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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verzögerungsleitung,
ein Signalverzögerungsverfahren und eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung.
Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Verzögerungsleitung,
ein Signalverzögerungsverfahren und eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung
zum Verzögern eines zu einer geprüften Vorrichtung
gelieferten digitalen Signals.
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Stand der Technik
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Ein
Prüfwellenformgenerator, der ein digitales Signal zum Prüfen
des Leistungsvermögens eines Halbleiters zu einer Prüfvorrichtung
liefert, ist beispielsweise aus der
japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung
Nr. 2001-162288 bekannt. Dieser Prüfwellenformgenerator
ist mit einer RC-Schaltung in einer das digitale Signal zu der geprüften
Vorrichtung liefernden Übertragungsleitung versehen. Der
Prüfwellenformgenerator kann eine hervorgehobene Komponente
zu der Wellenform des digitalen Signals hinzufügen.
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Offenbarung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende
Probleme
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Bei
diesem Prüfwellenformgenerator ist das variable Kapazitätselement
der RC-Schaltung geerdet, wodurch bewirkt wird, dass ein Teil des
durch die RC-Schaltung hindurchgehenden digitalen Signals durch
die RC-Schaltung reflektiert wird, was zu einem Überlappen
mit dem digitalen Signal in der Übertragungsleitung führt.
Diese Reflexion überlagert eine unnötige Störkomponente über
das digitale Signal.
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Mittel zum Lösen
der Probleme
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Verzögerungsleitung
vorgesehen, die ein in eine Signalleitung eingegebenes elektrisches
Signal verzögert und das so verzögerte Signal
ausgibt, enthaltend drei oder mehr passive Elemente, die in der
Signalleitung vorgesehen sind und das Signal verzögern.
Jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten
passiven Elementen hat eine unterschiedliche elektrische Länge.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum
Verzögern eines Signals durch Auswählen eines
Satzes von drei oder mehr passiven Elementen aus in einer Signalleitung vorgesehenen
passiven Elementen, um ein in die Signalleitung eingegebenes elektrisches
Signal zu verzögern, vorgesehen. Die drei oder mehr passiven Elemente
werden so ausgewählt, dass jeder Abschnitt der Signalleitung
zwischen den ausgewählten passiven Elementen eine unterschiedliche
elektrische Länge hat.
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Gemäß einem
dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung
vorgesehen, enthaltend eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Signal
zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung erzeugt
und das Signal in eine Signalleitung eingibt, und eine Verzögerungsleitung,
die ein in die Signalverzögerungsleitung eingegebenes elektrisches
Signal verzögert und das sich ergebende Signal ausgibt.
Die Verzögerungsleitung enthält drei oder mehr
passive Elemente, die in der Signalleitung vorgesehen sind und die
das Signal verzögern, und jeder Abschnitt der Signalleitung
zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen hat eine unterschiedliche
elektrische Länge.
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Die
Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen
Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung.
Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorstehend
beschriebenen Merkmale sein. Die vorgenannten und andere Merkmale
und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher
anhand der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele,
die in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
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Wie
aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, wird durch Verwenden der Verzögerungsleitung
gemäß der vorliegenden Erfindung in einem Signalgenerator
verhindert, dass von einem Prüfsignalgenerator ausgegebene
Reflexionssignale als Störungen überlagert werden.
Wenn drei oder mehr passive Elemente zur Verzögerung des
Signals ausgewählt werden, können die passiven
Elemente so ausgewählt werden, dass jeder Abstand zwischen
benachbarten passiven Elementen unterschiedlich ist. Auf diese Weise
werden die durch die ausgewählten passiven Elemente reflektierten
Reflexionssignale bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert,
so dass die Reflexionssignale einander schwächen. Demgemäß wird
die Stärke der Reflexionssignale herabgesetzt.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Prüfsignalgenerators 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2 ist
eine Overheadansicht der Verzögerungsleitung 100.
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3 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in 2,
die einen Zustand zeigt, in welchem keine Leistung zu dem passiven
Element 405 geliefert wird.
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4 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in 2,
die einen Zustand zeigt, in welchem Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert
wird.
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5 zeigt
eine Konfiguration der Verzögerungsleitung 100.
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6 zeigt
eine Konfiguration einer Verzögerungsleitung 101 als
ein anderes Ausführungsbeispiel der Verzögerungsleitung 100.
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Beste Art der Ausführung
der Erfindung
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Nachfolgend
werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
beschrieben. Die Ausführungsbeispiele begrenzen die Erfindung
entsprechend den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen
der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale
sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte
der Erfindung vorgesehene Mittel.
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1 ist
ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Prüfsignalgenerators 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Prüfsignalgenerator 10 liefert
ein digitales Signal zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung 50. Der Prüfsignalgenerator 10 ist
mit einer Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20, einer Steuerschaltung 30,
einer Signalleitung 40 und einer Verzögerungsleitung 100 versehen.
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Die
Signalleitung 40 verbindet elektrisch einen Ausgangsanschluss 21 der
Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 mit einem Eingangsanschluss 51 der
geprüften Vorrichtung 50. Die Verzögerungsleitung 100 ist
in der Signalleitung 40 vorgesehen. Die Steuerschaltung 30 ist
elektrisch mit der Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 verbunden,
und sie ist auch elektrisch mit passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 der
Verzögerungsleitung 100 über Leistungszuführungsleitungen 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656,
die nachfolgend beschrieben werden, verbunden. Die Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 erzeugt
das Digitalsignal zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 50 gemäß einem Befehl
von der Steuerschaltung 30, und der Prüfsignalgenerator 10 gibt
dieses Digitalsignal über die Signalleitung 40 zu
der geprüften Vorrichtung 50 aus.
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2 ist
eine Overheadansicht der Verzögerungsleitung 100.
Die Verzögerungsleitung 100 enthält ein
Substrat 110, auf dem die Signalleitung 40 durch
Musterbildung angeordnet ist, eine Erdleitung 120, die
auf beiden Seiten der Signalleitung 40 mit einem zwischen
ihnen geöffneten Raum durch Musterbildung vorgesehen ist,
und fünf passive Elemente 205, 305, 405, 505, 605,
die die Signalleitung 40 überspreizen. Beide Enden
jedes passiven Elements sind auf der Erdleitung 120 befestigt.
Die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 enthalten
jeweils flexible Teile 215, 315, 415, 515, 615.
Jedes Ende jedes passiven Elements ist mit einem Ende einer Leistungszuführungsleitung 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656 verbunden.
Jede Leistungszuführungsleitung 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656 enthält
eine Leitung, die eine Bezugsspannung liefert, und eine Leitung,
die eine Spannung entsprechend der zugeführten Leistung liefert.
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Wie
in 2 gezeigt ist, sind die fünf passiven
Elemente 205, 305, 405, 505, 605 in
der Signalleitung 40 mit einem zwischen jedem passiven
Element geöffneten Raum vorgesehen. Die Größe
des Raums zwischen jedem passiven Element ist unterschiedlich. Beispielsweise
ist der Raum zwischen dem passiven Element 205 und dem
passiven Element 305, der in 2 durch
L1 gezeigt ist, unterschiedlich gegenüber dem Raum zwischen
dem passiven Element 305 und dem passiven Element 405, der
durch L2 gezeigt ist. Jeder Raum zwischen Paaren von benachbarten
passiven Elementen ist unterschiedlich, wie durch L1 bis L4 gezeigt
ist. Diese Räume L1 bis L4 können zufällig
unterschiedlich sein, oder sie können in der Reihenfolge
von L1 bis L4 aufeinanderfolgend größer sein.
Da die Impedanz jeder Längeneinheit der Signalleitung bei
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel im Wesentlichen gleich ist,
ist die Impedanz zwischen jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 unterschiedlich
gemäß dem entsprechenden Intervall L1 bis L4.
Demgemäß ist die elektrische Länge zwischen
jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 unterschiedlich.
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3 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A und betrachtet aus
einer Richtung B in 2. 3 zeigt
einen Zustand, in welchem keine Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert
wird. Das flexible Teil 415 des passiven Elements 405 enthält
Stützen 420, die als Pfosten geformt und auf dem Erdleiter 120 an
beiden Enden der Signalleitung 40 befestigt sind, und einen
Arm 430, dessen beide Enden auf den Stützen 420 befestigt
sind. Der Arm 430 überspannt die Signalleitung 40 in
einem bestimmten Abstand oberhalb der Signalleitung 40 und
der Erdleitung 120.
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Der
Arm 430 ist eine flache Platte mit einer oberen und einer
unteren Oberfläche, die im Wesentlichen zu den oberen Oberflächen
der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 sind.
Die Breite der oberen Oberfläche des Arms 430 ist
an beiden Enden größer als in der Mitte, und piezoelektrische
Betätigungsglieder 450, 455 sind als
Blätter an beiden Enden der oberen Oberfläche
ausgebildet. Eine bewegbare Elektrode 440 mit einer gleichförmigen
Dicke ist in der Mitte der unteren Oberfläche des Arms 430 ausgebildet.
Dielektrische Körper 132, 134 sind musterförmig
auf Bereichen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120,
die der bewegbaren Elektrode 440 zugewandt sind, ausgebildet.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel haben die dielektrischen
Körper 132, 134 jeweils eine Dicke t,
und der Abstand zwischen den dielektrischen Körpern 132, 134 und
der bewegbaren Elektrode 440 beträgt d0, wie in 3 gezeigt
ist.
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Als
ein Beispiel ist die atmosphärische absolute Dielektrizitätskonstante
auf ε0 gesetzt, die absolute Dielektrizitätskonstante
des dielektrischen Körpers 134 und des dielektrischen
Körpers 132 ist auf ε1 gesetzt,
die jeweiligen Flächen des dielektrischen Körpers 134 und
des dielektrischen Körpers 132 sind auf S0 und S1 gesetzt,
und das flexible Teil 415 ist zwischen der Signalleitung 40 und
der Erdleitung 120 vorgesehen. Hier bezieht sich die Oberfläche
des dielektrischen Körpers 132 auf die Gesamtfläche
des dielektrischen Körpers 132, der auf beiden
Seiten der Signalleitung 40 auf dem Erdleiter 120 gebildet
ist. Unter diesen Bedingungen wird eine Kopplungskapazität
erzielt, die durch ε0ε1S0S1/{(ε1d0 + ε0t)S1 + (ε1d0 + ε0t)S0} ausgedrückt
werden kann.
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Die
Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 450,
die den Arm 430 berührt (nachfolgend als die "Kontaktfläche"
bezeichnet), und die freiliegende Oberfläche des piezoelektrischen
Betätigungsglieds 450 sind jeweils mit einer der
beiden Leitungen der Leistungszuführungsleitung 451 verbunden.
In derselben Weise sind die Oberfläche des piezoelektrischen
Betätigungsglieds 455, die den Arm 430 berührt, und
die freiliegende Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 455 jeweils
mit einer der beiden Leitungen der Leistungszuführungsleitung 456 verbunden.
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4 ist
eine Querschnittsansicht der Linie A-A und betrachtet aus einer
Richtung B in 2. 4 zeigt
einen Zustand, in welchem Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert
wird. Wenn Leistung zu den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455 auf
dem flexiblen Teil 415 des passiven Elements 405 über
die Leistungszuführungsleitungen 451, 456 geliefert
wird, wie in 4 gezeigt ist, biegen die piezoelektrischen
Betätigungsglieder 450, 455 sich jeweils
in Abhängigkeit von der Spannungsdifferenz zwischen der
Kontaktfläche und der freiliegenden Oberfläche.
Zu dieser Zeit biegt sich der die piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 berührende
Arm 430 zusammen mit den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455,
so dass die bewegbare Elektrode 440 auf der unteren Oberfläche des
Arms 430 die dielektrischen Körper 132, 134 an einer
Position nahe der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 berührt.
Die Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung 40 und
der Erdleitung 120 nimmt auf einen Wert zu, der durch ε0ε1S0S1/(ε0tS1 + ε0tS0) ausgedrückt
wird. Die Kopplungskapazität kann beispielsweise weiter
erhöht werden durch Verwenden eines Materials für
die dielektrischen Körper 132, 134, das
eine höhere absolute Dielektrizitätskonstante
hat.
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Auf
diese Weise liefert das passive Element 405 Leistung zu
den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455 auf
dem flexiblen Teil 415, um die piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 zu biegen.
Durch Biegen der piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 wird
die bewegbare Elektrode 440 nahe zu der Signalleitung 40 und
der Erdleitung 120 gebracht, wodurch die Kopplungskapazität
zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 erhöht
wird. Die vorstehende Beschreibung bezieht sich auf das passive
Element 405, aber die in der Signalleitung 40 vorgesehenen
passiven Elemente 205, 305, 505, 605 haben
dieselbe Konfiguration und können die Kopplungskapazität
zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 in
derselben Weise wie das passive Element 405 erhöhen.
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5 zeigt
eine Konfiguration der Verzögerungsleitung 100.
Jedes der in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 vorgesehenen
fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 bildet
eine von mehreren RC-Schaltungen 200, 300, 400, 500, 600 zwischen
jedem Widerstand 42, 43, 44, 45, 46 in der
Signalleitung 40. Demgemäß wird, wenn
beispielsweise ein Signal mit einer Impulswellenform über
die Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 übertragen
wird, eine Verzögerung in den Signal bewirkt durch Zuführen
von Leistung zu jedem flexiblen Teil 215, 315, 415, 515, 615 jedes
passiven Elements 205, 305, 405, 505, 605 gemäß einem
von der Steuerschaltung 30 vorgeschriebenen Zeitverhalten. Der
Betrag der Verzögerung bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
beträgt angenähert 1 ps für jedes passive
Element 205, 305, 405, 505, 605.
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Der
Betrag der Verzögerung des Signals, die durch jedes passive
Element 205, 305, 405, 505, 605 bewirkt
wird, hängt ab von (i) dem Widerstandswert des entsprechenden
Widerstands 42, 43, 44, 45, 46 und
(ii) dem Betrag der Kopplungskapazität jedes flexiblen
Teils 215, 315, 415, 515, 615 in
der RC-Schaltung 200, 300, 400, 500, 600,
die die passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 enthalten,
während Leistung zu dem flexiblen Teil 215, 315, 415, 515, 615 geliefert
wird. Demgemäß kann der Betrag der Verzögerung
des Signals durch Erhöhen der Kopplungskapazität
erhöht werden. Die Kopplungskapazitäten der passiven
Elemente 205, 305, 405, 505, 605 können
alle gleich oder jeweils unterschiedlich sein. In beiden Fällen
wählt die Steuerschaltung 30 vorgeschriebene passive
Elemente aus den fünf passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 aus,
die mit Leistung zu beliefern sind, auf der Grundlage des Betrags,
um den das Signal zu verzögern ist. Durch Zuführung
von Leistung zu den ausgewählten passiven Elementen kann
das Signal um mehrere unterschiedliche Beträge verzögert
werden.
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Da
jede Impedanz zwischen benachbarten Paaren von passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 in
der Verzögerungsleitung 100 unterschiedlich ist,
wie vorstehend beschrieben ist, ist die elektrische Länge
zwischen jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 auch
unterschiedlich. Demgemäß werden, wenn die Steuerschaltung 30 drei
oder mehr der fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605,
zu denen Leistung zu liefern ist, auswählt, Reflexionssignale,
die sich durch Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals
durch jedes der ausgewählten passiven Elemente ergeben,
in der Signalleitung 40 bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert.
Demgemäß schwächen die Reflexionssignale
einander, und es ist daher weniger wahrscheinlich, dass sie Störungen über
die Frequenzkomponenten des Signals überlagern.
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Die
fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind
wünschenswert in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 wiederholt
vorgesehen, wie in 2 gezeigt ist. Eine größere
Anzahl von RC-Schaltungen kann in der Signalleitung 40 unter Verwendung
dieser Konfiguration gebildet werden, da die Steuerschaltung 30 selektiv
Leistung zu fünf oder mehr passiven Elementen liefern kann.
Demgemäß ist es wahrscheinlicher, dass die Reflexionssignale,
die sich durch die Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen
Signals durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben,
bei unterschiedlichen Phasen in der Signalleitung 40 einander überlagert
werden. Daher ist es wahrscheinlicher, dass die Reflexionssignale
einander schwächen. Aus diesem Grund ist es wünschenswert,
eine große Anzahl von passiven Elementen in der Signalleitung 40 zu
haben.
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Die
flexiblen Teile 215, 315, 415, 515, 615 der
passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind vorstehend
beispielhaft als das flexible Teil 415 verwendend beschrieben,
aber die vorliegende Erfindung ist nicht auf eine Konfiguration
beschränkt, bei der die bewegbare Elektrode 440 des
flexiblen Teils 415 nahe zu der Signalleitung 40 und
der Erdleitung 120 auf beiden Seiten gebracht wird. Beispielsweise ist
die bewegbare Elektrode 440 des flexiblen Teils 415 entweder
an der Signalleitung 40 oder der Erdleitung 120 befestigt,
um eine kontaktierende Leitung mit dieser zu erzielen, und sie wird
nahe der anderen gebracht, um die Kopplungskapazität zu
erhöhen.
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Die
in der Verzögerungsleitung 100 vorgesehenen passiven
Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind
im Wesentlichen identisch mit Kondensatoren, wenn ihnen von der
Steuerschaltung 30 Leistung zugeführt wird.
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Auf
diese Weise kann die Verzögerungsleitung 100 das
auf der Signalleitung 40 übertragene Signal unter
Verwendung der aus den Kondensatoren und Widerständen bestehenden
RC-Schaltungen 200, 300, 400, 500, 600 verzögern.
Andererseits kann, wenn die Verzögerungsleitung 100 aktive
Elemente wie Transistoren verwendet, die Wellenform des in der Signalleitung 40 übertragenen
Signals in unerwünschter Weise geändert werden.
Da jedoch die Verzögerungsleitung 100 nach dem
vorliegenden Ausführungsbeispiel passive Elemente verwendet, kann
die Verzögerungsleitung 100 das in der Signalleitung übertragene
Signal ohne Änderung der Wellenform des Signals übertragen.
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6 zeigt
eine Konfiguration einer Verzögerungsleitung 101 als
ein anderes Ausführungsbeispiel der Verzögerungsleitung 100.
In 6 haben Konfigurationen der Verzögerungsleitung 101,
die identisch mit denjenigen der Verzögerungsleitung 100 sind,
dieselben Bezugszahlen, und ihre Beschreibung wird weggelassen.
Die Verzögerungsleitung 101 enthält fünf
passive Elemente 206, 306, 406, 506, 606,
die mit der Signalleitung 40 verbunden sind. Die fünf
passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 enthalten
jeweils (i) Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616,
die zwischen die Signalleitung 40 und die Erdleitung 120 geschaltet
sind, und (ii) Schalter 226, 326, 426, 526, 626,
die die Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 mit/von
der Signalleitung 40 verbinden oder trennen.
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Die
Steuerschaltung 30 ist elektrisch mit den Schaltern 226, 326, 426, 526, 626 verbunden
und kann unabhängig jeden dieser Schalter verbinden oder
trennen. Wenn die Steuerschaltung 30 die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 so
verbindet, dass die Sig nalleitung 40 und die Erdleitung 120 über
jeden Kondensator 216, 316, 416, 516, 616 elektrisch verbunden
sind, bildet jedes der fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 die
jeweilige RC-Schaltung 201, 301, 401, 501, 601 zwischen
jedem Paar der Widerstände 42, 43, 44, 45, 46.
Demgemäß kann, wenn das Signal mit beispielsweise
einer Impulswellenform in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 101 übertragen
wird, die Steuerschaltung 30 das Signal durch Auswählen
vorgeschriebener Schalter mit einem spezifizierten Zeitverhalten
aus den Schaltern 226, 326, 426, 526, 626 der passiven
Elemente 206, 306, 406, 506, 606 verzögern.
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Der
Betrag der in dem Signal durch jedes passive Element 206, 306, 406, 506, 606 bewirkten Verzögerung
hängt von dem Widerstandswert des entsprechenden Widerstands 42, 43, 44, 45, 46 und der
Kapazität des entsprechenden Kondensators 216, 316, 416, 516, 616 in
der RC-Schaltung 201, 301, 401, 501, 601,
die das passive Element 206, 306, 406, 506, 606 enthält,
ab. Demgemäß kann der durch jedes passive Element 206, 306, 406, 506, 606 bewirkte
Verzögerungsbetrag in dem Signal beispielsweise durch Vergrößern
der Kapazität der Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 erhöht
werden.
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Die
Kapazitäten der Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 können
alle gleich oder jeweils unterschiedlich sein. In beiden Fällen
kann das Signal um verschiedene Beträge verzögert
werden, da die Steuerschaltung 30 die vorgeschriebenen
passiven Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 gemäß den
gewünschten Verzögerungsbeträgen des
Signals auswählt und die entsprechenden Schalter verbindet.
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Die
fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der
Verzögerungsleitung 101 sind in der Signalleitung 40 mit
Abständen zwischen jedem passiven Element vorgesehen, und
diese Abstände können jeweils unterschiedlich
sein, in derselben Weise wie die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 der
Verzögerungsleitung 100. Wenn daher die Steuerschaltung 30 drei
oder mehr passive Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 auswählt
und die entsprechenden Schalter verbindet, werden die Reflexionssignale,
die sich durch die Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen
Signals durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben,
mit unterschiedlichen Phasen in der Signalleitung 40 einander überlagert.
Demgemäß schwächen die Reflexionssignale
einander, und daher ist es weniger wahrscheinlich, dass sie sich
zu einer Störung der Frequenzkomponenten des Signals überlagern.
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Die
fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der
Verzögerungsleitung 101 können in gleichförmigen
Abständen in der Signalleitung 40 vorgesehen sein.
In diesem Fall wählt die Steuerschaltung 30 drei
oder mehr passive Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 derart
aus, dass jeder Abstand zwischen Paaren der ausgewählten
passiven Elemente unterschiedlich ist. Die Steuerschaltung 30 verbindet
dann die Schalter entsprechend den ausgewählten passiven
Elementen, so dass die Reflexionssignale, die sich durch Reflexion
des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals
durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben, bei unterschiedlichen
Phasen einander überlagert werden. Demgemäß schwächen
die Reflexionssignale einander, und es ist daher weniger wahrscheinlich,
dass sie sich zu einer Störung über die Frequenzkomponenten
des Signals überlagern.
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Die
passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der
Verzögerungsleitung 101 enthalten die Schalter 226, 326, 426, 526, 626,
die unabhängig die jeweiligen Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 verbinden
oder trennen können. Mit dieser Konfiguration können
die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 der
passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 an unterschiedlichen
Stellen in der Verzögerungsleitung 101 vorgesehen
sein, wodurch die Freiheit beim Entwerfen des Prüfsignalgenerators 10 vergrößert
wird. Transistoren, piezoelektrische Schalter oder MEMS-Schalter
können als die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 verwendet
werden.
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Die
passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der
Verzögerungsleitung 101 sind mit den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 versehen,
wie vorstehend beschrieben ist. Daher kann die Verzögerungsleitung 101 das
in der Signalleitung 40 übertragene Signal unter
Verwendung der RC-Schaltungen 201, 301, 401, 501, 601 verzögern,
die aus den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 und
den Widerständen 42, 43, 44, 45, 46 bestehen.
Andererseits kann, wenn aktive Elemente wie Transistoren in der Verzögerungsleitung 101 verwendet
werden, die Wellenform des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals
in unerwünschter Weise geändert werden. Da die
Verzögerungsleitung 101 passive Elemente verwendet,
kann die Verzögerungsleitung 101 das in der Signalleitung 40 übertragene
Signal ohne Änderung der Wellenform des Signals verzögern.
In der Verzögerungsleitung 101 können
induktive Elemente wie Spulen in der Signalleitung 40 an
den Positionen der Widerstände 42, 43, 44, 45, 46 vorgesehen
sein. Mit dieser Konfiguration kann der Betrag der Verzögerung
in dem Signal, die durch aus den induktiven Elementen und den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 gebildeten
LC-Schaltungen bewirkt wird, geändert werden durch Änderung
des Induktivitätswertes der induktiven Elemente.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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