DE19513937C2 - Akustisches Oberflächenwellenfilter - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Akustisches Oberflächenwel­ lenfilter (AOW-Filter) mit auf einem piezoelektrischen Sub­ strat ausgebildeten Interdigitalwandlern (interdigital trans­ ducers, IDT) und Reflektoren.

AOW-Filter kommen zur Bereitstellung kompakter Geräte in verschiedenartigen Kommunikationsausrüstungen in Anwendung Für die Benutzung in einem tragbaren Telefon sind jedoch Filter erforderlich, die einen breiten Durchlaßbereich von über 25 MHz und einen kleinen Einfügungsdämpfungspegel haben. Aus dem Stand der Technik bekannte Beispiele für AOW-Filter, die solche Forderungen, insbesondere die Forderung nach einem breiten Durchlaßbereich, erfüllen, umfassen solche, die ein 36°-Drehungs-Y-X-Schnitt-Ausbreitungs-LiTaO₃-Substrat (36° Y-X LiTaO₃-Substrat) oder ein 64° Y-X LiNbO₃-Substrat mit einem großen elektromechanischen Koeffizienten benutzen (Siehe z. B. die US-A-5,300,902).

Aus der DE 41 15 080 A1 ist eine Oberflächenwellenanord­ nung mit auf einem Substrat periodisch angeordneten Metall­ streifen bekannt. Die Dicke des Metalls der Streifen und die Periodizität der Metallstreifen sind dabei so gewählt, daß das Verhältnis von Dicke zu Periodizität einen Wert hat, für den die Oberflächenwellenausbreitungsgeschwindigkeit bzw. die Wellenreflexion an den Metallstreifen extremal ist.

Die DE 41 32 309 A1 offenbart ein Stoneleywellen-Bauteil mit nichtreflektierenden Interdigitalwandlern. Die Fingerelek­ troden dieses Bauteils sind entweder aus Silber oder aus Gold gefertigt. Silberne Fingerelektroden haben dabei eine Höhe von 0,012 λ, goldene Fingerelektroden haben eine Höhe von 0,005 λ, wobei λ die Wellenlänge der Stoneleywelle ist.

Aus der JP 07030363 A ist ein akustisches Oberflächenwel­ lenfilter mit einem Metallisationsverhältnis von größer als 0,68 bekannt.

Unter den AOW-Filtern, die ein 36° Y-X LiTaO₃ aufweisen, sind gegenwärtig Gestaltungsformen wie zum Beispiel der Lei­ tertyp und der Typ der fingerartig ineinandergreifenden Inter­ digitalwandler (interdigitated interdigital transducer, IIDT) in Gebrauch. Mit gewöhnlichen AOW-Filtern, die von der Moden­ kopplung Gebrauch machen, kann jedoch nur ein Wert der Band­ breite erreicht werden, der lediglich ungefähr 2% des Wertes der Mittenfrequenz beträgt. Da für ein tragbares Telefon ein entsprechendes Verhältnis zwischen Bandbreite und Mittenfre­ quenz von mindestens 3% erforderlich ist, sind diese Filter für praktische Anwendungen ungeeignet.

Andererseits sind AOW-Filter, die ein 64° Y-X LiNbO₃-Sub­ strat aufweisen, für tragbare Telefone in Gebrauch, da mit ihnen ein entsprechendes Verhältnis zwischen Bandbreite und Mittenfrequenz von ungefähr 4% erreichbar ist. Jedoch ist keines dieser Filter praktisch, weil sie nicht leicht herzu­ stellen und ihre Produktionskosten hoch sind.

Detaillierter ausgedrückt haben AOW-Filter, die in einem tragbaren Telefon benutzt werden, einen Sperrbereich minde­ stens an einer Seite ihres Durchlaßbereiches, das heißt, mindestens an dessen Niederfrequenzseite oder an dessen Hoch­ frequenzseite, und innerhalb eines solchen Sperrbereiches oder solcher Sperrbereiche muß ein gewisser Dämpfungspegel bereit­ gestellt werden (gewöhnlich über 20 dB). Mit anderen Worten sind Filter, die einen guten Formfaktor (definiert als das Verhältnis zwischen der Breite des Durchlaßbereiches und der Breite des Dämpfungsbereiches) haben und leicht herzustellen sind, solche, die bei einer Dämpfung von 20 dB eine schmale Bandbreite haben.

Fig. 8 zeigt eine Frequenzkennlinie eines AOW-Filters nach dem Stand der Technik, das ein 64° Y-X LiNbO₃-Substrat aufweist und das ausgelegt ist für die Benutzung in einem mobilen Kommunikationssystem, welches ein AOW-Filter mit einer Mittenfrequenz f₀ von 947,5 MHz auf der Seite des Empfangs­ kreises für seine tragbare Einheit erfordert. Um Interferenzen von Wellen mit Empfangsfrequenzen innerhalb eines Bereichs von 45 MHz auf der Niederfrequenzseite der Mittenfrequenz f₀ zu verhindern, sollte dieses Filter vorzugsweise eine Dämpfung von über 20 dB innerhalb eines Sperrbereiches von 902,5 ± 12,5 MHz (nachfolgend als Niederfrequenzseitensperrbereich C be­ zeichnet) haben. Zur Spiegelunterdrückung auf der höherfre­ quenten Seite sollte dieses Filter ferner auch vorzugsweise eine Dämpfung von über 20 dB innerhalb eines anderen Sperr­ bereiches von 992,5 ± 12,5 MHz (im folgenden als Hochfrequenz­ seitensperrbereich C′ bezeichnet) haben.

Da die Mittenfrequenzen von AOW-Filtern nicht exakt dieselben sind, sondern aufgrund von Veränderungen ihrer Produktionsbedingungen schwanken, variieren auch ihre Dämp­ fungskennlinien von Produkt zu Produkt. Um Dämpfungspegel von größer als 20 dB sowohl auf der Niederfrequenz- als auch auf der Hochfrequenzseite aufrechtzuerhalten, ist deshalb eine die Frequenz betreffende Steuerung mit einem entsprechend hohen Genauigkeitsgrad erforderlich.

Obgleich es ideal wäre, die Mittenfrequenz eines AOW-Fil­ ters ungefähr in der Mitte zwischen seinem Niederfrequenz­ seitensperrbereich C und seinem Hochfrequenzseitensperrbereich C′ zu haben, wie es in Fig. 8 gezeigt ist, um sowohl auf der niederfrequenten Seite als auch auf der höherfrequenten Seite eine hohe Dämpfung zu erzielen, kann eine Dämpfung von über 20 dB sogar bei großen Änderungen der Mittenfrequenz erreicht werden, wenn die Bandbreite A bei einem Dämpfungspegel von 20 dB schmal ist. Mit anderen Worten, die Bandbreite bei einer Dämpfung von 20 dB spielt eine wichtige Rolle beim Erreichen einer Dämpfung von über 20 dB sowohl auf der niederfrequenten als auch auf der höherfrequenten Seite der Mittenfrequenz.

Bei dem in Fig. 8 gezeigten Beispiel ist die Toleranz für Produktionsfehler (die Breite der erlaubten Frequenzvariatio­ nen) auf der Niederfrequenzseite durch die Frequenzdifferenz zwischen den Punkten X und Y repräsentiert, und ihre Größe wird durch Subtraktion der halben Breite bei einem Dämpfungs­ pegel von 20 dB (28 MHz) und der halben Breite des Nieder­ frequenzseitensperrbereiches C (12,5 MHz) von der Frequenz­ differenz B (= 45 MHz) zwischen den Mitten des Sperrbereiches und des Durchlaßbereiches erhalten. In dem in Fig. 8 darge­ stellten Beispiel berechnet sich dies zu 4,5 MHz, aber, da die Frequenzen von AOW-Filtern normalerweise um ungefähr ±3 MHz um einen Wert bei normaler Temperatur schwanken, wenn sich die Temperatur innerhalb eines Bereiches von -25°C bis 75°C än­ dert, wird dies gewöhnlich von dem berechneten Wert abgezogen, und 4,5 - 3 = 1,5 MHz wird als die Toleranz für Produktions­ fehler auf der Niederfrequenzseite angesetzt. Die Produktions­ fehlertoleranz für die Hochfrequenzseite wird auf ähnliche Weise berechnet und beträgt 1,5 MHz.

Da die Mittenfrequenz eines Filters stark von der Dicke der Schichtelektroden und der Breite der Elektrodenleitungen abhängt, ist jedoch eine Produktionsfehlertoleranz von 1,5 MHz auf jeder Seite nicht ausreichend, und es wird notwendig, die Dicke der Schichtelektroden und die Breiten der Elektrodenlei­ tungen für jedes Fertigungslos genau zu steuern. Das macht die Produktion schwierig und hat den nachteiligen Effekt des Ansteigens der Produktionskosten.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein AOW-Fil­ ter bereitzustellen, das leicht hergestellt werden kann, so daß seine Produktionskosten reduziert werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein akustisches Oberflächenwellenfilter mit einem 36° Y-X LiTaO₃-Sub­ strat, mehreren auf dem Substrat ausgebildeten Interdigi­ talwandlern und auf dem Substrat ausgebildeten Reflektoren, die die Interdigitalwandler nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen sich einschließen, wobei die Interdigitalwandler und die Reflektoren längliche Elektrodenfinger aufweisen, deren Dicke h so gewählt ist, daß sie der Bedingung 0,06 h/λ 0,10 genügt, wobei λ die Wellenlänge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächenwelle ist. Bevorzugterweise werden mehrere derartige akustische Oberflächenwellenfilter parallel und kaskadenförmig auf ein und demselben 36° Y-X LiTaO₃-Sub­ strat ausgebildet. Wenn die Breite der zu den Interdigital­ wandlern und den Reflektoren gehörenden Fingern M ist und ihr Vorderkantenabstand P, so wird ein Verhältnis von 0,6 M/P bevorzugt.

Im nachfolgenden werden anhand von Figuren die Prinzipien der Erfindung dargestellt und einige Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine Draufsicht auf die allgemeine Struktur eines erfindungsgemäßen AOW-Filters,

Fig. 2 eine vergrößerte Schnittdarstellung eines Teils eines Interdigitalwandler- oder Reflektorteils eines AOW-Fil­ ters entsprechend einer ersten und einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen dem Verhältnis h/λ und dem Durchlaßbreite-zu-Mittenfre­ quenz-Verhältnis eines AOW-Filters,

Fig. 4 eine graphische Darstellung einer Kennlinie eines AOW-Fil­ ters entsprechend einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 5 für ein AOW-Filter eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen dem Breite-zu-Vorderkantenabstand- Verhältnis der Elektrodenfinger und der Bandbreite bei einer Dämpfung von 20 dB,

Fig. 6 eine Draufsicht auf ein AOW-Filter entsprechend einer anderen Ausführungsform der Erfindung mit zwei Filter­ sektionen,

Fig. 7 eine graphische Darstellung einer Kennlinie eines AOW-Fil­ ters entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, und

Fig. 8 eine graphische Darstellung einer Kennlinie eines AOW-Fil­ ters nach dem Stand der Technik.

Die Fig. 1 und 2 zeigen einige, AOW-Filtern 1 entspre­ chend der vorliegenden Erfindung gemeinsame strukturelle Merkmale. Reflektoren 3A und 3B sind auf einer Oberfläche eines 36° Y-X LiTaO₃-Substrates 2 ausgebildet. Drei Inter­ digitalwandler 4A, 4B und 4C bekannten Typs sind zwischen den Reflektoren 3A und 3B aufeinanderfolgend angeordnet. Die Reflektoren 3A und 3B und die Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C sind jeweils mit mehreren Elektrodenfingern 5 versehen. Die Elektrodenfinger 5 sind längliche Elektroden, die wechsel­ seitig parallel angeordnet sind, wie es z. B. in der US-A-5,223,762 offenbart ist. Die beiden Interdigitalwandler 4A und 4C an beiden Enden sind elektrisch parallel miteinander ver­ bunden und an einen Eingangs-/Ausgangsanschluß 6 angeschlos­ sen, während der in der Mitte zwischen ihnen befindliche Interdigitalwandler 4B mit einem separaten Eingangs-/Ausgangs­ anschluß 7 verbunden ist. Jeder dieser Reflektoren 3A und 3B und der Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C kann hergestellt werden, indem man zuerst eine dünne Al-Schicht auf dem 36° Y-X LiTaO₃-Substrat 2 ausbildet und dann diese Schicht fotoätzt. Alternativ können die Reflektoren 3A und 3B und die Inter­ digitalwandler 4A, 4B und 4C mittels selektiver Abscheidung, z. B. durch eine sogenannte Abhebemethode, ausgebildet werden.

Das auf diese Weise ausgebildete erfindungsgemäße AOW-Fil­ ter 1 ist dadurch charakterisiert, daß es eine Dicke der Elektrodenschichten der Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B hat, die sich nach der Wellenlänge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächenwelle (AOW) bestimmt. Detaillierter ausgedrückt bedeutet das, daß, wenn die Schichtdicke der Elektrodenfinger 5 der Interdigitalwand­ ler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B h und die Wellenlänge der vom Filter 1 erzeugten AOW λ ist, das Dicke- zu-Wellenlänge-Verhältnis h/λ entsprechend der Erfindung größer oder gleich 0,06, jedoch nicht größer als 0,10 ist, d. h. 0,06 h/λ 0,10. Entsprechend dieser Erfindung wird dabei die Produktionsfehlertoleranz erhöht, so daß die Produk­ tion einfacher wird und die Produktionskosten reduziert werden können.

Zusammenfassend wird festgestellt, daß AOW-Filter, die ein 36° Y-X LiTaO₃-Substrat anstelle eines 64° Y-X LiNbO₃-Sub­ strats benutzen, bekannt dafür sind, einen verbesserten Q-Wert für ihre Resonatoren und einen verbesserten Formfaktor aufzuweisen, obgleich AOW-Filter dieses Typs nach dem Stand der Technik keine genügend große Durchlaßbreite für den Ein­ satz in einem tragbaren Telefon liefern konnten, wie es oben erläutert wurde. Für tragbare Telefone, die z. B. im 900 MHz-Band arbeiten, ist ein Durchlaßbereich mit einer Breite von mindestens 30 MHz erforderlich, wenn Temperaturschwankungs­ effekte in Betracht gezogen werden. Es ist, mit anderen Wor­ ten, ein Durchlaßbreite-zu-Mittenfrequenz-Verhältnis von ungefähr 3,3% erforderlich. Die vorliegende Erfindung basiert auf der Erkenntnis, daß der Sperrbereich der Reflektoren 3A und 3B breiter wird und daß die Breite des Durchlaßbereiches gesteigert werden kann, wenn die Dicke h der Elektrodenschicht der Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B erhöht wird. Fig. 3 zeigt Ergebnisse einer experimen­ tellen Messung des Durchlaßbreite-zu-Mittenfrequenz-Verhält­ nisses in Abhängigkeit vom Dicke-zu-Wellenlänge-Verhältnis h/λ bei ansonsten gleichem AOW-Filtertyp.

Bei AOW-Filtern dieses Typs nach dem Stand der Technik war das Dicke-zu-Wellenlänge-Verhältnis h/λ üblicherweise ungefähr 0,03. Fig. 3 zeigt, daß das Dicke-zu-Wellenlänge- Verhältnis h/λ eines AOW-Filters, welches ein 36° Y-X LiTAO₃-Sub­ strat benutzt, um einen Faktor von mindestens 2 erhöht werden muß, so daß gilt h/λ 0,06, um das Durchlaßbreite-zu- Mittenfrequenz-Verhältnis auf 3,3% zu erhöhen, so daß das Filter in einem tragbaren Telefon eingesetzt werden kann.

Fig. 3 zeigt auch, daß das Durchlaßbreite-zu-Mittenfre­ quenz-Verhältnis mit wachsendem Dicke-zu-Wellenlänge-Verhält­ nis h/λ weiter ansteigt. Wird jedoch das Dicke-zu-Wellenlänge- Verhältnis h/λ übermäßig vergrößert, kann der Durchlaßbereich den Sperrbereich auf der Niederfrequenzseite und/oder der Hochfrequenzseite überlappen, was eine unzureichende Dämpfung verursacht. Da entsprechend Fig. 8 die Trennung zwischen den Sperrbereichen auf der Niederfrequenzseite und auf der Hoch­ frequenzseite ungefähr 65 MHz beträgt, ist es nicht wünschens­ wert, das Durchlaßbreite-zu-Mittenfrequenz-Verhältnis größer als 6,9% werden zu lassen. Mit anderen Worten, entsprechend dem in Fig. 3 gezeigten experimentellen Ergebnis darf das Dicke-zu-Wellenlänge-Verhältnis h/λ nicht größer als 0,10 sein.

Es wurde ein AOW-Filter entsprechend einer ersten Aus­ führungsform der Erfindung hergestellt, dessen Dicke-zu-Wel­ lenlänge-Verhältnis h/λ gleich 0,06 ist und dessen Dämpfungs­ kennlinie gemessen wurde. Wie in Fig. 4 gezeigt, war die Band­ breite bei einem Dämpfungspegel von 20 dB 48 MHz, was gegen­ über dem in Fig. 8 gezeigten Beispiel nach dem Stand der Technik eine Verbesserung um 8 MHz bedeutet. Die auf demselben Wege wie oben erläutert errechnete Produktionsfehlertoleranz beträgt 5,5 MHz auf jeder Seite, was gegenüber dem Wert nach dem Stand der Technik um einen Faktor von ungefähr 3,6 größer ist. Fig. 4 zeigt außerdem, daß eine Dämpfung von fast 30 dB erreicht wird.

Obwohl die Durchlaßbreite durch Vergrößerung der Dicke h der Elektrodenschicht der Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B vergrößert werden kann, wird der Formfaktor schlecht, wenn das Reflektionsvermögen der Reflek­ toren 3A und 3B ansteigt, und die Sperrbereiche werden zu breit. Angesichts des oben dargelegten ist ein AOW-Filter entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung dadurch charakterisiert, daß die Breite der Elektrodenfinger 5 seiner Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B so ausgelegt ist, daß der Formfaktor des Filters verbessert wird. In jeder anderen Hinsicht sind die AOW-Filter entsprechend der zweiten Ausführungsform der Erfindung iden­ tisch mit dem AOW-Filter entsprechend der ersten Ausführungs­ form der Erfindung, wie es oben mit Bezug auf die Fig. 1 und 2 beschrieben wurde, d. h. sie weisen ein 36° Y-X LiTaO₃-Substrat 2 auf, auf dem Reflektoren 3 und Interdigitalwandler 4 ausge­ bildet sind, von denen jeder mehrere Elektrodenfinger 5 hat. Die Schichtdicke h dieser Elektrodenfinger 5 muß wieder der Bedingung 0,06 h/λ 0,10 genügen, wobei λ die Wellenlänge der vom Filter erzeugten AOW ist.

Wie in Fig. 2 gezeigt, sei P der Vorderkantenabstand und M die Breite der Elektrodenfinger 5 der Interdigitalwandler 4A, 4B und 4C und der Reflektoren 3A und 3B. Dann ist das AOW-Fil­ ter entsprechend der zweiten Ausführungsform der Erfindung zusätzlich dadurch charakterisiert, daß das Verhältnis M/P (d. h. das Breite-zu-Vorderkantenabstand-Verhältnis, das auch als das "Elektrodenfingerspiel" bezeichnet werden kann) größer oder gleich als 0,6 ist, d. h. 0,6 M/P. Mit dem so gewählten Breite-zu-Vorderkantenabstand-Verhältnis M/P können AOW-Filter entsprechend der zweiten Ausführungsform der Erfindung leich­ ter und mit verringerten Produktionskosten hergestellt werden.

Fig. 5 zeigt die Ergebnisse eines anderen Experimentes, das zur Messung der Abhängigkeit der Bandbreite vom Breite-zu- Vorderkanten-Verhältnis M/P der Elektrodenfinger bei einem Dämpfungsniveau von 20 dB für erfindungsgemäße AOW-Filter durchgeführt wurde. Fig. 5 zeigt deutlich, daß die Bandbreite bei einem Dämpfungsniveau von 20 dB abnimmt und sich folglich der Formfaktor verbessert, wenn das Breite-zu-Vorderkanten­ abstand-Verhältnis M/P der Elektrodenfinger vergrößert wird. Aus weiterer Analyse kann man schließen, daß die besten Ergeb­ nisse erzielt werden, wenn M/P 0,6.

Fig. 5 zeigt, daß sogar eine Verbesserung erreichbar ist, wenn das Verhältnis M/P kleiner als 0,4 ist, aber die Verbes­ serung in diesem Falle ist sehr klein. Außerdem ist es nicht wünschenswert, die Elektrodenfinger zu schmal zu machen, weil der Widerstand der Elektrodenfinger groß und die Einfügungs­ dämpfung schlecht wird, wenn man ihre Breite reduziert. Da die Obergrenze des Verhältnisses M/P von der Herstellungstechnolo­ gie der Elektrodenfinger abhängt (oder von der Technologie der Herstellung der Lücken zwischen den Elektrodenfingern), setzt diese Erfindung keinen Wert für die obere Grenze dieses Ver­ hältnisses.

Innerhalb des Rahmens der Erfindung sind viele Modifika­ tionen und Variationen möglich. Z.B. zeigt Fig. 6 ein anderes Filter 10, das auch eine Ausführungsform der Erfindung ist und zwei Filtersektionen aufweist, die einander parallel und kaskadenförmig angeordnet sind, wobei jede Sektion so aufge­ baut ist, wie es mit Bezug auf Fig. 1 erläutert wurde und sich die beiden Sektionen einen einzigen Eingangs-/Ausgangsanschluß 6 teilen. Fig. 7 zeigt eine experimentell aufgenommene Filter­ kennlinie eines Filters mit zwei Filtersektionen, die wie in Fig. 6 gezeigt miteinander verbunden sind, wobei jedes Filter entsprechend der zweiten oben beschriebenen Ausführungsform der Erfindung aufgebaut ist mit einem Dicke-zu-Wellenlänge- Verhältnis h/λ der Elektrodenschicht von 0,06 und in anderer Hinsicht genauso wie Filter nach dem Stand der Technik. Fig. 7 zeigt, daß die Bandbreite A bei einem Dämpfungsniveau von 20 dB 40 MHz beträgt, was eine Verbesserung von 16 MHz gegenüber dem Beispiel nach dem Stand der Technik ist. Die Produktions­ fehlertoleranz, die genauso wie oben dargelegt berechnet wurde, beträgt 9,5 MHz. Das ist das 6,3fache des Wertes, der für das oben beschriebene Filter nach dem Stand der Technik erzielt wurde. Fig. 7 zeigt weiterhin, daß eine Dämpfung von über 30 dB erreicht wurde.

AOW-Filter mit drei oder mehr zusammengeschalteten Fil­ tersektionen liegen auch im Bereich der Erfindung. Obwohl oben Beispiele mit drei auf einem 36° Y-X LiTaO₃-Substrat ausgebil­ deten Interdigitalwandlern gezeigt wurden, ist es auch mög­ lich, nur zwei oder auch vier Interdigitalwandler auf dem Substrat zu haben.

Zusammenfassend lehrt die Erfindung erstens, daß das Dicke-zu-Wellenlänge-Verhältnis h/λ der Elektrodenschicht für die Elektrodenfinger der Reflektoren und der Interdigital­ wandler eines AOW-Filters eines aus dem Stand der Technik bekannten Typs zwischen 0,06 und 0,1 betragen soll, und zwei­ tens, daß das Breite-zu-Vorderkantenabstand-Verhältnis M/P ihrer Elektrodenfinger so vergrößert werden soll, daß die Bedingung M/P 0,6 erfüllt ist. So ausgelegte AOW-Filter haben einen verbesserten Formfaktor, und sie sind, da die Produktionsfehlertoleranz erhöht ist, leichter herzustellen, und ihre Produktionskosten werden verringert.

Claims (4)

1. Akustisches Oberflächenwellenfilter (1) mit

• - einem 36° Y-X LiTaO₃-Substrat (2),
• - mehreren auf dem Substrat (2) ausgebildeten Interdigital­ wandlern (4A, 4B, 4C) und
• - auf dem Substrat (2) ausgebildeten Reflektoren (3A, 3B), die die Interdigitalwandler (4A, 4B, 4C) nach Art einer Sand­ wich-Struktur zwischen sich einschließen,

dadurch gekennzeichnet, daß die Interdigitalwandler (4A, 4B, 4C) und die Reflektoren (3A, 3B) längliche Elektrodenfinger (5) aufweisen, deren Dicke h so gewählt ist, daß sie der Bedingung 0,06 h/λ 0,10 genügt, wobei λ die Wellenlänge der vom Filter (1) erzeugten akustischen Oberflächenwelle ist.

2. Akustisches Oberflächenwellenfilter (10), gekennzeichnet durch mehrere akustische Oberflächenwellenfilter (1) nach Anspruch 1, die parallel und kaskadenförmig auf ein und dem­ selben 36° Y-X LiTaO₃-Substrat (2) ausgebildet sind.

3. Akustisches Oberflächenwellenfilter (1; 10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Finger (5) eine Breite M haben und mit einem Vorderkantenabstand P zur Bildung der Interdigitalwandler (4A, 4B, 4C) und der Reflektoren (3A, 3B) so angeordnet sind, daß M/P größer oder gleich 0,6 ist.