DE102021213222A1 - Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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DE102021213222A1
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cutting blade
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Takafumi Omori
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Abstract

Eine Steuerungseinheit einer Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet einen Anomalie-Erfassungsabschnitt, der eingerichtet ist, bei der Bearbeitungsvorrichtung eine Anomalie zu erfassen, einen Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt, der eingerichtet ist, eine Schneidbearbeitung durch eine Schneideinheit zu unterbrechen, wenn eine Anomalie erfasst wird, und einen Datensammelabschnitt, der eingerichtet ist, mit der Bearbeitungsvorrichtung zusammenhängende Daten zu sammeln, und zwar während eines Bereitschaftszeitraums zwischen der Unterbrechung der Bearbeitung und eines Ausführens eines Vorgangs zum Beheben der Anomalie durch einen Bediener.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung, die ein Werkstück bearbeitet.
  • BESCHREIBUNG DES IN BEZIEHUNG STEHENDEN STANDS DER TECHNIK
  • Vielfältige Bearbeitungsvorrichtungen, wie zum Beispiel Schneidvorrichtungen, sind üblicherweise verwendet worden, um Wafer, wie zum Beispiel einen Halbleiterwafer, in einzelne Bauelementchips zu teilen (siehe zum Beispiel das offengelegte japanische Patent Nr. 2008-4807 ).
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Eine in dem offengelegten japanischen Patent Nr. 2008 - 4807 beschriebene Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet eine Beschreibung zum Hinweisen eines Bedieners auf einen Fehler, der Arbeit durch einen Bediener erfordert, indem ein Alarm ertönt, wenn der Fehler aufgetreten ist. An einem Herstellungsstandort kann es jedoch sein, dass der Bediener mehrere Bearbeitungsvorrichtungen verwaltet und nicht imstande sein, einen Vorgang zur Behebung des Fehlers auszuführen, um den Bearbeitungsvorgang wiederaufzunehmen. Dann wartet die Bearbeitungsvorrichtung lediglich in einem Zustand, in dem die Bearbeitung unterbrochen ist. Folglich gibt es Spielraum für die Ausnutzung eines Bereitschaftszeitraums.
  • Es ist dementsprechend eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die einen Zeitraum effektiv nutzen kann, während dem die Bearbeitungsvorrichtung stillsteht.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die einen Haltetisch mit einer Haltefläche, die eingerichtet ist, ein Werkstück zu halten, eine Bearbeitungseinheit, die eingerichtet ist, das an dem Haltetisch gehaltene Werkstück zu bearbeiten, eine Bearbeitungsvorschubeinheit, die eingerichtet ist, den Haltetisch relativ zu der Bearbeitungseinheit zu bewegen, eine Bildgebungseinheit, die eingerichtet ist, das an dem Haltetisch gehaltene Werkstück abzubilden, und eine Steuerungseinheit beinhaltet, wobei die Steuerungseinheit einen Anomalie-Erfassungsabschnitt, der eingerichtet ist, eine Anomalie bei der Bearbeitungsvorrichtung zu erfassen, einen Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt, der eingerichtet ist, eine Bearbeitung durch die Bearbeitungseinheit zu unterbrechen, wenn eine Anomalie erfasst wird, und einen Datensammelabschnitt beinhaltet, der eingerichtet ist, während eines Bereitschaftszeitraums zwischen einer Unterbrechung der Bearbeitung und einem Ausführen eines Vorgangs zum Beheben der Anomalie durch einen Bediener mit der Bearbeitungsvorrichtung zusammenhängende Daten zu sammeln.
  • Vorzugsweise beinhaltet die Steuerungseinheit ferner einen Datenanalyseabschnitt, der eingerichtet ist, die durch den Datensammelabschnitt gesammelten Daten zu analysieren. Vorzugsweise überprüft der Anomalie-Erfassungsabschnitt eine Qualität einer bearbeiteten Nut durch ein Bild der bearbeiteten Nut, das durch die Bildgebungseinheit aufgenommen worden ist.
  • Vorzugsweise beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung ferner mehrere Transporteinheiten, die eingerichtet sind, das Werkstück in der Bearbeitungsvorrichtung zu transportieren, und der Anomalie-Erfassungsabschnitt überprüft eine Anomalie beim Transport durch die Transporteinheiten. Vorzugsweise nimmt der Datensammelabschnitt Bilder von bearbeiteten Nuten in mehreren Bereichen auf, indem er die Bildgebungseinheit ansteuert, und sammelt Bilder mehrerer bearbeiteter Nuten als Daten.
  • Vorzugsweise beinhaltet die Bearbeitungseinheit eine Schneidklinge, die an einem distalen Ende einer Spindel befestigt und eingerichtet ist, eine bearbeitete Nut in dem Werkstück auszubilden, und einen Motor, der eingerichtet ist, die Spindel zu drehen, wobei die Bearbeitungsvorrichtung ferner eine Durchmessererfassungseinheit, die eingerichtet ist, einen Durchmesser der Schneidklinge zu erfassen, beinhaltet und der Datensammelabschnitt den Durchmesser der Schneidklinge durch die Durchmessererfassungseinheit erfasst.
  • Die vorliegende Erfindung ruft den Effekt hervor, imstande zu sein, einen Zeitraum effektiv zu nutzen, während dem die Bearbeitungsvorrichtung stillsteht.
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung, sowie die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel eines Aufbaus einer Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform darstellt;
    • 2 ist eine Seitenansicht, die Ausführungen einer Schneideinheit und eines Haltetischs der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung teilweise im Schnitt darstellt;
    • 3 ist eine perspektivische Ansicht von Hauptteilen der in 2 veranschaulichten Schneideinheit;
    • 4 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführung einer Durchmessererfassungseinheit der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung schematisch darstellt;
    • 5 ist eine Draufsicht, die ein Werkstück schematisch darstellt, das durch die in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung einer Schneidbearbeitung unterzogen wird;
    • 6 ist ein Schaubild, das ein Beispiel eines Bilds darstellt, das durch Abbilden eines Teils des Werkstücks zum Zeitpunkt eines Ausführens einer Schnittnutüberprüfung während der Schneidbearbeitung durch die in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung aufgenommen worden ist;
    • 7 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Waferposition darstellt, bei der Bilddaten als Daten erhalten werden, die durch einen Datensammelabschnitt der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung gesammelt werden;
    • 8 ist eine Draufsicht, die ein weiteres Beispiel der Waferposition darstellt, bei der die Bilddaten als Daten erhalten werden, die durch den Datensammelabschnitt der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung gesammelt werden;
    • 9 ist ein Schaubild, das ein Beispiel eines Anzeigebildschirms darstellt, der auf einer Anzeigeeinheit angezeigt wird, wenn ein Anomalie-Erfassungsabschnitt einer Steuerungseinheit der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung einen Abplatzungsgrößenfehler erfasst;
    • 10 ist ein Schaubild, das ein Beispiel des Anzeigebildschirms darstellt, der angezeigt wird, wenn ein Rückgewinnbereich oder ein Datenanzeigebereich des in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirms betätigt wird, während die Bilddaten durch den Datensammelabschnitt erhalten werden;
    • 11 ist ein Diagramm, das ein Beispiel des Anzeigebildschirms darstellt, der angezeigt wird, wenn der Datenanzeigebereich des in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirms nach dem Erhalten der Bilddaten durch den Datensammelabschnitt betätigt wird; und
    • 12 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Ausführung einer Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Abwandlung der Ausführungsform darstellt.
  • AUSFÜHRLICHE ERLÄUTERUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Es wird hiernach eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im Detail beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht durch die in der folgenden Ausführungsform beschriebenen Inhalte beschränkt. Zudem schließen die im Folgenden beschriebenen Bestandteile Bestandteile, die auf einfache Weise durch den Fachmann angenommen werden, und im Wesentlichen identische Bestandteile ein. Ferner können im Folgenden beschriebene Ausführungen auf geeignete Weise miteinander kombiniert werden. Zudem können vielfältige Weglassungen, Ersetzungen oder Abwandlungen der Ausführungen ausgeführt werden, ohne den Bereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Eine Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Ausführung der Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform darstellt. 2 ist eine Seitenansicht, die Ausführungen einer Schneideinheit und eines Haltetischs der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung teilweise im Schnitt schematisch darstellt. 3 ist eine perspektivische Ansicht von Hauptteilen der in 2 veranschaulichten Schneideinheit. 4 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführung einer Durchmessererfassungseinheit der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung schematisch darstellt.
  • Eine in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform ist eine Schneidvorrichtung, die eine Schneidbearbeitung (entspricht einer Bearbeitung) an einem Werkstück 200 ausführt. Das durch die in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung zu bearbeitende Werkstück 200 ist ein Halbleiterwafer oder ein Optikbauelementwafer mit einer Scheibenform, der als Substrat Silizium, Galliumarsenid, Siliziumcarbid (SiC), Saphir oder Ähnliches aufweist. Das Werkstück 200 weist mehrere geplante Trennlinien 202 auf, die gitterartig an einer oberen Fläche 201 ausgebildet sind. Ein Bauelement 203 ist in jedem Bereich ausgebildet, der durch die mehreren geplanten Trennlinien 202 abgegrenzt ist. Das Bauelement 203 ist ein integrierter Schaltkreis, wie zum Beispiel ein integrierter Schaltkreis (IC) oder ein LSI-Schaltkreis (großflächige Integration), oder ein Bildsensor, wie zum Beispiel ein Charge Coupled Device Image Sensor (CCD-Bildsensor) oder ein Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor (CMOS-Bildsensor).
  • Zudem kann das Werkstück bei der vorliegenden Erfindung das sein, was im Allgemeinen als TAIKO (Registered Trademark) Wafer bezeichnet wird, dessen mittlerer Abschnitt verdünnt ist und der einen dicken Teil als einen äußeren Umfangsabschnitt des Wafers ausgebildet aufweist. Zudem ist das Werkstück 200 bei der vorliegenden Erfindung nicht auf einen Wafer beschränkt und kann vielfältige Arten von Werkstücken mit einer Plattenform aufweisen, wie zum Beispiel ein rechtwinkliges Harz-Packagesubstrat mit mehreren Bauelementen, die durch Harz, ein keramisches Substrat und ein Glassubstrat versiegelt sind.
  • Bei der Ausführungsform wird das Werkstück 200 in einem Zustand durch einen ringförmigen Rahmen 205 unterstützt, bei dem eine untere Fläche 204 auf der Unterseite der oberen Fläche 201 an einem Haftband 206 befestigt ist, wobei der ringförmige Rahmen 205 an einer äußeren Umfangskante des Haftbands 206 angebracht ist. Das Werkstück 200 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform ist entlang der geplanten Trennlinien 202 in einzelne Chips 207 geteilt. Im Übrigen schließen die Chips 207 jeweils einen Teil des Substrats und ein an dem Substrat ausgebildetes Bauelement 203 ein.
  • (Bearbeitungsvorrichtung)
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 ist eine Schneidvorrichtung, die das Werkstück 200 durch einen Haltetisch 10 hält und das Werkstück 200 entlang der geplanten Trennlinien 202 durch eine Schneidklinge 21 schneidet, um dadurch das Werkstück 200 in einzelne Chips 207 zu teilen. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhaltet den Haltetisch 10 mit einer Haltefläche 11, die das Werkstück 200 unter Saugwirkung hält, einen Unterspanntisch 15, eine Schneideinheit 20, die das an dem Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 durch die Schneidklinge 21 entlang der geplanten Trennlinien 202 schneidet und dadurch mehrere Chips 207 ausbildet, und eine Bildgebungseinheit 30, die das an dem Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 abbildet. Im Übrigen ist der Unterspanntisch 15 nicht wesentlich.
  • Zudem beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1, wie in 2 veranschaulicht, eine Bewegungseinheit 40, die den Haltetisch 10 und eine Spindel 23 der Schneideinheit 20 relativ zueinander bewegt. Die Bewegungseinheit 40 beinhaltet zumindest eine Bearbeitungsvorschubeinheit 41, die den Haltetisch 10 in einer X-Achsenrichtung parallel zu einer horizontalen Richtung für eine Bearbeitung zuführt, eine Anstellungseinheit 42, die die Schneideinheit 20 in einer Y-Achsenrichtung parallel zu der horizontalen Richtung und senkrecht zu der X-Achsenrichtung anstellt, eine Schneidvorschubeinheit 43, welche die Schneideinheit 20 in einer Z-Achsenrichtung parallel zu einer vertikalen Richtung für ein Schneiden zuführt, die senkrecht zu der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung ist, und eine Rotationsbewegungseinheit 44, die den Haltetisch 10 um eine zu der Z-Achsenrichtung parallele Achse dreht.
  • Die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 bewegt den Haltetisch 10 und die Rotationsbewegungseinheit 44 in der X-Achsenrichtung als eine Vorschubrichtung. Die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 bewegt den Haltetisch 10 dadurch relativ zu der Schneideinheit 20 entlang der X-Achsenrichtung. Die Anstellungseinheit 42 bewegt die Schneideinheit 20 in der Y-Achsenrichtung als eine Anstellrichtung. Die Anstellungseinheit 42 bewegt die Schneideinheit 20 und den Haltetisch 10 dadurch relativ zueinander entlang der Y-Achsenrichtung. Die Schneidvorschubeinheit 43 bewegt die Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung als Schneidvorschubrichtung. Die Schneidvorschubeinheit 43 bewegt dadurch die Schneideinheit 20 und den Haltetisch 10 relativ zueinander entlang der Z-Achsenrichtung. Die Rotationsbewegungseinheit 44 wird durch die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 unterstützt, unterstützt den Haltetisch 10 und ist auf so eine Weise angeordnet, dass sie zusammen mit dem Haltetisch 10 in der X-Achsenrichtung bewegbar ist.
  • Die Bearbeitungsvorschubeinheit 41, die Anstellungseinheit 42 und die Schneidvorschubeinheit 43 beinhalten eine bekannte Kugelspindel, die um eine Achse drehbar bereitgestellt ist, einen bekannten Motor, der die Kugelspindel um die Achse dreht, und bekannte Führungsschienen, die den Haltetisch 10 oder die Schneideinheit 20 in der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung oder der Z-Achsenrichtung bewegbar unterstützt.
  • Der Haltetisch 10 ist scheibenförmig. Die Haltefläche 11, die das Werkstück 200 hält, ist aus einer porösen Keramik oder ähnlichem ausgebildet. Zudem ist der Haltetisch 10 auf so eine Weise bereitgestellt, dass er in der X-Achsenrichtung bewegbar ist, indem er in so einer Weise bereitgestellt ist, dass er durch die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 zwischen einem Bearbeitungsbereich unter der Schneideinheit 20 und einem Lade- und Entladebereich bewegbar ist, der von einem unteren Teil der Schneideinheit 20 getrennt ist und in dem das Werkstück 200 geladen und entladen wird. Der Haltetisch 10 ist auf so eine Weise bereitgestellt, dass er durch die Rotationsbewegungseinheit 44 um eine Achse parallel zu der Z-Achsenrichtung drehbar ist. Der Haltetisch 10 ist mit einer nicht veranschaulichten Vakuumsaugquelle verbunden. Der Haltetisch 10 saugt das an der Haltefläche 11 angebrachte Werkstück 200 an und hält dieses, indem es von der Vakuumsaugquelle angesaugt wird. Bei der Ausführungsform saugt der Haltetisch 10 die Seite der unteren Fläche 204 des Werkstücks 200 über das Haftband 206 an und hält dieses. Zudem sind, wie in 1 veranschaulicht, mehrere Klammereinheiten 12 um den Umfang des Haltetischs 10 vorgesehen, welche den ringförmigen Rahmen 205 klammern.
  • Die Schneideinheit 20 ist eine Bearbeitungseinheit, welche die Schneidklinge 21 an der Spindel 23 angebracht aufweist und dadurch das an dem Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 schneidet. Die Schneideinheit 20 ist auf so eine Weise bereitgestellt, dass sie durch die Anstellungseinheit 42 in Bezug auf das an dem Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 in der Y-Achsenrichtung bewegbar ist, und ist auf so eine Weise bereitgestellt, dass sie durch die Schneidvorschubeinheit 43 in Bezug auf das an dem Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 in der Z-Achsenrichtung bewegbar ist. Die Schneideinheit 20 ermöglicht es der Anstellungseinheit 42 und der Schneidvorschubeinheit 43 die Schneidklinge 21 bei einer beliebigen Position der Haltefläche 11 des Haltetischs 10 zu positionieren.
  • Wie in 2 veranschaulicht, beinhaltet die Schneideinheit 20 die Schneidklinge 21, ein Spindelgehäuse 22, das auf so eine Weise bereitgestellt ist, dass es durch die Anstellungseinheit 42 und die Schneidvorschubeinheit 43 in der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung bewegbar ist, die Spindel 23, die dem Spindelgehäuse 22 auf so eine Weise bereitgestellt ist, dass sie um eine Achse drehbar ist, und von der ein Ende an der Schneidklinge 21 angebracht ist, einen Spindelmotor 24 als einen Motor, der die Spindel 23 um die Achse dreht, eine in 3 veranschaulichte Klingenabdeckung 25, wobei die Klingenabdeckung 25 an einer Endfläche des Spindelgehäuses 22 angebracht ist, und eine in 3 veranschaulichte Düse 26, wobei die Düse 26 der Schneidklinge 21 Schneidwasser als Fluid zuführt.
  • Die Schneidklinge 21 ist ein sehr dünner Schneidschleifstein, der im Wesentlichen eine Ringform aufweist. Die Schneidklinge 21 ist an einem distalen Ende der Spindel 23 befestigt. Die Schneidklinge 21 bildet bearbeitete Nuten 208 in dem Werkstück 200 aus (in 5 durch eine doppelt gestrichene Linienkette angedeutet). Bei der Ausführungsform ist die in 2 veranschaulichte Schneidklinge 21 das, was im Allgemeinen als Nabenklinge bezeichnet wird, die eine kreisförmige Basis 211 in Form eines kreisförmigen Rings und eine Schneidkante 212 in der Form eines kreisförmigen Rings, der an einer äußeren Umfangskante der kreisförmigen Basis 211 angeordnet ist und das Werkstück 200 schneidet, einschließt. Die Schneidkante 212 ist mit abrasiven Körnern, wie zum Beispiel Diamant oder kubischen Bornitrid (CBN) und einem Bindematerial (bindendes Material), wie zum Beispiel einem Metall oder Harz, ausgebildet und ist mit einer vorbestimmten Dicke ausgebildet. Die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 wird durch Schneiden des Werkstücks 200 abgenutzt. Bei der vorliegenden Erfindung kann die Schneidklinge 21 im Übrigen das sein, was allgemein als Scheibenklinge bezeichnet wird, die nur die Schneidkante 212 aufweist.
  • Die Spindel 23 weist an einem distalen Ende von dieser angebracht die Schneidklinge 21 auf und wird durch den Spindelmotor 24 um die Achse gedreht. Die Spindel 23 dreht dadurch die Schneidklinge 21. Der Spindelmotor 24 beinhaltet einen Rotor 241, der der Spindel 23 bereitgestellt ist und sich integral mit der Spindel 23 dreht, und einen Stator 242, der auf der Umfangsseite des Rotors 241 und an dem Spindelgehäuse 22 vorgesehen ist und den Rotor 241 dreht, indem er von einer Leistungsquelle 243 mit Leistung versorgt wird. Der Stator 242 dreht den Rotor 241, und dadurch dreht der Spindelmotor 24 die Spindel 23 um die Achse.
  • Die Klingenabdeckung 25 bedeckt zumindest einen oberen Teil der Schneidklinge 21. Die Klingenabdeckung 25 ist an einer Endfläche des Spindelgehäuses 22 befestigt. Wie in 3 veranschaulicht, schließt die Düse 26 eine Duschdüse 261 und ein Paar Klingendüsen 262 ein. Die Düsen 261 und 262 werden von einer Fluidzuführeinheit 27 mit Schneidwasser versorgt. Die Duschdüse 261 ist einem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 in der X-Achsenrichtung zugewandt und führt dem Schnittpunkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 während des Schneidens das Schneidwasser zu. Die Klingendüsen 262 erstrecken sich parallel zu der X-Achsenrichtung und sind in der Y-Achsenrichtung mit einem Abstand voneinander angeordnet. Ein unteres Ende der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 ist zwischen den Klingendüsen 262 positioniert. Die Klingendüsen 262 führen dem unteren Ende der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 während eines Schneidens das Schneidwasser zu. Die Duschdüse 261 und die Klingendüsen 262 der Düse 26 führen das Schneidwasser zu, und dadurch führt die Düse 26 das Schneidwasser über die Schneidklinge 2 einem Bearbeitungspunkt zu, bei dem die Schneidklinge 21 das Werkstück 200 schneidet.
  • Im Übrigen sind die Achsen der Schneidklinge 21 und der Spindel 23 der Schneideinheit 20 parallel zu der Y-Achsenrichtung ausgerichtet.
  • Der Unterspanntisch 15 ist auf so eine Weise bei einer Position neben dem Haltetisch 10 vorgesehen, dass er durch die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 zusammen mit dem Haltetisch 10 in der X-Achsenrichtung bewegbar ist. Der Unterspanntisch 15 hält unter Saugwirkung eine Abrichtplatte 210 an einer Haltefläche. Die Abrichtplatte 210 wird durch die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 geschnitten. Die Abrichtplatte 210 stellt dadurch die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 ein, deren Schneidfähigkeit aufgrund der Belastung oder Abstumpfung abgenommen hat, und entfernt Schnittabfall, der an der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 haftet. Die Abrichtplatte 210 stellt folglich die Schneidfähigkeit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 wieder her. Die Wiederherstellung der Schneidfähigkeit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 durch Schneiden der Abrichtplatte 210 mit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 und dadurch Einstellen der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 wird als Abrichten bezeichnet (auf das auch als Schärfen Bezug genommen wird). Die Abrichtplatte 210 wird im Übrigen durch Befestigen abrasiver Körner mit einem Bindematerial (bindendes Material) erhalten, und bei der Ausführungsform wird die planare Form der Abrichtplatte 210 in Form einer rechtwinkligen flachen Platte ausgebildet. In einem Fall, in dem der Unterspanntisch 15 nicht vorgesehen ist, wird die Abrichtplatte 210 übrigens an dem Haltetisch 10 gehalten, um die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 einzustellen.
  • Die Bildgebungseinheit 30 ist über dem Haltetisch 10 angeordnet, der sich zwischen dem Lade- und Entladebereich und dem Bearbeitungsbereich bewegt. Die Bildgebungseinheit 30 beinhaltet ein Bildgebungselement, das einen zu teilenden Bereich bei dem Werkstück 200 abbildet, der noch nicht geschnitten worden ist und der an dem Haltetisch 10 gehalten wird. Das Bildgebungselement ist zum Beispiel ein CCD-Bildgebungselement oder ein CMOS-Bildgebungselement. Die Bildgebungseinheit 30 erhält ein Bild durch Abbilden des an dem Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 und gibt das erhaltene Bild an eine Steuerungseinheit 100 aus.
  • Zudem schließt die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine nicht veranschaulichte X-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit zum Erfassen der Position des Haltetischs in der X-Achsenrichtung, eine nicht veranschaulichte Y-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit zum Erfassen der Position der Schneideinheit 20 in der Y-Achsenrichtung und eine Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit zum Erfassen der Position der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung ein. Die X-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit und die Y-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit können eine lineare Skala parallel zu der X-Achsenrichtung oder der Y-Achsenrichtung und einen Lesekopf aufweisen. Die Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit erfasst die Position der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung durch Motorimpulse. Die X-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit, die Y-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit und die Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit geben die Position des Haltetischs 10 in der X-Achsenrichtung oder die Position der Achsen in der Y-Achsenrichtung oder der Z-Achsenrichtung der Spindel 23 und der Schneidklinge 21 der Schneideinheit 20 an die Steuerungseinheit 100 aus.
  • Bei der Ausführungsform werden im Übrigen die Position in der X-Achsenrichtung und die Position in der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung des Haltetischs 10 und der Schneideinheit 20 der Bearbeitungsvorrichtung 1 auf der Grundlage einer nicht veranschaulichten vorbestimmten Referenzposition bestimmt. Bei der Ausführungsform werden die Position in der X-Achsenrichtung und die Position in der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung durch Distanzen in der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung von der Referenzposition bestimmt. Zudem ist bei der Ausführungsform die Referenzposition in der Z-Achsenrichtung auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 angeordnet.
  • Zudem beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 einen Kassettenaufzug 50, der mit einer Kassette 51 versehen ist, die mehrere Werkstücke 200 aufnimmt, die einer Schneidbearbeitung unterzogen worden sind oder nicht, und der die Kassette 51 in der Z-Achsenrichtung bewegt, eine Reinigungseinheit 60, die ein Werkstück 200 reinigt, das der Schneidbearbeitung unterzogen worden ist, und eine Transporteinheit 70, welche das Werkstück 200 in die Kassette 51 lädt und aus dieser entlädt und das Werkstück 200 zwischen der Kassette 51, dem Haltetisch 10 und der Reinigungseinheit 60 transportiert.
  • Die Reinigungseinheit 60 beinhaltet einen Schleudertisch 62, der das Werkstück 200 an einer Haltefläche 61 unter Saugwirkung hält und es um eine Achse parallel zu der Z-Achsenrichtung dreht, und eine nicht veranschaulichte Reinigungswasser-Zuführdüse, die dem Werkstück 200, das unter Saugwirkung an dem Schleudertisch 62 gehalten wird, der sich um die Achse dreht, Reinigungswasser zuführt.
  • Die Transporteinheit 70 transportiert das Werkstück 200 in der Bearbeitungsvorrichtung 1. Die Transporteinheit 70 beinhaltet eine Lade- und Entladeeinheit 71, eine erste Transporteinheit 72 und eine zweite Transporteinheit 73. Die Lade- und Entladeeinheit 71 beinhaltet ein Paar temporäre Ablageschienen 74, an denen das Werkstück 200 vorübergehend zu platzieren ist, und eine Ausführ- und Einführeinheit 75, die das Werkstück 200 aus der Kassette 51 entlädt, das noch keiner Schneidbearbeitung unterzogen worden ist, das Werkstück 200 zeitweise auf dem Paar temporärer Ablageschienen 74 platziert und das Werkstück 200 in die Kassette 51 lädt, das der Schneidbearbeitung unterzogen worden ist und das vorübergehend auf dem Paar temporärer Ablageschienen 74 platziert worden ist. Die Ausführ- und Einführeinheit 75 klammert einen Kantenabschnitt des ringförmigen Rahmens 205, der an dem Werkstück 200 angebracht ist, und führt das Werkstück 200 aus der Kassette 51 aus und in diese ein.
  • Die erste Transporteinheit 72 hält das Werkstück 200, das vorübergehend auf dem Paar temporärer Ablageschienen 74 platziert ist, unter Saugwirkung, und transportiert das Werkstück 200 zu dem Haltetisch 10 in dem Lade- und Entladebereich. Zudem transportiert die erste Transporteinheit 72 das Werkstück 200, das gereinigt worden ist und das auf dem Schleudertisch 62 platziert ist, auf das Paar temporärer Ablageschienen 74. Die erste Transporteinheit 72 beinhaltet Saug- und Halteeinheiten 76, die mit einer nicht veranschaulichten Vakuumsaugquelle verbunden sind und von der Vakuumsaugquelle angesaugt werden, um dadurch das Werkstück 200, das vorübergehend auf dem Paar temporärer Ablageschienen 74 platziert ist, und das Werkstück 200 auf dem Schleudertisch 62 unter Saugwirkung zu halten.
  • Die zweite Transporteinheit 73 transportiert das Werkstück 200, das einer Schneidbearbeitung unterzogen worden ist und das an dem Haltetisch 10 in dem Lade- und Entladebereich platziert ist, zu dem Schleudertisch 62 der Reinigungseinheit 60. Die zweite Transporteinheit 73 beinhaltet Saug- und Halteeinheiten 77, die mit einer nicht veranschaulichten Vakuumsaugquelle verbunden sind und von der Vakuumsaugquelle angesaugt werden, um dadurch das Werkstück 200 auf der Haltefläche 11 des Haltetischs 10 in dem Lade- und Entladebereich unter Saugwirkung zu halten.
  • Wie in 2 veranschaulicht, schließt die Bearbeitungsvorrichtung 1 zudem einen Stromwert-Erfassungssensor 80, der den Stromwert der zu dem Stator 242 des Spindelmotors 24 zugeführten Leistung (der Stromwert wird hiernach als Laststromwert beschrieben) erfasst, und einen Schadenserfassungssensor 81 ein. Der Stromwert-Erfassungssensor 80 gibt den erfassten Laststromwert an die Steuerungseinheit 100 aus. Der Laststromwert ist übrigens ein Wert eines Stroms, der durch den Stator 242 des Spindelmotors 24 fließt und dazu neigt, anzusteigen, wenn ein Schneidwiderstand zum Zeitpunkt eines Schneidens des Werkstücks 200 durch einen Anstieg bei der Bearbeitungslast oder ähnlichem aufgrund einer Abstumpfung der Schneidkante 212 während des Schneidens erhöht ist.
  • Der Schadenserfassungssensor 81 misst einen Zustand eines Schadens an dem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 während des Schneidens. Der Schadenserfassungssensor 81 ist dazu da, das Auftreten einer Abplatzung oder ähnlichem, bei dem ein Teil der Außenkante der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 verloren geht, als Schadenszustand des Punkts zu messen.
  • Wie in 3 veranschaulicht, ist der Schadenserfassungssensor 81 mit der Klingenabdeckung 25 versehen. Wie in 2 veranschaulicht, beinhaltet der Schadenserfassungssensor 81 eine Lichtemittiereinheit 811 und eine Lichtempfangseinheit 812, die in der Y-Achsenrichtung der Klingenabdeckung 25 voneinander beabstandet sind und zwischen denen ein oberes Ende der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 positioniert ist.
  • Die Lichtemittiereinheit 811 emittiert gepulstes Licht von einer nicht veranschaulichten Lichtquelle zu der Lichtempfangseinheit 812. Die Lichtempfangseinheit 812 empfängt das von der Lichtemittiereinheit 811 emittierte gepulste Licht und gibt ein Erfassungsergebnis an die Steuerungseinheit 100 aus, das eine Lichtmenge des empfangenen gepulsten Lichts angibt.
  • Wenn eine Abplatzung bei dem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 während des Schneidens auftritt, ist die Lichtmenge des Lichts von der Lichtemittiereinheit 811, die durch die Lichtempfangseinheit 812 empfangen wird, übrigens im Vergleich zu einer Lichtmenge, die vor dem Auftritt der Abplatzung empfangen wird, periodisch erhöht, da sich die Schneidklinge 21 während des Schneidens um die Achse dreht. Zudem ist die Lichtmenge des Lichts von der Lichtemittiereinheit 811, die durch die Lichtempfangseinheit 812 empfangen wird, allmählich erhöht, während der Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 während des Schneidens abgenutzt wird.
  • Folglich empfängt die Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81 das Licht, dessen Lichtmenge sich in Abhängigkeit des Auftretens einer Abplatzung und Abnutzung bei dem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 verändert, und der Schadenserfassungssensor 81 gibt ein Erfassungsergebnis an die Steuerungseinheit 100 aus, das die Lichtmenge des empfangenen Lichts anzeigt. Der Schadenserfassungssensor 81 misst dadurch den Zustand des Schadens, wie zum Beispiel eine Abnutzung und Abplatzung an dem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21, während des Schneidens.
  • Wie in 3 veranschaulicht, beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 zudem einen Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensor 82 und einen Schneidwasser-Temperaturerfassungssensor 83. Der Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensor 82 erfasst eine Strömungsgeschwindigkeit als eine Zuführmenge des Schneidwassers, das den Düsen 261 und 262 zugeführt wird. Der Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensor 82 gibt ein Ergebnis dieser Erfassung an die Steuerungseinheit 100 aus. Der Schneidwasser-Temperaturerfassungssensor 83 erfasst die Temperatur des Schneidwassers, das der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 über die Düsen 261 und 262 zugeführt wird. Der Schneidwasser-Temperaturerfassungssensor 83 gibt ein Ergebnis der Erfassung an die Steuerungseinheit 100 aus.
  • Wie in 1 veranschaulicht, beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 zudem eine Durchmessererfassungseinheit 84, die den Durchmesser der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 erfasst. Die Durchmessererfassungseinheit 84 ist auf so eine Weise bei einer Position neben dem Haltetisch 10 vorgesehen, sodass sie zusammen mit dem Haltetisch 10 in der X-Achsenrichtung durch die Bearbeitungsvorschubeinheit 41 bewegbar ist. Die Durchmessererfassungseinheit 84 ist eine Einheit zum Erfassen der Position in der Z-Achsenrichtung der Achse der Spindel 23 und der Schneidklinge 21, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist. die Durchmessererfassungseinheit 84 ist auch eine Einheit zum Erfassen des Durchmessers der Schneidklinge 21, in dem die Position in der Z-Achsenrichtung der Achse der Spindel 23 und der Schneidklinge 21 erfasst wird, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist. Die Schneidkante 212 wird abgenutzt, während ein Schneiden ausgeführt wird. Wenn der Durchmesser der Schneidklinge 21 zu einem beliebigen Zeitpunkt erfasst wird, kann eine Tiefe, in welche die Schneidklinge 21 in das Werkstück 200 schneidet, unter Berücksichtigung eines Abnutzungsbetrags der Schneidklinge 21 gesteuert werden.
  • Wie in 4 veranschaulicht, beinhaltet die Durchmessererfassungseinheit 84 einen Einheitshauptkörper 843 einschließlich eines Paars Beinabschnitte 841, die in der Y-Achsenrichtung voneinander beabstandet sind und zwischen denen das untere Ende der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 eingeführt werden kann, und einen Kupplungsabschnitt 842, der untere Enden des Paars Beinabschnitte 841 miteinander koppelt, eine Lichtemittiereinheit 844, die einem Beinabschnitt 841 des Einheitshauptkörpers 843 bereitgestellt ist, und eine Lichtempfangseinheit 845, die dem anderen Beinabschnitt 841 bereitgestellt ist.
  • Die Lichtemittiereinheit 844 emittiert gepulstes Licht von einer nicht veranschaulichten Lichtquelle zu dem anderen Beinabschnitt 841, das heißt der Lichtempfangseinheit 845. Die Lichtempfangseinheit 845 empfängt das von der Lichtemittiereinheit 844 emittierte gepulste Licht und gibt ein Erfassungsergebnis, das eine Lichtmenge des empfangenen gepulsten Lichts anzeigt, an die Steuerungseinheit 100 aus.
  • Die Lichtmenge des Lichts von der Lichtemittiereinheit 844, die durch die Lichtempfangseinheit 845 empfangen wird, nimmt übrigens allmählich ab, während das untere Ende der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21, das zwischen dem Paar an Beinabschnitten 841 eintritt, abgesenkt wird. Folglich empfängt die Lichtempfangseinheit 845 der Durchmessererfassungseinheit 84 das Licht, dessen Lichtmenge durch Absenken des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 vermindert wird, und die Durchmessererfassungseinheit 84 gibt ein Erfassungsergebnis an die Steuerungseinheit 100 aus, das die Lichtmenge des empfangenen Lichts anzeigt. Die Steuerungseinheit 100 erfasst einen Zeitpunkt, zu dem die Lichtmenge, die durch das Erfassungsergebnis der Lichtempfangseinheit 845 angezeigt wird, eine Lichtmenge zu einem Zeitpunkt ist, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist, und erfasst aus einem Erfassungsergebnis der Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit die Position in der Z-Achsenrichtung der Achse der Schneidklinge 21 und der Spindel 23 zu einem Zeitpunkt, zu dem das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist.
  • Zudem beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 einen Erfassungssensor 85, der erfasst, ob die Ausführ- und Einführeinheit 75 der Lade- und Entladeeinheit 71 der Transporteinheit 70 den ringförmigen Rahmen 205 klammert oder nicht, einen Erfassungssensor 86, der erfasst, ob die erste Transporteinheit 72 der Transporteinheit 70 das Werkstück 200 unter Saugwirkung hält oder nicht, und einen Erfassungssensor 87, der erfasst, ob die zweite Transporteinheit 73 der Transporteinheit 70 das Werkstück 200 unter Saugwirkung hält oder nicht. Zudem beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 einen Erfassungssensor 88, der erfasst, ob der Haltetisch 10 das Werkstück 200 unter Saugwirkung hält oder nicht, und einen Erfassungssensor 89, der erfasst, ob der Schleudertisch 62 der Reinigungseinheit 60 das Werkstück 200 unter Saugwirkung hält oder nicht. Die Erfassungssensoren 85, 86, 87, 88 und 89 geben ein Erfassungsergebnis an die Steuerungseinheit 100 aus.
  • Der Erfassungssensor 85, der erfasst, dass die Ausführ- und Einführeinheit 75 den ringförmigen Rahmen 205 nicht klammert, der Erfassungssensor 86, der erfasst, dass die erste Transporteinheit 72 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält, und der Erfassungssensor 87, der erfasst, dass die zweite Transporteinheit 73 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält, zeigen im Übrigen an, dass die Transporteinheit 70 es nicht geschafft hat, das Werkstück 200 zu transportieren, das heißt, dass die Transporteinheit 70 einen Transportfehler verursacht hat, der eine Anomalie bei dem Transport des Werkstücks 200 durch die Transporteinheit 70 ist.
  • Übrigens erfassen die Erfassungssensoren 86 und 87, ob die Transporteinheiten 72 und 73 das Werkstück 200 unter Saugwirkung halten oder nicht, in Übereinstimmung mit einer Bestimmung, die durch die Steuerungseinheit 100 dahingehend ausgeführt wird, ob Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 86 und 87 gleich einem oder niedriger als ein vorbestimmter Druck sind, der im Voraus definiert worden ist. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 86 und 87 gleich dem oder niedriger als der vorbestimmte Druck sind, der im Voraus bestimmt worden ist, wird erfasst, dass die Transporteinheiten 72 und 73 das Werkstück 200 unter Saugwirkung halten. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 86 und 87 den vorbestimmten Druck überschreiten, der im Voraus bestimmt worden ist, wird erfasst, dass die Transporteinheiten 72 und 73 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung halten.
  • Wenn die Erfassungssensoren 88 und 89 erfassen, dass der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung halten, deutet dies zudem darauf hin, dass der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 darin versagt haben, das Werkstück 200 in einem normalen Zustand zu halten, das heißt, dass der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 einen Haltefehler verursacht haben, was eine Anomalie beim Halten des Werkstücks 200 ist.
  • Im Übrigen erfassen die Erfassungssensoren 88 und 89, ob der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 das Werkstück 200 unter Saugwirkung halten oder nicht, in Übereinstimmung mit einer Bestimmung, die durch die Steuerungseinheit dahingehend ausgeführt wird, ob Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 88 und 89 gleich einem oder niedriger als ein im Voraus bestimmter vorgegebener Druck ist oder nicht. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 88 und 89 gleich dem oder niedriger als der im Voraus bestimmte vorgegebene Druck sind, wird erfasst, dass der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 das Werkstück 200 unter Saugwirkung halten. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Erfassungsergebnisse der Erfassungssensoren 88 und 89 den im Voraus bestimmten vorgegebenen Druck überschreiten, wird erfasst, dass der Haltetisch 10 und der Schleudertisch 62 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung halten.
  • Die Steuerungseinheit 100 bringt die Bearbeitungsvorrichtung 1 auch dazu, dass sie einen Bearbeitungsvorgang an dem Werkstück 200 ausführt, indem sie jeden der Bestandteile der Bearbeitungsvorrichtung 1 steuert. Im Übrigen ist die Steuerungseinheit 100 ein Computer einschließlich einer arithmetischen Verarbeitungsvorrichtung mit einem Mikroprozessor, wie zum Beispiel einer Central Processing Unit (CPU), einer Speichervorrichtung mit einem Speicher, wie zum Beispiel ein Read Only Memory (ROM) oder einem Random Access Memory (RAM), und einer Eingabe-Ausgabe-Schnittstellenvorrichtung. Die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung der Steuerungseinheit 100 führt eine arithmetische Verarbeitung in Übereinstimmung mit einem Computerprogramm aus, das in der Speichervorrichtung gespeichert ist, und gibt ein Steuerungssignal zum Steuern der Bearbeitungsvorrichtung 1 an jeden der Bestandteile der Bearbeitungsvorrichtung 1 über die Eingabe-Ausgabe-Schnittstellenvorrichtung aus.
  • Die Steuerungseinheit 100 ist mit einer Anzeigeeinheit 110, die eine Flüssigkeitskristallanzeigevorrichtung oder Ähnliches aufweist, die den Zustand des Bearbeitungsvorgangs, ein Bild oder Ähnliches anzeigt, einer Eingabeeinheit 120, die verwendet wird, wenn ein Bediener Bearbeitungsinhaltsinformationen oder Ähnliches registriert, und einer Hinweiseinheit 130 verbunden, die dem Bediener einen Hinweis gibt. Die Eingabeeinheit 120 weist ein der Anzeigeeinheit 110 bereitgestelltes Touchpanel auf. Die Hinweiseinheit 130 gibt dem Bediener einen Hinweis, indem sie ein Geräusch und/oder Licht emittiert.
  • Zudem erfasst die Steuerungseinheit 100 den Zustand einer Abplatzung und Abnutzung bei dem Punkt der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf Grundlage eines Erfassungsergebnisses von der Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81. Insbesondere wenn eine empfangene Lichtmenge, die durch ein Messergebnis von der Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81 angezeigt wird, gleich einem oder mehr als ein vorbestimmter Wert ist, der im Voraus bestimmt worden ist, ohne periodisch anzusteigen oder abzufallen, erfasst die Steuerungseinheit 100, dass die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 bei einer Abnutzungsgrenze ist, bei der die Schneidkante 212 zu stark abgenutzt ist, um zum Schneiden des Werkstücks 200 geeignet zu sein.
  • Wenn zudem die empfangene Lichtmenge, die durch das Messergebnis angezeigt wird, das von der Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81 ausgegeben wird, periodisch ansteigt oder abfällt, erfasst die Steuerungseinheit 100, dass ein Teil der äußeren Kante der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 verloren gegangen ist und somit eine Abplatzung (das heißt ein Schaden) bei der Schneidkante 212 aufgetreten ist. Die Steuerungseinheit 100 berechnet einen Anstiegsbetrag pro Zeiteinheit der empfangenen Lichtmenge auf Grundlage des Messergebnisses, das von der Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81 ausgegeben wird. Die Steuerungseinheit 100 erfasst einen Abnutzungsbetrag der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 pro Zeiteinheit auf Grundlage des berechneten Anstiegsbetrags pro Zeiteinheit der empfangenen Lichtmenge. Wenn der erfasste Abnutzungsbetrag gleich einem oder mehr als ein vorbestimmter Wert ist, der im Voraus bestimmt wird, erfasst die Steuerungseinheit 100, dass der Abnutzungsbetrag pro Zeiteinheit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 anormal ist.
  • Zudem erfasst die Steuerungseinheit 100 die Position der Achse der Spindel 23 und der Schneidklinge 21 in der Z-Achsenrichtung, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist, auf Grundlage des Erfassungsergebnisses von der Lichtempfangseinheit 845 der Durchmessererfassungseinheit 84 und des Erfassungsergebnisses der Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit. Die Steuerungseinheit 100 erfasst dadurch den Durchmesser der Schneidklinge 21. Insbesondere erfasst die Steuerungseinheit 100 das Erfassungsergebnis der Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit, wenn die Lichtmenge des Lichts, die durch das Erfassungsergebnis angezeigt wird, das von der Lichtempfangseinheit 845 ausgegeben wird, zu einer Lichtmenge wird, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist, als die Position in der Z-Achsenrichtung der Achse der Schneidklinge 21 und der Spindel 23, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist. Da die Referenzposition in der Z-Achsenrichtung die Position auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 ist, erfasst die Steuerungseinheit 100 das Erfassungsergebnis der Z-Achsenrichtung-Positionserfassungseinheit als Radius der Schneidklinge 21, wenn die Lichtmenge des Lichts, das durch das Erfassungsergebnis angezeigt wird, welches von der Lichtempfangseinheit 845 ausgegeben wird, zu der Lichtmenge wird, wenn das untere Ende des Punkts der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 auf der gleichen Ebene wie die Haltefläche 11 positioniert ist. Die Steuerungseinheit 100 erfasst dann den Durchmesser der Schneidklinge 21.
  • Als Nächstes wird eine Beschreibung des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 ausgeführt, der durch eine Steuerung jeden Bestandteils der Bearbeitungsvorrichtung 1 durch die Steuerungseinheit 1 ausgeführt wird. 5 ist eine Draufsicht, die das Werkstück schematisch darstellt, das durch die in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung schneidend bearbeitet wird. 6 ist ein Schaubild, das ein Beispiel eines Bilds darstellt, das durch Abbilden eines Teils des Werkstücks zum Zeitpunkt einer Schnittnutüberprüfung erhalten wird, die während der Schneidbearbeitung durch die in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung durchgeführt wird. 7 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Waferposition darstellt, bei der Bilddaten als durch einen Sammelabschnitt der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung gesammelten Daten erhalten werden. 8 ist eine Draufsicht, die ein weiteres Beispiel der Waferposition darstellt, bei der die Bilddaten als Daten erhalten werden, die durch den Datensammelabschnitt der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung gesammelt werden. 9 ist ein Schaubild, das ein Beispiel eines Anzeigebildschirms darstellt, der auf der Anzeigeeinheit angezeigt wird, wenn ein Anomalie-Erfassungsabschnitt der Steuerungseinheit der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung einen Abplatzungsgrößenfehler erfasst. 10 ist ein Schaubild, das ein Beispiel des Anzeigebildschirms darstellt, der angezeigt wird, wenn ein Behebungsbereich oder ein Datenanzeigebereich des in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirms während eines Erhalts der Bilddaten durch den Datensammelabschnitt betätigt wird. 11 ist ein Schaubild, das ein Beispiel des Anzeigebildschirms darstellt, der angezeigt wird, wenn der Datenanzeigebereich des in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirms betätigt wird, nachdem die Bilddaten durch den Datensammelabschnitt erhalten worden sind.
  • Die oben beschriebene Steuerungseinheit 100 führt den Bearbeitungsvorgang des Schneidens des unter Saugwirkung an dem Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 durch die Schneidklinge 21 aus, indem jeder Bestandteil der Bearbeitungsvorrichtung 1 gesteuert wird. Vor dem Bearbeitungsvorgang wird die Kassette 51, die Werkstücke 200 aufnimmt, bei der Bearbeitungsvorrichtung 1 auf dem Kassettenaufzug 50 abgelegt, und die Abrichtplatte 210 wird an einer Haltefläche 16 des Unterspanntischs 15 installiert. Zudem werden Bearbeitungsbedingungen in der Speichervorrichtung der Steuerungseinheit 100 eingestellt, und wenn die Steuerungseinheit 100 einen Befehl zum Starten des Bearbeitungsvorgangs von dem Bediener oder ähnlichem erhält, beginnt die Steuerungseinheit 100 mit dem Bearbeitungsvorgang der Bearbeitungsvorrichtung 1.
  • Beim Starten des Bearbeitungsvorgangs steuert die Steuerungseinheit 100 die Transporteinheit 70, um ein Werkstück 200 aus der Kassette 51 herauszunehmen, und legt das Werkstück 200 in dem Lade- und Entladebereich über das Haftband 206 auf der Haltefläche 11 des Haltetischs 10 ab. Bei dem Bearbeitungsvorgang hält die Steuerungseinheit 100 das Werkstück 200 über das Haftband 206 unter Saugwirkung an der Haltefläche 11, klammert den ringförmigen Rahmen 205 durch die Klammereinheiten 12, dreht die Spindel 23 um die Achse und führt das Schneidwasser von den Düsen 261 und 262 zu. Die Steuerungseinheit 100 bewegt den Haltetisch 10 von dem Lade- und Entladebereich in Richtung des Bearbeitungsbereichs zu einer Position unter der Bildgebungseinheit 30 durch Steuern der Bewegungseinheit 40 und bildet das an dem Haltetisch 10 unter Saugwirkung gehaltene Werkstück 200 durch die Bildgebungseinheit 30 ab. Die Bildgebungseinheit 30 nimmt ein Bild zum Beispiel zum Ausführen einer Ausrichtung auf, die das Werkstück 200 und die Schneidklinge 21 aneinander ausrichtet, und die Steuerungseinheit 100 führt die Ausrichtung auf Grundlage des durch die Bildgebungseinheit 30 aufgenommenen Bilds auf.
  • Bei dem Bearbeitungsvorgang steuert die Steuerungseinheit 100 die Bewegungseinheit 40 und Ähnliches auf Grundlage der Bearbeitungsbedingungen, um eine Schneidbearbeitung auszuführen, indem sie die Schneidklinge 21 dazu bringt, in eine geplante Trennlinie 202 des Werkstücks 200 zu schneiden, bis sie das Haftband 206 erreicht, während die Schneidklinge 21 und das Werkstück 200 relativ zueinander entlang der geplanten Trennlinie 202 bewegt werden. Die Steuerungseinheit 100 schneidet die geplante Trennlinie 202 des Werkstücks 200 in Übereinstimmung mit den Bearbeitungsbedingungen, bildet eine bearbeitete Nut 208 aus (in 5 durch eine doppelt gestrichene Kettenlinie angedeutet), die bei der geplanten Trennlinie 202 in das Werkstück 200 eindringt, und teilt das Werkstück 200 dadurch in einzelne Chips 207. Nachdem die Steuerungseinheit 100 die Schneidbearbeitung an sämtlichen geplanten Trennlinien 202 des Werkstücks 200 ausgeführt hat, bewegt die Steuerungseinheit 100 den Haltetisch 10 von dem Bearbeitungsbereich zu dem Lade- und Entladebereich durch Steuern der Bewegungseinheit 40.
  • Die Steuerungseinheit 100 hält die Bewegung des Haltetischs 10 in dem Lade- und Entladebereich durch Steuern der Bewegungseinheit 40 und ähnlichem an, hört damit auf, das Werkstück 200 an dem Haltetisch 10 unter Saugwirkung zu halten, hebt die Klammerung der Klammereinheiten 12 auf und transportiert das Werkstück 200 von dem Haltetisch 10 zu dem Schleudertisch 62 der Reinigungseinheit 60 durch Steuern der Transporteinheit 70. Die Steuerungseinheit 100 reinigt das Werkstück 200 durch Steuern der Reinigungseinheit 60 und lädt das Werkstück 200, das der Schneidbearbeitung unterzogen worden ist, in die Kassette 51 nach einer Bewegung des Werkstücks 200 auf die temporären Ablageschienen 74 durch Steuern der Transporteinheit 70. Wenn die Steuerungseinheit 100 sämtliche Werkstücke 200 in der Kassette 51 durch Ausführen der Schneidbearbeitung an dem Werkstück 200 in Chips 207 getrennt hat, beendet die Steuerungseinheit 100 den Bearbeitungsvorgang.
  • Folglich führt die Steuerungseinheit 100 durch Steuern jeden Bestandteils der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Schneidbearbeitung an jeder geplanten Trennlinie 202 des Werkstücks 200 durch die Schneidklinge 21 aus und bildet dadurch bei jeder geplanten Trennlinie 202 eine bearbeitete Nut 208 aus, die in 5 durch eine doppelt gestrichene Kettenlinie angezeigt wird. Zudem führt die Steuerungseinheit 100 bei dem Bearbeitungsvorgang mit einem vorbestimmten Zeitablauf eine Schnittnutüberprüfung aus (zum Beispiel jedes Mal, wenn der Schneidvorgang an einer vorbestimmten Anzahl geplanter Trennlinien 202 ausgeführt worden ist, oder jedes Mal, wenn die Schneidbearbeitung an einer vorbestimmten Anzahl von Werkstücken 200 ausgeführt worden ist). Wenn die Steuerungseinheit 100 eine Schnittnutüberprüfung ausführt, bildet die Steuerungseinheit 100 durch die Bildgebungseinheit 30 eine bearbeitete Nut 208 bei einer vorbestimmten Position des Werkstücks 200 ab (zum Beispiel eine Position 214, die in 5 durch eine gestrichelte Kreislinie umschlossen ist), wobei die Position durch eine Bearbeitungsbedingung gekennzeichnet ist, und erhält dadurch zum Beispiel ein Bild 300, von dem ein Beispiel in 6 veranschaulicht ist.
  • Wie in 1 veranschaulicht, beinhaltet die Steuerungseinheit 100 zudem einen Anomalie-Erfassungsabschnitt 101, einen Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102, einen Datensammelabschnitt 103 und einen Datenanalyseabschnitt 104.
  • Der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 erfasst eine Anomalie, die während des Bearbeitungsvorgangs aufgetreten ist, indem er die Qualität der bearbeiteten Nut 208 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 überprüft. Der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 extrahiert die geplanten Trennlinien 202, die bearbeitete Nut 208 und Abplatzungen 209 (auf die hiernach als Abplatzungen Bezug genommen wird), die an beiden Kanten der bearbeiteten Nut 208 ausgebildet sind, aus dem Bild 300, das erhalten wurde, als die Schnittnutüberprüfung ausgeführt worden ist. Die Steuerungseinheit 100 erfasst eine normale Position 301, bei der die bearbeitete Nut 208 bei der geplanten Trennlinie 202 ausgebildet werden soll, wobei die normale Position durch eine Bearbeitungsbedingung spezifiziert wird (die normale Position ist bei dieser Ausführungsform eine mittlere Position in der Breitenrichtung der geplanten Trennlinie 202), eine mittlere Position 302 in der Breitenrichtung der bearbeiteten Nut 208, eine Breite 303 der bearbeiteten Nut 208, eine Größe 304 einer größten Abplatzung 209 (Abstand zwischen einer Spitze einer Abplatzung 209, die unter mehreren Abplatzungen 209 am weitesten von der bearbeiteten Nut 208 entfernt ist, und einer der Kanten der bearbeiteten Nut 208) und einen Abstand 305 zwischen der normalen Position 301, bei der die bearbeitete Nut 208 ausgebildet werden soll, und der mittleren Position 302 in der Breitenrichtung der bearbeiteten Nut 208 (auf diesen Abstand wird hiernach als Schneidpositionsversatz Bezug genommen).
  • Folglich bezieht sich bei der Ausführungsform die Schnittnutüberprüfung auf eine Überprüfung, ob der Schneidpositionsversatz 305, die Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die Größe 304 der Abplatzung 209 innerhalb eines zulässigen Bereichs sind. Der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 überprüft die Qualität der bearbeiteten Nut 208, indem er bestimmt, ob der Schneidpositionsversatz 305, die erfasste Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die Größe 304 der Abplatzung 209 jeweils innerhalb eines zulässigen Bereichs sind, der durch eine Bearbeitungsbedingung definiert ist, oder nicht.
  • Der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 beendet die Schneidbearbeitung durch die Schneideinheit 20, wenn eine Anomalie durch den Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 erfasst wird. Der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 fährt mit dem Bearbeitungsvorgang fort, wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass der Schneidpositionsversatz 305, die Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die Größe 304 der Abplatzung 209 alle innerhalb der zulässigen Bereiche sind. Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass der Schneidpositionsversatz 305, die Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und/oder die Größe 304 der Abplatzung 209 nicht innerhalb des zulässigen Bereichs ist (das heißt, wenn ein Schnittnutüberprüfungsfehler als eine Anomalie durch den Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 erfasst wird), beendet der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang (das heißt die Schneidbearbeitung durch die Schneideinheit 20) und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Im Übrigen wird darauf, dass sich die bearbeitete Nut 208 zum Zeitpunkt der Schnittfugenkontrolle nicht innerhalb des zulässigen Bereichs befindet, im Folgenden als Schnittfugenüberprüfungsfehler bezeichnet, und die Größe 304 der Abplatzung 209, die nicht innerhalb des zulässigen Bereichs liegt, wird im Folgenden als Abplatzungsgrößenfehler bezeichnet. Wenn die Steuerungseinheit 100 die Schnittnutüberprüfung ausführt, speichert die Steuerungseinheit 100 darüber hinaus den erfassten Schneidpositionsversatz 305, die erfasste Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die erfasste Größe 304 der Abplatzung 209. Folglich erfasst der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 einen Anomalie-Überprüfungsfehler von dem Bild 300 der bearbeiteten Nut 208, die durch die Bildgebungseinheit 30 aufgenommen worden ist.
  • Zudem erfasst der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 auf Grundlage eines Erfassungsergebnisses des Schadenserfassungssensors 81 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1, dass die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 an einer Abnutzungsgrenze ist, dass bei der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 eine Abplatzung aufgetreten ist und dass der Abnutzungsbetrag pro Zeiteinheit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 eine Anomalie ist, das heißt er erfasst einen Klingenfehler als eine Anomalie.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 auf Grundlage des Erfassungsergebnisses des Schadenserfassungssensors 81 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 erfasst, dass die Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 an einer Abnutzungsgrenze ist, dass bei der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 eine Abplatzung aufgetreten ist oder dass der Abnutzungsbetrag pro Zeiteinheit der Schneidkante 212 der Schneidklinge 21 eine Anomalie ist (das heißt, der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 erfasst einen Klingenfehler), beendet der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Zudem erfasst der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 auf Grundlage des Erfassungsergebnisses der Erfassungssensoren 85, 86 und 87 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 zumindest, dass die Ausführ- und Einführeinheit 75 den ringförmigen Rahmen 205 nicht klammert, dass die erste Transporteinheit 72 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält oder dass die zweite Transporteinheit 73 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält, das heißt er erfasst einen Transportfehler als eine Anomalie.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 auf Grundlage des Erfassungsergebnisses der Erfassungssensoren 85, 86 und 87 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 erfasst, dass die Ausführ- und Einführeinheit 75 den ringförmigen Rahmen 205 nicht klammert, dass die erste Transporteinheit 72 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält, oder dass die zweite Transporteinheit 73 das Werkstück 200 nicht unter Saugwirkung hält (das heißt, dass der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 einen Transportfehler erfasst), hält der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang an und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Zudem erfasst der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 Haltefehler als Anomalien des Haltetischs 10 und des Schleudertischs 62 auf Grundlage von Erfassungsergebnissen der Erfassungssensoren 88 und 89 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung leinen Haltefehler des Haltetischs 10 oder des Schleudertischs 62 erfasst (das heißt, dass der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 einen Haltefehler erfasst), beendet der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Zudem bestimmt der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101, ob eine Strömungsgeschwindigkeit als ein Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensors 82 innerhalb eines zulässigen Bereichs ist. Der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, ob eine Temperatur als ein Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Temperaturerfassungssensors 83 innerhalb eines zulässigen Bereichs ist oder nicht.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass die Strömungsgeschwindigkeit als Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensors 82 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 innerhalb des zulässigen Bereichs ist, fährt der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 mit dem Bearbeitungsvorgang fort. Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass die Strömungsgeschwindigkeit als das Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitserfassungssensors 82 nicht innerhalb des zulässigen Bereichs ist (das heißt der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 erfasst einen Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitsfehler als eine Anomalie), beendet der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass die Temperatur als das Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Temperaturerfassungssensors 83 während des Bearbeitungsvorgangs der Bearbeitungsvorrichtung 1 innerhalb des zulässigen Bereichs ist, fährt der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 mit dem Bearbeitungsvorgang fort. Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bestimmt, dass die Temperatur als das Erfassungsergebnis des Schneidwasser-Temperaturerfassungssensors 83 nicht innerhalb des zulässigen Bereichs ist (das heißt, dass der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 einen Schneidwasser-Temperaturfehler als eine Anomalie erfasst), beendet der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang und gibt dem Bediener durch Betätigen der Hinweiseinheit 130 einen Hinweis.
  • Der Datensammelabschnitt 103 erhält Daten bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 1 während eines Bereitschaftszeitraums zwischen dem Beenden des Bearbeitungsvorgangs durch den Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 und dem Abschluss eines Vorgangs zum Beheben des Schnittnutüberprüfungsfehlers, des Klingenfehlers, des Transportfehlers, des Haltefehlers, des Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitsfehlers oder des Schneidwasser-Temperaturfehlers (Vorgang zur Wiederaufnahme des Bearbeitungsvorgangs), der durch den Bediener ausgeführt wird.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bei der Ausführungsform den Schnittnutüberprüfungsfehler, den Klingenfehler, den Transportfehler oder den Haltefehler erfasst und der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang unterbricht, steuert der Datensammelabschnitt 103 die Bewegungseinheit 40 und die Bildgebungseinheit 30 oder Ähnliches an, um die bearbeitete Nut 208 auf einer stromaufwärtigen Seite (korrespondierend mit mehreren Bereichen) der Reihe nach von einer Position, die unmittelbar vor dem Unterbrechen des Bearbeitungsvorgangs an dem Werkstück 200 geschnitten wurde, abzubilden und erhält dadurch Bilder der bearbeiteten Nuten 208 auf der stromaufwärtigen Seite der Reihe nach von der Position, die unmittelbar vor der Unterbrechung der Bearbeitung geschnitten worden ist, als Bilddaten. Im Übrigen veranschaulicht 7 durch parallel schräge Linien Positionen 215, bei denen die Bildgebungseinheit 30 eine Bildgebung ausführt und die Bilddaten über die obere Fläche 201 des Werkstücks 200 erhält.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 zudem bei der vorliegenden Erfindung den Schnittnutüberprüfungsfehler, den Klingenfehler, den Transportfehler oder den Haltefehler erfasst und der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang unterbricht, kann der Datensammelabschnitt 103 die Bewegungseinheit 40 und die Bildgebungseinheit 30 oder Ähnliches ansteuern, um den gesamten Bereich 213 abzubilden (in 8 durch parallele schräge Linien angezeigt), indem die bearbeiteten Nuten 208 an der oberen Fläche 201 des Werkstücks 200 ausgebildet werden, einschließlich der Position, die unmittelbar vor der Unterbrechung des Bearbeitungsvorgangs an dem Werkstück 200 geschnitten worden ist, und kann dadurch die Bilddaten sammeln und erhalten. Im Übrigen veranschaulicht 8 durch parallele schräge Linien den Bereich 213, in dem die Bildgebungseinheit 30 eine Bildgebung ausführt und die Bilddaten über die obere Fläche 201 des Werkstücks 200 erhält. In einem Fall, in dem die Bilddaten des Bereichs 213, der in 8 veranschaulicht wird, erhalten werden, kann im Übrigen die Position des Werkstücks 200, bei der ein Fehler während der Schneidbearbeitung für die bearbeiteten Nuten 208 aufgetreten ist, auf einfache Weise erkannt werden, wenn der Grund für den Fehler nachträglich untersucht wird.
  • Bevor der Bediener einen Vorgang zum Beheben eines Fehlers ausführt, bewegt der Datensammelabschnitt 103 somit den Haltetisch 10 und die Bildgebungseinheit 30 relativ zueinander in einer Richtung horizontal zu der Haltefläche 11 und erhält die Bilddaten der bearbeiteten Nuten 208. Da der Datensammelabschnitt 103 die Bilddaten sammelt, ist es nicht nur möglich, den Vorgang zur Behebung des Fehlers zu bestimmen, sondern es ist auch möglich, die Ursache eines Abplatzungsfehlers oder Ähnliches durch eine nachträgliche erneute Untersuchung der Bilddaten zu bestimmen.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 den Schnittnutüberprüfungsfehler, den Klingenfehler, den Transportfehler oder den Haltefehler erfasst und der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang unterbricht, steuert der Datensammelabschnitt 103 die Bewegungseinheit 40 und die Durchmessererfassungseinheit 84, um den Durchmesser der Schneidklinge 21 durch die Durchmessererfassungseinheit 84 zu erfassen. Der Datensammelabschnitt 103 speichert in der Speichervorrichtung die erhaltenen Bilddaten, den erfassten Durchmesser der Schneidklinge 21 und den Schnittnutüberprüfungsfehler, den Klingenfehler, den Transportfehler oder den Haltefehler, der durch den Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 oder Ähnliches im Zusammenhang miteinander erfasst worden ist. Folglich ist die durch den Datensammelabschnitt 103 gesammelte Datenart vorzugsweise mit der Art des Fehlers verknüpft.
  • Der Datenanalyseabschnitt 104 analysiert die Bilddaten, die durch den Datensammelabschnitt 103 erhalten und gesammelt worden sind. Bei der Ausführungsform erfasst der Datenanalyseabschnitt 104 eine bearbeitete Nut 208 aus den Bilddaten, die durch den Datensammelabschnitt 103 erhalten und gesammelt worden sind, und erfasst den Schneidpositionsversatz 305, die Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die Größe 304 der Abplatzung 209 bei jedem vorbestimmten Abstand in der Längsrichtung der bearbeiteten Nut 208.
  • Der Datenanalyseabschnitt 104 speichert den erfassten Schneidpositionsversatz 305, die erfasste Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und die erfasste Größe 304 der Abplatzung 209 und eine Position an der oberen Fläche 201 des Werkstücks 200 im Zusammenhang miteinander. Der Datenanalyseabschnitt 104 berechnet einen Durchschnittswert und einen Maximalwert von jeweils dem Schneidpositionsversatz 305, der Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 und der Größe 304 der Abplatzung 209, die bereits gespeichert sind, und analysiert Änderungstendenzen von diesen.
  • Wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 bei der Ausführungsform den Schnittnutüberprüfungsfehler erfasst und der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang unterbricht, führt der Bediener oder Ähnliches zum Beispiel eine Korrektur einer Schneidbearbeitungsposition der Schneidklinge 21, ein Abrichten, das dazu führt, dass die Schneidklinge 21 in die Abrichtplatte 210 schneidet, oder einen Wechsel der Schneidklinge 21 als Vorgang zum Beheben des Schnittnutüberprüfungsfehlers aus. Insbesondere in einem Fall, in dem der Schnittnutüberprüfungsfehler anzeigt, dass die Breite 303 der bearbeiteten Nut 208 nicht innerhalb des zulässigen Bereichs ist, oder einen Abplatzungsgrößenfehler anzeigt, wechselt der Bediener die Schneidklinge 21 oder lässt die Bearbeitungsvorrichtung 1 ein Abrichten ausführen, indem er zum Beispiel die Eingabeeinheit 120 betätigt.
  • In einem Fall, in dem der Schnittnutüberprüfungsfehler anzeigt, dass der Schneidpositionsversatz 305 nicht innerhalb des zulässigen Bereichs ist, betätigt der Bediener die Eingabeeinheit 120, um die Bildgebungseinheit 30 auf eine geplante Bearbeitungsposition einzustellen, registriert einen Versatz zwischen einer Haarlinie, die in der Mitte eines Bildgebungsbildschirms angezeigt wird, und einer tatsächlich bearbeiteten Nut 208 und lässt die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Haarlinienausrichtung ausführen, welche die Positionsbeziehung zwischen der Bildgebungseinheit 30 und der Schneidklinge 21 aktualisiert oder die Schneidbearbeitungsposition der Schneidklinge 21 zu bewegen und zu registrieren, um eine Korrektur auszuführen. In einem Fall, in dem der Schnittnutüberprüfungsfehler anzeigt, dass die bearbeitete Nut 208 nicht gefunden worden ist, betätigt der Bediener darüber hinaus zum Beispiel die Eingabeeinheit 120, um die Bearbeitungsvorrichtung 1 den Durchmesser der Schneidklinge 21 durch die Durchmessererfassungseinheit 84 erfassen zu lassen, und stellt die Position der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung während der Schneidbearbeitung auf eine Position ein, bei der das Werkstück 200 wieder geschnitten werden kann (das heißt, sie führt eine Klingeneinrichtung aus) .
  • In einem Fall, in dem der Schnittnutüberprüfungsfehler einen Abplatzungsgrößenfehler anzeigt, zeigt die Steuerungseinheit 100 zum Beispiel einen in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirm 400 auf der Anzeigeeinheit 110 an. Auf dem in 9 veranschaulichten Anzeigebildschirm 400 sind ein Bildanzeigebereich 401, der das Bild 300 anzeigt, das erhalten wird, wenn die Schnittnutüberprüfung ausgeführt wird, ein Alarmaufhebungsbereich 402 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Stoppen des Hinweises der Hinweiseinheit 130, einen Datenanzeigebereich 403 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Anzeigen der Bilddaten, die durch den Datensammelabschnitt 103 gesammelt worden sind, oder Ähnliches, einen Behebungsbereich 404 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Anzeigen eines Menüs für ein Beheben einer Anomalie, wie zum Beispiel dem Schnittnutüberprüfungsfehler, und ein Fehlerinhalt-Anzeigebereich 405, der die Art des Fehlers anzeigt. Wenn der Bediener den Alarmaufhebungsbereich 402 auf dem Anzeigebildschirm 400 betätigt, unterbricht die Steuerungseinheit 100 den Hinweis der Hinweiseinheit 130.
  • Wenn der Bediener zudem den Datenanzeigebereich 403 oder den Behebungsbereich 404 auf dem Anzeigebildschirm 400 betätigt, während der Datensammelabschnitt 103 die Bilddaten oder Ähnliches sammelt, zeigt die Steuerungseinheit 100 einen Bestätigungsbildschirm 500 an, um zu bestätigen, dass das Sammeln der Bilddaten oder Ähnliches durch den Datensammelabschnitt 103 auf dem Anzeigebildschirm 400 zu unterbrechen ist oder nicht, und zwar auf so eine Weise, dass der Bestätigungsbildschirm 500 auf dem Anzeigebildschirm 400 überlagert ist. Im Übrigen sind auf dem Bestätigungsbildschirm 500 ein Stoppbereich 501 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Unterbrechen des Sammelns der Bilddaten oder Ähnliches durch den Datensammelabschnitt 103, ein Fortsetzungsbereich 502 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Fortsetzen des Sammelns von Bilddaten oder Ähnliches durch den Datensammelabschnitt 103, und ein Bereich 503 eingestellt, der eine Nachricht als Bestätigung anzeigt, ob das Sammeln der Bilddaten oder Ähnliches durch den Datensammelabschnitt 103 zu unterbrechen ist oder nicht.
  • Wenn der Bediener zudem den Datenanzeigebereich 403 auf dem Anzeigebildschirm 400 betätigt, nachdem der Datensammelabschnitt 103 die Bilddaten oder Ähnliches gesammelt hat, zeigt die Steuerungseinheit 100 einen Bilddaten-Anzeigebildschirm 600, der die Bilddaten anzeigt, die durch den Datensammelabschnitt 103 gesammelt und erhalten worden sind, auf dem Anzeigebildschirm 400 auf so eine Weise an, dass der Bilddaten-Anzeigebildschirm 600 auf dem Anzeigebildschirm 400 überlagert ist. Im Übrigen sind auf dem Bilddaten-Anzeigebildschirm 600 ein Anzeigebereich 601, der die Bilddaten anzeigt, und ein Cursor 602 zum Eingeben eines Befehls an die Steuerungseinheit 100 zum Ändern der Position der in dem Bilddaten-Anzeigebereich 601 angezeigten Bilddaten eingerichtet. Die Teile der Bilddaten sämtlicher geplanter Trennlinien 202 können durch Betätigen des Cursors 602 der Reihe nach auf den Bilddaten-Anzeigebildschirm angezeigt werden, sodass ein Ausmaß, zu dem die bearbeiteten Nuten 208 als Ganzes versetzt sind, erkannt werden kann. In einem Fall, in dem die bearbeiteten Nuten 208 nicht gefunden werden, können darüber hinaus die Bilddatenteile sämtlicher geplanter Trennlinien 202 durch Betätigen des Cursors 602 der Reihe nach auf dem Bilddaten-Anzeigebildschirm 600 angezeigt werden, sodass erkannt werden kann, ob die bearbeiteten Nuten 208 tatsächlich abwesend sind oder nicht. Anstelle der Betätigung des Cursors 602 können die angezeigten Bilddaten durch vertikales und horizontales Scrollen des Bilddaten-Anzeigebildschirms 600 geändert werden.
  • Wenn der Bediener zudem den Behebungsbereich 404 auf dem Anzeigebildschirm 400 betätigt, nachdem der Datensammelabschnitt 103 die Bilddaten oder Ähnliches gesammelt hat, zeigt die Steuerungseinheit 100 ein nicht veranschaulichtes Menü auf dem Anzeigebildschirm 400 an. In dem Menü eingerichtet sind ein Bereich zum Erteilen eines Befehls zur Wiederaufnahme des Bearbeitungsvorgangs, ein Bereich zum Erteilen eines Befehls zum Abrichten der Schneidklinge 21, ein Bereich zum Erteilen eines Befehls zum Korrigieren einer Schneidposition, ein Bereich zum Erteilen eines Befehls für eine Haarlinienausrichtung, ein Bereich zum Ausführen eines Wechsels der Schneidklinge 21 und Ähnliches eingerichtet. Um den in diesen Menübereichen auszuführenden Behebungsvorgang zu bestimmen, zeigt der Bediener den Bilddaten-Anzeigebildschirm 600 durch Betätigen des Datenanzeigebereichs 403 auf so eine Weise an, dass der Bilddaten-Anzeigebildschirm 600 auf dem Anzeigebildschirm 400 überlagert wird, und überprüft zum Beispiel, ob die Abplatzungen 209 plötzlich aufgetreten sind (überprüft, ob ein Überspringen von Chips 207 aufgetreten ist und die Schneidklinge 21 beschädigt ist und nimmt die Bearbeitung wieder auf, wenn es kein Problem gibt) oder ob die Abplatzungen 209 dazu neigen, nach und nach größer zu werden (führt ein Abrichten aus, da angenommen wird, dass sich der Zustand der Schneidklinge 21 verschlechtert).
  • Funktionen des Anomalie-Erfassungsabschnitts 101, des Bearbeitungsunterbrechungsabschnitts 102, des Datensammelabschnitts 103 und des Datenanalyseabschnitts 104 der Steuerungseinheit 100, die oben beschrieben worden sind, werden durch die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung der Steuerungseinheit 100 implementiert, indem ein in der Speichervorrichtung gespeichertes Computerprogramm ausgeführt wird.
  • Bei der Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der oben beschriebenen Ausführungsform unterbricht der Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt 102 den Bearbeitungsvorgang, wenn der Anomalie-Erfassungsabschnitt 101 den Schnittnutüberprüfungsfehler, den Klingenfehler, den Transportfehler, den Haltefehler, den Schneidwasser-Strömungsgeschwindigkeitsfehler oder den Schneidwasser-Temperaturfehler erfasst, und der Datensammelabschnitt 103 erfasst die Bilddaten und den Durchmesser der Schneidklinge 21 als Daten der Bearbeitungsvorrichtung 1. Folglich sammelt die Bearbeitungsvorrichtung 1 die Bilddaten, die zum Analysieren der Ursache jeden Fehlers und des Durchmessers der Schneidklinge 21 als Daten zum Überprüfen des Zustands der Schneideinheit 20 nützlich sind, während der Bearbeitungsvorgang unterbrochen ist (Zeitraum zwischen dem Geben eines Hinweises durch eine Betätigung der Hinweiseinheit 130 und dem Beginn eines Behebungsvorgangs, nachdem die Hinweiseinheit 130 durch zum Beispiel Betätigen des Alarmaufhebungsbereichs 402 der Anzeigeeinheit 110 gestoppt worden ist). Folglich kann ein Bearbeitungsunterbrechungszeitraum effektiv genutzt werden.
  • Als Ergebnis weist die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform den Effekt auf, imstande zu sein, einen Zeitraum, während dem die Bearbeitungsvorrichtung 1 stillsteht, effektiv zu nutzen.
  • Bei der Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform sammelt der Datensammelabschnitt 103 darüber hinaus die durch Abbilden der bearbeiteten oberen Flache 201 des Werkstücks 200 erhaltenen Bilddaten. Die erhaltenen Bilddaten können somit durch den Bediener zum Analysieren der Ursache eines Fehlers verwendet werden. Ferner kann der Datenanalyseabschnitt 104 bei der Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform zum Beispiel eine Änderungstendenz analysieren, wie zum Beispiel, ob die Größe 304 der Abplatzung 209, die Breite 303 der bearbeiteten Nuten 208 oder Ähnliches eine Tendenz aufweist, anzusteigen oder abzunehmen, oder ob die Abplatzung 209 während eines Zeitraums, während dem die Bearbeitungsvorrichtung 1 stillsteht, plötzlich aufgetreten ist und dem Bediener die Änderungstendenz bereitstellen. Folglich wird so ein Effekt hervorgerufen, bei dem der Bediener die Ursache des Fehlers erkennen kann und einen geeigneten Vorgang zu dessen Behebung ausführen kann.
  • Zudem erfasst der Datensammelabschnitt 103 bei der Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform den Durchmesser der Schneidklinge 21. Folglich werden Daten erhalten, die für eine zukünftige Verbesserung der Qualität der Schneidbearbeitung verwendet werden können.
  • Es ist anzumerken, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die vorangegangene Ausführungsform und Abwandlungen beschränkt ist. Das heißt, die vorliegende Erfindung kann auf vielfältige Weisen abgewandelt und ausgeführt werden, ohne den Gegenstand der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Zum Beispiel ist die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nicht auf eine Schneidvorrichtung beschränkt und kann eine in 12 veranschaulichte Laserbearbeitungsvorrichtung oder eine Schneidvorrichtung sein, die das Werkstück 200 schleift. Im Übrigen ist 12 eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel eines Aufbaus einer Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Abwandlung der Ausführungsform darstellt. In 12 werden die gleichen Teile wie bei der Ausführungsform durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und deren Beschreibung wird weggelassen.
  • Eine in 12 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung 1-1 ist eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die durch Bestrahlen des Werkstücks 200 durch einen Laserstrahl mit einer durch das Werkstück 200 absorbierbaren Wellenlänge eine Ablationsbearbeitung ausführt und so entlang der geplanten Trennlinien 202 des Werkstücks 200 bearbeitete Nuten 208 ausbildet. Die in 12 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung 1-1 beinhaltet anstelle der Schneideinheit 20 eine Laserstrahl-Bestrahlungseinheit 20-1 als eine Bearbeitungseinheit, die das Werkstück 200 mit dem Laserstrahl bestrahlt, und beinhaltet anstelle der Durchmessererfassungseinheit 84 einen Leistungsmesser 84-1, der nach einem vorbestimmten Zeitplan mit dem Laserstrahl bestrahlt wird und die Leistung des durch die Laserstrahl-Bestrahlungseinheit 20-1 aufgebrachten Laserstrahls misst.
  • Zudem kann die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung den Durchmesser der Schneidklinge 21 auf Grundlage der Lichtmenge des Lichts von der Lichtemittiereinheit 811 erfassen, die durch die Lichtempfangseinheit 812 des Schadenserfassungssensors 81 empfangen wird, das heißt, sie kann den Schadenserfassungssensor 81 als Durchmessererfassungseinheit verwenden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2008004807 [0002]
    • JP 2008 [0003]
    • JP 4807 [0003]

Claims (6)

  1. Bearbeitungsvorrichtung, die aufweist: einen Haltetisch, der eine Haltefläche aufweist, die eingerichtet ist, ein Werkstück zu halten; eine Bearbeitungseinheit, die eingerichtet ist, das an dem Haltetisch gehaltene Werkstück zu bearbeiten, eine Bearbeitungsvorschubeinheit, die eingerichtet ist, den Haltetisch relativ zu der Bearbeitungseinheit zu bewegen, eine Bildgebungseinheit, die eingerichtet ist, das an dem Haltetisch gehaltene Werkstück abzubilden, und eine Steuerungseinheit, wobei die Steuerungseinheit aufweist: einen Anomalie-Erfassungsabschnitt, der eingerichtet ist, bei der Bearbeitungsvorrichtung eine Anomalie zu erfassen, einen Bearbeitungsunterbrechungsabschnitt, der eingerichtet ist, die Bearbeitung durch die Bearbeitungseinheit zu unterbrechen, wenn eine Anomalie erfasst wird, und einen Datensammelabschnitt, der eingerichtet ist, mit der Bearbeitungsvorrichtung zusammenhängende Daten während eines Bereitschaftszeitraums zwischen der Unterbrechung der Bearbeitung und des Ausführens eines Vorgangs zum Beheben der Anomalie durch einen Bediener zu sammeln.
  2. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Steuerungseinheit ferner einen Datenanalyseabschnitt aufweist, der eingerichtet ist, die durch den Datensammelabschnitt gesammelten Daten zu analysieren.
  3. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher der Anomalie-Erfassungsabschnitt eine Qualität einer bearbeiteten Nut durch ein Bild der bearbeiteten Nut überprüft, das durch die Bildgebungseinheit aufgenommen worden ist.
  4. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, die ferner aufweist: mehrere Transporteinheiten, die eingerichtet sind, das Werkstück in der Bearbeitungsvorrichtung zu transportieren, wobei der Anomalie-Erfassungsabschnitt eine Anomalie beim Transport durch die Transporteinheiten erfasst.
  5. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der der Datensammelabschnitt bearbeitete Nuten in mehreren Bereichen durch Ansteuern der Bildgebungseinheit abbildet und Bilder mehrerer bearbeiteter Nuten als Daten sammelt.
  6. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der die Bearbeitungseinheit eine Schneidklinge, die an einem distalen Ende einer Spindel befestigt und eingerichtet ist, in dem Werkstück eine bearbeitete Nut auszubilden, und einen Motor aufweist, der eingerichtet ist, die Spindel zu drehen, wobei die Bearbeitungsvorrichtung ferner eine Durchmessererfassungseinheit aufweist, die eingerichtet ist, einen Durchmesser der Schneidklinge zu erfassen, und der Datensammelabschnitt den Durchmesser der Schneidklinge durch die Durchmessererfassungseinheit erfasst.
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