DE102008034121A1 - Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung - Google Patents

Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE102008034121A1
DE102008034121A1 DE102008034121A DE102008034121A DE102008034121A1 DE 102008034121 A1 DE102008034121 A1 DE 102008034121A1 DE 102008034121 A DE102008034121 A DE 102008034121A DE 102008034121 A DE102008034121 A DE 102008034121A DE 102008034121 A1 DE102008034121 A1 DE 102008034121A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signal
line
delay
passive elements
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102008034121A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoto Nakamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE102008034121A1 publication Critical patent/DE102008034121A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/30Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
    • G01R31/3016Delay or race condition test, e.g. race hazard test
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31922Timing generation or clock distribution
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
    • G01R31/31937Timing aspects, e.g. measuring propagation delay
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/30Time-delay networks

Abstract

Es ist eine Verzögerungsleitung (100) vorgesehen, die verhindert, dass von einem Prüfsignalgenerator (10) ausgegebene Reflexionssignale als Störung überlagert werden. Die Verzögerungsleitung verzögert ein elektrisches Signal, das in eine Signalleitung (40) eingegeben ist, und gibt das so verzögerte Signal aus, und sie enthält drei oder mehr passive Elemente, die in der Signalleitung vorgesehen sind und das Signal verzögern. Jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen hat eine unterschiedliche elektrische Länge. Die von den passiven Elementen reflektierten Reflexionssignale werden bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert. Es ist erwünscht, dass die durch benachbarte passive Elemente reflektierten Reflexionssignale sich um 180° unterscheiden.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verzögerungsleitung, ein Signalverzögerungsverfahren und eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Verzögerungsleitung, ein Signalverzögerungsverfahren und eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung zum Verzögern eines zu einer geprüften Vorrichtung gelieferten digitalen Signals.
  • Stand der Technik
  • Ein Prüfwellenformgenerator, der ein digitales Signal zum Prüfen des Leistungsvermögens eines Halbleiters zu einer Prüfvorrichtung liefert, ist beispielsweise aus der japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 2001-162288 bekannt. Dieser Prüfwellenformgenerator ist mit einer RC-Schaltung in einer das digitale Signal zu der geprüften Vorrichtung liefernden Übertragungsleitung versehen. Der Prüfwellenformgenerator kann eine hervorgehobene Komponente zu der Wellenform des digitalen Signals hinzufügen.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Durch die Erfindung zu lösende Probleme
  • Bei diesem Prüfwellenformgenerator ist das variable Kapazitätselement der RC-Schaltung geerdet, wodurch bewirkt wird, dass ein Teil des durch die RC-Schaltung hindurchgehenden digitalen Signals durch die RC-Schaltung reflektiert wird, was zu einem Überlappen mit dem digitalen Signal in der Übertragungsleitung führt. Diese Reflexion überlagert eine unnötige Störkomponente über das digitale Signal.
  • Mittel zum Lösen der Probleme
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Verzögerungsleitung vorgesehen, die ein in eine Signalleitung eingegebenes elektrisches Signal verzögert und das so verzögerte Signal ausgibt, enthaltend drei oder mehr passive Elemente, die in der Signalleitung vorgesehen sind und das Signal verzögern. Jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen hat eine unterschiedliche elektrische Länge.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Verzögern eines Signals durch Auswählen eines Satzes von drei oder mehr passiven Elementen aus in einer Signalleitung vorgesehenen passiven Elementen, um ein in die Signalleitung eingegebenes elektrisches Signal zu verzögern, vorgesehen. Die drei oder mehr passiven Elemente werden so ausgewählt, dass jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen den ausgewählten passiven Elementen eine unterschiedliche elektrische Länge hat.
  • Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung vorgesehen, enthaltend eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Signal zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung erzeugt und das Signal in eine Signalleitung eingibt, und eine Verzögerungsleitung, die ein in die Signalverzögerungsleitung eingegebenes elektrisches Signal verzögert und das sich ergebende Signal ausgibt. Die Verzögerungsleitung enthält drei oder mehr passive Elemente, die in der Signalleitung vorgesehen sind und die das Signal verzögern, und jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen hat eine unterschiedliche elektrische Länge.
  • Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorstehend beschriebenen Merkmale sein. Die vorgenannten und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher anhand der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
  • Wie aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, wird durch Verwenden der Verzögerungsleitung gemäß der vorliegenden Erfindung in einem Signalgenerator verhindert, dass von einem Prüfsignalgenerator ausgegebene Reflexionssignale als Störungen überlagert werden. Wenn drei oder mehr passive Elemente zur Verzögerung des Signals ausgewählt werden, können die passiven Elemente so ausgewählt werden, dass jeder Abstand zwischen benachbarten passiven Elementen unterschiedlich ist. Auf diese Weise werden die durch die ausgewählten passiven Elemente reflektierten Reflexionssignale bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert, so dass die Reflexionssignale einander schwächen. Demgemäß wird die Stärke der Reflexionssignale herabgesetzt.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Prüfsignalgenerators 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 2 ist eine Overheadansicht der Verzögerungsleitung 100.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in 2, die einen Zustand zeigt, in welchem keine Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert wird.
  • 4 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in 2, die einen Zustand zeigt, in welchem Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert wird.
  • 5 zeigt eine Konfiguration der Verzögerungsleitung 100.
  • 6 zeigt eine Konfiguration einer Verzögerungsleitung 101 als ein anderes Ausführungsbeispiel der Verzögerungsleitung 100.
  • Beste Art der Ausführung der Erfindung
  • Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsbeispiele begrenzen die Erfindung entsprechend den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
  • 1 ist ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Prüfsignalgenerators 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Prüfsignalgenerator 10 liefert ein digitales Signal zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung 50. Der Prüfsignalgenerator 10 ist mit einer Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20, einer Steuerschaltung 30, einer Signalleitung 40 und einer Verzögerungsleitung 100 versehen.
  • Die Signalleitung 40 verbindet elektrisch einen Ausgangsanschluss 21 der Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 mit einem Eingangsanschluss 51 der geprüften Vorrichtung 50. Die Verzögerungsleitung 100 ist in der Signalleitung 40 vorgesehen. Die Steuerschaltung 30 ist elektrisch mit der Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 verbunden, und sie ist auch elektrisch mit passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 der Verzögerungsleitung 100 über Leistungszuführungsleitungen 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656, die nachfolgend beschrieben werden, verbunden. Die Digitalsignal-Erzeugungsschaltung 20 erzeugt das Digitalsignal zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 50 gemäß einem Befehl von der Steuerschaltung 30, und der Prüfsignalgenerator 10 gibt dieses Digitalsignal über die Signalleitung 40 zu der geprüften Vorrichtung 50 aus.
  • 2 ist eine Overheadansicht der Verzögerungsleitung 100. Die Verzögerungsleitung 100 enthält ein Substrat 110, auf dem die Signalleitung 40 durch Musterbildung angeordnet ist, eine Erdleitung 120, die auf beiden Seiten der Signalleitung 40 mit einem zwischen ihnen geöffneten Raum durch Musterbildung vorgesehen ist, und fünf passive Elemente 205, 305, 405, 505, 605, die die Signalleitung 40 überspreizen. Beide Enden jedes passiven Elements sind auf der Erdleitung 120 befestigt. Die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 enthalten jeweils flexible Teile 215, 315, 415, 515, 615. Jedes Ende jedes passiven Elements ist mit einem Ende einer Leistungszuführungsleitung 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656 verbunden. Jede Leistungszuführungsleitung 251, 256, 351, 356, 451, 456, 551, 556, 651, 656 enthält eine Leitung, die eine Bezugsspannung liefert, und eine Leitung, die eine Spannung entsprechend der zugeführten Leistung liefert.
  • Wie in 2 gezeigt ist, sind die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 in der Signalleitung 40 mit einem zwischen jedem passiven Element geöffneten Raum vorgesehen. Die Größe des Raums zwischen jedem passiven Element ist unterschiedlich. Beispielsweise ist der Raum zwischen dem passiven Element 205 und dem passiven Element 305, der in 2 durch L1 gezeigt ist, unterschiedlich gegenüber dem Raum zwischen dem passiven Element 305 und dem passiven Element 405, der durch L2 gezeigt ist. Jeder Raum zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen ist unterschiedlich, wie durch L1 bis L4 gezeigt ist. Diese Räume L1 bis L4 können zufällig unterschiedlich sein, oder sie können in der Reihenfolge von L1 bis L4 aufeinanderfolgend größer sein. Da die Impedanz jeder Längeneinheit der Signalleitung bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel im Wesentlichen gleich ist, ist die Impedanz zwischen jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 unterschiedlich gemäß dem entsprechenden Intervall L1 bis L4. Demgemäß ist die elektrische Länge zwischen jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 unterschiedlich.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A und betrachtet aus einer Richtung B in 2. 3 zeigt einen Zustand, in welchem keine Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert wird. Das flexible Teil 415 des passiven Elements 405 enthält Stützen 420, die als Pfosten geformt und auf dem Erdleiter 120 an beiden Enden der Signalleitung 40 befestigt sind, und einen Arm 430, dessen beide Enden auf den Stützen 420 befestigt sind. Der Arm 430 überspannt die Signalleitung 40 in einem bestimmten Abstand oberhalb der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120.
  • Der Arm 430 ist eine flache Platte mit einer oberen und einer unteren Oberfläche, die im Wesentlichen zu den oberen Oberflächen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 sind. Die Breite der oberen Oberfläche des Arms 430 ist an beiden Enden größer als in der Mitte, und piezoelektrische Betätigungsglieder 450, 455 sind als Blätter an beiden Enden der oberen Oberfläche ausgebildet. Eine bewegbare Elektrode 440 mit einer gleichförmigen Dicke ist in der Mitte der unteren Oberfläche des Arms 430 ausgebildet. Dielektrische Körper 132, 134 sind musterförmig auf Bereichen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120, die der bewegbaren Elektrode 440 zugewandt sind, ausgebildet. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel haben die dielektrischen Körper 132, 134 jeweils eine Dicke t, und der Abstand zwischen den dielektrischen Körpern 132, 134 und der bewegbaren Elektrode 440 beträgt d0, wie in 3 gezeigt ist.
  • Als ein Beispiel ist die atmosphärische absolute Dielektrizitätskonstante auf ε0 gesetzt, die absolute Dielektrizitätskonstante des dielektrischen Körpers 134 und des dielektrischen Körpers 132 ist auf ε1 gesetzt, die jeweiligen Flächen des dielektrischen Körpers 134 und des dielektrischen Körpers 132 sind auf S0 und S1 gesetzt, und das flexible Teil 415 ist zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 vorgesehen. Hier bezieht sich die Oberfläche des dielektrischen Körpers 132 auf die Gesamtfläche des dielektrischen Körpers 132, der auf beiden Seiten der Signalleitung 40 auf dem Erdleiter 120 gebildet ist. Unter diesen Bedingungen wird eine Kopplungskapazität erzielt, die durch ε0ε1S0S1/{(ε1d0 + ε0t)S1 + (ε1d0 + ε0t)S0} ausgedrückt werden kann.
  • Die Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 450, die den Arm 430 berührt (nachfolgend als die "Kontaktfläche" bezeichnet), und die freiliegende Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 450 sind jeweils mit einer der beiden Leitungen der Leistungszuführungsleitung 451 verbunden. In derselben Weise sind die Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 455, die den Arm 430 berührt, und die freiliegende Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 455 jeweils mit einer der beiden Leitungen der Leistungszuführungsleitung 456 verbunden.
  • 4 ist eine Querschnittsansicht der Linie A-A und betrachtet aus einer Richtung B in 2. 4 zeigt einen Zustand, in welchem Leistung zu dem passiven Element 405 geliefert wird. Wenn Leistung zu den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455 auf dem flexiblen Teil 415 des passiven Elements 405 über die Leistungszuführungsleitungen 451, 456 geliefert wird, wie in 4 gezeigt ist, biegen die piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 sich jeweils in Abhängigkeit von der Spannungsdifferenz zwischen der Kontaktfläche und der freiliegenden Oberfläche. Zu dieser Zeit biegt sich der die piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 berührende Arm 430 zusammen mit den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455, so dass die bewegbare Elektrode 440 auf der unteren Oberfläche des Arms 430 die dielektrischen Körper 132, 134 an einer Position nahe der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 berührt. Die Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 nimmt auf einen Wert zu, der durch ε0ε1S0S1/(ε0tS1 + ε0tS0) ausgedrückt wird. Die Kopplungskapazität kann beispielsweise weiter erhöht werden durch Verwenden eines Materials für die dielektrischen Körper 132, 134, das eine höhere absolute Dielektrizitätskonstante hat.
  • Auf diese Weise liefert das passive Element 405 Leistung zu den piezoelektrischen Betätigungsgliedern 450, 455 auf dem flexiblen Teil 415, um die piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 zu biegen. Durch Biegen der piezoelektrischen Betätigungsglieder 450, 455 wird die bewegbare Elektrode 440 nahe zu der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 gebracht, wodurch die Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 erhöht wird. Die vorstehende Beschreibung bezieht sich auf das passive Element 405, aber die in der Signalleitung 40 vorgesehenen passiven Elemente 205, 305, 505, 605 haben dieselbe Konfiguration und können die Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 in derselben Weise wie das passive Element 405 erhöhen.
  • 5 zeigt eine Konfiguration der Verzögerungsleitung 100. Jedes der in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 vorgesehenen fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 bildet eine von mehreren RC-Schaltungen 200, 300, 400, 500, 600 zwischen jedem Widerstand 42, 43, 44, 45, 46 in der Signalleitung 40. Demgemäß wird, wenn beispielsweise ein Signal mit einer Impulswellenform über die Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 übertragen wird, eine Verzögerung in den Signal bewirkt durch Zuführen von Leistung zu jedem flexiblen Teil 215, 315, 415, 515, 615 jedes passiven Elements 205, 305, 405, 505, 605 gemäß einem von der Steuerschaltung 30 vorgeschriebenen Zeitverhalten. Der Betrag der Verzögerung bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beträgt angenähert 1 ps für jedes passive Element 205, 305, 405, 505, 605.
  • Der Betrag der Verzögerung des Signals, die durch jedes passive Element 205, 305, 405, 505, 605 bewirkt wird, hängt ab von (i) dem Widerstandswert des entsprechenden Widerstands 42, 43, 44, 45, 46 und (ii) dem Betrag der Kopplungskapazität jedes flexiblen Teils 215, 315, 415, 515, 615 in der RC-Schaltung 200, 300, 400, 500, 600, die die passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 enthalten, während Leistung zu dem flexiblen Teil 215, 315, 415, 515, 615 geliefert wird. Demgemäß kann der Betrag der Verzögerung des Signals durch Erhöhen der Kopplungskapazität erhöht werden. Die Kopplungskapazitäten der passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 können alle gleich oder jeweils unterschiedlich sein. In beiden Fällen wählt die Steuerschaltung 30 vorgeschriebene passive Elemente aus den fünf passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 aus, die mit Leistung zu beliefern sind, auf der Grundlage des Betrags, um den das Signal zu verzögern ist. Durch Zuführung von Leistung zu den ausgewählten passiven Elementen kann das Signal um mehrere unterschiedliche Beträge verzögert werden.
  • Da jede Impedanz zwischen benachbarten Paaren von passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 in der Verzögerungsleitung 100 unterschiedlich ist, wie vorstehend beschrieben ist, ist die elektrische Länge zwischen jedem Paar von benachbarten passiven Elementen 205, 305, 405, 505, 605 auch unterschiedlich. Demgemäß werden, wenn die Steuerschaltung 30 drei oder mehr der fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605, zu denen Leistung zu liefern ist, auswählt, Reflexionssignale, die sich durch Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals durch jedes der ausgewählten passiven Elemente ergeben, in der Signalleitung 40 bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert. Demgemäß schwächen die Reflexionssignale einander, und es ist daher weniger wahrscheinlich, dass sie Störungen über die Frequenzkomponenten des Signals überlagern.
  • Die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind wünschenswert in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 100 wiederholt vorgesehen, wie in 2 gezeigt ist. Eine größere Anzahl von RC-Schaltungen kann in der Signalleitung 40 unter Verwendung dieser Konfiguration gebildet werden, da die Steuerschaltung 30 selektiv Leistung zu fünf oder mehr passiven Elementen liefern kann. Demgemäß ist es wahrscheinlicher, dass die Reflexionssignale, die sich durch die Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben, bei unterschiedlichen Phasen in der Signalleitung 40 einander überlagert werden. Daher ist es wahrscheinlicher, dass die Reflexionssignale einander schwächen. Aus diesem Grund ist es wünschenswert, eine große Anzahl von passiven Elementen in der Signalleitung 40 zu haben.
  • Die flexiblen Teile 215, 315, 415, 515, 615 der passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind vorstehend beispielhaft als das flexible Teil 415 verwendend beschrieben, aber die vorliegende Erfindung ist nicht auf eine Konfiguration beschränkt, bei der die bewegbare Elektrode 440 des flexiblen Teils 415 nahe zu der Signalleitung 40 und der Erdleitung 120 auf beiden Seiten gebracht wird. Beispielsweise ist die bewegbare Elektrode 440 des flexiblen Teils 415 entweder an der Signalleitung 40 oder der Erdleitung 120 befestigt, um eine kontaktierende Leitung mit dieser zu erzielen, und sie wird nahe der anderen gebracht, um die Kopplungskapazität zu erhöhen.
  • Die in der Verzögerungsleitung 100 vorgesehenen passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 sind im Wesentlichen identisch mit Kondensatoren, wenn ihnen von der Steuerschaltung 30 Leistung zugeführt wird.
  • Auf diese Weise kann die Verzögerungsleitung 100 das auf der Signalleitung 40 übertragene Signal unter Verwendung der aus den Kondensatoren und Widerständen bestehenden RC-Schaltungen 200, 300, 400, 500, 600 verzögern. Andererseits kann, wenn die Verzögerungsleitung 100 aktive Elemente wie Transistoren verwendet, die Wellenform des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals in unerwünschter Weise geändert werden. Da jedoch die Verzögerungsleitung 100 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel passive Elemente verwendet, kann die Verzögerungsleitung 100 das in der Signalleitung übertragene Signal ohne Änderung der Wellenform des Signals übertragen.
  • 6 zeigt eine Konfiguration einer Verzögerungsleitung 101 als ein anderes Ausführungsbeispiel der Verzögerungsleitung 100. In 6 haben Konfigurationen der Verzögerungsleitung 101, die identisch mit denjenigen der Verzögerungsleitung 100 sind, dieselben Bezugszahlen, und ihre Beschreibung wird weggelassen. Die Verzögerungsleitung 101 enthält fünf passive Elemente 206, 306, 406, 506, 606, die mit der Signalleitung 40 verbunden sind. Die fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 enthalten jeweils (i) Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616, die zwischen die Signalleitung 40 und die Erdleitung 120 geschaltet sind, und (ii) Schalter 226, 326, 426, 526, 626, die die Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 mit/von der Signalleitung 40 verbinden oder trennen.
  • Die Steuerschaltung 30 ist elektrisch mit den Schaltern 226, 326, 426, 526, 626 verbunden und kann unabhängig jeden dieser Schalter verbinden oder trennen. Wenn die Steuerschaltung 30 die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 so verbindet, dass die Sig nalleitung 40 und die Erdleitung 120 über jeden Kondensator 216, 316, 416, 516, 616 elektrisch verbunden sind, bildet jedes der fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 die jeweilige RC-Schaltung 201, 301, 401, 501, 601 zwischen jedem Paar der Widerstände 42, 43, 44, 45, 46. Demgemäß kann, wenn das Signal mit beispielsweise einer Impulswellenform in der Signalleitung 40 der Verzögerungsleitung 101 übertragen wird, die Steuerschaltung 30 das Signal durch Auswählen vorgeschriebener Schalter mit einem spezifizierten Zeitverhalten aus den Schaltern 226, 326, 426, 526, 626 der passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 verzögern.
  • Der Betrag der in dem Signal durch jedes passive Element 206, 306, 406, 506, 606 bewirkten Verzögerung hängt von dem Widerstandswert des entsprechenden Widerstands 42, 43, 44, 45, 46 und der Kapazität des entsprechenden Kondensators 216, 316, 416, 516, 616 in der RC-Schaltung 201, 301, 401, 501, 601, die das passive Element 206, 306, 406, 506, 606 enthält, ab. Demgemäß kann der durch jedes passive Element 206, 306, 406, 506, 606 bewirkte Verzögerungsbetrag in dem Signal beispielsweise durch Vergrößern der Kapazität der Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 erhöht werden.
  • Die Kapazitäten der Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 können alle gleich oder jeweils unterschiedlich sein. In beiden Fällen kann das Signal um verschiedene Beträge verzögert werden, da die Steuerschaltung 30 die vorgeschriebenen passiven Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 gemäß den gewünschten Verzögerungsbeträgen des Signals auswählt und die entsprechenden Schalter verbindet.
  • Die fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der Verzögerungsleitung 101 sind in der Signalleitung 40 mit Abständen zwischen jedem passiven Element vorgesehen, und diese Abstände können jeweils unterschiedlich sein, in derselben Weise wie die fünf passiven Elemente 205, 305, 405, 505, 605 der Verzögerungsleitung 100. Wenn daher die Steuerschaltung 30 drei oder mehr passive Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 auswählt und die entsprechenden Schalter verbindet, werden die Reflexionssignale, die sich durch die Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben, mit unterschiedlichen Phasen in der Signalleitung 40 einander überlagert. Demgemäß schwächen die Reflexionssignale einander, und daher ist es weniger wahrscheinlich, dass sie sich zu einer Störung der Frequenzkomponenten des Signals überlagern.
  • Die fünf passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der Verzögerungsleitung 101 können in gleichförmigen Abständen in der Signalleitung 40 vorgesehen sein. In diesem Fall wählt die Steuerschaltung 30 drei oder mehr passive Elemente aus den fünf passiven Elementen 206, 306, 406, 506, 606 derart aus, dass jeder Abstand zwischen Paaren der ausgewählten passiven Elemente unterschiedlich ist. Die Steuerschaltung 30 verbindet dann die Schalter entsprechend den ausgewählten passiven Elementen, so dass die Reflexionssignale, die sich durch Reflexion des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals durch die ausgewählten passiven Elemente ergeben, bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert werden. Demgemäß schwächen die Reflexionssignale einander, und es ist daher weniger wahrscheinlich, dass sie sich zu einer Störung über die Frequenzkomponenten des Signals überlagern.
  • Die passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der Verzögerungsleitung 101 enthalten die Schalter 226, 326, 426, 526, 626, die unabhängig die jeweiligen Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 verbinden oder trennen können. Mit dieser Konfiguration können die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 der passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 an unterschiedlichen Stellen in der Verzögerungsleitung 101 vorgesehen sein, wodurch die Freiheit beim Entwerfen des Prüfsignalgenerators 10 vergrößert wird. Transistoren, piezoelektrische Schalter oder MEMS-Schalter können als die Schalter 226, 326, 426, 526, 626 verwendet werden.
  • Die passiven Elemente 206, 306, 406, 506, 606 der Verzögerungsleitung 101 sind mit den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 versehen, wie vorstehend beschrieben ist. Daher kann die Verzögerungsleitung 101 das in der Signalleitung 40 übertragene Signal unter Verwendung der RC-Schaltungen 201, 301, 401, 501, 601 verzögern, die aus den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 und den Widerständen 42, 43, 44, 45, 46 bestehen. Andererseits kann, wenn aktive Elemente wie Transistoren in der Verzögerungsleitung 101 verwendet werden, die Wellenform des in der Signalleitung 40 übertragenen Signals in unerwünschter Weise geändert werden. Da die Verzögerungsleitung 101 passive Elemente verwendet, kann die Verzögerungsleitung 101 das in der Signalleitung 40 übertragene Signal ohne Änderung der Wellenform des Signals verzögern. In der Verzögerungsleitung 101 können induktive Elemente wie Spulen in der Signalleitung 40 an den Positionen der Widerstände 42, 43, 44, 45, 46 vorgesehen sein. Mit dieser Konfiguration kann der Betrag der Verzögerung in dem Signal, die durch aus den induktiven Elementen und den Kondensatoren 216, 316, 416, 516, 616 gebildeten LC-Schaltungen bewirkt wird, geändert werden durch Änderung des Induktivitätswertes der induktiven Elemente.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2001-162288 [0002]

Claims (10)

  1. Verzögerungsleitung, die ein in eine Signalleitung eingegebenes elektrisches Signal verzögert und das so verzögerte Signal ausgibt, welche aufweist: drei oder mehr passive Elemente, die in der Signalleitung vorgesehen sind und die das Signal verzögern, wobei jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen eine unterschiedliche elektrische Länge hat.
  2. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen eine unterschiedliche Impedanz hat.
  3. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jedes passive Element das Signal reflektiert, um ein Reflexionssignal zu schaffen, derart, dass die Reflexionssignale bei unterschiedlichen Phasen einander überlagert werden, um einander zu schwächen.
  4. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jedes passive Element ein flexibles Teil enthält, das der Signalleitung und einer Erdleitung nahe gebracht wird, um eine Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung und der Erdleitung zu erhöhen, um das Signal zu verzögern.
  5. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jedes passive Element ein flexibles Teil enthält, das zumindest mit der Signalleitung oder einer Erdleitung verbunden ist und nahe der anderen gebracht wird, um eine Kopplungskapazität zwischen der Signalleitung und der Erdleitung zu erhöhen, um das Signal zu verzögern.
  6. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jedes passive Element einen Schalter enthält, der bestimmt, ob das Signal durch das entsprechende passive Element verzögert wird.
  7. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1, bei der jedes passive Element enthält: einen Kondensator, der zwischen die Signalleitung und eine Erdleitung geschaltet ist; und einen Schalter, der eine elektrische Verbindung zwischen dem Kondensator und der Signalleitung oder zwischen dem Kondensator und der Erdleitung herstellt oder trennt.
  8. Verfahren zum Verzögern eines Signals durch Auswählen eines Satzes von drei oder mehr passiven Elementen aus passiven Elementen, die in einer Signalleitung vorgesehen sind, um ein in die Signalleitung eingegebenes elektrisches Signal zu verzögern, wobei die drei oder mehr passiven Elemente so ausgewählt werden, dass jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen den ausgewählten passiven Elementen eine unterschiedliche elektrische Länge hat.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die drei oder mehr passiven Elemente so ausgewählt werden, dass jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen den ausgewählten passiven Elementen eine unterschiedliche Impedanz hat.
  10. Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung, welche aufweist: eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Signal zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung erzeugt und das Signal in eine Signalleitung eingibt; und eine Verzögerungsleitung, die ein in die Signalverzögerungsleitung eingegebenes elektrisches Signal verzögert und das sich ergebende Signal ausgibt, wobei die Verzögerungsleitung drei oder mehr passive Elemente enthält, die in der Signalleitung vorgesehen sind und die das Signal verzögern, und jeder Abschnitt der Signalleitung zwischen Paaren von benachbarten passiven Elementen eine unterschiedliche elektrische Länge hat.
DE102008034121A 2007-07-20 2008-07-18 Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung Withdrawn DE102008034121A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007190207A JP4956312B2 (ja) 2007-07-20 2007-07-20 遅延線
JP2007-190207 2007-07-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102008034121A1 true DE102008034121A1 (de) 2009-01-29

Family

ID=40157622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102008034121A Withdrawn DE102008034121A1 (de) 2007-07-20 2008-07-18 Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20090195328A1 (de)
JP (1) JP4956312B2 (de)
DE (1) DE102008034121A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10361674B2 (en) 2017-01-12 2019-07-23 Infineon Technologies Ag Radio frequency delay line

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2606709C1 (ru) * 2015-09-02 2017-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Меандровая линия задержки с лицевой связью, защищающая от сверхкоротких импульсов
RU2732805C1 (ru) * 2019-11-27 2020-09-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Модифицированная микрополосковая линия, защищающая от сверхкоротких импульсов
RU2724970C1 (ru) * 2019-11-27 2020-06-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Меандровая линия задержки с лицевой связью из двух витков, защищающая от сверхкоротких импульсов
RU2724972C1 (ru) * 2019-11-27 2020-06-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Меандровая микрополосковая линия задержки из двух витков, защищающая от сверхкоротких импульсов
RU2742049C1 (ru) * 2019-12-09 2021-02-02 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Меандровая линия задержки с лицевой связью, защищающая от сверхкоротких импульсов с увеличенной длительностью
RU2724983C1 (ru) * 2019-12-09 2020-06-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Усовершенствованная меандровая линия задержки с лицевой связью, защищающая от сверхкоротких импульсов
RU2767975C1 (ru) * 2021-06-18 2022-03-22 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники» Меандровая линия с лицевой связью и пассивным проводником, защищающая от сверхкоротких импульсов

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001162288A (ja) 1999-12-06 2001-06-19 Mitsubishi Materials Corp 脱リン材

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0673524B2 (ja) * 1984-01-18 1994-09-21 株式会社東芝 超音波診断装置用遅延回路
US4837532A (en) * 1987-10-26 1989-06-06 General Electric Company MMIC (monolithic microwave integrated circuit) voltage controlled analog phase shifter
BR9912347A (pt) * 1998-07-22 2001-04-17 Unilever Nv Aparelho de monitoração para monitorar acúmulo de sujeira em um conduto, e, processo para operar um sistema de encanamento.
US6386272B1 (en) * 2000-01-28 2002-05-14 York International Corporation Device and method for detecting fouling in a shell and tube heat exchanger
US6778023B2 (en) * 2001-07-31 2004-08-17 Nokia Corporation Tunable filter and method of tuning a filter
JP3818176B2 (ja) * 2002-03-06 2006-09-06 株式会社村田製作所 Rfmems素子
US6834515B2 (en) * 2002-09-13 2004-12-28 Air Products And Chemicals, Inc. Plate-fin exchangers with textured surfaces
ATE520140T1 (de) * 2002-09-16 2011-08-15 Imec Geschaltete kapazität
US7075363B1 (en) * 2003-07-07 2006-07-11 Aeluros, Inc. Tuned continuous time delay FIR equalizer
US7135941B1 (en) * 2004-05-24 2006-11-14 Christos Tsironis Triple probe automatic slide screw load pull tuner and method
KR100635279B1 (ko) * 2005-02-22 2006-10-19 삼성전자주식회사 초고속 데이터 통신용 아날로그 상관기
JP4838536B2 (ja) * 2005-05-20 2011-12-14 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ 整合回路
US7646268B1 (en) * 2006-12-22 2010-01-12 Christos Tsironis Low frequency harmonic load pull tuner and method
JP5079387B2 (ja) * 2007-05-10 2012-11-21 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ 整合回路

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001162288A (ja) 1999-12-06 2001-06-19 Mitsubishi Materials Corp 脱リン材

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10361674B2 (en) 2017-01-12 2019-07-23 Infineon Technologies Ag Radio frequency delay line

Also Published As

Publication number Publication date
US20090195328A1 (en) 2009-08-06
JP4956312B2 (ja) 2012-06-20
JP2009027566A (ja) 2009-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008034121A1 (de) Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung
DE2555831A1 (de) Impedanz-transformator und verfahren zu seiner herstellung
EP0712267B1 (de) Modulare Steuerungsanlage mit integriertem Feldbusanschluss
DE2339757A1 (de) Verbindungseinrichtung fuer mikrowellenleitungen
DE2144607C3 (de) Piezoelektrischer Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in eine Oberflächenwelle
DE2714426B2 (de) Als Tiefpaß- oder als Laufzeitglied ausgebildetes passives Schaltungsglied
DE2815452A1 (de) Verfahren zur elektronischen ablenkung
DE102016122000A1 (de) Multiplexer mit verbesserter Isolation, Modul umfassend einen Multiplexer und ein Verfahren zum Entwerfen einer Multiplexer-Topologie
DE69832570T2 (de) Piezoelektrischer Resonator und elektronisches Bauelement damit
DE19923286C2 (de) Akustische Oberflächenwellen-Filtervorrichtung, Duplexer und Kommunikationsvorrichtung
WO2014000905A1 (de) Quasi-breitbandiger verstärker nach dem doherty-prinzip
DE3942560A1 (de) Hochfrequenz-generator fuer einen plasma erzeugenden verbraucher
DE3621037A1 (de) Tastfuehler, insbesondere roboter
EP1776725B1 (de) Piezoelektrischer transformator
DE60130937T2 (de) Akustikoberflächenwellenvorrichtung
DE102016123701A1 (de) SAW-Filter mit hoher Bandbreite
DE112017006666T5 (de) Rauschfilter
DE10009453A1 (de) Phasenschieber und Anordnung aus mehreren Phasenschiebern
CH693826A5 (de) Vorrichtung an Kettenwirkmaschinen zum Positionieren eines Fadenfuehrers.
DE2426375C3 (de) Akustische Oberflächenwellenanordnung
WO2020064648A1 (de) Sensoranordnung
EP1995744B1 (de) Miniaturrelais-Schalter
DE1914173C3 (de) Richtungskoppler
DE112018005526T5 (de) Schallwellenvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Schallwellenvorrichtung
EP3738211B1 (de) Verfahren zur bestimmung der auslenkung des betätigungsglieds eines kapazitiven mehrwege-kraftsensorbausteins

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20130201