DE2231467B2 - Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Ubersprechkapazitäten - Google Patents
Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von UbersprechkapazitätenInfo
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine piezoelektrische
Filteranordnung mit einem piezoelektrischen Körper, an dem voneinander galvanisch getrennt und
jeweils nur einen Teil des piezoelektrischen Körpers bedeckend Eingangs- und Ausgangselektrodenpaare
mit einander gegenüberliegenden Elektroden vorgesehen sind, und der zwischen diesen Elektrodenpaaren
ausgerichtet permanent polarisiert ist.
Mechanische Anordnungen, beispielsweise Filteranordnungen mit piezoelektrischen Körpern, sind bekannt.
Dabei befinden sich an dem piezoelektrischen Keramikkörper, der permanent gepolt ist, zwei Eiektrodenpaare,
die aus jeweils zwei flächenförmigen Elektroden bestehen, wobei jeweils zwei Elektroden
unterschiedlicher Elektrodenpaare in einer Ebene angeordnet sind. Die Elektrodenpaare dienen zum Einbzw.
Auskoppeln von akustischen Wellen.
Ein Nachteil einer wie oben beschriebenen Anordnung ergibt sich daraus, daß infolge der hohen Dielektrizitätskonstante
des Materials des piezoelektrischen Körpers zwischen den flächenförmigen Elektroden
unterschiedlicher Elektrodenpaare Übersprechkapazitäten entstehen.
Eine Aufgabe der Erfindung ist es, eine wie eingangs erwähnte piezoelektrische Anordnung anzugeben,
bei der solche Übersprechkapazitäten vermieden sind.
Diese Aufgabe wird durch eine wie eingangs erwähnte Anordnung gelöst, die erfindungsgemäß dadurch
gekennzeichnet ist, daß zur Vermeidung von Übersprechkapazitäten die Elektrodenpaare auf verschiedenen
Flächen des Körpers und gegeneinander um 90 verdreht angeordnet sind, so daß die zwischen
dem Eingangselektrodenpaar und zwischen dem Ausgangselektrodenpaar auftretenden elektrischen
Felder ebenfalls um 90 r gegeneinander gedreht sind.
Vorzugsweise wird eine piezoelektrische Anordnung angegeben, die dadurch gekennzeichnet ist, daß
der piezoelektrische Körper von rechteckiger Form ist, daß für jedes der Elektrodenpaare flächenförmige
Elektroden vorgesehen sind und daß der piezoelektrische Körper zwischen den zueinandergehörigen
flächenförmigen Elektroden eines Eleklrodenpaares in Richtung eines Feldes zwischen den Elektroden
polarisiert ist.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß der piezoelektrische Körper
zwischen den zueinandergehörigen flächenförmigen Elektroden der Elektrodenpaare so permanent
polarisiert ist, daß die Polarisation zwischen den Ausgangselektroden senkrecht zur Ebene der Fläche
der Eingangselektroden ist.
Eine weitere Ausgestaltung der piezoelektrischen Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß der
piezoelektrische Körper von rechteckiger Form ist, daß die Elektrodenpaare Interdigitalstrukturen sind,
deren Finger um 90 gegeneinander verdreht sind, und der Körper so polarisiert ist, daß die Polarisation
von den Kammfingern einer Elektrode der einen Interdigitalstruktur zu den Kammfingern der anderen
Elektrode der gleichen Interdigitalstruktur gerichtet ist.
Weitere Erläuterungen der Erfindung gehen aus der Beschreibung und den Figuren bevorzugter Ausführungsbeispiele
der Erfindung und ihrer Weiterbildung hervor.
F i g. 1 und 2 zeigen in schematischer Darstellung erfindungsgemäße piezoelektrische Filteranordnungen;
i 231
F i g. 3 bis 5 zeigen Weiterbildungen erfindungsgemäßer
Filteranordnungen.
In der F i g. 1 ist der piezoelektrische Körper mit 2
bezeichnet. Das Elektrodenpaar 1 besteht aus den flächenförmigen Elektroden 101 und 210. Das Elektrodenpaar
11 besteht aus den flächenförmigen Elektroden 111 und 211. Das Elektrodenpaar 1 dient beispielsweise
zum Einkoppeln einer akustischen Welle in den Körper 2, während dann das Elektrodenpaar
11 zum Auskoppeln dieser Welle dient. Die Elektro- ι ο
denpuare 1 und 11 sind in der aus der Figur ersichtlichen
Weise um 90° gegeneinander verdreht. Zwischen den flächenförmigen Elektroden 101 und 201
bzw. 111 und 211 ist der piezoelektrische Körper permanent polarisiert. Die Richtung dieser Polarisation
ist durch die mit3 bezeichneten Pfeile angegeben. Sie liegt in Richtung der Flächennormalen der
flächenförmigen Elektroden eines jeden Elektrodenpaares.
Die zwischen den einzelnen Elektroden 101 und i01 des einen Eiektrodenpaares 1 und den Elektroden
111 und 211 des anderen Elektrodenpaares 11 auftretenden Kapazitäten sind bedingt durch die erfindungsgemäße
Anordnung der Elektroden paarweise gleich groß. In der Figur sind diese Kapazitä-
ten schematisch dargestellt und mit 12, 13, 14 und 15 bezeichnet. Beispielsweise sind die Kapazitäten 12
und 13, die zwischen der Elektrode 201 des Elektrodenpaares 1 und den Elektroden 111 bzw. 211 des
Elektrodenpaares 11 auftreten, gleich groG.
Beim Anlegen einer Wechselspannung an das Elektrodenpaar 1 wird dieses kurzzeitig ein einer bestimmten
Weise aufgeladen. Diese Aufladung der flächenförmigen Elektroden des Elektrodenpaares 1 bewirkt,
daß an den Elektroden des Elektrodenpaares 11 Ladungen induziert werden. Durch die erfindungsgemäße
Anordnung der Elektrodenpaare 11 und 1 wird erreicht, daß sich die auf jeder plattenförmigen
Elektrode induzierten Ladungen gegenseitig aufheben.
In der F i g, 2 ist eine Filteranordnung dargestellt, bei der wiederum die flächenförmigen Elektroden
401 und 402 des Elektrodenpaares 4 und die flächenförmigen Elektroden 441 und 442 des Elektrodenpaares
44 in der aus der Figur ersichtlichen Weise gegeneinander um 90° verdreht sind. Zwischen den
Elektrodenpaaren ist der piezoelektrische Keramikkörper 22 ausgerichtet permanent polarisiert. Dabei
liegt die Richtung dieser Polarisation derart, daß die Polarisation zwischen den Eingangselektroden, bei- so
spielsweise den Elektroden 402 und 401, senkrecht auf der Ebene der Fläche der Ausgangselektroden,
beispielsweise der Elektroden 441 und 442 steht, und daß die Polarisation zwischen den Ausgangselektroden
senkrecht auf der Ebene der Fläche der Eingangselektroden steht. In der Figur ist die Richtung
der Polarisation durch die Pfeile 5 angedeutet.
Beim Anlegen einer Wechselspannung an die flächenförmigen Elektroden 402 und 401 des Elektrodenpaares
4 wird dieses kurzzeitig in einer bestimmten Weise aufgeladen. Diese Aufladung der flächenförmigen
Elektroden des Elektrodenpaares 4 bewirkt wiederum, daß an den flächenförmigen Elektroden
441 und 442 des Elektrodcnpaares 44 Ladungen induziert werden, die sich gegenseitig aufheben.
Durch das Anlegen einer Wechselspannung an die erfindungsgemäße Filteranordnung der Fig.2 entstehen
Scherwellen, die eine Verformung des Körpers 22 in der aus der Figur ersichtlichen Weise zur
Folge haben. Durch die strichlierte Linie 8 ist eine solche Verformung angedeutet.
In der F i g. 3 ist eine Filteranordnung dargestellt,
bei der auf dem piezoelektrischen Resonatorkörper 222 aneinander gegenüberliegenden Flächen kammförmige
Interdigitalstrukturen 6 und 61 bzw. 7 und 71 angebracht sind. Dabei sind zur Vermeidung von
Übersprechkapazitäten die Interdigitalstrukturen in der aus der Figur ersichtlichen Weise um 90° gegeneinander
verdreht.
Der Köiper 222 besitzt eine durch die Pfeillinien 9
angedeutete periodische, permanent ausgerichtete Oberflächenpolarisation. Diese Polarisation ist von
den Kammfingern einer Elektrode, beispielsweise der Elektrode 6 bzw. 7 einer Interdigitalstruktur zu den
Kammfingern der anderen Elektrode, beispielsweise der Elektrode 61 bzw. 71 der gleichen Interdigitalstrnktur
gerichtet. Durch die Pfeillinien 9 ist die Richtung dieser Polarisation in der Figur angedeutet.
Die in den Körper 222 eingekoppelte Volumenwelle pflanzt sich von der einen Interdigitalstruktur
zur anderen Interdigitalstruktur durch den Körper hindurch fort, wobei die Wellenfront dieser Welle
immer parallel zu den Ebenen liegt, in denen die Interdigitalstrukturen angeordnet sind.
Die Kapazitäten, die zwischen einer Elektrode, beispielsweise der Elektrode 6 bzw. 61, einer Interdigitalstruktur
und den beiden anderen Elektroden, beispielsweise den Elektroden 7 und 71, der anderen
Interdigitalstruktur bestehen, sind gleich groß.
Um eventuell vorhandene Inhomogenitäten des keramischen Körpers oder der Elektrodenbelegungen
auszugleichen, wird in Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Anordnungen eine der vier Elektroden
auf dem Körper, so wie in den F i g. 4 und 5 dargesiellt.
in zwei Teilelektroden 23, 24 bzw. 25, 26 aufgeteilt. Die beiden Teilelektroden werden über ein
Potentiometer 27, 28 miteinander verbunden, dessen Mittelabgriff einen der vier Pole der Anordnung bildet.
Durch Verstellen des Potentiometers läßt sich ein etwa vorhandenes Restübersprechen auf Null abgleichen.
Bei Filteranordnungen, die so geschaltet sind, daß der Eingangskreis und der Ausgangskreis asymmetrisch
gegen Erde sind, können störende Übersprechkapazitäten dadurch vermieden werden, daß zwei erfindungsgemäße
Filteranordnungen in Kette geschaltet werden. Dadurch wird erreicht, daß zwischen
dem Eingang und dem Ausgang dieser Anordnung ein erdsymmetrisches Netz vorliegt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Piezoelektrische Filteranordnung mit einem piezoelektrischen Körper, an dem voneinander
galvanisch getrennt und jeweils nur einen Teil des piezoelektrischen Körpers bedeckend Eingangs-
und Ausgangselektrodenpaare mit einander gegenüberliegenden Elektroden vorgesehen
sind, und der zwischen diesen Elektrodenpaaren ausgerichtet permanent polarisiert ist, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Vermeidung von Übersprechkapazitäten die Elektrodenpaare
(1,11, 4, 44 und 6, 61, 7, 71) auf verschiedenen Flächen des Körpers (2, 22, 222) und gegeneinander
um 90° verdreht angeordnet sind, so daß die zwischen dem Eingangselektrodenpaar und zwischen dem Ausgangselektrodenpaar auftretenden
elektrischen Felder ebenfalls um 90° gegeneinander gedreht sind.
2. Fiiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für jedes der Elektrodenpaare
(1, 11) flächenförmige Elektroden (101, 201, 111, 211) vorgesehen sind und daß der
piezoelektrische Körper (2) zwischen den zueinandergehörigen flächenförmigen Elektroden eines
Elektrodenpaares in Richtung (3) eines Feldes zwischen den Elektroden polarisiert ist.
3. Filteranordnung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß der piezoelektrische Körper
(2) zwischen den zueinandergehörigen flächenförmigen Elektroden (402 401, 441, 442) der Elektrodenpaare
(4, 44) so permanent polarisiert ist, daß die Polarisation (5) zwischen den Ausgangselektroden
senkrecht zur Ebene der Fläche der Eingangselektroden ist.
4. Filteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eiektrodenpaare (6. 61
und 7, 71) Interdigitalstrukturen sind, deren Finger um 90° gegeneinander verdreht sind und der
Körper (222) so permanent periodisch polarisiert ist, daß diese Polarisation (9) von den Kammfingern
einer Elektrode der einen Interdigitalstruktur zu den Kammfingern der anderen Elektrode
der gleichen Interdigitaislruktur gerichtet ist.
5. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
piezoelektrische Körper von rechteckiger Form ist.
6. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
eine der vier Elektroden des Körpers in Teilelektroden aufgeteilt ist und daß die beiden Teile (23,
24 bzw. 25, 26) dieser Elektrode über ein Potentiometer (27. 28) miteinander verbunden sind
und daß der Mittelabgriff des Potentiometers ein Pol der vier Pole dei Anordnung ist.
7. Verfahren zur Vermeidung von I bcrsprechkapazitäten
bei piezoelektrischen Filteranordnungen, hervorgerufen durch Asymmetrie in dem Eingangskreis und dem Ausgangskreis, dadurch
gekennzeichnet, daß zwei Filteranordnungen nach einem der Ansprüche 1 bis 4 in Kette geschaltet
sind.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2231467A DE2231467C3 (de) | 1972-06-27 | 1972-06-27 | Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Über Sprechkapazitäten |
GB1867673A GB1434073A (en) | 1972-06-27 | 1973-04-18 | Piezo-electric filters |
AT400173A AT327294B (de) | 1972-06-27 | 1973-05-07 | Piezoelektrische filteranordnung |
FR7322256A FR2191355B1 (de) | 1972-06-27 | 1973-06-19 | |
IT25712/73A IT989379B (it) | 1972-06-27 | 1973-06-22 | Dispositivo di filtraggio piezoelettrico |
JP48070891A JPS4959551A (de) | 1972-06-27 | 1973-06-25 | |
NL7308957A NL7308957A (de) | 1972-06-27 | 1973-06-27 | |
BE132788A BE801525A (fr) | 1972-06-27 | 1973-06-27 | Filtre piezoelectrique |
US00374123A US3836877A (en) | 1972-06-27 | 1973-06-27 | Piezoelectric filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2231467A DE2231467C3 (de) | 1972-06-27 | 1972-06-27 | Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Über Sprechkapazitäten |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2231467A1 DE2231467A1 (de) | 1974-01-17 |
DE2231467B2 true DE2231467B2 (de) | 1974-06-20 |
DE2231467C3 DE2231467C3 (de) | 1975-02-13 |
Family
ID=5848958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2231467A Expired DE2231467C3 (de) | 1972-06-27 | 1972-06-27 | Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Über Sprechkapazitäten |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3836877A (de) |
JP (1) | JPS4959551A (de) |
AT (1) | AT327294B (de) |
BE (1) | BE801525A (de) |
DE (1) | DE2231467C3 (de) |
FR (1) | FR2191355B1 (de) |
GB (1) | GB1434073A (de) |
IT (1) | IT989379B (de) |
NL (1) | NL7308957A (de) |
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-
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-
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- 1973-04-18 GB GB1867673A patent/GB1434073A/en not_active Expired
- 1973-05-07 AT AT400173A patent/AT327294B/de not_active IP Right Cessation
- 1973-06-19 FR FR7322256A patent/FR2191355B1/fr not_active Expired
- 1973-06-22 IT IT25712/73A patent/IT989379B/it active
- 1973-06-25 JP JP48070891A patent/JPS4959551A/ja active Pending
- 1973-06-27 NL NL7308957A patent/NL7308957A/xx unknown
- 1973-06-27 BE BE132788A patent/BE801525A/xx unknown
- 1973-06-27 US US00374123A patent/US3836877A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2231467C3 (de) | 1975-02-13 |
ATA400173A (de) | 1975-04-15 |
FR2191355B1 (de) | 1978-05-26 |
FR2191355A1 (de) | 1974-02-01 |
AT327294B (de) | 1976-01-26 |
GB1434073A (en) | 1976-04-28 |
US3836877A (en) | 1974-09-17 |
JPS4959551A (de) | 1974-06-10 |
NL7308957A (de) | 1974-01-02 |
IT989379B (it) | 1975-05-20 |
BE801525A (fr) | 1973-10-15 |
DE2231467A1 (de) | 1974-01-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |