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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Wärmebehandlungshaltevorrichtung, die ein zu behandelndes Objekt hält, und eine Wärmebehandlungsvorrichtung und ein Verfahren zur Wärmebehandlung eines zu behandelnden Objekts, welches durch die Wärmebehandlungshaltevorrichtung gehalten wird.
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ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
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Zum Beispiel offenbart die nichtgeprüfte
japanische Patentanmeldung mit der ersten Publikationsnummer 2004-315917 eine Wärmebehandlung an einem zu behandelnden Objekt durch Erhitzen mittels einer Vielzahl von Heizmitteln an dem Objekt, das zu behandeln ist, und das durch eine Wärmebehandlungshaltevorrichtung gehalten wird, und durch Bildung von Widerstandshitze in der Wärmbehandlungshaltevorrichtung durch Durchleiten eines elektrischen Stromes.
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Für den Fall der Durchführung einer gleichmäßigen Erhitzung eines zu behandelndes Objekts, das durch eine Wärmebehandlungshaltevorrichtung unter Verwendung von einer Vielzahl von Heizmitteln in einem Wärmebehandlungstiegel gehalten wird, treten aufgrund der Wärmekapazität jeder Wärmebehandlungshaltevorrichtung und dem Herdboden, der unterhalb der Wärmebehandlungshaltevorrichtung angeordnet ist, Probleme auf, den Ausgang jedes Heizmittels zu kalibrieren, und hierauf basierend sinkt die thermische Effektivität aufgrund des Wärmeaustausches in der Nähe der Hochleistungsheizmittel in dem Wärmebehandlungstiegel in Richtung der Außenseite. Diese Erfindung löst dieses Problem durch zusätzliches Erhitzen des zu behandelnden Objekts mittels einer Wärmebehandlungshaltevorrichtung (präzise: das Widerstandsheizelement), durch die zusätzlich elektrischer Strom geleitet wird, in Kombination mit Erhitzen des zu behandelnden Objekts durch Heizmittel, wobei es möglich ist, den Ausstoß der Vielzahl von Heizmittel zu kalibrieren, um die thermische Effektivität zu erhöhen.
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Es wird angemerkt, dass in der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung mit der ersten Publikationsnummer 2004-315917 Bezug auf Erfindungen der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung mit der ersten Publikationsnummer H11-171655 und der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung mit der ersten Publikationsnummer 2000-73106 genommen wird, und dass diese Erfindungen angeben, dass sie nicht geeignet sind, die oben beschriebenen technischen Probleme zu lösen.
- Patentdokument 1: nichtgeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. 2004-315917
- Patentdokument 2: nichtgeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. H11-171655
- Patentdokument 3: nichtgeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. 2000-73106
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
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TECHNISCHES PROBLEM, DAS DURCH DIE ERFINDUNG GELÖST WIRD
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Die oben angegebenen vorhergehenden Erfindungen sind frühere Erfindungen der Anmelder, und die Materialien der Widerstandsheizelemente in der Wärmebehandlungshaltevorrichtung sind auf Materialien mit hohem Wärmewiderstand begrenzt und mit einem vergleichsweise hohen spezifischen Widerstand. In der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung mit der ersten Publikationsnummer 2004-315917 werden Graphit, Nichrom, Wolfram, Molybdän, Tantal, Keramik und Fe-Cr-Al als Materialien für Widerstandsheizelemente mit solchen Eigenschaften angegeben.
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Wie auch immer haben im Vergleich zu konventionellem wärmeleitfähigem Stahl, welcher in Wärmebehandlungshaltevorrichtungen verwendet wird, diese Wärmebehandlungselementmaterialien einen hohen Preis verglichen mit anderen Materialien und minderwertige Verarbeitbarkeit. Deshalb haben die oben beschriebenen konventionellen Erfindungen das Problem, dass die Wärmebehandlungshaltevorrichtungen teurer als konventionelle Wärmebehandlungsvorrichtungen sind. Es ist deshalb die Entwicklung einer Technologie, die es ermöglicht, den Heizmittelausstoß zu verbessern und die thermische Effizienz ohne Anstieg der Kosten der Wärmebehandlungshaltevorrichtung zu erhöhen, wünschenswert.
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Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die oben angegebenen Umstände verwirklicht, und es ist ein Ziel, den Anstieg der Kosten der Wärmebehandlungshaltevorrichtung zu verhindern, als auch ein Abgleichen des Wärmeausstoßes zu ermöglichen und die thermische Effizienz durch Verbreiterung der Auswahlmöglichkeit der Materialien der Wärmebehandlungshaltevorrichtung zu vergrößern (insbesondere die Materialien der Widerstandsheizelemente).
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MITTEL ZUR LÖSUNG DER AUFGABE
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Die vorliegende Erfindung verwendet als Lösungsmittel die Verwendung einer Wärmebehandlungshaltevorrichtung, in der Widerstandsheizelemente mit einem höheren spezifischen Widerstand als das Basismaterial der Widerstandsheizelemente in dem Basismaterial gemischt sind, wobei das Basismaterial aus wärmeresistentem Stahl hergestellt ist.
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In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird es durch Mischen des Widerstandsheizmaterials in das Basismaterial der Widerstandsheizelemente ermöglicht, den spezifischen Widerstand der Widerstandsheizelemente größer als den ursprünglichen spezifischen Widerstand des Basismaterials einzustellen. Dementsprechend kann die Auswahl von Materialien mit einem vergleichsweise niedrigeren spezifischen Widerstand als das Basismaterial des Widerstandsheizelementes ermöglicht werden, und es wird möglich, die Selektionsbreite an Basismaterialien des Widerstandsheizelementes zu vergrößern, um als Resultat eine Kostenreduktion und Verbesserung der Verarbeitbarkeit der Wärmebehandlungshaltevorrichtung zu erzielen.
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In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird es möglich, da z. B. konventionell verwendeter wärmeresistenter Stahl als Wärmebehandlungshaltevorrichtung verwendet wurde, eine Kostenreduktion und Verbesserung der Verarbeitbarkeit der Wärmebehandlungshaltevorrichtungen sicher zu erzielen.
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Außerdem verwendet die vorliegende Erfindung als Mittel zur Lösung die Verwendung einer Wärmebehandlungshaltevorrichtung, in der ein Widerstandsheizmaterial mit einem höheren spezifischen Widerstand als Beschichtung auf der Oberfläche des Basismaterials der Widerstandsheizelemente gebildet wird.
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Da das Widerstandsheizmaterial als Beschichtung auf der Oberfläche des Basismaterials der Widerstandsheizelemente gebildet wurde, ist es in Übereinstimmung mit dieser Erfindung möglich, einen spezifischen Widerstand höher als das Basismaterial auf der Oberfläche der Wärmebehandlungshaltevorrichtung zu erzielen, und hierdurch wird es ermöglicht, ein Material mit einem spezifischen Widerstand, der vergleichbar niedrig mit dem Basismaterial des Widerstandsheizelementes ist, zu verwenden.
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Außerdem verwendet die vorliegende Erfindung als Lösungsmerkmal die Verwendung einer Wärmebehandlungshaltevorrichtung mit einer Vielzahl von Elementmitteln einer vorgegebenen Form, die miteinander verbunden sind.
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In Übereinstimmung mit dieser Erfindung erfolgt die Widerstandsheizung durch Verbinden von Widerständen an Verbindungsbereichen der Elementmittel. Da es möglich ist, Materialien mit einem vergleichbaren niedrigen spezifischen Widerstand als Basismaterial der Widerstandsheizelemente zu verwenden, ist es dementsprechend möglich, die Auswahlbreite an Basismaterialien der Widerstandsheizelemente zu verbreitern.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine longitudinale Schnittzeichnung, aufgenommen in Richtung der Pfeile, die den Aufbau der Wärmebehandlungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2A ist eine vergrößerte Frontansicht, die den Aufbau der schalenförmigen Wärmebehandlungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2B ist eine vergrößerte Seitenansicht, die den Aufbau der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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3A ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau eines Wärmebehandlungselements einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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3B ist eine schematische Ansicht, die einen vergrößerten Teilausschnitt des Wärmebehandlungselements der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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4 ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau einer korbförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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5A ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau eines Wärmebehandlungselements einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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5B ist eine schematische Ansicht, die einen vergrößerten Teilausschnitt des Wärmebehandlungselements einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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6A ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau des Wärmebehandlungselements der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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6B ist eine schematische Ansicht, die einen vergrößerten Teilausschnitt der Wärmebehandlungselemente der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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7A ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau des Wärmebehandlungselements der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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7B ist eine schematische Ansicht, die einen vergrößerten Teilausschnitt des Wärmebehandlungselements der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Bezugszeichenliste
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- X
- ist das zu behandelnde Objekt
- Y
- ist die Wämebehandlungshaltevorrichtung
- Y1
- schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung
- Y2
- korbförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung
- y1, y2, y9, y10
- Seitenplatten
- y3, y11, y15, y16, y17, y18
- Verbindungsplatten
- y4, y12
- Verstärkungsplatten
- y5
- Basismaterial
- y6
- Widerstandsheizmaterial
- y7
- Bodenfläche
- y8
- umfängliche Seitenfläche
- y13, y14
- Rahmen
- y18
- Kohlenstoffimplantationsbereich
- 1
- Hauptbehälter
- 2
- Wärmekammer
- 3A, 3B
- Energieeinleitungsabschnitte
- 4
- Herd
- 5A bis 5C
- Heizmittel
- 6A, 6B
- Kontaktelektroden
- 7A, 7B
- Verbindungselektroden
- 8A, 8B
- stabförmige Aufnahmemittel
- 9A, 9B
- Zylinder
- 10A, 10B
- Durchleitungselektroden
- 11A, 11B
- Kabel
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BESTE AUSFÜHRUNGSFORM ZUR DURCHFÜHRUNG DER ERFINDUNG
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Die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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Es wird angemerkt, dass die erste bis vierte Ausführungsform solche sind, die eine spezifische Konstitution der Wärmebehandlungshaltevorrichtung, die das zu behandelnde Objekt innerhalb der Wärmebehandlungshaltevorrichtung hält, aufweisen, und dass der Aufbau der Wärmebehandlungsvorrichtung im Wesentlichen für alle gleich ist. Deshalb wird vor der Beschreibung der ersten bis vierten Ausführungsform der allgemeine Aufbau der Wärmebehandlungsvorrichtung mit Verweis auf 1 beschrieben.
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Der Hauptbehälter 1 der Wärmebehandlungsvorrichtung wird in einer im Wesentlichen hohlen zylindrischen Form gebildet und wird auf dem Boden in einer lateralen Orientierung installiert. Eine Tür (nicht gezeigt) zum Einbringen und Herausnehmen eines zu behandelnden Objektes X, welches durch die Wärmebehandlungshaltevorrichtung (Y) festgehalten wird (schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung) wird auf einer Seite eines solchen Hauptbehälters 1 angeordnet. Außerdem wird eine Wärmekammer 2, welche die Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y enthält, in dem Hauptbehälter 1 vorgesehen, während ein Paar der energieeinleitenden Bereiche 3A, 3B an beiden lateralen Bereichen des Hauptbehälters 1 angeordnet ist.
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Die Wärmekammer 2 ist ein Behälter, der eine boxartige Form durch adiabatische Wände aufweist und in dem inneren Teil des Herdes 4 die Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y aufweist, die auf dem Bodenteil angeordnet ist und Heizmittel 5A bis 5C zur Aufheizung des zu behandelnden Objektes X auf dem Bodenteil, linken Teil und oberen Teil aufweist.
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Die Energieeinleitungsabschnitte 3A, 3B werden durch ein stabförmiges Aufnahmemittel 8A, 8B, in dem Kontaktelektroden 6A, 6B angeordnet sind, an dem distalen Ende gebildet, und die Verbindungselektroden 7A, 7B, die den Kontakt mit den Kontaktelektroden 6A, 6B herstellen, werden an dem inneren Teil und hinteren Teil bereitgestellt, Zylinder 9A, 9B, die das stabförmige Aufnahmemittel 8A, 86 vorwärts und rückwärts bewegen, durch Leitungselektroden 10A, 10B, die an eine externe Energieversorgung (nicht gezeigt) angeschlossen sind und in einem luftdichten Zustand sind und durch den Hauptbehälter 1 führen, und Kabel 11A, 11B, die jeweils die Durchleitungselektroden 10A, 10B mit den Verbindungselektroden 7A, 76 und dergleichen verbinden.
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Das oben angegebene stabförmige Aufnahmemittel 8A, 8B ist angeordnet, um wie gezeigt durch die Wärmekammer 2 durchzureichen. Durch Anregen der stabförmigen Aufnahmemittel 8A, 8B zum vorwärts/rückwärts Wandern durch die Zylinder 9A, 9B bringen die Energieeinleitungsteile 3A, 3B die Kontaktelektroden 6A, 6B dazu, sich mit dem Wärmebehandlungshalter Y zu verbinden/davon zu trennen, welcher in der angegebenen Position in dem Herd 4 angeordnet ist.
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Es wird angemerkt, dass die vorliegende Wärmebehandlungsvorrichtung ein Einzelkammer-Wärmebehandlungstiegel, der eine batchweise Wärmebehandlung von zu behandelnden Objekten X in einem Vakuum oder einer Schutzgasumgebung ermöglicht ist, und vergleichbar mit dem der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung, erste Publikationsnummer 2004-315917 , ist. Dieser Typ des Einzelkammer-Wärmebehandlungstiegels führt eine Wärmebehandlung wie z. B. eine Härtung, Temperung, Halterung oder Normalisierung oder dergleichen von Stahl und eine Wärmebehandlung zur Sinterung oder Backen von Keramik, magnetischen Materialien, Kohlenstoffmaterialien oder Verbundmaterialien durch. Da Einzelkammer-Wärmebehandlungstiegel detailliert in der nichtgeprüften
japanischen Patentanmeldung, erste Publikationsnummer 2004-315917 , offenbart sind, werden weitere Details in der vorliegenden Beschreibung nicht angegeben.
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A: Erste Ausführungsform
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Nachfolgend wir die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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2A und 2B zeigen den Aufbau der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 in Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform und diese schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 wird aus einem Paar von Seitenplatten y1, y2, die parallel angeordnet sind, Verbindungsplatten y3, die eine Vielzahl von vorbestimmten Abständen aufweisen, um über die Seitenplatten y1 und y2 herauszuragen, und eine Verstärkungsplatte y4, die in dem mittleren Teil der Verbindungsplatten y3 angeordnet ist, die die gleiche Form wie und parallel zu den Seitenplatten y1 und y2 ist, gebildet.
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Die Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3 sind rechteckige Mittel, die aus einem Material, welches durch Mischen eines Widerstandsheizmaterials y6 mit einem höheren spezifischen Widerstand als das Basismaterial y5 mit einer Leitfähigkeit wie z. B. wärmeresistenter Stahl mit dem Basismaterial y5 erhalten wird und hierbei Widerstandsheizen ermöglicht. Außerdem ist die Verstärkungsplatte y4 ein Mittel, das aus einem leitfähigen Mittel wie z. B. hitzeresistentem Stahl gebildet wurde und welches die Verbindungsplatten y3 mechanisch verstärkt, während die mittleren Sektionen der Verbindungsplatten y3 elektrisch verbunden sind.
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Die schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung y1 ist eine, in der zwischen den Seitenplatten y1, y2, welche Widerstandsheizelemente sind, eine Vielzahl von Verbindungsplatten y3, welche auch Widerstandsheizelemente sind, parallel angeordnet ist. Solch eine schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 ist deshalb eine, in der zwischen Widerstandsheizelementen (Seitenplatten y1, y2) aus der Sicht des elektrischen Schaltkreises eine Vielzahl von Widerstandsheizelementen (Verbindungsplatten y3) parallel angeschlossen sind.
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Da die vorliegende Wärmebehandlungsvorrichtung die Eigenschaft aufweisen muss, eine Wärmebehandlung an einem Objekt X bei einer Behandlungstemperatur bei z. B. 850°C durchzuführen, ist es notwendig, dass die Komponentenmaterialien der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 eine ausreichende Stabilität bei der oben angegebenen Behandlungstemperatur aufweisen. Das Basismaterial y5 der oben angegebenen Widerstandsheizelemente (dies sind die Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3) ist ein solches, das zusätzlich zu den Temperaturanforderungen aufgrund der niedrigen Materialpreise einen niedrigen Preis und exzellente Verarbeitbarkeit aufweist und das eine Leitfähigkeit wie z. B. wärmeresistenter Stahl aufweist.
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Außerdem ist das Widerstandsheizmaterial y6 eines, das aus einer oder einer Vielzahl von z. B. Manganin, Nichtnickel-Manganin, Advance, Cu-Mn-Ge-Legierung, NBW108, Ni-Cr-Fe-Legierung, Siliciumcarbid, Nichrom und Graphit besteht. Unter diesen Materialien sind Manganin, Nichtnickel-Manganin, Advance, Cu-Mn-Ge-Legierung und NBW108 metallische Widerstandsmaterialien.
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Manganin ist ein Material, das aus 85,65 Gew.-% Kupfer (Cu), 12 Gew.-% Mangan (Mn), 2 Gew.-% Nickel (Ni), 0,25 Gew.-% Eisen (Fe), 0,1 Gew.-% Silicium (Si) besteht und einen spezifischen Widerstand von 49 μΩ·cm bei Raumtemperatur (20°C) aufweist. Nichtnickel-Manganin ist ein Material, das aus 85 Gew.-% Kupfer (Cu), 9,5 Gew.-% Mangan (Mn), 5,5 Gew.-% Aluminium (Al) besteht und einen spezifischen Widerstand von 49 μΩ·cm bei Raumtemperatur (20°C) aufweist. Advance ist ein Material, das aus 54,50 Gew.-% Kupfer (Cu), 0,54 Gew.-% Mangan (Mn), 44,65 Gew.-% Nickel (Ni) und 0,11 Gew.-% Eisen (Fe) besteht und einen spezifischen Widerstand von 47,56 μΩ·cm bei Raumtemperatur (20°C) aufweist. Cu-Mn-Ge-Legierung ist ein Material, das aus 87,4 Gew.-% Kupfer (Cu), 2 Gew.-% Mangan (Mn) und 0,6 Gew.-% Germanium (Ge) besteht und einen spezifischen Widerstand von 35 μΩ·cm bei Raumtemperatur (20°C) aufweist. NBW108 ist ein Material, das aus 10 Gew.-% Mangan (Mn) und 82 bis 88 Gew.-% Zinn (Sn) besteht und einen spezifischen Widerstand von 55 μΩ·cm bei Raumtemperatur (20°C) aufweist.
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Ni-Cr-Fe-Legierung ist ein Material, das hauptsächlich aus 60 Gew.-% Nickel (Ni), 12 Gew.-% Chrom (Cr) und 26 Gew.-% Eisen (Fe) oder 65 Gew.-% Nickel (Ni), 22 Gew.-% Chrom (Cr), 10 Gew.-% Eisen (Fe) und 2 Gew.-% Mangan (Mn) besteht und einen spezifischen Widerstand von 17 μΩ·cm aufweist. Außerdem ist in einem Nichrom-Heizmittel verwendetes Nichrom ein Material, das einen spezifischen Widerstand von 110 μΩ·cm aufweist.
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Siliciumcarbid ist ein Material, das hauptsächlich aus 26 Gew.-% Kohlenstoff (C) und 63 Gew.-% Silicium (Si) mit einem spezifischen Widerstand von 40 bis 60 μΩ·cm besteht. Außerdem ist Graphit ein Material, das einen spezifischen Widerstand von 1.000 bis 1.500 μΩ·cm aufweist.
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Es wird angemerkt, dass die Seitenplatten y1, y2 und die Verbindungsplatten y3 (Widerstandsheizelemente) aus einem Material durch Vermischen eines Widerstandsheizmaterials y6 mit dem oben angegebenen Basismaterial y5 hergestellt werden. Eine Möglichkeit dieses Vermischens kann irgendeine sein, bei dem das Basismaterial y5 und das Widerstandsheizmaterial y6 legiert werden oder eines, bei dem das Widerstandsheizmaterial y6 in einem partikulären Zustand in dem Basismaterial y5 dispergiert wird.
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Die schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 ist mit einer schalenförmigen Form mit einer Höhe, die im Wesentlichen kürzer ist als die Länge und einer Weite wie dargestellt ausgeführt. Die schalenförmige Wärmebehandlungsvorrichtung Y1, in der das zu behandelnde Objekt X eingebracht wird, wird mit der oberen Oberfläche auf dem Herd 4 in Orientierung zu den Seitenplatten y1, y2 parallel zu den vorher angegebenen Kontaktelektroden 6A, 6B angeordnet.
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Im Falle des Festhaltens des behandelnden Objekts X unter Verwendung einer schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 in der Wärmebehandlungsvorrichtung der 1 und Durchführung der Wärmebehandlung führt die Wärmebehandlungsvorrichtung anfänglich dazu, dass die Kontaktelektroden 6A, 6B der Energieeinleitungsabschnitte 3A, 3B zur Fortführung der Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 und zur Kontaktherstellung mit den Seitenplatten y1, y2 der Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 kontaktieren. Nachfolgend wird Energie in die Wärmebehandlungsvorrichtung von einer externen Energiequelle zu den Heizmitteln 5A bis 50 und den energieeinbringenden Teilen 3A, 3B gebracht, um eine Widerstandserhitzung in den Heizmitteln 5A bis 5C und den Widerstandsheizelementen (Seitenplatten y1, y2 und den Verbindungsplatten y3) der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 zu erzielen. Als Ergebnis wird das zu behandelnde Objekt X durch die Wärme der Heizmittel 5A bis 5C und der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 erhitzt.
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In Übereinstimmung mit dieser ersten Ausführungsform ist es möglich, Nichteinheitlichkeiten in dem Ausgang der Heizmittel 5A bis 5C, die aus der Wärmekapazität der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 und dem Herd 4 durch Erhitzen der Widerstandsheizelemente (Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3) resultieren, zu korrigieren. Deshalb ist es möglich, Reduktionen in der thermischen Effizienz durch Nichteinheitlichkeit in dem Ausgang der Heizmittel 5A bis 5C zu korrigieren. Es ist zu bemerken, dass in dieser ersten Ausführungsform die Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3 Wärmebehandlungselemente sind, aber es ist auch möglich, dass nur die Verbindungsplatten y3 Widerstandsheizelemente und die Seitenplatten y1, y2 ein leitfähiges Material wie z. B. wärmeresistenter Stahl sein können.
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Außerdem, zusätzlich zu solchen Aktionen und Effekten, ist es, da in der ersten Ausführungsform die Verbindungsplatten y3 aus einem Material durch Vermischen eines Widerstandsheizmaterials y6 mit einem spezifischen Widerstand höher als das Basismaterial y5 und einer Konduktivität wie z. B. hitzeresistenter Stahl mit dem Basismaterial y5 hergestellt sind, während konventionelle Widerstandsheizplatten nur aus einem Widerstandsmaterial wie z. B. Graphit, Nichrom, Wolfram, Molybdän, Tantal, Keramik und Fe-Cr-Al oder dergleichen hergestellt werden, möglich, die Auswahl der Materialien der Verbindungsplatten y3 (insbesondere des Basismaterials y5) breiter auszugestalten als vorhergehend, und als Resultat ist eine Kostenreduktion und Verbesserung der Verarbeitbarkeit der schalenförmigen Wärmebehandlungsvorrichtung Y1 zu erzielen.
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Zu bemerken ist, dass die vorgehend genannten Verbindungsplatten y3 auch in einer korbförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y2 wie in 4 zusätzlich zu der schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1, wie in 2 gezeigt, angewendet werden können.
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Die korbförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y2 wird aus einem Bodenteil y7, mit derselben Struktur wie vorher für die schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 angegeben, und einem umfänglichen Seitenteil y8, das als eine Seitenwand auf dem Bodenteil y7 angeordnet ist, gebildet. Das Bodenteil y7 wird aus einem Paar von Seitenplatten y9, y10, die parallel angeordnet sind, Verbindungsplatten y11 mit einer Vielzahl vorbestimmter Abstände, um über die Seitenplatten y9, y10 hinauszuragen, und eine Verstärkungsplatte y12, die am Mittelteil der Verbindungsplatte y11 angeordnet sind und die gleiche Form und Parallelität zu den Seitenplatten y9, y10 aufweist, gebildet. Die Seitenplatten y9, y10 und die Verbindungsplatten y11 in diesem Bodenteil y7 sind Widerstandsheizelemente desselben Materials wie die Widerstandsheizelemente der vorgenannten schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 (die Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3).
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Das umfängliche Seitenteil y8 besteht aus einem Paar von Rahmen y13, y14, die entgegengesetzt in der vertikalen Richtung angeordnet sind, und Verbindungsplatten y15, die mehrfach bei dem vorbestimmten Abstand angeordnet sind, um zwischen den Seitenplatten y13, y14 herauszuragen. Die Rahmen y13, y14 und die Verbindungsplatte y15 in einem solchen umfänglichen Seitenteil y8 sind Widerstandsheizelemente desselben Materials wie die Widerstandsheizelemente der vorgenannten schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 (die Seitenplatten y1, y2 und Verbindungsplatten y3).
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Das umfängliche Seitenteil y8 besteht aus einem Paar von Rahmen y13, y14, die entgegengesetzt in der vertikalen Richtung angeordnet sind, und Verbindungsplatten y15, die in einer Vielzahl mit einem vorbestimmten Abstand, um zwischen den Seitenplatten y13, y14 herauszuragen, angeordnet sind. Die Rahmen y13, y14 und die Verbindungsplatten y15 in einem solchen umfänglichen Seitenteil y8 sind Widerstandsheizelemente aus demselben Material wie das Widerstandsheizelements der vorgenannten schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 (die Seitenplatten y1, y2 und die Verbindungsplatten y3).
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Die korbförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y2, die so ausgestaltet ist, hält das zu behandelnde Objekt X durch Festhalten einer Vielzahl hiervon, welche vergleichsweise kleiner ist, in dem Raum, der von den Bodenteilen y7 und dem umfänglichen Seitenteil y8 umgeben ist. Außerdem bewegen sich im Fall der Durchführung einer Wärmebehandlung des zu behandelnden Objektes X unter Verwendung der korbförmigen Wärmebehandlungsvorrichtung Y2 die Kontaktelektroden 6A, 6B der energieeinleitenden Teile 3A, 3B in Bezug auf die Bodenportion y7 vor und stellen den Kontakt mit den Seitenplatten y9, y10 her, und die zweiten Kontaktelektroden 6C, 6D, die zusätzlich in den energieeinleitenden Teilen 3A, 3B befestigt sind, wie gezeigt, bewegen sich vor, um den Kontakt mit den Rahmen y13, y14 herzustellen.
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In dieser korbförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y2, wenn Energie auf die energieeinleitenden Teile 3A, 3B aufgebracht wird, ist jedes der Widerstandsheizelemente, das sind die Seitenplatten y9, y10 und Verbindungsplatten y11 des Bodenteils y7 und der Rahmen y13, y14 und der Verbindungsplatten y15 an dem umfänglichen Seitenteil y8, zur Herstellung von Widerstandswärme geeignet und es ist möglich, dieselbe Aktion/Effekt wie in der oben genannten schalenförmigen Wärmebehandlungshaltevorrichtung Y1 zu erzielen.
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Es sei angemerkt, dass es akzeptabel ist, wenn nur die Verbindungsplatten y10 der Bodenteile y7 und der Verbindungsplatten y15 an den umfänglichen Seitenteilen y8 Widerstandsheizelemente sind und die Seitenplatten y9, y10 des Bodenteils y7 und die Rahmen y13, y14 des umfänglichen Seitenteils y8 Widerstandsmaterial wie z. B. wärmebeständiger Stahl sind.
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B: Zweite Ausführungsform
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Nachfolgend wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Es sei angemerkt, dass die zweite Ausführungsform von der vorgenannten ersten Ausführungsform nur in der Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente differiert. Dementsprechend wird in der nachfolgenden Beschreibung die Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente (Verbindungsplatten y16) in der zweiten Ausführungsform beschrieben. Außerdem werden in der folgenden Beschreibung Teile, die mit der oben beschriebenen ersten Ausführungsform vergleichbar sind, mit Bezugszeichen versehen und überlappende Beschreibungen werden deshalb weggelassen.
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Wie in 5A und 5B gezeigt, ist die Verbindungsplatte y16 eine solche, in der das Widerstandsheizmaterial y6 als Beschichtung auf der Oberfläche des Basismaterials y5, welches in der Form der Platte ausgebildet ist, ausgeformt ist. Verfahren zur Bildung dieser Beschichtung schließen Verfahren zur Beschichtung aus einem Lösungsmittel, welches Pulver des Widerstandsheizmaterials y6 auf der Oberfläche des Basismaterials y5 unter Verwendung einer Bürste, Sprays oder dergleichen aufbringt, und Entfernen des Lösungsmittels durch eine Trocknungsbehandlung ein. Das vorgenannte Lösungsmittel ist z. B. ein Lösungsmittel wie Alkohol.
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Da diese zweite Ausführungsform durch dieselben Verbindungsplatten y16, in der eine Beschichtung des Widerstandsheizmaterials y6 mit einem spezifischen Widerstand höher als das Basismaterial y5 mit einer Leitfähigkeit wie z. B. wärmeresistenter Stahl auf der Oberfläche des Basismaterials y5 gebildet wird, ist es möglich, eine breitere Auswahl an Materialien der Verbindungsplatten y16 zu verwenden (insbesondere das Basismaterial y5). Resultierend ist eine Kostenreduktion und Verbesserung der Verarbeitbarkeit der Wärmebehandlungshaltevorrichtung (schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung und korbförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung) vergleichbar mit der oben beschriebenen ersten Ausführungsform möglich.
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C: Dritte Ausführungsform
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Weiterhin wird eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Es sei angemerkt, dass die dritte Ausführungsform, vergleichbar zu der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform ist und sich von der ersten Ausführungsform nur durch die Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente unterscheidet. Dementsprechend wird in der nachfolgenden Beschreibung die Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente (Verbindungsplatten y17) in der dritten Ausführungsform beschrieben. Außerdem sind in der nachfolgenden Beschreibung die Teile, die mit der oben beschriebenen ersten Ausführungsform vergleichbar sind, mit denselben Bezugszeichen versehen und überlappende Beschreibungen hiervon werden deshalb weggelassen.
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6A und 6B zeigen die Verbindungsplatte y17, in der eine Karborisierungsbehandlung des Basismaterials y5 durchgeführt wurde, welche die Form einer Platte von einer Kohlenstoffeinfügungsregion y18 auf der Oberfläche nahe der Region des Basismaterials y5 aufweist. Diese Kohlenstoffeinführungsregion y18 ist eine Region, in der der spezifische Widerstand größer als der spezifische Widerstand des Basismaterials y15 als Resultat des Kohlenstoffs (C) ist, der durch die Karborisierungsbehandlung eingefügt wurde, um eine Widerstandswärme durch Durchleiten eines elektrischen Stromes hierdurch zu erzeugen.
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Da in dieser dritten Ausführungsform Verbindungsplatten y17 verwendet werden, in denen die Kohlenstoffeinfügungsregion y18 auf der Oberfläche benachbart der Region des Basismaterials y15 existiert, ist es möglich, die Wahl an Materialien der Verbindungsplatte y17 zu vergrößern (insbesondere des Basismaterials y5) und als ein Resultat werden Kostenreduktion und eine Verbesserung der Verarbeitbarkeit der Wärmebehandlungshaltevorrichtung (schalenförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung und korbförmige Wärmebehandlungshaltevorrichtung) vergleichbar mit der oben beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsform erzielt.
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D: Vierte Ausführungsform
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Nachfolgend wird eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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In der vierten Ausführungsform wird vergleichbar zu der oben beschriebenen zweiten und dritten Ausführungsform unterschiedlich von der ersten Ausführungsform nur die Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente beschrieben. Dementsprechend wird in der nachfolgenden Beschreibung die Ausgestaltung der Widerstandsheizelemente (Verbindungsplatten y18) in der vierten Ausführungsform beschrieben. Außerdem sind in der nachfolgenden Beschreibung Teile, die vergleichbar mit denen in der oben beschriebenen ersten Ausführungsform sind, mit denselben Bezugszeichen versehen und überlappende Beschreibungen hiervon werden weggelassen.
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Wie in 7A gezeigt, werden die Verbindungsplatten y18 in der vierten Ausführungsform durch eine Vielzahl von stangenförmigen Elementmitteln y19 aus dem Basismaterial y5 in einer vorbestimmten Form gebildet. Deshalb wird jedes stangenförmige Elementmittel y19 als eine eckige Stange mit konvexen Teilen y20 und konkaven Teilen y21 in einer Vielzahl, wie in 7B gezeigt, angeordnet, wobei die Stangen gegenseitig durch ein Fitting über die konvexen Teile y20 und die konkaven Teile y21 verbunden sind.
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Widerstandsheizung tritt in diesen Verbindungsplatten y18 aufgrund des Kontaktwiderstandes an den verbindenden Teilen jedes stangenförmigen Elementmittels y19 auf. Dementsprechend wird eine Funktion vergleichbar mit den Verbindungsplatten y3, y11, y15, y16 und y17 der oben beschriebenen ersten bis dritten Ausführungsform erhalten.
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Da hier die Verbindungsplatten y18 in der vierten Ausführungsform einen Kontaktwiderstand über die Kontaktflächen erzielen, wird die Heizrate durch die Anzahl der Verbindungsteile und die Größe des Kontaktwiderstandes hiervon beeinflusst. Da die Anzahl der Kontaktflächen ansteigt, steigt der Kontaktwiderstand und die gesamte Aufheizrate der Kontaktplatten y18 an. Dementsprechend ist es wichtig, ein Verbindungsverfahren anzuwenden und die Form der stangenförmigen Elementmittel y19 so zu wählen, dass die Anzahl der Kontaktflächen ansteigt.
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Es sei angemerkt, dass in 7A die Verbindungsplatte y18 durch Stapeln der stangenförmigen Elementmittel y19 über drei Lagen erhalten wird, aber es ist auch akzeptabel, die stangenförmigen Elementmittel y19 in einer Ebene in einem planaren Zustand wie z. B. einem Puzzle anzuordnen.
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Es ist außerdem möglich, anstatt der Bildung eines stangenförmigen Elementmittels y19 aus dem Basismaterial y5, wie die Verbindungsplatten y3, y11, y15, y16 und y17 aus demselben Material der oben beschriebenen ersten bis dritten Ausführungsform zu bilden. Für den Fall der Bildung der stangenförmigen Elementmittel y19 in dieser Weise ist es möglich, die Heizrate zu erhöhen, da die stangenförmigen Elementmittel y19 selbst eine Widerstandsaufheizung zusätzlich zur Widerstandsheizung des Kontaktwiderstands der Verbindungsteile ermöglichen.