DE102008048586A1 - Insight device for vacuum plant, comprises a disk movably arranged in a process chamber on interior side directly before a sight glass in an adjustable defined distance, where bristles of resilient materials are directed on the disk - Google Patents

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Abstract

The insight device comprises a disk (1) movably arranged in a process chamber on the interior side directly before a sight glass (3) in an adjustable defined distance, where bristles (2) of resilient materials are directed on the disk at the edge towards the side of the sight glass and arranged closely to each other in a row in such a way that the process chamber lies on the surface of wall (5). The disk is round and the bristles are arranged rotation symmetrically at the edge. The bristles are produced from heat-stable material or spring steel wire. The insight device comprises a disk (1) movably arranged in a process chamber on the interior side directly before a sight glass (3) in an adjustable defined distance, where bristles (2) of resilient materials are directed on the disk at the edge towards the side of the sight glass and arranged closely to each other in a row in such a way that the process chamber lies on the surface of wall (5). The disk is round and the bristles are arranged rotation symmetrically at the edge. The bristles are produced from heat-stable material or spring steel wire. The disk is moved by hand or mechanically movable. The distance of the disk from the wall of the process chamber is adjustable. The insight glass forms a plain in the process chamber with the wall and the distance of the disk from the plain is adjustable so that the bristles clean walls of the process chamber from condensed particles during moving the disk.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, um vakuumtechnologische Prozesse, vorzugsweise Beschichtungsprozesse in evakuierten Prozesskammern zu beobachten.The Invention relates to an apparatus for vacuum technological processes, preferably coating processes in evacuated process chambers to observe.

Da diese Vakuumprozesse oft über lange Zeit laufen, werden die Beobachtungseinrichtungen durch die beim Prozess entstehenden Teilchen zugesetzt, sodass die Durchblickzeit begrenzt ist. Ebenso dringen beim Belüften Staubteilchen ein. Alle diese störenden Teilchen schlagen in der Regel auf dem meist kälteren Schauglas nieder. Dieser Niederschlag muss in bestimmten Zeitabständen entfernt werden, was eine Unterbrechung des Prozesses erfordert, denn dazu muss die Einrichtung belüftet werden, damit das Glas gereinigt oder durch ein neues ersetzt wird.There These vacuum processes are often run for a long time the observation devices by the process resulting from the process Added particles, so the viewing time is limited. Likewise penetrate when aerating dust particles. All these disturbing Particles usually hit the usually colder sight glass low. This rainfall must be at certain intervals be removed, which requires an interruption of the process, because the device must be ventilated so that the Glass is cleaned or replaced with a new one.

Es sind verschiedene Konstruktionen von Schaugläsem bekannt, die alle darauf abgestellt sind, die Durchblickzeit zu verlängern, und fast alle nach dem Prinzip eines Stroboskopes arbeiten. Es rotieren eine oder mehrere Scheiben mit mindestens einem schmalen zentrisch verlaufenden Schlitz mit hoher Geschwindigkeit, auch gegenläufig vor der Glasscheibe in einem Gehäuse. Diese Einblickvorrichtung wird vor der mit einem Glas versehenen Öffnung in der Wand der Prozesskammer angeordnet. Die Einrichtung selbst kann auch evakuiert werden. ( DD 53 506 , DD 157 975 , DD 279 696 A1 )Various designs of sight glasses are known, all of which are designed to extend the viewing time, and almost all operate on the principle of a stroboscope. It rotate one or more discs with at least one narrow centric slot running at high speed, also in opposite directions in front of the glass in a housing. This viewer is placed in front of the glassed opening in the wall of the process chamber. The device itself can also be evacuated. ( DD 53 506 . DD 157 975 . DD 279 696 A1 )

Diese Einrichtungen haben den Nachteil, dass die Durchblickzeit doch durch das nicht zu verhindernde Kondensieren von Teilchen auf der Glasscheibe begrenzt ist. Außerdem besteht der Nachteil, dass der mechanische Aufwand relativ hoch ist, denn es sind Motoren und Antriebselemente erforderlich, die Strom verbrauchen, auch verschmutzen und dem Verschleiß unterliegen. Die rotierenden Teile sind zu schmieren und insgesamt ist eine relativ kostenaufwendige Wartung der Einrichtung erforderlich.These Facilities have the disadvantage that the Durchblickzeit but by the unavoidable condensation of particles on the glass pane is limited. There is also the disadvantage that the mechanical Effort is relatively high, because they are motors and drive elements necessary, which consume electricity, also pollute and are subject to wear. The rotating parts are to be lubricated and overall one is relative costly maintenance of the equipment required.

Es ist weiterhin bekannt, vor dem Schauglas eine schwenkbare Blende anzuordnen, die nur während der Zeit des Durchblickens geöffnet wird. Auch diese Ausführung hat Nachteile, denn es ist eine weitere Mechanik erforderlich, die zu Warten ist, und das Beschlagen des eigentlichen Schauglases wird nicht verhindert, sondern nur reduziert.It is still known, in front of the sight glass a hinged aperture to arrange only during the time of peering is opened. This embodiment also has disadvantages because it requires another mechanic that is to wait and the fogging of the sight glass is not prevented but only reduced.

Es ist auch bekannt, in das Gehäuse der Einblickeinrichtung während der Rotation der Scheiben ein Gas einzulassen, um das Eindringen und Kondensieren von Teilchen zu verhindern. ( DD 155 288 )It is also known to introduce a gas into the housing of the inspection device during the rotation of the disks to prevent the penetration and condensation of particles. ( DD 155 288 )

Diese Ausführung hat den Nachteil, dass zusätzlich Bauteile für die Gaszuleitung und Gasführung erforderlich sind. Die Durchblickdauer wird auch nicht wesentlich erhöht.These Design has the disadvantage that in addition components required for the gas supply and gas supply are. The viewing time is not significantly increased.

Es ist auch bekannt, die Glasscheibe zu heizen, weil dadurch die Kondensation der Teilchen verhindert wird. Die Temperatur muss so hoch gewählt werden, dass kein Temperaturgefälle entsteht.It is also known to heat the glass, because it causes condensation the particle is prevented. The temperature has to be chosen so high that no temperature gradient arises.

Diese Lösung ist auch mit Mängeln behaftet, denn es muss eine zusätzliche Heizung installiert werden, die neben dem mechanischen Aufwand erhebliche Energie erfordert. Außerdem wird die Wärme auf andere Bauteile übertragen, sodass wieder Isolationen erforderlich werden. Es hat sich auch erwiesen, dass trotzdem noch relativ viele Teilchen auf die Glasscheibe gelangen.These Solution is also flawed, because it An additional heater must be installed next to it the mechanical effort requires considerable energy. Furthermore the heat is transferred to other components, so isolation will be required again. It has too proved that still relatively many particles on the glass pane reach.

Alle bekannten Lösungen bringen keine befriedigende Verlängerung der Durchblickdauer, da es nicht möglich ist, durch die erforderlichen mechanischen Elemente eine vollkommene Abdichtung zwischen dem Prozessraum und dem Schauglas zu realisieren. Es bestehen noch Spalten, durch welche die störenden Teilchen auf das Schauglas gelangen. ( DE 44 27 242 A1 )All the known solutions do not provide a satisfactory extension of the viewing time, since it is not possible to realize a perfect seal between the process space and the sight glass by the required mechanical elements. There are still gaps through which the interfering particles reach the sight glass. ( DE 44 27 242 A1 )

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen zu schaffen, die eine fast unbegrenzte Beobachtungsdauer gewährleistet, einen sehr geringen mechanischen Aufwand erfordert, einfach und Kosten sparend in der Herstellung und Montage ist.Of the Invention is based on the object, an insight device for Vacuum systems create an almost unlimited observation period ensures a very low mechanical effort requires, simple and cost-saving in the manufacture and assembly is.

Das notwendige Auswechseln der Einrichtung soll ohne hohen und zeitlichen Aufwand möglich sein. Weiterhin soll die Einrichtung an jeder beliebigen Stelle der Anlage einsetzbar sein, und eine Kombination mit an sich bekannten Einblickvorrichtungen soll problemlos möglich sein.The necessary replacement of the device should be without high and temporal Effort be possible. Furthermore, the device should be used anywhere in the plant, and a combination with known per se devices should be easily possible be.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass eine Scheibe, deren Fläche größer als die Fläche des in der Wand der Prozesskammer eingesetzten Schauglases ist.According to the invention solved the problem by having a disc whose area larger than the area of the wall the process chamber used sight glass is.

Die Scheibe beliebiger Geometrie besitzt auf der dem Schauglas zugewandten Seite auf dem Umfang mehrere Reihen Borsten aus einem vorzugsweise wärmebeständigen Material, die eine Bürste, eine sogenannte Tellerbürste bilden, angeordnet sind. Diese in der Vakuumkammer befindliche vor dem Schauglas angeordnete Scheibe ist von außen bewegbar, sodass in einer Stellung das Schauglas am Rand von den Bürsten abgedeckt ist und in der anderen Stellung dieses frei gibt. Dabei ist der Abstand der Bürsten so eingestellt, dass diese definiert gegen die das Schauglas umgebende Wand der Prozesskammer drücken, und eine Art teilchenfreien Raum bilden.The Disc of any geometry has on the sight glass facing Side on the perimeter several rows of bristles from a preferably heat-resistant material, which is a brush, form a so-called disc brush, are arranged. These located in the vacuum chamber located in front of the sight glass disc is movable from the outside, so that in one position the sight glass is covered on the edge of the brushes and in the other Position this freely there. Here is the distance between the brushes set so that this defines against the sight glass surrounding Press wall of process chamber, and a kind of particle-free Make room.

Die Wirkungsweise der Einrichtung besteht darin, dass die ringförmig angeordneten Bürsten das Schauglas umgebend in der geschlossenen Stellung umschließen. Die Borsten sind in mehreren Reihen nebeneinander so dicht zueinander der Geometrie der Scheibe entsprechend angeordnet, damit sie keine Teilchen, selbst geringster Größe durchlassen. Sie schirmen das eigentliche Schauglas ab.The operation of the device exists in that the annularly arranged brushes surround the sight glass in the closed position. The bristles are arranged in several rows next to each other so close to each other the geometry of the disc, so they do not let particles, even the smallest size. They shield the actual sight glass.

Es ist vorteilhaft, die Scheibe rund auszuführen und diese in einer Drehbewegung vor das Schauglas zu schwenken.It is beneficial to run the disc around and this to pivot in a rotational movement in front of the sight glass.

Es ist weiterhin vorteilhaft, die Borsten vorzugsweise Federstahl (CrNi), der prozessabhängig weich sein soll, und gerade oder gewellt ist, herzustellen.It is also advantageous, the bristles preferably spring steel (CrNi), which should be soft depending on the process, and straight or wavy is to manufacture.

Es ist auch vorteilhaft, die Scheibe mittels eines durch die Prozesskammer geführten Hebels von außerhalb zu bewegen. Diese Bewegung ist von Hand, oder auch durch einen separaten mechanischen Antrieb (Elektromotor, magnetisch, pneumatisch) ausführbar. Dadurch ist eine Steuerung in Abhängigkeit von bestimmten Parametern möglich.It is also advantageous, the disc by means of a through the process chamber guided levers from outside to move. These Movement is by hand, or by a separate mechanical Drive (electric motor, magnetic, pneumatic) executable. This is a control depending on certain Parameters possible.

Weiterhin ist es zweckmäßig, den Abstand der Borsten von deren Auflagefläche durch eine axiale Verstellmöglichkeit zu variieren. Dadurch kann der Druck der Borsten auf der Wand der Prozesskammer und/oder der Glasscheibe in Abhängigkeit von der Dichtheit und eventuellen Verschleiß ein- bzw. nachgestellt werden.Farther it is appropriate to the distance of the bristles of the bearing surface by an axial adjustment to vary. This allows the pressure of the bristles on the wall of the Process chamber and / or the glass depending on the tightness and eventual wear adjusted or adjusted become.

Eine weitere Ausgestaltung der Vorrichtung besteht darin, dass die Scheibe eine andere Geometrie als rund aufweist, und geradlinig an dem Schauglas vorüber bewegt wird.A Another embodiment of the device is that the disc has a geometry other than round, and rectilinear to the sight glass is moved past.

Weiterhin ist es für bestimmte Ausgestaltungen der Vorrichtung auch zweckmäßig, das Schauglas in der Wand der Prozesskammer so einzubauen, dass die Glasscheibe mit der Innenwand der Prozesskammer eine Ebene bildet, und die Bürsten in der Scheibe so angeordnet sind, dass sie bei dem Vorüberbewegen auf der Glasscheibe haftende Teilchen abstreift. Diese Ausgestaltung erhöht die Durchblickdauer noch wesentlich.Farther It is also for certain embodiments of the device appropriate, the sight glass in the wall of the process chamber To install so that the glass pane with the inner wall of the process chamber forms a plane, and the brushes are arranged in the disk so are that when moving on the glass sticking particles off. This embodiment increases the viewing time is still essential.

Es ist auch möglich, diese erfindungsgemäße Einblickvorrichtung mit einer an sich bekannten Einrichtung zu kombinieren, indem diese zwischen dem Schauglas in der Prozesskammer und dem, Gehäuse der bekannten Einblickvorrichtung, z. B. mit Schlitzblenden arbeitende Einrichtung angeordnet ist.It is also possible, this inventive Insight device to combine with a known device, by placing them between the sight glass in the process chamber and the, Housing of the known insight device, z. B. with slit diaphragms working device is arranged.

Die erfindungsgemäße Einblickvorrichtung hat die Vorteile, dass diese in der Herstellung einfach, ist und geringe Kosten für die Herstellung erfordert. Die Vorrichtung ist wartungsarm und leicht auswechselbar. Die Vorrichtung besitzt die bisherigen Einblickeinrichtungen übertreffende Beobachtungsdauer. Sie ist für jeden vakuumtechnologischen Prozess, an jedem Prozessort der gesamten Vakuumanlage und unabhängig von der Einbaulage einsetzbar. Das Wirkprinzip der Vorrichtung ermöglicht, diese in jeder Geometrie auszuführen.The Insight device according to the invention has the advantages That this is easy to manufacture, and low in cost the production requires. The device is low maintenance and lightweight replaceable. The device has the previous vision devices surpassing Observation period. It is for every vacuum technological Process, at any process location of the entire vacuum system and independent can be used from the installation position. The operating principle of the device allows to do this in any geometry.

An einem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung beschrieben. In der zugehörigen Zeichnung zeigen:At An embodiment of the invention will be described. In the accompanying drawing show:

1: eine Einblickvorrichtung 1 : an insight device

2: eine Einblickvorrichtung im eingebauten Zustand im Schnitt. 2 : an insight device in the installed state on average.

Die Einblickeinrichtung in 1 zeigt das Grundprinzip der Erfindung. Eine runde Scheibe 1 ist am Rand konzentrisch mit in mehreren Reihen angeordneten Borsten 2 versehen. Sie ist eine Art Tellerbürste. Die Borsten 2 bestehen aus Federstahl. Die Länge, die Anzahl der Reihen, der Abstand und der Durchmesser der Borsten werdenindividuell bestimmt.The Insight Device in 1 shows the basic principle of the invention. A round disc 1 is concentric at the edge with bristles arranged in several rows 2 Mistake. It is a kind of dish brush. The bristles 2 consist of spring steel. The length, the number of rows, the distance and the diameter of the bristles are determined individually.

In 2 ist eine Einblickvorrichtung, wie sie vor einem an sich bekannten Schauglas 3 montiert ist, dargestellt.In 2 is an insight device, as in front of a known sight glass 3 is mounted, shown.

Vor einer Öffnung 4 in der Wand 5 der Prozesskammer ist in bekannter Weise ein bekanntes Schauglas 3 mit den erforderlichen Dichtungen (nicht gezeichnet) befestigt.Before an opening 4 in the wall 5 the process chamber is in a known manner a known sight glass 3 attached with the required seals (not shown).

Die runde Scheibe 1, deren Durchmesser größer ist als die Öffnung 4 in der Wand 5 der Prozesskammer, ist am Randbereich in mehreren Reihen mit Borsten 2 gemäß 1 versehen. Diese Anordnung der Borsten 2 bildet eine ringförmige Sperre gegen das Eindringen von Teilchen, die im Prozess entstehen, und nunmehr nicht in den Raum zwischen dem Schauglas 3 und der Scheibe 1 gelangen können.The round disc 1 whose diameter is larger than the opening 4 in the wall 5 the process chamber is at the edge area in several rows with bristles 2 according to 1 Mistake. This arrangement of the bristles 2 Forms an annular barrier against the penetration of particles that arise in the process, and now not in the space between the sight glass 3 and the disc 1 can reach.

An der Scheibe 1 ist ein Hebel 6 befestigt, der über eine bekannte Drehdurchführung 7 und mittels eines Griffes 8 das Schwenken der Scheibe 1 mit den Borsten 2 derart ermöglicht, dass die Borsten 2 im abgedeckten Zustand eng an der Wand 5 der Prozesskammer das Schauglas 3 umschließend anliegen.At the disc 1 is a lever 6 attached, the about a known rotary union 7 and by means of a handle 8th the pivoting of the disc 1 with the bristles 2 such that allows the bristles 2 when covered close to the wall 5 the process chamber the sight glass 3 enclose surrounding.

11
Scheibedisc
22
Borstebristle
33
Schauglassight glass
44
Öffnungopening
55
Wandwall
66
Hebellever
77
DrehdurchführungRotary union
88th
GriffHandle

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Claims (8)

Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen, dadurch gekennzeichnet, dass vor einem in der Prozesskammer auf der Innenseite unmittelbar vor einem an sich bekannten Schauglas (3) eine Scheibe (1) in einer einstellbaren definierten Distanz bewegbar angeordnet ist, dass auf der Scheibe (1) am Rand nach der Seite des Schauglases (3) gerichtet und dieses umgebend in mindestens einer Reihe eng aneinanderliegend Borsten (2) aus einem federnden Material derart angeordnet sind, dass diese an der Oberfläche der Wand (5) der Prozesskammer anliegen.Inspection device for vacuum systems, characterized in that in front of a in the process chamber on the inside immediately before a known sight glass ( 3 ) a disk ( 1 ) is movably arranged at an adjustable defined distance, that on the disc ( 1 ) at the edge to the side of the sight glass ( 3 ) and surrounding it in at least one row of closely spaced bristles ( 2 ) are arranged from a resilient material such that these on the surface of the wall ( 5 ) abut the process chamber. Einblickvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Scheibe (1) rund ist und die Borsten (2) rotationssymmetrisch am Rand angeordnet sind.Insight device according to claim 1, characterized in that the disc ( 1 ) is round and the bristles ( 2 ) are arranged rotationally symmetrically at the edge. Einblickvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Borsten (2) aus wärmebeständigem Material hergestellt sind.Insight device according to claim 1, characterized in that the bristles ( 2 ) are made of heat-resistant material. Einblickvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Borsten (2) aus Federstahldraht hergestellt und gerade oder gewellt ausgeführt sind.Insight device according to claim 3, characterized in that the bristles ( 2 ) made of spring steel wire and are straight or wavy. Einblickvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der Scheibe (1) von Hand oder mechanisch ausführbar ist.Insight device according to claim 1, characterized in that the movement of the disc ( 1 ) is manually or mechanically executable. Einblickvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Scheibe (1) von der Wand (5) der Prozesskammer verstellbar ist.Insight device according to at least one of claims 1 to 5, characterized in that the distance of the disc ( 1 ) from the wall ( 5 ) of the process chamber is adjustable. Einblickvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Schauglas (3) in der Prozesskammer mit der Wand (5) eine Ebene bildet, und der Abstand der Scheibe (1) von dieser Ebene so eingestellt ist, dass die Borsten (2) beim Bewegen der Scheibe (1) Wand der Prozesskammer von kondensierten Teilchen reinigen.Insight device according to at least one of claims 1 to 6, characterized in that the sight glass ( 3 ) in the process chamber with the wall ( 5 ) forms a plane, and the distance of the disc ( 1 ) of this plane is adjusted so that the bristles ( 2 ) when moving the disc ( 1 ) Clean the wall of the process chamber of condensed particles. Einblickvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Einblickvorrichtung mit einer an sich bekannten Einrichtung zur Beobachtung von Prozessen im Vakuum durch hintereinander anzuordnen kombiniert ist.Insight device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the viewing device with a known per se for monitoring processes in vacuum is to be arranged by arranging one behind the other.
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