DE102020201805A1 - Schleuderreinigungsvorrichtung - Google Patents

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DE102020201805A1
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Makoto Maejima
Tsuyoshi Onami
Atsushi; Nakatsuka
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Disco Corp
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Abstract

Eine Schleuderreinigungsvorrichtung weist auf: eine Düse 60, die eine Mischflüssigkeit aus Reinigungswasser und Luft ausstößt und die in horizontaler Richtung bewegbar ist; eine Streuungsvorbeugungsabdeckung 5, die einen Drehtisch 30 umgibt, sodass die von dem Rotationstisch 30 verspritzte Mischflüssigkeit dazu gebracht wird, nach unten zu strömen; und ein Hubmittel 16 zum Anheben und Absenken der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5. Die Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 weist auf: eine ringförmige Umrandungsplatte 51, die so ausgebildet ist, dass ihr Abschnitt von einer Öffnung 50 aus, durch die der Tisch 30 gelangen kann, sich graduell vergrößernd geneigt ist; eine Seitenplatte 52, welche die Umrandungsplatte 51 umgibt und sich in einer Richtung des Tischs 30 erstreckt; und eine obere Platte 53, welche die Seitenplatte 52 und die Umrandungsplatte 51 verbindet. Die Schleuderreinigungsvorrichtung schließt ferner einen Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 ein, der dagegen vorbeugt, dass eine Kraft der Luft auf Wasser wirkt, das sich auf einer oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt, sodass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt, nicht verspritzt wird, wenn Luft aus der Düse 60 ausgestoßen wird, um eine Umfangskante Wd eines Werkstücks nach einer Reinigung zu trocknen.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schleuderreinigungsvorrichtung zum Reinigen eines zu reinigenden Werkstücks, wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers.
  • BESCHREIBUNG DES IN BEZIEHUNG STEHENDEN STANDS DER TECHNIK
  • Eine Schleifvorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks, wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers, durch einen Schleifstein und eine Poliervorrichtung zum Polieren eines Werkstücks mit einem Polierkissen schließt eine Schleuderreinigungsvorrichtung ein, bei der ein Schleudertisch, der nach einer Bearbeitung das Werkstück auf sich hält, mit hoher Geschwindigkeit gedreht und das Werkstück gereinigt wird, während diesem Reinigungswasser zugeführt wird (siehe zum Beispiel das japanische offengelegte Patent mit der Nummer 2014-180739).
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Wo ein Werkstück durch ein Substrat (Stützsubstrat) unterstützt wird, werden Späne zwischen dem Umfang des Substrats und dem Umfang des Werkstücks abgelagert, sodass der Umfang des Werkstücks auf positive Weise gereinigt werden sollte. Dementsprechend wird ein binäres Fluid, das durch Vermischung von Luft und Reinigungswasser erhalten wird, auf den Rand bzw. den Umfang des Werkstücks geblasen, um dadurch die Späne zu entfernen. Es ist anzumerken, dass einer der Gründe, warum die Späne dazu neigen, zwischen dem Umfang des Substrats und dem Umfang des Werkstücks abgelagert zu werden, zum Beispiel der ist, dass die Umfangskante des Werkstücks angefast ist, um eine bogenförmige Querschnittsform aufzuweisen, und ein Hohlraum bei dem Übergang zwischen dem Substrat und dem Werkstück ausgebildet wird.
  • Damit das in der Schleuderreinigungsvorrichtung ausgeblasene binäre Fluid nicht zu einer oberen Fläche des Werkstücks gewirbelt wird, um erneut an dem Werkstück anzuhaften, ist in der Umgebung des Schleudertischs eine das Werkstück umgebende geneigte Fläche vorgesehen, um sicherzustellen, dass die Reinigungsabfallflüssigkeit die geneigte Fläche nach unten strömt, um in einen Abflussbehälter oder Ähnliches zu tropfen und abgelassen zu werden, wenn die Reinigungsabfallflüssigkeit, auf die aufgrund der Drehung des Schleudertischs eine Zentrifugalkraft ausgeübt wird, sich radial zu dem Werkstück in Richtung von dessen Außenseite bewegt. Somit schließt die Schleuderreinigungsvorrichtung eine Streuungsvorbeugungsabdeckung ein, die den Schleudertisch umgibt, der an sich das Werkstück hält.
  • Nach der Reinigung mit dem binären Fluid neigen zudem Wassertropfen dazu, sich bei dem Übergang zwischen dem Umfang des Substrats und dem Umfang des Werkstücks zu sammeln; dementsprechend wird Luft auf den Umfang des gereinigten Werkstücks geblasen, um den Übergang zwischen dem Umfang des Substrats und dem Umfang des Werkstücks zu trocknen.
  • Wenn der Umfangsabschnitt des Werkstücks mit dem binären Fluid positiv gereinigt wird, kann jedoch auf der Streuungsvorbeugungsabdeckung ein Pool ausgebildet werden. Zudem kann die Luft, die zu dem Umfangsabschnitt des Werkstücks zum Trocknen des Umfangsabschnitts ausgestoßen wird, das Wasser, das sich auf der Streuungsvorbeugungsabdeckung sammelt, verspritzen, wodurch das getrocknete Werkstück erneut benetzt werden kann.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schleuderreinigungsvorrichtung bereitzustellen, die imstande ist, dagegen vorzubeugen, dass ein nach einer Reinigung getrocknetes Werkstück erneut benetzt wird.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schleuderreinigungsvorrichtung bereitgestellt, die aufweist: einen Schleudertisch mit einer Haltefläche zum Halten eines zu reinigenden Werkstücks; ein Rotationsmittel zum Drehen des Schleudertischs; eine Reinigungsdüse zum Ausstoßen einer Mischflüssigkeit aus Reinigungswasser und Luft zu dem, durch den Schleudertisch gehaltenen, Werkstück; ein Horizontalbewegungsmittel zum horizontalen Bewegen der Reinigungsdüse über einer oberen Seite des Schleudertischs; eine Streuungsvorbeugungsabdeckung, die den Schleudertisch umgibt und durch welche die Mischflüssigkeit, die von dem Schleudertisch radial verstreut wird, wenn aufgrund einer Drehung des Schleudertischs eine Zentrifugalkraft auf die von der Reinigungsdüse zu dem Werkstück ausgestoßenen Mischflüssigkeit ausgeübt wird, dazu gebracht wird, nach unten zu strömen; und ein Hubmittel zum Anheben und Absenken der Streuungsvorbeugungsabdeckung in einer axialen Richtung einer Welle zum Drehen des Schleudertischs, wobei die Streuungsvorbeugungsabdeckung eine Öffnung, durch welche der Schleudertisch hindurch gelangen kann, eine ringförmige Umrandungsplatte, die so ausgebildet ist, dass ihr Querschnitt von der Öffnung aus graduell vergrößernd geneigt ist, eine Seitenplatte, welche die Umrandungsplatte umgibt und sich in einer Hubrichtung des Schleudertischs erstreckt, und eine obere Platte aufweist, welche die Seitenplatte und ein unteres Ende der Umrandungsplatte verbindet. Die Schleuderreinigungsvorrichtung schließt ferner einen Streuungsvorbeugungsabschnitt ein, der dagegen vorbeugt, dass eine Kraft einer von der Reinigungsdüse ausgestoßenen Luft auf Wasser wirkt, das sich auf einer oberen Fläche der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung sammelt, sodass Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, nicht zu dem Zeitpunkt eines Ausstoßens von Luft von der Reinigungsdüse, um nach einer Reinigung eine Umfangskante des Werkstücks zu trocknen, verspritzt wird, und zwar während einer Reihe von Reinigungs- und Trocknungsvorgängen mit einem Positionieren der Öffnung über einer oberen Fläche des durch den Schleudertisch gehaltenen Werkstücks, einem Ausstoßen der Mischflüssigkeit von der Reinigungsdüse, um das Werkstück zu reinigen, und danach einem Ausstoßen von Luft von der Reinigungsdüse, um das Werkstück zu trocknen.
  • Vorzugsweise schließt der Streuungsvorbeugungsabschnitt eine Platte mit geneigter Fläche, die sich von der Öffnung der Streuungsvorbeugungsabdeckung in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte entlang einer Trajektorie der Reinigungsdüse erstreckt und die auf der Öffnungsseite höher ist und auf der Umfangskantenseite niedriger ist, und eine Abflussöffnung ein, die bei der Umfangskante ausgebildet ist und durch die das Wasser von einer unteren Endseitenkante der Platte mit geneigter Fläche heruntertropft.
  • Alternativ schließt der Streuungsvorbeugungsabschnitt ein poröses Element ein, das auf der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung entlang einer Trajektorie der Reinigungsdüse angeordnet ist.
  • In Übereinstimmung mit der Schleuderreinigungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann die Kraft der Luft durch den Streuungsvorbeugungsabschnitt aufgenommen werden, um dadurch sicherzustellen, dass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung sammelt, nicht durch die Luft verspritzt wird. Daher kann gegen eine Situation vorgebeugt werden, bei der durch Luft verspritzte Wassertropfen erneut an dem getrockneten Werkstück anhaften.
  • In dem Fall, in dem der Streuungsvorbeugungsabschnitt die Platte mit geneigter Fläche, die sich von der Öffnung der Streuungsvorbeugungsabdeckung aus in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse erstreckt und auf der Öffnungsseite höher ist und auf der Umfangskantenseite niedriger ist, und die Abflussöffnung einschließt, die bei der Umfangskante ausgebildet ist und durch die das Wasser von der unteren Endseitenkante der Platte mit geneigter Fläche heruntertropft, ist es möglich, indem zum Zeitpunkt eines Trocknens der Umfangskante des Werkstücks dagegen vorgebeugt wird, dass die Kraft der aus der Reinigungsdüse ausgestoßenen Luft auf das Wasser wirkt, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, um dagegen vorzubeugen, dass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, durch die Luft verspritzt wird. Dadurch kann gegen das Auftreten einer Situation vorgebeugt werden, bei der durch die Luft verspritzte Wassertropfen erneut an dem getrockneten Werkstück anhaften.
  • In dem Fall, in dem der Streuungsvorbeugungsabschnitt ein poröses Element einschließt, das an der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse angeordnet ist, ist es möglich, indem zum Zeitpunkt eines Trocknens der Umfangskante des Werkstücks dagegen vorgebeugt wird, dass die Kraft der aus der Reinigungsdüse ausgestoßenen Luft auf das Wasser wirkt, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, dagegen vorzubeugen, dass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, durch die Luft verspritzt wird. Daher kann gegen ein Auftreten einer Situation vorgebeugt werden, bei der durch die Luft verspritzte Wassertropfen erneut an dem getrockneten Werkstück anhaften.
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und angehängten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Schleuderreinigungsvorrichtung darstellt, bei der ein Streuungsvorbeugungsabschnitt eine Platte mit geneigter Oberfläche und eine Abflussöffnung aufweist;
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel der Schleuderreinigungsvorrichtung in einem Zustand darstellt, in dem eine Streuungsvorbeugungsabdeckung abgesenkt ist;
    • 3 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel der Schleuderreinigungsvorrichtung darstellt, bei der ein Streuungsvorbeugungsabschnitt ein poröses Element ist, das auf einer oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung angeordnet ist;
    • 4 ist eine Schnittansicht der Schleuderreinigungsvorrichtung, bei welcher der Streuungsvorbeugungsabschnitt die Platte mit geneigter Fläche und die Abflussöffnung aufweist, zum Erläutern eines Zustands, in dem Luft von einer Reinigungsdüse ausgestoßen wird, um eine Umfangskante eines Werkstücks zu trocknen;
    • 5 ist eine Schnittansicht der Schleuderreinigungsvorrichtung, bei welcher der Schleudervorbeugungsabschnitt ein poröses Element ist, das auf der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung angeordnet ist, zum Erläutern eines Zustands, bei dem Luft von einer Reinigungsdüse ausgestoßen wird, um eine Umfangskante eines Werkstücks zu trocknen;
    • 6 ist eine Schnittansicht zum Erläutern eines Zustands, bei dem eine Mischflüssigkeit aus einer Reinigungsdüse ausgestoßen wird, um ein Werkstück in einer herkömmlichen Schleuderreinigungsvorrichtung zu reinigen; und
    • 7 ist eine Schnittansicht zum Erläutern eines Zustands, in dem Luft ausgestoßen wird, um eine Umfangskante eines Werkstücks in einer herkömmlichen Schleuderreinigungsvorrichtung zu trocknen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Eine in 1 dargestellte Schleuderreinigungsvorrichtung 1 weist auf: einen Schleudertisch 30, der eine Haltefläche 300a zum Halten eines zu reinigenden Werkstücks W aufweist; ein Rotationsmittel 32 zum Drehen des Schleudertischs 30; eine Reinigungsdüse 60, die eine Mischflüssigkeit (binäres Fluid) aus Reinigungswasser und Luft zu dem durch den Schleudertisch 30 gehaltenen Werkstück W ausstößt; ein Horizontalbewegungsmittel 40 für ein horizontales Bewegen der Reinigungsdüse 60 auf einer oberen Seite des Schleudertischs 30; eine Streuungsvorbeugungsabdeckung 5, welche den Schleudertisch 30 umgibt und durch die verursacht wird, dass die Mischflüssigkeit, die von dem Schleudertisch 30 radial verteilt wird, wenn aufgrund einer Drehung des Schleudertischs 30 eine Zentrifugalkraft auf die von der Reinigungsdüse 60 zu dem Werkstück W ausgestoßene Mischflüssigkeit ausgeübt wird, nach unten fließt; und ein Hubmittel 16 zum Anheben und Absenken der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 in einer axialen Richtung (Z-Richtung) einer Welle 320 zum Drehen des Schleudertischs 30. Die Schleuderreinigungsvorrichtung 1 kann alleine verwendet werden oder kann verwendet werden, indem sie in eine Schleifvorrichtung, eine Poliervorrichtung, eine Schneidvorrichtung oder in eine Mehrzweckvorrichtung, die mehrere der Funktionen dieser Vorrichtungen aufweist, eingebaut wird.
  • Das Werkstück W ist zum Beispiel ein sogenannter laminierter Wafer. Der laminierte Wafer wird durch Laminieren eines kreisförmigen Halbleiterwafers W1 und eines Substrats (Stützsubstrat) W2, das den gleichen Durchmesser wie der Halbleiterwafer W1 aufweist, durch Verwendung eines Haftmittels oder Ähnlichem erhalten. Mit der Handhabung des Halbleiterwafers W1 und des Substrats W2 als ein Körper, wird die Handhabbarkeit des dünnen Halbleiterwafers W1 verbessert und es kann dagegen vorgebeugt werden, dass der Halbleiterwafer W1 zum Zeitpunkt seiner Bearbeitung verzogen oder zerbrochen wird.
  • Der Halbleiterwafer W1 ist zum Beispiel ein kreisförmiger Wafer, der ein Silizium-Ausgangsmaterial oder Ähnliches aufweist. Eine vordere Fläche Wa des Halbleiterwafers W1, die in 1 nach unten gerichtet ist, ist mit mehreren Bauelementen ausgebildet, die durch das laminierte Substrat W2 geschützt werden. Eine hintere Fläche Wb des Halbleiterwafers W1, die auf der zu der vorderen Fläche Wa gegenüberliegenden Seite angeordnet ist, ist eine Fläche, die einem Schleifvorgang ausgesetzt wird, und ist eine zu reinigende Oberfläche Wb des Werkstücks W. Es ist anzumerken, dass das Werkstück W nicht auf das beschränkt ist, das Silizium aufweist, sondern Galliumarsenid, Saphir, Keramik, Harz, Galliumnitrid, Siliziumkarbid oder Ähnliches aufweisen kann.
  • Es ist anzumerken, dass das Werkstück W zum Beispiel nur der kreisförmige Halbleiterwafer W1 sein kann, der ein Silizium-Ausgangsmaterial oder Ähnliches aufweist. Alternativ kann das Werkstück W ein sogenannter TAIKO-Wafer sein, bei dem der Bereich der hinteren Fläche Wb des Halbleiterwafers W1, der mit Bauelementen an der vorderen Fläche Wa ausgebildet ist, die dem Bauelementbereich entspricht, geschliffen wird, um eine kreisförmige Aussparung auszubilden und in dem Bereich der hinteren Fläche Wb einen ringförmigen Vorsprung für eine Verstärkung auszubilden, der einem Umfangsüberschussbereich entspricht und den Bauelementbereich umgibt.
  • Die Schleuderreinigungsvorrichtung 1 schließt einen Behälterabschnitt 2 ein, der die oben erwähnten Komponenten aufnimmt. Der Behälterabschnitt 2 schließt ein: ein Gehäuse 20, dessen äußere Form in Draufsicht zum Beispiel ein Polygon ist; eine Winkelabdeckung 21, die an einem hinteren Seitenabschnitt (+X-Richtungsseite) des Gehäuses 20 von einer oberen Endfläche aus ansteigt; und eine obere Abdeckung 22, die mit der Winkelabdeckung 21 verbunden ist und das Gehäuse 20 von oben bedeckt. Die obere Abdeckung 22 weist in Draufsicht die gleiche Form auf wie das von der +Z-Richtungsseite gesehene Gehäuse 20, und ihr Ende auf der +Y-Richtungsseite ist an einem oberen Endabschnitt der Winkelabdeckung 21 durch ein Befestigungsmittel, wie zum Beispiel ein Bolzen, befestigt.
  • Das Gehäuse 20 schließt eine äußere Umfangsplatte 200, eine in 4 veranschaulichte innere Umfangsplatte 201 und eine Bodenplatte 202 ein, die mit einem unteren Ende der äußeren Umfangsplatte 200 und einem unteren Ende der inneren Umfangsplatte 201 verbunden ist. Ein Raum mit einer sich im vertikalen Querschnitt ausgesparten Form, der durch die äußere Umfangsplatte 200, die innere Umfangsplatte 201 und die Bodenplatte 202 umgeben wird, ist ein Raum, in dem die verwendete Reinigungsflüssigkeit temporär gelagert werden kann. Ein Abflussrohr, wie zum Beispiel ein Abflussschlauch oder Ähnliches, ist mit der Bodenplatte 202 verbunden, und das Abflussrohr kann mit einem nicht veranschaulichten Abflusstank in Verbindung stehen.
  • Die Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 schließt ein: eine Öffnung 50, durch welche der Schleudertisch 30 hindurch gelangen kann; eine ringförmige Umrandungsplatte 51, die so ausgebildet ist, dass ihr Abschnitt so geneigt ist, dass er, wie in 4 dargestellt, sich von der Öffnung 50 aus graduell vergrößert; eine Seitenplatte 52, welche die Umrandungsplatte 51 umgibt und sich in einer Hubrichtung des Schleudertischs 30 (Z-Achsenrichtung) erstreckt; und eine obere Platte 53, welche die Seitenplatte 52 und ein unteres Ende der Umrandungsplatte 51 verbindet. In 1 wird ein Zustand dargestellt, in dem die Seitenplatte 52 zum Reinigen des Werkstücks W nach oben bewegt worden ist und ihre obere Endfläche mit einer unteren Fläche der oberen Abdeckung 22 in Kontakt gekommen ist.
  • Die Seitenplatte 52 ist ein rohrförmiger Körper, der in Draufsicht eine Polygonform aufweist und der kleiner als und ähnlich wie das Gehäuse 20 ist und gesehen von der +Z-Richtungsseite im Inneren des Gehäuses 20 angeordnet ist. Wie in 2 dargestellt, wird die Seitenplatte 52 in das Innere des Gehäuses 20 abgesenkt, um einen offenen Zustand anzunehmen, wenn das Werkstück W an den Schleudertisch 30 angebracht oder von diesem abgenommen wird, und wird aus dem Inneren des Gehäuses 20 angehoben, um einen geschlossenen Zustand einzunehmen, wodurch dagegen vorgebeugt wird, dass die Mischflüssigkeit oder Ähnliches gestreut wird, wenn das Werkstück W, wie in 1 dargestellt, gereinigt und getrocknet wird. Die Seitenplatte 52 und die obere Abdeckung 22 können unter Verwendung eines transparenten Elements, wie zum Beispiel einer Acrylplatte ausgebildet sein, damit zum Beispiel der Bediener den Zustand des Werkstücks W während der Reinigung überprüfen kann.
  • Ein nicht veranschaulichtes Dichtelement, wie zum Beispiel Kautschuk, kann bei einer oberen Endfläche der Seitenplatte 52 angeordnet sein, sodass, wenn die Seitenplatte 52 angehoben wird, um den geschlossenen Zustand einzunehmen, eine Bodenfläche eines Umfangskantenabschnitts der oberen Abdeckung 22 mit dem Dichtelement in Kontakt tritt, um zwischen der Seitenplatte 52 und der oberen Abdeckung 22 hermetisch zu versiegeln.
  • Die Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 ist in Übereinstimmung mit der kreisförmigen äußeren Form des Schleudertischs 30 mit einer Kreisform ausgebildet. Wie in 4 dargestellt, ist die Umrandungsplatte 51 so ausgebildet, dass ihr Abschnitt von der Öffnung 50 aus sich graduell vergrößernd geneigt ist, und die Umrandungsplatte in Draufsicht ringförmig ist. Bei dem in 1 veranschaulichten Beispiel ist der Bereich der Umrandungsplatte 51 kleiner eingerichtet als der Bereich der oberen Platte 53, jedoch ist dies nicht beschränkend. Zudem sind der Neigungswinkel und Ähnliches der Umrandungsplatte 51 auf Werte eingestellt, die hinsichtlich der Menge der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Mischflüssigkeit und Ähnlichem angemessen sind. Wie in den 1 und 4 veranschaulicht, bilden die Umrandungsplatte 51 und die obere Platte 53, mit der Seitenplatte und dem unteren Ende der Umrandungsplatte 51 durch die obere Platte 53 verbunden, einen Bodenabschnitt der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 aus.
  • Der Schleudertisch 30, der in dem Behälterabschnitt 2 angeordnet ist und das Werkstück W hält, schließt einen Saughalteabschnitt 300, der zum Beispiel eine kreisförmige äußere Form einschließlich eines porösen Elements oder Ähnlichem aufweist und das Werkstück W über einen Unterdruck hält, und einen Rahmenkörper 301 ein, der den Saughalteabschnitt 300 unterstützt. Der Saughalteabschnitt 300 steht mit einer nicht veranschaulichten Saugquelle in Verbindung und hält das Werkstück W auf einer flachen Haltefläche 300a über einen Unterdruck, die eine exponierte Fläche des Saughalteabschnitts 300 und mit einer oberen Endfläche des Rahmenkörpers 301 bündig ist.
  • Das Rotationsmittel 32 schließt eine Welle 320, die ein oberes Ende mit der Bodenflächenseite des Schleudertischs 30 verbunden aufweist, einen Motor 321, der mit der unteren Endseite der Welle 320 verbunden ist und eine Rotationsantriebskraft erzeugt, usw. ein. Die axiale Richtung der Welle 320, die den Schleudertisch 30 dreht, ist die Z-Achsenrichtung (vertikale Richtung).
  • Zum Beispiel schließt die in 4 dargestellte Welle 320 einen Schürzenabschnitt 305 ein, der sich von einer äußeren Umfangsfläche der Welle 320 horizontal erstreckt und dann weiter in der -Z-Richtung abfällt. Durch den Schürzenabschnitt 305 wird dagegen vorgebeugt, dass die von dem Schleudertisch 30 herabfließende Mischflüssigkeit zwischen der Welle 320 und der inneren Umfangsplatte 201 eintritt.
  • Das Hubmittel 16 zum Anheben und Absenken der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 in der axialen Richtung (Z-Achsenrichtung) der Welle 320, die den Schleudertisch 30 dreht, ist ein Luftzylinder bzw. Pneumatikzylinder, ein elektrisch angetriebener Zylinder, ein Kugelspindelmechanismus oder Ähnliches. Das Hubmittel 16 ist zum Beispiel mit der unteren Endseite der Seitenplatte 52 oder einer unteren Fläche der Umrandungsplatte 51 verbunden und wird in 1 mit einer vereinfachten Form dargestellt.
  • Das in 1 veranschaulichte horizontale Bewegungsmittel 40 schließt ein: einen Wellenabschnitt 400, der die obere Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 durch ein Lager, ein Dichtmaterial oder Ähnliches (nicht veranschaulicht) durchdringt und auf der oberen Seite der oberen Platte 53 nach oben steigt; einen Armabschnitt 401, der sich von der oberen Endseite des Wellenabschnitts 400 in horizontaler Richtung erstreckt; und einen Rotationsmotor 402, dessen Welle mit der unteren Endseite des Wellenabschnitts 400 verbunden ist. Im Übrigen ist die Reinigungsdüse 60 am Ende des Armabschnitts 401 befestigt.
  • Wenn der Rotationsmotor 402 den Wellenabschnitt 400 um eine Achse in der Z-Achsenrichtung dreht, werden der Armabschnitt 401 und die Reinigungsdüse 60 dadurch in einer horizontalen Richtung horizontal bewegt (Schwenkbewegung). Folglich ist die Trajektorie der Reinigungsdüse 60 in Draufsicht bogenförmig, und die Reinigungsdüse 60 kann eine Ausstoßöffnung 600, die an deren unterem Endabschnitt ausgebildet ist, von einer zurückgezogenen Position aus bei einer Position über der oberen Seite der Haltefläche 300a des Schleudertischs 30 positionieren. Zum Beispiel wird bevorzugt, dass der Rotationsmittelpunkt des Schleudertischs 30 unter der Trajektorie der Reinigungsdüse 60 angeordnet ist.
  • Die Reinigungsdüse 60 ist mit einer Wasserquelle 69 verbunden, die eine Pumpe oder Ähnliches aufweist und zum Beispiel pures Wasser als Reinigungswasser durch eine Verbindung 690 und einen flexiblen Wasserströmungspfad 691, wie zum Beispiel ein Kunststoffrohr bzw. ein Kunststoffschlauch, zuführt. Ein Wasserpfadschaltventil 692 ist auf dem Wasserströmungspfad 691 angeordnet. Zudem steht die Reinigungsdüse 60 mit einer Luftquelle 68 in Verbindung, die einen Verdichter oder Ähnliches aufweist und Druckluft durch eine Verbindung 680 und einen flexiblen Luftströmungspfad 681, wie zum Beispiel ein Kunststoffrohr bzw. ein Kunststoffschluach, zuführt. Ein Luftströmungspfad-Schaltventil 682 ist auf dem Luftströmungspfad 681 angeordnet. Das von der Wasserquelle 69 zugeführte Reinigungswasser und die von der Luftquelle 68 zugeführte Luft werden in der Reinigungsdüse 60 vermischt, um über die Ausstoßöffnung 600 als Mischflüssigkeit nach unten ausgestoßen zu werden.
  • Die in 1 veranschaulichte Schleuderreinigungsvorrichtung 1 schließt einen Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 ein, auf den hiernach bei einer ersten Ausführungsform als Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 Bezug genommen wird und der dagegen vorbeugt, dass eine Kraft der aus der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Luft auf Wasser wirkt, das sich auf einer oberen Fläche der oberen Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 sammelt, sodass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt, nicht zu einem Zeitpunkt verspritzt wird, zu dem von der Reinigungsdüse 60 Luft ausgestoßen wird, um eine Umfangskante Wd des Werkstücks W zu trocknen, und zwar nach einer Reihe von Reinigungs- und Trocknungsvorgängen mit einem Positionieren der Öffnung 50 über einer oberen Fläche Wb des durch den Schleudertisch 30 gehaltenen Werkstücks W, einem Ausstoßen einer Mischflüssigkeit aus Wasser und Luft von der Reinigungsdüse 60, um das Werkstück W zu reinigen, und danach einem Ausstoßen von Luft von der Reinigungsdüse 60, um das Werkstück W zu trocknen.
  • Bei dem in 1 dargestellten Beispiel schließt der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 ein: eine Platte mit geneigter Fläche 70, die sich über der oberen Platte 53 von der Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte 53 entlang einer bogenförmigen Trajektorie der Reinigungsdüse 60 erstreckt und die auf der Seite der Öffnung 50 höher und auf der Seite der Umfangskante der oberen Platte 53 niedriger ist; und eine Abflussöffnung 71, die bei der Umfangskante der oberen Platte 53 ausgebildet ist und durch die Wasser von einer unteren Endseitenkante der Platte mit geneigter Fläche 70 herabtropft.
  • Die Platte mit geneigter Fläche 70 weist zum Beispiel eine im Wesentlichen rechtwinklige äußere Form auf und ist in einem Zustand durch nicht veranschaulichte Bolzen oder Ähnliches befestigt, in dem ihre obere Endseite an der oberen Endseite der Umrandungsplatte 51 aufgehängt ist. Die untere Endseite der Platte mit geneigter Fläche 70 ist beispielsweise schräg geschnitten, und eine Seite des unteren Endes der Platte mit geneigter Fläche 70 erreicht in dem in 1 dargestellten Beispiel die Umfangskante der oberen Platte 53. Die untere Endseite der Platte mit geneigter Fläche 70 ist mit einer oberen Fläche der oberen Platte 53 durch nicht veranschaulichte Bolzen oder Ähnliches befestigt.
  • Die Abflussöffnung 71 ist zum Beispiel durch Ausschneiden der oberen Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 in einer Dreiecksform so ausgebildet, dass ein Teil der Umfangskante der oberen Platte 53 eine Seite der Dreiecksform ausbildet und die Abflussöffnung 71 mit einem unteren Ende der Platte mit geneigter Fläche bzw. Schrägflächenplatte 70 durchgehend ist. Im Übrigen steht die Abflussöffnung 71 mit dem Raum in dem Gehäuse 20 in Verbindung, der in einem vertikalen Abschnitt aussparungsförmig ist und in dem die verwendete Mischflüssigkeit vorgehalten werden kann.
  • Es ist anzumerken, dass die äußeren Formen der Platte mit geneigter Fläche 70 und der Abflussöffnung 71 nicht auf jene des veranschaulichten Beispiels beschränkt sind. Zum Beispiel kann sich die Platte mit geneigter Fläche 70 mit einer Bogenform über die obere Platte 53 von der Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 aus in Richtung der Umfangskante der oberen Platte 53 entlang der bogenförmigen Trajektorie der Reinigungsdüse 60 erstrecken.
  • Zudem ist bei dem in 1 dargestellten Beispiel nur ein Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 an der oberen Platte 53 angeordnet. Jedoch kann zum Beispiel ein dem Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 ähnlicher, weiterer Streuungsvorbeugungsabschnitt bei einer Position angeordnet sein, die mit dem Mittelpunkt des Schleudertischs 30 dazwischen eingefügt unter der bogenförmigen Trajektorie der Reinigungsdüse 60 symmetrisch zu der Anordnungsposition des Streuungsvorbeugungsabschnitts 7 ist.
  • Die Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung kann einen Schleudervorbeugungsabschnitt 7A einschließt, auf den hiernach bei einer zweiten Ausführungsform als Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A Bezug genommen wird und der in 3 anstelle des in 1 dargestellten Streuungsvorbeugungsabschnitts 7 dargestellt wird. Der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A ist ein poröses Element, das auf der oberen Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse 60 angeordnet ist. Beispiele für das poröse Element schließen poröse Keramiken, poröse Metalle, porösen Kohlenstoff und ein Metallnetz oder Harznetz ein, die zu einer Vielzahl von Schichten gewickelt oder gefaltet sind. Der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A weist zum Beispiel eine im wesentlichen dreieckige Prismaaußenform auf, die sich von der Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 aus in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte 53 entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse 60 über obere Flächen der Umrandungsplatte 51 und die obere Platte 53 erstreckt und durch ein Haftmittel oder Ähnliches an der oberen Fläche der oberen Platte 53 befestigt ist.
  • In dem in 3 dargestellten Beispiel ist die obere Fläche des Streuungsvorbeugungsabschnitts 7A, welcher der Reinigungsdüse 60 zugewandt ist, eine geneigte Fläche, die in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte 53 niedriger wird. Jedoch ist dies nicht einschränkend, und die Oberfläche kann eine flache Fläche sein, die sich in Richtung der Umfangskante erstreckt. Zudem ist die äußere Form des Streuungsvorbeugungsabschnitts 7A nicht auf eine im wesentlichen dreieckige Prismaform beschränkt. Im Übrigen ist bei dem in 3 veranschaulichten Beispiel nur ein Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A an der oberen Platte 53 angeordnet, jedoch kann zum Beispiel ein weiterer Streuungsvorbeugungsabschnitt, der dem Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A ähnlich ist, bei einer Position angeordnet sein, die mit dem Mittelpunkt des Schleudertischs 30 dazwischen eingefügt unter der bogenförmigen Trajektorie der Reinigungsdüse 60 symmetrisch zu der Anordnungsposition des Streuungsvorbeugungsabschnitts 7A ist.
  • Wie in 5 dargestellt, ist eine Abflussöffnung 75 zum Beispiel bei einer Position unter dem Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A die obere Platte 53 durchdringend ausgebildet. Die Abflussöffnung 75 steht mit dem Raum in dem Gehäuse 20 in Verbindung, der in einem vertikalen Querschnitt aussparungsförmig ist und in dem die verwendete Mischflüssigkeit aufgenommen werden kann. Es ist anzumerken, dass die Anordnungsposition der Abflussöffnung 75 nicht auf das bei der vorliegenden Ausführungsform dargestellte Beispiel beschränkt ist.
  • Nachfolgend wird ein Betrieb der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 für den Fall eines Ausstoßens von Luft aus der Reinigungsdüse 60, um das Werkstück W nach dem Reinigen der oberen Fläche Wb des Werkstücks W mit einer Mischflüssigkeit (binäres Fluid) aus Luft und Reinigungswasser durch Verwendung der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 zu trocknen.
  • Als Erstes wird, wie in 2 dargestellt, das Hubmittel 16 der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 betätigt, um die Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 abzusenken, wodurch die Seitenplatte 52 in einen offenen Zustand versetzt wird. Mit anderen Worten wird ein Teil der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 zwischen der oberen Abdeckung 22 und dem Gehäuse 20 in der Z-Achsenrichtung geöffnet, was einen Zustand ergibt, in dem das Werkstück W in dessen Inneres eintreten kann.
  • Das Werkstück W wird auf dem Schleudertisch 30 befördert, und das Werkstück W wird mit seiner oberen Fläche Wb auf der oberen Seite auf der Haltefläche 300a platziert. Dann wird eine Saugkraft, die durch die mit dem Schleudertisch 30 verbundene, nicht veranschaulichte Saugquelle erzeugt wird, zu der Haltefläche 300a übertragen, wodurch der Schleudertisch 30 das Werkstück W über einen Unterdruck an der Haltefläche 300a hält.
  • Als Nächstes wird das Hubmittel 16, wie in 1 veranschaulicht, betätigt, um die Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 aus dem Inneren des Gehäuses 20 anzuheben, und eine obere Endfläche der Seitenplatte 52 kommt mit einer unteren Fläche eines Umfangskantenabschnitts der oberen Abdeckung 22 in Kontakt und wird angehalten. Ein Teil zwischen der oberen Abdeckung 22 und dem Gehäuse 20 wird mit der Seitenplatte 52 verschlossen, wodurch durch die obere Abdeckung 22 und die Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 ein geschlossener Raum zum darin Reinigen und Trocknen des Werkstücks B ausgebildet wird. Zudem ist die Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 über der oberen Fläche Wb des durch den Schleudertisch 30 gehaltenen Werkstücks W angeordnet. Mit anderen Worten ist die obere Fläche Wb des Werkstücks W bei einer Position unter der oberen Endfläche der Umrandungsplatte 51 angeordnet.
  • Nachfolgend wird die Reinigungsdüse 60 durch das horizontale Bewegungsmittel 40 geschwenkt, und die Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 wird auf einer oberen Seite des Mittelpunkts der oberen Fläche Wb des über einen Unterdruck gehaltenen Werkstücks W mit einer Ausrichtung der Mittelpunkte durch den Schleudertisch 30 angeordnet. In diesem Zustand wird Reinigungswasser von der Wasserquelle 69 aus zu der Reinigungsdüse 60 geführt, während Druckluft von der Luftquelle 68 zu der Reinigungsdüse 60 geführt wird, und die Mischflüssigkeit (binäres Fluid) aus der Luft und dem Reinigungswasser wird von der Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 in Richtung des Mittelpunkts der oberen Fläche Wb des Werkstücks W ausgestoßen. Ferner wird die Reinigungsdüse 60, welche die Mischflüssigkeit ausstößt, über einer oberen Seite des Werkstücks W um eine Achse in der Z-Achsenrichtung auf so eine Weise geschwenkt, dass sie sich mit einem vorbestimmten Winkel hin- und her bewegt. Zudem wird der Schleudertisch 30 durch das Rotationsmittel 32 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit gedreht, wodurch die Mischflüssigkeit von der Reinigungsdüse 60 zu der gesamten Fläche der oberen Fläche Wb des Werkstücks W ausgestoßen wird.
  • Es ist anzumerken, dass die Reinigungsdüse 60 in einer horizontalen Richtung geradlinig bewegt werden kann, ohne geschwenkt zu werden. Zudem muss die Reinigungsdüse 60 nicht über der oberen Seite des Mittelpunkts des Werkstücks W angeordnet sein. Mit anderen Worten kann nur der Teil der Umfangskante Wd des Werkstücks W gereinigt werden, ohne den Mittelpunkt und einen mittigen Abschnitt des Werkstücks W zu reinigen.
  • Als Ergebnis wird anhaftende Substanz, wie zum Beispiel Schleifspäne, die an der oberen Fläche Wb des Werkstücks W anhaften, mit der Mischflüssigkeit gereinigt und entfernt. Danach strömt die Mischflüssigkeit aufgrund einer durch die Drehung des Schleudertischs 30 erzeugten Zentrifugalkraft über die obere Fläche Wb des Werkstücks W von der mittigen Seite zu der Randseite und strömt von einer Position auf der oberen Fläche Wb aus nach unten in den Raum, der im vertikalen Querschnitt aussparungsförmig ist und durch die äußere Umfangsplatte 200, die innere Umfangsplatte 201 (siehe 4) und die Bodenplatte 202 des Gehäuses 20 umgeben wird, um in dem Raum vorgehalten zu werden.
  • Zudem trifft die Mischflüssigkeit, die von dem Schleudertisch 30 und dem Werkstück W radial verteilt wird, wenn die Zentrifugalkraft aufgrund der Drehung des Schleudertischs 30 auf die von der Reinigungsdüse 60 auf das Werkstück W ausgestoßene Mischflüssigkeit ausgeübt wird, auf die untere Flächenseite der Umrandungsplatte 51 der in 4 dargestellten Streuungsvorbeugungsabdeckung 5, strömt entlang der unteren Fläche nach unten und strömt nach unten in den Raum, der im vertikalen Querschnitt aussparungsförmig ist und durch die äußere Umfangsplatte 200, die innere Umfangsplatte 201 und die Bodenplatte 202 (siehe 1) des Gehäuses 20 umgeben wird.
  • Nachdem die gesamte Fläche der oberen Fläche Wb des Werkstücks W über einem vorbestimmten Zeitraum gereinigt worden ist, ist die Umfangskante Wd des Werkstücks W, das der laminierte Wafer ist, auf positive Weise mit der Mischflüssigkeit gereinigt. Dies liegt daran, dass anhaftendes Material, wie zum Beispiel Schleifspäne, häufig an der Umfangskante Wd des laminierten Wafers abgelagert wird. Die Reinigungsdüse 60 wird durch das horizontale Bewegungsmittel 40 geschwenkt, und die Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 ist über der oberen Seite der Umfangskante Wd des Werkstücks W angeordnet, das durch den Schleudertisch 30 über einen Unterdruck gehalten wird, woraufhin eine Bewegung der Reinigungsdüse 60 angehalten wird.
  • In diesem Zustand wird die Mischflüssigkeit aus Luft und Reinigungswasser von der Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 ausgestoßen. Im Übrigen wird der Schleudertisch 30 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit gedreht, wodurch die Mischflüssigkeit zu dem gesamten Umfang der Umfangskante Wd des Werkstücks W ausgestoßen wird. Beim Reinigen der Umfangskante wird ebenfalls der Hauptanteil der Mischflüssigkeit durch die Umrandungsplatte 51 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 dazu gebracht, nach unten in den Raum zu fließen, der in einem vertikalen Querschnitt in dem Gehäuse 20 aussparungsförmig ist. In diesem Fall kann ein Teil der Mischflüssigkeit, die von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßen wird, zu der oberen Fläche der oberen Platte 53 fließen, oder die Mischflüssigkeit, auf welche die Zentrifugalkraft ausgeübt wird und die von dem Schleudertisch 30 radial verstreut wird, kann zu der oberen Fläche der oberen Platte 53 fliegen. Daher kann sich Wasser auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammeln, was möglicherweise, wie in den 4 oder 5 dargestellt, in der Ausbildung eines Pools V resultiert.
  • Als Nächstes wird in der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 ein Trocknen des Werkstücks W ausgeführt. Beim Trocknen des Werkstücks W wird zum Beispiel als Erstes ein Trocknen der oberen Fläche Wb ausgeführt. Die Reinigungsdüse 60 wird durch das Horizontalbewegungsmittel 40 verschwenkt, und die Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 wird über der oberen Seite eines mittigen Abschnitts des Werkstücks W, das durch den Schleudertisch 30 über einen Unterdruck gehalten wird, angeordnet, woraufhin die Bewegung der Reinigungsdüse 60 angehalten wird. Es ist anzumerken, dass die Reinigungsdüse 60 auf so eine Weise über der oberen Seite des Werkstücks W verschwenkt werden kann, dass sie sich in einer horizontalen Richtung hin- und her bewegt. Druckluft wird von der Luftquelle 68 zu der Reinigungsdüse 60 geführt, und die Luft wird von der Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 aus in Richtung eines mittigen Abschnitts der oberen Fläche Wb des Werkstücks W ausgestoßen. Zudem wird der Schleudertisch 30 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit gedreht, sodass das auf der oberen Fläche Wb des Werkstücks W verweilende Reinigungswasser durch die Luft, die von dem Mittelpunkt der oberen Fläche Wb des Werkstücks W aus radial strömt, und durch die Zentrifugalkraft aufgrund der Drehung des Schleudertischs 30 dazu gebracht wird, von einer Position auf der oberen Fläche Wb aus nach unten in den Raum zu fließen, der in einem vertikalen Querschnitt aussparungsförmig ist und durch die äußere Umfangsplatte 200, die innere Umfangsplatte 201 (siehe 4 und 5) und die Bodenplatte 202 des Gehäuses 20 umgeben wird.
  • Nachdem die gesamte Fläche der oberen Fläche Wb des Werkstücks W über einen vorbestimmten Zeitraum getrocknet worden ist, ist die Umfangskante Wd des Werkstücks W, das der laminierte Wafer ist, auf positive Weise mit Luft getrocknet. Dies liegt daran, dass das Reinigungswasser häufig in größeren Mengen an der Umfangskante Wd des laminierten Wafers gesammelt wird.
  • Wie in der 4 oder 5 veranschaulicht, wird die Reinigungsdüse 60 durch das Horizontalbewegungsmittel 40 verschwenkt, wodurch die Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 auf der Seite, auf welcher der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 angeordnet ist, und über der oberen Seite der Umfangskante Wd des durch den Schleudertisch 30 gehaltenen Werkstücks W angeordnet wird, woraufhin die Bewegung der Reinigungsdüse 60 angehalten wird. Dann wird Luft von der Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 ausgestoßen. Im Übrigen wird während eines Drehens des Schleudertischs 30 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit Luft zu dem gesamten Umfang der Umfangskante Wd des Werkstücks W ausgestoßen.
  • Hiernach werden problematische Aspekte bei einer gewöhnlichen Schleuderreinigungsvorrichtung 1B im Falle eines ausgeführten Trocknens der Umfangskante Wd des Werkstücks W mit Luft unter Verwendung der 6 und 7 kurz beschrieben. Die in den 6 und 7 dargestellte Reinigungsvorrichtung 1B unterscheidet sich von der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung dadurch, dass sie keinen Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 der in 4 dargestellten ersten Ausführungsform oder Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A der in 5 dargestellten zweiten Ausführungsform aufweist.
  • Wenn eine positive Reinigung der Umfangskante Wd des Werkstücks W mit der Mischflüssigkeit durch Verwendung der in 6 dargestellten konventionellen Schleuderreinigungsvorrichtung 1B ausgeführt wird, oder in dem ähnlichen Fall, dass eine positive Reinigung der Umfangskante Wd des Werkstücks W, wie oben beschrieben, mit der Mischflüssigkeit durch Verwendung der Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird, kann ein Teil der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Mischflüssigkeit zu der oberen Fläche der oberen Platte 53 strömen, oder die Mischflüssigkeit, auf welche die Zentrifugalkraft ausgeübt wird und die von dem Schleudertisch 30 und dem Werkstück W aus radial gestreut wird, kann zu der oberen Fläche der oberen Platte 53 fliegen. Daher kann sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 Wasser sammeln, was möglicherweise in der Ausbildung eines in 6 dargestellten Pools V resultiert.
  • Wenn ferner ein positives Trocknen der Umfangskante Wd des Werkstücks W mit Luft durch Verwendung der in 7 dargestellten konventionellen Schleuderreinigungsvorrichtung 1B ausgeführt wird, oder in dem ähnlichen Fall, dass ein positives Trocknen der Umfangskante Wd des Werkstücks W nach dem Reinigen mit Luft durch Verwendung der oben beschriebenen Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird, verspritzt die von der Ausstoßöffnung 600 der Reinigungsdüse 60 ausgestoßene Luft das Wasser in dem Pool V auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5, und das verspritzte Wasser sammelt sich zu Tropfen und weiteren Tropfen auf der getrockneten oberen Fläche Wb des Werkstücks W, wodurch die obere Fläche Wb, wie in 7 dargestellt, erneut benetzt wird.
  • Andererseits ist bei der in 4 dargestellten Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 vorgesehen, um dagegen vorzubeugen, dass die Kraft der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Luft auf das Wasser wirkt, dass sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt, und der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 schließt die Platte mit geneigter Fläche 70 ein, die sich von der Öffnung 50 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 aus in Richtung der Umfangskante der oberen Platte 53 entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse 60 erstreckt und die auf der Seite der Öffnung 50 höher ist und auf der Seite der Umfangskante der oberen Platte 53 niedriger ist, und die Abflussöffnung 71 ein, die bei der Umfangskante der oberen Platte 53 ausgebildet ist und durch die das Wasser von der unteren Endseitenkante der Platte mit geneigter Fläche 70 heruntertropft. Dieser Aufbau stellt sicher, dass zum Zeitpunkt eines Trocknens der Umfangskante Wd des Werkstücks W die Kraft der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Luft dazu gebracht werden kann, entlang der geneigten Fläche (oberen Fläche) der Platte mit geneigter Fläche 70 zu strömen und davon abgehalten wird, auf den Pool V auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 zu wirken, wodurch dagegen vorgebeugt werden kann, dass die Luft das Wasser verspritzt, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt. Daher kann gegen das Auftreten einer Situation vorgebeugt werden, bei welcher die durch die Luft verspritzten Wassertropfen erneut an dem getrockneten Werkstück W anhaften. Es ist anzumerken, dass die Oberfläche der Platte mit geneigter Fläche 70 eine geneigte Fläche ist und daher Wassertropfen und Ähnliches, die zum Zeitpunkt einer Reinigung des Werkstücks W mit der Mischflüssigkeit an der oberen Fläche der Platte mit geneigter Fläche 70 anhaften nach unten fließen, um über die Abflussöffnung 71 abgelassen zu werden. Folglich werden die Wassertropfen zum Zeitpunkt eines Trocknens der Umfangskante Wd des Werkstücks W mit Luft nicht auf der geneigten Fläche der Platte mit geneigter Fläche 70 zurückgelassen, und das Wasser wird nicht durch die Luft umhergespritzt.
  • Zudem ist bei der in 5 dargestellten Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A bereitgestellt, um dagegen vorzubeugen, dass die Kraft der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Luft auf das Wasser wirkt, das auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 gesammelt wird, und der Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A ist ein poröses Element, das auf der oberen Platte 53 der Streuungsvorbeugungsabdeckung 5 entlang der Trajektorie der Reinigungsdüse 60 angeordnet ist. Dieser Aufbau stellt sicher, dass zum Zeitpunkt eines Trocknens der Umfangskante Wd des Werkstücks W die Kraft der von der Reinigungsdüse 60 ausgestoßenen Luft durch den Durchgang von Luft durch den Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A, der das poröse Element ist, geschwächt wird, und es wird dagegen vorgebeugt, dass die Luft kraftvoll auf den Pool V auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 wirkt, wodurch dagegen vorgebeugt werden kann, dass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte 53 sammelt, durch die Luft verspritzt wird. Daher kann gegen eine Situation vorgebeugt werden, bei der die durch die Luft verspritzten Wassertropfen erneut an dem getrockneten Werkstück W anhaften.
  • Selbstverständlich ist die Schleuderreinigungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nicht auf die Beispiele, welche bei der ersten Ausführungsform den Streuungsvorbeugungsabschnitt 7 oder bei der zweiten Ausführungsform den Streuungsvorbeugungsabschnitt 7A aufweisen, beschränkt und kann auf vielfältige unterschiedliche Arten innerhalb des Schutzbereichs der technischen Idee der vorliegenden Erfindung ausgeführt werden. Zudem sind die Formen der Komponenten der Schleuderreinigungsvorrichtung 1, die in den angehängten Zeichnungen veranschaulicht sind, und Ähnliches nicht auf die veranschaulichten beschränkt und können in Bereichen angemessen abgewandelt werden, in denen die Effekte der vorliegenden Erfindung hervorgerufen werden können.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.

Claims (3)

  1. Schleuderreinigungsvorrichtung, die aufweist: einen Schleudertisch mit einer Haltefläche zum Halten eines zu reinigenden Werkstücks; ein Rotationsmittel zum Drehen des Schleudertischs; eine Reinigungsdüse zum Ausstoßen einer Mischflüssigkeit aus Reinigungswasser und Luft zu dem durch den Schleudertisch gehaltenen Werkstück; ein Horizontalbewegungsmittel zum horizontalen Bewegen der Reinigungsdüse über einer oberen Seite des Schleudertischs; eine Streuungsvorbeugungsabdeckung, welche den Schleudertisch umgibt und durch welche die Mischflüssigkeit, die von dem Schleudertisch radial verstreut wird, wenn eine Zentrifugalkraft aufgrund einer Drehung des Schleudertischs auf die von der Reinigungsdüse auf das Werkstück ausgestoßene Mischflüssigkeit wirkt, dazu gebracht wird, nach unten zu strömen; und ein Hubmittel zum Anheben und Absenken der Streuungsvorbeugungsabdeckung in einer axialen Richtung einer Welle zum Drehen des Schleudertischs, wobei die Streuungsvorbeugungsabdeckung aufweist: eine Öffnung, durch welche der Schleudertisch gelangen kann, eine ringförmige Umrandungsplatte, die so ausgebildet ist, dass ihr Abschnitt von der Öffnung aus sich graduell vergrößernd geneigt ist, eine Seitenplatte, welche die Umrandungsplatte umgibt und sich in einer Hubrichtung des Schleudertischs erstreckt, und eine obere Platte, welche die Seitenplatte und ein unteres Ende der Umrandungsplatte verbindet, wobei die Schleuderreinigungsvorrichtung ferner aufweist: einen Streuungsvorbeugungsabschnitt, der dagegen vorbeugt, dass die Kraft einer von der Reinigungsdüse ausgestoßenen Luft auf Wasser wirkt, das sich auf einer oberen Fläche der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung sammelt, sodass das Wasser, das sich auf der oberen Fläche der oberen Platte sammelt, zum Zeitpunkt eines Ausstoßens von Luft aus der Reinigungsdüse, um nach der Reinigung eine Umfangskante des Werkstücks zu trocknen, verspritzt wird, während einer Reihe von Reinigungs- und Trocknungsvorgängen mit einem Positionieren der Öffnung über einer oberen Fläche des durch den Schleudertisch gehaltenen Werkstücks, Ausstoßen der Mischflüssigkeit aus der Reinigungsdüse, um das Werkstück zu reinigen, und danach Ausstoßen von Luft aus der Reinigungsdüse, um das Werkstück zu trocknen.
  2. Schleuderreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Streuungsvorbeugungsabschnitt aufweist: eine Platte mit geneigter Fläche, die sich von der Öffnung der Streuungsvorbeugungsabdeckung aus in Richtung einer Umfangskante der oberen Platte entlang einer Trajektorie der Reinigungsdüse über die obere Platte erstreckt und die auf der Öffnungsseite höher ist und auf der Umfangskantenseite niedriger ist, und eine Abflussöffnung, die bei der Umfangskante ausgebildet ist und durch die das Wasser von einer unteren Endseitenkante der Platte mit geneigter Fläche heruntertropft.
  3. Schleuderreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher der Streuungsvorbeugungsabschnitt ein poröses Element aufweist, das auf der oberen Platte der Streuungsvorbeugungsabdeckung entlang einer Trajektorie der Reinigungsdüse angeordnet ist.
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