DD157975A4 - INSERTION DEVICE FOR VACUUM PLANTS - Google Patents
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- DD157975A4 DD157975A4 DD21469379A DD21469379A DD157975A4 DD 157975 A4 DD157975 A4 DD 157975A4 DD 21469379 A DD21469379 A DD 21469379A DD 21469379 A DD21469379 A DD 21469379A DD 157975 A4 DD157975 A4 DD 157975A4
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Abstract
Die Einblickvorrichtung fuer Vakuumanlagen ist fuer Anlagen der Elektronenstrahltechnologie, wie Schmelz-, Beschichtungs- und Bearbeitungsanlagen, einsetzbar. Das Ziel der Erfindung ist die Verlaengerung der Beobachtungszeit. Die Aufgabe, die Reibungsverluste zu verringern und die Lebensdauer der Dichtungen zu erhoehen, wird dadurch geloest, dass in einem rotierenden Zylinder mit einer durchsichtigen Scheibe und einem gegenueberliegenden Schlitz mit einer in dem Zylinder rotierenden durchsichtigen Scheibe nach Patent 155288 die rotierende Scheibe auf der Achse des Zylinders drehbar angeordnet ist. Der Antrieb der Achse ist mit einer Einrichtung zum periodischen Ein- und Ausschalten verbunden.The inspection device for vacuum systems can be used for systems of electron beam technology, such as melting, coating and processing systems. The aim of the invention is the extension of the observation time. The object to reduce the friction losses and increase the life of the seals is achieved in that in a rotating cylinder with a transparent disc and an opposite slot with a rotating disc in the cylinder transparent plate according to patent 155288, the rotating disc on the axis of Cylinder is rotatably arranged. The drive of the axle is connected to a device for periodically switching on and off.
Description
2 1 4 6 S 32 1 4 6 S 3
Einb 1 ickvorrichtujJig für Vakuumanlagen Anwendungsgebiet der Erfindung;Insulating device for vacuum systems Field of application of the invention;
Die Erfindung betrifft eine Einblickvorrichtung«, die in Vakuum·= anlagen für die Elektronenstrahltechnologies insbesondere in Anlagen der Vakuuiametallurgie mit langer Produktionsreif einsetzbar ist nach Patent. 155. 288.The invention relates to an insight device, "the equipment in vacuum for electron beam technology · = s particular in installations Vakuuiametallurgie used with a long production Reif after patent. 155. 288.
Es wurde bereits eine Einblickvorrichtung mit einem rotierenden Zylinder und mit Gaseinlaß vorgeschlagen, bei welcher di© Achse des Zylinders'in Einblickrichtung verläuft« In der dem Einblickfenster im Gehäuse zugewandten Stirnseite des Zylinders ist eine durchsichtige Scheibe angeordnet» In der anderen Stirnseite ist gegenüber der durchsichtigen Scheibe ein Schlits geringen Querschnitts als einzige Öffnung eingebracht« In dem Zylinder ist eine rotierende durchsichtige Scheibe, die auf einer Achse befestigt ist, die in der des Zylinders angeordnet ist, angebracht, die mit einer anderen Geschwindigkeit rotiert eis der Zylinder selbst« Durch die.innere Achse$ di© hohl ist, wird über ein daran angebrachtes Ventil Gas eingelassen, welches zur Aufrechterhaltung eines Restgaedruckes bis au 100 Pa in dem rotierenden Zylinder dient«,It has already been proposed an insight device with a rotating cylinder and with gas inlet, in which di © axis of the cylinder'in the direction of insight «In the insight window in the housing facing the front side of the cylinder is a transparent disc arranged» In the other end face opposite the transparent In the cylinder is mounted a rotating transparent disk mounted on an axle located in that of the cylinder, which rotates at a different speed than the cylinder itself. inner axle di $ © is hollow, gas is introduced via a valve attached thereto, which is 100 Pa in the rotating cylinder serves to maintain a Restgaedruckes to au "
Diese Vorrichtung besitzt die Mangel, daß die Abdichtung der beiden ineinander laufenden Achsen kompliziert ist und relativ hohe Reibungsverluste auftreten. Die Einsatzdauer, derThis device has the defect that the sealing of the two inter-rotating axes is complicated and relatively high friction losses occur. The duration of use, the
Einrichtung wird durch die Standzeit der Dichtungen mit bestimmt,, und das Auswechseln derselben ist sehr aufwendigeDevice is determined by the life of the seals, and the replacement of the same is very expensive
Ziel der ErfindungObject of the invention
Die Eiiisatszeit der Einblickvorrichtung ist durch Beseitigung der Mängel am Stand der Technik zu verlängerne The Eiiisatszeit the viewing device is to be extended by eliminating the deficiencies of the prior art e
Darlegung des Wesens der ErfindimgExplanation of the nature of inventions
Der Erfindung liegt die lufgabe zugrunde, die Einblickvorrichtung nach Patent. 155 288 so zu verbessern^ daß die Reibungsverluste verringert v/erden und die Lebensdauer der Dichtungen verlängert wird, damit sich die Einsatsseit insgesamt noch weiter verlängert* . ·The invention is based lufgabe, the viewing device according to patent. 155,288 to improve so ^ that the friction losses reduced v / ground, and the seal life is prolonged, so that the Einsatsseit further extended overall *. ·
Erfindungageniäß wird die Aufgabe mit einer Vorrichtung^ bestehend aus einem rotierenden Zylinder,- dessen Achse in Einblickriclitujig angeordnet ist, in welchem eine durcheichtige Scheibe drehbar ist, wobei in der dem Einblickfenster dee Gehäuses su« gewandten Stirnseite des Zylinders ein-e durchsichtige Scheibe angebracht ist und in der anderen Stirnseite gegenüber der Seheibe ein einziger Schlitz geringen Querschnitts eingebracht ist, uad einer hohlen Achse zum Gaseinlaß in den Zylinder aur Aufrechterhaltung eines Restgasdruckes von 100 Pa9 wobei di© rotierend© Scheibe und der Zylinder voneinander abweichende Drehsahlen besitzen nach Patent· 155 288, dadurch gelöst^ daß auf einer Achse äev Zylinder und die Scheibe angebracht sinds indem die Achse in den Zylinder ragt und auf diesem iüeil der Achs© die durchsichtige Seheibe drehbar angeordnet ist und der Zylinder fest mit ihr verbunden ist* Mit dem Antrieb für den Zylinder ist eine Einrichtung verbunden, die ihn periodioch ei&~ und ausschaltet. Beim Einschalten des Antriebes wird der Zylinder in Drehung versetzt,.Infolge der Reibung des Lagers für die Scheibe wird auch die Scheibe in Drehbewegung mit einer -nacheilenden Drehzahl versetzt« lach einer Anlaufzeit rotieren Zylinder-und Scheibe mit gleicherAccording to the invention, the object is provided with a device consisting of a rotating cylinder, the axis of which is rotatable in which a transparent disc is rotatable, a transparent disc being mounted in the end face of the cylinder facing the viewing window of the housing and in the other end opposite to the disc, a single slit of small cross-section is introduced, having a hollow axis to the gas inlet into the cylinder to maintain a residual gas pressure of 100 Pa 9, wherein the rotational number of the disc and the cylinder differ from each other according to patent 155 s are 288, solved in ^ that mounted on an axle äev cylinder and the disc by the axis extends into the cylinder and the transparent Seheibe rotatably disposed on this iüeil the axis © and the cylinder is firmly connected with it * with the drive for The cylinder is connected to a device that peri him oioch ei & ~ and off. When the drive is switched on, the cylinder is set in rotation. As a result of the friction of the bearing for the disc, the disc is also set in rotational motion at a -accelerating speed. "After a start-up period, the cylinder and disc rotate at the same speed
konstanter Drehsahl? da an der Scheibe außer der Reibung auf der Achse kein weiteres Reibungsmoment auftritt* Bei periodischem Bin- und Ausschalten erfolgt damit nach jeder Schaltperiode eine ständige Verdrehung der Scheibe und des Zylinders gegeneinanderβconstant turning number ? as there is no friction torque on the wheel except for the friction on the axle * With periodic switching on and off, a constant rotation of the pulley and the cylinder takes place against each other after each switching period
Das Ein- und Ausschalten des Motors erfolgt derart, daß die Stromquelle durch einen Impulszähler, der auf einen Halbleiter schalter wirkt, in konstanten Zeitabschnitten ein- und ausgeschaltet wird«The motor is switched on and off in such a way that the current source is switched on and off in constant time intervals by a pulse counter acting on a semiconductor switch. "
Es ist auch möglich., daß an der Antriebsachse eine Bremse angebracht ist, die im gleichen Zeitverhältnis auf die Achse wirkt*It is also possible that on the drive axle, a brake is attached, which acts on the axle in the same time ratio *
Ausführun&sbeispiel „Embodiment "
In der zugehörigen Zeichnung ist eine Einblickvorrichtung im »Schnitt dargestellt«,In the accompanying drawing, an insight device is shown in the "section",
Auf άΘΠ Resipienten 1 der vakuummetallurgischen Anlage ist das Gehäuse 2 der Einblickvorrichtung aufgesetzt«, Der rotierende Zylinder 3 hat an der Unterseite 4 einen einzigen schmalen. Schlitz 5 und darüber auf der Oberseite 6 eine durchsichtige Scheibe 7» Der Zylinder 3 rotiert um die Achse 10 vor dem Einblickfenster 9· Die Achse 10 ragt in den Zylinder 3» und auf diesem Teil der Achse 10 ist eine durchsichtige Scheibe 11 drehbar angebracht« Der Gaseinlaß erfolgt durch die hohle Achse 10 vor die rotierende durchsichtige Scheibe 11« Die Abdichtung der Achse 10 gegen Atmosphäre erfolgt durch den WeI-lendichtring 1,2. Der Motor 16, ein Synchronmotor, treibt die Achse to an« Durch eine Spannungsquelle wird dem Motor 16 eine Wechselspannung der Frequenz f zugeführt«On άΘΠ Resipienten 1 of the vacuum metallurgical plant, the housing 2 of the sighting device is placed, "The rotating cylinder 3 has at the bottom 4 a single narrow. Slit 5 and above it on the top 6 a transparent disc 7 »The cylinder 3 rotates about the axis 10 in front of the viewing window 9 · The axis 10 projects into the cylinder 3» and on this part of the axis 10 a transparent disc 11 is rotatably mounted « The gas inlet takes place through the hollow axis 10 in front of the rotating transparent disc 11 "The sealing of the axis 10 against the atmosphere is carried out by the WeI-lendichtring 1,2. The motor 16, a synchronous motor, drives the axis to "A voltage source supplies the motor 16 with an alternating voltage of the frequency f"
Ein Zähler erzeugt eine periodische Impulsfolge n-j/n« mit der Impulsdauer £ , mit der ein Halbleiterschalter in der ZeitA counter generates a periodic pulse sequence n-j / n «with the pulse duration ε, with which a semiconductor switch in time
« U ' —1"U '-1
n,T f eingeschaltet und in der 2e.it n2 f ausgeschaltet wird«n, T f is switched on and 2e.it n 2 f is switched off «
Bel größerem Trägheitsmoment der Scheibe 11 auf dem Ächastum«· meI 15S bswe im n^ kleiner zu. machens wird im gleichen Verhältnis ai/ng eine Bremse YI geöffnet und. geschlossen,,Bel greater moment of inertia of the disk 11 at the Ächastum "MeI 15 S bsw e ^ n in smaller. s is in the same ratio a i / ng a brake YI opened and. closed,,
Das Aus- und Einschalten des Motors'16 wird periodisch vorgenommen s'.so daß die Synchronisationsbedingungen für die Einblickvorrichtung eingehalten werden»The power cycle is performed periodically Motors'16 s' .so that the synchronization conditions are met for the insight device "
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD21469379A DD157975A4 (en) | 1979-07-31 | 1979-07-31 | INSERTION DEVICE FOR VACUUM PLANTS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD21469379A DD157975A4 (en) | 1979-07-31 | 1979-07-31 | INSERTION DEVICE FOR VACUUM PLANTS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD157975A4 true DD157975A4 (en) | 1982-12-22 |
Family
ID=5519472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD21469379A DD157975A4 (en) | 1979-07-31 | 1979-07-31 | INSERTION DEVICE FOR VACUUM PLANTS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD157975A4 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008048586A1 (en) | 2008-09-23 | 2010-04-01 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Insight device for vacuum plant, comprises a disk movably arranged in a process chamber on interior side directly before a sight glass in an adjustable defined distance, where bristles of resilient materials are directed on the disk |
-
1979
- 1979-07-31 DD DD21469379A patent/DD157975A4/en unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008048586A1 (en) | 2008-09-23 | 2010-04-01 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Insight device for vacuum plant, comprises a disk movably arranged in a process chamber on interior side directly before a sight glass in an adjustable defined distance, where bristles of resilient materials are directed on the disk |
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