DE2144607C3 - Piezoelektrischer Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in eine Oberflächenwelle - Google Patents
Piezoelektrischer Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in eine OberflächenwelleInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf elektroakustische Einrichtungen, insbesondere auf piezoelektrische
Wandler in Dünnfilmtechnik für Mikrowellen-Anwendungen.
Beim Einsatz von Mikrowellen-LTltraschalleinrichtungen hat man erkannt, s?aß es wichtig ist, den von jedem
Wandler in einem System hervorgerufenen Einfügungsverlust auf den geringsten möglichen Wert herabzusetzen.
Solche Einfügungsverluste sind einigen oder allen
der nachfolgend aufgezählten Gründe zuzuschreiben: elektrische Fehlanpassung, hohe Kontaktwiderstände,
niedrige elektrische Impedanz, Fehlen einer Kristallorientierung, kristalline Fehler und ein Fehlen
einer vollkommenen Stöchiometrie des piezoelektrisehen Materials. Die Ursachen für die Einfügungsverluste
infolge kristalliner und chemischer eigenschaften haften Wandlern, die durch Schichtablagerung hergestellt
wurden, von Hause aus an und sind daher schwer herabzusetzen. Leichter können die durch elektrische
Fehlanpassung, hohe Kontaktwiderstände und niedrige elektrische Impedanz verursachten Verluste berücksichtigt
und bei der Planung eines Mikrowellen-Schallwandlers kompensiert werden. Die anscheinend am
meisten auftretenden Ursachen hoher Einfügungsverluste sind durch elektrische Fehlanpassung zwischen der
Impedanz der äußeren Übertragungsleitung, an die der Wandler angeschlossen ist, und der niedrigen elektrischen
Wandlerimpedanz, die für Dünnfilmwandler charakteristisch ist, bedingt.
In der Vergangenheit hat sich die Notwendigkeit herausgestellt, die Impedanz des Wandlers an die der
Übertragungsleitung durch irgendeine Art Impedanztransformator anzupassen, wie etwa durch einen
Tschebyscheff-Transformator oder eine andere bekannte Art eines Impedanztransformators.
Mit dem Problem der Fehlanpassung ist das der elektrischen Kapazität verbunden. Bei einem Wandler
ist eine möglichst geringe Kapazität erwünscht, um eine beträchtliche Bandbreite zur Verfügung stellen und
damit sehr hohe Frequenzen erreichen zu können. Bei Dünnfilmwandlern hat ein Versuch, die Kapazität
herabzusetzen, eine Verringerung der Elektrodenfläche bedeutet. Eine derartige Verminderung der Kapazität
setzt zusätzlich die Impedanz herab, und zwar entweder in Gestalt des Widerstandes oder des Strahlungswiderstandes
der Struktur. Charakteristisch beträgt in dem Fall, daß Wandler bei Mikrowellen-Frequenzen in der
Nähe von einem GHz betrieben werden, die Impedanz eines Kadmiumsulfid-Wandlers etwa 0,01 Ohm. Übertragungsleitungen
besitzen dagegen typische Impedanzen von etwa 50 Ohm oder mehr. Infolgedessen war die
Größe der elektrischen Fehlanpassung bedeutend und konnte nicht einfach durch Impedanztransformatoren
ausgeglichen werden, die bei solchen Frequenzen und für den Ausgleich solch großer Fehlanpassungen
unhandliche und kostspielige Vorrichtungen sind.
Aufgabe vorliegender Erfindung ist die Schaffung eines piezoelektrischen Wandlers mit Vorrichtungen,
die seine Impedanz, ohne eine der akustischen
Eigenschaften des Wandlers preiszugeben, zur Anpassung an die Impedanz von Übertragungsleitungen auf
den erforderlichen Wert erhöhen und darüber hinaus eine sehr niedrige Kapazität gewährleisten, um seinen
Einsatz bei hohen Frequenzen zu ermöglichen.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist der piezoelektrische Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in
eine Oberflächenwelle, der an eine ein Leiterpaar mit einer charakteristischen Impedanz aufweisende elektrisehe
Übertragungsleitung angeschlossen ist, und gebildet ist aus einer Mehrzahl auf einem Oberflächenwellen
leitenden Substrat angeordneten, Wandlerelemente bildenden Wandlerfinger, erfindungsgemäß dadurch
gekennzeichnet, daß die Wandlerfinger elektrisch in Serie geschaltet sind und dadurch eine im wesentlichen
der Impedanz des Leiterpaares angepaßte Gesamtimpedanz und eine im Vergleich zur Kapazität eines
einzelnen aus Wandlerfingern gestalteten Wandlerelementes kleine Gesamtkapazität aufweisen.
Die Verwirklichung der oben beschriebenen elektrischen Eigenschaften eines Wandlers wird durch
Dünnfilm-Herstellungstechniken ermöglicht, eingeschlossen eine Ablagerung einer ersten schablonenartigen
Elektrodenanordnung mit einer Mehrzahl einzelner Elektroden auf einem Substrat, eine auf die erste
Elektrodenanordnung aufgebrachte einzelne Lage eines piezoelektrischen Materials, eine zweite über der
piezoelektrischen Lage angeordnete schablonenartige Elektrodenanordnung sowie selektiven Verbindungen
zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenanordnung. Die Anwendung von Dünnfilm-Herstellungstechniken
nach dem Stand der Technik ermöglicht die Bildung derartiger Strukturen mit extrem kleinen
Bereichen und zahlreichen einzelnen Elektroden.
Die Erfindung wird nachstehend zusammen mit weiteren Merkmalen anhand von Ausführungsb^spielen
in Verbindung mit der Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel
nach der Erfindung;
F i g. 2 schematisch dargestellt die Ersatzschaltung
der Einrichtung nach Fig. I;
Fig.3 einen Schnitt durch die Einrichtung nach
F i g. 1 längs der Linie III-III;
F i g. 4 und 5 eine Draufsicht auf gemäß F i g. 1 angeordnete Elektroden;
F i g. 6 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform der Erfindung;
F i g. 7 einen Schnitt durch F i g. 6 längs der Linie VII-VII und
F i g. 8 eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel nach der Erfindung.
Im einzelnen zeigt F i g. 1 ein Ausführungsbeispiel eines Wandlers nach der Erfindung. Der Wandler
befindet sich auf einem Substrat 10, das aus einem Material mit Eigenschaften einer akustischen Verzögerungsleitung
bestehen kann, in dem sich a!so akustische Wellen ohne Verlust ihrer Charakteristik, dagegen im
wesentlichen lediglich mit piner Zeitverzögerung fortpflanzen. Der Aufbau ~.niaut im wesentlichen eine
Lage 12 piezoelektrischen Materials, das sandwichförmig zwischen einer ersten und einer zweiten schablonenartigen
Elektrodenanordnung 14 und 16, die untereinander selektive Verbindungen besitzen, angeordnet
ist.
F i g. 4 veranschaulicht die Qrste, untere schablonenartige
Elektrodenanordnung 14, die auf der Oberfläche des Substrats angeordnet ist, und Fig.5 die zweite,
obere schablonenartige Elektrodenanordnung 16, obschon die Elektrodenanordnungen auch vertauscht
eingesetzt werden können. Jede der Elektrodenanorrinungen
14 und 16 weist eine Mehrzahl streifenförmiges über den Rand der Lage Ϊ2 des piezoelektrischen
Materials hinausragende Elektroden 14Λ und 16.4 auf. Die Elektroden 16Λ der oberen Elektrodenanordnung
16 besitzen an einem Ende verbreiterte Bereiche 165, die auf den Enden der streifenförmigen Elektroden 14.A
liegen, damit zwischen ihnen eine Verbindung herbeigeführt werden kann. Zum anderen sind die Elektroden
144 und 16Λ, wie in Fig.3 dargestellt, sich vertikal
überdeckend angeordnet
Zusätzlich weist jede Elektrodenanordnung 14 und 16 eine größere Elektrodenlasche 14C und 16C auf, die
einzeln mit jeweils einer der streifenförmigen Elektroden 144 und 16.4 verbunden sind und ebenfalls über den
Rand der piezoelektrischen Lage 12 hinausragen. Diese stellen einen äußeren Anschluß des Wandlers wie etwa
an eine Übertragungsleitung dar, die, wie oben erläutert, eine charakteristische Impedanz aufweist, der die
Impedanz des Wandlers angepaßt werden soll.
Die Ersatzschaltung der F i g. 2 veranschaulicht, wie
die schablonenartigen Elektrodenanordnungen, obwohl sie nur an einer einzigen Lage piezoelektrischen
Materials angeordnet sind, eine Reihenschaltung einer Mehrzahl einzelner, aus Fingern 18a und 18Zj bestehender
Wandlerelemente 18 zwischen den beiden Elektrodenlaschen KCund 16C, die jeweils mit einem Leiter 20
und 22 einer koaxialen Übertragungsleitung 24 verbunden sind, ermöglichen. Auf diese Weise können
Widerstände addiert werden, um eine der Impedanz der äußeren Übertragungsleitung 24 angepaßte Impedanz
zu erreichen. Gleichzeitig werden Kapazitäten stark herabgesetzt, und damit wird eine Eignung für
Breitband- und folglich Hochfrequenzanwendung geschaffen.
Wie F i g. 1 und 2 zeigen, ist, um die Reihenschaltung zu erreichen, jeweils die untere Elektrode der einzelnen
Wandlerelemente 18 mit der oberen Elektrode des direkt benachbarten Wandlerelementes verbunden.
Eine Verbindung benachbarter unterer und benachbarter oberer Elektroden zu einer Reihenschaltung sollte
nicht vorgezogen werden, da die Wandlerelemente 18 dann abwechselnd polarisiert würden.
Die Anzahl der piezoelektrischen Wandlerelemente 18, die zur Anpassung an eine besondere Übertragungsleitung
notwendig ist, hängt natürlich sowohl von der Impedanz der Übertragungsleitung als auch von den für
das einzelne Wandlerelement gewählten Abmessungen ab. Bei früheren Dünnfilm-Wandlern hat sich die
Notwendigkeit herausgestellt, die Fläche der Elektroden soweit wie möglich herabzusetzen, um die
Kapazität zu verringern, und folglich war die Impedanz eines derartigen Wandlers sehr gering und betrug
typisch etwa 0,01 Ohm. Hier aber sind die Kapazitäten durch Reihenverbindungen der Wandlerelemente herabgesetzt,
und daher müssen die einzelnen Elemente nicht so klein sein.
Die für die beiden schablonenartigen Elektrodenanordnungen und die piezoelektrische Lage erforderlichen
Strukturen können nach bekannten Technologien der Dünnfilmherstellung gebildet werden, beispielsweise
durch eine Ablagerung durch eine mit Öffnungen versehene Maske, obschon sie auch durch Ablagerung
einer durchgehenden Schicht auf der Oberfläche des Substrats 10 und Anwendung abtragender Methoden
■h
„mi*
gebildet werden können.
Gemäß vorliegender Erfindung ist die Auswahl des anzuwendenden Materials nicht kritisch. Geeignete
Elektroden können aus verdampftem Gold auf einer, um ein größeres Haftvermögen an dem Substrat zu
erzielen, Grundbeschichtung aus Chrom gebildet werden. Die piezoelektrische Lage 12 kann aus
Kadmiumsulfid oder einem anderen piezoelektrischen Material bestehen, das nach einer der verschiedenen
bekannten Techniken abgelagert worden ist.
Die piezoelektrische Lage kann eine einzelne homogene Lage oder, um verschiedene Leistungsübertragungsfaktoren
zu erreichen, eine einzelne Lage aus horizontal erstreckten Lagenbereichen mit unterschiedlirhpn
inH um nnti>rcr*hif*Hli_
_...., ..... .........».........
ehe Bandbreitedaten zu erzielen, kann der piezoelektrische
Wandler einen viellagigen Dünnfilm abwechselnder Polarität in der in dem US-Patent 34 97 727
beschriebenen Weise aufweisen. Mit solchen Strukturen kann gestaffelte Abstimmung erreicht werden.
Wie Fig.3 zeigt, weist das Ausführungsbeispiel weiter zwischen den Elektrodenanordnungen sandwichartig
eine Schicht 13 aus dielektrischem Material auf, die die Aufgabe hat, jegliche unabsichtlich durch die
piezoelektrische Lage infolge winziger Löcher o. dgl. auftretenden Kurzschlüsse zu verhindern. Eine solche
Schicht sollte im Vergleich zur piezoelektrischen Lage dünn sein, damit sie die akustischen Verhältnisse nicht
beeinflußt
Es wurden Wandler gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel mit einer einzelnen Lage piezoelektrischen
Materials aus Kadmiumsulfid und mit Elektrodenanordnungen, die auf Lithiumniobat abgelagertes
Gold aufweisen (mit einer Grundbeschichtung aus Chrom zur Haftung am Substrat), hergestellt
Innerhalb einer Fläche von 2x2 mm wurden Elektrodenanordnungen
mit jeweils 30 streifenförmigen Elektroden mittels Aufdampfen durch Lochmasken hindurch
gebildet wobei die streifenförmigen Elektroden etwa 12 um breit sind und der Abstand zwischen ihnen 4 um
beträgt Die Kadrniumsulfidlagi war mit einer Dicke
von etwa 2 um nach dem oben ingeführten Verfahren der noch nicht erledigten Patentanmeldung abgelagert
worden. Eine Schicht Siliziummonoxid in einer Stärke von etwa lOOÄ war auf der piezoelektrischen Lage
aufgebracht worden.
Die Einrichtung führt zu einer Bandbreite von ±50% um eine Mittenfrequenz von 850 MHz ohne externe
elektrische Anpassung an eine 50 Ohm Obertragungsleitung.
Die Ausführungen der F i g. 1 —5 sind für Druck- oder
Longitudinalwellen vorgesehen. Aber gemäß vorliegender Erfindung können Wandlerstrukturen für Transversalwellen
ähnlich gebildet werden. Bei Transversalwellen wird es notwendig sein, daß die schablonenartigen
Elektrodenanordnungen ein Entstehen jeglicher elektrischer Felder senkrecht zur Ebene der piezoelektrischen
Lage verhindern.
Die F i g. 6 und 7 veranschaulichen eine für Transversalweüen geeignete Ausführung. Die vorgesehener, unteren und oberen schablonenartigen Elektrodenanordnungen 34 und 36 sind identisch. Die obere Elektrodenanordnung 36 ist in Fig.6 dargestellt. Sie weist ein Paar Elektrodenkämme 36Ά und 36ß mit untereinander verzahnten, zahnförmig angeordneten Elektroden auf. Ihre Kammrücken, von denen ausgehend sich die Elektroden erstrecken, sind auf dem Substrat außerhalb des Randes der piezoelektrischen Lage 12 artgeordnet und mit gleichen Kammrücken der unteren Elektrodenanordnung verbunden. Die äußere Übertragungsleitung kann an die großen Bereiche der Kammrücken angeschlossen werden. Wie in F i g. 7 für den Zeitraum einer Halbperiode dargestellt, ergeben sich derartige Polaritätsbedingungen, daß lediglich parallel zu einer Seite des Substrats ausgerichtete Felder in der piezoelektrischen Lage 12 auftreten.
Die F i g. 6 und 7 veranschaulichen eine für Transversalweüen geeignete Ausführung. Die vorgesehener, unteren und oberen schablonenartigen Elektrodenanordnungen 34 und 36 sind identisch. Die obere Elektrodenanordnung 36 ist in Fig.6 dargestellt. Sie weist ein Paar Elektrodenkämme 36Ά und 36ß mit untereinander verzahnten, zahnförmig angeordneten Elektroden auf. Ihre Kammrücken, von denen ausgehend sich die Elektroden erstrecken, sind auf dem Substrat außerhalb des Randes der piezoelektrischen Lage 12 artgeordnet und mit gleichen Kammrücken der unteren Elektrodenanordnung verbunden. Die äußere Übertragungsleitung kann an die großen Bereiche der Kammrücken angeschlossen werden. Wie in F i g. 7 für den Zeitraum einer Halbperiode dargestellt, ergeben sich derartige Polaritätsbedingungen, daß lediglich parallel zu einer Seite des Substrats ausgerichtete Felder in der piezoelektrischen Lage 12 auftreten.
Ein anderes Ausführungsbeispiel für Transversalwellen ist in Fig.8 dargestellt Es kann eine einzige
Elektrodenanordnung 44 entweder oberhalb oder unterhalb, andernfalls zwei identische Elektrodenanordnungen
oberhalb und unterhalb der piezoelektrischen Lage 12 aufweisen. Die Elektrodenanordnung 44 enthält
eine Mehrzahl streifenförmiger Elektroden 44Λ, die untereinander durch einen Widerstandsfilm 44Z? wie
etwa durch einen Nickel-Chrom-Film, der einen bestimmten Potentialabfall zwischen benachbarter.
Elektroden 44A bewirkt verbunden sind. Auf diese
Weise wird ein nach einer Seite des Substrats ausgerichtetes Feld ohne Polaritätswechsel ermöglicht
45
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Piezoelektrischer Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in eine Oberflächenwelle,
der an eine ein Leiterpaar mit einer charakteristischen Impedanz aufweisende elektrische Übertragungsleitung
angeschlossen ist, gebildet aus einer Mehrzahl auf einem Oberflächenwellen leitenden
Substrat angeordneten, Wandlerelemente bildenden Wandlerfinger, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wandlerfinger (18a, b) elektrisch in Serie geschaltet sind und dadurch eine im wesentlichen
der Impedanz des Leiterpaares (20, 22) angepaßte Gesamtimpedanz und eine im Vergleich zur
Kapazität eines einzelnen aus Wandlerfingern (18a, Mb) gestalteten Wandlerelementes kleine Gesamtkapazitäi
aufweisen.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in Serie geschalteten piezoelektrischen
Wandlerfinger (18) eine erste, auf dem Substrat (10) angeordnete schablonenartige Elektrodenanordnung
(14) mit einer Mehrzahl einzelner Elektroden (14AJ aufweisen, daß über der ersten
Elektrodenanordnung (14) eine Lage (12) piezoelektrischen Materials mit einer auf der Lage angeordneten
zweiten schablonenartigen Elektrodenanordnung (16) mit einer Mehrzahl einzelner Elektroden
(16AJ und eine durchgehende von Piezoeffekten freie Isolationsschicht (13) zwischen der Lage (12)
aus piezoelektrischem Material und der zweiten Elektrodenanordnung (16) liegt, und daß die
Elektroden (14A, 16AJ der ersten und zweiten Elektrodenanordnung (14, i6) über den Rand der
Lage (12) aus piezoelektrischem Material hinausragen.
3. Elektroakustische Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Elektroden
(14A, 16AJ der schabloner<artigen Elektrodenanordnungen (14, 16) im wesentlichen streifenförmig
parallel zueinander angeordnet sind und die erste Elektrodenanordnung (14) eine erste größere mit
einer der streifenförmig angeordneten Elektroden (14/4,) verbundene Elektrodenlasche (14CJ, an die ein
Leiter (20) der Übertragungsleitung (24) angeschlossen ist, sowie die zweite Elektrodenanordnung (16)
eine zweite größere mit einer der streifenförmig angeordneten Elektroden (16AJ der zweiten schablonenartigen
Elektrodenanordnung (16) verbundene Elektrodenlasche (16CJ, an die der zweite Leiter
(22) der Übertragungsleitung angeschlossen ist, aufweisen.
4. Elektroakustische Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die leitenden Verbindungen zwischen Elektroden (14A 16AJ der ersten und der zweiten schablonenartigen
Elektrodenanordnung (14, 16) unmittelbar durch über die Begrenzung der Lage (12) aus
piezoelektrischem Material hinausragende und aufeinanderliegende Bereiche der Elektroden (14A,
16A7) gebildet sind.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2—4, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils abwechselnd
auf zwei Seitenflächen der Elektrodenanordnungen (14, 16) ein Ende einer Elektrode (14AJ der ersten
Elektrodenanordnung (14) mit einem Ende einer Elektrode (16AJ der zweiten Elektrodenanordnung
(16) verbunden ist.
6. Elektroakustische Einrichtung nach einem der
Ansprüche 2—5, dadurch gekennzeichnet, daß das
Substrat (10) aus einem Schallwellen verzögernden Material besteht und daß die einen unbeabsichtigten
elektrischen Kurzschluß durch die Lage (12) aus piezoelektrischem Material verhindernde Schicht
(13) dünn im Vergleich zur Stärke der Lage (12) ist
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US7109470A | 1970-09-10 | 1970-09-10 |
Publications (3)
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Family
ID=22099214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2144607A Expired DE2144607C3 (de) | 1970-09-10 | 1971-09-07 | Piezoelektrischer Wandler zur Umwandlung eines elektrischen Signals in eine Oberflächenwelle |
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Country | Link |
---|---|
US (1) | US3689784A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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