DE10222851B4

DE10222851B4 - Schneidmaschine

Info

Publication number: DE10222851B4
Application number: DE10222851A
Authority: DE
Inventors: Kazuma Sekiya; Naoki Ohmiya
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2001-05-30
Filing date: 2002-05-23
Publication date: 2013-03-14
Anticipated expiration: 2022-05-24
Also published as: US6726526B2; CN1243630C; TW543151B; CN1387978A; SG107101A1; US20020179079A1; DE10222851A1; JP2002359211A; KR100714576B1; KR20020091798A

Abstract

Schneidmaschine, aufweisend: Ein Gehäuse (2) mit einer Bedienungsplatte (28), die an einer Vorderseite von diesem angeordnet ist; und worin eine Einspannzone (B), die in einer der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, eine Kassettenplatzierungszone (A), die an einer Seite der Einspannzone (B) angeordnet ist, und eine Reinigungszone (C), die an einer gegenüberliegenden bzw. entgegengesetzten Seite bezüglich der Einspannzone (B) angeordnet ist, in einer vorderen Hälfte des Gehäuses (2) angeordnet sind, wohingegen eine Schneidzone (D), die in der der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, in einer hinteren Hälfte des Gehäuses (2) angeordnet ist; ein Kassettentrag- bzw. -abstützmittel (34) in der Kassettenplatzierungszone (A) angeordnet ist und ein Reinigungsmittel (90) in der Reinigungszone (C) angeordnet ist; ein Einspannmittel (68) so angeordnet ist, um in einer Vor- bzw. Rückwärtsrichtung zwischen der Einspannzone (B) und der Schneidzone (D) bewegbar zu sein; ein erstes Schneidmittel (112a) und ein zweites Schneidmittel...

Description

Gebiet der Erfindung:
Diese Erfindung bezieht sich auf eine Schneidmaschine, die insbesondere zum Zerteilen bzw. Zerschneiden eines Halbleiterwafers geeignet ist. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Schneidmaschine von der Art, die zwei Schneidmittel aufweist, deren drehbaren Wellen auf einer geraden Linie angeordnet sind und deren drehbaren Messer bzw. Klingen an den inneren Enden der drehbaren Wellen angeordnet sind und einander gegenüberliegend bzw. zueinander entgegengesetzt sind.
Beschreibung des Standes der Technik:
Die US 4,407,262 offenbart eine Sägevorrichtung für ein plattenähnliches Material, bei der eine Bedienungsplatte an der Vorderseite eines Gehäuses angeordnet ist.
Die ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung Nr. 2001-7058 und deren Familienmitglied DE 100 30 183 A1 offenbaren eine Schneidmaschine, die zwei Schneidmittel aufweist und die insbesondere dazu geeignet ist, um einen Halbleiterwafer mit einer hohen Effizienz bzw. Nutzeffekt zu zerteilen bzw. zu zerschneiden. Eine derartige Schneidmaschine weist ein Gehäuse auf, das sich leicht in einer Längsrichtung erstreckt, und eine Bedienungsplatte ist an einer vorderen Seite des Gehäuses angeordnet. An einer Seite des Gehäuses sind eine Kassettenplatzierungszone, eine Einspannzone und eine Reinigungszone sequenziell bzw. aufeinanderfolgend in einer Rückwärtsrichtung angeordnet. Eine Schneidzone ist an der Mitte in der Längsrichtung an der anderen Seite des Gehäuses angeordnet. Ein Kassettenabstütz bzw. -tragmittel bzw. -einrichtung ist in der Kassettenplatzierungszone angeordnet und ein Reinigungsmittel bzw. -einrichtung ist in der Reinigungszone angeordnet. Zwei Schneidmittel bzw. -einrichtungen, d. h. ein erstes Schneidmittel und ein zweites Schneidmittel, sind an der anderen Seite des Gehäuses angeordnet. Das erste Schneidmittel weist eine erste drehbare Welle und ein erstes Schneidmesser bzw. -klinge auf, die an der ersten drehbaren Welle angebracht ist. Das zweite Schneidmittel weist eine zweite drehbare Welle und ein zweites Schneidmesser bzw. -klinge auf, die an der zweiten drehbaren Welle angebracht ist. Die erste drehbare Welle und die zweite drehbare Welle erstrecken sich auf bzw. an einer geraden Linie in der Längsrichtung an der anderen Seite des Gehäuses. Die erste Schneidklinge bzw. die zweite Schneidklinge ist an dem inneren Ende, d. h. dem hinteren Ende, der ersten drehbaren Welle bzw. an dem inneren Ende, d. h. dem vorderen Ende der zweiten drehbaren Welle angeordnet, wobei die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge einander gegenüberliegend bzw. entgegengesetzt zueinander sind.
Eine Kassette, die eine Mehrzahl von Werkstücken aufnimmt, fakultativ bzw. wahlweise eine Mehrzahl von Halbleiterwafern, ist an dem Kassettenabstützmittel angeordnet und die in der Kassette aufgenommenen Werkstücke werden sequenziell bzw. aufeinanderfolgend zu der Einspannzone zugeführt. Das zugeführte Werkstück wird an dem Einspannmittel eingespannt und zu der Schneidzone zusammen mit dem Einspannmittel befördert. In der Schneidzone wird das Werkstück durch die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge geschnitten. Sodann wird das Werkstück zu der Einspannzone zusammen mit dem Einspannmittel zurückgebracht und von der Einspannzone zu der Reinigungszone transportiert. In der Reinigungszone wird das Werkstück gereinigt, sodann zu der Einspannzone transportiert und sodann in die Kassette gebracht.
Die oben beschriebene Schneidmaschine, die in der ungeprüften japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2001-7058 offenbart ist, ist durch geschickte Anordnung der verschiedenen Zonen im Vergleich mit anderen Arten von zwei Schneidmittel enthaltenden Schneidmaschinen, z. B. den in den ungeprüften japanischen Patentveröffentlichungen Nr. 1999-26402 und 1999-74228 offenbarten Schneidmaschinen, kompakt ausgebildet. Jedoch ist diese Schneidmaschine noch unbefriedigend und ergibt die folgenden Schwierigkeiten: Die Schneidklingen in den zwei Schneidmitteln verschleißen bei Ausführung des Schneidens und erfordern Austausch. Jedoch ist ein beträchtlicher Abstand von der Vorderseite des Gehäuses zu der Position des Anbringens der Schneidklinge vorhanden. Somit ist es sehr schwierig, wenn nicht unmöglich, einen Vorgang zum Austauschen der Schneidklinge von der vorderen Seite des Gehäuses auszuführen. In üblicher Weise muss sich eine Bedienungsperson an der Seite des Gehäuses platzieren, um die Operation bzw. den Vorgang zum Austauschen der Schneidklinge auszuführen. Dies macht den Austauschvorgang verhältnismäßig kompliziert. Um es der Bedienungsperson zu ermöglichen, sich an der Seite des Gehäuses während des Austauschens der Schneidklinge zu platzieren, ist es notwendig, einen erforderlichen Raum nahe an der Seite des Gehäuses zu gewährleisten. Somit ist ein verhältnismäßig großer Raum zum Installieren bzw. Anordnen der Schneidmaschine erforderlich. Bei Verwendung der Schneidmaschine zum Schneiden eines Halbleiterwafers ist es erforderlich, die Schneidmaschine in einem sogenannten Reinraum zu installieren bzw. anzuordnen. In diesem Sinne ist die Notwendigkeit für einen verhältnismäßig großen Raum zum Installieren der Schneidmaschine nicht eine vernachlässigbare Schwierigkeit.
Zusammenfassung der Erfindung
Eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, das Layout bzw. die Ausbildung verschiedener Zonen in einer Schneidmaschine von der Art, die zwei Schneidmittel aufweist, zu verbessern, einen Vorgang zum Austauschen eines Schneidmessers bzw. einer Schneidklinge zu erleichtern und einen für die Installation der Schneidmaschine erforderlichen Raum zu verringern.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung führten tiefgreifende Untersuchungen durch und haben herausgefunden, dass die obige Aufgabe dadurch gelöst werden kann, dass eine Einspannzone in einer der Breite nach genommenen Mitte, eine Kassettenplatzierungszone an einer Seite der Einspannzone und eine Reinigungszone an der anderen Seite der Einspannzone in einer vorderen Hälfte eines Gehäuses angeordnet werden, dass eine Schneidzone in einer der Breite nach genommenen Mitte in einer hinteren Hälfte des Gehäuses angeordnet wird und dass rotierbare Wellen der zwei Schneidmittel so ausgebildet werden, dass sie sich gerade in der Breitenrichtung in der hinteren Hälfte des Gehäuses erstrecken.
Entsprechend der vorliegenden Erfindung ist eine Schneidmaschine vorgesehen, aufweisend:
Ein Gehäuse mit einer Bedienungsplatte, die an einer Vorderseite von diesem angeordnet ist; und worin
eine Halte- bzw. Einspannzone, die in einer der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, eine Kassettenplatzierungszone, die an einer Seite der Einspannzone angeordnet ist, und eine Reinigungszone, die an einer gegenüberliegenden bzw. entgegengesetzten Seite bezüglich der Einspannzone angeordnet ist, in einer vorderen Hälfte des Gehäuses angeordnet sind, wohingegen eine Schneidzone, die in der der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, in einer hinteren Hälfte des Gehäuses angeordnet ist;
ein Kassettentrag- bzw. -abstützmittel in der Kassettenplatzierungszone angeordnet ist und ein Reinigungsmittel in der Reinigungszone angeordnet ist;
ein Einspannmittel so angeordnet ist, um in einer Längsrichtung bzw. Vor- bzw. Rückwärtsrichtung zwischen der Einspannzone und der Schneidzone bewegbar zu sein;
ein erstes Schneidmittel und ein zweites Schneidmittel in der hinteren Hälfte des Gehäuses angeordnet sind, das erste Schneidmittel eine erste drehbare Welle und eine erste Schneidklinge bzw. -messer aufweist, das an der ersten drehbaren Welle angeordnet ist, das zweite Schneidmittel eine zweite drehbare Welle und eine zweite Schneidklinge bzw. -messer aufweist, das an der zweiten drehbaren Welle angeordnet ist, die erste drehbare Welle und die zweite drehbare Weile sich gerade in einer Breitenrichtung in der hinteren Hälfte des Gehäuses erstrecken, und die erste Schneidklinge bzw. die zweite Schneidklinge an einem der Breite nach genommen inneren Ende der ersten drehbaren Welle bzw. an einem der Breite nach genommen inneren Ende der zweiten drehbaren Welle angeordnet ist, wobei die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge einander gegenüberliegend bzw. entgegengesetzt zueinander angeordnet sind; und
eine Kassette, die eine Mehrzahl von Werkstücken aufnimmt, an dem Kassettenabstützmittel angeordnet ist, die in der Kassette aufgenommenen Werkstücke sequenziell bzw. aufeinander folgend zu der Einspannzone befördert bzw. zugeführt werden, das zugeführte Werkstück an dem Einspannmittel in der Einspannzone eingespannt und zu der Schneidzone zusammen mit dem Einspannmittel befördert wird, und das Werkstück an dem Einspannmittel durch die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge in der Schneidzone geschnitten wird, sodann zu der Einspannzone zusammen mit dem Einspannmittel zurückgeführt wird, von der Einspannzone zu der Reinigungszone transportiert wird, in der Reinigungszone gereinigt wird, sodann zu der Einspannzone transportiert wird und in die Kassette gebracht wird; und eine Auf/Zu-Tür, die an der Vorderseite des Gehäuses angeordnet ist.
Vorzugsweise ist ein temporäres bzw. zeitweises Abstütz- bzw. Tragmittel in der Einspannzone angeordnet und das Werkstück, das von der Kassette zu der Einspannzone zugeführt wird, wird zuerst an dem temporären Abstützmittel platziert bzw. angeordnet, sodann von einer Stelle an dem temporären Abstützmittel zu einer Stelle an dem Einspannmittel transportiert, geschnitten, gereinigt und von der Reinigungszone zu der Einspannzone transportiert, woraufhin das Werkstück an dem temporären Abstützmittel platziert und in die Kassette gebracht wird. Vorzugsweise besteht das temporäre Abstütz- bzw. Tragmittel aus einem Paar von Abstütz- bzw. Traggliedern und das Paar der Abstützglieder ist frei, sich zwischen einer Arbeits- bzw. Betriebsposition, an der die Abstützglieder mit einer vorbestimmten Beabstandung relativ zueinander angeordnet sind und das Werkstück quer über den Abstützgliedern platziert ist, und einer Nicht-Arbeits- bzw. Nicht-Betriebsposition zu bewegen, an der die Abstützglieder aus der Betriebsposition voneinander weg bewegt werden, um es dem Werkstück zu erlauben, durch einen dazwischen befindlichen Spalt abzusteigen bzw. hinunterzugehen, und, wenn das Einspannmittel in der Einspannzone angeordnet ist, ist das Einspannmittel unterhalb des temporären Abstützmittels positioniert. Bei bevorzugten Ausführungsformen ist das Werkstück ein Halbleiterwafer und die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge sind als Scheiben ausgestaltet, die Diamantkörner enthalten, und zerteilen bzw. zerschneiden den Halbleiterwafer.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung einer bevorzugten Ausführungsform einer Schneidmaschine, die entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist;
2 ist eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung der Schneidmaschine nach 1, wobei eine Gehäusewand usw. weggelassen sind, um die innere Struktur der Schneidmaschine zu veranschaulichen;
3 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Werkstück zeigt (einen Halbleiterwafer, der an einem Rahmen mittels eines Befestigungsbandes angebracht ist), wobei dieses Werkstück mittels der Schneidmaschine nach 1 zu schneiden ist.
Detailierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Die vorliegende Erfindung wird in weiteren Einzelheiten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, die bevorzugte Ausführungsformen einer Schneidmaschine zeigen, die in Übereinstimmung mit der Erfindung ausgebildet ist.
Unter Bezugnahme auf 1 wird erläutert, dass die veranschaulichte Schneidmaschine ein Gehäuse aufweist, das insgesamt mit 2 bezeichnet ist. Das Gehäuse 2 ist in der Gestalt eines nahezu rechteckförmigen Parallelepipeds, dessen vorderer, oberer halber und rechtsseitiger Bereich, wenn von vorne gesehen, einen verhältnismäßig großen, vertieften Bereich 4 eines nahezu rechteckförmigen Parallelepipeds aufweist. Eine (nicht gezeigte) Öffnung ist in einer linken Fläche des vertieften Bereichs 4 gebildet und der vertiefte Bereich 4 steht mit dem Inneren des Gehäuses 2 durch die Öffnung in Verbindung. Zwei Auf/Zu-Türen 6 und 8 sind an der Vorderseite des Gehäuses 2 angeordnet. Die Auf/Zu-Tür 6 weist einen oberen Plattenbereich 10, der eine der Breite nach genommene Mitte der vorderen Hälfte einer oberen Fläche bzw. Seite des Gehäuses 2 definiert, und einen vorderen Plattenbereich 12 auf, der sich von dem vorderen Ende des oberen Plattenbereichs in einer etwas nach vorne geneigten Art und Weise abwärts erstreckt. Ein hinterer Rand des oberen Plattenbereichs 10 der Auf/Zu-Tür 6 ist an einer stationären oberen Platte 15 des Gehäuses 2 durch Scharniermittel 14 dreh- bzw. schwenkbar angebracht und ein Griff 16 ist an einem unteren Teil des vorderen Plattenbereichs 12 angeordnet. Wenn der Griff 16 ergriffen wird und die Auf/Zu-Tür 6 um die Scharniermittel 14 als ein Dreh- bzw. Schwenkzentrum nach oben gedreht bzw. geschwenkt wird, wird eine obere halbe, mittlere Region an der Vorderseite des Gehäuses 2 freigelegt bzw. freigegeben, um einen Zugang zu dem Inneren des Gehäuses 2 zu erlauben. Die Auf/Zu-Tür 8 ist in einem linksseitigen Teil an der Vorderseite des Gehäuses 2 angeordnet und weist einen geneigten oberen Bereich 18, der sich von der Oberseite des Gehäuses 2 in einer etwas nach vorne geneigten Art und Weise abwärts erstreckt, und einen unteren Bereich 20 auf, der sich von dem geneigten oberen Bereich 18 im wesentlichen vertikal abwärts erstreckt. Der linke Rand der Auf/Zu-Tür 8 ist an einer stationären linksseitigen Platte 24 des Gehäuses 2 durch Scharniermittel 22 dreh- bzw. schwenkbar angebracht und ein Griff bzw. Handgriff 26 ist in einem rechten Randbereich der Auf/Zu-Tür 8 angeordnet. Wenn eine Hand an dem Handgriff 26 eingehakt und die Auf/Zu-Tür 8 nach links um die Scharniermittel 22 geschwenkt wird, wird eine linksseitige Region der Vorderseite des Gehäuses 2 freigelegt bzw. freigegeben, um einen Zugang zu dem Inneren des Gehäuses 2 zu erlauben. Eine Bedienungsplatte 28 ist an dem geneigten oberen Bereich 18 der Auf/Zu-Tür 8 angeordnet. Die Bedienungsplatte 28 weist verschiedene Bedienungstasten oder -knöpfe 30 und ein sogenanntes Berührungsfeld 32 auf.
Unter Bezugnahme auf 2 zusammen mit 1 wird erläutert, dass eine Kassettenplatzierungszone A in dem vertieften Bereich 4 des Gehäuses 2 angeordnet ist. Eine Einspannzone B, eine Reinigungszone C und eine Schneidzone D sind innerhalb des Gehäuses 2 angeordnet. Nicht nur die Kassettenplatzierungszone A, sondern ebenfalls die Einspannzone B und die Reinigungszone C sind in der vorderen Hälfte des Gehäuses 2 angeordnet. Die Einspannzone B ist in der der Breite nach genommenen Mitte angeordnet und die Kassettenplatzierungszone A ist an der rechten Seite der Einspannzone B angeordnet und die Reinigungszone C ist an der linken Seite der Einspannzone B angeordnet. Die Schneidzone D ist an der der Breite nach genommenen Mitte der hinteren Hälfte des Gehäuses 2 angeordnet. Hierin werden zur Bequemlichkeit der Erläuterung eine Längsrichtung als eine X-Achsenrichtung, eine Breitenrichtung als eine Y-Achsenrichtung und eine Auf- und Abwärts-Richtung als eine Z-Achsenrichtung bezeichnet. Vorzugsweise sind die Reinigungszone C, die Einspannzone B und die Kassettenplatzierungszone A im wesentlichen auf bzw. an einer geraden Linie in der Y-Achsenrichtung angeordnet. Vorzugsweise sind die Einspannzone B und die Schneidzone D im wesentlichen auf bzw. an einer geraden Linie in der X-Achsenrichtung angeordnet.
Ein Kassettenabstütz- bzw. -tragmittel bzw. -einrichtung 34 ist in der Kassettenplatzierungszone A angeordnet. Das Kassettenabstützmittel 34, das von einer an sich wohlbekannten Form sein kann, weist einen Hubtisch bzw. eine Hebeplattform 40 auf, die durch eine Öffnung 38 (1) auf- und abwärts zu bewegen ist, die in einer oberen Wand 36 des vertieften Bereichs 4 des Gehäuses 2 gebildet ist. Wie in 2 gezeigt, sind zwei sich im wesentlichen vertikal erstreckende Führungsschienen 42 innerhalb des Gehäuses 2 befestigt und es sind (nicht gezeigte) geführte Nuten in dem Hubtisch 40 gebildet. Durch gleitbares bzw. verschiebbares Ineingriffkommen bzw. -bringen der geführten Nuten des Hubtischs 40 mit den Führungsschienen 42 wird der Hubtisch 40 so angeordnet, um entlang der Führungsschienen 42 aufwärts und abwärts bewegt werden zu können. Eine mit Außengewinde versehene Welle 44, die sich im wesentlichen vertikal erstreckt, ist innerhalb des Gehäuses 2 drehbar angebracht und ein (nicht gezeigtes) mit Innengewinde versehenes Glied, das auf die mit Außengewinde versehene Welle 44 geschraubt ist, ist an dem Hubtisch 40 befestigt. Ein (nicht gezeigter) Elektromotor ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 44 verbunden und die mit Außengewinde versehene Welle 44 wird durch den Elektromotor normal und rückwärts bzw. umgekehrt gedreht, um den Hubtisch 40 anzuheben und abzusenken.
Eine Kassette 48, die eine Mehrzahl von Werkstücken 46 aufnimmt, ist an dem Hubtisch 40 des Kassettenabstützmittels 34 platziert. Das Werkstück 46 weist bei der veranschaulichten Ausführungsform, wie in 3 dargestellt, einen Halbleiterwafer 54 auf, der an einem Rahmen 50 mittels eines Befestigungsbandes 52 angebracht ist, wobei der Rahmen 50 eine in der Mitte gebildete Anbringungsöffnung 51 aufweist. Das Befestigungsband 52 erstreckt sich derart, um die Anbringungsöffnung 51 des Rahmens 50 zu überbrücken, und ist mit der Rückseite des Rahmens 50 verbunden. Der innerhalb der Anbringungsöffnung 51 des Rahmens 50 angeordnete Halbleiterwafer 54 weist eine mit dem Befestigungsband 52 verbundene Rückseite auf. Schneidlinien oder -straßen 56, die in einem Gittermuster angeordnet sind, sind an der Stirnfläche des Halbleiterwafers 54 gebildet und ein elektronischer Schaltkreis bzw. Schaltung ist in jeder der rechteckförmigen Flächen 58 gebildet, die durch die Straßen 56 abgegrenzt sind. Die Kassette 48 weist ein Paar von Seitenwänden 60 auf und es ist eine Mehrzahl von Aufnahmenuten, die sich mit vorbestimmter Beabstandung in der Aufwärts- und Abwärtsrichtung horizontal erstrecken, an den inneren Flächen der Seitenwände 60 gebildet. Die Werkstücke 46 weisen jeweils einander entgegengesetzte Seitenrandbereiche des Rahmens 50 auf, die in die Aufnahmenuten eingesetzt sind, die für das Paar der Seitenwände 60 gepaart sind, wodurch die Werkstücke 46 in einem im wesentlichen sich horizontal erstreckenden Zustand mit vorbestimmter Beabstandung in der Aufwärts- und Abwärtsrichtung aufgenommen werden. Eine Frontseite der Kassette 48, nämlich eine linke Seite der Kassette 48, wenn von der Vorderseite des Gehäuses 2 betrachtet, ist offen. Bei Aufsteigen oder Absteigen des Hubtisches 40 wird jedes Paar der Aufnahmenuten der Kassette 48 an einer vorbestimmten Höhe angeordnet. Wie weiter unten noch erläutert wird, wird das zu schneidende Werkstück 46 von jedem an der vorbestimmten Höhe angeordneten Paar der Aufnahmenuten zugeführt, sodann geschnitten und gereinigt. Das auf diese Weise bearbeitete bzw. behandelte Werkstück 46 wird in das an der vorbestimmten Höhe angeordnete Paar der Aufnahmenuten hineingelassen.
Wie in 2 klar zu erkennen ist, ist das temporäre Abstützmittel 64 in der Einspannzone B angeordnet. Das temporäre Abstützmittel 64 weist ein Paar von Abstützgliedern 66 auf, die in der X-Achsenrichtung mit Beabstandung angeordnet sind. Das Paar der Abstützglieder 66 ist in der X-Achsenrichtung bewegbar angebracht und wird selektiv in eine Nichtbetriebsposition, die in 2 durch fest ausgezogene Linien angegeben ist, und in eine Betriebsposition gebracht, die in 2 durch strich-doppeltpunktierte Linien angegeben ist. Wie weiter unten noch erläutert wird, wird, wenn das Paar der Abstützglieder 66 in der Betriebsposition angeordnet ist, das Werkstück 46, das von der Kassette 48 zugeführt wird, quer über das Paar der Abstützglieder 66 platziert (mit anderen Worten, gegenüberliegende bzw. entgegengesetzte Seitenrandbereiche des Rahmens 50 in dem Werkstück 46 werden durch das Paar der Abstützglieder 66 abgestützt). Wenn das Paar der Abstützglieder 66 in die Nichtbetriebsposition bewegt und voneinander getrennt ist, wird es möglich, das Werkstück 46 durch den Raum zwischen dem Paar der Abstützglieder 66 anzuheben oder abzusenken.
Unter Bezugnahme auf 2 wird erläutert, dass das Einspannmittel 68 innerhalb des Gehäuses 2 in der Weise angeordnet ist, dass das Einspannmittel 68 im wesentlichen in der X-Achsenrichtung zwischen der Einspannzone B und der Schneidezone D horizontal bewegbar ist. Im einzelnen ist ein stationäres, sich im wesentlichen horizontal erstreckendes Stützgestell 70 innerhalb des Gehäuses 2 angeordnet und es ist ein Paar von Stützblöcken 72 (lediglich einer von diesen ist in 2 zu sehen) an dem Stützgestell 70 mit Beabstandung in der X-Achsenrichtung befestigt. Ein Paar von Führungsschienen 74, die sich in der X-Achsenrichtung mit Beabstandung in der Y-Achsenrichtung erstrecken, ist zwischen dem Paar der Stützblöcke 72 befestigt. Ein Gleitblock bzw. -klotz bzw. Schlitten 76 ist an dem Paar der Führungsschienen 74 angebracht. Ein Paar von sich in der X-Achsenrichtung erstreckenden, geführten Nuten ist an einer unteren Fläche bzw. Seite des Gleitblocks 76 gebildet. Durch Ineingriffkommen bzw. -bringen des Paares der geführten Nuten mit dem Paar der Führungsschienen 74 wird der Gleitblock 76 in der Weise angebracht, dass er entlang der Führungsschienen 74 in der X-Achsenrichtung bewegbar ist. Eine mit Außengewinde versehene Welle 78, die sich in der X-Achsenrichtung erstreckt, ist zwischen dem Paar der Stützblöcke 72 drehbar angebracht. Ein (nicht gezeigtes) mit Innengewinde versehenes Glied ist an einer unteren Fläche bzw. Seite des Gleitblocks 76 befestigt und das mit Innengewinde versehene Glied ist auf die mit Außengewinde versehene Weile 78 geschraubt. Ein (nicht gezeigter) Elektromotor ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 78 verbunden und der Elektromotor wird normal und rückwärts bzw. umgekehrt gedreht, um den Gleitblock 76 entlang der Führungsschienen 74 in der X-Achsenrichtung zu bewegen. Ein zylindrisches Stütz- bzw. Tragglied 80 ist an dem Gleitblock 76 befestigt und ein Einspannglied 82 ist an dem Stützglied 80 in der Weise angebracht, dass das Einspannglied 82 um eine sich im wesentlichen vertikal erstreckende, mittlere Achse drehbar ist. Eine (nicht gezeigte) Drehantriebswelle, wahlweise bzw. fakultativ ein Elektromotor, zum Drehen des Einspannglieds 82 ist innerhalb des Stützglieds 80 angeordnet. Das Einspannglied 82 in der Gestalt einer Scheibe ist aus einem porösen Material, z. B. poröser Keramik, gebildet. Das Einspannglied 82 ist mit einem Paar von Greifmechanismen 84 ausgerüstet, die in der X-Achsenrichtung vorstehen. Jeder der Greifmechanismen 84 weist ein bewegbares Greifstück bzw. -element 86 auf und die bewegbaren Greifstücke 86 werden durch ein (nicht gezeigtes) Betätigungsmittel bzw. -einrichtung, z. B. einen pneumatischen Aktuator, selektiv in eine Nichtgreifposition, die in 2 gezeigt ist, und eine Greifposition gebracht, zu der die bewegbaren Greifstücke von der Nichtgreifposition einwärts gedreht bzw. geschwenkt werden. Wenn das Einspannmittel 68 in der Einspannzone B angeordnet ist, wie in 2 gezeigt, ist das Einspannglied 82 zwischen dem Paar der Abstützglieder 66 des temporären Abstützmittels 64 in der X-Achsenrichtung und unterhalb des Paares der Abstützglieder 66 des temporären Abstützmittels 64 in der Z-Achsenrichtung angeordnet. Der Gleitblock 76 ist mit einem hohlen Schutzkanal 88 ausgerüstet, der in geeigneter Weise von einem Zustand, der in 2 durch fest ausgezogene Linien angegeben ist, zu einem Zustand, der in 2 durch strich-doppeltpunktierte Linien angegeben ist, und umgekehrt verformt wird, wenn der Gleitblock 76 bewegt wird. Das aus einem porösen Material gebildete Einspannglied 82 wird selektiv in Verbindung mit einer (nicht gezeigten) geeigneten Saugquelle über eine (nicht gezeigte) Saugpassage bzw. -durchlass gebracht, der innerhalb des Stützglieds 80, des Gleitblocks 76 und des hohlen Schutzkanals 88 angeordnet ist. Eine elektrische Verdrahtung bzw. Verkabelung für das Betätigungsmittel, das die bewegbaren Greifstücke 86 der Greifmechanismen 84 bewegt, erstreckt sich ebenfalls innerhalb des Stützglieds 80, des Gleitblocks 76 und des hohlen Schutzkanals 88.
Ein Reinigungsmittel bzw. -einrichtung 90 ist in der Reinigungszone C angeordnet. Wie aus 2 eindeutig zu ersehen ist, weist das Reinigungsmittel 90, das eine an sich wohl bekannte Form aufweisen kann, eine zylindrische Trennwand 94, die an einer stationären Stütz- bzw. Tragplatte 92 befestigt ist, und einen Einspannmechanismus 96 auf, der innerhalb der Trennwand 94 drehbar angeordnet ist. Der Einspannmechanismus 96 weist eine Hebeplattform bzw. einen Hubtisch 98 auf, der zwischen einer in 2 angegebenen Aufstiegsposition und einer Abstiegsposition auf- und abwärts zu bewegen ist, die um einen vorbestimmten Betrag bzw. Ausmaß niedriger als die Aufstiegsposition gemacht ist. Der Hubtisch 98 ist mit einem Kolben eines Pneumatikzylindermechanismus 100 verbunden, der im wesentlichen vertikal angeordnet ist, und wird durch die Betätigung des Pneumatikzylindermechanismus 100 angehoben und abgesenkt. An einem oberen Ende des Hubtisches 98 ist ein Einspannglied 102 mit einer Scheibengestalt um eine sich im wesentlichen vertikal erstreckende Mittelachse drehbar angeordnet. Das Einspannglied 102 ist aus einem porösen Material, z. B. einer porösen Keramik, gebildet und wird selektiv in Verbindung mit einer (nicht gezeigten) geeigneten Saugquelle durch eine (nicht gezeigte) Saugpassage bzw. -durchlass gebracht, der innerhalb des Hubtisches 98 angeordnet ist. Es sind vier Greifmechanismen 104 um das Einspannglied 102 herum angeordnet. Jeder der Greifmechanismen 104 weist ein bewegbares Greifstück bzw. -element 106 auf und das bewegbare Greifstück 106 wird selektiv durch ein (nicht gezeigtes) Betätigungsmittel bzw. -einrichtung, z. B. ein elektromagnetisches Solenoid bzw. Magnetspule, in eine in 2 gezeigte Nichtgreifposition und in eine Greifposition gebracht, in die das bewegbare Greifstück 106 von der Nichtgreifposition einwärts geschwenkt bzw. gedreht wird. Ein (nicht gezeigter) Elektromotor zum Drehen des Einspannglieds 102 und der hieran vorgesehenen Greifmechanismen 104 ist innerhalb des Hubtisches 98 angeordnet. Das Reinigungsmittel 90 weist ferner eine (nicht gezeigte) Strahldüse zum Strahlen einer Reinigungsflüssigkeit auf, die reines Wasser sein kann. Wie weiter unten noch näher erläutert wird, werden das Einspannglied 102 und die Greifmechanismen 104, welche das Werkstück 46 halten, mit einer hohen Geschwindigkeit bzw. Drehzahl während des Reinigens gedreht und die Reinigungsflüssigkeit wird von der Strahldüse gegen das an dem Einspannglied 102 platzierte Werkstück 46 gestrahlt.
Unter Bezugnahme auf 2 wird erläutert, dass eine aufrechte Tragbasis- bzw. Tragsockelplatte 108, die sich in der Y-Achsenrichtung erstreckt, an dem Stütz- bzw. Traggestell 70 befestigt ist. Es ist eine verhältnismäßig breite bzw. große Kerbe bzw. Nut 110 zum Aufnehmen des Einspannglieds 82 in der Mitte der Tragsockelplatte 108 gebildet. Ein Paar von Schneidmitteln bzw. -einrichtungen, d. h. ein erstes Schneidmittel 112a und ein zweites Schneidmittel 112b, ist an der Tragsockelplatte 108 angebracht. In näheren Einzelheiten wird erläutert, dass ein Paar von Führungsschienen 114, die sich in der Y-Achsenrichtung mit Beabstandung in der Auf- und Abwärtsrichtung erstrecken, an der Vorderseite der Tragsockelplatte 108 angeordnet ist. Das erste Schneidmittel 112a weist einen Gleitblock bzw. -klotz bzw. Schlitten 116a und das zweite Schneidmittel 112b weist einen Gleitblock bzw. -klotz bzw. Schlitten 116b auf und es ist ein (nicht gezeigtes) Paar von geführten Nuten, die sich in der Y-Achsenrichtung erstrecken, in jeder der hinteren Flächen bzw. Seiten der Gleitblöcke 116a und 116b gebildet. Durch Ineingriffkommen bzw. -bringen des Paares der geführten Nuten mit dem Paar der Führungsschienen 114 werden der Gleitblock 116a und der Gleitblock 116b an dem Paar der Führungsschienen 114 jeweils so angebracht, dass diese Gleitblöcke in der Y-Achsenrichtung gleitbar bzw. verschiebbar sind. Eine mit Außengewinde versehene Welle 118a bzw. eine mit Außengewinde versehene Welle 118b, wobei sich diese Wellen in der Y-Achsenrichtung erstrecken, ist weiterhin an der Vorderseite der Tragsockelplatte 108 mittels eines Lagerglieds 120a bzw. eines Lagerglieds 120b drehbar angebracht. Die mit Außengewinde versehenen Wellen 118a und 118b sind an bzw. auf einer geraden Linie angeordnet. (Nicht gezeigte) mit Innengewinde versehene Glieder sind an der jeweiligen hinteren Seite der Gleitblöcke 116a und 116b befestigt und diese mit Innengewinde versehenen Glieder sind auf die entsprechende mit Außengewinde versehene Welle 118a bzw. 118b geschraubt. Ein Elektromotor 122a ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 118a und ein Elektromotor 122b ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 118b verbunden. Wenn die mit Außengewinde versehene Welle 118a durch den Elektromotor 122a und die mit Außengewinde versehene Welle 118b durch den Elektromotor 122b gedreht werden, werden die Gleitblöcke 116a und 116b in der Y-Achsenrichtung entlang des Paares der Führungsschienen 114 bewegt. Ein Hebe- bzw. Hubblock 126a ist an dem Gleitblock 116a und ein Hebe- bzw. Hubblock 126b ist an dem Gleitblock 116b angebracht. Es sind ein Paar von Führungsschienen 124a und ein Paar von Führungsschienen 124b, wobei sich diese Führungsschienen im wesentlichen vertikal, d. h., in der Z-Achsenrichtung mit Beabstandung in der Y-Achsenrichtung erstrecken, an der jeweiligen Vorderseite des Gleitblocks 116a bzw. des Gleitblocks 116b angeordnet. Ein Paar von geführten Nuten, die sich in der Z-Achsenrichtung erstrecken, ist an jeder der hinteren Seiten der Hubblöcke 126a und 126b gebildet. Durch Ineingriffkommen bzw. -bringen des Paares der geführten Nuten mit dem Paar der Führungsschienen 124a und dem Paar der Führungsschienen 124b werden der Hubblock 126a an dem Gleitblock 116a und der Hubblock 126b an dem Gleitblock 116b in der Weise angebracht, dass diese Hubblöcke 126a und 126b in der Z-Achsenrichtung auf- und abwärts bewegbar sind. Eine mit Außengewinde versehene, sich in der Z-Achsenrichtung erstreckende Weile 130a ist an dem Gleitblock 116a drehbar angebracht und eine mit Außengewinde versehene, sich in der Z-Achsenrichtung erstreckende Welle 130b ist an dem Gleitblock 116b drehbar angebracht. An der jeweiligen hinteren Seite bzw. Fläche der Hubblöcke 126a und 126b ist jeweils ein (nicht gezeigtes) mit Innengewinde versehenes Glied befestigt und diese mit Innengewinde versehenen Glieder werden auf die entsprechende, mit Außengewinde versehene Welle 130a bzw. 130b geschraubt. Ein Elektromotor 132a ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 130a verbunden und ein Elektromotor 132b ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 130b verbunden. Wenn die mit Außengewinde versehene Welle 130a durch den Elektromotor 132a gedreht wird und die mit Außengewinde versehene Welle 130b durch den Elektromotor 132b gedreht werden, werden der Hubblock 126a entlang des Paares der Führungsschienen 124a und der Hubblock 126b entlang des Paares der Führungsschienen 124b auf- und abwärts bewegt.
Eine Schneideinheit 136a ist mittels einer Verbindungshalterung 134a an dem Hubblock 126a angebracht und eine Schneideinheit 136b ist mittels einer Verbindungshalterung 134b an dem Hubblock 126b angebracht. Die Schneideinheit 136a weist ein nahezu rechteckförmiges parallelepipedisches Gehäuse 138a auf und die Schneideinheit 136b weist ein nahezu rechteckförmiges parallelepipedisches Gehäuse 138b auf. Innerhalb der Gehäuse 138a und 138b ist jeweils eine sich in der Y-Achsenrichtung erstreckende, drehbare Welle angebracht (in 2 ist lediglich eine in dem Gehäuse 138b angebrachte drehbare Welle 140b gezeigt). Diese drehbaren Wellen erstrecken sich an bzw. auf einer geraden Linie in der Breitenrichtung. Schneidmesser bzw. -klingen sind an dem jeweiligen in der Breitenrichtung genommenen inneren Ende der drehbaren Wellen befestigt, d. h., an den einander gegenüberliegenden Enden der drehbaren Wellen (in 2 ist lediglich eine an der drehbaren Welle 140b befestigte Schneidklinge 142b gezeigt). Die Schneidklinge kann aus einer dünnen Scheibe gebildet sein, die Diamantschleifkörner enthält. Ein Elektromotor 144a ist mit dem äußeren Ende der drehbaren Welle 140a verbunden und ein Elektromotor 144b ist mit dem äußeren Ende der drehbaren Welle 140b verbunden. Das Gehäuse 138a ist weiterhin mit einem Abbildungsmittel 146a, das ein Mikroskop enthält, ausgerüstet und das Gehäuse 138b ist weiterhin mit einem Abbildungsmittel 146b, das ein Mikroskop enthält, ausgerüstet.
Wenn weiterhin auf 2 Bezug genommen wird, so wird erläutert, dass ein erstes Transportmittel bzw. -einrichtung 148 und ein zweites Transportmittel bzw. -einrichtung 150 ebenfalls in der veranschaulichten Schneidmaschine angeordnet sind. Das erste Transportmittel 148 wird zuerst beschrieben. Das Stützgestell 70 ist mit vier sich abwärts erstreckenden Stützpfosten 152 versehen (in 2 sind zwei vorne angeordnete der vier Stützpfosten 152 gezeigt) und es sind zwei nach vorne vorstehende Stütz- bzw. Tragplatten 154 an den zwei vorne angeordneten Stützpfosten 152 befestigt. Eine sich im wesentlichen horizontal in der Breitenrichtung erstreckende Führungsstange 156 ist zwischen den in der Breitenrichtung beabstandet angeordneten Stützplatten 154 befestigt und es ist eine mit Außengewinde versehene Welle 158, die sich in ähnlicher Weise im wesentlichen horizontal in der Breitenrichtung erstreckt, zwischen diesen Stützplatten 154 drehbar angebracht. Ein Elektromotor 160 ist mit der mit Außengewinde versehenen Welle 158 verbunden. Das erste Transportmittel 148 weist einen Gleitblock 162 auf und es sind ein geführtes Loch bzw. Bohrung zum Einsetzen der Führungsstange 156 hierdurch und ein Innengewindeloch bzw. -bohrung, die auf die mit Außengewinde versehene Welle 158 geschraubt ist, in dem Gleitblock 162 gebildet. Der Gleitblock 162 weist einen aufrechten Armbereich 164, der sich im wesentlichen vertikal aufwärts erstreckt, und einen horizontalen Armbereich 166 auf, der sich im wesentlichen horizontal von dem oberen Ende des aufrechten Armbereichs 164 rückwärts erstreckt, und es ist ein Greifmittel bzw. -einrichtung 168 an dem vorderen Ende des horizontalen Armbereichs 166 angeordnet. Das Greifmittel 168 kann von einer wohlbekannten Form mit einem Paar von Greifstücken bzw. -elementen zum selektiven Greifen eines Randbereichs des Rahmens 50 in dem Werkstück 46 sein. Wenn der Elektromotor 160 erregt bzw. mit Energie versorgt wird, wird der Gleitblock 162 in der Breitenrichtung, nämlich der Y-Achsenrichtung bewegt, so dass das Greifmittel 168 in der Y-Achsenrichtung bewegt wird. Wie weiter unten noch näher erläutert wird, führt das erste Transportmittel 148 das Werkstück 46 von der Innenseite der Kassette 48, die an dem Kassettenabstützmittel 34 platziert ist, dem temporären Abstützmittel 64 zu und lässt das Werkstück 46 erneut von der Stelle an dem temporären Abstützmittel 64 in die Kassette 48 hinein.
Als nächstes wird das zweite Transportmittel 150 beschrieben. Eine sich im wesentlichen horizontal in der Breitenrichtung erstreckende Führungsstange 170 ist zwischen den Stützplatten 154 befestigt und zwischen diesen ist eine mit Außengewinde versehene Welle 172, die sich in ähnlicher Weise im wesentlichen horizontal in der Breitenrichtung erstreckt, drehbar angebracht. Es ist ein Elektromotor 174 mit der mit Außengewinde versehenen Welle 172 verbunden. Das zweite Transportmittel 150 weist einen Gleitblock 176 auf und ein geführtes Loch bzw. Bohrung zum Einsetzen der Führungsstange 170 durch diese und ein Innengewindeloch bzw. -bohrung, die auf die mit Außengewinde versehene Welle 172 geschraubt ist, sind in dem Gleitblock 176 gebildet. Ein Pneumatikzylindermechanismus mit einem Kolben 178, der sich im wesentlichen vertikal aufwärts erstreckt, ist in dem Gleitblock 176 angeordnet und ein nahezu L-förmiger Arm 180 ist an dem vorderen Ende des Kolbens 178 befestigt. Ein Paar von Tragteilen bzw. -elementen 182 ist an einer unteren Seite bzw. Fläche eines sich in der Längsrichtung erstreckenden Bereichs des Arms 180 befestigt und Anziehungsinstrumente bzw. -vorrichtungen 184 sind an den unteren Seiten bzw. Flächen der Tragteile 182 angebracht. Jede der Anziehungsvorrichtungen 184 wird selektiv in Verbindung mit einer (nicht gezeigten) Saugquelle durch eine (nicht gezeigte) geeignete Saugpassage bzw. -durchlass gebracht und kann somit den Rahmen 50 in dem Werkstück 46 anziehen. Wenn der Elektromotor 174 erregt bzw. mit Energie versorgt wird, wird der Gleitblock 176 in der Breitenrichtung, nämlich der Y-Achsenrichtung, bewegt, so dass die Anziehungsvorrichtungen 184 in der Y-Achsenrichtung bewegt werden. Wenn der Kolben 178 des Pneumatikzylindermechanismus ausgefahren oder eingezogen wird, werden die Anziehungsvorrichtungen 184 vertikal, nämlich in der Z-Achsenrichtung, angehoben oder abgesenkt. Wie weiter unten noch näher erläutert wird, transportiert das zweite Transportmittel 150 das Werkstück 46 an dem Einspannglied 82 des Einspannmittels 68 an bzw. auf das Einspannglied 102 des Reinigungsmittels 90 oder transportiert das Werkstück 46 an dem Einspannglied 102 des Reinigungsmittels 90 an bzw. auf das temporäre Abstützmittel 64.
Die Wirkungsweisen der vorangehenden Schneidmaschine werden kurz beschrieben. Der Hubtisch 40 des Kassettenstützmittels 34 wird zu einer erwünschten Höhe angehoben (oder abgesenkt), wodurch ein spezifisches der vielen Werkstücke 46, die in der an bzw. auf dem Hubtisch 40 platzierten Kassette 48 untergebracht sind, an einer vorbestimmten Höhe angeordnet wird. In diesem Zustand wird das erste Transportmittel 148 betätigt, woraufhin das Greifmittel 168 den Rahmen 50 in dem einen spezifischen Werkstück 46 innerhalb der Kassette 48 ergreift, das Werkstück 46 von der Kassettenplatzierungszone A zu der Einspannzone B transportiert und das Werkstück 46 an bzw. auf dem temporären Abstützmittel 64 in der Einspannzone B anordnet. Sodann wird das Greifmittel 168 des ersten Transportmittels 148 von dem Werkstück 46 gelöst und das erste Transportmittel 148 wird zu einer Warteposition bewegt, die zu der Reinigungszone C näher ist als zu der Einspannzone B. Zu diesem Zeitpunkt wird das zweite Transportmittel 150 in der Y-Achsenrichtung bis zu der Einspannzone B bewegt und in der Einspannzone B abgesenkt, um die Anziehungsvorrichtungen 184 abzusenken, bis sie in enge Berührung mit dem Rahmen 50 des Werkstücks 46 gebracht sind. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 in Verbindung mit der Saugquelle gebracht, um das Werkstück 46 anzuziehen. Sodann wird das Paar der Abstützglieder 66 des temporären Abstützmittels 64 zu der Nichtbetriebsposition, die durch die fest ausgezogenen Linien angegeben ist, bewegt und von unterhalb des Werkstücks 46 zurückgezogen. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 abgesenkt und das an die Anziehungsvorrichtungen 184 angezogene Werkstück 46 wird an bzw. auf dem Einspannglied 82 des Einspannmittels 68 angeordnet. Das Einspannglied 82 wird in Verbindung mit der Saugquelle gebracht, wodurch der Halbleiterwafer 54 in dem Werkstück 46 an das Einspannglied 82 angezogen wird. Die bewegbaren Greifstücke 86 des Paares der Greifmechanismen 84, die bei dem Einspannglied 82 vorgesehen sind, werden in die Greifposition gebracht, wobei sie den Rahmen 50 greifen bzw. ergreifen. Die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 werden von der Saugquelle abgesperrt, um das Werkstück 46 freizugeben, und werden sodann angehoben.
Sodann wird das Einspannmittel 68 über einen erforderlichen Abstand bzw. Strecke rückwärts bewegt und das Mikroskop des in dem ersten Schneidmittel 112a vorgesehenen Abbildungsmittels 146a und das Mikroskop des in dem zweiten Schneidmittel 112b vorgesehenen Abbildungsmittels 146b werden an einer Position angeordnet, die der Fläche des Halbleiterwafers 54, der auf das Einspannglied 82 gelegt ist, gegenüberliegt. Sodann wird das Bild an der Fläche des Halbleiterwafers 54 fotografiert. Auf der Fotografie basierend bzw. beruhend wird der Halbleiterwafer 54 an dem Einspannglied 82 mit der (nicht gezeigten) Schneidklinge des ersten Schneidmittels 112a und der Schneidklinge 142b des zweiten Schneidmittels 112b völlig genau ausgerichtet. Während dieses Ausrichtens wird das Einspannglied 82 in der X-Achsenrichtung bewegt und um die mittlere Achse gedreht, wie erwünscht. Sodann wird das Einspannmittel 68 weiter rückwärts bewegt und in der Schneidzone D positioniert, in welcher der an das Einspannglied 82 angezogene Halbleiterwafer einem Schneiden oder Zerteilen unterworfen wird. Während dieses Zerteilens wird das Einspannglied 82 in der X-Achsenrichtung bewegt und die Schneidklinge des ersten Schneidmittels 112a und die Schneidklinge 142b des zweiten Schneidmittels 112b wirken auf den Halbleiterwafer 54 gleichzeitig oder mit einer gewissen zeitlichen Differenz ein, um den Halbleiterwafer 54 entlang der sich in der X-Achsenrichtung erstreckenden Straßen 56 zu schneiden. Die Schneideinheit 136a des ersten Schneidmittels 112a und die Schneideinheit 136b des zweiten Schneidmittels 112b werden an einer erwünschten Höhe angeordnet und in der Y-Achsenrichtung periodisch weitergeschaltet. Wenn das Schneiden entlang der sich in der X-Achsenrichtung erstreckenden Straßen 56 vervollständigt ist, wird das Einspannglied 82 um 90° gedreht und das Schneiden wird entlang der Straßen 56 erneut begonnen, die in einem sich in der Y-Achsenrichtung erstreckenden Zustand angeordnet sind. Somit wird der Halbleiterwafer 54 an dem Einspannglied 82 entlang der Straßen 56 geschnitten, die in dem Gittermuster angeordnet sind. Das zwischen dem Rahmen 50 und dem Halbleiterwafer 54 angeordnete Befestigungsband 52 wird nicht geschnitten, so dass der Rahmen 50, das Befestigungsband 52 und der zerteilte Halbleiterwafer 54 selbst nach dem Schneiden des Halbleiterwafers 54 integral gehalten werden.
Sodann wird das Einspannmittel 68 zu der Einspannzone B zurückgeführt. Das zweite Transportmittel 150 wird abgesenkt und seine Anziehungsvorrichtungen 184 werden in enge Berührung mit dem Rahmen 50 des Werkstücks 46 gebracht. Die Anziehungsvorrichtungen 184 werden in Verbindung mit der Saugquelle gebracht und das Werkstück 46 wird an die Anziehungsvorrichtungen 184 angezogen. Zu diesem Zeitpunkt wird das Einspannglied 82 von der Saugquelle abgesperrt, um die Anziehung des Halbleiterwafers 54 an das Einspannglied 82 zu beenden. Die bewegbaren Greifstücke 86 des Paares der Greifmechanismen 84, die in dem Einspannglied 82 vorgesehen sind, werden zu der Nichtgreifposition zurückgebracht, um das Greifen des Rahmens 50 zu beenden. Sodann wird das zweite Transportmittel 150 etwas nach oben bewegt und sodann in der Y-Achsenrichtung bewegt, um das Werkstück 46 so weit wie die Reinigungszone C zu bewegen. Sodann wird das zweite Transportmittel 150 abgesenkt, wodurch das an die Anziehungsvorrichtungen 184 angezogene Werkstück 46 an bzw. auf dem Einspannglied 102 des Reinigungsmittels 90 platziert wird. Das Einspannglied 102 wird in Verbindung mit der Saugquelle gebracht, um das Werkstück 46 an das Einspannglied 102 anzuziehen. Zu derselben Zeit werden die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 von der Saugquelle abgesperrt, um das Werkstück 46 von den Anziehungsvorrichtungen 184 freizugeben. In der Reinigungszone C wird das Einspannglied 102 mit dem an dieses angezogenen Werkstück 46 in Verbindung mit der Saugquelle gebracht, wodurch der Halbleiterwafer 54 an das Einspannglied 102 angezogen wird. Die bewegbaren Greifstücke 106 der Greifmechanismen 104, die in dem Einspannglied 102 vorgesehen sind, werden in die Greifposition gebracht, um den Rahmen 50 zu greifen. Sodann wird der Hubtisch 98 abgesenkt, woraufhin das Einspannglied 102 mit dem an dieses angezogenen Werkstück 46 zu einer erwünschten Position abgesenkt wird. Die Reinigungsflüssigkeit, die reines Wasser sein kann, wird gegen das Werkstück 46 von der (nicht gezeigten) Strahldüse gestrahlt. Gleichzeitig wird das Einspannglied 102 mit einer Drehzahl von etwa 600 UpM gedreht, um das Werkstück 46, das Ablagerungen bzw. Niederschläge von Spänen aufweist, die durch Schneiden gebildet sind, zu reinigen. Sodann wird das Strahlen der Reinigungsflüssigkeit von der Strahldüse angehalten und das Einspannglied 102 wird mit einer Drehzahl von etwa 3.000 UpM gedreht, um das Werkstück 46 durch schnelles Drehen zu trocknen.
Nach Vollendung des Reinigens wird der Hubtisch 98 angehoben, um das Einspannglied 102 anzuheben. Das Einspannglied 102 wird von der Saugquelle abgesperrt, um das Anziehen des Halbleiterwafers 54 zu beenden. Die bewegbaren Greifstücke 106 der Greifmechanismen 104 werden zu der Nichtgreifposition zurückgebracht, um das Greifen des Rahmens 50 zu beenden. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 in Verbindung mit der Saugquelle gebracht, um das Werkstück 46 an die Anziehungsvorrichtungen 184 anzuziehen. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 zu einer erwünschten Höhe angehoben und in der Y-Achsenrichtung bis zu der Einspannzone B bewegt. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 des zweiten Transportmittels 150 etwas abgesenkt, um das Werkstück 46 quer über das Paar der Abstützglieder 66 des temporären Abstützmittels 64 zu platzieren, das in der Betriebsposition angeordnet ist, die durch die strich-doppeltpunktierten Linien in 2 angegeben ist. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 von der Saugquelle abgesperrt, um das Werkstück 46 von den Anziehungsvorrichtungen 184 freizugeben. Sodann werden die Anziehungsvorrichtungen 184 angehoben.
Wenn das Werkstück 46, das auf die oben beschriebenen Art und Weise geschnitten und gereinigt worden ist, an bzw. auf dem temporären Abstützmittel 64 platziert ist, wird das erste Transportmittel 148 etwas in Richtung zu der Einspannzone B bewegt und das Greifmittel 168 des ersten Transportmittels 148 wird betätigt, um einen Randbereich des Rahmens 50 in dem Werkstück 46 zu greifen, das an dem temporären Abstützmittel 64 platziert ist. Sodann wird das erste Transportmittel 148 in Richtung zu der Kassettenplatzierungszone A bewegt, wodurch das Werkstück 46 in die Kassette 48 eingesetzt bzw. eingeführt wird. Sodann wird das Greifmittel 168 des ersten Transportmittels 148 von dem Werkstück 46 gelöst und das erste Transportmittel 148 wird zu der in 2 gezeigten Warteposition zurückgebracht.
Ein nächstes zu schneidendes Werkstück 46, das in der Kassette 48 aufgenommen ist, wird von der Kassette 48 zu dem temporären Abstützmittel 64 zugeführt, während das vorhergehende Werkstück 46 in der Reinigungszone C gereinigt wird. Sodann wird das darauffolgende Werkstück 46 an dem Einspannglied 82 des Einspannmittels 68 eingespannt. Nach der erforderlichen Ausrichtung wird dieses Werkstück 46 zu der Schneidzone D transportiert, in der das Schneiden durch das erste Schneidmittel 112a und das zweite Schneidmittel 112b eingeleitet werden kann.
Unter Bezugnahme auf 1 zusammen mit 2 wird erläutert, dass wiederholtes Schneiden des Halbleiterwafers 54 durch das erste Schneidmittel 112a und das zweite Schneidmittel 112b zu einem Verschleiß bzw. Abnutzung der Schneidklinge des ersten Schneidmittels 112a und der Schneidklinge 142b des zweiten Schneidmittels 112b führt, wodurch ein Austausch bzw. Ersatz erforderlich wird. In diesem Falle wird die Auf/Zu-Tür 6 des Gehäuses 2 nach oben um das Scharniermittel 14 als das Dreh- bzw. Schwenkzentrum gedreht bzw. geschwenkt, um die obere halbe, mittlere Region in der Vorderseite des Gehäuses 2 freizugeben. Durch ein solches Vorgehen kann ein genügend leichter Zugang zu der in der Schneidzone D angeordneten Schneidklinge von der Vorderseite des Gehäuses 2 durch die Einspannzone B erhalten werden, was es ermöglicht, einen Vorgang zum Ersetzen der Schneidklinge leicht und schnell auszuführen. Weil der Vorgang zum Ersetzen der Schneidklinge von der Vorderseite des Gehäuses 2 ausgeführt werden kann, besteht keine Notwendigkeit, einen Raum für den Ein- bzw. Zutritt der Bedienungsperson in den entgegengesetzten bzw. gegenüberliegenden Seiten oder der Rückseite des Gehäuses 2 zu gewährleisten. Daher kann der erforderliche Raum für die Installierung bzw. den Einbau der Schneidmaschine genügend klein gemacht werden.
Die bevorzugten Ausführungsformen der Schneidmaschine, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgebildet sind, sind in Einzelheiten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben worden. Es versteht sich jedoch, dass die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt ist, sondern dass verschiedene Änderungen und Abwandlungen ausgeführt werden können, ohne von dem Gedanken und Umfang der Erfindung abzuweichen. In den veranschaulichten Ausführungsformen ist z. B. die Kassettenplatzierungszone A an der rechten Seite der Einspannzone B angeordnet und die Reinigungszone C ist an der linken Seite der Einspannzone B angeordnet, wenn von vorne betrachtet. Wenn erwünscht, kann jedoch die Kassettenplatzierungszone A an der linken Seite der Einspannzone B angeordnet werden und die Reinigungszone C kann an der rechten Seite der Einspannzone B angeordnet werden, wenn von vorne betrachtet. Bei den veranschaulichten Ausführungsformen wird darüber hinaus das zweite Transportmittel 150 dazu verwendet, um das Werkstück 46, das geschnitten, jedoch nicht gereinigt worden ist, von der Einspannzone B zu der Reinigungszone C zu transportieren. Das zweite Transportmittel 150 wird ebenfalls dazu verwendet, um das gereinigte Werkstück 46 von der Reinigungszone C zu der Einspannzone B zu transportieren. Es ist jedoch, um die Möglichkeit auszuschließen, dass das Werkstück 46 nach dem Reinigen durch das Transportmittel verunreinigt wird, zulässig, falls erwünscht, ein drittes Transportmittel zum Transportieren des gereinigten Werkstücks 46 von der Reinigungszone C zu der Einspannzone B anzuordnen.

Claims

Schneidmaschine, aufweisend: Ein Gehäuse (2) mit einer Bedienungsplatte (28), die an einer Vorderseite von diesem angeordnet ist; und worin eine Einspannzone (B), die in einer der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, eine Kassettenplatzierungszone (A), die an einer Seite der Einspannzone (B) angeordnet ist, und eine Reinigungszone (C), die an einer gegenüberliegenden bzw. entgegengesetzten Seite bezüglich der Einspannzone (B) angeordnet ist, in einer vorderen Hälfte des Gehäuses (2) angeordnet sind, wohingegen eine Schneidzone (D), die in der der Breite nach genommenen Mitte angeordnet ist, in einer hinteren Hälfte des Gehäuses (2) angeordnet ist; ein Kassettentrag- bzw. -abstützmittel (34) in der Kassettenplatzierungszone (A) angeordnet ist und ein Reinigungsmittel (90) in der Reinigungszone (C) angeordnet ist; ein Einspannmittel (68) so angeordnet ist, um in einer Vor- bzw. Rückwärtsrichtung zwischen der Einspannzone (B) und der Schneidzone (D) bewegbar zu sein; ein erstes Schneidmittel (112a) und ein zweites Schneidmittel (112b) in der hinteren Hälfte des Gehäuses (2) angeordnet sind, das erste Schneidmittel (112a) eine erste drehbare Welle und eine erste Schneidklinge bzw. -messer aufweist, das an der ersten drehbaren Welle angeordnet ist, das zweite Schneidmittel (112b) eine zweite drehbare Welle (140b) und eine zweite Schneidklinge bzw. -messer (142b) aufweist, das an der zweiten drehbaren Welle (140b) angeordnet ist, die erste drehbare Welle und die zweite drehbare Welle (140b) sich gerade in einer Breitenrichtung in der hinteren Hälfte des Gehäuses (2) erstrecken, und die erste Schneidklinge bzw. die zweite Schneidklinge (142b) an einem der Breite nach genommen inneren Ende der ersten drehbaren Welle bzw. an einem der Breite nach genommen inneren Ende der zweiten drehbaren Welle (140b) angeordnet ist, wobei die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge (142b) einander gegenüberliegend bzw. entgegengesetzt zueinander angeordnet sind; eine Kassette (48), die eine Mehrzahl von Werkstücken (46) aufnimmt, an dem Kassettenabstützmittel (34) angeordnet ist, die in der Kassette (48) aufgenommenen Werkstücke (46) sequenziell bzw. aufeinander folgend zu der Einspannzone (B) befördert bzw. zugeführt werden, das zugeführte Werkstück (46) an dem Einspannmittel (68) in der Einspannzone (B) eingespannt und zu der Schneidzone (D) zusammen mit dem Einspannmittel (68) befördert wird, und das Werkstück (46) an dem Einspannmittel (68) durch die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge (142b) in der Schneidzone (D) geschnitten wird, sodann zu der Einspannzone (B) zusammen mit dem Einspannmittel (68) zurückgeführt wird, von der Einspannzone (B) zu der Reinigungszone (C) transportiert wird, in der Reinigungszone (C) gereinigt wird, sodann zu der Einspannzone (B) transportiert wird und in die Kassette (48) gebracht wird; und eine Auf/Zu-Tür (6), die an der Vorderseite des Gehäuses (2) angeordnet ist.
Schneidmaschine nach Anspruch 1, bei der ein temporäres bzw. zeitweises Abstütz- bzw. -Tragmittel (64) in der Einspannzone (B) angeordnet ist und das von der Kassette (48) zu der Einspannzone (B) zugeführte Werkstück (46) zuerst an dem temporären Abstützmittel (64) platziert bzw. angeordnet wird, sodann von einer Stelle an dem temporären Abstützmittel (64) zu einer Stelle an dem Einspannmittel (68) transportiert, geschnitten, gereinigt und von der Reinigungszone (C) zu der Einspannzone (B) transportiert wird, woraufhin das Werkstück (46) an dem temporären Abstützmittel (64) platziert und in die Kassette (48) gebracht wird.
Schneidmaschine nach Anspruch 2, bei der das temporäre Abstütz- bzw. Tragmittel (64) aus einem Paar von Abstütz- bzw. Traggliedern (66) besteht und das Paar der Abstützglieder (66) frei ist, sich zwischen einer Arbeits- bzw. Betriebsposition, an der die Abstützglieder (66) mit einer vorbestimmten Beabstandung relativ zueinander angeordnet sind und das Werkstück (46) quer über den Abstützgliedern (66) platziert ist, und einer Nichtarbeits- bzw. Nichtbetriebsposition zu bewegen, an der die Abstützglieder (66) aus der Betriebsposition voneinander weg bewegt werden, um es dem Werkstück (46) zu erlauben, durch einen dazwischen befindlichen Spalt abzusteigen bzw. hinunterzugehen, und, wenn das Einspannmittel (68) in der Einspannzone (B) angeordnet ist, das Einspannmittel (68) unterhalb des temporären Abstützmittels (64) positioniert ist.
Schneidmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der das Werkstück (46) ein Halbleiterwafer ist und die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge als Scheiben ausgestaltet sind, die Diamantkörner enthalten, und den Halbleiterwafer zerteilen bzw. zerschneiden.