DE3621037A1 - Tastfuehler, insbesondere roboter - Google Patents
Tastfuehler, insbesondere roboterInfo
- Publication number
- DE3621037A1 DE3621037A1 DE19863621037 DE3621037A DE3621037A1 DE 3621037 A1 DE3621037 A1 DE 3621037A1 DE 19863621037 DE19863621037 DE 19863621037 DE 3621037 A DE3621037 A DE 3621037A DE 3621037 A1 DE3621037 A1 DE 3621037A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- insulating plate
- transducers
- membrane
- touch sensor
- interdigital
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 24
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/22—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
- G01L5/226—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping
- G01L5/228—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping using tactile array force sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
- B25J13/081—Touching devices, e.g. pressure-sensitive
- B25J13/084—Tactile sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
- G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
- G01L1/165—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators with acoustic surface waves
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/36—Devices for manipulating acoustic surface waves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Tastfühler für Roboter und
andere Handhabungsgeräte.
Bekannte Tastfühler für Roboter enthalten entweder einen
Kontaktschalter von relativ großen Abmessungen, oder Druck
sonden, z. B. gemäß der DE-PS 25 56 700 oder Elemente,
die mechanischen Druck in elektrische Signale verwandeln.
Derartige kapazitiv oder induktiv arbeitende Sensoren
sind z. B. aus den SU-PS 7 69 331 und 9 01 821 bekannt.
Ein Sensor gemäß der US-PS 44 81 815 benutzt Widerstands
änderungen und ein weiterer Sensor ein photoelektrisches
Verfahren, vgl. DD-PS 24 38 221.
Die bekannten Sensoren haben eine Reihe von Nachteilen.
Bei Druckintegralsonden müssen die erfaßten Gegenstände
sauber sein, um ihre Kanäle nicht zu verstopfen. Bei induk
tiven, kapazitiven und Kontaktsonden muß eine gewisse
Kraft zum Verschieben eines Kerns bzw. zum Biegen oder
Ziehen eines Tensometers und zum Erzeugen eines verläßlichen
Kontaktdruckes aufgewandt werden. Bei Kapazitiv-Sonden
besteht das Problem der Abschirmung der Elektroden und
bei den photoelektrischen Verfahren muß die Lichtreflexion
vom Gegenstand gesichert sein. Schließlich müssen bei
elastomeren Materialien besondere Verstärker eingesetzt
werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Tastfühler für Industrie
roboter, Handhabungsgeräte und andere Aggregate zu schaffen,
der bei robustem einfachen Aufbau und kleinen Abmessungen
ein hervorragendes Ansprechverhalten besitzt, das von
äußeren Faktoren praktisch nicht beeinflußt wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
ein Kontaktabnehmer und/oder ein Kraftabnehmer aus einer
Isolierplatte vorgesehen ist, die an einer Seite inter
digitale Wandler für akustische Oberflächenwellen und
an der anderen Seite einen Oszillator trägt und mit einer
Erhebungen aufweisenden Membrane verbunden ist, die sich
bei einem Kontaktabnehmer oberhalb der interdigitalen
Wandler für die akustischen Oberflächenwellen befindet.
Ein weiteres wichtiges Merkmal der Erfindung ist, daß
die interdigitalen Wandler der akustischen Oberflächen
wellen eines Kraftabnehmers an der entgegengesetzten Seite
als die integralen Wandler der akustischen Oberflächen
wellen vorgesehen sind, mit denen die Isolierplatte ver
sehen ist. Die interdigitalen Wandler für die akustischen
Oberflächenwellen des Kraftabnehmers können auch an der
selben Seite wie die interdigitalen Wandler der akustischen
Oberflächenwellen der Isolierplatte orientiert sein, wobei
Erhebungen der Membrane schmaler als der interdigitale
Wandler der akustischen Oberflächenwellen des Kraftab
nehmers sind.
Die Eingangsteile der interdigitalen Wandler der akusti
schen Oberflächenwellen können in Reihe oder einzeln ge
schaltet sein und an den Ausgängen werden Wechselsignale
abgenommen. Paare von gegenüber bzw. gegeneinander ange
ordneten interdigitalen Wandlern für die akustischen Ober
flächenweilen bilden einen Resonator, der einen Bestandteil
des Oszillators darstellt. Die Information über einen
Kontakt wird durch Unterbrechung der akustischen Ober
flächenwellen gegeben, die sich entlang der Oberfläche
der Isolierplatte fortpflanzen und das Nullsignal dar
stellen. Bei Anwendung eines Zusatzkraftabnehmers wird
außer der Information über einen Kontakt durch Unterbrechen
der akustischen Oberflächenwellen auch eine Information
über die Andruckkraft gegeben. Diese Kraft wird z. B.
durch das Durchbiegen der elastischen Isolierplatte mit
den interdigitalen Wandlern aufgrund von Änderungen der
Frequenz des Austrittssignals erfaßt. Der Oszillator ist
mit Kompensationskreisen an der Isolierplatte ausgeführt,
wodurch die Leiteranzahl herabgesetzt wird. Der Zusatz
kraftabnehmer kann zweierlei Ausführungen haben. Die Iso
lierplatte des Kraftabnehmers mit an ihr ausgeführten
interdigitalen Wandlern der akustischen Oberflächenwellen
wird entweder um 180° gegenüber dem Medium verdreht, damit
ein Kontakt nicht von der Seite der interdigitalen Wandler
zustandekommt oder die Isolierplatte des Kraftabnehmers
mit den interdigitalen Wandlern der akustischen Oberflächen
wellen wird so verdreht, daß der Kontakt von der Seite
der interdigitalen Wandler erfolgt, wobei die Erhebung
der Membrane in der Breite kleiner als die entsprechende
Fläche der interdigitalen Wandler ist, so daß bei einem
Kontakt nur ein Teil der akustischen Oberflächenwelle
beeinträchtigt wird.
Ein Hauptvorteil des erfindungsgemäßen Tastfühlers liegt
darin, daß eine eindeutige Information über einen Kontakt,
nämlich durch eine Unterbrechung des Austrittssignals,
erhalten wird. Bei Verwendung von zusätzlichen Kraftab
nehmern liegen auch Informationen über die Größe der vom
Roboter über dem Tastfühler ausgeübten Kräfte vor. Der
Fühler ist einfach und erlaubt eine Miniaturisation. Mehrere
Meßelemente können zu Gruppen, zu einem Band oder einer
Matrix kombiniert und zusammengebaut werden, was z. B.
die Tastfunktion einer menschlichen Hand nachzuahmen er
möglicht.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen
Tastfühlers anhand der Zeichnung im einzelnen beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Tastfühler im Querschnitt,
Fig. 2 eine Isolierplatte mit einer Reihe von
Paaren interdigitaler Wandler für akustische
Oberflächenwellen in Draufsicht,
Fig. 3 eine Gruppe vom Fühlern mit einem Kraftfühler
im Schnitt,
Fig. 4 einen Querschnitt eines Tastfühlers, der
sowohl als Kontaktfühler als auch als Kraft
fühler arbeitet.
Der Tastfühler gemäß Fig. 1 enthält eine ebene Isolier
platte 1, die an einer Seite mit interdigitalen Wandlern
6 für akustische Oberflächenwellen und an der anderen
Seite mit einem Oszillator 7 versehen ist. Eine etwa napf
förmige Membrane 2 mit einer Verdickung bzw. nach innen
weisenden zentralen Erhebung 3 ist oberhalb der Isolier
platte 1 vorgesehen. Diese Erhebung 3 ist der Isolierplatte
1 zugekehrt. Die Membrane ist durch Klammern 5 an der
Isolierplatte 1 befestigt. Ein Spalt befindet sich zwischen
der Erhebung 3 der Membrane 2 und der Oberfläche der Iso
lierplatte 1.
Bei einer konkreten Ausführung des Tastfühlers wurde als
Isolierplatte 1 eine Quarzplatte verwendet, an welcher
an einer Seite der Oszillator 7 aufgetragen wurde, der
im Bereich von Zehnern von Megahertz arbeitete. An der
anderen Seite der Quarzplatte 1 wurden Paare interdigitaler
Wandler 6 für akustische Oberflächenwellen aufgetragen.
Der Oszillator 7 und wenigstens einer dieser Wandler 6
bilden zusammen einen Resonator, welcher die Fortpflanzung
der akustischen Oberflächenwellen an der Oberfläche der
Isolierplatte bewirkt.
Gemäß Fig. 2 sind auf der Isolierplatte 1 eine Reihe von
Paaren interdigitaler Wandler 6 der akustischen Oberflächen
wellen angeordnet, wobei ein Oszillator 7 entweder für
jedes Wandler-Paar oder für eine Reihe von Wandlern 6
vorgesehen ist. Entsprechend kann auch eine Membrane 2
für jedes Wandler-Paar oder für mehrere Paare von Wandlern
6 vorgesehen werden. Alternativ können verschiedene Paare
von Wandlern 6 mit unterschiedlichen Frequenzen arbeiten.
Falls auf eine Stelle der Membrane 2 mit einer Erhebung
3, die zwischen einem Paar von Wandlern 6 angeordnet ist,
und deren Breite wenigstens der Breite des Wandlers 6
entspricht, eine Kraft einwirkt, berührt die Erhebung
3 die Oberfläche der Isolierplatte 1 und unterbricht die
Fortpflanzung der durch den Oszillator 7 und die Wandler
6 erzeugten akustischen Oberflächenwellen, was sich als
Nullsignal am Austritt des Oszillators 7 äußert, wodurch
eine Information über einen Kontakt des Fühlers mit einem
Gegenstand erhalten wird.
Falls der Tastfühler auch eine Information über die Kraft
geben soll, welche auf die Membrane 2 ausgeübt wird, nachdem
die Erhebung 3 der Membrane 2 die Oberfläche der Isolier
platte 1 berührt hat, wird eine Membrane 2 mit einer Er
hebung 3 eingesetzt, die eine kleinere Breite als die
interdigitalen Wandler 6 aufweist, so daß nach einem Kontakt
der Erhebung 3 mit der Oberfläche der Isolierplatte 1
der Resonanzkreis nicht vollkommen unterbrochen wird.
Bei einem Ansteigen der auf die Membrane 2 wirkenden Kraft
wird die Isolierplatte 1 durchgebogen, wodurch die Bahn
für die akustischen Oberflächenwellen entlang der Oberfläche
der Isolierplatte 1 verlängert wird, was sich als Änderung
der Frequenz des Austrittssignals des Oszillators 7 äußert.
In diesem Fall muß allerdings die Isolierplatte 1 geeignet
abgestützt werden, um ihr Durchbiegen zu ermöglichen.
Ein derartiger Tastfühler ist in Fig. 4 dargestellt.
Eine weitere Möglichkeit zum Erhalt einer Information
über die auf die Membrane 2 einwirkende Kraft ist in
Fig. 3 dargestellt. Dieser Fühler besteht aus drei geson
derten Teilen, von denen der linke und rechte Teil Fühler
elemente gemäß Fig. 1 oder 4 aufweisen, die allerdings
um 180° verdreht sind, so daß die Kraft auf die Membrane
2 von unten einwirkt, während der mittlere Teil ein Kraft
fühler 4 ist. Bei diesem Kraftfühler 4 sind interdigitale
Wandler 6 für akustische Oberflächenwellen an der zur
Membrane 2 entgegengesetzten Seite der Isolierplatte 1
vorgesehen. Eine auf die Membrane 2 wirkende Kraft verur
sacht wieder ein Durchbiegen der Isolierplatte 1 und eine
Änderung der Frequenz des Austrittssignals. Bei diesem
Kraftfühler 4 ist kein Oszillator 7 dargestellt, er kann
Schwingungen von benachbarten Oszillatoren 7 erhalten.
Die drei Teile des in Fig. 3 dargestellten Fühlers sind
voneinander getrennt dargestellt. Sie können allerdings
dicht aneinandergereiht sein, allfällig können sie eine
gemeinsame Isolierplatte 1 oder auch eine gemeinsame Mem
brane 2 haben.
Verschiedene Elemente des erfindungsgemäßen Tastfühlers
können zu verschiedenen Formationen zusammengestellt werden,
wodurch ein sog. "Tastsehen" verwirklicht werden kann.
Der erfindungsgemäße Tastfühler ermöglicht ferner eine
weitgehende Miniaturisation. Der interdigitale Wandler
6 für die akustischen Oberflächenwellen ist ähnlich wie
Filterelemente ausgeführt, die in der Nachrichtentechnik,
z. B. in Fernsehempfängern, angewendet werden. Diese Wand
ler 6 werden auf die Isolierplatte 1 in Form dünner Schichten
aufgetragen, ähnlich wie Oszillatoren 7 mit den entsprechen
den Kompensationskreisen.
Die Schaltanordnung der einzelnen Elemente kann je nach
Bedarf verschieden ausgeführt werden.
Claims (10)
1. Tastfühler für insbesondere Roboter,
gekennzeichnet durch
eine Isolierplatte (1), die an einer Seite interdigitale Wandler (6) für akustische Oberflächenwellen und auf deren anderen Seite wenigstens einen Oszillator (7) trägt, wobei der Oszillator (7) und wenigstens ein Wandler (6) einen Resonanzkreis bilden, und
eine Membrane (2) mit einer der Isolierplatte (1) zuge kehrten Erhebung (3), die an einer Seite der Isolier platte (1) unter Ausbildung eines Spalts zwischen der Oberfläche der Isolierplatte (1) und der Erhebung (3) angeordnet ist.
eine Isolierplatte (1), die an einer Seite interdigitale Wandler (6) für akustische Oberflächenwellen und auf deren anderen Seite wenigstens einen Oszillator (7) trägt, wobei der Oszillator (7) und wenigstens ein Wandler (6) einen Resonanzkreis bilden, und
eine Membrane (2) mit einer der Isolierplatte (1) zuge kehrten Erhebung (3), die an einer Seite der Isolier platte (1) unter Ausbildung eines Spalts zwischen der Oberfläche der Isolierplatte (1) und der Erhebung (3) angeordnet ist.
2. Tastfühler nach Anspruch 1, der als Kontaktfühler
arbeitet,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membrane (2) mit der Erhebung (3) an derselben
Seite der Isolierplatte (1) wie die interdigitalen
Wandler (6) angeordnet ist, wobei sich die Erhebung
(3) der Membrane (2) zwischen einem Paar interdigitaler
Wandler (6) befindet und ihre Breite wenigstens der
Breite der interdigitalen Wandler (6) entspricht.
3. Tastfühler nach Anspruch 1, der sowohl als Kontakt
fühler als auch als Kraftfühler arbeitet,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Membrane (2) mit der Erhebung (3) an der
selben Seite der Isolierplatte (1) wie die Wandler
(6) befindet, wobei die Erhebung (3) der Membrane (2)
zwischen einem Paar der Wandler (6) angeordnet ist
und ihre Breite kleiner als die Breite der Wandler
(6) ist.
4. Tastfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Reihe von Paaren interdigitaler Wandler (6)
für akustische Oberflächenwellen an der Oberfläche
der Isolierplatte (1) angeordnet ist.
5. Tastfühler nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß für jedes Paar von Wandlern (6) ein Oszillator
(7) vorgesehen ist.
6. Tastfühler nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß für eine Reihe von Wandler-Paaren ein Oszillator
(7) gemeinsam ist.
7. Tastfühler nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß jedem Wandler-Paar (6) eine Membrane (2) zugeordnet
ist.
8. Tastfühler nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß einer Reihe von Wandler-Paaren (6) eine gemeinsame
Membrane (2) zugehört.
9. Tastfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
der als Kraftfühler arbeitet,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich die interdigitalen Wandler (6) akustischer
Oberflächenwellen an der entgegengesetzten Seite der
Isolierplatte (1) befinden als die Membrane (2).
10. Tastfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß Paare von interdigitalen Wandlern (6) mit unter
schiedlichen Frequenzen arbeiten.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS854623A CS267053B1 (en) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | Palpable sensing element for robot |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3621037A1 true DE3621037A1 (de) | 1987-01-02 |
Family
ID=5389438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863621037 Withdrawn DE3621037A1 (de) | 1985-06-24 | 1986-06-24 | Tastfuehler, insbesondere roboter |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4775961A (de) |
JP (1) | JPS6255535A (de) |
CS (1) | CS267053B1 (de) |
DE (1) | DE3621037A1 (de) |
FR (1) | FR2583936B1 (de) |
SE (1) | SE460153B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4242936A1 (de) * | 1992-12-18 | 1994-06-23 | Beckhausen Karlheinz | Sicherheitseinrichtung mit Mikroprozessor |
US7705836B2 (en) | 2000-05-22 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5656785A (en) * | 1995-08-07 | 1997-08-12 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Micromechanical contact load force sensor for sensing magnitude and distribution of loads and tool employing micromechanical contact load force sensor |
US5679998A (en) * | 1996-08-09 | 1997-10-21 | Toda; Kohji | Elastic wave position-sensing device |
JP4214551B2 (ja) * | 2000-04-21 | 2009-01-28 | 耕司 戸田 | 超音波音圧センサ |
JP4495948B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2010-07-07 | 凸版印刷株式会社 | 弾性表面波素子アレイ |
WO2009155501A2 (en) | 2008-06-19 | 2009-12-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Tactile sensor using elastomeric imaging |
WO2013016729A1 (en) | 2011-07-28 | 2013-01-31 | Massachusetts Institute Of Technology | Optical tactile sensor |
CN105392722B (zh) | 2013-03-08 | 2017-06-09 | 胶视公司 | 基于接触的连续三维测量 |
JP6862794B2 (ja) * | 2016-11-24 | 2021-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出センサー、力覚センサー、トルクセンサーおよびロボット |
CZ308886B6 (cs) * | 2019-10-11 | 2021-08-04 | 4Dot Mechatronic Systems S.R.O. | Snímač přetvoření a sestava pro měření přetvoření obsahující tento snímač |
US20230103759A1 (en) * | 2021-10-05 | 2023-04-06 | Toyota Research Institute, Inc. | Robotic Tool Control with Compliant Force/Geometry Sensor |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1471357A (en) * | 1973-08-08 | 1977-04-27 | Omron Tateisi Electronics Co | Photoelectric detector |
US3878477A (en) * | 1974-01-08 | 1975-04-15 | Hewlett Packard Co | Acoustic surface wave oscillator force-sensing devices |
US3978731A (en) * | 1974-02-25 | 1976-09-07 | United Technologies Corporation | Surface acoustic wave transducer |
US3962903A (en) * | 1974-12-23 | 1976-06-15 | International Business Machines Corporation | Method and system for sensing an identifying means |
US4107626A (en) * | 1976-12-20 | 1978-08-15 | Gould Inc. | Digital output force sensor using surface acoustic waves |
US4216401A (en) * | 1978-12-22 | 1980-08-05 | United Technologies Corporation | Surface acoustic wave (SAW) pressure sensor structure |
SU769331A1 (ru) * | 1979-01-22 | 1980-10-07 | Горьковский Политехнический Институт Им. А.А.Жданова | Дифференциально-транспортный датчик |
US4295102A (en) * | 1979-09-28 | 1981-10-13 | Texas Instruments Incorporated | Surface acoustic wave sensor sensing circuits |
SU901821A1 (ru) * | 1980-06-27 | 1982-01-30 | Рязанский Завод Тепловых Приборов "Теплоприбор" | Бесконтактный датчик положени |
GB2117593B (en) * | 1982-03-31 | 1985-11-27 | Marconi Co Ltd | Adjusting the frequency response of surface acoustic wave devices |
US4512198A (en) * | 1982-09-29 | 1985-04-23 | Schlumberger Technology Corporation | Surface acoustic wave sensors |
US4644804A (en) * | 1984-07-17 | 1987-02-24 | Franz Rittmeyer Ag | Quartz resonating force and pressure transducer |
US4634917A (en) * | 1984-12-26 | 1987-01-06 | Battelle Memorial Institute | Active multi-layer piezoelectric tactile sensor apparatus and method |
-
1985
- 1985-06-24 CS CS854623A patent/CS267053B1/cs unknown
-
1986
- 1986-06-19 SE SE8602736A patent/SE460153B/sv not_active IP Right Cessation
- 1986-06-23 JP JP61145011A patent/JPS6255535A/ja active Pending
- 1986-06-24 DE DE19863621037 patent/DE3621037A1/de not_active Withdrawn
- 1986-06-24 FR FR868609091A patent/FR2583936B1/fr not_active Expired
- 1986-06-24 US US06/877,876 patent/US4775961A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4242936A1 (de) * | 1992-12-18 | 1994-06-23 | Beckhausen Karlheinz | Sicherheitseinrichtung mit Mikroprozessor |
US7705836B2 (en) | 2000-05-22 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
DE10085466B4 (de) * | 2000-05-22 | 2011-03-03 | Fujitsu Ltd., Kawasaki | Berührungsfeld-Vorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE460153B (sv) | 1989-09-11 |
SE8602736D0 (sv) | 1986-06-19 |
CS462385A1 (en) | 1989-05-12 |
FR2583936A1 (fr) | 1986-12-26 |
US4775961A (en) | 1988-10-04 |
FR2583936B1 (fr) | 1989-12-15 |
SE8602736L (sv) | 1986-12-25 |
JPS6255535A (ja) | 1987-03-11 |
CS267053B1 (en) | 1990-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102013204428B4 (de) | Akustisches Oberflächenwellenbauelement | |
DE3731196C2 (de) | ||
DE3621037A1 (de) | Tastfuehler, insbesondere roboter | |
DE19638370C2 (de) | Oberflächenwellenfilter für unsymmetrische/symmetrische und symmetrische/symmetrische Betriebsweise | |
DE3021164A1 (de) | Elektrostatische abschirmung fuer ein elektrisches leiterelement | |
DE2843231A1 (de) | Akustische wellenanordnung | |
DE102007063470A1 (de) | Wandler, Resonator und Filter für akustische Oberflächenwellen | |
DE102008034121A1 (de) | Verzögerungsleitung, Signalverzögerungsverfahren und Prüfsignal-Erzeugungsvorrichtung | |
DE2224497A1 (de) | Elektromechanisches Filter | |
DE2754494C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellenfilter | |
DE2231467B2 (de) | Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Ubersprechkapazitäten | |
DE2139200A1 (de) | Oberflachenwellen Umsetzer | |
EP0436556B1 (de) | Oberflächenwellenfilter | |
DE4307726C1 (de) | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement | |
DE4013214A1 (de) | Akustisches oberflaechenwellenfilter | |
DE2938542C2 (de) | Signalzuführungsanordnung für ein Oberflächenwellen-Bauteil | |
DE102012206393B4 (de) | Akustisches Oberflächenwellenbauelement | |
DE2426375C3 (de) | Akustische Oberflächenwellenanordnung | |
DE2235233C3 (de) | Filter oder Verzögerungsleitung nach dem OberflächenweUenprinzip | |
EP0367864A1 (de) | Oberflächenwellenfilter mit änderbarem Durchlassbereich | |
DE3049896A1 (en) | Surface acoustic waves converter | |
EP0436565B1 (de) | Oberflächenwellen-interdigitalwandler und oberflächenwellen-filter mit symmetrischer oder vorgebbar unsymmetrischer übertragungscharakteristik zwischen eingang und ausgang | |
DE102018216783A1 (de) | Sensoranordnung | |
DE102004028421B4 (de) | Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren | |
DE19943072B4 (de) | Akustisches Oberflächenwellenfilter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |