DE10254160A1 - Transistorarray und damit hergestellte Halbleiterspeicheranordnung - Google Patents

Transistorarray und damit hergestellte Halbleiterspeicheranordnung Download PDF

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Abstract

Ein erfindungsgemäßes Transistorarray besteht aus vertikalen FET-Transistoren, die jeweils mit einem Speicherkondensator eines Speicherzellenarrays verbunden sind. Wortleitungen (5) bildende Gateelektrodenstreifen der Transistoren liegen zu beiden Seiten von zueinander parallel laufenden aktiven Stegen (13) und sind durch Wortleitungs- bzw. CS-Kontakte (15) mit einer überlagernden Metallebene (12) verbunden. Um diese Wortleitungskontakte (15) gegenüber den anderen Elementen des Transistorarrays und des Zellenfeldes zu isolieren, liegen die Wortleitungskontakte (15) in in die Stege (13) eingebrachten tiefen Gräben (11). DOLLAR A Bei einer alternativen Ausführungsform liegen die die Wortleitung mit der Metallebene verbindenden Wortleitungskontakte in einer von der Wanne, in der das Speicherzellenarray liegt, separaten isolierten Wanne, und die die Wortleitungskontakte aufweisenden aktiven Stege, die in diese separate Wanne geführt sind, sind von dem umgebenden Gebiet durch an der Schnittstelle liegende isolierende tiefe Gräben (11) isoliert.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Transistorarray aus vertikalen FET-Transistoren, die jeweils in Form vertikaler und in Lateralrichtung parallel laufender Abschnitte von aktiven Stegen aus Halbleiterbereichen in die Tiefe eines Substrats ausgebildet sind und bei denen ein Kanalbereich von die Gateelektroden bildenden Gatestreifen umgeben ist, die entlang den aktiven Stegabschnitten laufen und gleichzeitig Wortleitungen für ein dem Transistorarray zugeordnetes Array aus Halbleiterspeicherzellen bilden, wobei Wortleitungskontakte, wenigstens einen Teil der Wortleitungen elektrisch mit Metallbahnen einer das Transistorarray überlagernden Metallebene verbinden. Die Erfindung betrifft auch eine damit hergestellte Halbleiterspeicheranordnung, insbesondere einen DRAM-Speicher.
  • Ein Transistorarray mit den oben genannten Merkmalen ist aus US 5 519 236 bekannt.
  • Die andauernde Tendenz, Halbleiterspeicheranordnungen, wie DRAMs immer weiter zu verkleinern, hat dazu geführt, dass man die Speicherkondensatoren der Speicherzellen und die zugehörigen Transistoren als vertikale Elemente in die Tiefe des Halbleitersubstrats hinein baut. Auf diese Weise tragen die vertikal ausgebildeten FET-Transistoren dazu bei, dass Halbleiterspeicheranordnungen mit einer Geometrie der Speicherzelle von F = 70 nm und kleiner realisiert werden und gleichzeitig die Leistungsfähigkeit der vertikalen FET-Transistoren beibehalten werden konnte.
  • Dazu wurden in einem entsprechenden Prozess mit Silizium ausgefüllte parallel laufende aktive Stege in einer Breite von 0,5 – 1 F gebildet, in denen Bulk-, Source- und Drainelektroden der vertikalen FET-Transistoren liegen. Diese aktiven Stege werden stirnseitig jeweils durch tiefe Gräben (englisch: "deep trenches") begrenzt. An der Oberseite der tiefen Gräben befindet sich von Isoliermaterial gekapseltes Polysilizium oder nur Isolationsmaterial. An den beiden Seiten jedes aktiven Stegs befinden sich eine Gateelektrode jedes Transistors bildende Gatestreifen, gebildet durch einen vertikal geätzten Spacer, die ihrerseits als Wortleitung für die zugehörigen Halbleiterspeicherzellen dienen. Dabei beträgt die Dicke der Wortleitung annähernd 0,2 F und ihre vertikale Abmessung annähernd 5 F. Das obere Ende der Wortleitungsspacer liegt einige 10 nm unterhalb der Oberseite des aktiven Stegs. Gatekontakte, so genannte CS-Kontakte stellen den Kontakt zur Wortleitung her. Zur Herstellung der CS-Kontakte wird der aktive Steg mit einem sehr kleinen Ausschnitt quer zur Laufrichtung des aktiven Stegs versehen. Durch diesen Ausschnitt wird die vertikale Höhe des aktiven Stegs verringert und an dieser Stelle der Kontakt zur Wortleitung hergestellt.
  • Das Problem dabei ist, dass die Wortleitungskontakte und die Wortleitungen elektrisch von dem aktiven Steg und von anderen Bereichen oder Elementen des Transistorarrays bzw. den Halbleiterspeicherzellen isoliert sein müssen, damit z.B. auch negative Spannungen an die Wortleitung angelegt werden können. Es ist dabei nicht möglich, die Wortleitung von den aktiven Stegen räumlich zu separieren, um etwa einen Kontakt herzustellen. Der Grund liegt darin, dass die Wortleitungen ohne eigene Maskenebene hergestellt werden und an die aktiven Stege gekoppelt sind.
    •
  • Die vorliegende Erfindung zielt auf die Lösung des obigen Problems und schlägt eine Struktur zur Isolation der Wortleitungskontakte bzw. CS-Kontakte sowie der Wortleitungen von den übrigen Bereichen des Transistorarrays bzw. des zugeordneten Halbleiterspeicherzellenarrays vor.
  • Gemäß einem ersten Aspekt dieser Erfindung sind die Wortleitungskontakte jeweils durch eine in einem in die Tiefe des aktiven Stegs gehenden tiefen Graben vorgesehene Isolation gegenüber den anderen Elementen isoliert, wobei die tiefen Gräben mit derselben Struktur gebildet sind, wie die tiefen Gräben, die sonst Speicherkondensatoren im Array der Halbleiterspeicherzellen bilden mit Ausnahme eines vergrabenen Anschlusses, der den aktiven Steg im Speicherzellenarray mit in der Tiefe des Substrats liegendem Polysilizium verbindet und der in den tiefen Gräben der Wortleitungskontakte weggelassen ist. An diesem den Wortleitungskontakt aufweisenden tiefen Graben wird demnach der im Speicherzellenfeld als Drainkontakt fungierende vergrabene Anschluss ("burried strap") zwischen dem tief liegenden Polysilizium und dem aktiven Steg weggelassen, so dass der tiefere Bereich des tiefen Grabens am Wortleitungskontakt nicht, wie sonst im Speicherzellenfeld, als Kondensator fungiert. Auf diese Weise werden im Prozess zur Herstellung der Wortleitungskontakte keine neuen Masken oder Strukturen benötigt.
  • Bevorzugt ist der tiefe Graben unterhalb des Wortleitungskontaktes mit Isoliermaterial gefüllt.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung, bei dem das Transistorarray mit dem Array der Halbleiterspeicherzellen in einer gemeinsamen ersten Halbleiterwanne in dem Substrat angeordnet ist, werden alle Wortleitungen mit den Wortleitungs- bzw. CS-Kontakten zur Metallebene in eine von der ersten Halbleiterwanne isolierte separate zweite Halbleiterwanne desselben Leitungstyps geführt und stehen dort durch die Wortleitungskontakte mit den Metallbahnen der Metallebene in Kontakt.
  • Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel dieses Transistorarrays sind die die Wortleitungen zu beiden Seiten tragenden aktiven Stege innerhalb der zweiten Halbleiterwanne von den entsprechenden Stegabschnitten außerhalb der zweiten Halbleiterwanne durch oxidumhüllte Säulen innerhalb von durch die Stege gehenden tiefen Gräben isoliert, die an der Schnittstelle der zweiten Halbleiterwanne zu einem sie umgebenden Halbleiterbereich entgegengesetzten Leitungstyps ausgebildet sind, wobei die tiefen Gräben mit derselben Struktur gebildet sind, wie die tiefen Gräben, die sonst Speicherkondensatoren im Array der Halbleiterspeicherzellen bilden, mit Ausnahme eines vergrabenen Anschlusses, der den aktiven Steg im Speicherzellenarray mit in der Tiefe des Substrats liegendem Polysilizium verbindet und der in den tiefen Gräben an der Schnittstelle der zweiten Halbleiterwanne zu dem sie umgebenden Halbleiterbereich entgegengesetzten Leitungstyps weggelassen ist.
  • Bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel können die FET-Transistoren n-Kanal-Transistoren sein, wobei die erste und die zweite Halbleiterwanne vom p-Typ sind. Die vorgeschlagene Struktur des Transistorarrays kann so ausgeführt sein, dass die Dicke der die Halbleiterbereiche bildenden aktiven Stege 0,5 – 1 F, die Länge jedes einen n-Kanal-Transistor bildenden Abschnitts der aktiven Stege 2–3 F, die Dicke der Wortleitungen zu beiden Seiten der Stege annähernd 0,2 F und ihre vertikale Tiefe annähernd 5 F betragen, wobei hier z.B. F = 70 nm ist.
  • Eine bevorzugte Anwendung des erfindungsgemäßen Transistorarrays ist eine Halbleiterspeicheranordnung, bei der jeder Speicherzelle des Speicherarrays ein derartiger vertikaler FET-Transistor zugeordnet ist. Eine derartige Halbleiterspeicheranordnung ist insbesondere ein DRAM-Speiche.
    •
  • Die obigen Merkmale und weitere Vorteile werden aus den beiliegenden Patentansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung deutlich, die sich auf die beiliegende Zeichnung bezieht. Die Zeichnungsfiguren zeigen im einzelnen:
  • 1 schematisch und perspektivisch eine bekannte vertikale Transistorstruktur mit einer einen Kanalbereich in Form von Gatestreifen umgebenden Gateelektrode;
  • 2 einen Querschnitt durch einen Abschnitt der in 1 gezeigten Struktur in die Tiefe des Substrats hinein, um die Anordnung der jedem Transistor zugeordneten, in vertikal ausgebildeten tiefen Gräben, gebildeten Speicherkondensatoren zu veranschaulichen;
  • 3 eine schematische Layoutansicht der in 2 gezeigten Struktur;
  • 4A eine Layoutansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäß gestalteten Kontaktierung eines Wortleitungs- oder CS-Kontakts mit der Wortleitung und der darüber liegenden Metallebene, die die Isolation des Wortleitungskontakts durch einen tiefen Graben veranschaulicht;
  • 4B eine Querschnittansicht, die die vertikale Struktur des in 4A gezeigten ersten Ausführungsbeispiels des Wortleitungs- bzw. CS-Kontakts veranschaulicht und
  • 5 eine Layoutansicht eines Transistor- und Speicherzellenarrays mit Wortleitungskontakten gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • Vor der nachstehenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen Transistorarrays bzw. einer dieses verwendenden Halbleiterspeicheranordnung werden nun anhand der 1 bis 3 ein bekanntes Konzept eines Transistorarrays mit vertikalen FET-Transistoren mit umlaufendem Gatestreifen und die dabei auftretenden Probleme beschrieben (vgl. US 5 519 236 ).
  • Die perspektivische Darstellung der 1 zeigt einen Abschnitt eines einen einzelnen Transistor T bildenden aktiven Stegs, der in vertikaler Richtung, d.h. in die Tiefe eines Halbleitersubstrats 10 (2) hinein ausgebildet ist. Von oben nach unten weist der Steg einen n+-Sourcebereich 1, einen einen n-Kanal bildenden p-Bereich 2, einen unverarmten p-Bereich oder Bulkbereich 4 und einen n+-Drainelektrodenbereich 3 auf. Gateelektrodenstreifen 5 umgeben rings den den n-Kanal bildenden p-Bereich 2 unter Zwischenlage einer in 1 nicht gezeigten dünnen Isolierschicht, so dass die Gateelektrodenstreifen 5 den n+-Sourcebereich 1 und den n+-Drainbereich 3 isoliert etwas überlappen.
  • Der diesen vertikalen FET-Transistor bildende Abschnitt des Stegs hat eine Länge L = 2–3 F und eine Dicke d zwischen 0,5 und etwa 1 F, wobei z.B. F 70 nm oder kleiner sein kann.
  • Isolierende Abschnitte 8 und 9 sind in 1 punktiert dargestellt. 1 zeigt auch einen Abschnitt eines tiefen Grabens (deep trench), in dem ein Speicherkondensator ausgebildet ist, der durch eine Kondensatorelektrode 6 und ein isolierendes Dielektrikum 9 veranschaulicht ist. Die Kondensatorelektrode 6 des Speicherkondensators, die zum Beispiel aus Polysilizium oder einem geeigneten Metall besteht, steht über einen leitenden Abschnitt 7 mit der n+-Drainelektrode 3 in Kontakt.
  • 2 zeigt einen Querschnitt der in 1 perspektivisch gezeigten FET-Transistorstruktur durch den die aktiven Halbleiterbereiche bildenden aktiven Steg, wobei zwei benachbarte vertikale FET-Transistoren ersichtlich sind. In 2 ist deutlich zu erkennen, dass die durch die tiefen Gräben gebildeten Speicherkondensatoren bis tief in das Substrat 10 hineinreichen, um eine ausreichende Kapazität zu erzeugen. 2 zeigt ferner isolierende Oxidschichten 8, 8a, 8b jeweils zwischen stirnseitigen Abschnitten 5a der umlaufenden Gateelektrodenstreifen 5 und dem den n-Kanal bildenden p-Bereich 2 und der Drainelektrode 3 einerseits und zu dem leitenden Kondensatorelektrodenabschnitt 6 andererseits.
  • 3 schließlich zeigt schematisch eine Layoutansicht der in 2 gezeigten Struktur, die die parallele Anordnung der aktiven Stege (von oben durch die n+-Sourceelektrodenbereiche 1 veranschaulicht) sowie die versetzte Anordnung der vertikalen FET-Transistoren in den aktiven Stegen einerseits und der zwischen jedem Transistor ausgebildeten Speicherkondensatoren andererseits, veranschaulicht durch die tiefen Gräben 9 andeutende Ovale, zeigt.
  • Prinzipiell kann der die Wortleitung bildende Gateelektrodenstreifen 5 durch so genannte CS-Kontakte bzw. Wortleitungskontakte an jeder Stelle des Stegs kontaktiert werden. Aus den 2 und 3 ersieht man jedoch deutlich, dass die Herstellung einer zufrieden stellenden und dauerhaften Isolation zwischen derartig platzierten Wortleitungs- bzw. CS-Kontakten und aktivem Steg nicht gelingt. Die Wortleitungen und die Wortleitungskontakte müssen außer von dem aktiven Steg auch von eventuell ausgedehnten Bereichen der Speicherzellenanordnung isoliert sein. Weiterhin soll die Kapazität von der Wortleitung bzw. dem Wortleitungskontakt zum aktiven Steg und zu allem, was mit dem Steg verbunden ist, möglichst klein gehalten werden. Es ist zu bemerken, dass prinzipiell Drainelektrode 3 und Sourceelektrode 1 elektrisch austauschbar sind.
  • Ferner sollen an die Wortleitung Spannungen (z.B. negative Spannungen) angelegt werden können, die sich von den sonstigen Spannungen an der Speicherzelle unterscheiden.
  • Nachstehend werden erfindungsgemäße Strukturen beschrieben, die die obigen Probleme lösen und die kapazitätsarme und gegenüber den anderen Bereichen der Anordnung sicher elektrisch isolierte Wortleitungskontakte so schaffen, dass diese problemlos mit einer darüber liegenden Metallisierungsebene verbunden werden können. Erst mit dieser Isolierung können an die Wortleitungen negative Spannungen angelegt werden.
  • In den 4A und 4B ist jeweils in Form einer schematischen Layoutansicht und im Querschnitt ein Wortleitungskontakt 15 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Transistorarrays dargestellt. Die Layoutansicht in 4A zeigt eine Metallebene 12 (MO), die gemäß 4B oberhalb der Ebene der Layoutansicht von 4A geschlossen und mit einem Wortleitungskontakt 15 verbunden ist und die oberste dargestellte Lage bildet, drei parallele aktive Stege (AT) 13, zu beiden Seiten der aktiven Stege 13 verlaufende, die Wortleitungen bildende Gatestreifen 5 sowie als abwechselnd stark und schwach schräg schraffierte Flächen dargestellte tiefe Gräben 11, die so unter den Wortleitungskontakten 15 sitzen, dass sie einerseits die Kontaktierung der Wortleitungskontakte bzw. CS-Kontakte 15 mit den Wortleitungen 5 ermöglichen und andererseits die Wortleitungskontakte 15 von den übrigen Elementen isolieren.
  • Die Querschnittsdarstellung der 4B, die den Prozess wiedergibt und der Schnittlinie B-B in 4A entspricht, zeigt, dass der Wortleitungskontakt 15 seitlich und unten durch Oxid am oberen Ende des tiefen Grabens 11 vom Steg 13 isoliert ist. Statt Oxid kann alternativ auch komplett Polysilizium verwendet werden, wobei dann die Isolation durch Deckoxid hergestellt ist, das den tiefen Graben 6, 9 bedeckt.
  • Es muss hier in Bezug auf die obige Beschreibung der 4A und 4B bemerkt werden, dass in dem Abschnitt des aktiven Stegs 13, der durch den erfindungsgemäß gestalteten Wortleitungskontakt 15 mit der Metallebene 12 verbunden ist, der in den 1 und 2 gezeigte und in der oben erläuterten Weise in dem tiefen Graben gebildete Speicherkondensator 6, 9 nicht als solcher fungiert, da hier der nur im Speicherzellenfeld vorhandene vergrabene Anschluss (3 in 2) des aktiven Stegs mit dem tief liegenden Polysilizium weggelassen ist. 4B deutet lediglich schematisch einen Abschnitt des hier funktionslosen Speicherkondensators an, der durch die Polysiliziumsäule 6 und deren Isolation 9 angedeutet ist. D.h., dass die Prozessschritte zur Bildung des Drainkontaktes mittels des vergrabenen Anschlusses bei diesem beim Wortleitungskontakt nur für Isolationszwecke gebrauchten tiefen Graben weggelassen werden, dass aber die sonstigen Prozessschritte dieselben sind, wie beim Aufbau des tiefen Grabens im Speicherzellenfeld.
  • 5 zeigt in Form einer Layoutansicht ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Transistorarrays in Verbindung mit einem Speicherzellenarray 30. Alle Wortleitungs- bzw. CS-Kontakte 15 liegen in einer separaten p-Wanne 22, die von der p-Wanne 20, in der das Speicherzellenarray 30 liegt, räumlich und elektrisch getrennt ist. Die beiden p-Wannen 20 und 22 sind in einer vergrabenen n-Platte 21 eingebettet und untereinander durch einen n-leitenden Bereich getrennt. Oxidgekapselte oder alternativ oxidgefüllte Säulen in durch die Stege 13 gehenden tiefen Gräben 11 stellen an der Schnittstelle der n-Platte 21 zur p-Wanne 22 die Isolation zwischen den Stegen 13 innerhalb der Wanne 22 und außer halb her. Mit diesen tiefen Gräben 11 sind keine vergrabenen Anschlüsse verbunden.
  • Zusammengefasst lässt sich mit den in den 4A und 4B einerseits und in 5 andererseits dargestellten beiden Ausführungsbeispielen eines erfindungsgemäßen Transistorarrays eine gegenüber den anderen Elementen isolierte Kontaktierung der Wortleitungen mit einer darüber liegenden Metallebene MO vorteilhaft so herstellen, dass
    • 1) elektrischer Kontakt zwischen den Wortleitungen und den sie tragenden Stegen und allem, was mit den Stegen verbunden ist, vermieden wird;
    • 2) die Kapazität zwischen den Wortleitungen und den sie tragenden Stegen und allem, was mit den Stegen verbunden ist, klein gehalten werden kann, und
    • 3) an die Wortleitungen andere Spannungen (z.B. negative Spannungen) angelegt werden können, als an die sonstigen Elemente des Transistorarrays bzw. des diesem zugeordneten Speicherzellenarrays.
    • 1
    Sourceelektrodenbereich
    2
    Kanalzone
    3
    Drainelektrode
    4
    Bulk
    5, 5a
    Gateelektrodenstreifen
    6
    Polysiliziumsäule
    7
    Kontaktierung der Sourceelektrode 3 mit der
    Polysiliziumsäule 6
    8, 8a, 8b, 9
    Isolation/Dielektrikum
    10
    Substrat
    T
    vertikaler FET-Transistor
    11
    tiefer Graben
    13
    aktive Stege (AT)
    15
    Wortleitungs- bzw. CS-Kontakt
    17
    Isolation
    20, 22
    isolierte p-Wannen
    21
    vergrabene n-Platte
    30
    Speicherzellenarray
    AT
    aktiver Steg
    MO
    Metallebene
    WL
    Wortleitung

Claims (8)

  1. Transistorarray aus vertikalen FET-Transistoren (T), die jeweils in Form vertikaler und in Lateralrichtung parallel laufender Abschnitte von aktiven Stegen (13) aus Halbleiterbereichen in die Tiefe eines Substrats ausgebildet sind und bei denen ein Kanalbereich (2) von eine Gateelektrode bildenden Gatestreifen (5) umgeben ist, die entlang den aktiven Stegabschnitten (13) laufen und gleichzeitig Wortleitungen für ein dem Transistorarray zugeordnetes Array (30) aus Halbleiterspeicherzellen bilden, wobei Wortleitungskontakte (15), wenigstens einen Teil der Wortleitungen (5) elektrisch mit Metallbahnen einer das Transistorarray überlagernden Metallebene (MO) verbinden, dadurch gekennzeichnet , dass die Wortleitungskontakte (15) jeweils durch eine in einem in die Tiefe des aktiven Stegs (13) gehenden tiefen Graben (11) vorgesehene Isolation gegenüber den anderen Elementen isoliert sind, wobei die tiefen Gräben (11) mit derselben Struktur gebildet sind, wie die tiefen Gräben, die sonst Speicherkondensatoren im Array (30) der Halbleiterspeicherzellen bilden mit Ausnahme eines vergrabenen Anschlusses, der den aktiven Steg im Speicherzellenarray (30) mit in der Tiefe des Substrats liegendem Polysilizium verbindet und der in den tiefen Gräben (11) der Wortleitungskontakte (15) weggelassen ist.
  2. Transistorarray nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der tiefe Graben (11) unter dem Wortleitungskontakt (15) mit Isoliermaterial gefüllt ist.
  3. Transistorarray aus vertikalen FET-Transistoren (T), die jeweils in Form vertikaler und in Lateralrichtung parallel laufender Abschnitte von aktiven Stegen (13) aus Halbleiterbereichen in die Tiefe eines Substrats ausgebildet sind und bei denen ein Kanalbereich (2) von eine Gateelektrode bildenden Gatestreifen (5) umgeben ist, die entlang den aktiven Stegabschnitten (13) laufen und gleichzeitig Wortleitungen für ein dem Transistorarray zugeordnetes Array (30) aus Halbleiterspeicherzellen bilden, wobei Wortleitungskontakte (15), wenigstens einen Teil der Wortleitungen (5) elektrisch mit Metallbahnen einer das Transistorarray überlagernden Metallebene (MO) verbinden, und wobei das Transistorarray mit dem Array (30) der Halbleiterspeicherzellen in einer gemeinsamen ersten Halbleiterwanne (20) eines ersten Leitungstyps (P) in dem Substrat angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass alle Wortleitungen (5) mit den Wortleitungskontakten (15) zur Metallebene (MO) in eine von der ersten Halbleiterwanne (20) isolierte separate zweite Halbleiterwanne (22) desselben Leitungstyps (P) führen, und dort durch die Wortleitungskontakte (5) mit den Metallbahnen der Metallebene (MO) in Kontakt stehen.
  4. Transistorarray nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die die Wortleitungen (5) zu beiden Seiten tragenden aktiven Stege (13) innerhalb der zweiten Halbleiterwanne (22) von den entsprechenden Stegabschnitten außerhalb dieser zweiten Halbleiterwanne (22) durch isolierende Säulen (23) innerhalb von durch die Stege (13) gehenden tiefen Gräben (11) an der Schnittstelle der zweiten Halbleiterwanne (22) zu einem sie umgebenden Halbleiterbereich (21) des zweiten Leitungstyps (N) isoliert sind, wobei die tiefen Gräben (11) mit derselben Struktur gebildet sind, wie die tiefen Gräben, die sonst Speicherkondensatoren im Array (30) der Halbleiterspeicherzellen bilden mit Ausnahme eines vergrabenen Anschlusses, der den aktiven Steg im Speicherzellenarray mit in der Tiefe des Substrats liegendem Polysilizium verbindet und der in den tiefen Gräben (11) an der Schnittstelle der zweiten Halblei terwanne (22) zu dem sie umgebenden Halbleiterbereich (21) weggelassen ist.
  5. Transistorarray nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die FET-Transistoren (T) n-Kanal-Transistoren (1, 2, 3) sind, die Dicke (d) der die Halbleiterbereiche (1, 2, 3) bildenden Stege 0,5–1F, die Länge (1) jedes einen FET-Transistor (T) bildenden Abschnitts der Stege 2–3F, die Dicke der Wortleitungen (5) annähernd 0,2 F und ihre vertikale Tiefe annähernd 5 F betragen, wobei F annähernd gleich 70 nm ist.
  6. Transistorarray nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und zweite Halbleiterwanne (20, 22) vom P-Typ sind.
  7. Halbleiterspeicheranordnung, gekennzeichnet durch ein FET-Transistorarray nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei jeder Speicherzelle des Speicherarrays je ein vertikaler FET-Transistor zugeordnet ist.
  8. Halbleiterspeicheranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen DRRM-Speicher bildet.
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