DE102011112698A1

DE102011112698A1 - Optical control device used for vacuum treatment of glass substrate, has viewing window that is arranged at predetermined interior space within housing in which passage opening is extended within channel formed at housing

Info

Publication number: DE102011112698A1
Application number: DE201110112698
Authority: DE
Inventors: Reinhardt BAUER; Sven Heinrich; Uwe Marx; Thomas Schulz; Dr. Müller Steffen
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2011-06-21
Filing date: 2011-06-21
Publication date: 2012-12-27

Abstract

The optical control device has a viewing window (4) that is arranged at a predetermined interior space (2) within the housing (1) comprising a housing wall (3). A passage opening (6) is extended within a channel (5) formed at the housing, from the housing wall. The pressure exerted at the channel is set within the atmospheric pressure, and the pressure outside the channel is set to vacuum pressure. The viewing window surface is angularly adjusted with respect to the passage opening area.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit optischem Durchlass in ein Vakuumgehäuse. Sie ist anwendbar in der Vakuumbehandlung, beispielsweise in Gehäusen oder Kammern von Anlagen zur Glasbeschichtung, und sie ermöglicht optischen Zugang zu produktionskritischen und auch zu schwer einsehbaren verdeckten Bauteilen oder Bereichen. Störungen sind damit frühzeitig erkennbar und optisch messbare technische Daten sowie Bildinformationen umfassend erhebbar.The invention relates to a device with optical passage in a vacuum housing. It is applicable in the vacuum treatment, for example in housings or chambers of systems for glass coating, and it provides optical access to production-critical and too difficult to see hidden components or areas. Disturbances can thus be detected early on and visually measurable technical data and image information can be collected comprehensively.

Das Anwendungsgebiet zielt allgemein auf die Vakuumtechnologie und, soweit gewerblich anwendbar, auf die Vakuumbehandlung, was die Vakuumbeschichtung wie Sputtern und Elektronenstrahlverdampfen sowie Ätzverfahren wie Plasmaätzen mit einbezieht, ab.The field of application is generally vacuum technology and, where commercially applicable, vacuum treatment, which involves vacuum coating such as sputtering and electron beam evaporation, as well as etching processes such as plasma etching.

Unter Vakuumgehäuse ist eine Art Behälter zu verstehen, der sowohl umseitig dicht und ausreichend stabil ist, um dem atmosphärischen Druck der Umgebung Stand zu halten. Begrifflich ist anstatt Vakuumgehäuse auch Vakuumkammer geläufig, die je nach Funktion und Anordnung in größeren Vakuum-Anlagen als Schleusen-, Transfer-, Puffer- oder Prozesskammern spezialisiert und benannt sind.By vacuum housing is meant a type of container that is both leak-proof and sufficiently stable to withstand the atmospheric pressure of the environment. Conceptually, instead of vacuum housing and vacuum chamber familiar, which are specialized and named depending on the function and arrangement in larger vacuum systems as lock, transfer, buffer or process chambers.

Moderne und leistungsfähige Anlagen ermöglichen eine sogenannte Durchlaufbeschichtung. Eine Durchlaufbeschichtungsanlage nimmt Substrate wie Glasscheiben an einer Eingangsschleuse auf und gibt sie an einer Ausgangsschleuse im beschichteten Zustand an die Umgebung unter Normaldruck heraus („air-to-air”-Verfahren). Daraus, dass in den Kammern zwischen den Schleusen zum Beschichten mit Vakuum gearbeitet wird, ergeben sich vielfältige technische Herausforderungen beispielsweise an den Substrattransport, an jegliche Abdichtungen und Durchführungen, an die Pumptechnik und an die Beschichtungsmittel. Für große Substrate mit seitlichen Abmessungen im einstelligen Meter-Bereich sind in-line-Anlagen, solche mit in gerader Reihe aufgestellten Kammern, im praktischen Einsatz. Nach dem stehenden oder liegenden Transport der Substrate durch eine Anlage werden vertikale beziehungsweise horizontale Anlagentypen unterschieden.Modern and efficient systems enable a so-called continuous coating. A continuous coating system picks up substrates such as glass panes at an entrance lock and releases them at an exit lock in the coated state to the environment under normal pressure ("air-to-air" method). The fact that working in the chambers between the locks for coating with vacuum, many technical challenges arise, for example, on the substrate transport, on any seals and bushings, on the pumping technique and on the coating agent. For large substrates with lateral dimensions in the single-digit meter range, in-line systems, such as those with straight-row chambers, are in practical use. After standing or lying transport of the substrates through a system, a distinction is made between vertical and horizontal plant types.

In Vakuumbeschichtungsprozessen führen technologisch anspruchsvolle Verfahren wie beispielsweise Elektronenstrahlverdampfen und Gasphasendampfabscheidung zur Substratbeschichtung. Um homogene und defektfreie Schichten auf den Endprodukten zu erhalten, bedarf es einwandfrei und kontinuierlich funktionierender Beschichtungs- und auch Transportmittel. Nachteilig sind beispielsweise inhomogene Plasmen, ungewollte Bogenentladungen (Arcing), Partikelablagerungen sowie Fehlpositionierung und Bruch von Substraten.In vacuum coating processes, technologically demanding processes such as, for example, electron beam evaporation and gas phase vapor deposition lead to substrate coating. In order to obtain homogeneous and defect-free layers on the end products, it requires perfect and continuously functioning coating and also transport. Disadvantages are, for example, inhomogeneous plasmas, unwanted arc discharges (arcing), particle deposits as well as incorrect positioning and breakage of substrates.

Für stabile Sputter-Prozesse oder thermische Behandlungen wie Tempern sind Messdaten für Regelungen und Steuerungen zu erheben. Berührungen mit dem Substrat sind unerwünscht und die Prozessbedingungen (Dampf, Temperatur, Vakuum) lassen zumeist keine Anordnung von Detektoren, Messsonden, Sensoren oder ähnlichen Messmitteln innerhalb der Kammern zu. Etabliert haben sich berührungslos arbeitende Messmittel und -verfahren wie Pyrometer und Spektrometer. Über Kollimatoren und Lichtwellenleiter lassen sich optische Signale durch die Kammerwand hindurch übertragen.For stable sputtering processes or thermal treatments such as annealing, measurement data for control systems must be collected. Contact with the substrate is undesirable and the process conditions (steam, temperature, vacuum) usually allow no arrangement of detectors, probes, sensors or similar measuring means within the chambers. Non-contact measuring devices and methods such as pyrometers and spectrometers have been established. Collimators and optical fibers allow optical signals to be transmitted through the chamber wall.

Aus DD 239 810 ist zu Zerstäubungsprozessen bekannt, Signale zu Plasmaemission in der Nähe des Plasmas über Metallröhren aufzunehmen, diese über Lichtleitkabel aus der Kammer zu führen und die Signale an eine Mess- und Regeleinrichtung weiterzugeben.Out DD 239 810 For atomization processes it is known to record signals for plasma emission in the vicinity of the plasma via metal tubes, to guide them out of the chamber via light guide cables and to pass on the signals to a measuring and control device.

Sichtfenster haben sich bewährt, um den Prozessverlauf visuell zu bewerten, denn eine Reihe von Störungen lassen sich mit bloßem Auge erkennen. Da Sichtfenster wie die Kammerwand dicht und druckstabil gegenüber Vakuum sein müssen, kommen sie in Größe und Anzahl sehr sparsam zum Einsatz. Runde Sichtfernster mit Durchmessern von wenigen Zentimetern sind üblich. Diese sind meist so zentral in der Kammerwand angeordnet, dass ein möglichst großer Teil des Kammerinneren von außen beobachtet werden kann. Unvorteilhafterweise sind durch das Sichtfenster nicht alle Bereiche der Kammer einsehbar. Im Bedarfsfall helfen Spiegel, um innerhalb der Kammer optischen Zugang zu verdeckten Bereichen zu erhalten. Sichtfenster und Spiegel beschlagen in Beschichtungskammern bei fehlendem Schutz und müssen folglich regelmäßig getauscht werden. Auch sind Spiegel und Fenster selten gekühlt beziehungsweise nicht auf optimalen Temperaturen gehalten und unterliegen entweder thermischem Verschleiß oder beschlagen infolge kondensierenden Dampfes.Windows have proven to visually evaluate the process, as a number of disorders can be detected with the naked eye. Since inspection windows, such as the chamber wall, must be tight and pressure-resistant to vacuum, they are used very sparingly in size and number. Round Sichtfernster with diameters of a few centimeters are common. These are usually arranged so centrally in the chamber wall, that as much of the chamber interior as possible can be observed from the outside. Unfortunately, not all areas of the chamber are visible through the viewing window. If necessary, mirrors help to provide optical access to hidden areas within the chamber. Inspection windows and mirrors fog in coating chambers in the absence of protection and must therefore be replaced regularly. Also mirrors and windows are rarely cooled or not maintained at optimal temperatures and are subject to either thermal wear or misting due to condensing vapor.

Bekannt sind Sichtfenster für Vakuumanlagen aus US 699,921 , aus JP 05070947 , aus DE 38 08 682 sowie aus DE 10 2008 048 586 mit Lösungen, die auf den Schutz vor ungewollter Beschichtung des Sichtglases abzielen. Ein Sichtfenster, dessen Lage indirekt durch die Kammerwand vorgegeben wird, scheidet als Lösungsansatz für Einblicke in verborgene Kammerbereiche insbesondere dann aus, wenn auch auf Spiegel verzichtet werden soll.Admissible are viewing windows for vacuum systems US 699,921 , out JP 05070947 , out DE 38 08 682 as well as out DE 10 2008 048 586 with solutions aimed at protection against unwanted coating of the sight glass. A viewing window, the position of which is predefined indirectly through the chamber wall, is a solution for insights into hidden chamber areas, in particular if mirrors are also to be dispensed with.

Neben solchen Sichtfenstern zur visuellen Kontrolle sind zur Überwachung der Anlage beispielsweise des Prozess- oder Transportverhaltens Detektoren, Messsonden, Sensoren oder ähnliche Messmittel notwendig und bekannt. Sie liefern unter anderem die Signale für Steuerungen oder Regelungen, um die Anlagen- oder Prozesstechnik unter Kontrolle zu halten. Außerhalb des anlageninternen Vakuums positionierte berührungslos arbeitende Messmittel und -verfahren sind geeignet und es kommen nachfolgend solche näher in Betracht, die das Signal bezüglich einer Quelle aus optischen Informationen erheben.In addition to such visual inspection windows, detectors, measuring probes, sensors or similar measuring devices are necessary and known for monitoring the system, for example the process or transport behavior. Among other things, they supply the signals for control systems or regulations to the plant or process technology To keep control. Non-contact measuring devices and methods positioned outside of the system's internal vacuum are suitable, and those which take the signal with regard to a source of optical information are more closely considered below.

Gemäß US 2007/0068495 kann ein in einem Brennraum verwendeter optischer Sensor so ausgeführt sein, dass dessen den Brennraum zugewandte Spitze mit Linse beheizbar ist. Zum Vermeiden von Rußablagerungen erzeugt das Heizelement zwischen 400°C und 600°C, um ein sofortiges Verbrennen des Rußes zu bewirken. Was für Brennräume in Dieselmotoren geeignet erscheint, lässt sich insofern nicht auf die Vakuumbeschichtung übertragen, da es für die Verbrennung an sich am notwendigen Sauerstoff fehlt und die schichtbildenden Materialien selten brennbar sind.According to US 2007/0068495 For example, an optical sensor used in a combustion chamber can be designed such that its tip facing the combustion chamber can be heated with a lens. To avoid soot build-up, the heating element generates between 400 ° C and 600 ° C to cause an immediate burning of the soot. What appears to be suitable for combustion chambers in diesel engines, can not be transferred to the vacuum coating insofar as it lacks the necessary oxygen for the combustion itself and the coating-forming materials are rarely combustible.

Auch DE 39 21 402 regt an, in der Nähe von Glasabdeckungen, die hier an Enden von in einen Meßkopf eingebetteten Lichtleitfasern, diese optisch durchlässig in der Gehäusewandung des Meßkopfes terminieren, Heizelemente vorzusehen. So ist im Meßkopf gegenüberstehend der optische Übertragungsaus dem -eingang von Lichtsender beziehungsweise -empfänger für das Kalibrieren eines Kunststofffertigungsprozesses angeordnet. Das optisch vermessene Merkstück passiert zumindest anteilig den Meßkopf. Aufschluss über Zustände eines Gas- oder Prozessraumes lassen sich damit nur in dessen unmittelbarer Nähe und über kurze Distanzen bestimmen, was thermisch ausgewogene und materialverträgliche Messbedingungen voraussetzt und eine Zustandserhebung in heißer oder aggressiver Prozessumgebung ausschließt.Also DE 39 21 402 suggests, in the vicinity of glass covers, which terminate here at the ends of embedded in a measuring head optical fibers, these optically transparent in the housing wall of the measuring head to provide heating elements. Thus, in the measuring head opposite the optical transmission from the input of light emitter or receiver for calibrating a plastic manufacturing process is arranged. The optically measured feature happens at least partially the measuring head. Information about the conditions of a gas or process space can thus be determined only in its immediate vicinity and over short distances, which requires thermally balanced and material-compatible measurement conditions and precludes a state survey in a hot or aggressive process environment.

Ein optischer Sensor nach DE 10 2008 017 412 eignet sich für die Vakuumbeschichtung. Ein in den Prozessraum in unmittelbarer Nähe des Sensorkopfes eingeleiteter Gasfluss verhindert messverfälschende Ablagerungen am Sensor. Die Messung findet nah der Substratoberfläche statt, was zu einer lokalen begrenzten Strömung des Gases auf das Substrat führt. Derartiges muss thermisch auf das Substrat abgestimmt sein, um mechanische Spannungen am Substrat sowie folglich Schäden an Schicht oder Substrat auszuschließen. Zudem erfordert die permanente Gaszufur den permanenten Betrieb der Vakuumpumpen. Zudem lässt sich damit zwar eine Spülwirkung jedoch keine Kühlwirkung erzielen.An optical sensor after DE 10 2008 017 412 suitable for vacuum coating. A gas flow introduced into the process space in the immediate vicinity of the sensor head prevents any mess-distorting deposits on the sensor. The measurement takes place close to the substrate surface, resulting in a localized limited flow of the gas to the substrate. Such has to be thermally matched to the substrate in order to exclude mechanical stresses on the substrate and consequently damage to the layer or substrate. In addition, the permanent gas supply requires the permanent operation of the vacuum pumps. In addition, although a rinsing effect can not achieve a cooling effect.

Es ist aus DE 10 2010 003 413 ein Positionsmesssystem für eine Beschichtungsanlage bekannt, das mit einem Heiz- und Kühlelement sowie mit einem Temperatursensor ausgestattet ist. So lassen sich der Sensor und insbesondere dessen Kopf auf einstelligen-°C über dessen Umgebungswärme halten. Im Effekt reduziert sich am Sensorkopf die Kondensation von Beschichtungsmaterialien. Diese Art der Positionsmessung mit einem gebündelten Strahl zeigt noch keine Lösung für räumlich zu erfassende optische Informationen auf.It is off DE 10 2010 003 413 a position measuring system for a coating system is known, which is equipped with a heating and cooling element and with a temperature sensor. This allows the sensor and especially its head to be kept at a one-digit Celsius above its ambient heat. In effect, the condensation of coating materials at the sensor head is reduced. This type of position measurement with a collimated beam still shows no solution for spatial optical information to be detected.

Nach der Erfindung leitet sich aus dem Ziel, langzeitstabiles optisches Kontrollieren oder Erfassen schwierig einsehbarer Kammerbereiche zu ermöglichen, die Aufgabe des Schaffens einer dafür geeigneten Vorrichtung ab.According to the invention, the objective of providing long-term stable optical control or detection of difficult-to-view chamber areas is derived from the task of creating a device suitable for this purpose.

Die Aufgabe wird durch die Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Zudem stellen die Ansprüche 2 bis 12 günstige Ausführungsformen dar.The object is achieved by the device having the features of claim 1. In addition, the claims 2 to 12 represent favorable embodiments.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung in der Art eines Sichtfensters zwischen atmosphärischen Druck und Vakuum zur optischen Kontrolle an einem Gehäuse zur Vakuumbehandlung, kennzeichnet sich dadurch, dass das Sichtfenster innerhalb des durch die Gehäusewand vorgegebenen Gehäuseraumes in einem Kanal angeordnet dicht befestigt ist. Der an einer Durchlassöffnung mit der Gehäusewand außen fest verbundene Kanal ist in das Gehäuseinnere führen geformt sowie angeordnet. Innerhalb des Kanals herrscht atmosphärischer Druck sowie außerhalb des Kanals wie auch innerhalb des Gehäuses Vakuum vor. Sowohl anstatt einer Linse ein Sichtfenster in das Gehäuse hinein zu verlegen als auch die Verbindung zur Gehäusewand mit einem Kanal herzustellen schafft erstmalig Flexibilität hinsichtlich einer vielfältigen Verwendung, die sich eben nicht von vornherein auf das Messverfahren oder auf eine speziell ausgeformtes Messmittel festlegt.The device according to the invention in the manner of a viewing window between atmospheric pressure and vacuum for optical control of a housing for vacuum treatment, characterized in that the viewing window is disposed within the housing wall predetermined by the housing wall housing arranged in a channel tightly. The outside of a passage opening with the housing wall firmly connected channel is guided into the housing interior and arranged. Within the channel, atmospheric pressure prevails as well as outside the channel as well as inside the housing vacuum. Both instead of a lens to lay a viewing window into the housing as well as the connection to the housing wall to create a channel for the first time provides flexibility in terms of a variety of uses, which does not specify from the outset on the measurement method or on a specially shaped measuring means.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Sichtfensterfläche zur Durchlassöffnungsfläche seitlich versetzt angeordnet ist. Der seitliche Versatz ist wie der, bei einem Periskop zu verstehen. Das Sichtfenster ist dadurch nahe dem beabsichtigten Beobachtungsort platziert.It can further be provided that the viewing window surface is arranged laterally offset from the passage opening surface. The lateral offset is like the one to understand a periscope. The viewing window is thereby placed near the intended observation site.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Sichtfensterfläche zur Durchlassöffnungsfläche winklig verstellt angeordnet ist. So lässt sich die Sichtfensterfläche nach dem Beobachtungsort ausrichten und es erschließen sich verdeckte Bereiche im Gehäuseinneren optisch besser.It can further be provided that the viewing window surface is arranged at an angle to the passage opening area. This allows the viewing window area to be aligned with the observation site, and hidden areas inside the housing are optically better accessible.

Vorteilhafterweise ist der Kanal mindestens einmal gebogen geführt. Das konkretisiert das vorhergehende in einer sehr einfachen aber wirksamen Art und Weise.Advantageously, the channel is guided bent at least once. This concretizes the previous one in a very simple but effective way.

Darauf aufbauend ist es von Vorteil, dass der Kanal innerhalb des Gehäuses nacheinander in Eintrittsrichtung senkrecht, um 90° gebogen parallel zur Gehäusewand geführt und um 90° gebogen parallel zur Eintrittsrichtung geführt ist.Based on this, it is advantageous that the channel within the housing successively in the entry direction perpendicular, bent by 90 ° parallel to the Housing wall out and bent by 90 ° parallel to the direction of entry is performed.

In einer vorteilhaften Form der Ausgestaltung der Erfindung weist der Kanal einen runden Querschnitt auf und es sind gebogene und gerade Teile des Kanals als über Schellen verbindbare Einzelteile ausgeführt. Mit Schellen lässt sich auch das Sichtfenster am Kanal befestigen und der Kanal selbst an einem Flanschdurchlass der Kammerwand. Das spart konstruktiven Aufwand und soll die Verwendung von handelsüblichen Bauteilen anregen.In an advantageous form of the embodiment of the invention, the channel has a round cross section and there are curved and straight parts of the channel designed as connectable via clamps items. Clamps can also be used to attach the viewing window to the channel and the channel itself to a flange passage of the chamber wall. This saves design effort and should encourage the use of commercially available components.

Zweckmäßigerweise ist der Kanal innen durch eine Gasströmung gekühlt. Eine konstruktiv leichter als Wasserkühlung zu bewerkstelligende Luftkühlung sollte ausreichen, um die im Kanal anzuordnenden Messmittel thermisch unkritisch zu betreiben. Damit lässt sich die Vorrichtung in vergleichsweise heißer Umgebung (über 100°C) einsetzen.Conveniently, the channel is internally cooled by a gas flow. An air cooling system that is easier to construct than water cooling should be sufficient to operate the measuring devices to be arranged in the channel thermally uncritical. This allows the device to be used in a comparatively hot environment (over 100.degree. C.).

Vorteilhafterweise ist der Kanal außen durch Heizmittel erwärmt und temperiert. Das vermeidet beispielsweise erhöhte Kondensation des Beschichtungsmaterials beim Sputtern auf dem Kanal selbst.Advantageously, the channel is heated and tempered by heating means. This avoids, for example, increased condensation of the coating material during sputtering on the channel itself.

Es bietet sich weiter an, dass der Kanal außen und/oder innen mindestens einen Temperatursensor aufweist. Kühlung innen und Heizung lassen sich besser geregelt ausführen, wenn zur Ist-Temperatur am und im Kanal genaue Daten vorliegen.It also makes sense that the channel has at least one temperature sensor outside and / or inside. Cooling inside and heating can be better controlled, if the actual temperature at and in the channel is accurate.

Darauf aufbauend ist es von Vorteil, dass der Kanal an der befestigten Scheibe sowie diese indirekt durch Heizmittel bis zu 10°C über der vakuumseitigen Umgebungstemperatur erwärmt und temperiert ist. Der Effekt der reduzierten Kondensation ist hier insofern nachhaltig, dass die Scheibe selbst möglichst lange ungetrübt bleibt.Based on this, it is advantageous that the channel is heated and tempered on the attached pane as well as indirectly by heating means up to 10 ° C above the vacuum-side ambient temperature. The effect of the reduced condensation is here so far lasting that the disk itself remains unclouded as long as possible.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind optische Mess- und/oder Bilderfassungsmittel im Kanal angeordnet. Einfache (USB-)Kameras, Thermoelemente und Ähnliches lassen sich bedarfsweise zum Einsatz bringen.In a preferred embodiment of the invention, optical measurement and / or image acquisition means are arranged in the channel. Simple (USB) cameras, thermocouples and the like can be used as needed.

Darauf aufbauend ist es von Vorteil, dass das Gehäuse zur Vakuumbehandlung Teil einer Anlage zur Vakuumbehandlung ist, die Anlage über eine zentrale Überwachungseinheit einen Anlagenleitstand gesteuert und überwacht ist und die Signale der Mess- und/oder Bilderfassungsmittel sowie die der Temperatursensoren über Leitungen dem Anlagenleitstand zugeführt sind. Auf den manuell besetzten Leitstand (Computer mit Bildschirmen) lassen sich so beispielweise Echtzeitbilder aus dem Innern der Anlage einblenden. Der gravierende Vorteil ist hier die Früherkennung von Problemfällen.Based on this, it is advantageous that the housing for vacuum treatment is part of a system for vacuum treatment, the installation is controlled and monitored by a central monitoring unit, and the signals of the measuring and / or image acquisition means and those of the temperature sensors are supplied via lines to the plant control station are. For example, real-time images from the interior of the system can be displayed on the manually occupied control console (computer with screens). The serious advantage here is the early detection of problem cases.

Zweckmäßigerweise ist es mit in den Bögen angeordneten Spiegeln möglich, sehr sensible Sensor- oder Messtechnik nicht unmittelbar am Sichtfenster sondern beabstandet von diesem zu platzieren, um auch bei heißen Bedingungen im Gehäuse an die erforderlichen Mess- oder Bilddaten zu gelangen.It is expediently possible with mirrors arranged in the arches to place very sensitive sensor or measuring technology not directly at the viewing window but at a distance from it so as to obtain the required measurement or image data even in hot conditions in the housing.

Zweckmäßigerweise ist die Vorrichtung, mit Ausnahme des Sichtfensters, aus Metall wie beispielsweise Edelstahl gefertigt.Conveniently, the device, with the exception of the viewing window, made of metal such as stainless steel.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden. Dazu sind in den Zeichnungen wie folgt dargestellt:The invention will be described in more detail with reference to an embodiment. These are shown in the drawings as follows:

1 Schnittdarstellung der Vorrichtung im Teil eines Gehäuse 1 Sectional view of the device in the part of a housing

2 vereinfachte Schnittdarstellung 2 simplified sectional view

3 räumliche Darstellungen des Gehäuses mit Vorrichtung 3 spatial representations of the housing with device

In der 1 ist das Gehäuse 1 in der Schnittdarstellung anteilig dargestellt. Es schließt die Gehäusewand 3 ein Gehäuseinneres 2 ein. Damit ist ein geschlossener Raum, der dicht gegen atmosphärischen Druck ist, gebildet. Im Gehäuseinneren 2 herrscht dagegen Vakuum vor. Das zumindest dann, wenn die Vakuumbehandlung aktiv vollzogen und die Anlage in Betrieb ist. Das optisch durchlässige Sichtfenster 4 ist durch den Kanal 5 gehalten, in diesem dicht befestigt und aufgrund der Kanalform in das Gehäuseinnere 2 hinein verlagert. Der Kanal integriert einen Bogen 7 als Einzelbauteil. Im Einzelnen besteht der Kanal 5 neben dem Bogen 7 aus weiteren gebogenen und geraden Segmenten, die mit unterschiedlichen Schrägschraffuren dargestellt sind. Zum Verbinden der Segmente sind Schellen vorgesehen. Der Kanal 5 ist mit der Gehäusewand 3 verbunden. Über die Durchlassöffnung 6 gelangen Leitungsmittel 9 in den Kanal 5. Zudem kann darüber eine Kühlung im Inneren des Kanals 5 durch Luftzufuhr im Bereich der Durchlassöffnung 6 geschaffen sein. Der Kanal 5, die Leitungsmittel 9 und insbesondere die Mess-/Bilderfassungsmittel 8 wären so vor Überhitzung geschützt. Anhand der Eintrittsrichtung 10 soll der Verlauf der Luftzufuhr gezeigt sowie die Führung des Kanals 5 erläutert sein.In the 1 is the case 1 shown proportionally in the sectional view. It closes the housing wall 3 a housing interior 2 one. This forms a closed space that is tight against atmospheric pressure. Inside the case 2 On the other hand, vacuum prevails. That at least when the vacuum treatment is actively completed and the system is in operation. The optically transparent viewing window 4 is through the channel 5 held tight in this and due to the channel shape in the interior of the housing 2 shifted into it. The channel integrates a bow 7 as a single component. In detail, there is the channel 5 next to the bow 7 from other curved and straight segments, which are shown with different oblique hatching. Clamps are provided for connecting the segments. The channel 5 is with the housing wall 3 connected. About the passage opening 6 arrive conduit means 9 in the channel 5 , In addition, it can be cooled in the interior of the canal 5 by air supply in the region of the passage opening 6 be created. The channel 5 , the conduit means 9 and in particular the measurement / image capture means 8th would be protected from overheating. Based on the direction of entry 10 to show the course of the air supply and the leadership of the channel 5 be explained.

Die 2 zeigt vereinfacht die wesentlichen Bestandteile und den Aufbau der der Vorrichtung ohne die Mess-/Bilderfassungsmittel und ohne Leitungsmittel.The 2 shows simplified the essential components and the structure of the device without the measurement / image acquisition means and without conduit means.

So veranschaulicht auch die 3 in der räumlichen Darstellung schematisch beispielhaft die erfinderischen Lösung, wobei über einen Ausschnitt Einblick in das Gehäuse 1 oder vielmehr ins Gehäuseinnere 2 gewährt wird. Der Kanal 5 mit der Durchlassöffnung 6 durchdringt die Gehäusewand 3, in der er befestigt ist. Bis zum Sichtfenster 4 wird die in Eintrittsrichtung 10 in den Kanal 5 einströmende kühlende Luft vordringen.So also illustrates the 3 in the spatial representation schematically exemplifies the inventive solution, with a section Insight into the housing 1 or rather inside the housing 2 is granted. The channel 5 with the passage opening 6 penetrates the housing wall 3 in which he is attached. To the viewing window 4 is the in the entrance direction 10 in the channel 5 incoming cooling air penetrate.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Gehäusecasing
22: Gehäuseinnereshousing interior
33: Gehäusewandhousing wall
44: Sichtfensterwindow
55: Kanalchannel
66: DurchlassöffnungPort
77: Bogenbow
88th: Mess-/BilderfassungsmittelMeasurement / image capture means
99: Leitungsmittelconduit means
1010: Eintrittsrichtungentry direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DD 239810 [0007]
US 699921 [0009]
JP 05070947 [0009]
DE 3808682 [0009]
DE 102008048586 [0009]
US 2007/0068495 [0011]
DE 3921402 [0012]
DE 102008017412 [0013]
DE 102010003413 [0014]

Claims

Device in the form of a viewing window between atmospheric pressure and vacuum for optical control of a housing ( 1 ) for vacuum treatment, characterized in that the viewing window ( 4 ) within the housing wall ( 3 ) predetermined housing space - housing interior ( 2 ) - in one channel ( 5 ) arranged tightly, that the at a passage opening ( 6 ) with the housing wall ( 3 ) externally fixed channel ( 5 ) into the housing interior ( 2 ) is preformed and arranged, and that within the channel ( 5 ) atmospheric pressure and outside the channel ( 5 ) as well as inside the case ( 2 ) Vacuum prevails.

Apparatus according to claim 1, characterized in that the viewing window surface is arranged offset laterally to the passage opening surface.

Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the viewing window surface is arranged at an angle to the passage opening surface.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the channel ( 5 ) is guided bent at least once.

Apparatus according to claim 4, characterized in that the channel within the housing ( 1 ) successively in the direction of entry ( 10 ) vertical, bent by 90 ° parallel to the housing wall ( 3 ) and bent by 90 ° parallel to the direction of entry ( 10 ) is guided.

Device according to one of claims 4 to 5, characterized in that the channel ( 5 ) has a round cross-section and that curved and straight parts of the channel are designed as connectable via clamps items.

Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the channel ( 5 ) is cooled internally by a gas flow.

Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the channel is heated and tempered by heating means outside.

Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the channel outside and / or inside has at least one temperature sensor.

Device according to one of claims 8 to 9, characterized in that the channel ( 5 ) is heated and tempered at the fixed viewing window as well as indirectly by heating means up to 10 ° C above the vacuum-side ambient temperature.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that optical measuring and / or image detecting means are arranged in the channel.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the housing for vacuum treatment is part of a system for vacuum treatment, the system is controlled and monitored by a central monitoring unit a plant control station and the signals of the measuring and / or image sensing means and the temperature sensors via lines fed to the plant control station.