DE1083065B - Einrichtung zur wahlweisen Erzielung einer Durch- und Auflichtbelichtung eines Objektes - Google Patents

Einrichtung zur wahlweisen Erzielung einer Durch- und Auflichtbelichtung eines Objektes

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DE1083065B
DE1083065B DEZ4672A DEZ0004672A DE1083065B DE 1083065 B DE1083065 B DE 1083065B DE Z4672 A DEZ4672 A DE Z4672A DE Z0004672 A DEZ0004672 A DE Z0004672A DE 1083065 B DE1083065 B DE 1083065B
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light
lighting device
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DEZ4672A
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Dr Kurt Raentsch
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/088Condensers for both incident illumination and transillumination

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Einrichtung zur wahlweisen Erzielung einer Durch- und Auflichtbelichtung eines Objektes Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur wahlweisen Erzielung einer Durch- und Auflichtbelichtung eines Objektes mit hochglanzpolierter Oberfläche, insbesondere in einem Mikroskop, und zeichnet sich dadurch aus, daß zwischen der Lichtquelle und dem Objekt ein Polarisator angeordnet ist, daß sich hinter dem Objekt eine reflektierende und depolarisierende Fläche befindet und daß ferner ein Analysator vorgesehen ist, auf den das am Objekt und an der reflektierenden Fläche gespiegelte Licht trifft, daß schließlich zwischen dem Polarisator und dem Objekt eine die Schwingungsrichtung des Lichtes in gewünschtem Maße drehende Einrichtung, insbesondere ein drehbares A/4-Plättchen vorgesehen ist oder daß der Analysator drehbar ist.
  • Beleuchtungseinrichtungen, welche zwei Polarisatoren und eine die Schwingungsrichtung des Lichtes drehende Einrichtung enthalten, sind bekannt. Hier soll jedoch durch die Verwendung der beiden Polarisatoren sowie der die Schwingungsebene des Lichtes drehenden Einrichtung verhindert werden, daß bei Auflichtbelichtung des Objektes das an der Objektivlinse reflektierte Licht in das Okular eines Beobachtungsmikroskops tritt, indem zwischen Lichtquelle und Okular zwei Polarisatoren gekreuzt angeordnet sind. Zwischen Objekt und Objektiv ist die die Schwingungsebene des Lichtes um 90° drehende Einrichtung angeordnet, damit das am Objekt gespiegelte Licht ungehindert ins Okular tritt.
  • Weiterhin ist es bekannt, zur Untersuchung der Gefügebestandteile einer Metalloberfläche polarisiertes Licht zu verwenden. Die einzelnen Gefügebestandteile depolarisieren dieses Licht mehr oder minder stark. Ein nachgeschalteter Analysator läßt jetzt dasjenige Licht am stärksten durch, welches bei der Reflexion am stärksten depolarisiert wird. Bei dieser Einrichtung ist es ferner bekannt, den Polarisator zugleich als Analysator auszubilden. Damit bei dieser Ausbildung das am stärksten depolarisierte Licht in das Okular des Mikroskops bzw. in eine photographische Kamera gelangen kann, ist zwischen dem Polarisator und der Metalloberfläche ein Ä/4-Plättchen angeordnet, derart, daß es die Schwingungsrichtung des Lichtes beim zweimaligen Durchsetzen um 90° dreht. Dieses .1/4-Plättchen ist im Gegensatz zur vorliegenden Erfindung starr angeordnet, es gestattet also keine Auswahl bestimmter Schwingungsrichtungen des Lichtes. Dies ist aber nach der Erfindung notwendig, da je nach Drehstellung des 7/4-Plättchens bzw. Drehstellung des Analysators die Durch- oder Auflichtbelichtung des Objektes erreicht wird.
  • Nimmt man an, daß der Polarisator und der Analysator gemäß der Erfindung durch eine das Licht polarisierende Teilungsschicht gebildet sind, welche in an sich bekannter Weise das Licht der einen Schwingungsrichtung reflektiert und das Licht der anderen Schwingungsrichtung durchläßt, und nimmt man ferner an, daß ein .l/4-Plättchen in einer solchen Lage angeordnet ist, daß es das polarisierte Licht ungehindert, d. h. ohne dessen Schwingungsrichtung zu beeinflussen, hindurchläßt, dann hat das am Objekt reflektierte Licht beim Wiederauftreffen auf die polarisierende Schicht seine Schwingungsrichtung beibehalten, es wird also nicht durch die polarisierende Schicht hindurchgelassen, sondern an dieser reflektiert. Das am Objekt vobeigehende und an der reflektierenden Fläche reflektierte Licht ist nun jedoch depolarisiert, so daß von diesem Licht ein Teil die polarisierende Schicht durchsetzt. Läßt man dieses Lichtbündel in ein Mikroskop fallen, so findet eine Beobachtung mit Licht statt, welches üblicherweise als Durchlicht bezeichnet wird.
  • Dreht man das 2/4-Plättchen derart, daß es die Schwingungsebene des durch das Plättchen tretenden Lichtes beim doppelten Durchlauf um 90° dreht, so kann zunächst das gesamte am Objekt reflektierte Licht die polarisierende Schicht durchsetzen, zum andern aber auch der Teil des am Objekt vorbeigegangenen und an der reflektierenden Fläche depolarisierten Lichtes, welcher bei Wiederauftreffen auf die polarisierende Schicht dieselbe Schwingungsrichtung hat wie das am Objekt reflektierte Licht. Das an der reflektierenden Fläche reflektierte Licht erscheint nun jedoch gegen das am Objekt reflektierte geschwächt, weil der nicht durch die polarisierende Schicht durchgelassene, von der Depoiarisation herrührende Anteil für die Beobachtung fehlt, so daß man gemäß dieser Anordnung das Objekt im Auflicht sowie geschwächtem Durchlicht sieht. Will man das Objekt in reinem Auflicht beobachten, dann entfernt man vorteilhafterweise die reflektierende Fläche. Je nach der Drehstellung des A/4-Plättchens sieht man dann das Objekt in mehr oder minder starkem Auflicht.
  • Ist die polarisierende Schicht undurchlässig, d. h. reflektiert sie nur einen in einer bestimmten Schwingungsrichtung schwingenden Anteil des Lichtes und löscht den in senkrechter Richtung dazu schwingenden Anteil aus, so ergeben sich im vom Objekt und der reflektierten Fläche kommenden und an der polarisierenden Schicht erneut reflektierten Licht mit Bezug auf die oben beschriebenen Stellungen des 2/4-Plättchens die umgekehrten Beleuchtungsverhältnisse, d. h., es ergibt sich in der ersten Stellung des A/4-Plättcheiris eine Beobachtung im Auflicht mit geschwächtem Durchlicht und in der zweiten Stellung des 2/4-Plättchens eine Beobachtung in reinem Durchlicht.
  • Vorteilhaft ist die polarisierende Schicht im Fall der Durchlässigkeit für Licht der einen Schwingungsrichtung auf einer Glasplatte aufgebracht oder zwischen Prismen eingekittet. Die Prismen oder die Glasplatte können dabei so angeordnet sein, daß die polarisierende Schicht unter einem Winkel zur optischen Achse des Beleuchtungsstrahlenganges geneigt ist. In diesem Fall trifft das beim ersten Auftreffen auf die polarisierende Schicht durchgelassene Licht, im Fall daß die Schicht zwischen Prismen eingekittet ist, auf eine weitere Prismenfläche, wo es zum Teil reflektiert wird und wieder in den Beleuchtungsstrahlengang gelangt. Um die dadurch bewirkte Bildverschlechterung zu vermeiden, ist die Prismenfläche, auf die das von der Lichtquelle kommende und durch die polarisierende Schicht hindurchgelassene Licht trifft, vorteilhaft geschwärzt. Eine noch bessere Wirkung erzielt man, wenn die genannte geschwärzte Prismenfläche als Dachfläche ausgebildet wird, weil dann das auf diese Prismenfläche fallende Licht doppelt reflektiert und dementsprechend in stärkerem Maße absorbiert wird.
  • Werden Polarisator und Analysator nicht durch eine das Licht polarisierende Teilungsschicht gebildet, sondern ist der Analysator im aus der Beleuchtungseinrichtung austretenden Licht drehbar angeordnet, dann kann das .1/4-Plättchen entfallen, weil sich die obengenannte Wirkungsweise allein durch Drehen des Analysators erreichen läßt. Ist nämlich der Analysator derart gedreht, daß er das von der Lichtquelle kommende polarisierte und am Objekt reflektierte Licht durchläßt, dann sieht man das Objekt im Auflicht mit geschwächtem Durchlicht. Ist der Analysator dagegen derart gedreht, daß er das am Objekt reflektierteLicht nicht durchläßt, sondern nur einen von der Depolarisation an der reflektierenden Fläche herrührenden Anteil, dann sieht man das Objekt im Durchlicht.
  • Die reflektierende Fläche ist zweckmäßig durch einen aus einer Mehrzahl von Rückstrahlelementen zusammengesetzten Flächenreflektor gebildet, weil man mit einem derartigen Spiegel in weitgehendem Maße unabhängig von der Einfallsrichtung des Lichtes wird.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt, und zwar zeigt Fig. 1 die Beleuchtungseinrichtung im Schnitt mit drehbarem .l/4-Plättchen, Fig. 2 und 3 das Gesichtsfeld eines Mikroskops bei verschiedenen Drehstellungen des Y4-Plättchens, Fig.4 eine geänderte Ausführungsform der Beleuchtungseinrichtung nach Fig. 1, Fig. 5 die Beleuchtungseinrichtung der Fig.4 mit drehbarem Analysator.
  • Das von der Lichtquelle 1 kommende Licht trifft in Fig. 1, nachdem es einen Kondensator 2 durchsetzt hat, auf eine polarisierende Schicht 3, welche zwischen Glasprismen 4 und 5 eingekittet ist. Das Prisma 5 weist eine geschwärzte Dachfläche 6 auf. Das an der polarisierenden Schicht 3 reflektierte Licht durchsetzt eine Blende 7, ein Mikroskopobjektiv 8 und ein um die optische Achse drehbares .1/4-Plättchen 9, wonach es auf ein Objekt 10 trifft. Unterhalb des Objekts 10 ist ein wegklappbarer, aus Tripelspiegeln zusammengesetzter Flächenreflektor 11 angeordnet. Das vom Flächenreflektor 11 oder vom Objekt 10 kommende und von der polarisierenden Schicht 3 hindurchgelassene Licht wird in Richtung des Pfeiles 12 einem nicht gezeichneten Mikroskopokular zugeführt.
  • Die Wirkungsweise der Vorrichtung ist wie folgt: Die polarisierende Schicht 3 lasse das Licht mit parallel zur Zeichenebene als Einfallsebene des Lichtes schwingender Komponente durch und reflektiere das Licht mit dem dazu senkrecht schwingender Komponente. Das 2/4-Plättchen sei derart gedreht, daß es das Licht ohne Beeinflussung seines Schwingungszustandes hindurchläßt. Dann trifft zunächt das unmittelbar von der Lichtquelle 1 kommende Licht mit parallel zur Einfallsebene schwingender Komponente auf die Dachfläche 6, wo es ausgelöscht wird. Das Licht mit senkrecht zur Einfallsebene schwingender Komponente fällt durch das Objektiv 8 und das 2/4-Plättchen einmal auf die Oberfläche des Objekts 10, welches als kreisförmig angenommen worden ist, und zum andern auf den Tripelspiegel11, wo es in natürliches Licht depolarisiert wird. Das am Objekt 10 reflektierte Licht trifft erneut auf die polarisierende Schicht 3, und da es nach wie vor senkrecht zur Einfallsebene schwingt, wird es in die Lichtquelle 1 reflektiert. Dasselbe gilt für das Licht, welches vom Flächenreflektor 11 kommt und mit einer Komponente senkrecht zur Einfallsebene schwingt. Das vom Flächenreflektor 11 kommende Licht mit parallel zur Einfallsebene schwingender Komponente wird nun aber durch das d/4-Plättchen ebenfalls unbeinflußt gelassen, und es tritt in Richtung des Pfeiles 12 durch die polarisierende Schicht 3. In diesem Fall erscheint im Gesichtsfeld des Mikroskops, wie in Fig. 2 dargestellt, die Oberfläche des Objekts 10 dunkel und die Umgebung hell.
  • Wird das .1/4-Plättchen derart um die optische Achse gedreht, daß es die Schwingungsebene des Lichtes bei doppeltem Durchsetzen des A/4-Plättchens um 90° dreht, dann trifft das am Objekt 10 reflektierte Licht als parallel zur Einfallsebene schwingendes Licht durch die polarisierende Schicht 3, und es tritt in Richtung des Pfeiles 12 aus der Beleuchtungseinrichtung aus. Das vom Flächenreflektor 11 kommende Licht wird, da es depolarisiert ist, nur teilweise durch das .l/4-Plättchen 9 in Licht mit parallel zur Einfallsebene schwingender Komponente umgewandelt, so daß auch nur dieser Teil von der polarisierenden Schicht 3 hindurchgelassen wird. Man sieht deshalb, wie in Fig. 3 dargestellt, das Objekt 10 hell, die Umgebung dagegen dunkler.
  • Wird der Flächenreflektor durch eine nicht gezeichnete Vorrichtung weggeklappt, dann sieht man das Objekt 10 in reinem Auflicht.
  • Fig.4 zeigt eine geänderte Ausführungsform der Einrichtung nach Fig.1. Die polarisierende Schicht 3 der Fig. 1 ist durch eine gewöhnliche halbdurchlässige Spiegelschicht 3' ersetzt, und zwischen Kondensator 2 und Prismen 4 ist statt dessen ein Polarisator 30 und im austretenden Strahlengang ein Analysator 31 angeordnet. Die Wirkungsweise dieser Vorrichtung ist dieselbe wie die unter Fig. 1 beschriebene, denn die Beleuchtungsart hängt nach wie vor von der Stellung des 2/4-Plättchens ab.
  • In Fig. 5 ist der Analysator 31 der Fig. 4 drehbar angeordnet, und das A/4-Plättchen 9 fehlt. Bei dieser Anordnung übernimmt der Analysator die Aufgabe des A/4-Plättchens. Die Beleuchtungsart wird durch die Stellung des Analysators 31 zum Polarisator 30 bestimmt. Sind nämlich Polarisator 30 und Analysator 31 gekreuzt, dann tritt durch den Analysator 31 nur ein Lichtanteil, welcher von der Depolarisation an dem Flächenreflektor 11 herrührt. Das Objekt sieht man, dann, wie in Fig.2 dargestellt, im Durchlicht. Steht der Analysator 31 parallel zum Polarisator 30, dann läßt er sämtliches am Objekt 10 reflektierte Licht durch, vom am Flächenreflektor 11 reflektiertes Licht wegen der depolarisierenden Wirkung dieses Reflektors jedoch nur einen Teil, so daß das Objekt 10, wie in Fig.3 dargestellt, im Auflicht mit geschwächtem Durchlicht sichtbar ist.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Einrichtung zur wahlweisen Erzielung einer Durch- und Auflichtbelichtung eines Objektes mit hochglanzpolierter Oberfläche, insbesondere in einem Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Lichtquelle und dem Objekt ein Polarisator angeordnet ist, daß sich hinter dem Objekt eine reflektierende und depolarisierende Fläche befindet, daß ferner ein Analysator vorgesehen ist, auf den das am Objekt und an der reflektierenden Fläche gespiegelte Licht trifft, daß entweder zwischen dem Polarisator und dem Objekt eine die Schwingungsrichtung des Lichtes im gewünschten Maße drehende Einrichtung, insbesondere ein drehbares 1/4-Plättchen vorgesehen ist oder der Analysator drehbar ausgebildet ist. z. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine die Schwingungsebene des Lichtes drehende Einrichtung vorgesehen ist und der Polarisator und Analysator durch eine das Licht polarisierende Teilungsschicht gebildet sind, welche das Licht der einen Schwingungsrichtung reflektiert und das Licht der andern Schwingungsrichtung durchläßt. 3. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die polarisierende Schicht auf einer Glasplatte aufgebracht ist. 4. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die polarisierende Schicht zwischen Prismen eingekittet ist. 5. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Prismenfläche, auf die das von der Lichtquelle kommende und durch die polarisierende Schicht hindurchgelassene Licht trifft, geschwärzt ist. 6. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die geschwärzte Fläche als Dachfläche ausgebildet ist. 7. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Fläche durch einen aus einer Mehrzahl von Rückstrahlelementen zusammengesetzten Flächenreflektor gebildet ist. B. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Drehung der Schwingungsebene des Lichtes aus einem drehbar angeordneten A/4-Plättchen besteht. 9. Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Analysator im aus der Beleuchtungseinrichtung austretenden Licht drehbar angeordnet ist und die die Schwingungsebene des Lichtes drehende Einrichtung entfällt. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 378 833; USA.-Patentschriften Nr. 2 318 705, 2 074106.
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