DE102012210068B4 - Vacuum substrate treatment cycle process plant - Google Patents

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Abstract

Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage mit einer Vakuumkammer (1), mindestens einer in der Vakuumkammer (1) angeordneten Substratbehandlungseinrichtung (2) und einer sich durch die Vakuumkammer (1) erstreckenden Transporteinrichtung zum Transport plattenförmiger Substrate (5) in einer Transportrichtung, wobei die Transporteinrichtung eine Mehrzahl von beidseitig drehbar gelagerten, quer zur Transportrichtung horizontal angeordneten Transportwalzen (4) umfasst, deren oberste Mantellinien eine Transportebene definieren, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwalzen (4) mindestens zwei Auflagebereiche (44, 45) für die Substrate (5) aufweisen und die mindestens zwei Auflagebereiche (44, 45) in axialer Richtung der Transportwalzen (4) zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschiebbar sind.A vacuum substrate processing throughput processing system comprising a vacuum chamber (1), at least one substrate treatment device (2) disposed in the vacuum chamber (1), and transporting means extending through the vacuum chamber (1) for transporting plate-shaped substrates (5) in a transport direction, the transport device having a plurality from two sides rotatably mounted, transversely to the transport direction horizontally arranged transport rollers (4), the uppermost generatrices define a transport plane, characterized in that the transport rollers (4) at least two bearing areas (44, 45) for the substrates (5) and at least two bearing areas (44, 45) in the axial direction of the transport rollers (4) are displaceable between a first and a second position.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine Vakuumsubstratbehandlung ist eine Substratbehandlung im Vakuum, das heißt eine Beschichtung oder/und Ätzbehandlung von Substraten unter subatmosphärischem Druck oder/und einer Prozessatmosphäre. Ein Durchlaufprozess ist ein Verfahren, bei dem Substrate kontinuierlich an einer Substratbehandlungseinrichtung vorbei bewegt werden.The invention relates to a vacuum substrate treatment throughput process system according to the preamble of claim 1. A vacuum substrate treatment is a substrate treatment in vacuum, that is a coating and / or etching treatment of substrates under subatmospheric pressure and / or a process atmosphere. A continuous process is a process in which substrates are continuously moved past a substrate treatment device.

Bei dem hier behandelten Anlagentyp werden die Substrate, beispielsweise rechteckige plattenförmige Substrate wie Glasscheiben oder dergleichen, in eine Vakuumkammer eingeschleust, in der Vakuumkammer an mindestens einer Substratbehandlungseinrichtung, beispielsweise einer Ätzeinrichtung oder/und einer Beschichtungsquelle oder/und einer Heizeinrichtung in einer Transportrichtung vorbei bewegt, dabei behandelt, das heißt geätzt oder/und beschichtet oder/und temperaturbehandelt, und anschließend aus der Vakuumkammer ausgeschleust.In the type of installation treated here, the substrates, for example rectangular plate-shaped substrates such as glass panes or the like, are introduced into a vacuum chamber, moved in the vacuum chamber past at least one substrate treatment device, for example an etching device and / or a coating source and / or a heating device in a transport direction, thereby treated, that is etched or / and coated and / or temperature-treated, and then discharged from the vacuum chamber.

Zum Transport von Substraten durch Substratbehandlungsanlagen sind verschiedene Bauformen von im Innern der Vakuumkammer angeordneten Transporteinrichtungen bekannt. Häufig umfassen derartige Transporteinrichtungen eine Mehrzahl von in der Transportrichtung der Substrate hintereinander angeordneten, horizontal verlaufenden und quer zur Transportrichtung erstreckten Transportwalzen, auf denen die Substrate durch die Substratbehandlungsanlage transportiert werden, wobei die Transportwalzen rotieren. Die obersten Mantellinien der Transportwalzen, das heißt die Linien, in denen die Substrate mit den Transportwalzen in Kontakt stehen, definieren eine horizontale Transportebene für plattenförmige Substrate. Derartige Transporteinrichtungen erstrecken sich durch die gesamte Substratbehandlungsanlage, das heißt sowohl durch solche Bereiche der Substratbehandlungsanlage, die der Beschichtung der Substrate dienen, als auch durch sonstige prozesstechnisch notwendige Bereiche, beispielsweise Transferkammern, Evakuierungskammern usw.For the transport of substrates by means of substrate treatment plants, various designs of transport devices arranged in the interior of the vacuum chamber are known. Frequently, such transport devices comprise a plurality of transport rollers arranged in succession in the transport direction of the substrates, horizontally extending and transversely to the transport direction, on which the substrates are transported through the substrate treatment system, wherein the transport rollers rotate. The uppermost surface lines of the transport rollers, that is to say the lines in which the substrates are in contact with the transport rollers, define a horizontal transport plane for plate-shaped substrates. Such transport devices extend through the entire substrate treatment plant, that is, both by those areas of the substrate treatment plant, which serve the coating of the substrates, as well as by other process-technically necessary areas, such as transfer chambers, evacuation chambers, etc.

Die Transportwalzen sind an jedem ihrer beiden Enden drehbar gelagert und die Substrate werden zwischen den beiden gelagerten Enden flach auf die Transportwalzen aufgelegt. Mindestens ein Teil der Transportwalzen ist antreibbar, wodurch die Substrate durch die Vakuumkammer transportiert werden.The transport rollers are rotatably mounted at each of its two ends and the substrates are placed flat between the two stored ends on the transport rollers. At least a portion of the transport rollers is drivable, whereby the substrates are transported through the vacuum chamber.

Zur Erzielung einer gleichmäßigen Beschichtungsrate über die Substratbreite ist ein beidseitiger Überstand der Beschichtungsquelle über die Substratbreite hinaus erforderlich. Typische Überstände liegen in der Größenordnung von jeweils 10% auf beiden Seiten und darüber, wobei die Beschichtungsrate außerhalb der Substratzone mit wachsendem Abstand von der Substratkante zunächst schwach und schließlich exponentiell stark abfällt.To achieve a uniform coating rate across the substrate width, a coating on both sides of the coating source beyond the substrate width is required. Typical supernatants are on the order of 10% on both sides and above, with the coating rate outside the substrate zone initially decreasing slowly with increasing distance from the substrate edge and finally decreasing exponentially.

Insbesondere bei hohen Beschichtungsraten und vor allem dann, wenn es sich um Linienquellen handelt, wie sie für Verdampfungsprozesse typisch sind, und nach langen Prozessdauern werden die außerhalb des Substratbereiches liegenden Bereiche der Transportwalzen beschichtet, wenn keine Gegenmaßnahmen getroffen werden.Especially at high coating rates and especially when it comes to line sources, as they are typical for evaporation processes, and after long process times, the lying outside the substrate area areas of the transport rollers are coated, if no countermeasures are taken.

Die innerhalb und außerhalb des Substratbereiches auf den Transportwalzen aufwachsenden Schichten führen zu einer ungleichmäßigen Auflage der Substrate auf den Transportwalzen, so dass es schließlich zu Transportproblemen kommt. Die Transportwalzen müssen insbesondere bei hohen Beschichtungsraten nach relativ kurzen Prozesszeiten gereinigt werden, was eine starke Einschränkung der Anlagenverfügbarkeit darstellt, da Abkühlzeiten, Vakuum- und thermische Konditionierung erhebliche Zeiten beanspruchen.The growing inside and outside of the substrate area on the transport rollers layers lead to a non-uniform support of the substrates on the transport rollers, so that it eventually comes to transportation problems. The transport rollers must be cleaned after a relatively short process times, especially at high coating rates, which represents a major limitation of plant availability, since cooling times, vacuum and thermal conditioning take significant time.

Stationäre Blenden, die die unerwünschten Streudampfschichten von den Transportwalzen fernhalten, versagen, wenn die aufgewachsenen Schichten aufgrund ihrer Stärke im Bereich der Substratkanten den Dampfstrom partiell abschatten können und somit die Schichtdickenhomogenität negativ beeinflussen. Daraus ergibt sich, dass die unerwünschten Streudampfschichten laufend abtransportiert werden müssen, etwa durch bewegliche Blenden, neben dem Substrat laufende Bänder oder ähnliche Einrichtungen.Stationary diaphragms, which keep the unwanted scattered vapor layers away from the transport rollers, fail when the grown layers, due to their thickness in the region of the substrate edges, can partially shade the vapor stream and thus adversely affect the layer thickness homogeneity. It follows that the unwanted scattered vapor layers must be removed continuously, for example by moving diaphragms, belts running alongside the substrate or similar devices.

Aus der DE 195 24 562 A1 ist eine Transporteinrichtung bekannt, die Transportwalzen mit gekrümmter Oberfläche hat. Aus der DE 38 20 616 A1 ist eine Transporteinrichtung bekannt, bei der die Krümmung der Oberflächen der Transportwalzen verstellbar ist. Aus der DE 18 02 544 A ist eine Transporteinrichtung bekannt, auf deren Transportwalzen Elemente eines Rollenmantels durch axial wirkende Spannmittel zusammengehalten sind. Aus der DE 197 18 769 A1 ist eine Transporteinrichtung bekannt, bei deren Transportwalzen in der Mantelfläche eine schraubenförmige Nut ausgebildet ist. Aus der DE 36 37 759 A1 ist eine Transporteinrichtung zur Synchronisierung der Bewegung mehrerer transportierter Scheiben bekannt.From the DE 195 24 562 A1 For example, a transport device is known which has transport rollers with a curved surface. From the DE 38 20 616 A1 is a transport device is known in which the curvature of the surfaces of the transport rollers is adjustable. From the DE 18 02 544 A a transport device is known, on the transport rollers elements of a roll mantle are held together by axially acting clamping means. From the DE 197 18 769 A1 is a transport device is known in the transport rollers in the lateral surface a helical groove is formed. From the DE 36 37 759 A1 a transport device for synchronizing the movement of several transported discs is known.

Aus DE 10 2006 011 517 A1 ist eine Transporteinrichtung zum Transport flächiger Substrate durch eine Beschichtungsanlage bekannt, die beidseitig drehbar gelagerte, quer zur Transportrichtung horizontal angeordnete Transportwalzen umfasst, wobei die obersten Mantellinien der Transportwalzen die Transportebene definieren, und bei der die Endteile der Transportwalzen einen geringeren Durchmesser aufweisen als der Mittelteil der Transportwalzen und zwischen den Endteilen der Transportwalzen und der Transportebene Blenden angeordnet sind, die in der axialen Richtung der Transportwalzen zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschiebbar gelagert sind.Out DE 10 2006 011 517 A1 a transport device for transporting flat substrates by a coating system is known, the rotatably mounted on both sides, transversely to the transport direction horizontally arranged transport rollers, wherein the uppermost generatrices of the Transport rollers define the transport plane, and in which the end parts of the transport rollers have a smaller diameter than the central part of the transport rollers and between the end parts of the transport rollers and the transport plane diaphragms are arranged, which slidably mounted in the axial direction of the transport rollers between a first and a second position are.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage anzugeben, bei der die Intervalle zwischen notwendigen Reinigungsarbeiten aufgrund unerwünschter Bedampfung der Transportwalzen länger sind als bei herkömmlichen Transporteinrichtungen.The object of the present invention is to provide a vacuum substrate treatment throughput process plant in which the intervals between necessary cleaning work due to unwanted vaporization of the transport rollers are longer than in conventional transport devices.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.According to the invention, the object is achieved by a vacuum substrate treatment throughflow process system having the features of claim 1. Advantageous embodiments of the invention are the subject of the dependent claims.

Bei einer Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage mit einer Vakuumkammer, mindestens einer in der Vakuumkammer angeordneten Substratbehandlungseinrichtung und einer sich durch die Vakuumkammer erstreckenden Transporteinrichtung zum Transport plattenförmiger Substrate in einer Transportrichtung, wobei die Transporteinrichtung eine Mehrzahl von beidseitig drehbar gelagerten, quer zur Transportrichtung horizontal angeordneten Transportwalzen umfasst, deren oberste Mantellinien eine Transportebene definieren, wird vorgeschlagen, dass die Transportwalzen mindestens zwei Auflagebereiche für die Substrate aufweisen und die mindestens zwei Auflagebereiche in axialer Richtung der Transportwalzen zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschiebbar sind.In a vacuum substrate treatment throughput process system having a vacuum chamber, at least one arranged in the vacuum chamber substrate treatment device and extending through the vacuum chamber transport means for transporting plate-shaped substrates in a transport direction, wherein the transport device comprises a plurality of both sides rotatably mounted transversely to the transport direction horizontally arranged transport rollers, whose uppermost surface lines define a transport plane, it is proposed that the transport rollers have at least two bearing areas for the substrates and the at least two bearing areas are displaceable in the axial direction of the transport rollers between a first and a second position.

Die Verschiebung zumindest der Auflagebereiche der Transportwalzen kann auf verschiedensten Wegen erreicht werden.The displacement of at least the bearing areas of the transport rollers can be achieved in a variety of ways.

Beispielsweise kann eine Betätigungseinrichtung zum Verschieben zumindest der Auflagebereiche der Transportwalzen mit den Auflagebereichen verbundene Betätigungsstäbe umfassen, die durch in den Kammerwand der Vakuumkammer angeordnete Vakuumdichtungen aus der Vakuumkammer ragen und dadurch manuell oder durch eine Antriebseinrichtung von außerhalb der Vakuumkammer betätigt werden können.For example, an actuating device for displacing at least the bearing areas of the transport rollers may comprise actuating rods connected to the bearing areas, which protrude from the vacuum chamber through vacuum seals arranged in the chamber wall of the vacuum chamber and can thereby be actuated manually or by a drive device from outside the vacuum chamber.

Alternativ kann eine Betätigungseinrichtung zum Verschieben zumindest der Auflagebereiche der Transportwalzen vollständig im Innern der Vakuumkammer der Anlage angeordnet sein. Eine solche Betätigungseinrichtung kann beispielsweise eine Feder umfassen, gegen deren Kraft die Aufnahmebereiche in einer ersten Position gehalten sind, sowie ein fernbedienbar lösbares Arretierelement, das die Aufnahmebereiche in der ersten Position hält und das von außerhalb der Anlage ausgelöst werden kann, so dass die Aufnahmebereiche der Transportwalze durch die Kraft der Feder von der ersten in die zweite Position bewegt werden, wodurch einer der beiden Auflagebereiche aus dem Transportweg der Substrate entfernt und der andere Auflagebereich in den Transportweg der Substrate hinein bewegt wird. Zwischen dem Halten der Auflagebereiche in der ersten Position und dem Auslösen der Betätigungseinrichtung zum Verschieben der Auflagebereiche in die zweite Position kann das Arretierelement beispielsweise nach Art eines Relais' ausgeführt sein, so dass ein einfacher Schaltvorgang ausreicht, um die Betätigungseinrichtung zu aktivieren und die Auflagebereiche aus der ersten Position in die zweite Position zu verschieben.Alternatively, an actuating device for displacing at least the support regions of the transport rollers can be arranged completely inside the vacuum chamber of the system. Such an actuating device may, for example, comprise a spring against the force of which the receiving areas are held in a first position, and a remotely releasable locking element which holds the receiving areas in the first position and which can be triggered from outside the installation so that the receiving areas of the Transport roller are moved by the force of the spring from the first to the second position, whereby one of the two bearing areas removed from the transport path of the substrates and the other bearing area is moved into the transport path of the substrates inside. Between the holding of the bearing areas in the first position and the triggering of the actuating device for moving the bearing areas into the second position, the locking element can be designed, for example, in the manner of a relay, so that a simple switching operation is sufficient to activate the actuating device and the bearing areas move the first position to the second position.

Die Anlagenlaufzeit zwischen notwendig werdenden Wartungs-Reinigungs- oder Austauscharbeiten verdoppelt sich bei der vorgeschlagenen Anlage gegenüber bekannten Anlagen, weil jede Transportwalze zwei Auflagebereiche aufweist. Ist der aktuell verwendete Auflagebereich zu stark beschichtet oder zu stark beschädigt, so werden die beiden Auflagebereiche in axialer Richtung der Transportwalzen verschoben. Dadurch wird der bisher ungenutzte Auflagebereich der aktuell verwendete Auflagebereich und der bisher genutzte Auflagebereich wird aus dem Transportweg der Substrate hinaus bewegt und fortan nicht mehr benutzt.The system running time between necessary maintenance cleaning or replacement work doubles in the proposed system over known systems, because each transport roller has two support areas. If the currently used support area is too heavily coated or excessively damaged, the two contact areas are displaced in the axial direction of the transport rollers. As a result, the previously unused support area of the currently used support area and the previously used support area is moved out of the transport path of the substrates and henceforth no longer used.

Erst wenn auch der zweite Auflagebereich nicht mehr benutzbar ist, weil er zu stark beschichtet oder zu stark beschädigt ist, muss die Anlage gewartet werden. Hierzu wird die Anlage heruntergefahren, das heißt die Substratbehandlungseinrichtung angehalten, die gesamte Anlage abgekühlt, die Vakuumkammer belüftet und geöffnet, so dass die Transportwalzen zur Reinigung oder zum Austausch zugänglich sind. Diese Vorgänge, insbesondere das Abkühlen der Anlage, nehmen jedes Mal viele Stunden in Anspruch, so dass jede Einsparung eines Wartungsintervalls signifikant zur Produktivitätssteigerung der Anlage beiträgt.Only when the second support area is no longer usable, because it is too heavily coated or too badly damaged, the system must be maintained. For this purpose, the system is shut down, that is, the substrate treatment device stopped, cooled the entire system, the vacuum chamber vented and opened, so that the transport rollers are accessible for cleaning or replacement. These processes, especially the cooling of the plant, take many hours each time, so any savings on a maintenance interval significantly add to the plant's productivity.

Im einfachsten Fall kann zur Ausführung der Erfindung vorgesehen sein, dass die Transportwalzen verschiebbar sind. Die Transportwalzen können bei dieser Lösung in einfachster Weise gestaltet, beispielsweise einstückig ausgeführt sein, so dass die Anlage, namentlich die Transporteinrichtung, kostengünstig herstellbar ist. Allerdings muss bei dieser Ausgestaltung dafür Sorge getragen werden, dass sich der Bauraumbedarf für die Transporteinrichtung nicht nur nach der Länge der Transportwalzen richtet, sondern zusätzlich Raum für die Verschiebung der Transportwalze geschaffen wird, und dass die Lagerung der Transportwalze die Verschiebung zulässt.In the simplest case, it may be provided for carrying out the invention that the transport rollers are displaceable. The transport rollers can be designed in this solution in the simplest way, for example, be made in one piece, so that the system, namely the transport device, is inexpensive to produce. However, care must be taken in this embodiment that the space requirement for the transport device not only depends on the length of the transport rollers, but also room for the displacement of the Transport roller is provided, and that the storage of the transport roller allows the shift.

Daher ist in einer raumsparenden Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, dass die Transportwalzen jeweils eine Trägerwelle und eine die Trägerwelle umschließende Auflagehülse mit mindestens zwei Auflagebereichen umfassen und die Auflagehülse relativ zur Trägerwelle verschiebbar ist.Therefore, it is provided in a space-saving embodiment of the invention that the transport rollers each comprise a support shaft and a support shaft enclosing the support sleeve with at least two support areas and the support sleeve is displaceable relative to the support shaft.

Ein Auflagebereich ist dabei ein Bereich der Transportwalze, der mit dem Substrat in Kontakt tritt, wenn dieses über die Transportwalze hinweg transportiert wird, so dass der Auflagebereich mindestens so lang ist wie die Breite des zu transportierenden Substrats. Es versteht sich, dass die Auflagehülse mit der Trägerwelle gedreht werden muss. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die Auflagehülse allein durch Reibschluss von der angetriebenen Trägerwelle mitgenommen wird oder dass die Auflagehülse allein durch Reibschluss die nicht angetriebene Trägerwelle mitnimmt. Hierfür können die Innenfläche der Auflagehülse und die Außenfläche der Trägerwelle mit einer Passung gefertigt sein, die eine möglichst große Kontaktfläche zwischen ihnen sicherstellt, und mit einer Rauhigkeit gefertigt sein, die zu einem großen Reibbeiwert zwischen ihnen führt.A support area is a region of the transport roller which comes into contact with the substrate when it is transported over the transport roller, so that the support area is at least as long as the width of the substrate to be transported. It is understood that the support sleeve must be rotated with the carrier shaft. This can be achieved, for example, that the support sleeve is taken by frictional engagement of the driven carrier shaft alone or that the support sleeve entrains the non-driven carrier shaft alone by frictional engagement. For this purpose, the inner surface of the support sleeve and the outer surface of the support shaft can be made with a fit that ensures the largest possible contact area between them, and be made with a roughness that leads to a large coefficient of friction between them.

Alternativ können zusammenwirkende Mitnehmerelemente an Trägerwelle und Auflagehülse angeordnet sein. Beispielsweise können Trägerwelle und Auflagehülse nach Art einer Nut-Feder-Verbindung so miteinander verbunden sein, dass eine Relativverdrehung zwischen ihnen verhindert wird, eine axiale Relativverschiebung hingegen möglich ist. Der gleiche Effekt kann erzielt werden, wenn die Innenfläche der Auflagehülse und die Außenfläche der Trägerwelle nicht vollständig zylindrisch sind oder diese beiden Flächen in anderer Weise so profiliert sind, dass eine Relativverdrehung zwischen ihnen verhindert wird, eine axiale Relativverschiebung hingegen möglich ist.Alternatively, cooperating carrier elements can be arranged on the carrier shaft and the support sleeve. For example, carrier shaft and support sleeve can be connected to each other in the manner of a tongue and groove connection so that a relative rotation between them is prevented, an axial relative displacement, however, is possible. The same effect can be achieved if the inner surface of the support sleeve and the outer surface of the support shaft are not completely cylindrical or these two surfaces are profiled in another way so that a relative rotation between them is prevented, however, an axial relative displacement is possible.

Die Auflagebereiche der Transportwalzen können beispielsweise alle in dieselbe Richtung verschiebbar sein. Alternativ kann jedoch auch vorgesehen sein, dass in der Transportrichtung gesehen die mindestens zwei Auflagebereiche hintereinander angeordneter Transportwalzen abwechselnd in entgegengesetzte Richtungen verschiebbar sind. Auf diese Weise können die Transportwalzen mit einem deutlich geringeren Abstand zueinander angeordnet werden, weil die beschichteten Auflagebereiche aufeinanderfolgender Transportwalzen nicht gemeinsam in die gleiche Richtung bewegt werden, sondern voneinander fort in entgegengesetzte Richtungen.For example, the support areas of the transport rollers can all be displaced in the same direction. Alternatively, however, it can also be provided that, viewed in the transport direction, the at least two support regions of transport rollers arranged one behind the other are alternately displaceable in opposite directions. In this way, the transport rollers can be arranged at a much smaller distance from each other, because the coated bearing areas of successive transport rollers are not moved together in the same direction, but away from each other in opposite directions.

Sind die Transportwalzen mit einem sehr geringen Abstand zueinander angeordnet, so können benachbarte Transportwalzen miteinander in reibenden Kontakt geraten. Spätestens dann müssen die Auflagebereiche verschoben werden. Bei einer gleichsinnigen Verschiebung würde dies jedoch nichts daran ändern, dass benachbarte Transportwalzen aneinander reiben. Die abwechselnde Bewegung der Auflagebereiche in entgegengesetzte Richtungen hingegen sorgt dafür, dass der Kontakt unterbrochen wird.If the transport rollers are arranged at a very small distance from each other, then adjacent transport rollers can come into frictional contact with each other. At the latest then the circulation areas have to be postponed. However, if moved in the same direction, this would not change the fact that adjacent transport rollers rub against each other. The alternating movement of the support areas in opposite directions, however, ensures that the contact is interrupted.

Bei dieser Ausgestaltung können, sofern eine Betätigungseinrichtung zum Verschieben der Auflagebereiche der Transportwalzen mit den Auflagebereichen verbundene Betätigungsstäbe umfasst, die durch in den Kammerwand der Vakuumkammer angeordnete Vakuumdichtungen aus der Vakuumkammer ragen, alle Betätigungsstäbe durch dieselbe Kammerwand geführt sein. Es müsste dann zum Verschieben der Auflagebereiche der Transportwalzen immer abwechselnd ein Betätigungsstab in die Vakuumkammer hineingeschoben und ein Betätigungsstab aus der Vakuumkammer herausgezogen werden, um bei allen Transportwalzen die abwechselnde Verschiebung der Auflagebereiche in entgegengesetzte Richtungen zu erzielen. Alternativ können die Betätigungsstäbe auch abwechselnd durch die beiden seitlichen Kammerwände der Vakuumkammer geführt sein, so dass alle Betätigungsstäbe, die auf einer Seite der Vakuumkammer durch die Kammerwand ragen, in gleicher Richtung zu betätigen sind.In this embodiment, if an actuator for moving the support areas of the transport rollers with the support areas comprises associated actuating rods which protrude through arranged in the chamber wall of the vacuum chamber vacuum seals protrude from the vacuum chamber, all operating rods are guided through the same chamber wall. It would then be moved to move the support areas of the transport rollers always alternately an actuating rod in the vacuum chamber and an actuating rod are pulled out of the vacuum chamber to achieve in all transport rollers, the alternating displacement of the support areas in opposite directions. Alternatively, the actuating rods can also be guided alternately through the two lateral chamber walls of the vacuum chamber, so that all operating rods which protrude on one side of the vacuum chamber through the chamber wall, are to be actuated in the same direction.

In einer weiteren Ausgestaltung wird vorgeschlagen, dass die Transportwalze einen mittleren Substrattransportbereich sowie beidseitig des Substrattransportbereichs je einen Randbereich aufweist und die Randbereiche durch je eine Blende abgedeckt sind. Diese Blenden können beispielsweise aus Keramik oder Verbundwerkstoffen wie CFC (englisch carbon-fiber-reinforced carbon, kohlenstofffaserverstärkter Kohlenstoff) oder dergleichen gefertigt sein. Die Randbereiche der Transportwalze, das heißt gegebenenfalls die Randbereiche der Trägerwelle, werden durch diese Maßnahme vor unerwünschter Beschichtung oder unerwünschtem Ätzangriff geschützt. Insbesondere bei der Ausgestaltung mit einer Trägerwelle und einer verschiebbaren Auflagehülse ist diese Maßnahme vorteilhaft, weil dadurch die Verschiebbarkeit der Auflagebereiche gewahrt wird.In a further embodiment, it is proposed that the transport roller has a central substrate transport region as well as an edge region on both sides of the substrate transport region and the edge regions are each covered by a diaphragm. These diaphragms may be made of, for example, ceramic or composites such as CFC (English carbon-fiber-reinforced carbon, carbon fiber reinforced carbon) or the like. The edge regions of the transport roller, that is to say optionally the edge regions of the carrier shaft, are protected from undesired coating or undesired etching attack by this measure. In particular, in the embodiment with a support shaft and a displaceable support sleeve, this measure is advantageous, because thereby the displaceability of the support areas is maintained.

Eine Blende in diesem Sinne kann beispielsweise als Plattenstreifen ausgeführt sein, der mit geringem Abstand oberhalb der Transportebene in einem Randbereich der Transportwalzen angeordnet ist, so dass er die Randbereiche vor dem Einfluss der darüber angeordneten Substratbehandlungseinrichtung schützt. Für einen verbesserten Schutz kann die Blende auch als Gehäuse ausgeführt sein, das neben der Abdeckung der Endbereiche nach oben auch eine Seitenwand mit Ausnehmungen bereitstellt, durch welche sich die Transportwalze hindurch erstreckt. Dadurch werden die Endebereiche noch besser gegen Streudampfpartikel geschützt.A panel in this sense can be designed, for example, as a panel strip which is arranged at a small distance above the transport plane in an edge region of the transport rollers, so that it protects the edge areas from the influence of the substrate treatment device arranged above it. For improved protection, the panel may also be designed as a housing which, in addition to covering the end areas upwards, also provides a side wall with recesses through which the transport roller extends. As a result, the end regions are better protected against scattered steam particles.

Um diesen Schutz der Endebereiche der Transportwalzen weiter zu verbessern kann vorgesehen sein, dass an den Rändern der Auflagebereiche umlaufende Dichtmittel angeordnet sind. Dabei ist das Wort „Dichtmittel” nicht eng auszulegen, das heißt eine absolute Dichtwirkung ist nicht erforderlich. Durch den extrem geringen Druck in der Vakuumkammer ist es oft schon ausreichend, den engeren Bereich um die Transportwalze abzuschirmen. Insofern soll unter einem „Dichtmittel” beispielsweise auch eine radial auswärts erstreckte scheibenförmige Blende verstanden werden, die wie oben beschrieben angeordnet ist. Umfasst die Blende einen horizontal verlaufenden Plattenstreifen, der die Endbereiche der Transportwalzen nach oben abschirmt, so sorgt die scheibenförmige Blende für den Schutz gegen Streudampfteilchen, die sich in axialer Richtung der Transportwalzen bewegen.In order to further improve this protection of the end regions of the transport rollers, it can be provided that circumferential sealing means are arranged at the edges of the support regions. In this case, the word "sealant" is not interpreted narrowly, that is, an absolute sealing effect is not required. Due to the extremely low pressure in the vacuum chamber, it is often sufficient to shield the narrower area around the transport roller. In this respect, by a "sealant", for example, a radially outwardly extending disc-shaped aperture to be understood, which is arranged as described above. If the diaphragm comprises a horizontally extending plate strip which shields the end regions of the transport rollers upward, the disc-shaped diaphragm provides protection against scattered vapor particles which move in the axial direction of the transport rollers.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch vorzusehen, dass die umlaufenden Dichtmittel mit den Blenden zusammenwirken. Bei der oben beschriebenen Ausgestaltung der Blenden als Gehäuse, die eine senkrechte Wand mit Durchbrüchen für die Transportwalzern aufweisen kann durch eine am Auflagebereich angebrachte, scheibenförmige Blende, wie oben beschrieben, eine fast vollständige Kapselung der Endbereiche der Transportwalzen erzielt werden.However, it is particularly advantageous to provide that the peripheral sealing means interact with the panels. In the above-described embodiment of the panels as a housing having a vertical wall with openings for the transport rollers can be achieved by an attached to the support area, disk-shaped aperture, as described above, an almost complete encapsulation of the end portions of the transport rollers.

In einer besonderen Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die umlaufenden Dichtmittel ringförmige Bürsten sind. Diese können beispielsweise so gestaltet sein, dass an den Rändern der Auflagebereiche umlaufend Borsten befestigt sind, die sich radial nach außen erstrecken. Diese Borsten können beispielsweise aus Keramik oder Graphit bestehen.In a particular embodiment, it is provided that the circumferential sealing means are annular brushes. These can for example be designed so that at the edges of the support areas circumferentially bristles are fixed, which extend radially outward. These bristles may for example consist of ceramic or graphite.

In einer weiteren Ausgestaltung wird vorgeschlagen, dass in mindestens einem Endbereich der Transportwalzen eine die Trägerwelle umschließende, längenverformbare Schutzhülse angeordnet ist. Eine derartige Schutzhülse trägt noch besser dem Erfordernis Rechnung, dass die Endbereiche der Transportwalzen, das heißt gegebenenfalls der Trägerwelle, vor unerwünschter Beschichtung und unerwünschtem Ätzangriff zu schützen ist. Die Schutzhülse überdeckt den Endbereich permanent und ermöglicht aufgrund ihrer Längenverformbarkeit dennoch die Verschiebung der Auflagebereiche der Transportwalzen. Eine Schutzhülse in diesem Sinne kann beispielsweise ein elastischer Faltenbalg sein, der weiter beispielsweise aus einem Elastomer gefertigt sein kann. Es versteht sich von selbst, dass das Material der Schutzhülse so zu wählen ist, dass es den jeweiligen Prozesstemperaturen standhalten kann und die Prozessatmosphäre nicht etwa durch Ausgasen negativ beeinflusst. Ein besonders vollständiger Schutz der Endebereiche der Transportwalzen bei gleichzeitigem Schutz der Schutzhülse lässt sich realisieren, wenn gleichzeitig die beschriebene Schutzhülse und eine Blendeneinrichtung im Endbereich der Transportwalzen eingesetzt werden.In a further embodiment, it is proposed that a longitudinally deformable protective sleeve enclosing the carrier shaft is arranged in at least one end region of the transport rollers. Such a protective sleeve even better takes into account the requirement that the end regions of the transport rollers, that is, if appropriate, the carrier shaft, be protected against undesired coating and undesired etching attack. The protective sleeve permanently covers the end region and nevertheless allows the displacement of the support regions of the transport rollers due to its length deformability. A protective sleeve in this sense, for example, be an elastic bellows, which can be further made for example of an elastomer. It goes without saying that the material of the protective sleeve is to be chosen so that it can withstand the respective process temperatures and does not negatively influence the process atmosphere by outgassing. A particularly complete protection of the end regions of the transport rollers with simultaneous protection of the protective sleeve can be realized if at the same time the described protective sleeve and a diaphragm device are used in the end region of the transport rollers.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenThe invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and associated drawings. Show

1 und 2 einen Blick in eine Vakuumsubstratbehandlungsanlage mit zwei verschiedenen Stellungen der Auflagebereiche der Transportwalzen, 1 and 2 a view into a vacuum substrate treatment plant with two different positions of the support areas of the transport rollers,

3 und 4 eine schematisierte Querschnittsansicht der Vakuumsubstratbehandlungsanlage, ebenfalls mit zwei verschiedenen Stellungen der Auflagebereiche der Transportwalzen, und 3 and 4 a schematic cross-sectional view of the vacuum substrate treatment plant, also with two different positions of the bearing areas of the transport rollers, and

5, 6 und 7 weitere Ansichten der Vakuumsubstratbehandlungsanlage gemäß 1 und 2. 5 . 6 and 7 further views of the vacuum substrate treatment plant according to 1 and 2 ,

In den 1 und 2 ist ein perspektivischer Blick in das Innere der Vakuumkammer 1 einer Vakuumsubstratbehandlungsanlage dargestellt, die eine Schlitzschleuse 11 zum Einschleusen plattenförmiger Substrate 5 in horizontaler Ausrichtung aufweist. Der obere Kammerdeckel ist in der Zeichnung weggelassen, um diesen Blick in das Innere der Vakuumkammer 1 zu ermöglichen. 5 zeigt einen Blick in das Innere der Vakuumkammer 1 von oben, während 6 einen Längsschnitt durch die Vakuumkammer 1 entlang der Linie A-A in 5 zeigt und 7 einen Querschnitt durch die Vakuumkammer 1 entlang der Linie B-B in 5 zeigt. Es ist zu beachten dass, obwohl 1, 2, 5, 6 und 7 lediglich verschiedene Ansichten desselben Ausführungsbeispiels zeigen, diese nicht den gleichen Maßstab aufweisen.In the 1 and 2 is a perspective view into the interior of the vacuum chamber 1 a vacuum substrate treatment plant, which is a slot lock 11 for introducing plate-shaped substrates 5 in a horizontal orientation. The upper chamber lid is omitted in the drawing to look into the interior of the vacuum chamber 1 to enable. 5 shows a view into the interior of the vacuum chamber 1 from the top while 6 a longitudinal section through the vacuum chamber 1 along the line AA in 5 shows and 7 a cross section through the vacuum chamber 1 along the line BB in 5 shows. It should be noted that, though 1 . 2 . 5 . 6 and 7 merely show different views of the same embodiment, they do not have the same scale.

In der Vakuumkammer 1 ist eine Transporteinrichtung angeordnet, die eine Mehrzahl von beidseitig drehbar gelagerten, quer zur Transportrichtung horizontal angeordneten Transportwalzen 4 umfasst, deren oberste Mantellinien eine Transportebene für die Substrate 5 definieren. Die Lager befinden sich an den äußeren Enden der Transportwalzen 4, sind jedoch in den 1, 2, 5, 6 und 7 zur besseren Übersichtlichkeit nicht dargestellt.In the vacuum chamber 1 a transport device is arranged, which has a plurality of both sides rotatably mounted, transversely to the transport direction horizontally arranged transport rollers 4 comprises, whose uppermost generatrices a transport plane for the substrates 5 define. The bearings are located at the outer ends of the transport rollers 4 , however, are in the 1 . 2 . 5 . 6 and 7 not shown for clarity.

Die Endbereiche der Transportwalzen 4 sind dabei durch Blendengehäuse 3 abgedeckt, welche jeweils ein horizontales Blendenelement 31 und ein vertikales Blendenelement 32 mit Öffnungen umfassen, durch welche sich die Transportwalzen 4 erstrecken. Die beiden Blendengehäuse 3 erstrecken sich durch die gesamte Vakuumkammer 1, sie sind jedoch nur teilweise, nämlich im Bereich unmittelbar hinter der Schlitzschleuse 11 dargestellt, um die Endbereiche der Transportwalzen 4 sichtbar zu machen. Zwischen den beiden die Endbereiche der Transportwalzen 4 abschirmenden Blendengehäusen 3 befindet sich der Transportbereich der Transportwalzen 4, das heißt der Bereich, auf dem die Substrate 5 aufliegen und durch die Transportwalzen 4 durch die Vakuumsubstratbehandlungsanlage transportiert werden.The end areas of the transport rollers 4 are doing through aperture housing 3 covered, each having a horizontal aperture element 31 and a vertical shutter member 32 comprising openings through which the transport rollers 4 extend. The two diaphragm housing 3 extend through the entire vacuum chamber 1 However, they are only partial, namely in the immediate area behind the slot lock 11 shown to the end portions of the transport rollers 4 to make visible. Between the two, the end portions of the transport rollers 4 shielding bezel housings 3 is the transport area of the transport rollers 4 that is the area on which the substrates 5 rest and through the transport rollers 4 be transported through the vacuum substrate treatment plant.

Die Transportwalzen 4 weisen verschiebbare Auflagehülsen 43 auf, welche etwa zwei Drittel der Gesamtlänge der Transportwalze 4 einnehmen. Jede dieser Auflagehülsen 43 weist einen ersten Auflagebereich 44 und einen zweiten Auflagebereich 45 auf, die etwa gleich lang sind und daher jeweils etwa ein Drittel der Gesamtlänge der Transportwalze 4 einnehmen. Die Auflagehülsen 43 weisen an ihren Enden und in ihrer Mitte, das heißt an der Begrenzung jedes der beiden Auflagebereiche 44, 45 umlaufende Dichtmittel 46 in Form ringförmiger Bürsten auf, welche der Abdichtung der Öffnungen der vertikalen Blendenelemente 32 dienen.The transport rollers 4 have sliding support sleeves 43 on which about two-thirds of the total length of the transport roller 4 taking. Each of these support sleeves 43 has a first edition area 44 and a second edition area 45 on, which are about the same length and therefore each about one third of the total length of the transport roller 4 taking. The support sleeves 43 have at their ends and in their middle, that is at the boundary of each of the two bearing areas 44 . 45 circumferential sealant 46 in the form of annular brushes, which sealing the openings of the vertical panel elements 32 serve.

Die Auflagehülsen 43 sind mit Betätigungsstäben 48 verbunden, welche mittels Vakuumdurchführungen 12 durch die Seitenwände der Vakuumkammer 1 geführt sind, so dass ihre Enden von außerhalb der Vakuumkammer 1 zugänglich sind, um die Auflagehülsen 43 und damit die beiden Auflagebereiche 44, 45 in axialer Richtung der Transportwalzen 4 zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschieben zu können.The support sleeves 43 are with actuating rods 48 connected, which by means of vacuum feedthroughs 12 through the side walls of the vacuum chamber 1 are guided, leaving their ends from outside the vacuum chamber 1 are accessible to the support sleeves 43 and thus the two areas of support 44 . 45 in the axial direction of the transport rollers 4 to move between a first and a second position.

In 1 ist der Ausgangszustand der Vakuumsubstratbehandlungsanlage dargestellt, in welchem der jeweils erste Auflagebereich 44 der Transportwalzen 4 im Transportbereich der Substrate 5 angeordnet ist. Der jeweils zweite Auflagebereich 45 der Transportwalzen 4 ist im Innern eines der beiden Blendengehäuse 3 angeordnet, so dass er vor unerwünschter Beschichtung geschützt ist. Dabei sind die Transportwalzen 4 abwechselnd so angeordnet, dass die zweiten Auflagebereiche 45 aufeinanderfolgender Transportwalzen 4 abwechselnd in dem einen (z. B. in dem in Transportrichtung gesehen linken) und dem anderen (z. B. in dem in Transportrichtung gesehen rechten) Blendengehäuse 3 angeordnet sind. Ist auf den ersten Auflagebereichen 44 der Transportwalzen 4 eine kritische Schichtdicke erreicht, so werden die Auflagehülsen 43 durch Verschieben der Betätigungsstäbe 48 von ihrer ersten Position in ihre zweite Position bewegt.In 1 the initial state of the vacuum substrate treatment plant is shown, in which each of the first support area 44 the transport rollers 4 in the transport area of the substrates 5 is arranged. The second edition area 45 the transport rollers 4 is inside one of the two bezel housing 3 arranged so that it is protected from unwanted coating. Here are the transport rollers 4 alternately arranged so that the second support areas 45 successive transport rollers 4 alternately in one (eg in the left-hand direction in the transport direction) and the other (eg in the right-hand direction in the transport direction) 3 are arranged. Is on the first edition areas 44 the transport rollers 4 reaches a critical layer thickness, so are the support sleeves 43 by moving the actuating rods 48 moved from its first position to its second position.

In 2 ist dieser Endzustand der Vakuumsubstratbehandlungsanlage nach dem Bewegen der Auflagebereiche 44, 45 in ihre zweite Position dargestellt, in welcher der jeweils zweite Auflagebereich 45 der Transportwalzen 4 im Transportbereich der Substrate 5 angeordnet ist. Der jeweils erste Auflagebereich 44 der Transportwalzen 4 ist dadurch nun im Innern eines der beiden Blendengehäuse 3 angeordnet, so dass er vor unerwünschter Beschichtung geschützt ist. Auf diese Weise ist eine gegenüber herkömmlichen Transportwalzen doppelte Betriebszeit möglich, nach der die Transportwalzen 4 ausgetauscht oder gereinigt werden müssen.In 2 is this final state of the vacuum substrate treatment system after moving the support areas 44 . 45 represented in its second position, in which the respective second support area 45 the transport rollers 4 in the transport area of the substrates 5 is arranged. The first edition area 44 the transport rollers 4 is now inside one of the two bezel housing 3 arranged so that it is protected from unwanted coating. In this way, compared to conventional transport rollers double operating time is possible after the transport rollers 4 have to be replaced or cleaned.

In 3 und 4 ist der Aufbau der Transportwalzen 4 detailliert dargestellt. Darin ist zu erkennen, dass die Auflagehülsen 43 von einer Trägerwelle 42 getragen werden, die beidseitig in Lagern 41 drehbar gelagert ist. Oberhalb des mittleren Bereichs der Transportwalzen 4, der als Transportbereich für di Substrate 5 wirkt, ist eine Substratbehandlungseinrichtung 2 angeordnet. Im gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Substratbehandlungseinrichtung 2 um eine Beschichtungseinrichtung, bei der eine Beschichtungsmaterialquelle 22 zwischen zwei Halteeinrichtungen 21 angeordnet ist, wobei die Halteeinrichtungen 21 an der Decke der Vakuumkammer 1 befestigt sind, so dass sich im Betrieb der Anlage das von der Beschichtungsmaterialquelle 22 abgegebene Beschichtungsmaterial auf den daran vorbeitransportierten Substraten 5 niederschlägt.In 3 and 4 is the construction of the transport rollers 4 shown in detail. It can be seen that the support sleeves 43 from a carrier wave 42 be worn on both sides in camps 41 is rotatably mounted. Above the middle area of the transport rollers 4 as the transport area for the substrates 5 acts, is a substrate treatment device 2 arranged. In the exemplary embodiment shown, the substrate treatment device is 2 a coating device in which a coating material source 22 between two holding devices 21 is arranged, wherein the holding devices 21 on the ceiling of the vacuum chamber 1 are fixed so that in the operation of the system that of the coating material source 22 dispensed coating material on the substrates transported before it 5 reflected.

Wie im Ausführungsbeispiel der 1 und 2 sind auch im schematisiert dargestellten Ausführungsbeispiel der 3 und 4 die Transportwalzen 4 mit ihren Endbereichen durch Blendengehäuse 3, die jeweils ein horizontales Blendenelement 31 und ein vertikales Blendenelement 32 aufweisen, durch dessen Öffnungen sich die Transportwalzen 4 erstrecken, vor unerwünschter Beschichtung geschützt.As in the embodiment of 1 and 2 are also in the schematically illustrated embodiment of 3 and 4 the transport rollers 4 with their end areas through aperture housing 3 , each having a horizontal aperture element 31 and a vertical shutter member 32 have, through the openings, the transport rollers 4 extend, protected against unwanted coating.

Die Dichtmittel 46 wirken mit den Rändern der Öffnungen der vertikalen Blendenelemente 32 zusammen, um das Eindringen von Streudampfteilchen in das Blendengehäuse 3 zu verringern. Gleichzeitig sind an beiden Enden der Transportwalze 4 zwischen Lager 41 und Auflagehülse 43 je eine flexible Schutzhülse in Form eines Faltenbalgs angeordnet. Diese Faltenbälge 47 sind längenverformbar und schützen so in jeder Stellung der Auflagehülse 43 die Trägerwelle 42 der Transportwalze 4 vor den trotz der Dichtmittel 46 in die Blendengehäuse 3 eindringenden Streudampfteilchen.The sealants 46 act with the edges of the openings of the vertical panel elements 32 together, to the penetration of scattered steam particles in the diaphragm housing 3 to reduce. At the same time at both ends of the transport roller 4 between camps 41 and support sleeve 43 each arranged a flexible protective sleeve in the form of a bellows. These bellows 47 are length-deformable and thus protect in every position of the support sleeve 43 the carrier wave 42 the transport roller 4 in front of the despite the sealant 46 in the bezel housing 3 penetrating litter vapor particles.

In 3 ist für die dargestellte Transportwalze 4 der Ausgangszustand dargestellt, in welchem der erste Auflagebereich 44 der Transportwalze 4 im Transportbereich der Substrate 5 angeordnet ist. Der zweite Auflagebereich 45 der Transportwalze 4 ist im Innern des linken Blendengehäuses 3 angeordnet, so dass er vor unerwünschter Beschichtung geschützt ist. Ist auf dem ersten Auflagebereich 44 der Transportwalze 4 eine kritische Schichtdicke erreicht, so wird die Auflagehülse 43 von ihrer ersten Position in ihre zweite Position bewegt.In 3 is for the illustrated transport roller 4 the initial state shown in which the first edition area 44 the transport roller 4 in the transport area of the substrates 5 is arranged. The second edition 45 the transport roller 4 is inside the left panel housing 3 arranged so that it is protected from unwanted coating. Is on the first edition area 44 the transport roller 4 reaches a critical layer thickness, so the support sleeve 43 moved from its first position to its second position.

In 4 ist für die dargestellte Transportwalze 4 dieser Endzustand nach dem Bewegen der Auflagebereiche 44, 45 in ihre zweite Position dargestellt, in welcher der zweite Auflagebereich 45 der Transportwalze 4 im Transportbereich der Substrate 5 angeordnet ist. Der erste Auflagebereich 44 der Transportwalze 4 ist dadurch nun im Innern des rechten Blendengehäuses 3 angeordnet, so dass er vor unerwünschter Beschichtung geschützt ist.In 4 is for the illustrated transport roller 4 this final state after moving the support areas 44 . 45 represented in its second position, in which the second support area 45 the transport roller 4 in the transport area of the substrates 5 is arranged. The first edition 44 the transport roller 4 is now inside the right bezel housing 3 arranged so that it is protected from unwanted coating.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Vakuumkammervacuum chamber
1111
Schlitzschleuseslot lock
1212
VakuumdurchführungVacuum feedthrough
22
SubstratbehandlungseinrichtungSubstrate treatment facility
2121
Halteeinrichtungholder
2222
BeschichtungsmaterialquelleCoating material source
33
Blendengehäusetrim housing
3131
horizontale Blendehorizontal aperture
3232
vertikale Blende mit Öffnungenvertical aperture with openings
44
Transportwalzetransport roller
4141
Lagercamp
4242
Trägerwellecarrier wave
4343
Auflagehülsebearing sleeve
4444
erster Auflagebereichfirst edition
4545
zweiter Auflagebereichsecond edition
4646
Dichtmittelsealant
4747
Schutzhülseprotective sleeve
4848
Betätigungsstabactuating rod
55
Substratsubstratum

Claims (10)

Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage mit einer Vakuumkammer (1), mindestens einer in der Vakuumkammer (1) angeordneten Substratbehandlungseinrichtung (2) und einer sich durch die Vakuumkammer (1) erstreckenden Transporteinrichtung zum Transport plattenförmiger Substrate (5) in einer Transportrichtung, wobei die Transporteinrichtung eine Mehrzahl von beidseitig drehbar gelagerten, quer zur Transportrichtung horizontal angeordneten Transportwalzen (4) umfasst, deren oberste Mantellinien eine Transportebene definieren, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwalzen (4) mindestens zwei Auflagebereiche (44, 45) für die Substrate (5) aufweisen und die mindestens zwei Auflagebereiche (44, 45) in axialer Richtung der Transportwalzen (4) zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschiebbar sind.Vacuum Substrate Treatment Passing Process Equipment With A Vacuum Chamber ( 1 ), at least one in the vacuum chamber ( 1 ) arranged substrate treatment device ( 2 ) and through the vacuum chamber ( 1 ) extending transport means for transporting plate-shaped substrates ( 5 ) in a transport direction, wherein the transport device has a plurality of transport rollers rotatably mounted on both sides and arranged horizontally transversely to the transport direction ( 4 ), whose uppermost generatrices define a transport plane, characterized in that the transport rollers ( 4 ) at least two contact areas ( 44 . 45 ) for the substrates ( 5 ) and the at least two contact areas ( 44 . 45 ) in the axial direction of the transport rollers ( 4 ) are displaceable between a first and a second position. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwalzen (4) verschiebbar sind.Vacuum substrate treatment process plant according to claim 1, characterized in that the transport rollers ( 4 ) are displaceable. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwalzen (4) jeweils eine Trägerwelle (42) und eine die Trägerwelle (42) umschließende Auflagehülse (43) mit mindestens zwei Auflagebereichen (44, 45) umfassen und die Auflagehülse (43) relativ zur Trägerwelle (42) verschiebbar ist.Vacuum substrate treatment process plant according to claim 1, characterized in that the transport rollers ( 4 ) each have a carrier wave ( 42 ) and one the carrier wave ( 42 ) enclosing support sleeve ( 43 ) with at least two support areas ( 44 . 45 ) and the support sleeve ( 43 ) relative to the carrier wave ( 42 ) is displaceable. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass in der Transportrichtung gesehen die mindestens zwei Auflagebereiche (44, 45) hintereinander angeordneter Transportwalzen (4) abwechselnd in entgegengesetzte Richtungen verschiebbar sind.Vacuum substrate treatment throughput process system according to one of claims 1 to 3, characterized in that seen in the transport direction, the at least two support areas ( 44 . 45 ) arranged behind one another transport rollers ( 4 ) are alternately displaceable in opposite directions. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwalze (4) einen mittleren Substrattransportbereich sowie beidseitig des Substrattransportbereichs je einen Randbereich aufweist und die Randbereiche durch je eine Blende (3, 31, 32) abgedeckt sind.Vacuum substrate treatment process plant according to one of claims 1 to 4, characterized in that the transport roller ( 4 ) has a central substrate transport region as well as on both sides of the substrate transport region per an edge region and the edge regions by a respective aperture ( 3 . 31 . 32 ) are covered. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass an den Rändern der Auflagebereiche (44, 45) umlaufende Dichtmittel (46) angeordnet sind.Vacuum substrate treatment throughput process system according to one of claims 1 to 5, characterized in that at the edges of the support areas ( 44 . 45 ) circumferential sealant ( 46 ) are arranged. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach den Ansprüchen 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, dass die umlaufenden Dichtmittel (46) mit den Blenden (3, 31, 32) zusammenwirken.Vacuum substrate treatment process plant according to claims 5 and 6, characterized in that the peripheral sealing means ( 46 ) with the panels ( 3 . 31 . 32 ) interact. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die umlaufenden Dichtmittel (46) ringförmige Bürsten sind.Vacuum substrate treatment process plant according to claim 6 or 7, characterized in that the peripheral sealing means ( 46 ) are annular brushes. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in mindestens einem Endbereich der Transportwalzen (4) eine die Trägerwelle (42) umschließende, längenverformbare Schutzhülse (47) angeordnet ist.Vacuum substrate treatment throughput processing system according to one of claims 5 to 8, characterized in that in at least one end region of the transport rollers ( 4 ) one the carrier wave ( 42 ) enclosing, length-deformable protective sleeve ( 47 ) is arranged. Vakuumsubstratbehandlungs-Durchlaufprozessanlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzhülse (47) ein elastischer Faltenbalg ist.Vacuum substrate treatment process plant according to claim 9, characterized in that the protective sleeve ( 47 ) is an elastic bellows.
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