DE10203761A1 - System und Verfahren zum automatischen Analysieren und Verarbeiten von Verlustfaktordaten in einem Testprozess - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein System und ein Verfahren zum automatischen Analysieren und Verarbeiten von Verlustfaktordaten, die in einem Testprozess auftreten, bei dem mehrere IC-Halbleiterbauelemente als Los mit einer Anzahl von Testeinheiten getestet werden, wobei das Los eine vorgegebene Anzahl gleicher IC-Bauelemente umfasst und der Lostestprozess sequentiell mit mehreren Testzyklen durchgeführt wird. DOLLAR A Erfindungsgemäß sind Mittel (12) zur Testergebnisverifikation und Feststellung der Notwendigkeit eines Neutests, Mittel (15) zum Laden und Entladen von zu testenden IC-Bauelementen und Sortieren derselben abhängig von den Testergebnissen, Mittel zur Rohdatenerzeugung auf der Basis von Zeitdaten, Mittel (22) zur Berechnung von Testzeitdaten und Indexzeitdaten, basierend auf den Rohdaten und auf Verlustzeitdaten, Mittel (25) zur Speicherung der Rohdaten und der berechneten Daten sowie Mittel zum Analysieren der Rohdaten und der berechneten Daten entsprechend den Losen, den Testeinheiten und den Lade-/Entlademitteln und zum Abgeben der analysierten Ausgangsdaten über eine Benutzerschnittstelle vorgesehen. DOLLAR A Verwendung z. B. zum Testen von IC-Halbleiterbauelementen.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein System und ein Verfahren zum auto­ matischen Analysieren und Verarbeiten von Verlustfaktordaten, die in einem Testprozess auftreten, bei dem mehrere IC-Halbleiterbauele­ mente als Los mit einer Anzahl von Testeinheiten getestet werden, wo­ bei das Los eine vorgegebene Anzahl gleicher IC-Bauelemente umfasst und der Lostestprozess sequentiell mit einer Mehrzahl von Testzyklen durchgeführt wird.

Nach ihrer Herstellung werden IC-Halbleiterbauelemente vor ihrem Ver­ trieb typischerweise einer Anzahl von Tests unterzogen, um ihre Leis­ tungsfähigkeit und Zuverlässigkeit zu überprüfen. Einer dieser Tests ist ein elektrischer Leistungsfähigkeitstest.

Der elektrische Leistungsfähigkeitstest kann einen Gleichstrom-Test, einen Wechselstrom-Test und einen Funktionstest umfassen. Der Gleichstrom(DC)-Test dient zur Überprüfung von DC-Eigenschaften ei­ nes IC-Bauelements mittels Durchführen eines Unterbrechungs-/Kurz­ schluss-Tests und Messen von Eingangsströmen, Ausgangsspannun­ gen, Leistungsversorgungsströmen etc. Der Wechselstrom(AC)-Test misst Zeitsteuerungsfunktionen eines IC-Bauelements durch Anlegen von Eingangsimpulssignalen an Eingangsanschlüsse des Bauelements, um Betriebseigenschaften wie die Eingabe-/Ausgabe-Laufzeitverzöge­ rung bzw. -Zugriffszeit, Anfangs- und Endzeitpunkt von Eingangs- und Ausgangssignalen etc. zu überprüfen. Im Funktionstest werden Test­ muster, die von einem Mustergenerator erzeugt werden, in Impulssigna­ le mit einem normalen Pegel transformiert und an ein im Test befindli­ ches Bauelement (DUT) angelegt. Die Ausgangssignale des DUT wer­ den mit Referenzsignalen verglichen, beispielsweise im Fall von Spei­ cherbauelementen zu dem Zweck, Lese-/Schreib-Funktionen und gegen­ seitige Wechselwirkung für jede der Speicherzellen während des aktuel­ len Betriebs zu verifizieren. Im allgemeinen wird ein dynamischer Funk­ tionstest durchgeführt, welcher den AC- und den Funktionstest kombi­ niert.

Herkömmliche Systeme zum Testen der elektrischen Leistungsfähigkeit sortieren die IC-Bauelemente abhängig von den Testergebnissen in eine Anzahl von "BIN"-Kategorien. Beispielsweise sind die als "BIN1", d. h. BIN-Kategorie 1, klassifizierten Halbleiterbauelemente jene, die für alle Testpunkte die elektrische Leistungsfähigkeitsspezifikation bestehen bzw. in diese fallen.

Der Testprozess stellt einen signifikanten Anteil der Herstellung von IC-Halbleiterbauelementen sowohl hinsichtlich Zeitdauer als auch Kosten­ aufwand dar. Zum Testen von in Serienfertigung produzierten IC-Bau­ elementen sind kostenintensive Testsysteme und hocheffiziente Hand­ habungssysteme erforderlich. Mit zunehmender Verbesserung des elektrischen Leistungsvermögens von IC-Bauelementen werden Kosten­ aufwand und Zeitdauer für den Testprozess immer höher. Dadurch be­ einflussen Verlustfaktoren, die im Testprozess gefunden werden, merk­ lich die Ausbeute und die Produktivität von IC-Bauelementen, mehr als zuvor erwartet. Der Testprozess wird normalerweise mit Losen durchge­ führt, in denen eine große Anzahl von z. B. 1000 IC-Bauelementen ent­ halten ist. Die Verlustfaktoren, die beim Lostest auftreten können, um­ fassen Zeitverluste z. B. beim aktuellen Betrieb des Testsystems, beim Laden, Entladen, Indizieren, bei plötzlichem Stoppen, Ausfallreparatur, Loswechsel und Neutest.

Beim herkömmlichen Testprozess werden Verlustfaktordaten manuell von Bedienpersonen gesammelt oder allein basierend auf den prakti­ schen Erfahrungen von Testingenieuren organisiert. Dementsprechend variieren die Verlustfaktordaten in Abhängigkeit von den Bedienperso­ nen oder Ingenieuren und sind daher nicht zuverlässig. Außerdem exis­ tieren Verlustfaktoren, die nicht manuell oder empirisch verfolgt werden können, was es unmöglich macht, Daten, die sich auf die Verlustfakto­ ren beziehen, analytisch zu sammeln und zu verarbeiten und damit zu verwalten. Da die Zeitdauer, bis IC-Halbleiterbauelemente in kleinen Stückzahlen und unterschiedlichen Typen auf den Markt kommen, im­ mer kürzer wird, wächst die Bedeutung einer Verbesserung in der Aus­ beute und Produktivität von IC-Bauelementen. Es besteht daher ein starker Bedarf, die Verlustfaktoren zu reduzieren und die Betriebseffi­ zienz von Testsystemen zu optimieren. Des weiteren ist es wünschens­ wert, den von einer sehr hohen Anzahl an Testeinheiten durchgeführten Testprozess effizient und integral zu steuern.

Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstellung eines Systems und eines Verfahrens der eingangs genannten Art zugrunde, mit denen in einem Testprozess auftretende Verlustfaktoren automatisch in einer vorteilhaften Weise analysiert und gehandhabt werden können und mit denen Verluste in einem Testprozess rasch behandelt werden können, um die Betriebseffizienz von Testsystemen zu steigern, wobei verschiedene Zeitdaten, die im Testprozess auftreten, präzise, analy­ tisch und rasch aufgenommen werden können.

Die Erfindung löst dieses Problem durch die Bereitstellung eines Sys­ tems mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder 2 sowie eines Verfah­ rens mit den Merkmalen des Anspruchs 20.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden nachfolgend beschrieben. Hierbei zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm der Gesamtstruktur eines Systems zum automatischen Analysieren und Handhaben von Verlustfak­ tordaten in einem Prozess zum Testen von integrierten Halb­ leiterschaltkreisbauelementen,

Fig. 2 ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum automatischen Analysieren und Handhaben von Verlustfaktordaten in einem Testprozess integrierter Halbleiterschaltkreisbauelemente,

Fig. 3 ein Flussdiagramm eines Rohdatenerzeugungsprozesses von Fig. 2,

Fig. 4 ein Flussdiagramm eines Testprozesses veranschaulicht an­ hand von Betriebsvorgängen einer Testeinheit und einer Handhabungseinheit,

Fig. 5 eine Darstellung eines Zeitdatenextraktionsverfahrens,

Fig. 6 ein schematisches Blockdiagramm eines Systems zum auto­ matischen Analysieren und Handhaben von Verlustfaktorda­ ten in einem Testprozess von integrierten Halbleiterschalt­ kreisbauelementen,

Fig. 7 eine Darstellung einer zur Verwendung beim Analysieren und Handhaben von Verlustfaktordaten in einem Testprozess von integrierten Halbleiterschaltkreisbauelementen geeigneten exemplarischen Benutzerschnittstelleneinheit,

Fig. 8 eine Darstellung einer weiteren exemplarischen Benutzer­ schnittstelleneinheit, die zur Verwendung beim Analysieren und Handhaben von Verlustfaktordaten in einem Testprozess von integrierten Halbleiterschaltkreisbauelementen geeignet ist, und

Fig. 9 eine Darstellung einer weiteren exemplarischen Benutzer­ schnittstelleneinheit, die zur Verwendung beim Analysieren und Handhaben von Verlustfaktordaten in einem Testprozess von integrierten Halbleiterschaltkreisbauelementen geeignet ist.

IC-Halbleiterbauelemente werden in vielen Intervallen während des ge­ samten Fabrikationsprozesses physikalisch und/oder elektrisch getestet. Die entscheidenderen Test von Halbleiterbauelementen werden jedoch während späteren Stufen des Fabrikations- und Montageprozesses durchgeführt. Diese Testprozesse werden allgemein als Qualitätssiche­ rungs(QA)-Tests und letzte Tests der Bauelemente bezeichnet. Für IC-Bauelemente finden diese QA- und letzten Tests typischerweise nach den Prozessen der Waferfabrikation und der Montage statt oder dann, wenn der IC-Chip vollständig montiert ist oder anderweitig als komplett betrachtet wird. Die vorliegende Beschreibung erstreckt sich hauptsäch­ lich auf das letzte Testen, das nach dem Abschluss der Prozesse der Waferfabrikation und der Montage der IC-Bauelemente ausgeführt wird.

Es ist jedoch für den Fachmann klar, dass die Erfindung auch für die verschiedensten anderen Testprozesse anwendbar und nicht auf den letzten Testvorgang begrenzt ist.

Während eines letzten Testprozesses werden typischerweise die stati­ schen und dynamischen elektrischen Leistungsfähigkeitseigenschaften jedes montierten Halbleiterbauelementes getestet, um sicherzustellen, dass das Bauelement strikte Entwurfsanforderungen und Kundenspezi­ fikationen erfüllt. Diejenigen Bauelemente, die diese letzten Tests pas­ sieren, sind dann theoretisch fertig zum Verpacken und Ausliefern an Kunden. Halbleiterhersteller, welche existierende letzte Testprozesse benutzen, testen typischerweise die montierten bzw. kompletten Halblei­ terbauelemente in Losen von z. B. 1000 Bauelementen pro Los. Jedes Bauelement im Los wird über ein automatisches oder halbautomatisches Testsystem geführt, das Ausrüstung enthält, mit der die Eigenschaften des Bauelements hinsichtlich AC-, DC- und parametrischer oder dyna­ mischer elektrischer Leistungsfähigkeit gemessen werden. Die Testaus­ rüstung vergleicht die Leistungsfähigkeitseigenschaften jedes Bauele­ ments mit vorgegebenen Entwurfskriterien und/oder Kundenanforderun­ gen und sortiert die Bauelemente in Abhängigkeit von den Ergebnissen. Im allgemeinen werden die Bauelemente danach sortiert, ob sie die Tests bestanden haben oder nicht. Diejenigen Bauelemente, welche die Tests passiert haben, werden vor der endgültigen Auslieferung einem QA-Test in Form eines Stichprobentests unterzogen.

Fig. 1 veranschaulicht im Blockdiagramm ein System zum automati­ schen Analysieren und Handhaben von Verlustfaktoren, die in einem Testprozess auftreten. In dieser Realisierung der Erfindung umfasst das System ein Testsystem 10, ein Server-System 20 und ein Endgerät- System 30. Das Testsystem 10 umfasst mehrere Testeinheiten 12 und Handhabungseinheiten 15. Die jeweilige Testeinheit 12 enthält einen Digitalprozessor, z. B. eine CPU, mit zugehöriger Elektronik und wird Software-gesteuert. Die Testeinheit 12 legt Testsignale an nicht gezeig­ te, zu testende IC-Bauelemente an und vergleicht Ausgangssignale der IC-Bauelemente mit vorgegebenen Referenzsignalen, um Testergebnis­ signale bereitzustellen. Typischerweise wird ein Testprozess mit IC-Bauelementen durchgeführt, die auf einer Testplatine Sockel-montiert sind. Die Testplatine ist mit Schaltkreisen zum Senden und Empfangen elektrischer Signale an die bzw. von den IC-Bauelementen versehen. Die Testeinheit 12 ist beispielsweise von den japanischen Firmen Ad­ vantest Corporation oder Ando Corporation erhältlich.

Die jeweilige Handhabungseinheit 15 fördert zu testende IC-Bauele­ mente von einem Trägerkorb zu einem Testkorb. Des weiteren plaziert die Handhabungseinheit 15 jedes IC-Bauelement im Testkorb in einen elektrischen Sockel, der sich auf der Betriebsfläche der Testplatine be­ findet und die Testeinheit 12 mit den auf die Testplatine geladenen IC-Bauelementen verbindet.

Die Testeinheit 12 liefert unter der Steuerung von residenten Software­ routinen Befehlssignale zu den Testplatinenschaltkreisen und empfängt Testdaten von diesen, wodurch sie das Leistungsvermögen bzw. die Qualität jedes zu testenden IC-Bauelements bestimmt. Die Testeinheit 12 sendet einteilende, d. h. sortierende Befehlssignale über ein Da­ ten-/Befehls-Kommunikationskabel 16 zur Handhabungseinheit 15. Ba­ sierend auf den Einteilungssignalen sortiert die Handhabungseinheit 15 die getesteten IC-Bauelemente und fördert sie in einen zugehörigen Trägerkorb, d. h. einen Bestanden- oder Nichtbestanden-Korb. Während das in Fig. 1 gezeigte System eine separate Handhabungseinheit auf­ weist, ist alternativ auch die Verwendung einer mit der Testeinheit integ­ rierten Handhabungseinheit möglich.

Der Durchsatz der Handhabungseinheit 15 ist hauptsächlich durch ihre mechanischen Gegebenheiten bestimmt und wird allgemein als "Index­ zeit" der Handhabungseinheit bezeichnet. Die Indexzeit ist durch Entfer­ nungen, um welche die Körbe und Bauelemente innerhalb der Handha­ bungseinheit bewegt werden, sowie durch die Geschwindigkeit und Be­ schleunigung der Bewegung, die Anzahl an physikalischen Sortierkate­ gorien und die Übertragungsrate der elektrischen Testeinheit/Hand­ habungseinheit-Schnittstelle bestimmt. Ein weiterer Parameter, der den Durchsatz der Handhabungseinheit beeinflusst, ist die tatsächliche Testdauer für die Bauelemente. Die tatsächliche Testdauer kann durch die Betriebszeit der CPU einer Testeinheit repräsentiert werden.

Das Server-System 20 umfasst einen Server-Rechner 22 zur Berech­ nung von Verlustfaktoren und eine Datenbank 25. Der Server-Rechner 22 führt eine Gesamtverwaltung und -verarbeitung von Zeitdaten durch, die vom Testsystem 10 aus jeweils einem Paar einer Testeinheit 12 und einer Handhabungseinheit 15 erzeugt werden. Erzeugte Zeitdaten und Verlustdaten, die auf der Basis der Zeitdaten berechnet werden, werden in der Datenbank 25 gespeichert, die vom Server-Rechner 20 gesteuert wird. Die gespeicherten Daten werden weiter unten im Detail erläutert.

Das Endgerät-System 30 umfasst mehrere Rechner-Endgeräte 32. Die Rechner-Endgeräte 32 analysieren Verlustfaktordaten und stellen basie­ rend auf den analysierten Daten Ausgangsdaten über Nutzerschnittstel­ len zur Verfügung, wie standardisierte Zeitdatenbetrachter, Verlustfak­ torberichter, Indexzeitanalysierer etc. Das Testsystem 10, der Server- Rechner 22 und das Endgerät-System 30 sind an ein Netzwerk 26 an­ geschlossen, das beispielsweise ein Ethernet sein kann.

Fig. 2 veranschaulicht Gesamtabläufe zum automatischen Analysieren und Handhaben von Verlustfaktoren, die in einem Testprozess auftreten. Erfindungsgemäß werden Zeitdaten für den gesamten Prozess vom An­ fang des Betriebs des Testsystems bis zu dessen Ende erzeugt. Die Zeitdaten können als Rohdaten zum Analysieren von Verlustfaktoren benutzt werden, die während des Testprozesses auftreten, und sollten in Echtzeit zu dem Testprozess reflektiert werden.

Wie in Fig. 2 dargestellt, werden während des Fortschreitens des Test­ prozesses Rohdaten in Echtzeit generiert (Schritt 51). Auf der Basis der Rohdaten werden Testdauerdaten und Indexzeitdaten berechnet (Schritt 52), und Verlustfaktoren werden in Form von Zeitverlustdaten berechnet (Schritt 53). Der Testprozess wird in Losen ausgeführt, von denen jedes eine vorgegebene Anzahl identischer IC-Halbleiterbauelemente enthält. Um einen Serientestprozess für viele Testsysteme zu steuern, die für unterschiedliche Lose und verschiedene Bauelemente verwendet wer­ den, werden die Rohdaten, die Testdauerdaten und die Indexzeitdaten für jeden Testzyklus jedes Loses erzeugt und berechnet.

Basierend auf Zeitdaten, die in den Schritten 51, 52 und 53 erzeugt wer­ den, werden entsprechend der Sequenz des Testloses Testprozessda­ ten erzeugt und gespeichert (Schritt 54). Die Testprozessdaten stellen integral verarbeitete Daten für jedes der mehreren Lose, jedes der IC-Halbleiterbauelemente unter Test und jedes der Testsysteme dar. Ver­ lustfaktoren in einem Testprozess werden dadurch behandelt, dass er­ findungsgemäß Benutzerschnittstellen bereitgestellt werden, welche Verlustdaten analysieren können (Schritt 55) und Funktionen bezüglich Statusbetrachter (Schritt 56), Verlustberichter (Schritt 57) und Indexzeit­ analysierer (Schritt 58) bereitstellen.

Fig. 3 zeigt im Flussdiagramm eine Realisierung des Rohdatenerzeu­ gungsprozesses. Hierbei wird für mehrere, als Los getestete IC-Halb­ leiterchips festgestellt, ob sie abhängig von den Testergebnissen den Test bestehen oder nicht. Wenn ein Lostest mit dem Starten eines Test­ programms beginnt (Schritt 60), werden die Startzeitdaten einer Test­ einheit extrahiert (Schritt 61). Das Testprogramm ist ein Programm, das durch eine Testbeschreibungssprache, abgekürzt als "TDL" bezeichnet, beschrieben wird. Die Testbeschreibungssprache ist durch eine Hard­ ware-Beschreibungssprache strukturiert, wie HDL oder VHDL. Das Testprogramm hat die Form eines Quellcodes. Die Bedienpersonen oder Testingenieure stellen benötigte Testparameter im Testprogramm zur Verfügung, um den Testvorgang in der Hardware des Halbleitertest­ systems zu definieren. Das Testprogramm steuert den Betrieb der Test­ einheit und wird mit den Testsequenz- und Einteilungsprozessen be­ schrieben.

Wenn der jeweilige Testzyklus beginnt (Schritt 62), werden die Startzeit­ daten eines Testzyklus extrahiert (Schritt 63). Testzyklus-Startzeitdaten können als Rohdaten erzeugt werden, z. B. durch Extrahieren einer Startzeit jedes Testzyklus von einem Testprogramm. Wenn der jeweilige Zyklus endet (Schritt 64), wird der Abschlusszeitpunkt für den Testzyklus extrahiert (Schritt 65), der z. B. durch Modifizieren des Testprogramms erzeugt werden kann. Jeder Testzyklus kann durch das Testprogramm identifiziert werden. Beispielsweise bilden im Fall von IC-Speicherbau­ elementen der DC-, der AC- und der Funktionstest einen einzelnen Testzyklus. Wenn der Testzyklus endet, werden Testresultate bestätigt, um festzustellen, ob ein Neutest bzw. wiederholter Test durchgeführt werden sollte (Schritt 66).

Wenn das DUT den Feststellungsschritt 66 passiert hat, wird festgestellt, ob die Anzahl an Testzyklen gleich einer vorgebbaren Anzahl N ist (Schritt 67), und bejahendenfalls geht die Programmsequenz zum nächsten Testzyklus (Schritt 68), andernfalls kehrt die Sequenz zum Schritt 62 zurück, um mit dem momentanen Testprozess fortzusetzen. Die Schritte 63, 64, 65 und 66 werden N-mal wiederholt, bis das DUT den Feststellungsschritt 66 besteht. Die Anzahl N ist eine positive ganze Zahl und bedeutet die Anzahl an Testzyklen, die für das zugehörige Los durchgeführt wird. Diese Anzahl ist durch das Testprogramm festgelegt und kann abhängig vom Typ der zu testenden IC-Bauelemente, von den zu verwendenden Testeinheiten und von Testpunkten variieren.

Wenn das jeweilige DUT den Schritt 66 nicht passiert und die Sequenz zum Neutestschritt übergeht, wird die Startzeit des Neutests extrahiert (Schritt 70), und es beginnt dann ein Neutestzyklus (Schritt 71). Das Wiederholen des Extrahierens der Neutestzyklus-Startzeit (Schritt 72), des Extrahierens der Neutest-Abschlusszeit (Schritt 73), der Feststel­ lung der Anzahl an Neutestzyklen M (Schritt 74) und des Erhöhens der Neutest-Zykluszahl (Schritt 75) ist analog zum oben erläuterten Vorgang für die erste Testprozedur. Die Anzahl M wird in gleicher Weise wie die Anzahl N festgelegt und bestimmt.

Wenn die Bedingung "Testzyklus = N" und/oder "Neutestzyklus = M" erfüllt ist, geht die Sequenz zum Lostest-Abschlußschritt 76 über und extra­ hiert und speichert den Abschlusszeitpunkt (Schritte 77 und 78).

Die Rohdatenerzeugung kann durch Modifizieren bestehender Testpro­ gramme unter Beachtung des in den Testeinheiten implementierten Be­ triebssystems realisiert werden. Beispielsweise können für ein Testsys­ tem für Halbleiterbauelemente, wie es von der Firma Advantest erhält­ lich ist, Testprogramme dahingehend modifiziert werden, dass sie die nachfolgenden Unterprogramme zur Erzeugung von Rohdaten beinhal­ ten. Die nachfolgenden Unterprogramme können in der ATL("Advanced Test Language")-Programmiersprache implementiert sein.

Fig. 4 zeigt im Flussdiagramm einen Testprozess ausgedrückt durch die Betriebszustände einer Testeinheit und einer Handhabungseinheit, wo­ bei für die der Fig. 3 entsprechenden Schritte dieselben Bezugszeichen verwendet sind.

Wenn ein Lostest für eine vorangegangene Sequenz abgeschlossen ist (Schritt 79), wird das Los gewechselt, und ein neuer Lostest wird für das neue Los gestartet (Schritt 60). Dementsprechend wird die Zeitdauer zwischen Schritt 79 und Schritt 60 als Loswechseldauer bezeichnet. Das Starten eines Lostests entspricht einem Startschritt 84 der Handha­ bungseinheit. Der Hauptzweck des Handhabungssystems besteht darin, die im Test befindlichen Bauelemente vom Trägerkorb in den Testkorb zu bewegen (Schritt 85) und die DUT zu einer Heiz/Kühl-Kammer zu be­ fördern, um deren Temperatur für einen Aufheiz- oder Kühltest zu steu­ ern (Schritt 86). Im allgemeinen wird in einem Heizschritt die Temperatur der DUT auf etwa 83°C angehoben, während im Kühltest die Tempera­ tur der DUT auf minus 5°C gesetzt wird. Die Zeitdauer zum Aufheizen bzw. Kühlen der Bauelemente wird als Einwirkzeit bezeichnet. Die be­ heizten oder gekühlten DUT werden in einen Testkopf geladen, wo das Testsystem und die DUT elektrisch miteinander verbunden werden.

Nach diesem Ladevorgang wird ein Ladeabschlusssignal an die Test­ einheit gesandt, wodurch ein Testprogramm gestartet wird (Schritt 80), um einen Testzyklus zu beginnen (Schritt 62). Die DUT werden allen Testpunkten unterzogen, wonach der momentane Testzyklus abge­ schlossen ist (Schritt 64). Während des Testzyklus arbeitet ein Kalib­ riermodul, wenn erforderlich, und die Start- und Endbetriebszeit des Mo­ duls werden extrahiert (Schritte 81 und 82).

Der Betrieb des Kalibriermoduls bedeutet, dass ein Kalibrierprogramm läuft. Beispielsweise kann das Kalibrierprogramm ausgeführt werden, wenn die DUT gewechselt werden, die Temperatur der Testeinheit von einem Standardbereich abweicht, die Zeitsteuerung eines Testpro­ gramms geändert wird oder globale Parameter des Testprogramms ge­ ändert werden.

Die Zeitdauer zwischen dem Testzyklus-Startschritt 62 und dem Test­ zyklus-Abschlussschritt 64 wird als Testzeitdaten extrahiert. Die Kalib­ rierzeitdaten können durch die Dauer zwischen dem Kalibriermodul- Startschritt 81 und dem Kalibriermodul-Abschlussschritt 82 erhalten werden.

Wenn der Testzyklus abgeschlossen ist, beginnt ein neuer Testzyklus, oder die Sequenz geht zum ersten Testabschlussschritt 83, abhängig von der Anzahl an durchgeführten Testzyklen. Die Zeitdauer zwischen dem Abschlussschritt 83 für den ersten Test und dem Lostest-Ab­ schlussschritt 76 wird als Neutest-Zeitdaten generiert.

Andererseits wird bei Abschluss des Testzyklus ein Abschlusssignal an die Handhabungseinheit gesendet, welche die getesteten IC-Bauele­ mente abhängig von deren Testergebnissen in BIN-Kategorien physika­ lisch sortiert. Die Zeitdauer zwischen dem DUT-Ladeschritt 87 und dem BIN-Sortierschritt 88 wird als lndexzeitdaten gespeichert. Wenn der La­ detest beendet ist, entlädt die Handhabungseinheit die in die BIN- Kategorien sortierten IC-Bauelemente in den Korb (Schritt 89). Während des Tests werden Stauzeitdaten extrahiert, wenn es temporäre Proble­ me mit dem Testaufbau gibt. Die Stauzeit bezieht sich auf einen tempo­ rären oder vorübergehenden Ausfall des Aufbaus, der durch eine einfa­ che Behandlung repariert werden kann.

Fig. 5 veranschaulicht einen Prozess zum Extrahieren von Zeitdaten. Dieser Zeitdaten-Extraktionsprozess folgt einer Logik zur Berechnung von Zeitdaten durch Gliedern der Prozeduren zum Testen eines Loses in einem einzelnen Testsystem.

Wie in Fig. 5 angegeben, werden die Ladezeitdaten vom Zeitpunkt, zu dem eine Handhabungseinheit ihren Betrieb startet, bis zum Zeitpunkt berechnet, wenn der erste Testzyklus startet. Die Kalibrierzeit bedeutet die Summe von Zeitwerten, die durch bestimmte Testzeitwerte erhalten werden, welche um einen konstanten Wert C1 größer als eine mittlere Testdauer sind, abzüglich der durchschnittlichen Testdauer. Wie zuvor erläutert, ist der theoretische Wert der Kalibrierzeit eine Betriebszeit ei­ nes Kalibriermoduls, d. h. die Differenz zwischen dem End- und An­ fangszeitpunkt des Kalibrierprogramms. Wenn jedoch der Kalibrierwert die Start- und Endzeitpunkte nicht erzeugen kann, kann ein Näherungs­ wert für die Kalibrierzeit dadurch berechnet werden, dass zuerst Be­ triebszeiten gewonnen werden, die um einen vorgegebenen Wert länger als eine durchschnittliche CPU-Betriebszeit sind, welche durch die Diffe­ renz zwischen dem End- und Anfangszeitpunkt eines Testzyklus defi­ niert ist, wobei dann von den erhaltenen größeren Werten die durch­ schnittliche Zeitdauer abgezogen wird. Die Konstante C1 wird hierbei empirisch oder statistisch ermittelt und hat in diesem Beispiel den Wert "2".

Die Stauzeitdaten werden aus Indexzeiten ausgewählt, die gleich oder größer als eine Konstante C2 und gleich oder kleiner als eine Konstante C3 sind. In einer möglichen Realisierung beträgt die Konstante C2 60 Sekunden und die Konstante C3 5 Minuten. Diese Werte werden empi­ risch oder statistisch festgelegt. Eine Indexzeit größer als C3, wie z. B. 5 Minuten, kann als Ausfallzeitdaten klassifiziert und gespeichert werden. In diesem Beispiel bezieht sich die Ausfallzeit auf einen längerfristigen Ausfall, der nicht durch eine einfache Behandlung repariert werden kann und durch ein mechanisches Problem einer Testeinheit oder einer Hand­ habungseinheit verursacht ist. Die Stauzeitdaten können beispielsweise auftreten, wenn die IC-Bauelemente während eines Transfers durch die Handhabungseinheit auf den Boden fallen oder sich die IC-Bauelemente im Testaufbau verfangen. Der längerfristige Ausfall kann z. B. auftreten, wenn der Aufbau wegen dem nahenden Ende der Lebensdauer von Komponenten desselben nicht ordnungsgemäß arbeitet oder wenn Be­ dienpersonen den Aufbau falsch handhaben.

Die Neutest-Zeitdaten werden generiert, um den Zeitraum zwischen dem Abschlusszeitpunkt eines Testzyklus und dem Startzeitpunkt eines Neutestzyklus zu repräsentieren. Die Entladezeitdaten bezeichnen die Zeit, zu welcher der Lostest abgeschlossen ist, nachdem der letzte Testzyklus beendet ist. Die Wechselzeitdaten werden als Zeitpunkt er­ halten, zu dem das aktuelle Los startet, nachdem der Test des vorher­ gehenden Loses beendet ist. Sockel-aus-Zeitdaten bezeichnen einen konvertierten Zeitwert für einen Verlust, der sich ergibt, wenn Sockel in einer Testplatine eines Testkopfes während eines parallelen Tests aus­ fallen. Wenn beispielsweise angenommen 64 Sockel in einer einzelnen Testplatine vorhanden sind und zum Testen mit einer Testplatine 64 Mi­ nuten benötigt werden, dauert das Testen eines IC-Bauelements im Test eine Minute. Wenn sechs der 64 Sockel den Sockel-aus-Ausfall zeigen, erfolgt der Test mit 58 Sockeln. Selbst in diesem Fall ändert sich jedoch die Testdauer nicht, sondern beträgt 64 Minuten. Dementsprechend er­ höht sich die Testdauer für ein IC-Bauelement im Test auf eine Minute und 6 Sekunden. Dieser Überschuss von 6 Sekunden stellt eine Art von Verlust dar.

Die Verlustfaktordaten, wie sie vorstehend erläutert wurden, umfassen Ladezeitdaten, Kalibrierzeitdaten, Stauzeitdaten, Ausfallzeitdaten, Neu­ test-Zeitdaten, Entladezeitdaten, Wechselzeitdaten und Sockel-aus-Zeit­ daten und stellen Testprozess-Verlustdaten dar. Diese Zeitdaten sind jedoch nicht auf die oben erwähnten beschränkt, vielmehr versteht es sich für den Fachmann, dass die Verlustzeitdaten abhängig vom Test­ system und den zu testenden IC-Bauelementen variieren können.

Daten über die Testdauer pro Zyklus werden durch Addieren der CPU- Betriebszeit einer Testeinheit in jedem Testzyklus erzeugt, und Index­ zeitdaten werden durch Subtrahieren des Endzeitpunktes des n-ten Zyklus vom Anfangszeitpunkt des (n+1)-ten Zyklus generiert.

Fig. 6 veranschaulicht im Blockdiagramm ein System zum automati­ schen Analysieren und Handhaben von Verlustfaktoren in einer erfin­ dungsgemäßen Realisierung. In diesem System beinhaltet eine Test­ einheit 12 ein Datenerzeugungsprogramm 82, einen Datenspeicher 85 und eine Schnittstelle 86. Das Datenerzeugungsprogramm 82 produziert Rohdaten, berechnet aus den Rohdaten die Daten über die mittlere Testdauer, die Kalibrierzeit und die Indexzeit für jeden Testzyklus und speichert in Form eines Dokuments die berechneten Daten im Daten­ speicher 85. Die Testeinheit 12 transferiert das gespeicherte Datendo­ kument zu einem Server 22 über die Schnittstelle 86 und ein Daten­ netzwerk, z. B. das Netzwerk 26 von Fig. 1.

Der Server 22 umfasst ein Verlustdaten-Berechnungsprogramm 90 so­ wie eine erste Tabelle 93 und eine zweite Tabelle 95. Von den Daten, die von der Testeinheit 12 kommen, werden die Daten über die durch­ schnittliche Testzeit und über die durchschnittliche Indexzeit in der ers­ ten Tabelle 93 gespeichert, während die Indexzeitdaten für jeden Test­ zyklus in der zweiten Tabelle 95 gespeichert werden. Wenn Daten in die zweite Tabelle 95 eingegeben werden, läuft das Verlustdaten-Berech­ nungsprogramm 90 und berechnet die Verlustfaktordaten, wie oben er­ läutert. Die berechneten Daten werden in der zweiten Tabelle 95 neu gespeichert und aktualisieren dann die Verlustzeitdaten. Die erste und die zweite Tabelle 93, 95 können in einer Datenbank enthalten sein, z. B. der Datenbank 25 von Fig. 1.

Ein Endgerät-Rechner 32 beinhaltet ein Datenanalysewerkzeug 96, eine Benutzerschnittstelle 98 und eine Anzeige 99. Das Werkzeug 96 analy­ siert Daten hinsichtlich einer Standardtestzeit, einem Betriebsanteil des Aufbaus, einem Verlustzeitindikator, einem Verlustanteil und der Ursa­ che von Verlusten und zeigt das Ergebnis über die Benutzerschnittstelle 98 an der Anzeige 99 an. Die Erfindung eignet sich für ein produktions­ orientiertes Testschema, das auf maximalen Durchsatz ausgelegt ist, d. h. für eine maximale Anzahl an innerhalb eines gegebenen Zeitfens­ ters zu testenden IC-Bauelementen, da verschiedene Daten basierend auf einer erhöhten Anzahl von Testeinheiten und IC-Bauelementen durch das Datenanalysewerkzeug 96 analysiert werden, was eine integ­ rierte und vollständige Verarbeitung der Testdaten möglich macht.

Fig. 7 veranschaulicht ein exemplarisches Aussehen einer Benutzer­ schnittstelle, die zur Verwendung bei der Analyse und Handhabung von Verlustfaktoren im IC-Testprozess geeignet ist. Die in Fig. 7 wiederge­ gebene Benutzerschnittstelle dient zum Analysieren der Aufbaubetriebs­ zeit, die entweder basierend auf Test- und Handhabungseinheiten oder basierend auf Produkten, Datumsangaben, Prozessen, Losgrößen usw. angezeigt werden kann. Benutzer können auf Zeitdaten, verschiedene Verlustzeiten, einen Ausführungsanteil, einen Sockel-aus-Anteil und die Ausbeute Bezug nehmen. Außerdem kann auf Betriebsstunden des Aufbaus entweder bezüglich des gesamten Testprozesses oder des je­ weiligen Testschrittes Bezug genommen werden. Wenn eine Filterfunk­ tion verwendet wird, kann ein fehlerbehafteter Aufbau mit extrem niedri­ gem Ausführungsanteil leicht und rasch detektiert werden, so dass die Ursache des Problems entsprechend leicht und rasch analysiert werden kann.

In Fig. 7 repräsentieren Verlustcodes und ein grafisches Diagramm je­ den Verlustfaktor als einen Prozentsatz und identifizieren ihn durch sei­ ne eigene Farbe. Daher ist es für Systemnutzer leicht, eine Hauptursa­ che des Verlustes zu detektieren. Als Beispiel tritt ein Zeitverlust beim Neutest in Höhe von 10,0% der gesamten Verlustfaktoren auf, was 69,6% der Testdauer beinhaltet, wenn ein Los mit Nummer "9YA152BA" getestet wird.

Fig. 8 veranschaulicht exemplarisch eine Benutzerschnittstelle mit einer die Indexzeit analysierenden Bildschirmdarstellung. Die Analyse der In­ dexzeit kann basierend auf Handhabungseinheiten oder Testeinheiten vorgenommen werden. Systemnutzer können auf detaillierte Daten für jedes Testlos Bezug nehmen. Die Indexzeit wird in Form eines minima­ len, eines maximalen und eines durchschnittlichen Wertes angezeigt, wobei die Werte verglichen und analysiert werden können. Im gezeigten Beispiel kann, da die durchschnittliche Indexzeit für jede von einer An­ zahl von Handhabungseinheiten durch ein Balkendiagramm repräsen­ tiert wird, die Differenz zwischen der Indexzeit der verschiedenen Hand­ habungseinheiten auf einen Blick erkannt werden. Wenn Systemnutzer eine spezifische Handhabungseinheit anklicken und auswählen, werden diejenigen Testeinheiten, die diese Handhabungseinheit benutzen, auf­ gelistet, so dass die Schwankung der Indexzeit für jede der Testeinhei­ ten betrachtet werden kann. Außerdem werden detaillierte Losdaten, die von jeder Testeinheit und Handhabungseinheit erzeugt werden, durch Anklicken und Auswählen einer spezifischen Handhabungseinheit oder Testeinheit angezeigt.

Fig. 9 veranschaulicht eine exemplarische Benutzerschnittstelle zur Dar­ stellung einer Bildschirmansicht zum Analysieren der Standardzeit. Die Bildschirmdarstellung zur Standardzeitanalyse unterstützt Systemnutzer darin, die Testzeit, die Indexzeit und die Zeitdauer pro Bauelement ba­ sierend auf Produkten, Versionen, Test- und Handhabungseinheiten zu analysieren und abzufragen. Bei der Auswahl der Testzeit können Sys­ temnutzer zwischen den beiden Möglichkeiten wählen, die Kalibrierzeit mit einzuschließen oder wegzulassen. Selbst wenn die Systemnutzer das genaue IC-Produkt nicht kennen, können sie auf gewünschte Daten dadurch Bezug nehmen, dass ein Produkttyp, wie 64M DRAM, 128M DRAM etc., eine Version und eine Konfiguration, z. B. X4 oder X8, aus­ gewählt werden. Wenn beispielsweise ein 16-Paralleltest unter Verwen­ dung einer T5365-Testeinheit und einer MR5500-Handhabungseinheit durchgeführt wird, beträgt die Standardtestzeit 35 Sekunden und die Standardindexzeit 2 Sekunden.

Claims (24)

1. System zum automatischen Analysieren und Verarbeiten von Ver­ lustfaktordaten, die in einem Testprozess auftreten, bei dem mehrere IC-Halbleiterbauelemente als Los mit einer Anzahl von Testeinheiten (12) getestet werden, wobei das Los eine vorgegebene Anzahl gleicher IC-Bauelemente beinhaltet und der Lostestprozess sequentiell mit einer Mehrzahl von Testzyklen durchgeführt wird, gekennzeichnet durch folgende Systemkomponenten:

• - Mittel (12) zum Verifizieren von Testergebnissen für jeden Testzyk­ lus und zur Feststellung, ob ein Neutest auszuführen ist,
• - Lade-/Entlademittel (15) zum Laden von zu testenden IC-Bauele­ menten, die im Los enthalten sind, in einen Testkopf und zum Entladen getesteter IC-Bauelemente aus dem Testkopf unter Sortieren der getes­ teten IC-Bauelemente in Abhängigkeit von den Testergebnissen,
• - Rohdatenerzeugungsmittel (12) zur Erzeugung von Rohdaten auf der Basis von Zeitdaten, die bei der Durchführung des Testprozesses auftreten,
• - Datenberechnungsmittel (22) zur Berechnung von Testzeitdaten, auf den Rohdaten basierenden Indexzeitdaten und Verlustzeitdaten,
• - Datenspeichermittel (25) zur Speicherung der Rohdaten und be­ rechneten Daten und
• - Datenanalyse- und Datenausgabemittel zum Analysieren der Roh­ daten und der berechneten Daten entsprechend den Losen, den mehre­ ren Testeinheiten (12) und den Lade-/Entlademitteln (15) und zum Ab­ geben der analysierten Ausgabedaten über eine Benutzerschnittstelle (98).

2. System zum automatischen Analysieren und Verarbeiten von Ver­ lustfaktordaten, die in einem Testprozess auftreten, bei dem mehrere IC-Halbleiterbauelemente als Los mit einer Anzahl von Testeinheiten (12) getestet werden, wobei das Los eine vorgegebene Anzahl gleicher IC-Bauelemente beinhaltet und der Lostestprozess sequentiell mit einer Mehrzahl von Testzyklen durchgeführt wird, gekennzeichnet durch folgende Systemkomponenten:

• - eine Mehrzahl von Testsystemen (10) mit jeweils mehreren Test­ einheiten (12), die durch ein zugewiesenes Testprogramm betrieben werden, und Lade-/Entlademitteln (15) zum Laden von zu testenden IC- Bauelementen in die jeweilige Testeinheit und zum Entladen und Sortie­ ren der getesteten IC-Bauelemente in Abhängigkeit von Testergebnis­ sen,
• - ein Server-System (20) mit Datenspeichermitteln (25) zum integra­ len Verarbeiten von Zeitdaten, die durch die Testsysteme in Abhängig­ keit von den mehreren Losen und Testzyklen erzeugt werden, und zum Speichern der verarbeiteten Zeitdaten und
• - Endgerät-Systeme (32), die elektrisch mit dem Server-System ver­ bunden sind und jeweils eine Benutzerschnittstelle zur Benutzerkommu­ nikation aufweisen,
• - wobei die Testeinheiten (12) und/oder das Server-System (20) Roh­ datenerzeugungsmittel zur Erzeugung von Rohdaten auf der Basis der während des Testprozesses auftretenden Zeitdaten sowie Datenbe­ rechnungsmittel zur Berechnung von Testzeitdaten, Indexzeitdaten und Verlustzeitdaten basierend auf den Rohdaten umfassen.

3. System nach Anspruch 1 oder 2, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige Testeinheit einen Zentralprozessor aufweist, der in Abhängigkeit von Instruktionen eines Testprogramms betrieben wird, wobei die Erzeugung der Rohdaten Ausgangsdaten des Testprogramms umfasst.

4. System nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekenn­ zeichnet, dass die jeweilige Testeinheit einen Zentralprozessor aufweist, der in Abhängigkeit von Instruktionen eines Testprogramms betrieben wird, wobei für jeden Testzyklus die Testzeitdaten der Betriebszeit des Zentralprozessors entsprechen.

5. System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, weiter dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Indexzeitdaten aus der Differenz zwischen einem Startzeitpunkt eines (n+1)-ten Testzyklus und dem Endzeitpunkt eines n- ten Testzyklus erhalten werden.

6. System nach Anspruch 5, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Indexzeitdaten eine Indexzeit der Lade-/Entlademittel bezeichnen.

7. System nach einem der Ansprüche 1 bis 6, weiter dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Datenspeichermittel eine erste Tabelle (93) zum Speichern von Testzeitdaten und Indexzeitdaten für jedes Los und eine zweite Tabelle (95) zum Speichern von Testzeitdaten und Indexzeitda­ ten für jeden Testzyklus eines jeweiligen Loses umfassen.

8. System nach Anspruch 7, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Tabelle (95) kontinuierlich gemäß einem Anwachsen der Anzahl an Testzyklen aktualisiert wird.

9. System nach einem der Ansprüche 1 bis 8, weiter dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Verlustzeitdaten Ladezeitdaten, Speicherzeitdaten, Neutestzeitdaten, Entladezeitdaten und Wechselzeitdaten umfassen.

10. System nach Anspruch 9, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Ladezeitdaten aus der Differenz zwischen dem Betriebsbeginn der La­ de-/Entlademittel und dem Startzeitpunkt eines ersten Testzyklus erhal­ ten werden.

11. System nach Anspruch 9 oder 10, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Stauzeitdaten aus einer Indexzeit berechnet werden, die größer als eine erste Konstante (C1) und kleiner als eine zweite Konstante (C2) ist, wobei die erste und die zweite Konstante empirisch bestimmt wer­ den.

12. System nach einem der Ansprüche 9 bis 11, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Neutestzeitdaten aus der Differenz zwischen ei­ nem Startzeitpunkt jedes Neutestzyklus und einem Endzeitpunkt jedes Testzyklus bestimmt werden.

13. System nach einem der Ansprüche 9 bis 12, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Entladezeitdaten aus der Differenz zwischen ei­ nem Endzeitpunkt eines letzten der mehreren Testzyklen eines jeweili­ gen Loses und dem Endzeitpunkt des Tests für dieses Los ermittelt werden.

14. System nach einem der Ansprüche 9 bis 13, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Wechselzeitdaten für jeden Testzyklus aus der Differenz zwischen dem Endzeitpunkt eines (n-1)-ten Textzyklus und dem Startzeitpunkt eines n-ten Testzyklus erhalten werden.

15. System nach einem der Ansprüche 9 bis 14, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Verlustzeitdaten Kalibrierzeitdaten umfassen, die einer Summe von Zeitwerten entsprechen, welche durch bestimmte Testzeitwerte, die um eine dritte Konstante (C3) größer als eine mittlere Testzeit sind, abzüglich der mittleren Testzeit erhalten werden.

16. System nach einem der Ansprüche 9 bis 15, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Verlustzeitdaten Ausfallzeitdaten umfassen, die durch eine Indexzeit größer als eine vierte Konstante erhalten werden.

17. System nach einem der Ansprüche 9 bis 16, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Verlustzeitdaten Sockel-aus-Zeitdaten umfas­ sen, die einen konvertierten Zeitwert eines Verlustes bezeichnen, der auftritt, wenn Sockel in einer Testplatine eines Testkopfes während ei­ nes Paralleltests ausfallen.

18. System nach einem der Ansprüche 1 bis 17, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Benutzerschnittstelle eine Bildschirmdarstellung bereitstellt, die in der Lage ist, eine Aufbaubetriebszeit basierend auf den Testeinheiten, Handhabungseinheiten, zu testenden IC-Bauelemen­ ten, Datumsangaben, Prozessen und Losgrößen anzuzeigen und auf die Testzeitdaten, die Verlustzeitdaten, einen Durchführungsanteil, einen Sockel-aus-Anteil, eine Ausbeute und auf Aufbaubetriebszeitdaten für den Testprozess Bezug zu nehmen.

19. System nach einem der Ansprüche 1 bis 18, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Benutzerschnittstelle eine Bildschirmschnittstelle zum Anzeigen eines minimalen, eines maximalen und eines durch­ schnittlichen Wertes der Indexzeitdaten für jedes Testlos und zum An­ geben von Schwankungen der Indexzeitdaten in Abhängigkeit von den Handhabungseinheiten bereitstellt.

20. Verfahren zum automatischen Analysieren und Verarbeiten von Verlustfaktordaten, die in einem Testprozess auftreten, bei dem mehrere IC-Halbleiterbauelemente als Los mit einer Anzahl von Testeinheiten getestet werden, wobei das Los eine vorgegebene Anzahl gleicher IC- Bauelemente umfasst und der Lostestprozess sequentiell mit mehreren Testzyklen durchgeführt wird, gekennzeichnet durch die Schrittfolge:

• - Erzeugen von Rohdaten für jeden der mehreren Testzyklen in Echt­ zeit mit fortschreitendem Testprozess,
• - Erzeugen von Testzeitdaten und Indexzeitdaten für jeden Testzyk­ lus auf der Basis der erzeugten Rohdaten,
• - Berechnen von Verlustzeitdaten auf der Basis der Rohdaten, der Testzeitdaten und der Indexzeitdaten,
• - Erzeugen und Speichern von Testprozessdaten auf der Basis von Daten, die im Verlustzeitdaten-Berechnungsschritt erhalten werden, und
• - Analysieren der Testprozessdaten und Abgeben eines Analyseer­ gebnisses an eine Benutzerschnittstelle.

21. Verfahren nach Anspruch 20, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Erzeugung der Rohdaten folgende Schritte umfasst:

• - Extrahieren von Startzeitdaten einer Testeinheit,
• - Extrahieren des Start- und des Endzeitpunkts eines Testzyklus,
• - Feststellen, ob ein Neutest erforderlich ist, indem ein Testergebnis bestätigt wird, wenn ein Testzyklus abgeschlossen ist,
• - Feststellen, ob der Testprozess fortgesetzt wird oder zum Schritt des Extrahierens von Startzeitdaten einer Testeinheit zurückgekehrt wird, basierend auf einer Anzahl durchgeführter Testzyklen,
• - Starten des Neutests, wenn festgestellt wurde, dass der Neutest erforderlich ist, und
• - Extrahieren letzter Abschlusszeitdaten, wenn ein letzter Testzyklus beendet ist.

22. Verfahren nach Anspruch 21, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die in den Schritten des Extrahierens der Startzeitdaten einer Testeinheit und des Extrahierens des Startzeitpunktes und Endzeitpunktes eines Testzyklus erhaltenen Zeitdaten als Ausgangsdaten eines Testpro­ gramms zur Steuerung des Betriebs der Testeinheiten erzeugt werden.

23. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass im Schritt zur Berechnung von Verlustzeitdaten La­ dezeitdaten, Stauzeitdaten, Neutestzeitdaten, Endladezeitdaten und Wechselzeitdaten erzeugt werden.

24. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, weiter dadurch ge­ kennzeichnet, dass im Schritt zur Berechnung von Verlustzeitdaten Ka­ librierzeitdaten, Ausfallzeitdaten und Sockel-aus-Zeitdaten erzeugt wer­ den.