中前述電子槍或離子槍係收容於容器，並且連接前述兩極間之導體係包含用以將前述電子槍或離子槍之端子固定於前述容器的金屬構件。
5. 如申請專利範圍第1項之電子槍或離子槍之處置方法，其中連接前述兩極間之導體係包含藉由彈性復原力來與前述陰極或前述陽極接觸之彈性金屬構件。
6. 如申請專利範圍第5項之電子槍或離子槍之處置方法，其中前述電子槍或離子槍係收容於容器，並且前述彈性金屬構件係固設於前述容器。
7. 一種電子槍或離子槍之收容體，其特徵為：將具有陰極與陽極之電子槍或離子槍在以導體來連接兩極間的狀態下收容於保管或輸送用的容器。
8. 如申請專利範圍第7項之電子槍或離子槍之收容體，其中前述陰極或前述陽極係具有尖銳端。
9. 如申請專利範圍第8項之電子槍或離子槍之收容體，其中前述陰極或前述陽極係由鎢所構成。