DD279696A1

DD279696A1 - VIEWING INSTALLATION FOR VACUUM PLANTS

Info

Publication number: DD279696A1
Application number: DD32518289A
Authority: DD
Inventors: Bernd-Dieter Wenzel; Wilfried Kunack; Hans-Jochen Student
Original assignee: Ardenne Manfred
Priority date: 1989-01-23
Filing date: 1989-01-23
Publication date: 1990-06-13

Abstract

Die Einblickeinrichtung fuer Vakuumanlagen dient zum Beobachten von Prozessen in vakuumtechnologischen Anlagen. Die Einrichtung besteht aus zwei rotierenden Schlitzscheiben, deren Achse in Blickrichtung angeordnet ist. Die Schlitze in der Scheibe, die dem Rezipienten zugeordnet ist, sind wesentlich breiter als in der anderen. Die schmalen Schlitze sind abwechselnd ausserhalb der Symmetrieachse der breiten Schlitze angeordnet. Fig. 2The inspection device for vacuum systems is used to monitor processes in vacuum technology plants. The device consists of two rotating slotted discs whose axis is arranged in the direction of view. The slots in the disc associated with the recipient are much wider than in the other. The narrow slots are alternately located outside the symmetry axis of the wide slots. Fig. 2

Description

Field of application of the invention

Die Einblickeinrichtung dient zur Beobachtung von Prozessen in Vakuumanlagen, wie z. B. in Elektronenstrahl- und Sputteranlagen, in denen Schmelz- und Verdampfungsprozesse durchgeführt werden.The insight device is used to observe processes in vacuum systems, such. B. in electron beam and sputtering, in which melting and evaporation processes are performed.

Characteristic of the known technical solutions

In Elektronenstrahlanlagen zum Schmelzen und Verdampfen werden durch den Prozeß hohe Raten von Metalldämpfen, Metalloxiden und auch Spritzern abgegeben. Diese schlagen sich auf den einhausenden Flächen nieder und bilden dort dichte Filme, deren Schichtdicke proportional mit der Prozeßzeit wächst. Die Position des/der F.lektronenstrahles/n auf den Prozeßflächen muß ständig kontrolliert werden, um den Leistungseintrag entsprechend den technologischen Erfordernissen, z. B. der notwendigen Badtemperatur, zu steuern. Dazu werden Beobachtungseinrichtungen verwendet, die im Prinzip aus einer Durchsichtscheibe und einer davor rotierenden Blendenscheibe mit schmalen Schlitzen bestehen. Die Blendenscheibe rotiert so schnell, daß eine fiimmerfreie Beobachtung möglich ist. Die Prozeßflächen geben beim Schmelzen und Verdampfen von Metallen soviel Licht ab, daß die Schlitze sehr schmal ausgeführt werden können. Die Bedampfungsrate der Durchsichtscheibe wird um den Faktor 10³ bis 10⁴ reduziert. Um Metallspritzer von der Durchsichtscheibe fernzuhalten, besteht die rotierende Blendenscheibe aus zwei im Abstand voneinander angeordneten Scheiben, mit ninem schmalen Schlitz zur Reduzierung des Dampfdurchtritts in der ersten Scheibe und einem breiten Schlitz zum Schutz des schmalen Schlitzes vor Metallspritzern. Der Öffnungswinkel beider Schlitze ergibt sich aus dem Geschwindigkeitsverhältnis der Rotationsgeschwindigkeit der Metallspritzer und beträgt unter praktischen Bedingungen —45°.In electron beam plants for melting and evaporation, high rates of metal vapors, metal oxides and also splashes are released by the process. These settle on the einhausenden surfaces and form dense films whose layer thickness increases in proportion to the process time. The position of the F.lektronenstrahles / n on the process surfaces must be constantly monitored to the power input according to the technological requirements, eg. B. the necessary bath temperature to control. For this purpose, observation devices are used, which consist in principle of a see-through disc and a front rotating disc aperture with narrow slits. The aperture disc rotates so fast that it is possible to observe without any fines. The process surfaces emit so much light during the melting and evaporation of metals that the slots can be made very narrow. The evaporation rate of the transparency is reduced by a factor of 10 ³ to 10 ⁴ . In order to keep metal spatter away from the see-through disk, the rotating orifice disk consists of two spaced apart disks, with a narrow slot to reduce vapor transmission in the first disk and a wide slot to protect the narrow slot from metal splashes. The opening angle of both slots results from the speed ratio of the rotational speed of the metal splashes and is -45 ° under practical conditions.

Das Grundprinzip der rotierenden Schlitzscheiben wird in verschiedenster Ausführung abgewandelt, so auch als Trommel. In jeder Ausführung haftet der Mangel an, daß der öffnungswinkel relativ klein ist, so daß ausgedehnte Objekte, wie z. B. Schmelzbäder mit großer Fläche oder mehrere Schmelzbäder, schlecht beobachtet werden können. Werden die Schlitze vergrößert, so wird aber die mögliche Durchsichtdauer durch Zudampfen des Einblickfensters reduziert, was wieder nachteilig ist, da die vakuumtechnologischen Prozesse oft viele Stunden andauern.The basic principle of the rotating slotted discs is modified in various designs, including as a drum. In each embodiment, the defect adheres to that the opening angle is relatively small, so that extended objects, such as. B. melt baths with a large area or multiple melt baths, can be observed poorly. If the slots are enlarged, but the possible see through duration is reduced by Zudampfen the viewing window, which is disadvantageous again, since the vacuum technological processes often lasting many hours.

Object of the invention

Es soll eine Einblickeinrichtung geschaffen werden, die frei von den Mängeln des Standes der Technik ist und mit geringem apparativen Aufwand herstellbar ist.It is an insight device to be created, which is free from the deficiencies of the prior art and can be produced with little equipment.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen zu schaffen, die mit großem Öffnungswinkel ausgedehnte Prozeßflächen beobachten läßt und dia Durchsichtscheibe über lange Zeiten vor Metallspritzern und Dampfteilchen schützt, d.h. eine lange Durchsichtzeit ermöglicht.The invention has for its object to provide an insight device for vacuum systems, which can be observed with large opening angle extensive process surfaces and dia the transparency protects against metal splashes and steam particles for long periods, i. a long see-through time allows.

Erfindungsgeinäß wird die Aufgabe mit zwei hintereinander angeordneten, sich mit gleicher Geschwindigkeit drehenden Scheiben mit unterschiedlichen Schlitzen, dio sich zwischen dem Einblickfenster und dem Rezipienten befinden, dadurch gelöst, daß in der dem Rezipienten zugeordneten Scheibe wesentlich größere, d h. breitere Schlitze eingebracht sind, als in der anderen Scheibe. Diese letztgenannten schmaleren Schlitze sind abwechselnd nach je einer Seite außerhalb der Symmetrieachse der breiten Schlitze angeordnet.According erfindungsgeinäß the task with two successively arranged, rotating at the same speed discs with different slots, dio dio between the viewing window and the recipient, solved by the fact that in the disc associated with the recipient substantially larger, d h. wider slots are introduced, as in the other disc. These latter narrower slots are arranged alternately to one side each outside the axis of symmetry of the wide slots.

Diese Ausführung und Zuordnung der Schlitze untereinander erhöhen den Blickwinkel, ohne dpß das Zudampfen der Scheibe des Einblickfensters erhöht wird.This design and assignment of the slots with each other increase the viewing angle, without dpß the evaporation of the window of the viewing window is increased.

Ausführungsbeispielembodiment

Die zugehörige Zeichnung zeigt inThe accompanying drawing shows in

Fig. 1: einen Schnitt durch die Einblickeinrichtung, Fig. 2: eine Draufsicht auf die Scheiben der Einblickeinrichtung.Fig. 1: a section through the inspection device, Fig. 2: a plan view of the panes of the inspection device.

An den Rezipienten 1 ist die Einblickeinrichtung mit ihrem Gehäuse 2 angeflanscht. In diesem Gehäuse 2 rotieren zwei Scheiben 3; 4 mit Schlitzen 5; 6, mit gleicher Drehzahl vom Motor 7 angetrieben. Im Bereich der Schlitze 5; 6 ist das Einblickfenster 8 angeordnet. Die Schlitze 6 in der Scheibe 4 sind wesentlich schmaler als die Schlitze 5 in der Scheibe 3 und abwechselnd außerhalb der Symmetrieachse versetzt.At the recipient 1, the inspection device is flanged with its housing 2. In this case 2 rotate two discs 3; 4 with slots 5; 6, driven at the same speed by the motor 7. In the area of the slots 5; 6, the viewing window 8 is arranged. The slots 6 in the disc 4 are substantially narrower than the slots 5 in the disc 3 and alternately offset outside the axis of symmetry.

Claims

Inspection device for vacuum systems, consisting of two interconnected rotating disks with different slots, the axis of which is arranged in the viewing direction, this disk pair being arranged between the recipient and the viewing window, characterized in that the slots (5) in the disk (3), which is associated with the recipient (1) are substantially wider than the slots (6) in the other disc (4), and that the narrower slots (6) are arranged alternately outside the axis of symmetry of the wider slots (5).

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