JPH11171655A - 焼成治具 - Google Patents
焼成治具Info
- Publication number
- JPH11171655A JPH11171655A JP9369693A JP36969397A JPH11171655A JP H11171655 A JPH11171655 A JP H11171655A JP 9369693 A JP9369693 A JP 9369693A JP 36969397 A JP36969397 A JP 36969397A JP H11171655 A JPH11171655 A JP H11171655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina
- mullite
- main components
- shelf
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】軽量化治具を使って、処理品自体の焼結に必要
な熱量以外の加熱熱量を削減できる焼成治具を提供す
る。 【解決手段】高温で高強度を有するセラミック製の角材
と棒状材または管状材とを組み合わせてラックを棚板と
して使用する。
な熱量以外の加熱熱量を削減できる焼成治具を提供す
る。 【解決手段】高温で高強度を有するセラミック製の角材
と棒状材または管状材とを組み合わせてラックを棚板と
して使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に電子セラミッ
ク素子を焼成、または焼結する炉において、未焼成素子
を積載して、炉へ挿入するために必要とする焼成治具
（セッタ、サヤ、棚板、等）に関する。
ク素子を焼成、または焼結する炉において、未焼成素子
を積載して、炉へ挿入するために必要とする焼成治具
（セッタ、サヤ、棚板、等）に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子セラミック素子は、主原料と
なるセラミックスの微粉体に焼結助材を加え、これを混
練または泥漿乾燥したものを成形して未焼成素子をつく
る。出来上がった未焼成素子を焼成治具（セッタ、サ
ヤ、棚板、等）を使用して焼成炉の中に挿入して焼結す
る。一般には、セッタと呼ばれるセラミック製の板、例
えばジルコニア板などの上に未焼成素子を並べ、更にセ
ッタを棚板上に数段積重ねて、焼成炉に挿入し所定の温
度条件で焼結させる。セッタを乗せる棚板には高温で歪
んだり、熱衝撃で割れたりしない高温耐火材質のものが
必要で、例えば炭化珪素質の薄板や、サヤ状に成形した
アルミナやムライト、材質の容器（サヤ）が使用されて
いる。これらのものは、高温で所定の強度を保持させる
ために必要な厚さが必要であり、そのため処理品を焼成
するのに、処理品自体が焼結に要する熱量の１０数倍も
の熱量を必要としていた。
なるセラミックスの微粉体に焼結助材を加え、これを混
練または泥漿乾燥したものを成形して未焼成素子をつく
る。出来上がった未焼成素子を焼成治具（セッタ、サ
ヤ、棚板、等）を使用して焼成炉の中に挿入して焼結す
る。一般には、セッタと呼ばれるセラミック製の板、例
えばジルコニア板などの上に未焼成素子を並べ、更にセ
ッタを棚板上に数段積重ねて、焼成炉に挿入し所定の温
度条件で焼結させる。セッタを乗せる棚板には高温で歪
んだり、熱衝撃で割れたりしない高温耐火材質のものが
必要で、例えば炭化珪素質の薄板や、サヤ状に成形した
アルミナやムライト、材質の容器（サヤ）が使用されて
いる。これらのものは、高温で所定の強度を保持させる
ために必要な厚さが必要であり、そのため処理品を焼成
するのに、処理品自体が焼結に要する熱量の１０数倍も
の熱量を必要としていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は出来るだけ軽
量化した焼成治具を使って、極力処理品自体の焼結に必
要な熱量以外の加熱熱量を削減するものである。
量化した焼成治具を使って、極力処理品自体の焼結に必
要な熱量以外の加熱熱量を削減するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は図１に示すよう
に、高温で高強度を有するセラミック製の角材と丸棒を
組み合わせて作ったラックを棚板として使用するもの
で、棚板としての高温強度を損なうことなく、従来使用
されていた棚板の熱容量を１／３以下に削減出来る。例
えば３００×３００ｍｍの棚板であればＳｉＣ系棚板で
２Ｋｇ／枚もあった重量を０．６Ｋｇ／枚以下の重量に
削減することが出来、焼成に必要とする熱量も７０％以
上削減出来る。
に、高温で高強度を有するセラミック製の角材と丸棒を
組み合わせて作ったラックを棚板として使用するもの
で、棚板としての高温強度を損なうことなく、従来使用
されていた棚板の熱容量を１／３以下に削減出来る。例
えば３００×３００ｍｍの棚板であればＳｉＣ系棚板で
２Ｋｇ／枚もあった重量を０．６Ｋｇ／枚以下の重量に
削減することが出来、焼成に必要とする熱量も７０％以
上削減出来る。
【０００５】
【発明の実施の形態】一般に焼成治具としては、アルミ
ナ、アルミナ＋ムライト、ムライト炭化珪素、等で製造
したサヤや棚板と支柱を組み合わせたものを使用してい
るが、所定の最高焼結温度に耐えるためには、一定の厚
さと形状が必要である。このため、焼成温度が高ければ
高いほど熱容量の大きい焼成治具を使用することにな
り、どうしても処理品に比べて焼成治具を加熱する熱量
が大きくなってしまう。本発明は、図１に示すように２
本のセラミック製の角材（四角、長方形には限定されな
い）、例えば軽量アルミナ質角材の間に、高温強度に優
れた細い丸棒、例えば再結晶質のＳｉＣ丸棒を梯子状に
取り付けて、所定の大きさ（一般には１００×１００〜
３００×３００ｍｍ位）に成形してラック状の棚板とし
て使用する。こうして製作したラック状の棚板は従来か
ら使用されている棚板＋支柱、あるいはサヤ積みの場合
よりも一段当たりの高さを約２０〜３０％低く製作出来
るので、同一炉、同一条件で使用する場合はその分だけ
棚積段数を増やすことが可能である。また、各段の低面
の空間率が従来から使用されている棚板＋支柱、サヤ積
みの場合よりも大きく、例えば窒素、窒素＋水素雰囲気
ガス中で使用する炉では処理品に対する雰囲気状態をよ
り均一に保持することが出来る。
ナ、アルミナ＋ムライト、ムライト炭化珪素、等で製造
したサヤや棚板と支柱を組み合わせたものを使用してい
るが、所定の最高焼結温度に耐えるためには、一定の厚
さと形状が必要である。このため、焼成温度が高ければ
高いほど熱容量の大きい焼成治具を使用することにな
り、どうしても処理品に比べて焼成治具を加熱する熱量
が大きくなってしまう。本発明は、図１に示すように２
本のセラミック製の角材（四角、長方形には限定されな
い）、例えば軽量アルミナ質角材の間に、高温強度に優
れた細い丸棒、例えば再結晶質のＳｉＣ丸棒を梯子状に
取り付けて、所定の大きさ（一般には１００×１００〜
３００×３００ｍｍ位）に成形してラック状の棚板とし
て使用する。こうして製作したラック状の棚板は従来か
ら使用されている棚板＋支柱、あるいはサヤ積みの場合
よりも一段当たりの高さを約２０〜３０％低く製作出来
るので、同一炉、同一条件で使用する場合はその分だけ
棚積段数を増やすことが可能である。また、各段の低面
の空間率が従来から使用されている棚板＋支柱、サヤ積
みの場合よりも大きく、例えば窒素、窒素＋水素雰囲気
ガス中で使用する炉では処理品に対する雰囲気状態をよ
り均一に保持することが出来る。
【０００６】
【実施例】本発明を実施例により説明する。図２に示す
ように口２２０×ｔ３０ｍｍの台板の上に５段、本発明
によるラック状棚板の上に厚さ３ｍｍのジルコニアセッ
タを置き、更に、その上に処理品を並べた場合と、図
３、図４に示すような棚板、サヤに厚さ３ｍｍのジルコ
ニアセッタを置き、その上に処理品を並べた従来方式で
積載した場合との消費電力の差を下記寸法のトンネル炉
を用いて、比較テストを行った。 使用炉；炉長約１０ｍ、有効炉内寸法：炉幅２５０ｍｍ
×高さ１５０ｍｍ 台板搬送方式 ネジ式連続プッシャー方式トンネル炉 なお、トンネル炉内には実際に処理品の処理に必要な温
度プロフィールになるように予め、炉の長手方向の温度
をコントロールし、炉の中へ４４０ｍｍ／ｈの速度で挿
入して実施した。結果は表１のとおりで、ほぼ理論値ど
おりの消費電力の差が確認出来た。
ように口２２０×ｔ３０ｍｍの台板の上に５段、本発明
によるラック状棚板の上に厚さ３ｍｍのジルコニアセッ
タを置き、更に、その上に処理品を並べた場合と、図
３、図４に示すような棚板、サヤに厚さ３ｍｍのジルコ
ニアセッタを置き、その上に処理品を並べた従来方式で
積載した場合との消費電力の差を下記寸法のトンネル炉
を用いて、比較テストを行った。 使用炉；炉長約１０ｍ、有効炉内寸法：炉幅２５０ｍｍ
×高さ１５０ｍｍ 台板搬送方式 ネジ式連続プッシャー方式トンネル炉 なお、トンネル炉内には実際に処理品の処理に必要な温
度プロフィールになるように予め、炉の長手方向の温度
をコントロールし、炉の中へ４４０ｍｍ／ｈの速度で挿
入して実施した。結果は表１のとおりで、ほぼ理論値ど
おりの消費電力の差が確認出来た。
【０００７】
【表１】
【０００８】
【発明の効果】（ａ）以上のように全体の消費電力とし
て、ＳｉＣ棚板、アルミナ系サヤに比較して、それぞれ
６．１％、１１．５％の節電が出来た。また、棚板、サ
ヤのみでの消費電力を比較すると、発明品棚板の消費電
力を１とした場合、ＳｉＣ棚板の場合はその１．６倍、
アルミナ系サヤ使用の場合は２．２倍の電力を消費し
た。従って、本発明によるラック式棚板は全体の処理量
が多くなるほど節電の割合が増える。また、実際に使用
する場合、本発明によるラック式棚板の高さは、ＳｉＣ
棚板、アルミナ系サヤを使用する場合よりも一段あたり
３０〜２０％低く出来るので、同一炉、同一条件で使用
してもその分だけ積み段数を増やすことが可能で増産す
ることが出来る。 （ｂ）本発明によるラック式棚板を使用することによっ
て、炉内での雰囲気の流れが良くなり、特に特殊な雰囲
気を必要とする処理品に対しては、より均一な雰囲気が
得られるため得率の向上が図れる。
て、ＳｉＣ棚板、アルミナ系サヤに比較して、それぞれ
６．１％、１１．５％の節電が出来た。また、棚板、サ
ヤのみでの消費電力を比較すると、発明品棚板の消費電
力を１とした場合、ＳｉＣ棚板の場合はその１．６倍、
アルミナ系サヤ使用の場合は２．２倍の電力を消費し
た。従って、本発明によるラック式棚板は全体の処理量
が多くなるほど節電の割合が増える。また、実際に使用
する場合、本発明によるラック式棚板の高さは、ＳｉＣ
棚板、アルミナ系サヤを使用する場合よりも一段あたり
３０〜２０％低く出来るので、同一炉、同一条件で使用
してもその分だけ積み段数を増やすことが可能で増産す
ることが出来る。 （ｂ）本発明によるラック式棚板を使用することによっ
て、炉内での雰囲気の流れが良くなり、特に特殊な雰囲
気を必要とする処理品に対しては、より均一な雰囲気が
得られるため得率の向上が図れる。
【図１】本発明によるラック式棚板の図。
【図２】本発明によるラック式棚板を台板上に積載した
図。
図。
【図３】ＳｉＣ棚板を台板上に積載した図。
【図４】アルミナ系サヤを台板上に積載した図。
１．セラミックの細管、または丸棒 ２．セラミックの角材 ３．台板 ４．棚板 ５．支柱 ６．サヤ
Claims (1)
- 【請求項１】 炭化珪素、アルミナ、ムライトを主成分
として製造した棒状材、または管状材、と炭化珪素、ア
ルミナ、ムライト、およびアルミナとムライトとを合成
した耐火材を主成分として製造した角材とを組み合わせ
て、ラック状に成形して製造した焼成治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9369693A JPH11171655A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 焼成治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9369693A JPH11171655A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 焼成治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11171655A true JPH11171655A (ja) | 1999-06-29 |
Family
ID=18495086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9369693A Pending JPH11171655A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 焼成治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11171655A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112005003684B4 (de) | 2005-08-31 | 2012-01-12 | Ihi Corporation | Wärmebehandlungshaltevorrichtung und Wärmebehandlungsvorrichtung und Verfahren |
-
1997
- 1997-12-10 JP JP9369693A patent/JPH11171655A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112005003684B4 (de) | 2005-08-31 | 2012-01-12 | Ihi Corporation | Wärmebehandlungshaltevorrichtung und Wärmebehandlungsvorrichtung und Verfahren |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041111 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080408 |