DE102019202710A1 - Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Rahmeneinheit - Google Patents

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Yukito Akutagawa
Toshio Tsuchiya
Kentaro Shiraga
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Abstract

Es wird ein Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Rahmeneinheit offenbart, die ein fixiertes Objekt, ein Band, das an einer unteren Fläche des fixierten Objekts angebracht ist, und einen ringförmigen Rahmen aufweist, an dem ein äußerer Umfangsabschnitt des Bands angebracht ist, wobei das Reinigungsverfahren umfasst: einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt mit einem Reinigen des fixierten Objekts durch Ausstoßen einer Reinigungsflüssigkeit von einer Reinigungsdüse während eines Hin- und Herbewegens der Reinigungsdüse entlang eines Pfads, der sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des fixierten Objekts bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des fixierten Objekts erstreckt, und einen Rahmenreinigungsschritt mit einem Reinigen des Rahmens durch Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit aus der Reinigungsdüse zu dem Rahmen.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Reinigungsverfahren mit einem Reinigen einer Rahmeneinheit, die ein fixiertes Objekt, ein Band, das an einer unteren Fläche des fixierten Objekts angebracht ist, und einen ringförmigen Rahmen aufweist, an dem ein äußerer Umfangsabschnitt des Bands befestigt ist.
  • BESCHREIBUNG DES IN BEZIEHUNG STEHENDEN STANDS DER TECHNIK
  • Bei einem Herstellungsprozess von Bauelementchips, die in elektronischen Vorrichtungen, wie zum Beispiel Mobiltelefonen, Computern oder Ähnlichem verwendet werden, wird eine Vielzahl sich schneidender geplanter Prozesslinien, auf die auch als Straßen Bezug genommen wird, an der oberen Fläche eines Wafers eingerichtet, der aus einem Halbleiter ausgebildet ist. Ein Bauelement, wie zum Beispiel ein integrierter Schaltkreis (IC), eine Large Scale Integration (LSI) oder Ähnliches, ist in jedem der Bereiche der oberen Fläche des Wafers ausgebildet, wobei die Bereiche durch die geplanten Prozesslinien abgegrenzt sind. Einzelne Bauelementchips können ausgebildet werden, wenn der Wafer danach entlang der geplanten Prozesslinien getrennt wird.
  • Die Trennung des Wafers wird durch eine Bearbeitungsvorrichtung, wie zum Beispiel eine Schneidvorrichtung, die den Wafer durch eine Schneidklinge ringförmiger Form schneidet, eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die den Wafer durch Bestrahlen des Wafers mit einem Laserstrahl bearbeitet, oder ähnlichem ausgeführt. Wenn der Wafer durch die Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet wird, werden Bearbeitungsrückstände erzeugt, und die Bearbeitungsrückstände sind an der oberen Fläche und am Umfang des Wafers verteilt. Der Wafer wird daher nach der Bearbeitung gereinigt, um die Bearbeitungsrückstände zu entfernen. Die Bearbeitungsvorrichtung ist zum Beispiel mit einer Drehreinigungsvorrichtung versehen. Nach der Bearbeitung wird der Wafer zu der Drehreinigungsvorrichtung transportiert und durch die Drehreinigungsvorrichtung gereinigt (siehe zum Beispiel das japanische offengelegte Patent mit der Nummer 2000-33346). Die Drehreinigungsvorrichtung weist auf: einen Drehtisch, der das zu reinigende Objekt hält; eine Reinigungsdüse, die eine Reinigungsflüssigkeit ausstößt; und ein Flüssigkeitszuführrohr, das die Reinigungsflüssigkeit der Reinigungsdüse zuführt. Das zu reinigende Objekt wird durch ein Hin- und Herbewegen der Reinigungsdüse in einem Bereich von oberhalb eines Endes des zu reinigenden Objekts bis oberhalb eines anderen Endes des zu reinigenden Objekts während eines Drehens des Drehtischs, der das zu reinigende Objekt hält, und Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit aus der Reinigungsdüse gereinigt.
  • Ein Klebeband, das an einen ringförmigen Rahmen geklebt wird, wird zuvor an der unteren Fläche des Wafers angebracht, der in die Bearbeitungsvorrichtung zu transportieren ist. Dann wird der Wafer in die Bearbeitungsvorrichtung transportiert und durch die Bearbeitungsvorrichtung in einer Rahmeneinheit bearbeitet, in welcher der Wafer, das Band und der Rahmen integral ausgeführt sind. Eine Angabe einer Identifikationsinformation des Wafers oder Ähnliches kann an der oberen Fläche des ringförmigen Rahmens angeordnet sein, um den Wafer zu identifizieren und zu verwalten (siehe zum Beispiel das offengelegte japanische Patent mit der Nummer Hei 09-7977). Zum Beispiel ist die Angabe ein Strichcode, und die Bearbeitungsvorrichtung erhält die Identifikationsinformation des Wafers durch Lesen des Strichcodes. Wenn eine Bearbeitungseinheit den zu der Rahmeneinheit gehörenden Wafer bearbeitet, werden auch Bearbeitungsrückstände auf der Angabe verteilt, die an der oberen Fläche des ringförmigen Rahmens angeordnet ist. Wenn die Bearbeitungsrückstände an der Angabe anhaften, kann die Bearbeitungsvorrichtung nicht im Stande sein, die Identifikationsinformation von der Angabe zu lesen. Um durch Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit beim Reinigen des Wafers auch den Rahmen zu reinigen, bewegt die Drehreinigungsvorrichtung dementsprechend die Reinigungsdüse in einem Bereich von oberhalb eines Endes des Rahmens bis oberhalb eines anderen Endes des Rahmens hin und her.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Das Flüssigkeitszuführrohr der Drehreinigungsvorrichtung schließt einen rohrförmigen Schaftabschnitt ein, der sich an der Außenseite des Drehtischs entlang einer Richtung erstreckt, die senkrecht zu der oberen Fläche des Drehtischs ist, und eine Position erreicht, die höher ist als die Höhe der oberen Fläche des Drehtischs. Das Flüssigkeitszuführrohr schließt ferner einen rohrförmigen Armabschnitt mit einer Länge ein, die einem Abstand von dem Schaftabschnitt zu dem Mittelpunkt des Drehtischs entspricht und sich in einer Richtung senkrecht zu der Erstreckungsrichtung des Schaftabschnitts erstreckt. Ein Ende des Armabschnitts ist mit einem oberen Ende des Schaftabschnitts verbunden. Ein anderes Ende des Armabschnitts ist mit der nach unten gerichteten Reinigungsdüse versehen. Die Reinigungsflüssigkeit wird der Reinigungsdüse über den Schaftabschnitt und den Armabschnitt zugeführt, und die Reinigungsflüssigkeit wird aus der Reinigungsdüse nach unten ausgestoßen. Währen des Reinigens des zu reinigenden Objekts wird die Reinigungsdüse durch Drehen des Flüssigkeitszuführrohrs mit dem Schaftabschnitt als Rotationsachse hin- und herbewegt. Verglichen mit einem Fall, in dem nur der Wafer als zu reinigendes Objekt gereinigt wird, wird in einem Fall, in dem die gesamte Rahmeneinheit einschließlich des ringförmigen Rahmens gereinigt wird, eine Bewegungsstrecke der Reinigungsdüse pro Hin- und Herbewegung verlängert, und eine benötigte Zeit, die für eine Hin- und Herbewegung der Reinigungsdüse notwendig ist, wird entsprechend erhöht. Folglich ist eine Zeit, die benötigt wird, um die Rahmeneinheit zu reinigen, länger als eine Zeit, die benötigt wird, um nur den Wafer zu reinigen, sodass die Produktivität vermindert wird, wenn der Rahmen gleichzeitig mit dem Wafer gereinigt wird.
  • Es ist dementsprechend eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Reinigungsverfahren bereitzustellen, das eine Rahmeneinheit in einer relativ kurzen benötigten Zeit reinigen kann.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Rahmeneinheit, die ein fixiertes Objekt, ein Band, das an einer unteren Fläche des fixierten Objekts angebracht ist, und einen ringförmigen Rahmen aufweist, an dem ein äußerer Umfangsabschnitt des Bands angebracht ist, bereitgestellt, wobei das Reinigungsverfahren umfasst: einen Halteschritt mit einem Halten der Rahmeneinheit an einer Haltefläche eines Drehtischs; einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt mit einem Reinigen des fixierten Objekts durch Ausstoßen einer Reinigungsflüssigkeit von einer Reinigungsdüse während eines Drehens des Drehtischs, der die Rahmeneinheit hält, und eines Hin- und Herbewegens der Reinigungsdüse entlang eines ersten Pfads, der oberhalb eines Mittelpunkts der Haltefläche verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des fixierten Objekts bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des fixierten Objekts erstreckt; und einen Rahmenreinigungsschritt mit einem Reinigen des Rahmens durch Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit von der Reinigungsdüse zu dem Rahmen während eines Drehens des Drehtischs.
  • Vorzugsweise wird bei dem Rahmenreinigungsschritt das fixierte Objekt durch Hin- und Herbewegen der Reinigungsdüse entlang eines zweiten Pfads zusammen mit dem Rahmen gereinigt, wobei der Pfad oberhalb des Mittelpunkts der Haltefläche verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des Rahmens bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des Rahmens erstreckt.
  • Zudem wird bei dem Rahmenreinigungsschritt vorzugsweise die Reinigungsdüse entlang eines zweiten Pfads hin- und herbewegt, der nur einen Bereich oberhalb des Rahmens einschließt.
  • Ein Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit einem Modus bzw. einer Ausführung der vorliegenden Erfindung ist ein Reinigungsverfahren mit einem Reinigen einer Rahmeneinheit als zu reinigendes Objekt, die ein fixiertes Objekt, wie zum Beispiel einen Wafer oder ähnliches, ein Band, das an einer unteren Fläche des fixierten Objekts angebracht ist, und einen ringförmigen Rahmen aufweist, an dem ein äußerer Umfangsabschnitt des Bands angebracht ist. Das Reinigungsverfahren schließt ein: einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt mit einem Hin- und Herbewegen einer Reinigungsdüse entlang eines ersten Pfads, der sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des fixierten Objekts bis oberhalb eines andere Endes der äußeren Umfangskante des fixierten Objekts erstreckt, und einen Rahmenreinigungsschritt mit einem Reinigen des Rahmens durch Ausstoßen einer Reinigungsflüssigkeit zu dem Rahmen. Eine Reinigungskraft, die für das fixierte Objekt, wie zum Beispiel ein Wafer oder Ähnliches, an dem Bauelemente ausgebildet sind, notwendig ist, unterscheidet sich von einer Reinigungskraft, die für den Rahmen notwendig ist, an dem eine Angabe einer Identifikationsinformation angeordnet ist. Hier ist zum Beispiel eine Reinigungskraft die Kraft einer Reinigungswirkung, wobei die Kraft durch die Länge einer Reinigungszeit oder Ähnliches bestimmt wird. Aufgrund der unterschiedlichen Reinigungskräfte, die für das fixierte Objekt und den Rahmen notwendig sind, wird in einem Fall, in dem sowohl das fixierte Objekt als auch der Rahmen in einem Reinigungsschritt gleichzeitig gereinigt werden, der Rahmen mit der Reinigungskraft gereinigt, die für das fixierte Objekt oder den Rahmen notwendig ist und eine hohe Reinigungskraft benötigt. In diesem Fall wird das jeweils andere, das eine niedrige Reinigungskraft benötigt, übermäßig gereinigt.
  • Demgegenüber kann das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit dem einen Modus der vorliegenden Erfindung das fixierte Objekt und den Rahmen mit den Reinigungskräften reinigen, die jeweils für das fixierte Objekt und den Rahmen notwendig sind, indem die Reinigung in zwei getrennten Schritten ausgeführt wird, das heißt dem Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt und dem Rahmenreinigungsschritt. Das heißt, das eine Zeit übermäßiger Reinigung, die für das fixierte Objekt oder den Rahmen ausgeführt wird, von denen eines eine niedrige Reinigungskraft benötigt, weggelassen werden kann, und dadurch eine zum Reinigen der Rahmeneinheit verwendete Zeit verkürzt werden kann.
  • Folglich stellt die vorliegende Erfindung ein Reinigungsverfahren bereit, das eine Rahmeneinheit in einer relativ kurzen benötigten Zeit reinigen kann.
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und angehängten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, deutlicher und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Rahmeneinheit schematisch darstellt;
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Reinigungsvorrichtung und die Rahmeneinheit schematisch darstellt;
    • 3 ist eine Schnittansicht, die einen Halteschritt schematisch darstellt;
    • 4 ist eine Schnittansicht, die einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt schematisch darstellt;
    • 5 ist eine Draufsicht, die den Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt schematisch darstellt;
    • 6 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel eines Rahmenreinigungsschritts schematisch darstellt;
    • 7 ist eine Draufsicht, die ein weiteres Beispiel des Rahmenreinigungsschritts schematisch darstellt; und
    • 8 ist eine Schnittansicht, die einen Trocknungsschritt schematisch darstellt.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Es wird nun unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen eine Ausführung in Übereinstimmung mit einem Modus der vorliegenden Erfindung beschrieben. Ein Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform reinigt eine Rahmeneinheit einschließlich eines fixierten Objekts, wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers oder Ähnliches. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Rahmeneinheit schematisch darstellt, die durch das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform gereinigt wird. Wie in 1 dargestellt, schließt eine Rahmeneinheit 11 ein fixiertes Objekt 1, ein Band bzw. Klebeband 7, das an einer unteren Fläche 1b des fixierten Objekts 1 befestigt ist, und einen ringförmigen Rahmen 9 ein, an dem der Umfang des Bands 7 befestigt ist. Das fixierte Objekt ist zum Beispiel ein scheibenförmiger Wafer, der aus einem Halbleitermaterial ausgebildet ist, wie zum Beispiel Silizium oder Ähnlichem, oder aus einem Substrat, das aus Glas, Saphir oder Ähnlichem ausgebildet ist. Das Material, die Form, die Struktur und Ähnliches des fixierten Objekts 1 sind nicht beschränkt. Zum Beispiel können ein Substrat, das aus einem Material, wie zum Beispiel Keramik, einem Harz, einem Metall oder Ähnlichem ausgebildet ist, und ein rechtwinkliges Substrat als fixiertes Objekt 1 verwendet werden.
  • Eine Vielzahl sich kreuzender geplanter Prozesslinien (Straßen) 3 sind auf der Seite einer oberen Fläche 1a des fixierten Objekts 1 eingerichtet. Bauelemente 5, wie zum Beispiel ICs, LSIs oder Ähnliches sind in Bereichen ausgebildet, die durch die geplanten Prozesslinien 3 begrenzt sind. Einzelne Bauelementchips können ausgebildet werden, wenn das fixierte Objekt 1 entlang der geplanten Prozesslinien 3 getrennt wird. Bevor eine Bearbeitungsvorrichtung das fixierte Objekt 1 bearbeitet, wird das an dem ringförmigen Rahmen 9 befestigte Band 7 an der unteren Fläche 1b des fixierten Objekts 1 befestigt, sodass die Rahmeneinheit 11 mit den zueinander integralen fixierten Objekt 1, ringförmigen Rahmen 9 und Band 7 ausgebildet wird. Das fixierte Objekt 1 wird durch den Rahmen 9 über das Band 7 unterstützt und wird in der Rahmeneinheit 11 in die Bearbeitungsvorrichtung bewegt und durch die Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet. Die obere Fläche des Rahmens 9 ist beispielsweise mit einem Strichcode versehen, der eine Identifikationsinformation des fixierten Objekts als eine Angabe 13 der Identifikationsinformation speichert. Die Bearbeitungsvorrichtung erhält durch Lesen der Angabe 13 der Identifikationsinformation die Identifikationsinformation, wenn sie das fixierte Objekt 1 bearbeitet.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung, die das fixierte Objekt 1 bearbeitet, ist zum Beispiel eine Schneidvorrichtung, die mit einer ringförmigen Schneidklinge versehen ist, eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die mit einer Laserbearbeitungseinheit versehen ist, die einen Laserstrahl aufbringt, oder Ähnliches. Die Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet das fixierte Objekt 1 entlang der geplanten Prozesslinien 3 und teilt das fixierte Objekt 1 entlang der geplanten Prozesslinien 3. 1 stellt das fixierte Objekt 1 dar, nachdem es durch die Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet wurde. Wie in 1 dargestellt, sind Bearbeitungsspuren 3a an dem fixierten Objekt 1 und dem Band 7 ausgebildet. Zudem sind Bearbeitungsrückstände, die bei der Bearbeitung hervorgerufen werden, verstreut und haften an der Rahmeneinheit 11. Wenn die Bearbeitungsrückstände an der oberen Fläche des fixierten Objekts 1 anhaften, verbleiben die Bearbeitungsrückstände an den Bauelementchips, die durch Teilen des fixierten Objekts 1 ausgebildet worden sind. Zudem fallen die Bearbeitungsrückstände, die an dem fixierten Objekt 1 und dem Band 7 haften, innerhalb und außerhalb der Bearbeitungsvorrichtung herunter und werden zu einer Kontaminationsquelle. Zudem können die Bearbeitungsrückstände auch an der Angabe 13 der Identifikationsinformation haften, wobei die Angabe 13 an der oberen Fläche des Rahmens 9 ausgebildet ist, und die Angabe 13 der Identifikationsinformation unleserlich machen. Dementsprechend werden die Bearbeitungsrückstände durch Zuführen einer Reinigungsflüssigkeit auf die obere Fläche der Rahmeneinheit 11 entfernt.
  • In einem beispielhaften Fall, in dem die Laserbearbeitungsvorrichtung eine Laserablationsbearbeitung an dem fixierten Objekt 1 entlang der geplanten Prozesslinien 3 ausführt, wird die obere Fläche des fixierten Objekts 1 zuvor mit einem wasserlöslichen Harz beschichtet. In diesem Fall haften die Bearbeitungsrückstände, die durch die Bearbeitung erzeugt werden, an dem wasserlöslichen Harz. Die Bearbeitungsrückstände können daher durch Entfernen des wasserlöslichen Harzes von der oberen Fläche des fixierten Objekts 1 entfernt werden. Das wasserlösliche Harz kann entfernt werden, wenn das fixierte Objekt 1 gereinigt wird. Jedoch wird das wasserlösliche Harz ebenfalls auf der oberen Fläche des Bands 7 und der oberen Fläche des Rahmens 9 verteilt und haftet daran, wenn es auf die obere Fläche des fixierten Objekts 1 aufgebracht wird. Dementsprechend werden nicht nur das fixierte Objekt 1 sondern auch das Band 7 und der Rahmen 9 gereinigt, um das wasserlösliche Harz auf zuverlässige Weise von der Rahmeneinheit 11 zu entfernen.
  • Als Nächstes wird eine Reinigungsvorrichtung beschrieben, welche das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform ausführt. 2 ist eine perspektivische Teilschnittansicht, die eine Reinigungsvorrichtung 2 und die Rahmeneinheit 11 schematisch darstellt. Die Reinigungsvorrichtung 2 schließt ein: einen Drehtischmechanismus 4; einen Reinigungswasseraufnahmemechanismus 6, der den Umfang des Drehtischmechanismus 4 umgibt; einen Reinigungsmechanismus 36, der ein zu reinigendes Objekt reinigt; und einen Trocknungsmechanismus 28, der das gereinigte zu reinigende Objekt trocknet. Der Drehtischmechanismus schließt ein: einen Drehtisch 8; einen Motor 10, der den Drehtisch 8 um eine Achse dreht, die sich entlang einer Richtung senkrecht zu der oberen Fläche des Drehtischs 8 erstreckt; und einen Stützmechanismus 12, der den Motor 10 in vertikaler Richtung bewegbar unterstützt. Ein poröses Element 8a, das nach oben exponiert ist, ist bei einem oberen Abschnitt des Drehtischs 8 angeordnet. Ein nicht dargestellter Saugdurchgang, der ein Ende mit einer in der Figur nicht dargestellten Saugquelle verbunden und ein anderes Ende aufweist, das mit dem porösen Element 8a verbunden ist, ist im inneren des Drehtischs 8 angeordnet. Wenn das zu reinigende Objekt auf dem Drehtisch 8 platziert wird und die Saugquelle betätigt wird, damit ein Unterdruck auf das zu reinigende Objekt über den Saugdurchgang und das poröse Element 8a wirkt, wird das zu reinigende Objekt an den Drehtisch 8 gesaugt und daran gehalten. Das heißt, dass die obere Fläche des Drehtischs 8 eine Haltefläche ist.
  • Ein unterer Abschnitt des Drehtischs 8 ist mit einem oberen Ende einer Ausgangswelle 14 verbunden. Ein unteres Ende der Ausgangswelle 14 ist mit dem Motor 10 verbunden. Die Ausgangswelle 14 überträgt eine Rotationskraft zu dem Drehtisch 8, die durch den Motor 10 erzeugt wird. Der Motor 10 wird durch den Stützmechanismus 12 unterstützt. Der Stützmechanismus 12 schließt eine Vielzahl von Luftzylindern 18 ein, die an dem Motor 10 angebracht ist. Stützbeine 16 sind mit unteren Abschnitten der jeweiligen Luftzylinder 18 verbunden. Wenn die Luftzylinder 18 gleichzeitig betätigt werden, können der Motor und der Drehtisch 8 angehoben oder abgesenkt werden. Zum Zeitpunkt des Einführens- oder Herausführens des zu reinigenden Objekts wird der Drehtisch 8 durch Betätigen des Stützmechanismus 12 auf eine vorbestimmte Ein-/Ausführposition angehoben. Zum Zeitpunkt eines Reinigens des zu reinigenden Objekts wird der Drehtisch 8 auf eine vorbestimmte Reinigungsposition abgesenkt.
  • Der Reinigungswasseraufnahmemechanismus 6 schließt ein: eine zylindrische äußere Umfangswand 20a; eine ringförmige Bodenwand 20b, die von einem unteren Abschnitt der äußeren Umfangswand 20a radial nach innen hervorsteht; und eine innere Umfangswand 20c, die von der inneren Umfangsseite der Bodenwand 20b nach oben aufgerichtet ist. Das Innere der inneren Umfangswand 20c bildet ein Durchgangsloch 22 aus. Die Ausgangswelle 14 geht durch das Durchgangsloch 22 hindurch. Der Umfang der Ausgangswelle 14 ist mit einem Abdeckelement 46 versehen, das so eine Größe aufweist, dass es die innere Umfangswand 20c von der äußeren Umfangsseite der inneren Umfangswand 20c umgibt. Die Bodenwand 20b ist mit einer Ablassöffnung 24 versehen. Ein Ablassdurchgang 26 ist mit der Ablassöffnung 24 verbunden. Wenn eine Reinigungsflüssigkeit in den Reinigungswasseraufnahmemechanismus 6 tropft, wird die Reinigungsflüssigkeit von der Ablassöffnung 24 durch den Ablassdurchgang 26 zu der Außenseite abgegeben. Wenn der Drehtisch 8 zu der Reinigungsposition abgesenkt wird, wird die innere Umfangswand 20c durch das Abdeckelement 46 umgeben, sodass ein Verteilen der Reinigungsflüssigkeit zu der Seite des Motors 10 über das Durchgangsloch 22 vermieden wird.
  • Ein rohrförmiger Trocknungsschaftabschnitt 34 des Trocknungsmechanismus 28 durchdringt die Bodenwand 20b. Der Trocknungsschaftabschnitt 34 ist ein rohförmiges Element, das sich an der Außenseite des Drehtischs 8 entlang einer Richtung erstreckt, die senkrecht zu der oberen Fläche des Drehtischs 8 ist. Der Trocknungsschaftabschnitt 34 erreicht eine Position, die höher ist als die Höhe der oberen Fläche des Drehtischs 8. Ein Trocknungsarmabschnitt 32 ist mit einem oberen Ende des Trocknungsschaftabschnitts 34 verbunden. Ein Motor 34a (siehe 8 oder Ähnliches), der den Trocknungsschaftabschnitt 34 dreht, ist mit der Basisendseite des Trocknungsschaftabschnitts 34 verbunden. Der Trocknungsschaftabschnitt 34 wird durch den Motor 34a um die senkrechte Richtung gedreht. Der Trocknungsarmabschnitt 32 ist ein rohrförmiges Element mit einer Länge, die einem Abstand von dem Trocknungsschaftabschnitt 34 zu dem Mittelpunkt des Drehtischs 8 entspricht und sich in einer Richtung senkrecht zu der Erstreckungsrichtung des Trocknungsschaftabschnitts 34 erstreckt. Eine Trocknungsdüse 30, die nach unten gerichtet ist, ist bei einem Ende des Trocknungsarmabschnitts 32 angeordnet. Der Trocknungsmechanismus 28 schließt eine in der Figur nicht dargestellte Luftzuführquelle ein. Der Trocknungsmechanismus 28 weist die Funktion eines Entfernens der Reinigungsflüssigkeit auf, die an dem zu reinigenden Objekt haftet, indem Luft durch den Trocknungsschaftabschnitt 34 und den Trocknungsarmabschnitt 32 gelangt und die Luft von der Trocknungsdüse 30 zu dem an dem Drehtisch 8 gehaltenen zu reinigenden Objekt ausgestoßen wird.
  • Ferner durchdringt ein rohrförmiger Schaftabschnitt 42 des Reinigungsmechanismus 36 die Bodenwand 20b. Der Schaftabschnitt 42 ist ein rohrförmiges Element, das sich an der Außenseite des Drehtischs 8 entlang einer Richtung erstreckt, die senkrecht zu der oberen Fläche des Drehtischs 8 ist. Der Schaftabschnitt 42 erreicht eine Position, die höher ist als die Höhe der oberen Fläche des Drehtischs 8. Ein Armabschnitt 40 ist mit einem oberen Ende des Schaftabschnitts 42 verbunden. Ein Motor 42a, der den Schaftabschnitt 42 dreht (siehe 3 und Ähnliches), ist mit der Basisendseite des Schaftabschnitts 42 verbunden. Der Schaftabschnitt 42 wird durch den Motor 42a um die senkrechte Richtung gedreht. Der Armabschnitt 40 ist ein rohrförmiges Element mit einer Länge, die einem Abstand von dem Schaftabschnitt 42 zu dem Mittelpunkt des Drehtischs 8 entspricht, und das sich in einer Richtung senkrecht zu der Erstreckungsrichtung des Schaftabschnitts 42 erstreckt. Eine Reinigungsdüse 38, die nach unten gerichtet ist, ist bei einem Ende des Armabschnitts 40 angeordnet. Der Reinigungsmechanismus 36 schließt eine Reinigungsflüssigkeitszuführquelle ein, die in der Figur nicht dargestellt wird. Der Reinigungsmechanismus 36 weist als Funktion ein Entfernen der Bearbeitungsrückstände oder von Ähnlichem, die an dem zu reinigenden Objekt haften, auf, indem die Reinigungsflüssigkeit durch den Schaftabschnitt 42 und den Armabschnitt 40 gelangt und die Reinigungsflüssigkeit von der Reinigungsdüse 38 zu dem an dem Drehtisch 8 gehaltenen zu reinigenden Objekt ausgestoßen wird. Der Schaftabschnitt 42 und der Armabschnitt 40 wirken als Zuführdurchgang, der die Reinigungsflüssigkeit zuführt.
  • Klammern 44, die den Rahmen 9 der Rahmeneinheit 11 halten, sind auf der äußeren Umfangsseite des oberen Abschnitts des Drehtischs 8 angeordnet. Gewichtsteile der Klammern 44 werden durch Zentrifugalkraft, die durch die Drehung des Drehtischs 8 erzeugt wird, zu der äußeren Umfangsseite bewegt. Obere Griffabschnitte der Klammern 44 fallen dadurch automatisch auf die innere Umfangsseite, um den Rahmen 9 zu greifen.
  • Jeder Schritt des Reinigungsverfahrens in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform wird nachfolgend im Detail beschrieben. Das Reinigungsverfahren führt einen Halteschritt mit einem Halten der Rahmeneinheit 11 an der Haltefläche des Drehtischs 8 aus. 3 ist eine Schnittansicht, die den Halteschritt schematisch darstellt. Wenn der Halteschritt ausgeführt werden soll, wird der Drehtisch 8 zuvor durch Betätigen des Stützmechanismus 12 zu der vorbestimmten Ein-/Ausführposition angehoben. Dann wird die Rahmeneinheit 11 einschließlich des fixierten Objekts 1 nach dem Bearbeiten als zu reinigendes Objekt in die Reinigungsvorrichtung 2 transportiert, und die Rahmeneinheit 11 wird über das Band 7 an der Haltefläche des Drehtischs 8 platziert. Wenn danach ein Unterdruck dazu gebracht wird, durch Betätigen der nicht dargestellten Saugquelle des Drehtischmechanismus 4 auf die Rahmeneinheit 11 zu wirken, wird die Rahmeneinheit 11 an den Drehtisch 8 gesaugt und diesem gehalten. Als Nächstes wird die Rahmeneinheit 11 durch Betätigen des Stützmechanismus 12 auf die vorbestimmte Reinigungsposition abgesenkt.
  • Das Reinigungsverfahren führt als Nächstes einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt mit einem hauptsächlichen Reinigen des fixierten Objekts und einem Rahmenreinigungsschritt mit einem hauptsächlichen Reinigen des Rahmens 9 aus. Der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt wird als erstes beschrieben. 4 ist eine Schnittansicht, die den Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt schematisch darstellt. Wie in 4 dargestellt, wird die Ausgangswelle 14 durch Betätigen des Motors 10 gedreht, und dadurch wird der Drehtisch 8, der die Rahmeneinheit 11 hält, gedreht. Wenn der Drehtisch 8 gedreht wird, werden die Klammern 44 durch die Wirkung der Zentrifugalkraft betätigt, sodass der Rahmen 9 durch die Klammern 44 gegriffen wird. Als Nächstes wird der Schaftabschnitt 42 durch Betätigen des Motors 42a gedreht, während eine Reinigungsflüssigkeit 38a von der Reinigungsdüse 38 nach unten ausgestoßen wird. Wenn der Schaftabschnitt 42 gedreht wird, bewegt sich die Reinigungsdüse 38 entlang eines bogenförmigen Pfads, der den Armabschnitt 40 als dessen Radius aufweist.
  • Die Bewegung der Reinigungsdüse 38 während des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt wird unter Bezugnahme auf 5 beschrieben. 5 ist eine Draufsicht, die den Reinigungsschritt für ein zu reinigendes Objekt schematisch darstellt. 5 stellt einen Bewegungspfad 38b der Reinigungsdüse 38 bei dem Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt dar. Wie in 5 dargestellt, wird die Reinigungsdüse 38 bei dem vorliegenden Schritt entlang eines Pfads hin- und herbewegt, der oberhalb des Mittelpunkts der Haltefläche des Drehtischs 8 verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des fixierten Objekts 1 bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des fixierten Objekts 1 erstreckt. Bei dem Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt bewegt sich die Reinigungsdüse 38 oberhalb des fixierten Objekts 1 hin und her, während sie die Reinigungsflüssigkeit 38a ausstößt. Folglich wird hauptsächlich die obere Fläche des fixierten Objekts 1 gereinigt, um zum Beispiel Bearbeitungsrückstände, die an der oberen Fläche haften, ein wasserlösliches Harz, das auf die obere Fläche aufgebracht ist, oder Ähnliches zu entfernen.
  • Als Nächstes wird der Rahmenreinigungsschritt beschrieben. Wie in dem oben beschriebenen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt wird auch bei dem Rahmenreinigungsschritt der Drehtisch 8 gedreht, und der Schaftabschnitt 42 wird durch Betätigen des Motors 42a gedreht, während die Reinigungsflüssigkeit 38a von der Reinigungsdüse 38 aus nach unten ausgestoßen wird. Bei dem Rahmenreinigungsschritt wird der Rahmen durch Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit von der Reinigungsdüse zu dem Rahmen gereinigt. Die Bewegung der Reinigungsdüse 38 während des Rahmenreinigungsschritts wird unter Bezugnahme auf 6 beschrieben. 6 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel des Rahmenreinigungsschritts schematisch darstellt. 6 stellt den Bewegungspfad 38b der Reinigungsdüse 38 bei dem Rahmenreinigungsschritt dar. Bei dem in 6 dargestellten Beispiel wird die Reinigungsdüse 38 entlang eines Pfads hin- und herbewegt, der einen Bereich über dem Rahmen 9 einschließt. Bei dem Rahmenreinigungsschritt bewegt sich die Reinigungsdüse 38 oberhalb des Rahmens 9 hin und her, während sie die Reinigungsflüssigkeit 38a ausstößt. Daher wird hauptsächlich die obere Fläche des Rahmens 9 gereinigt, um zum Beispiel Bearbeitungsrückstände zu entfernen, die an der Angabe 13 der Identifikationsinformation des fixierten Objekts 1 haftet, wobei die Angabe 13 an der oberen Fläche des Rahmens 9 vorgesehen ist.
  • Eine Reinigungskraft, die für das fixierte Objekt 1, wie zum Beispiel ein Wafer oder ähnliches, an dem die Bauelemente 5 ausgebildet sind, notwendig ist, unterscheidet sich von einer Reinigungskraft, die für den Rahmen 9 notwendig ist, an dem die Angabe 13 der Identifikationsinformation angeordnet ist. Hierbei ist eine Reinigungskraft zum Beispiel die Kraft einer Reinigungswirkung, die durch den Zeitraum bestimmt wird, über den eine Reinigung oder Ähnliches ausgeführt wird. In einem Fall, in dem die Reinigungskräfte, die für das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 notwendig sind, einander nicht ähneln, wird zum Beispiel die gesamte obere Fläche der Rahmeneinheit 11 mit der Reinigungskraft gereinigt, die für das zu reinigende Objekt notwendig ist, welches eine relativ hohe Reinigungskraft benötigt, wenn die Rahmeneinheit 11 mit einem Reinigungsschritt gereinigt wird. In diesem Fall wird das zu reinigende Objekt, das eine relativ niedrige Reinigungskraft benötigt, übermäßig gereinigt.
  • Andererseits kann das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 durch Ausführen der Reinigung in zwei getrennten Schritten mit den jeweils notwendigen Reinigungskräften reinigen, das heißt für den Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt und den Rahmenreinigungsschritt. In einem Fall, in dem die Reinigungskraft, die für das fixierte Objekt 1 notwendig ist, höher ist als die für den Rahmen 9 notwendige Reinigungskraft, wird beispielsweise die durch den Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt erreichte Reinigungskraft durch Ausführen des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt über einen längeren Zeitraum als der des Rahmenreinigungsschritts relativ hoch eingestellt. In diesem Fall kann der Rahmen 9, der eine relativ niedrige Reinigungskraft benötigt, mit der angemessenen Reinigungskraft gereinigt werden, sodass der Rahmen 9 nicht über eine übermäßig lange Zeit gereinigt wird. Eine Zeit, die verwendet wird, um die Rahmeneinheit 11 zu reinigen, kann daher verkürzt werden.
  • Das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform kann den Rahmenreinigungsschritt nach dem Ausführen des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt ausführen. Wenn die obere Fläche 1a des fixierten Objekts 1 gereinigt ist, werden die Bearbeitungsrückstände, die an der oberen Fläche 1a haften, oder Ähnliches durch die Reinigungsflüssigkeit nach außen getragen. Zu diesem Zeitpunkt kann wiederum ein Teil der Bearbeitungsrückstände an dem Rahmen 9 anhaften, der bei dem Umfang des fixierten Objekts 1 angeordnet ist. Wenn der Rahmenreinigungsschritt ausgeführt wird, nachdem der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt ausgeführt worden ist, können dementsprechend die Bearbeitungsrückstände, die wiederum an dem Rahmen 9 haften, oder Ähnliches durch die Reinigungsflüssigkeit 38a entfernt werden. Jedoch ist die vorliegende Ausführungsform nicht hierauf beschränkt.
  • Zudem kann bei dem Rahmenreinigungsschritt das fixierte Objekt 1 durch Hin- und Herbewegen der Reinigungsdüse 38 entlang des Pfads zusammen gereinigt werden, der oberhalb des Mittelpunkts der Haltefläche verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des Rahmens 9 bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des Rahmens 9 erstreckt. 7 ist eine Draufsicht, die ein weiteres Beispiel des Rahmenreinigungsschritts schematisch darstellt. 7 stellt den Bewegungspfad 38b der Reinigungsdüse 38 dar. Wenn die Bearbeitungsrückstände, die wieder an dem Rahmen 9 haften, oder Ähnliches entfernt werden, kann in diesem Fall verhindert werden, dass die entfernten Bearbeitungsrückstände oder Ähnliches wiederholt an der oberen Fläche des fixierten Objekts 1 anhaften. Zudem wird in diesem Fall die Ausführungszeit des Rahmenreinigungsschritts auf Grundlage der Reinigungskraft bestimmt, die für den Rahmen 9 notwendig ist. Dann wird die Ausführungszeit des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt auf der Grundlage einer Reinigungskraft bestimmt, die durch Abziehen der Reinigungskraft des fixierten Objekts 1, das bei dem Rahmenreinigungsschritt gereinigt wird, von der Reinigungskraft erhalten wird, die für das fixierte Objekt 1 notwendig ist. Zum Beispiel angenommen, dass die Ausführungszeit des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt, der das fixierte Objekt 1 reinigt, 150 Sekunden beträgt, und dass die Ausführungszeit des Rahmenreinigungsschritts, der das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 reinigt, 30 Sekunden beträgt, in diesem Fall eine Gesamtzeit, die zum Reinigen der Rahmeneinheit 11 benötigt wird, 180 Sekunden beträgt. Wenn die Rahmeneinheit 11, die so gereinigt werden kann, tatsächlich in einem Reinigungsschritt ohne die Verwendung der vorliegenden Ausführungsform gereinigt wird, benötigt dieser 311 Sekunden, um die gesamte Rahmeneinheit 11 zu reinigen.
  • Das Reinigungsverfahren in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform kann das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 jeweils mit den Reinigungskräften reinigen, die für das fixierte Objekt 1 und den Rahmen notwendig sind, sodass keine übermäßige Reinigung ausgeführt wird. In einem Fall, in dem die Reinigungskräfte durch eine Reinigungszeit eingestellt werden, kann zum Beispiel durch das Reinigungsverfahren eine Zeit, die für die konventionelle übermäßige Reinigung benötigt wird, weggelassen werden, sodass eine Zeit, die zum Reinigen der Rahmeneinheit 11 benötigt wird, verkürzt werden kann. Ferner kann bei dem Rahmenreinigungsschritt die Reinigungsdüse 38 entlang eines Pfads hin- und herbewegt werden, der nur den Bereich über dem Rahmen 9 einschließt. In diesem Fall können die jeweiligen Reinigungsschritte für das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 in Übereinstimmung mit den Reinigungskräften ausgeführt werden, die respektive für das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 notwendig sind. Das heißt, dass die Reinigungskraft von jedem Reinigungsschritt bestimmt werden kann, ohne die Reinigungskraft des anderen Reinigungsschritts zu berücksichtigen, sodass die Ausführungszeit von jedem Schritt oder Ähnliches auf einfache Weise bestimmt werden kann.
  • Nachdem der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt und der Rahmenreinigungsschritt ausgeführt worden sind, wird ein Trocknungsschritt ausgeführt. Der Trocknungsschritt wird unter Bezugnahme auf 8 beschrieben. 8 ist eine Schnittansicht, welche den Trocknungsschritt schematisch darstellt. Bei dem Trocknungsschritt wird der Drehtisch 8 gedreht, und der Trocknungsschaftabschnitt 34 wird durch Betätigen des Motors 34a gedreht, während Luft 30a von der Trocknungsdüse 30 nach unten ausgestoßen wird. Wie bei dem Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt und dem Rahmenreinigungsschritt wird die Trocknungsdüse 30, welche die Luft 30a ausstößt, hin- und herbewegt, um die Reinigungsflüssigkeit, die an der oberen Fläche der Rahmeneinheit 11 haftet, zu entfernen und die Rahmeneinheit 11 zu trocknen. Nachdem die Rahmeneinheit 11 getrocknet worden ist, wird der Drehtisch 8 durch Betätigen des Stützmechanismus 12 auf die vorbestimmte Ein- und Ausführposition des Drehtischs 8 angehoben, und die Rahmeneinheit 11 wird aus dem Drehtisch 8 heraus transportiert.
  • Es ist anzumerken, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die Beschreibung der vorangegangenen Ausführungsform beschränkt ist, sondern auf vielfältige Weise abgewandelt und ausgeführt werden kann. Zum Beispiel wurde bei der vorangegangenen Ausführungsform ein Fall beschrieben, bei dem der Rahmenreinigungsschritt ausgeführt wird, nachdem der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt ausgeführt worden ist. Jedoch ist ein Modus der vorliegenden Erfindung nicht hierauf beschränkt. Zum Beispiel kann in dem Fall, in dem die Reinigungskraft, die für das fixierte Objekt 1 notwendig ist, höher ist als die Reinigungskraft, die für den Rahmen 9 notwendig ist, der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt ausgeführt werden, nachdem der Rahmenreinigungsschritt ausgeführt worden ist. Wenn der Rahmenreinigungsschritt ausgeführt wird, nachdem der Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt ausgeführt worden ist, werden die Bearbeitungsrückstände, die als Ergebnis des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt wieder an dem Rahmen 9 anhaften, durch die Reinigungsflüssigkeit aufgenommen, die während des Rahmenreinigungsschritts zu der Kante des Rahmens 9 und Ähnlichem ausgestoßen wird. Dann kann die Reinigungsflüssigkeit einschließlich der Bearbeitungsrückstände und Ähnlichem sich auch auf der oberen Fläche des fixierten Objekts 1 verteilen.
  • Die Reihenfolge des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt und des Rahmenreinigungsschritts wird entsprechend den Reinigungskräften, die jeweils für das fixierte Objekt 1 und den Rahmen 9 oder Ähnliches notwendig sind, der an dem fixierten Objekt ausgeführten Bearbeitung, der Größe des fixierten Objekts 1 und dem Rahmen 9 und Ähnlichem angemessen ausgewählt. Um die Bearbeitungsrückstände oder Ähnliches von der Rahmeneinheit 11 sicherer zu entfernen, können die beiden Schritte ferner mehrere Male abwechselnd ausgeführt werden, wie zum Beispiel durch Ausführen des Rahmenreinigungsschritts nach einem Ausführen des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt und danach einem weiteren Ausführen des Reinigungsschritts für ein fixiertes Objekt.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich in die Erfindung einbezogen.

Claims (3)

  1. Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Rahmeneinheit, die ein fixiertes Objekt aufweist, eines Bands, das an einer unteren Fläche des fixierten Objekts angebracht ist, und eines ringförmigen Rahmens, an dem ein äußerer Umfangsabschnitt des Bands angebracht ist, wobei das Reinigungsverfahren umfasst: einen Halteschritt mit einem Halten der Rahmeneinheit an einer Haltefläche eines Drehtischs; einen Reinigungsschritt für ein fixiertes Objekt mit einem Reinigen des fixierten Objekts durch Ausstoßen einer Reinigungsflüssigkeit aus einer Reinigungsdüse während eines Drehens des Reinigungstischs, der die Rahmeneinheit hält, und eines Hin- und Herbewegens der Reinigungsdüse entlang eines ersten Pfads, der oberhalb eines Mittelpunkts der Haltefläche verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des fixierten Objekts bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des fixierten Objekts erstreckt; und einen Rahmenreinigungsschritt mit einem Reinigen des Rahmens durch Ausstoßen der Reinigungsflüssigkeit aus der Reinigungsdüse zu dem Rahmen während eines Drehens des Drehtischs.
  2. Reinigungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem während des Rahmenreinigungsschritts das fixierte Objekt durch Hin- und Herbewegen der Reinigungsdüse entlang eines zweiten Pfads, der oberhalb des Mittelpunkts der Haltefläche verläuft und sich von oberhalb eines Endes einer äußeren Umfangskante des Rahmens bis oberhalb eines anderen Endes der äußeren Umfangskante des Rahmens erstreckt, zusammen mit dem Rahmen gereinigt wird.
  3. Reinigungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem während des Rahmenreinigungsschritts die Reinigungsdüse entlang eines zweiten Pfads hin- und herbewegt wird, der nur einen Bereich oberhalb des Rahmens einschließt.
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