DE112006002519T5

DE112006002519T5 - Prüfvorrichtung, Prüfverfahren, Analysevorrichtung und -programm

Info

Publication number: DE112006002519T5
Application number: DE112006002519T
Authority: DE
Inventors: Kunihiko Kawasaki
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2005-09-15
Filing date: 2006-08-24
Publication date: 2008-07-24
Also published as: WO2007032194A1; KR20080045241A; JP4439009B2; US7689880B2; KR100939198B1; JP2007080422A; US20090070624A1

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen mehrerer geprüfter Speicher, welche aufweist:
mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt;
mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind;
mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Beziehung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher heilt durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden...

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren, eine Berechnungsvorrichtung und ein Programm. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren, eine Berechnungsvorrichtung und ein Programm, die eine Heilungslösung für eine fehlerhafte Speicherzelle in einem geprüften Speicher berechnen.
Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die folgende Japanische Patentanmeldung, deren Inhalt hier einbezogen wird, sofern dies anwendbar ist.

1. Japanische Patentanmeldung Nr. 2005-268728 , die am 15. September 2005 eingereicht wurde.

STAND DER TECHNIK
5 illustriert die Konfiguration einer herkömmlichen Prüfvorrichtung 100, die eine Heilungslösung zum Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in einem Halbleiterspeicher mit einer Ersatzzelle berechnet (siehe beispielsweise Nichtpatent-Dokument 1).
Die Prüfvorrichtung 100 enthält mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen 120, mehrere Defekterfassungsschaltungen 130, mehrere Fehlerspeicher 140 und mehrere Berechnungsschaltungen 150. Jede der Prüfsignal-Zuführschaltungen 120 führt ein Prüfsignal zu einem entsprechenden von mehreren geprüften Speichern 110. Jede der Defekterfassungsschaltungen 130 erfasst Informationen, die eine fehlerhafte Speicherzelle in einem entsprechenden der geprüften Speicher 110 (Fehlerinformationen) identifizieren mit Bezug auf die aus dem entsprechenden geprüften Speicher 110 als Antwort auf das Prüfsignal gelesenen Daten und schreibt die erfassten Fehlerinformationen in einen entsprechenden der Fehlerspeicher 140. Die in jeden der Fehlerspeicher 140 geschriebenen Fehlerinformationen werden zu einer entsprechenden der Berechnungsschaltungen 150 bei Beendigung der Prüfung eines entsprechenden der geprüften Speicher 110 übertragen. Jede der Berechnungsschaltungen 150 erhält eine Heilungslösung für einen entsprechenden der geprüften Speicher 110 mit Bezug auf die zu dieser übertragenen Fehlerinformationen. Hier führen die Berechnungsschaltungen 150 die Verarbeitung durch, um die Heilungslösungen zu erhalten, während die Prüfsignal-Zuführschaltungen 120 und die Defekterfassungsschaltungen 130 Prüfungen durchführen.
Nichtpatent-Dokument 1: Jin-Fu Li und 6 andere Teilnehmer, "A Built-In Self-Repair Scheme for Semiconductor Memories with 2-D Redundancy", INTERNATIONAL TEST CONFERENCE, INTERNATIONAL TEST CONFERENCE 2003 PROCEEDINGS, 30. September 2003, Seiten 393–402.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
6 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten illustriert, die gesehen werden, wenn die herkömmliche Prüfvorrichtung 100 eine Gruppe von geprüften Speichern 110 während einer Prüfsitzung prüft.
Die Prüfvorrichtung 100 benötigt eine unterschiedliche Dauer, um eine Heilungslösung für jeden der geprüften Speicher 110 zu berechnen. Daher beendet, selbst wenn jede Berechnungsschaltung 150 gleichzeitig die Berechnung für einen entsprechenden der geprüften Speicher 110 beginnt, jede Berechnungsschaltung 150 die Berechnung zu einer unterschiedlichen Zeit. Weiterhin ist, da die Heilungslösungsberechnungen NP-vollständig sind, es nicht vorher bekannt, wie lange die Prüfvorrichtung 100 benötigt, um die Berechnungen zu beenden. Aus diesen Gründen kann es sein, dass eine oder mehrere der Berechnungsschaltunen 150 die Berechnungen zu der Zeit, zu der die Prüfsignal-Zuführschaltungen 120 und die Defekterfassungsschaltungen 130 die parallel durchgeführten Prüfungen beenden, nicht beendet haben. Hier werden, bis die Berechnungsschaltungen 150 die laufenden Berechnungen beenden, die Stücke von Fehlerinformationen, die in die Fehlerspeicher 140 geschrieben sind, nicht zu den Berechnungsschaltungen 150 übertragen. Daher können die Defekterfassungsschaltungen 130 die Prü fungen der nächsten Gruppe von geprüften Speichern 110 nicht starten, bis die Berechnungsschaltungen 150 die gegenwärtigen Berechnungen beenden. Es wird hier ein Fall betrachtet, in welchem die Prüfvorrichtung 100 eine Gruppe von geprüften Speichern 110 während jeder Prüfsitzung prüft. In diesem Fall kann, wenn die Prüfvorrichtung 100 eine relativ lange Zeit braucht, um eine Heilungslösung für irgendeinen der geprüften Speicher 110 in der geprüften Gruppe zu berechnen, die Prüfvorrichtung 100 die Prüfung keines der geprüften Speicher 110, die in der nächsten Gruppe enthalten sind, starten, bis die relativ lange Berechnung beendet ist. Dies bedeutet eine längere Wartezeit X von dem Ende der gegenwärtigen Prüfung bis zum Start der nächsten Prüfungen. Als eine Folge leidet die Prüfvorrichtung 100 an einem verringerten Durchsatz.
Angesichts des Vorstehenden besteht ein Vorteil einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung darin, eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren, eine Berechnungsvorrichtung und ein Programm vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten Probleme zu lösen. Dieser Vorteil wird erzielt durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen wiedergegebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Um die vorgenannten Probleme zu lösen, sieht ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen mehrerer geprüfter Speicher vor. Die Prüfvorrichtung enthält mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Spei chern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das ausgebildet ist zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher, zu dem entsprechenden geprüften Speicher zuführt, mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind, mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher heilt durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers, und eine zweite Berechnungsschaltung, die von einer oder mehreren der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt, als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren von ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Die mehreren ersten Berechnungsschaltungen können Heilungslösungen für eine erste Gruppe von geprüften Speichern, die geprüften wurden, berechnen, während die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen eine zweite Gruppe von geprüften Speichern prüfen. Die zweite Berechnungsschaltung kann von einem oder mehreren der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernehmen als Antwort auf ein Ende der Prüfung, die bei der zweiten Gruppe von geprüften Speichern durchgeführt wird durch die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen. Die mehreren ersten Berechnungsschaltungen können die Berechnung von Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern starten als Antwort auf das Ende der Prüfung, die bei der zweiten Gruppe von geprüften Speichern durchgeführt wird, durch die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen.
Wenn die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von einer oder mehreren der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet haben, übernommen werden, kann die zweite Berechnungsschaltung eine oder mehrere der übernommenen Heilungslösungsberechnungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern, die noch nicht beendet wurden, beenden, und beurteilen, dass ein oder mehr entsprechende geprüfte Speicher in der ersten Gruppe nicht geheilt werden können.
Die mehreren ersten Berechnungsschaltungen können die Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern, die geprüft wurden, berechnen, während die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen eine dritte Gruppe von geprüften Speichern prüfen. Wenn die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen die Prüfung der dritten Gruppe von geprüften Speichern beenden, aber die zweite Berechnungsschaltung die übernommenen Heilungslösungsberechnungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet hat, können die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Berechnung der Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern fortsetzen, bis die zweite Berechnungsschaltung die übernommenen Heilungslösungsberechungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern beendet.
Zu einem derartigen Zeitpunkt, zu welchem die mehreren ersten Berechnungsschaltungen in der Lage sind, die Berechnung der Heilungslösungen für die unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern zu starten, unter der Bedingung, dass die Anzahl von ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen noch nicht beendet haben, kleiner als oder gleich einem vorbestimmten Schwellenwert ist, kann die zweite Berechnungsschaltung die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernehmen.
Wenn die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen für zwei oder mehr der mehreren geprüften Speicher von zwei oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen übernommen werden, kann die zweite Berechnungsschaltung die übernommenen Heilungslösungsberechnungen in einer aufsteigenden Ordnung der jeweiligen Anzahl von fehlerhaften Speicherzellen in den zwei mehr geprüften Speichern durchführen.
Wenn die aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesenen Daten unterschiedlich gegenüber dem erwarteten Wert sind, kann jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen Fehlerinformationen speichern, die eine fehlerhafte Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher identifizieren. Jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen kann die Heilungslösung mit Bezug auf entsprechende Fehlerinformationen berechnen und die entsprechenden Fehlerinformationen zu der zweiten Berechnungsschaltung übertragen, wenn sie die Berechnung der Heilungslösung nicht zu einem Zeitpunkt beendet hat, zu welchem die mehreren ersten Berechnungsschaltungen in die Lage versetzt wurden, die Berechnung der Heilungslösungen für die unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern zu starten. Die zweite Berechnungsschaltung kann die Berechnung der mit einem oder mehreren Stücken von Fehlerinformationen, die von der einen oder den mehreren ersten Berechnungsschaltungen empfangen wurden, assoziierten Heilungslösungen starten unter Verwendung der empfangenen Stücke von Fehlerinformationen.
Unter der Bedingung, dass die zweite Berechnungsschaltung keine unbeendeten Heilungslösungsberechnungen hat, die von den mehreren ersten Berechnungsschaltungen übernommen wurden, während die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Heilungslösungen berechnen, kann die zweite Berechnungsschaltung einen Teil der Heilungslösungsberechnung durchführen, die zumindest einer der mehreren ersten Berechnungsschaltungen zugewiesen ist.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Prüfverfahren zum Prüfen mehrerer geprüfter Speicher vor. Das Prüfverfahren enthält mehrere Prüfsignal-Zuführschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren Prüf signal-Zuführschritte ein Prüfsignal, das ausgebildet ist zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt, mehrerer Defekterfassungsschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren Defekterfassungsschritte einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind, mehrere erste Berechnungsschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren ersten Berechnungsschritte eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt, und einen zweiten Berechnungsschritt des Übernehmens der unbeendeten Heilungslösungsberechnungen einem oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschritte, in denen die Heilungslösungsberechnungen nicht beendet wurden, als Antwort auf einen Start von Berechnungen in den mehreren ersten Berechnungsschritten für Heilungslösungen für eine oder unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und des Durchführens der übernommenen Heilungslösungsberechnungen.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Programm zur Verwendung mit einer Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, vor. Das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung arbeitet als mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt, als mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert, als mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eines Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt, und als eine zweite Berechnungsschaltung, die von einem oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern übernimmt und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Ein viertes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Berechnungsvorrichtung für eine Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, vor. Hier enthält die Prüfvorrichtung mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt, mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind, und mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher heilt durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers. Hier übernimmt die Berechnungsvorrichtung von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und führt die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durch.
Ein fünftes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Programm zur Verwendung mit einer Berechnungsvorrichtung für eine Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, vor. Hier enthält die Prüfvorrichtung mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt, mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind, und mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher heilt durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers. Hier bewirkt das Programm, dass die Berechnungsvorrichtung von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern übernimmt und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 illustriert die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 20, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
2 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten bei den individuellen Bestandteilen der Prüfvorrichtung 20 illustriert.
3 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten der jeweiligen Bestandteile der Prüfvorrichtung 20 illustriert, wenn erste Berechnungsschaltungen 28 ihre Berechnungen selbst nach dem Ende der parallel durchgeführten Prüfungen fortsetzen, adaptiv zu der langen Zeitperiode, die von einer zweiten Berechnungsschaltung 30 benötigt wird, um übernommene Berechnungen zu beenden.
4 illustriert die Verarbeitungszeitperiode, die von jeder ersten Berechnungsschaltung 28 benötigt wird, und die Reihenfolge, in der die zweite Berechnungsschaltung 30 Berechnungen durchführt.
5 illustriert die Konfiguration einer herkömmlichen Prüfvorrichtung 100.
6 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten illustriert, die ersichtlich sind, wenn die herkömmliche Prüfvorrichtung 100 eine Gruppe von geprüften Speichern während jeder Prüfsitzung prüft.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. Das Ausführungsbeispiel beschränkt die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in dem Ausführungsbeispiel beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekt der Erfindung vorgesehene Mittel.
1 illustriert die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 20, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht. Die Prüfvorrichtung 20 prüft gleichzeitig mehrere geprüfte Speicher 10-1 bis 10-n (n ist eine natürliche Zahl gleich oder höher als 2, und die geprüften Speicher 10-1 bis 10-n werden nachfolgend insgesamt als die geprüften Speicher 10 bezeichnet). Mit Bezug auf die Prüfergebnisse berechnet die Prüfvorrichtung 20 effizient für jeden der geprüften Speicher 10 eine Heilungslösung, um eine fehlerhafte Speicherzelle in dem geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle zu ersetzen. Bezug nehmend auf die Prüfvorrichtung 20 können die geprüften Speicher 10 individuelle Vorrichtungen oder individuelle Blöcke, die durch Teilen des Speicherbereichs eines Halbleiter-Speicherchips erhalten wurden, sein.
Die Prüfvorrichtung 20 enthält mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen 22-1 bis 22-n, mehrere Defekterfassungsschaltungen 24-1 bis 24-n, mehrere Fehlerspeicher 26-1 bis 26-n, mehrere erste Berechnungsschaltungen 28-1 bis 28-n sowie eine zweite Berechnungsschaltung 30.
Die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22-1 bis 22-n (nachfolgend insgesamt als die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 bezeichnet, sind in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den geprüften Speichern 10 vorgesehen. Jede Prüfsignal-Zuführschaltung 22 führt ein Prüfsignal zum Prüfen eines entsprechenden der geprüften Speicher 10 zu dem entsprechenden geprüften Speicher 10.
Die Defekterfassungsschaltungen 24-1 bis 24-n (nachfolgend insgesamt als die Defekterfassungsschaltungen 24 bezeichnet) sind in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den geprüften Speichern 10 vorgesehen. Jede Defekterfassungsschaltung 24 erfasst einen Defekt in einem entsprechenden der geprüften Speicher 10, wenn die aus dem entsprechenden geprüften Speicher 10 als Antwort auf das Prüfsignal gelesenen Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind. Genauer gesagt, jede Defekterfassungsschaltung 24 erfasst eine fehlerhafte Speicherzelle aus der großen Anzahl von Speicherzellen des entsprechenden geprüften Speichers 10. Jede Defekterfassungsschaltung 24 schreibt Informationen, die die erfasste fehlerhafte Speicherzelle identifizieren (Fehlerinformationen) in einen entsprechenden der Fehlerspeicher 26-1 bis 26-n.
Die Fehlerspeicher 26-1 bis 26-n (nachfolgend insge samt als die Fehlerspeicher 26 bezeichnet) sind in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den geprüften Speichern 10 vorgesehen. Jeder Fehlerspeicher 26 speichert die Fehlerinformationen für einen entsprechenden der geprüften Speicher 10, die durch eine entsprechende der Defekterfassungsschaltungen 24 geschrieben sind. Die in jeden Fehlerspeicher 26 geschriebenen Fehlerinformationen werden zu einer entsprechenden der ersten Berechnungsschaltungen 28-1 bis 28-n übertragen, nachdem die Prüfung des entsprechenden geprüften Speichers 10 beendet ist. Beispielsweise werden die Fehlerinformationen in einer solchen Weise übertragen, dass die in jedem Fehlerspeicher 26 gespeicherten Daten durch eine entsprechende der ersten Berechnungsschaltungen 28-1 bis 28-n gelesen werden.
Die ersten Berechnungsschaltungen 28-1 bis 28-n (nachfolgend insgesamt als die ersten Berechnungsschaltungen 28 bezeichnet) sind in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den geprüften Speichern 10 vorgesehen. Jede erste Berechnungsschaltung 28 empfängt die in einem entsprechenden der Fehlerspeicher 26 gespeicherten Fehlerinformationen. Mit Bezug auf die zu dieser übertragenen Fehlerinformationen berechnet jede erste Berechnungsschaltung 28 eine Heilungslösung, die ausgebildet ist zum Heilen des Defekts eines entsprechenden der geprüften Speicher 10 durch Ersetzen der fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher 10 durch eine der Ersatzzellen des entsprechenden geprüften Speichers 10.
Als Antwort auf den Start der Heilungslösungsberechnungen durch die ersten Berechnungsschaltungen 28 für eine nächste Gruppe von geprüften Speichern 10 übernimmt die zweite Berechnungsschaltung 30 von einer oder mehr der mehreren Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen und berechnet die Heilungslösungen anstelle der einen oder mehreren der ersten Berechnungsschaltungen 28.
Die vorbeschriebene Prüfvorrichtung 20 setzt innerhalb der geprüften Speicher 10 die durch die ersten Berechnungsschaltungen 28 und die zweite Berechnungsschaltung 30 berechneten Heilungslösungen, um jede der berechneten Heilungslösungen zurück zu einem entsprechenden der geprüften Speicher 10 zu führen. Mit den in den geprüften Speichern 10 gesetzten berechneten Heilungslösungen können, wenn zu den fehlerhaften Speicherzellen in den geprüften Speichern 10 zum Datenschreien oder -lesen zugegriffen wird, die geprüften Speicher 10 die Zugriffsbestimmungsorte von den fehlerhaften Speicherzellen zu den Ersatzzellen geändert werden.
2 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten der individuellen Bestandteile der Prüfvorrichtung 20 illustriert.
Die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 prüfen mehrere geprüfte Speicher 10 während jeder Prüfsitzung (beispielsweise Prüfen einer Gruppe von n geprüften Speichern 10 während jeder Prüfsitzung), um fehlerhafte Speicherzellen zu erfassen. Genauer gesagt, am Anfang prüfen die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 eine anfängliche Gruppe von geprüften Speichern 10 (beispielsweise eine erste Gruppe von geprüften Speichern 10) (eine erste Periode). Während die anfängliche Gruppe (z. B. die erste Gruppe) von geprüften Speichern 10 geprüft wird, schrei ben die Defekterfassungsschaltungen 24 die erhaltenen Stücke von Fehlerinformationen (z. B. die Stücke von Fehlerinformationen für die erste Gruppe) aufeinander folgend in die Fehlerspeicher 26. Bei Beendigung der Prüfungen werden die Stücke von Fehlerinformationen für die erste Gruppe, die in die Fehlerspeicher 26 geschrieben wurden, zu den ersten Berechnungsschaltungen 28 übertragen. Beispielsweise werden bei Beendigung der Prüfungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern 10 die Stücke von Fehlerinformationen, die mit der ersten Gruppe von geprüften Speichern 10 assoziiert sind, zu den ersten Berechnungsschaltungen 28 übertragen (am Anfang einer zweiten Periode). Wenn die Stücke von Fehlerinformationen vollständig übertragen wurden, beginnen die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 die Prüfung der nächsten Gruppe von geprüften Speichern 10 (z. B. die zweite Gruppe von geprüften Speichern 10) (die zweite Periode). In der vorbeschriebenen Weise führen die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 wiederholt die Fehlerinformations-Übertragungsoperation und die Prüfoperation durch.
Wenn sie die von den Fehlerspeichern 26 übertragenen Stücke von Fehlerinformationen empfangen, berechnen die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Heilungslösungen für die geprüften Speicher 10. Beispielsweise berechnen, wenn sie die Stücke von Fehlerinformationen, die mit der ersten Gruppe von geprüften Speichern 10, die während der ersten Prüfperiode geprüft wurden, assoziiert sind, von den Fehlerspeichern 26 empfangen, die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Heilungslösungen für die in der ersten Gruppe enthaltenen geprüften Speicher 10 (die zweite Periode).
Es ist festzustellen, dass die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 unabhängig von den ersten Berechnungsschaltungen 28 arbeiten. Während die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 die Verarbeitung durchführen, die mit einer gegebenen Gruppe von geprüften Speichern 10 assoziiert ist, führen die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Verarbeitung durch, die mit einer unterschiedlichen Gruppe der geprüften Speicher 10 assoziiert ist. Es wird als ein Beispiel die zweite Periode genommen. Die ersten Berechnungsschaltungen 28 berechnen die Heilungslösungen für eine Gruppe von geprüften Speichern 10, die bereits von den Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und den Defekterfassungsschaltungen 24 geprüften wurden (beispielsweise die erste Gruppe von geprüften Speichern 10, die unmittelbar vor der zweiten Gruppe von geprüften Speichern 10 geprüft werden), während die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern 10 prüfen (beispielsweise die zweite Gruppe von geprüften Speichern 10).
Hier kann es sein, dass eine oder mehrere der ersten Berechnungsschaltungen 28 ihre Berechnungen zu der Zeit, zu der die Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 ihre parallel durchgeführten Prüfungen beenden, nicht beendet haben (beispielsweise siehe den zweiten geprüften Speicher 10 in der ersten Gruppe, die in der Schaltung der zweiten Periode gezeigt ist). Wenn dies stattfindet, übernimmt als Antwort auf das Ende der Prüfungen durch die Prüfsignal-Zuführungsschaltungen 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 bei einer Gruppe von geprüften Speichern 10 (beispielsweise die zweite Gruppe von geprüften Speichern 10) die zweite Berech nungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von den ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben. Beispielsweise übernimmt die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen an dem Ende der von den Prüfsignal-Zuführschaltungen 22 und den Defekterfassungsschaltungen 24 durchgeführten Prüfungen oder wenn eine vorbestimmte Zeit nach dem Ende der Prüfungen verstrichen ist. Wenn mehr als eine der ersten Berechnungsschaltungen 28 die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 mehr als eine Heilungslösungsberechnung übernehmen (siehe beispielsweise eine dritte Periode).
Nachdem die zweite Berechnungsschaltung 30 die eine oder mehreren unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernommen hat, beenden die ersten Berechnungsschaltungen 28 jegliche weitergehenden Berechnungen. Als Antwort auf das Ende der Prüfungen bei einer Gruppe (z. B. der zweiten Gruppe) von geprüften Speichern 10 durch die Prüfsignal-Zuführschaltunten 22 und die Defekterfassungsschaltungen 24 beginnen die ersten Berechnungsschaltungen 28 mit der Berechnung der Heilungslösungen für diese Gruppe (beispielsweise die zweite Gruppe) von geprüften Speichern 10.
Wie vorstehend beschrieben ist, übernimmt bei der Prüfvorrichtung 20, wenn die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Berechnungen nicht innerhalb einer vorbestimmten Zeitperiode beenden, die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Berechnungen. D. h., bei der Prüfvorrichtung 20 führen die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Heilungslösungsberechnungen in regelmäßigen Intervallen für einen großen Teil der geprüften Speicher 10 durch, für die die Heilungslö sungen leicht berechnet werden können beispielsweise aufgrund einer geringen Anzahl von fehlerhaften Speicherzellen, und die zweite Berechnungsschaltung 30 führt getrennt und unabhängig die Heilungslösungsberechnungen bei einem kleinen Teil der geprüften Speicher durch, für die die Heilungslösung nicht leicht berechnet werden können. Als eine Folge kann die Prüfvorrichtung 20 das Produktionsverhältnis der geprüften Speicher 10 verbessern und auch den Systemdurchsatz erhöhen.
Bei der Prüfvorrichtung 20 ist es nicht erforderlich, zweite Berechnungsschaltungen 30 in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den geprüften Speichern 10 vorzusehen. Die Anzahl der zweiten Berechnungsschaltungen 30 kann somit kleiner gesetzt werden als die Anzahl der geprüften Speicher 10. Daher kann die zweite Berechnungsschaltung 30 realisiert werden durch Verwendung beispielsweise einer Informationsverarbeitungsvorrichtung, die teuer ist, aber eine höhere Rechenfähigkeit hat als die ersten Berechnungsschaltungen 28, so dass das System insgesamt die erhöhte Verarbeitungsfähigkeit erzielen kann.
Alternativ kann die zweite Berechnungsschaltung 30 realisiert werden durch Verwendung einer Informationsverarbeitungsvorrichtung, die über ein Netzwerk mit den ersten Berechnungsschaltungen 28 verbunden ist.
Als ein weiteres alternatives Beispiel kann die zweite Berechnungsschaltung 30 realisiert werden durch Installieren eines Programms in einem Computer. Das in dem Computer zu installierende Programm wird durch einen Benutzer im Wege eines Speichermediums oder über ein Netzwerk geliefert.
Das in dem Computer zu installierende Programm, das bewirken soll, dass der Computer als die zweite Berechnungsschaltung 30 wirkt, hat ein Modul, das als Antwort auf den Start der Heilungslösungsberechnungen durch die ersten Berechnungsschaltungen 28 für eine Gruppe von geprüften Speichern 10 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von einer oder mehreren der ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen für eine vorhergehende Gruppe von geprüften Speichern 10 nicht beendet haben, übernimmt und die Heilungslösungen berechnet. Das Programm oder Modul weist den Prozessor oder dergleichen in dem Computer an, um zu bewirken, dass der Computer als die zweite Berechnungsschaltung 30 wirkt.
Das vorbeschriebene Programm oder Modul kann in einem externen Speichermedium gespeichert sein. Das Speichermedium ist beispielsweise ein optisches Speichermedium wie eine DVD und CD, ein magnetooptisches Speichermedium wie eine MD, ein Bandmedium, eine Halbleiterspeicher wie eine IC-Karte und dergleichen, zusätzlich zu einer Diskette und einer CD-ROM. Das Speichermedium kann eine Speichervorrichtung wie eine Platte oder ein RAM sein, die in einem Serversystem vorgesehen sind, das mit einem privaten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden sind, und das Programm kann über das Netzwerk zu dem Computer geliefert werden.
Wenn die zweite Berechnungsschaltung 30 die Heilungslösungsberechnungen von den ersten Berechnungsschaltungen 28 übernimmt, übertragen eine oder mehrere der ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die ent sprechenden Stücke von Fehlerinformationen zu der zweiten Berechnungsschaltung 30, und die zweite Berechnungsschaltung 30 beginnt mit der Berechnung der Heilungslösungen mit Bezug auf die von den ersten Berechnungsschaltungen 28 empfangenen Stücke von Fehlerinformationen. Wenn es erforderlich ist, die entsprechenden Stücke von Fehlerinformationen zu übertragen, können die ersten Berechnungsschaltungen 28 in der Mitte der Berechnungen für die Berechnungen sein. In diesem Fall können die ersten Berechnungsschaltungen 28 auch die sich ergebenden Daten, die durch die bereits erfolgten Berechnungen erhalten wurden, zu der zweiten Berechnungsschaltung 30 übertragen. Die zweite Berechnungsschaltung 30 kann die sich ergebenden Daten verwenden, um die Heilungslösungen zu berechnen. Dies kann die Menge der Berechnungen, die von der zweiten Berechnungsschaltung 30 in der Prüfvorrichtung 20 durchzuführen sind, herabsetzen.
Unter der Bedingung, dass die zweite Berechnungsschaltung 30 keine unbeendeten Berechnungen hat, die von den ersten Berechnungsschaltungen 28 übernommen wurden, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 einen Teil der Berechnung, die zumindest einer der ersten Berechnungsschaltungen 28 zugewiesen ist, durchführen, während die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Berechnungen durchführen. Mit anderen Worten, wenn sie keine Berechnungen durchführt, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 den ersten Berechnungsschaltungen 28 helfen, die Berechnungen durchzuführen. Auf diese Weise kann die Prüfvorrichtung 20 einen effizienten Gebrauch von der Berechnungsressource machen, die durch die zweite Berechnungsschaltung 30 erhalten wird.
In einem Fall, in welchem die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von den ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, als Antwort auf das Ende der Prüfungen bei einer gegebenen Gruppe (beispielsweise der zweiten Gruppe) von geprüften Speichern 10 übernimmt, führt die zweite Berechnungsschaltung 30 die übernommenen Berechnungen während der Prüfperiode der Prüfung der nächsten Gruppe (beispielsweise der dritten Gruppe) von geprüften Speichern 10 durch (beispielsweise die dritte Periode). Wenn hier die zweite Berechnungsschaltung 30 die von den ersten Berechnungsschaltungen 28 übernommenen Heilungslösungsberechnungen nach beispielsweise einer vorbestimmten Zeit nicht beendet hat, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Berechnungen beenden und beurteilen, dass die entsprechenden geprüften Speicher 10 nicht geheilt werden können. Wenn z. B. die zweite Berechnungsschaltung 30 am Ende der Prüfungen, die gleichzeitig mit den übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchgeführt werden (oder wenn eine vorbestimmte Zeitperiode nach dem Ende der Prüfungen verstrichen ist) die übernommenen Heilungslösungsberechnungen noch immer durchführt, beendet die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Berechnungen.
Die Prüfvorrichtung 20 kann die Berechnungen durch die zweite Berechnungsschaltung 30 beenden, wenn die Berechnungen der zweiten Berechnungsschaltung 30 lange dauern, wodurch die Verarbeitungseffizienz verbessert wird.
3 ist ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungszeiten der jeweiligen Bestandteile der Prüfvorrichtung 20 illustriert, wenn die ersten Berechnungs schaltungen 28 ihre Berechnungen selbst nach dem Ende der parallel durchgeführten Prüfungen fortsetzen, adaptiv zu der langen Zeitperiode, die von der zweiten Berechnungsschaltung 30 benötigt wird, um die übernommenen Berechnungen zu beenden.
In einem Fall, in welchem die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von den ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnungen der Heilungslösungen nicht beendet haben, als Antwort auf das Ende der Prüfungen bei einer bestimmten Gruppe (z. B. der zweiten Gruppe) von geprüften Speichern 10 übernimmt, führt die zweite Berechnungsschaltung 30 die übernommenen Berechnungen während der Prüfperiode des Prüfens der nächsten Gruppe (z. B. der dritten Gruppe) von geprüften Speichern 10 (z. B. die dritte Periode) durch. Während dieser Prüfperiode (z. B. der dritten Periode) berechnen die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Heilungslösungen für die geprüfte bestimmte Gruppe (z. B. die zweite Gruppe) von geprüften Speichern 10.
Es wird ein Fall angenommen, in welchem die Prüfvorrichtung 20 die Prüfungen bei einer gegebenen Gruppe (beispielsweise der dritten Gruppe) von geprüften Speichern 10 beendet hat, aber die zweite Berechnungsschaltung 30 die Berechnung der Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe (z. B. die erste Gruppe) von geprüften Speichern nicht beendet hat. In einem derartigen Fall können die ersten Berechnungsschaltungen 28, selbst nach dem Ende der Prüfungen bei einer gegebenen Gruppe (z. B. der dritten Gruppe) von geprüften Speichern 10 die Berechnung der Heilungslösungen für eine weitere unterschiedliche Gruppe (beispielsweise die zweite Gruppe) von geprüften Speichern 10 fortsetzen, bis die zweite Berechnungs schaltung 30 die Berechnung der Heilungslösungen beendet.
Bei der Prüfvorrichtung 20 setzten die ersten Berechnungsschaltungen 28 die Berechnungen nach dem Ende der Prüfungen fort, bis die zweite Berechnungsschaltung 30 die Berechnungen beendet, wie vorstehend festgestellt ist. Diese Konfiguration kann verhindern, dass die zweite Berechnungsschaltung 30 schwer mit den Berechnungen belastet wird, wodurch eine Zunahme der Wartezeit verhindert wird. Als eine Folge kann die Prüfvorrichtung 20 die Prüfung effizient durchführen.
4 illustriert die Verarbeitungszeitperiode, die von jeder ersten Berechnungsschaltung 28 benötigt wird, und die Reihenfolge, in der die zweite Berechnungsschaltung 30 die Berechnungen durchführt.
Zu einem derartigen Zeitpunkt, zu welchem die erste Berechnungsschaltung 28 die Berechnung der Heilungslösungen für eine neue Gruppe von geprüften Speichern 10 beginnen kann, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von den ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, übernehmen unter der Bedingung, dass die Anzahl von ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, niedriger als ein oder gleich einem vorbestimmten Schwellenwert ist. Beispielsweise kann die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen unter der Bedingung übernehmen, dass die zweite Berechnungsschaltung 30 keine unbeendeten Berechnungen hat und die Anzahl von ersten Berechnungsschaltungen 28, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht be endet haben, niedriger als oder gleich einer solchen Anzahl ist, dass die zweite Berechnungsschaltung 30 die übernommenen Berechnungen innerhalb der Prüfperiode zum Prüfen einer Gruppe von geprüften Speichern 10 beenden kann.
In der vorbeschriebenen Weise bestimmt die Prüfvorrichtung 20 den Zeitpunkt, zu welchem die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt. Bei einer derartigen Konfiguration kann die zweite Berechnungsschaltung 30 die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen sobald wie möglich innerhalb der Verarbeitungsfähigkeit der zweiten Berechnungsschaltung 30 übernehmen. Als eine Folge kann die Prüfvorrichtung 20 die Verarbeitungsgeschwindigkeit insgesamt verbessern.
Wenn die Heilungslösungsberechnungen für zwei oder mehr geprüfte Speicher 10 von zwei oder mehr ersten Berechnungsschaltungen 28 übernommen werden, kann die zweite Berechnungsschaltung 30 die Heilungslösungsberechnungen in der aufsteigenden Reihenfolge der jeweiligen Anzahl der fehlerhaften Speicherzellen in den geprüften Speichern 10 durchführen.
Durch Bestimmung der Reihenfolge der Durchführung der Berechnungen in der vorgenannten Weise kann die Prüfvorrichtung 20 die Heilungslösungen für die geprüften Speicher 10 in einer solchen Reihenfolge berechnen, dass die als leichter erwarteten Berechnungen früher durchgeführt werden. Daher kann die Prüfvorrichtung 20 die Anzahl von geprüften Speichern 10 herabsetzen, die als nicht heilbar beurteilt werden, da es schwierig ist, die Heilungslösungen zu berechnen.
Während das Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er findung beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht durch das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel hinzugefügt werden können. Es ist auch anhand des Bereichs der Ansprüche augenscheinlich, dass das Ausführungsbeispiel, dem derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein kann.
Zusammenfassung:
Es ist eine Prüfvorrichtung (20) vorgesehen, welche enthält: mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen (22), die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt, mehrere Defekterfassungsschaltungen (24), die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, mehrere erste Berechnungsschaltungen (28), die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet und die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt, und eine zweite Berechnungsschaltung (30), die von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern und die Heilungslösungsberechnungen durchführt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- JP 2005-268728 [0002]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

- Jin-Fu Li und 6 andere Teilnehmer, "A Built-In Self-Repair Scheme for Semiconductor Memories with 2-D Redundancy", INTERNATIONAL TEST CONFERENCE, INTERNATIONAL TEST CONFERENCE 2003 PROCEEDINGS, 30. September 2003, Seiten 393–402 [0005]

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen mehrerer geprüfter Speicher, welche aufweist: mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt; mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten unterschiedlich gegenüber einem erwarteten Wert sind; mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Beziehung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher heilt durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers; und eine zweite Berechnungsschaltung, die von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die mehreren ersten Berechnungsschaltungen Heilungslösungen für eine erste Gruppe von geprüften Speichern, die geprüft wurden, berechnen, während die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen eine zweite Gruppe von geprüften Speichern prüfen, die zweiten Berechnungsschaltung die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet haben, übernimmt als Antwort auf ein Ende der Prüfung, die bei der zweiten Gruppe von geprüften Speichern durch die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen durchgeführt wird, und die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Berechnung von Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern beginnen als Antwort auf das Ende der Prüfung, die bei der zweiten Gruppe von geprüften Speichern durch die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen durchgeführt wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die zweite Berechnungsschaltung, wenn sie die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet haben, übernimmt, eine oder mehr der übernommenen Heilungslösungsberechnungen für die erste. Gruppe von geprüften Speichern, die nicht beendet wurden, beendet und beurteilt, dass der entsprechende eine oder die mehreren geprüften Speicher in der ersten Gruppe nicht geheilt werden können.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern, die geprüft wurden, berechnen, während die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen eine dritte Gruppe von geprüften Speichern prüfen, und, wenn die mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen und die mehreren Defekterfassungsschaltungen die Prüfung der dritten Gruppe von geprüften Speichern beenden, aber die zweite Berechnungsschaltung die übernommenen Heilungslösungsberechnungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern nicht beendet hat, die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Berechnung der Heilungslösungen für die zweite Gruppe von geprüften Speichern fortsetzen, bis die zweite Berechnungsschaltung die übernommenen Heilungslösungsberechnungen für die erste Gruppe von geprüften Speichern beendet.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der zu einem solchen Zeitpunkt, zu welchem die mehreren ersten Berechnungsschaltungen in der Lage sind, die Berechnung der Heilungslösungen für die unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern zu beginnen, unter der Bedingung, dass die Anzahl von ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, kleiner als ein oder gleich einem vorbestimmten Schwellenwert ist, die zweite Berechnungsschaltung die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die zweite Berechnungsschaltung, wenn sie die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen für zwei oder mehr der mehreren geprüften Speicher von zwei oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen übernimmt, die übernommenen Heilungslösungsberechnungen in einer aufsteigenden Reihenfolge der Anzahl von fehlerhaften Speicherzellen in den zwei oder mehr geprüften Speichern durchführt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen, wenn die aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesenen Daten unterschiedlich gegenüber dem erwarteten Wert sind, Fehlerinformationen, die eine fehlerhafte Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher identifizieren, speichert, jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Heilungslösung mit Bezug auf entsprechende Fehlerinformationen berechnet und die entsprechenden Fehlerinformationen zu der zweiten Be rechnungsschaltung überträgt, wenn sie die Berechnung der Heilungslösung nicht zu einem Zeitpunkt beendet hat, zu welchem die mehreren ersten Berechnungsschaltungen in die Lage versetzt werden, die Berechnung der Heilungslösungen für die unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern zu starten, und die zweite Berechnungsschaltung die Berechnung der Heilungslösungen, die mit einem oder mehr Stücken von Fehlerinformationen, die von der einen oder mehr ersten Berechnungsschaltungen empfangen wurden, assoziiert sind, startet unter Verwendung der empfangenen Stücke von Fehlerinformationen.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der unter der Bedingung, dass die zweite Berechnungsschaltung keine unbeendeten Heilungslösungsberechnungen, die von den mehreren ersten Berechnungsschaltungen übernommen wurden, hat, während die mehreren ersten Berechnungsschaltungen die Heilungslösungen berechnen, die zweite Berechnungsschaltung einen Teil der zumindest einer der mehreren ersten Berechnungsschaltungen zugewiesenen Heilungslösungsberechnung ausführt.
Prüfverfahren zum Prüfen mehrerer geprüfter Speicher, welches aufweist: mehrere Prüfsignal-Zuführschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren Prüfsignal-Zuführschritte ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher; mehrere Defekterfassungsschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren ge prüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren Defekterfassungsschritte einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten gegenüber einem erwarteten Wert unterschiedlich sind, mehrere erste Berechnungsschritte, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren ersten Berechnungsschritte eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt; und einen zweiten Berechnungsschritt des Übernehmens der unbeendeten Heilungslösungsberechnungen von einem oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschritte, in welchen die Heilungslösungsberechnungen nicht beendet wurden, als Antwort auf einen Start von Berechnungen in den mehreren ersten Berechnungsschritten für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und des Durchführens der übernommenen Heilungslösungsberechnungen.
Programm zur Verwendung mit einer Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung arbeitet als: mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt; mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten gegenüber einem erwarteten Wert unterschiedlich sind; mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt; und eine zweite Berechnungsschaltung, die von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt, als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Berechnungsvorrichtung für eine Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, wobei die Prüfvorrichtung aufweist: mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt; mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten gegenüber einem erwarteten Wert unterschiedlich sind; und mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaftren Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt, und die Berechnungsvorrichtung von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Be rechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.
Programm zur Verwendung mit einer Berechnungsvorrichtung für eine Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Speicher prüft, wobei die Prüfvorrichtung aufweist: mehrere Prüfsignal-Zuführschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jeder der mehreren Prüfsignal-Zuführschaltungen ein Prüfsignal, das zum Prüfen eines entsprechenden der mehreren geprüften Speicher ausgebildet ist, zu dem entsprechenden geprüften Speicher führt; mehrere Defekterfassungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Defekterfassungsschaltungen einen Defekt in einem entsprechenden der mehreren geprüften Speicher erfasst, wenn aus dem entsprechenden geprüften Speicher als Antwort auf das Prüfsignal gelesene Daten gegenüber einem erwarteten Wert unterschiedlich sind; und mehrere erste Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren geprüften Speichern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren ersten Berechnungsschaltungen eine Heilungslösung für einen entsprechenden der mehreren geprüften Speicher berechnet, die Heilungslösung den Defekt in dem entsprechenden geprüften Speicher durch Ersetzen einer fehlerhaften Speicherzelle in dem entsprechenden geprüften Speicher durch eine Ersatzzelle des entsprechenden geprüften Speichers heilt, und das Programm bewirkt, dass die Berechnungsvorrichtung von einer oder mehr der mehreren ersten Berechnungsschaltungen, die die Berechnung der Heilungslösungen nicht beendet haben, die unbeendeten Heilungslösungsberechnungen übernimmt als Antwort auf einen Start von Berechnungen durch die mehreren ersten Berechnungsschaltungen für Heilungslösungen für eine unterschiedliche Gruppe von geprüften Speichern, und die übernommenen Heilungslösungsberechnungen durchführt.