DE102018215023A1

DE102018215023A1 - Integrierte kammer zur vakuumbeschichtung

Info

Publication number: DE102018215023A1
Application number: DE102018215023.0A
Authority: DE
Inventors: Manshi Yao; Feng Yan
Original assignee: Beijing Chuangyu Tech Co Ltd; Beijing Chuangyu Technology Co Ltd
Current assignee: Beijing Chuangyu Tech Co Ltd; Beijing Chuangyu Technology Co Ltd
Priority date: 2017-12-13
Filing date: 2018-09-04
Publication date: 2019-06-13
Also published as: CN107858666A; JP2019104985A; KR20190070840A; US20190177832A1; WO2019114234A1

Abstract

Die vorliegende Offenbarung offenbart eine integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung, die eine integrierte Kammer umfasst, die aus einer oberen Kammerplatte, vier Seitenkammerplatten und einer unteren Kammerplatte zusammengesetzt ist; wobei ein Leitblech in der integrierten Kammer vorgesehen ist, das die integrierte Kammer in eine Vorwärmkammer und eine Prozesskammer unterteilt; das Leitblech mit einer Öffnung zum Hindurchführen eines Werkstücks versehen ist und eine Abdichtungsklappe zum Versperren der Öffnung in der Vorwärmkammer vorgesehen ist; die Abdichtungsklappe mit dem Leitblech hermetisch zusammengepasst ist und die Abdichtungsklappe dahingehend mit einem ersten Antriebsglied verbunden ist, die Abdichtungsklappe zum Öffnen und Schließen anzutreiben. Durch das Integrieren der Vorwärmkammer und der Prozesskammer in eine integrierte Kammer wird der Herstellungsprozess verbessert und werden das Zusammenbauen und die Wartung vereinfacht.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf das Gebiet der Vakuumbeschichtungsgeräte und insbesondere auf eine integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung.
Hintergrund
Die Vorwärmkammer und die Prozesskammer des existierenden Beschichtungsgeräts werden im Allgemeinen individuell hergestellt und sind durch ein integriertes Schieberventil zum Transportieren von Werkstücken verbunden und dahingehend hermetisch abgedichtet, Verfahren getrennt durchzuführen. Bei solch einer Struktur ist es erforderlich, dass die beiden Kammern jeweils mit einem Schieberventil mit einem Gehäuse vakuumabgedichtet sind, dann erfolgt die Abtrennung und Vakuumabdichtung zwischen den beiden Kammern durch den Ventilschieber des Schieberventils. Bei solch einer Struktur muss das Schieberventil (das in der Regel sehr schwer ist) beim Zusammenbauen der Vorwärmkammer, des Schieberventils und der Prozesskammer zunächst mit einer der Kammern zusammengebaut werden und eine relevante Vakuumprüfung muss durchgeführt werden. Bei Tauglichkeit wird das Schieberventil mit der anderen Kammer zusammengebaut und wiederum der Vakuumprüfung unterzogen. Die Arbeitslast und die Schwierigkeit des Zusammenbauens sind beträchtlich und es ist notwendig, die Kammern zu einem späteren Zeitpunkt zu bewegen, um die Dichtungsringe zwischen dem Schieberventil und den Kammern zu erhalten, und der Arbeitsschritt wird mit einem Kran oder anderen Hebewerkzeugen durchgeführt, was eher mühsam ist. Unter normalen Umständen sollte ein festes Gerät soweit es geht nicht bewegt werden, um die Stabilität der Strukturparameter des Geräts sicherzustellen.
Das existierende Wärmeisolationsleitblech hinter dem Schieberventil nimmt eine Struktur an, die sich gerade nach oben und nach unten bewegt, die eine linke und eine rechte Stützstange zur Befestigung des Wärmeisolationsleitblechs in den Kammern erfordert und mit verschweißten Bälgen abgedichtet ist; ferner erfordert sie zwei Führungsstangen, die pneumatisch, elektrisch oder manuell angetrieben werden können. Diese Wärmeisolationsleitbleche sind in der Regel am Boden der Prozesskammer oder hinter dem Schieberventil befestigt. Die Strukturen sind alle dimensioniert. Die Gesamtanordnung nimmt in etwa 100 mm in der Längenrichtung ein, dann kann die Bodenplatte der unteren Anordnung der Prozesskammer installiert werden. Der Raum einschließlich der Schrauben und des Dichtungsrings muss auch in etwa 80-90 mm in der Längsrichtung einnehmen. Insgesamt ist ein Raum von 180-190 mm zum Zusammenbau erforderlich. Die Struktur ist relativ komplex und erfordert die Sicherstellung einer relativ hohen Herstellungspräzision, und die oberen und die unteren Enden der beiden Bälge müssen vakuumabgedichtet sein.
Kurzdarstellung
Zu lösendes technisches Problem
Eine der Aufgaben der vorliegenden Offenbarung besteht darin, eine integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung bereitzustellen, um den Zusammenbau und die Wartung zu vereinfachen, und ein Wärmeisolationsleitblech bereitzustellen, das keine komplexe Struktur aufweist und keinen großen Raum einnimmt.
Technische Lösungen
Die vorliegende Offenbarung stellt eine integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung bereit, die eine integrierte Kammer umfasst, die aus einer oberen Kammerplatte, vier Seitenkammerplatten und einer unteren Kammerplatte zusammengesetzt ist; wobei ein Leitblech in der integrierten Kammer vorgesehen ist, das die integrierte Kammer in eine Vorwärmkammer und eine Prozesskammer unterteilt; das Leitblech mit einer Öffnung zum Hindurchführen eines Werkstücks versehen ist und eine Abdichtungsklappe zum Versperren der Öffnung in der Vorwärmkammer vorgesehen ist; die Abdichtungsklappe mit dem Leitblech hermetisch zusammengepasst ist und die Abdichtungsklappe mit einem ersten Antriebsglied verbunden ist, das die Abdichtungsklappe zum Öffnen und Schließen antreibt.
Bei einer weiteren Ausführung ist mindestens eine schwingende Wärmeisolationsplatte in der Prozesskammer vorgesehen, eine Endseite der schwingenden Wärmeisolationsplatte ist mit einer Drehwelle versehen, ein Ende der Drehwelle ist mit einem Träger drehbar verbunden, der an dem Leitblech oder der Kammerwand der integrierten Kammer befestigt ist, und das andere Ende der Drehwelle ist mit einem zweiten Antriebsglied verbunden; das zweite Antriebsglied treibt die schwingende Wärmeisolationsplatte zum dahingehenden Öffnen und Schließen, den Handlungen der Abdichtungsklappe zu folgen, an.
Bei einer weiteren Ausführung ist das erste Antriebsglied ein Hebezylinder; eine Antriebswelle des Hebezylinders ist mit der Abdichtungsklappe durch Hindurchführen durch die obere Kammerplatte hindurch verbunden und die Antriebswelle des Hebezylinders ist mit der oberen Kammerplatte hermetisch verbunden.
Bei einer weiteren Ausführung ist das zweite Antriebsglied ein Schwingzylinder, der mit der Drehwelle der schwingenden Wärmeisolationsplatte durch ein Dichtungslager dahingehend verbunden ist, die schwingende Wärmeisolationsplatte zum Öffnen und Schließen anzutreiben; das Dichtungslager ist mit der Kammerwand der integrierten Kammer hermetisch verbunden.
Bei einer weiteren Ausführung ist mindestens eine feste Wärmeisolationsplatte in der Prozesskammer vorgesehen, zwei Enden der festen Wärmeisolationsplatte sind jeweils an der Kammerseitenplatte fixiert und damit verbunden und eine Weitergabeöffnung, durch die das Werkstück hindurchgeht, ist an der festen Wärmeisolationsplatte vorgesehen.
Bei einer weiteren Ausführung ist eine Umfangsseite des Leitblechs mit einer Innenseite der integrierten Kammer verschweißt und daran fixiert.
Bei einer weiteren Ausführung ist die obere Kammerplatte mit oberen Öffnungen versehen, die mit der Vorwärmkammer bzw. der Prozesskammer zusammenpassen, wobei die oberen Öffnungen der Vorwärmkammer und der Prozesskammer mit einer oberen Abdeckplatte für die Vorwärmkammer bzw. einer oberen Abdeckplatte für die Prozesskammer abgedeckt sind; die untere Kammerplatte ist mit einer unteren Öffnung versehen, die mit der Prozesskammer zusammenpasst, und eine Außenseite der unteren Öffnung ist mit einer unteren Abdeckplatte für die Prozesskammer abgedeckt.
Bei einer weiteren Ausführung ist die obere Kammerplatte ein integraler Flansch; sind Dichtungsglieder zwischen der oberen Abdeckplatte für die Vorwärmkammer, der oberen Abdeckplatte für die Prozesskammer und der oberen Kammerplatte vorgesehen; und sind Dichtungsglieder zwischen der unteren Abdeckplatte für die Prozesskammer und der unteren Kammerplatte vorgesehen.
Bei einer weiteren Ausführung sind Wasserkühlungsdurchgangsbohrungen an dem Leitblech und den Kammerwänden der integrierten Kammer vorgesehen.
Bei einer weiteren Ausführung sind Dichtungsglieder zwischen der Abdichtungsklappe und dem Leitblech vorgesehen.
Bei einer weiteren Ausführung ist die integrierte Kammer aus hochtemperaturfestem Edelstahl hergestellt.
Vorteilhafte Wirkungen
Die integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung, die von der vorliegenden Offenbarung bereitgestellt wird, verbessert das Herstellungsverfahren und ermöglicht das Zusammenbauen und die Wartung durch Integrieren der Vorwärmkammer und der Prozesskammer in eine integrierte Kammer; wobei die Abdichtungsklappe eine einfache Struktur und ein geringes Gewicht aufweist, beim Zusammenbauen und Auseinanderbauen und bei der Wartung praktisch ist, wodurch die Kosten reduziert werden; die schwingende Wärmeisolationsplatte eine einfache Struktur aufweist, die wenig Raum einnimmt, die Größe der Prozesskammer und die Menge an Prozessgas reduziert, und die geeignet ist ist, den Druck zu steuern, und deren beiden Enden durch die Drehwelle verbunden und fixiert sind, wodurch das Zusammenbauen, das Auseinanderbauen und die Wartung erleichtert werden, und überdies zuverlässig funktioniert.
Figurenliste

1 ist eine Längsschnittansicht einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung;
2 ist eine Schnittansicht entlang A-A von 1.

In den Figuren zeigen: 1: Abdichtungsklappe; 2: schwingende Wärmeisolationsplatte; 3: feste Wärmeisolationsplatte; 4: Werkstück; 5: untere Abdeckplatte für die Prozesskammer; 6: obere Abdeckplatte für die Prozesskammer; 7: obere Abdeckplatte für die Vorwärmkammer 11; 8: erstes Antriebsglied; 9: Dichtungslager; 10: zweites Antriebsglied; 11: Leitblech; 12: obere Kammerplatte; 13: Kammerseitenplatte; 14: untere Kammerplatte; 15: erste Drehwelle; 16: Träger; O: geöffneter Zustand der schwingenden Wärmeisolationsplatte; S: geschlossener Zustand der schwingenden Wärmeisolationsplatte.
Detaillierte Beschreibung
Die spezifischen Implementierungsweisen der vorliegenden Offenbarung werden unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen und Ausführungsformen genauer beschrieben. Die folgenden Beispiele dienen der Darstellung der vorliegenden Offenbarung, sollen jedoch nicht ihren Schutzumfang einschränken.
Es versteht sich, dass in der Beschreibung der vorliegenden Offenbarung die Begriffe „befestigen“ und „verbinden mit“ weitläufig zu verstehen sind, sofern sie nicht speziell definiert oder eingeschränkt werden, beispielsweise können sie feste Verbindungen sein oder können lösbare Verbindungen oder integrierte Verbindungen sein; können mechanische Verbindungen oder elektrische Verbindungen sein; sie können auch direkte Verbindungen oder indirekte Verbindungen über ein Zwischenmedium sein oder können eine interne Verbindung von zwei Komponenten sein. Für einen Durchschnittsfachmann sind die speziellen Bedeutungen der obigen Begriffe in der vorliegenden Offenbarung gemäß spezifischen Situationen verständlich.
Wie in 1 und 2 gezeigt wird, stellt eine Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung eine integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung bereit, die eine integrierte Kammer umfasst, die aus einer oberen Kammerplatte 12, vier Kammerseitenplatten 13 und einer unteren Kammerplatte 14 zusammengesetzt ist; wobei ein Leitblech 11 in der integrierten Kammer vorgesehen ist, das die integrierte Kammer in eine Vorwärmkammer und eine Prozesskammer unterteilt; das Leitblech 11 mit einer Öffnung zum Hindurchführen eines Werkstücks 4 versehen ist und eine Abdichtungsklappe 1 zum Versperren der Öffnung in der Vorwärmkammer vorgesehen ist; die Abdichtungsklappe 1 mit dem Leitblech 11 hermetisch zusammengepasst ist und mit einem ersten Antriebsglied 8 zum Antreiben der Abdichtungsklappe 1 zum Öffnen und Schließen verbunden ist.
Weiterhin ist die integrierte Kammer durch Verschweißen der oberen Kammerplatte 12, der vier Kammerseitenplatten 13 und der unteren Kammerplatte 14 zusammengesetzt; die Verbindung zwischen jedem Plattenstück in der integrierten Kammer erfolgt durch eine durchgängige Schweißung zur Erzielung einer abgedichteten Verbindung und die Verbindung zwischen jedem Plattenstück außerhalb der integrierten Kammer erfolgt durch Punktschweißen zur Erzielung einer festen Verbindung, um die Gesamtstrukturstärke sicherzustellen.
Das Innere der integrierten Kammer wird durch das Leitblech 11 in die Vorwärmkammer und die Prozesskammer unterteilt; die Umfangsseite des Leitblechs 11 ist mit der Innenwand der integrierten Kammer verschweißt und daran fixiert. Das Leitblech 11 auf der Prozesskammerseite ist durch durchgängige Schweißung an der Innenwand der integrierten Kammer fixiert, um die Abdichtung der Prozesskammer sicherzustellen, das Leitblech 11 auf der Vorwärmkammerseite ist durch die Punktschweißung an der Innenwand der integrierten Kammer fixiert, um die Haltestärke des Leitblechs 11 zu verbessern. Wasserkühlungsdurchgangsbohrungen zum Kühlen der integrierten Kammer sind an dem Leitblech 11 und den Kammerwänden der integrierten Kammer vorgesehen. Weiterhin ist die obere Kammerplatte 12 insbesondere ein integraler Flansch und ist mit einer oberen Öffnung versehen, die mit der Vorwärmkammer zusammenpasst. Die obere Öffnung ist mit einer oberen Abdeckplatte 7 für die Vorwärmkammer abgedeckt. Die obere Kammerplatte 12 ist auch mit einer Öffnung versehen, die mit der Prozesskammer zusammenpasst. Die obere Öffnung ist mit einer oberen Abdeckplatte 6 für die Prozesskammer abgedeckt. Die untere Kammerplatte 14 der Prozesskammer ist mit einer unteren Öffnung versehen, und die Außenseite der unteren Öffnung ist mit einer unteren Abdeckplatte 5 für die Prozesskammer abgedeckt, um das Auseinanderbauen und die Wartung zu vereinfachen.
Dichtungsglieder sind zwischen der oberen Abdeckplatte 7 für die Vorwärmkammer, der oberen Abdeckplatte 6 für die Prozesskammer und der oberen Kammerplatte 12 vorgesehen; und Dichtungsglieder sind auch zwischen der unteren Abdeckplatte 5 für die Prozesskammer und der unteren Kammerplatte 14 vorgesehen. Das Dichtungsglied ist vorzugsweise ein O-förmiger Dichtungsring zur Sicherstellung der Abdichtung der Vorwärmkammer und der Prozesskammer und zur Verbesserung der Sicherheit der integrierten Kammer.
Weiterhin ist das Leitblech 11 mit einer Öffnung versehen. Die Größe der Öffnung beträgt mehr als jene des Werkstücks 4 zum reibungslosen Hindurchführen des Werkstücks 4. Die Abdichtungsklappe 1 zum Versperren der Öffnung ist in der Vorwärmkammer vorgesehen, und die Dichtungsglieder sind zwischen der Abdichtungsklappe 1 und dem Leitblech 11 vorgesehen. Das Dichtungsglied ist vorzugsweise ein O-förmiger Dichtungsring zur Erzielung der Abdichtung der Abdichtungsklappe 1 mit dem Leitblech 11. Die Dichtungsglieder können einen Luftaustausch zwischen der Vorwärmkammer und der Prozesskammer durch die Öffnung verhindern, wodurch die Beschichtungswirkung beeinflusst wird.
Die obere Kammerplatte 12 ist mit einem Befestigungsloch versehen, das mit der Antriebswelle eines ersten Antriebsglieds 8 zusammenpasst. Das erste Antriebsglied 8 ist vorzugsweise ein Hebezylinder. Die Antriebswelle des Hebezylinders führt durch das Befestigungsloch hindurch und ist mit der Abdichtungsklappe 1 dahingehend verbunden, die Abdichtungsklappe 1 zum Hochklappen oder Hinunterklappen anzutreiben. Die Antriebswelle des Hebezylinders ist hermetisch an dem Befestigungsloch der oberen Kammerplatte 12 durch einen Flansch dahingehend befestigt, die Abdichtung der Vorwärmkammer sicherzustellen.
Weiterhin ist mindestens eine schwingende Wärmeisolationsplatte 2 in der Prozesskammer vorgesehen. Die Anzahl an schwingenden Wärmeisolationsplatten 2 wird gemäß der Ist-Temperatur der Prozesskammer dahingehend gewählt, die Abdichtungsklappe 1 und den O-förmigen Dichtungsring zwischen der Abdichtungsklappe 1 und dem Leitblech 11 vor Wärmebestrahlung von der Prozesskammerzu schützen , wodurch die Lebensdauer des O-förmigen Dichtungsrings verlängert und die Abdichtung der Vorwärmkammer und der Prozesskammer sichergestellt wird.
Eine Endseite der schwingenden Wärmeisolationsplatte 2 ist mit einer Drehwelle versehen. Ein Ende der Drehwelle ist mit einem Träger 16 drehbar verbunden, der an dem Leitblech 11 oder der Kammerwand der integrierten Kammer befestigt ist; und das andere Ende der Drehwelle ist mit einem zweiten Antriebsglied 10 verbunden. Bei einer weiteren Ausführungsform ist ein Ende der schwingenden Wärmeisolationsplatte 2 durch Schrauben fest mit einer ersten Drehwelle 15 verbunden, ist die erste Drehwelle 15 durch den Träger 16 drehbar an dem Leitblech 11 befestigt; und ist das andere Ende der schwingenden Wärmeisolationsplatte 2 durch Schrauben fest mit der zweiten Drehwelle verbunden, die zweite Drehwelle ist mit einem Antriebsende des zweiten Antriebsglied 10 verbunden. Bei beiden Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass das zweite Antriebsglied 10 die schwingende Wärmeisolationsplatte 2 zum dahingehenden Öffnen und Schließen, den Handlungen der Abdichtungsklappe 1 zu folgen, antreibt, wodurch das Zusammenbauen und das Auseinanderbauen und die Wartung vereinfacht werden und wenig Raum eingenommen wird.
Weiterhin ist das zweite Antriebsglied 10 vorzugsweise ein Schwingzylinder, dessen Antriebsende mit einem Dichtungslager 9 versehen ist, bei dem es sich vorzugsweise um ein Magnetofluidlager handelt, um zu erzielen, dass der Schwingzylinder die schwingende Wärmeisolationsplatte 2 zum Öffnen oder Schließen antreibt. Die Kammerseitenplatte 13 ist mit einem Befestigungsloch versehen, das mit dem Magnetofluidlager zusammenpasst, um das Zusammenbauen und das Auseinanderbauen und die Wartung zu vereinfachen; und die abgedichtete Installation des Schwingzylinders mit der Kammerseitenplatte 13 kann erzielt werden, und der Schwingzylinder wird durch den Flansch abgedichtet und zusammengebaut. Die erste Drehwelle 15 und die zweite Drehwelle befinden sich auf derselben horizontalen Linie, um sicherzustellen, dass die schwingende Wärmeisolationsplatte 2 die Öffnung vollständig versperrt. Es versteht sich, dass bei anderen Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung die Abdichtung zwischen dem Antriebsende des Schwingzylinders und der Kammerseitenplatte 13 nicht auf das Magnetofluidlager beschränkt ist; und die Bewegung der schwingenden Wärmeisolationsplatte 2 nicht auf das Hoch- und Herunterschwingen entlang der Bewegungsrichtung des Werkstücks 4 beschränkt ist. In einigen Fällen ist es auch möglich, links und rechts in der Bewegungsrichtung senkrecht zu dem Werkstück 4 oder ähnlich zur Hebebewegung der Abdichtungsklappe 1 zu schwingen.
Basierend auf den tatsächlichen Anforderungen kann mindestens eine feste Wärmeisolationsplatte 3 parallel zum Leitblech 11 in der Prozesskammer zur Unterstützung der schwingenden Wärmeisolationsplatte 2 befestigt sein. Zwei Enden der festen Wärmeisolationsplatte 3 können jeweils durch Schrauben oder Schweißung an der Kammerseitenplatte 13 fixiert und damit verbunden sein. Eine Weitergabeöffnung, die mit der Größe des Werkstücks 4 zusammenpasst, ist an der festen Wärmeisolationsplatte 3 vorgesehen, und die Höhe der festen Wärmeisolationsplatte 3 hängt von den Anforderungen des Prozesses und den relativen Positionen anderer Komponenten ab.
Weiterhin treibt der Hebezylinder 8, wenn das Werkstück 4 von der Vorwärmkammer in die Prozesskammer weitergegeben werden muss, die Abdichtungsklappe 1 dahingehend an, hochzuklappen und die Öffnung des Leitblechs 11 freizulegen; zu diesem Zeitpunkt befindet sie sich in einem geschlossenen Zustand S der schwingenden Wärmeisolationsplatte, und der Schwingzylinder 10 treibt die schwingende Wärmeisolationsplatte 2 dahingehend an, sich zu drehen und dann ändert sie den Zustand in einen geöffneten Zustand O der schwingenden Wärmeisolationsplatte, so dass das Werkstück reibungslos in die Prozesskammer transportiert wird. Der Schwingzylinder 10 treibt die schwingende Wärmeisolationsplatte 2 dahingehend an, in den geschlossenen Zustand zurückzukehren, der Hebezylinder 8 treibt die Abdichtungsklappe 1 dahingehend an, hinunterzuklappen, so dass die Abdichtungsklappe 1 und das Leitblech 11 abgedichtet bleiben.
Die Abdichtungsklappe 1, die schwingende Wärmeisolationsplatte 2, die feste Wärmeisolationsplatte 3, die untere Abdeckplatte 5 für die Prozesskammer, die obere Abdeckplatte 6 für die Prozesskammer, die obere Abdeckplatte 7 für die Vorwärmkammer, das Leitblech 11, die obere Kammerplatte 12, die Kammerseitenplatte 13, die erste Drehwelle 15, die zweite Drehwelle und der Träger sind aus hochtemperaturfestem Edelstahl hergestellt.
Die integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung, die durch die vorliegende Offenbarung bereitgestellt wird, verbessert den Herstellungsprozess und erleichtert das Zusammenbauen und die Wartung durch das Integrieren der Vorwärmkammer und der Prozesskammer in eine integrierte Kammer; wobei die Abdichtungsklappe eine einfache Struktur und ein geringes Gewicht aufweist, beim Zusammenbauen und Auseinanderbauen und bei der Wartung praktisch ist, wodurch die Kosten reduziert werden; die schwingende Wärmeisolationsplatte eine einfache Struktur aufweist, die wenig Raum einnimmt, die Größe der Prozesskammer und die Menge an Prozessgas reduziert, und es praktisch ist, den Druck zu steuern, und die beiden Enden davon durch die Drehwelle verbunden und fixiert sind, wodurch das Zusammenbauen, das Auseinanderbauen und die Wartung erleichtert werden, und überdies zuverlässig funktioniert.
Bei den Beschreibungen handelt es sich lediglich um bevorzugte Ausführungsform in der vorliegenden Offenbarung und sie sollen die vorliegende Offenbarung nicht einschränken. Beispielsweise kann die Öffnung der Abdichtungsklappe dahingehend eingestellt sein, durch das Drehen entlang einer versetzten Welle geöffnet zu werden; das Antreiben der Abdichtungsklappe kann elektrisch oder manuell erfolgen, die schwingende Wärmeisolationsplatte kann mit multiplen Lagen, die durch Dichtungen getrennt sind, aufgestapelt sein. Jegliche Modifikationen, äquivalente Ersatzmaßnahmen und Verbesserungen, die innerhalb des Gedanken und Prinzips der vorliegenden Offenbarung erfolgen, sollen in den Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung fallen.

Claims

Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine integrierte Kammer umfasst, die aus einer oberen Kammerplatte (12), vier Seitenkammerplatten (13) und einer unteren Kammerplatte (14) zusammengesetzt ist; wobei ein Leitblech (11) in der integrierten Kammer vorgesehen ist, das die integrierte Kammer in eine Vorwärmkammer und eine Prozesskammer unterteilt; das Leitblech (11) mit einer Öffnung zum Hindurchführen eines Werkstücks versehen ist; eine Abdichtungsklappe (1) zum Versperren der Öffnung in der Vorwärmkammer vorgesehen ist; die Abdichtungsklappe (1) mit dem Leitblech (11) hermetisch zusammengepasst ist und die Abdichtungsklappe (1) mit einem ersten Antriebsglied (8) verbunden ist, das die Abdichtungsklappe (1) zum Öffnen und Schließen antreibt.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine schwingende Wärmeisolationsplatte 2 in der Prozesskammer vorgesehen ist, eine Endseite der schwingenden Wärmeisolationsplatte (2) mit einer Drehwelle versehen ist, ein Ende der Drehwelle mit einem Träger (16) drehbar verbunden ist, der an dem Leitblech (11) oder der Kammerwand der integrierten Kammer befestigt ist, und das andere Ende der Drehwelle mit einem zweiten Antriebsglied (10) verbunden ist; das zweite Antriebsglied die schwingende Wärmeisolationsplatte (2) zum dahingehenden Öffnen und Schließen, den Handlungen der Abdichtungsklappe (1) zu folgen, antreibt.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Antriebsglied (8) ein Hebezylinder ist; eine Antriebswelle des Hebezylinders mit der Abdichtungsklappe (1) durch Hindurchführen durch die obere Kammerplatte (12) hindurch verbunden ist und die Antriebswelle des Hebezylinders mit der oberen Kammerplatte (12) hermetisch verbunden ist.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Antriebsglied (10) ein Schwingzylinder ist, der mit der Drehwelle der schwingenden Wärmeisolationsplatte (2) durch ein Dichtungslager (9) dahingehend verbunden ist, die schwingende Wärmeisolationsplatte (2) zum Öffnen und Schließen anzutreiben; das Dichtungslager (9) ist mit der Kammerwand der integrierten Kammer hermetisch verbunden.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine feste Wärmeisolationsplatte (3) in der Prozesskammer vorgesehen ist, zwei Enden der festen Wärmeisolationsplatte (3) jeweils an der Kammerseitenplatte (13) fixiert und damit verbunden sind und eine Weitergabeöffnung, durch die das Werkstück (4) hindurchgeht, an der festen Wärmeisolationsplatte (3) vorgesehen ist.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Umfangsseite des Leitblechs (11) mit einer Innenwand der integrierten Kammer verschweißt und daran fixiert ist.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Kammerplatte (12) mit oberen Öffnungen versehen ist, die mit der Vorwärmkammer bzw. der Prozesskammer zusammenpassen, wobei die oberen Öffnungen der Vorwärmkammer und der Prozesskammer mit einer oberen Abdeckplatte (7) für die Vorwärmkammer bzw. einer oberen Abdeckplatte (6) für die Prozesskammer abgedeckt sind; die untere Kammerplatte (14) mit einer unteren Öffnung versehen ist, die mit der Prozesskammer zusammenpasst, und eine Außenseite der unteren Öffnung mit einer unteren Abdeckplatte (5) für die Prozesskammer abgedeckt ist.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Kammerplatte (12) ein integraler Flansch ist; Dichtungsglieder zwischen der oberen Abdeckplatte (7) für die Vorwärmkammer, der oberen Abdeckplatte (6) für die Prozesskammer und der oberen Kammerplatte (12) vorgesehen sind; und Dichtungsglieder zwischen der unteren Abdeckplatte (5) für die Prozesskammer und der unteren Kammerplatte (14) vorgesehen sind.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Wasserkühlungsdurchgangsbohrungen an dem Leitblech (11) und den Kammerwänden der integrierten Kammer vorgesehen sind.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Dichtungsglieder zwischen der Abdichtungsklappe (1) und dem Leitblech (11) vorgesehen sind.
Integrierte Kammer zur Vakuumbeschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Kammer aus hochtemperaturfestem Edelstahl hergestellt ist.