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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Einstellverfahren einer Temperatur von Wasser, das zu jedem Abschnitt einer Bearbeitungsvorrichtung zugeführt wird.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Wafers, der durch einen Haltetisch gehalten ist, mit einer Schneidklinge, die mit einer hohen Geschwindigkeit gedreht wird, während Schneidwasser zugeführt wird, beinhaltet eine Spindeleinheit, die einen Motor zum Drehen einer Spindel mit einer hohen Geschwindigkeit aufweist. Zusätzlich zum Verhindern eines Problems aufgrund von Hitze der Spindeleinheit oder dergleichen, wird eine Zufuhrvorrichtung für Wasser mit konstanter Temperatur, die einen Kühlwasserkreislauf zum Abführen der Wärme beinhaltet, die durch den Motor generiert wird, und Einstellen der Spindeleinheit auf eine gesetzte Temperatur und einen Schneidwasserkreislauf zum Zuführen von Schneidwasser zum Reinigen und Entfernen von Schneidspänen und zum Kühlen des Bearbeitungspunkt der Schneidklinge auf eine gesetzte Temperatur benötigt (siehe zum Beispiel
japanische Offenlegungsschrift Nummer 2007-127343 ).
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Die Spindeleinheit beinhaltet eine Mantelkühlung zum Abführen der Wärme des Motors und der Kühlwasserkreislauf bringt das Kühlwasser dazu, in dem Kühlmantel zu fließen, um Wärme von dem Motor abzuführen. Dann wird das Kühlwasser, dessen Temperatur durch die Wärme des Motors erhöht ist, durch ein Kühlungsmittel gekühlt, das in dem Kühlwasserkreislauf bereitgestellt ist und wird in dem Kühlwasserkreislauf zirkuliert.
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Da die Schneidklinge mit einer hohen Geschwindigkeit während eines Schneidens gedreht wird, wird das Schneidwasser, das zu der Schneidklinge zugeführt wird, durch Zentrifugalkräfte der Schneidklinge gestreut und wird verdampft. Aufgrund der Verdampfungswärme, wird Wärme von der Schneidklinge abgegeben und ihre Temperatur ist verringert. Aus diesem Grund tritt ein Temperaturunterschied zwischen der Spindeleinheit, die durch Kühlwasser durch die Mantelkühlung gekühlt wird, und der Schneidklinge auf, die mit dem Kühlwasser versorgt wird, und der Umgebung auf und eine thermische Belastung tritt in der Spindeleinheit auf. Diese thermische Belastung beeinflusst die Bearbeitung des Wafers mit einer gewünschten hohen Genauigkeit nachteilig. Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Einstellverfahren für eine Temperatur einer Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, durch welches das Auftreten von thermischer Belastung in einer Spindeleinheit beim Durchführen einer gewünschten Bearbeitung eines Werkstücks wie einem Halbleiter-Wafer verhindert werden kann.
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In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Einstellverfahren für eine Wassertemperatur für eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die ein Werkstück, das durch einen Haltetisch gehalten ist, durch ein Drehen einer Spindel mit einer hohen Geschwindigkeit, wobei ein Bearbeitungswerkzeug daran befestigt ist, und Zuführen eines Bearbeitungswassers zu dem Bearbeitungswerkzeug bearbeitet, wobei das Einstellverfahren für eine Wassertemperatur das Einstellen einer gesetzten Temperatur für das Bearbeitungswasser, das zu dem Bearbeitungswerkzeug zugeführt wird, höher als eine gesetzte Temperatur für das Spindelkühlwasser zum Kühlen einer Spindeleinheit, welche die Spindel mit einer hohen Geschwindigkeit dreht, unter Beachtung eines Absenkens der Temperatur aufgrund von Verdampfung des Bearbeitungswassers, das von dem Bearbeitungswerkzeug aufgrund der Hochgeschwindigkeitsdrehung des Bearbeitungswerkzeugs gestreut wird, beinhaltet.
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Entsprechend dem Einstellverfahren für eine Wassertemperatur für die Bearbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung unter Beachtung des Absenkens der Temperatur aufgrund von Verdampfung des Bearbeitungswassers, das von dem Bearbeitungswerkzeug aufgrund der Hochgeschwindigkeitsdrehung des Bearbeitungswerkzeugs gestreut wird, wird die gesetzte Temperatur für das Bearbeitungswasser, das zu dem Bearbeitungswerkzeug zugeführt wird, höher gesetzt als die Temperatur des Spindelkühlwassers zum Kühlen der Spindeleinheit, welche die Spindel mit einer hohen Geschwindigkeit dreht. Dadurch kann das Auftreten eines Temperaturunterschieds zwischen einem Kühlen durch das Kühlwasser und Kühlen durch das Schneidwasser verhindert werden, thermische Belastung kann dadurch in der Spindeleinheit verhindert werden undein Auftreten von und eine gewünschte Bearbeitung des Werkstücks kann mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden.
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Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
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Figurenliste
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- 1 ist ein schematisches Diagramm, das einen Kühlwasserkreislauf, einen Bearbeitungswasserkreislauf und eine Spindeleinheit, die eine Bearbeitungsvorrichtung ausbildet, darstellt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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1 ist ein schematisches Diagramm, das einen Aufbau eines Kühlwasserkreislaufs 2, eines Bearbeitungswasserkreislaufs 4 und eines Bearbeitungsmittels 6 als Komponenten einer Bearbeitungsvorrichtung 1 darstellt, bei welcher ein Einstellverfahren für eine Wassertemperatur entsprechend der vorliegenden Erfindung angewendet wird. Beachte, dass in der vorliegenden Ausführungsform die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Schneidvorrichtung ist, die ein Werkstück W, das unter einem Saugen durch einen Haltetisch 30 gehalten ist, durch eine Schneidklinge 60 als ein Bearbeitungswerkzeug schneidet, dieses jedoch nicht beschränkend ist. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 kann jede Konfiguration aufweisen, soweit sie ein Spindelkühlwasser, das von dem Kühlwasserkreislauf 2 zugeführt wird, und ein Bearbeitungswasser verwendet, das von dem Bearbeitungswasserkreislauf 4 zugeführt wird; zum Beispiel kann die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Schleifvorrichtung oder dergleichen sein, in der eine Schleifscheibe an einem Endabschnitt einer Spindel durch eine Befestigung oder dergleichen fixiert ist.
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Das Bearbeitungsmittel 6 beinhaltet zum Beispiel mindestens eine Spindeleinheit 61, die mit einer Spindel 611 bereitgestellt ist, die zum Drehen angetrieben wird, ein Bearbeitungswerkzeug 60, das an der Spitze der Spindel 611 befestigt ist und das Werkstück W schneidet, und ein Paar Bearbeitungswasserdüsen 62, welche Bearbeitungswasser zu einem Kontaktteil (Bearbeitungspunkt) zwischen dem Bearbeitungswerkzeug 60 und dem Werkstück W ausstoßen. Zusätzlich kann das Bearbeitungsmittel 6 einer Indexzufuhr in einer Y-Achsenrichtung versetzt werden und in einer Einschneidzufuhr in einer Z-Achsenrichtung versetzt werden.
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Wie in 1 dargestellt, weist die Spindeleinheit 61 ein Spindelgehäuse 610, das sich horizontal in der Y-Achsenrichtung erstreckt, und eine Spindel 611 auf, die eine Achse in der Y-Achsenrichtung aufweist, die drehbar in dem Spindelgehäuse 610 aufgenommen ist. Ein Endabschnitt der Spindel 611 steht von dem Spindelgehäuse 610 zu einer -Y-Richtungsseite hervor und das Bearbeitungswerkzeug 60 kann daran fixiert werden.
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Zum Beispiel ist an der hinteren Endseite der Spindel 611 in dem Spindelgehäuse 610 ein Motor 612 zum drehenden Antreiben der Spindel 611 verbunden. Der Motor 612 beinhaltet zum Beispiel einen Rotor, der an der Spindel 611 befestigt ist, und eine Statorspule, die an einer äußeren Umgebungsseite des Rotors angeordnet ist. Mit einer Spannung an der Statorspule angelegt wird der Rotor gedreht, um die Spindel 611, an welcher der Rotor befestigt ist, zu drehen. An der äußeren umgebenden Seite der Statorspule des Motors 612 ist ein Kühlmantel 613 zum Beispiel befestigt, sodass ein gesamter Körper des Motors 612 davon umgeben ist. Der Kühlmantel 613 kann den Motor 612, der durch diesen umgeben ist, durch einen Prozess kühlen, bei dem Kühlwasser, das durch einen Kühlwassereinlass 613a einfließt, durch einen Flusspfad, der in dem Kühlmantel 613 ausgebildet ist, läuft und durch einen Kühlwasserauslass 613b ausfließt. Beachte, dass die Konfigurationen des Motors 612 und des Kühlmantels 613 nicht auf die in der vorliegenden Ausführungsform beschränkt sind.
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Das Bearbeitungswerkzeug 60 ist zum Beispiel eine Schneidklinge eines Unterlegscheibentyps, die durch Verbinden abrasiver Diamantkörner oder dergleichen mit einem Bindemittel wie einem Kunststoff oder einer Keramik und Formen des Materials in einer ringförmigen Form ausgebildet ist, und an einem Spitzenendabschnitt der Spindel 611 durch einen Befestigungsflansch (nicht dargestellt) oder dergleichen fixiert ist. Beachte, dass das Bearbeitungswerkzeug 60 eine Nabenklinge sein kann, die eine metallische Basis aufweist, die in einer Scheibenform ausgebildet ist, und eine Schneidklinge, die an einem äußeren umfänglichen Abschnitt der Basis fixiert ist.
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Das Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 erstreckt sich parallel zueinander in der X-Achsenrichtung in einer solchen Weise, dass ein unterer Abschnitt des Bearbeitungswerkzeugs 60 dazwischen eingefügt ist. An diesen Positionen des Paars Bearbeitungswasserdüsen 62, welche unteren Abschnitten der Seitenoberflächen des Bearbeitungswerkzeugs 60 zugewandt sind, sind mehrere Ausstoßöffnungen 620 zum Ausstoßen des Bearbeitungswassers in der X -Achsenrichtung ausgerichtet bereitgestellt. Durch die mehreren Ausstoßöffnungen 620 wird das Bearbeitungswasser von beiden Seiten bezüglich der Y-Achsenrichtung zu einem Kontaktteil zwischen dem Bearbeitungswerkzeug 60 und dem Werkstück W ausgestoßen, wodurch ein Kühlen und Reinigen des Kontaktteils durchgeführt wird.
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Die Düsen zum Zuführen des Bearbeitungswassers zu dem Bearbeitungswerkzeug 60 sind nicht auf das Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 beschränkt und Bearbeitungswasserdüsen zum Zuführen des Bearbeitungswassers zu dem Bearbeitungswerkzeug 60 aus der Richtung der äußeren Umgebung der Klingel des Bearbeitungswerkzeugs 60 können ferner angeordnet sein.
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Der Haltetisch 30, der eine kreisförmige äußere Form zum Beispiel aufweist, weist eine Halteoberfläche 300a auf, die aus einem porösen Material oder dergleichen ausgebildet ist und an welchem das Werkstück W unter einem Saugen gehalten wird. Eine Saugquelle (nicht dargestellt) wie eine vakuumausbildende Vorrichtung ist mit der Halteoberfläche 30a verbunden und eine Saugkraft, die durch eine Betätigung der Saugquelle generiert wird, wird zu der Halteoberfläche 30a übertragen, an welcher das Werkstück W platziert ist, wodurch der Haltetisch 30 unter einem Saugen das Werkstück W an der Halteoberfläche 30a halten kann. Der Haltetisch 30 kann um eine Achse in der Z-Achsenrichtung durch Drehmittel 34 gedreht werden, das an der unteren Seite davon angeordnet ist und kann in eine Bearbeitungszufuhr in der X-Achsenrichtung versetzt werden.
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Die Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhaltet eine Bearbeitungskammer 12, durch welche das Bearbeitungswasser, das zu dem Bearbeitungswerkzeug 60 zugeführt wird, und Schneidspäne, die während des Schneidens generiert werden, daran gehindert werden, aus der Vorrichtung auszutreten. Der gesamte Teil des Haltetischs 30 und eines Teils des Bearbeitungsmittels 6 sind in der Bearbeitungskammer 12 aufgenommen. Der Kühlwasserkreislauf 2 und der Bearbeitungskreislauf 4 sind außerhalb der Bearbeitungskammer 12 angeordnet. Beachte, dass der gesamte Teil des Bearbeitungsmittels 6 in der Bearbeitungskammer 12 aufgenommen werden kann.
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Der Bearbeitungswasserkreislauf 4 beinhaltet eine Wasserquelle 40, in welcher das Bearbeitungswasser wie reines Wasser bereitgehalten wird, und die Wasserquelle 40 ist mit dem Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 durch einen Bearbeitungswasserflusspfad 49 verbunden, der metallische Rohre oder flexible Rohre oder dergleichen zum Beispiel beinhaltet. Ein zweiter Tank 41, eine zweite Pumpe 42 und ein zweites Temperaturanpassungsmittel 43 sind nacheinander in dem Bearbeitungswasserflusspfad 49 in dieser Reihenfolge entlang einer Richtung von der Wasserquelle 40 zu dem Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 an einer stromab Seite angeordnet.
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Das Bearbeitungswasser, das von der Wasserquelle 40 zugeführt wird, wird in dem zweiten Tank 41 bereitgehalten und das Bearbeitungswasser in dem zweiten Tank 41 wird von dem zweiten Tank 41 zu dem Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 durch die zweite Pumpe 42 zugeführt. Das Bearbeitungswasser, das von dem Paar Bearbeitungswasserdüsen 42 ausgestoßen wurde, um den Kontaktteil zwischen dem Bearbeitungswerkzeug 60 in dem Werkstück W zu kühlen und zu reinigen, fließt von der Fläche an dem Haltetisch 30 ab und wird nach draußen aus der Bearbeitungskammer 12 durch einen Wasserbehälter (nicht dargestellt) und ein Ablassrohr (nicht dargestellt) oder dergleichen ausgelassen.
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Das zweite Temperaturanpassungsmittel 43 beinhaltet ein zweites Kühlmittel 431 wie eine Kühlereinheit und eine zweite Heizung 432. Kühlen durch das zweite Kühlungsmittel 431 und Heizen durch die zweite Heizung 432 werden miteinander kombiniert, wobei das Bearbeitungswasser auf eine vorbestimmte Temperatur angepasst wird.
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Der Kühlwasserkreislauf 2 ist ein Kreislauf, in dem Spindelkühlwasser (im Folgenden als Kühlwasser bezeichnet) zirkuliert wird. Der Kühlwasserkreislauf 2 beinhaltet einen Kühlwasserrücklauf 292, der eine Verbindung zwischen dem Kühlwasserauslass 613b des Kühlmantels 613a und einem ersten Tank 21 bereitgestellt, in dem Wasser bereitgestellt ist, und einen Kühlwasserzulauf 291, der eine Verbindung zwischen dem ersten Tank 21 und dem Kühlwassereinlass 613 des Kühlmantels 613 bereitstellt. Das Kühlwasser in dem ersten Tank 21 wird zu dem Kühlmantel 613 durch eine erste Pumpe 22 gefördert, die an dem Kühlwasserzulauf 291 angeordnet ist.
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Ein erstes Temperaturanpassungsmittel 23 ist an der stromab Seite der ersten Pumpe 22 an dem Kühlwasserzulauf 291 angeordnet. Das erste Temperaturanpassungsmittel 23 beinhaltet ein erstes Kühlmittel 231 wie eine Kühlereinheit und eine erste Heizung 232. Kühlen durch das erste Kühlmittel 231 und Heizen durch die erste Heizung 232 werden miteinander kombiniert, wodurch das Kühlwasser auf eine vorbestimmte Temperatur angepasst wird.
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Die Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhaltet ein Steuerungsmittel 9, das eine zentrale Berechnungseinheit (CPU) und ein Speicherelement wie einen Speicher und dergleichen beinhaltet und das Komponenten der Bearbeitungsvorrichtung 1 überwacht und steuert. Das Steuerungsmittel 9 beinhaltet einen ersten Temperatureinstellabschnitt 91 und einen zweiten Temperatureinstellabschnitt 92. Der erste Temperatureinstellabschnitt 91 kann ein Steuerungssignal zum Setzen einer Temperatur des Kühlwassers an das erste Temperaturanpassungsmittel 23 durch einen kabellosen oder kabelgebundenen Verbindungspfad 911 ausgegeben. Der zweite Temperatureinstellabschnitt 92 kann ein Steuerungssignal für eine Temperatureinstellung für ein Bearbeitungswasser an das zweite Temperaturanpassungsmittel 43 durch einen kabellosen oder kabelgebundenen zweiten Verbindungspfad 921 ausgeben.
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Ein Fall, in dem das Werkstück W unter Verwendung der Bearbeitungsvorrichtung 1, die in 1 dargestellt ist, geschnitten wird, während das Einstellverfahren für eine Wassertemperatur der vorliegenden Erfindung durchgeführt wird, wird im Folgenden beschrieben.
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Das Werkstück W, das durch den Haltetisch 30 gehalten ist, ist zum Beispiel ein Halbleiter-Wafer, der eine scheibenförmige äußere Form aufweist. Eine vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W, die nach oben orientiert ist, ist mit mehreren Bauelementen in Bereichen ausgebildet, die in einem Gittermuster durch Teilungslinien (Straßen) aufgeteilt sind. Eine hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W wird durch ein Schutzband (nicht dargestellt), das daran angebracht ist, geschützt. Beachte, dass das Werkstück W nicht auf das beispielhaft dargestellte dieser Ausführungsform beschränkt ist.
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Das Werkstück W, das durch den Haltetisch 30 gehalten ist, wird in einer -X-Richtung (zu der Tiefenseite der Papieroberfläche) zugeführt und die Position der Teilungslinie, an welcher das Bearbeitungswerkzeug 60 dazu gebracht wird, zu schneiden, wird detektiert. Danach wird das Bearbeitungsmittel 6 in der Y-Achsenrichtung bewegt und eine Ausrichtung der Teilungslinie und des Bearbeitungswerkzeugs 60 in der Y-Achsenrichtung wird durchgeführt.
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Das Bearbeitungsmittel 6 wird zum Beispiel auf eine vorbestimmte Höhenposition zum vollständigen Schneiden des Werkstücks W abgesenkt. Zusätzlich dreht der Motor 612 die Spindel 611 mit einer hohen Geschwindigkeit und das Bearbeitungswerkzeug 60, das an der Spindel 611 fixiert ist, wird mit einer hohen Geschwindigkeit entsprechend der Drehung der Spindel 611 gedreht. Dann wird der Haltetisch 30 weiter in der in - X-Richtung mit einer vorbestimmten Schneidzufuhrgeschwindigkeit zugeführt, wodurch das Bearbeitungswerkzeug 60 dazu gebracht wird, in das Werkstück W zu schneiden, um das Werkstück W entlang der Teilungslinie zu schneiden.
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Zum Abführen von Wärme, die durch das drehende Antreiben der Spindel 611 durch den Motor 612 von der Spindeleinheit 61 generiert wird, wird Kühlwasser in dem Kühlwasserkreislauf 2 geführt. Insbesondere wird das Kühlwasser von dem ersten Tank 21 durch die erste Pumpe 22 zugeführt. Darüber hinaus wird ein Steuerungssignal von dem ersten Temperatureinstellabschnitt 91 an das erste Temperaturanpassungsmittel 23 ausgegeben und eine Temperaturanpassung des Kühlwassers wird durch das erste Temperaturanpassungsmittel 23 in einer solchen Weise durchgeführt, dass das Kühlwasser, das durch den Kühlwasservorlauf 291 fließt, nachdem es durch das erste Temperaturanpassungsmittel 23 geflossen ist, auf eine vorbestimmte gesetzte Temperatur T1 (zum Beispiel 22 °C) gesetzt ist. Darum wird die Spindeleinheit 61 durch den Kühlmantel 613, durch welchen das Kühlwasser mit der gesetzten Temperatur T1 fließt, gekühlt. Das Kühlwasser, das durch den Kühlmantel 613 geflossen ist, wurde durch Aufnehmen der Wärme des Motors 612 aufgeheizt und wird zu dem ersten Tank 21 durch den Kühlwasserrücklauf 292 zurückgeführt. Nachdem es zu dem ersten Tank 21 zurückgeführt wurde, wird das Kühlwasser zu dem ersten Temperaturanpassungsmittel 23 durch die erste Pumpe 22 geführt und wird auf die gesetzte Temperatur T1 durch das erste Temperaturanpassungsmittel 23 gekühlt, wodurch es als Kühlwasser zum Kühlen der Spindel 61 wiederverwendet wird.
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Während eines Schneidens wird das Bearbeitungswasser, das in dem zweiten Tank 91 gehalten ist, durch den Bearbeitungswasserflusspfad 49 zu dem Paar Bearbeitungswasserdüsen 62 zugeführt und aus den Auslassöffnungen 620 des Paares Bearbeitungswasserdüsen 62 zu dem Bearbeitungspunkt (Kontaktteil) zwischen dem Bearbeitungswerkzeug 60 und dem Werkstück W ausgestoßen, wodurch der Bearbeitungspunkt gekühlt und gereinigt wird.
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Durch Zentrifugalkräfte, die durch das Bearbeitungswerkzeug 60, das mit der hohen Geschwindigkeit gedreht wird, aufgebracht werden, wird das Bearbeitungswasser, das zu dem Bearbeitungspunkt zugeführt wird, an dem Bearbeitungspunkt oder an einem Ort, der von dem Bearbeitungspunkt beabstandet ist, gestreut, indem es zusammen mit der Drehung des Bearbeitungswerkzeugs 60 weggetragen wurde und wird verdampft. Wenn das Bearbeitungswasser verdampft wird, wird Wärme der Oberfläche des Bearbeitungswerkzeugs 60 in der Bearbeitungskammer 12 abgeführt, was in einem Kühlen resultiert (zum Beispiel wird die Temperatur um ein 1 °C bis 2 °C gesenkt). Da das Bearbeitungswasser beim Abführen von Wärme aus der Bearbeitungskammer 12 herausgeführt wird, wird das Innere der Bearbeitungskammer zusammen mit dem Bearbeitungswerkzeug 60 gekühlt. Falls dies in einem Auftreten eines Temperaturunterschieds zwischen dem Teil der Spindeleinheit 61, die in der Bearbeitungskammer 12 liegt, und dem Teil der Spindeleinheit 61, die außerhalb der Bearbeitungskammer 12 liegt (der Teil, der durch den Kühlmantel 613 gekühlt wird), resultiert, wird eine thermische Belastung in dem gesamten Teil der Spindeleinheit 61 auftreten. Sogar in dem Fall, in dem der gesamte Teil der Spindeleinheit 61 in der Bearbeitungskammer 12 aufgenommen ist, tritt ein Temperaturunterschied zwischen dem Teil der Spindeleinheit 61, der näher an dem Bearbeitungswerkzeug 60 ist, und dem Teil, der näher an den Motor 612 ist, der durch den Kühlmantel 613 gekühlt wird, auf, wodurch eine thermische Belastung in dem gesamten Teil der Spindeleinheit 61 auftritt.
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Deswegen wird zum Zeitpunkt des Zuführens des Bearbeitungswassers das Einstellverfahren für eine Wassertemperatur entsprechend der vorliegenden Erfindung durchgeführt, um die Temperatur des Bearbeitungswassers anzupassen. Insbesondere wird unter Beachtung eines Absenkens der Temperatur aufgrund von Verdampfung des Bearbeitungswassers aufgrund der Hochgeschwindigkeitsdrehung des Bearbeitungswerkzeugs 60, die eingestellte Temperatur für des Bearbeitungswassers, das zu dem Bearbeitungswerkzeug 60 geführt wird, auf eine vorbestimmte Temperatur T2 gesetzt, die ein 1 °C 2 °C höher als die gesetzte Temperatur T1 für das Spindelkühlwasser zum Kühlen der Spindeleinheit 61, welche die Spindel 611 mit einer hohen Geschwindigkeit dreht, ist. Insbesondere in der vorliegenden Ausführungsform wird ein Steuerungssignal von dem zweiten Temperatureinstellabschnitt 92 zu dem zweiten Temperaturanpassungsmittel 43 ausgegeben und die Temperatur des Bearbeitungswassers wird durch das zweite Temperaturanpassungsmittel 43 in einer solchen Weise angepasst, dass das Bearbeitungswasser, das durch den Bearbeitungswasserflusspfad 49 fließt, nachdem es durch das zweite Temperaturanpassungsmittel 43 geflossen ist, auf eine vorbestimmte gesetzte Temperatur T2 (zum Beispiel 24 °C) eingestellt ist. Beachte, dass die eingestellte Temperatur T2 23 °C aufweisen kann.
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Als ein Ergebnis, sogar wenn das Bearbeitungswasser, das bei der gesetzten Temperatur T2 aus den Auslassöffnungen 620 des Paares Bearbeitungswasserdüsen 62 zu dem Bearbeitungspunkt zwischen Bearbeitungswerkzeug 60 und dem Werkstück W zugeführt wird, verdampft und die Temperatur des Teils der Spindeleinheit 61, der in der Bearbeitungskammer 12 liegt, dadurch abgesenkt wird, wird ein kleinerer Temperaturunterschied zwischen dem inneren Teil und dem Teil der Spindeleinheit 61, die außerhalb der Bearbeitungskammer 12 liegt, auftreten; darum wird ein Auftreten von einer thermischen Belastung in dem gesamten Teil der Spindeleinheit 61 unterdrückt. Folglich kann das Werkstück W mit hoher Genauigkeit geschnitten werden.
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Beachte, dass das ein Einstellverfahren für eine Wassertemperatur entsprechend der vorliegenden Erfindung nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt ist. Die Komponenten der Bearbeitungsvorrichtung 1, die in den angehängten Figuren dargestellt ist, sind nicht auf die dargestellten beschränkt und geeignete Modifikationen sind in solchen Bereichen möglich, in denen der Effekt der Erfindung hergestellt werden kann.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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