DE102008001442A1 - Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements - Google Patents
Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements Download PDFInfo
- Publication number
- DE102008001442A1 DE102008001442A1 DE102008001442A DE102008001442A DE102008001442A1 DE 102008001442 A1 DE102008001442 A1 DE 102008001442A1 DE 102008001442 A DE102008001442 A DE 102008001442A DE 102008001442 A DE102008001442 A DE 102008001442A DE 102008001442 A1 DE102008001442 A1 DE 102008001442A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- seismic mass
- deflection
- detection means
- parallel
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0817—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for pivoting movement of the mass, e.g. in-plane pendulum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0831—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type having the pivot axis between the longitudinal ends of the mass, e.g. see-saw configuration
Abstract
Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat, einer seismischen Masse und ersten und zweiten Detektionsmitteln vorgeschlagen, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene aufweist und wobei die ersten Detektionsmittel zur Detektion einer im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung der seismischen Masse entlang einer ersten Richtung im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene vorgesehen sind und wobei ferner die zweiten Detektionsmittel zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung der seismischen Masse um eine erste Rotationsachse parallel zu einer zweiten Richtung im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene vorgesehen sind.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Solche mikromechanischen Bauelemente sind allgemein bekannt. Beispielsweise ist aus der Druckschrift
DE 197 19 779 A1 ein Beschleunigungssensor mit einer beweglich an einem Substrat aufgehängten, aufgrund einer Beschleunigungseinwirkung in eine Richtung auslenkbaren, Schwingstruktur und Auswertemitteln zum Erfassen einer beschleunigungsbedingten Auslenkung der Schwingstruktur bekannt. Nachteiligerweise ist eine Erfassung von Beschleunigungseinwirkungen parallel zu einer Mehrzahl von Richtungen, welche senkrecht aufeinander stehen, mit einem einzigen Beschleunigungssensor jedoch nicht vorgesehen. Zur mehrkanaligen Beschleunigungsvermessung ist daher der Einsatz einer Mehrzahl derartiger Beschleunigungssensoren, welche zueinander unterschiedlich ausgerichtet sind, notwendig. - Offenbarung der Erfindung
- Das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement und das erfindungsgemäße Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements gemäß den nebengeordneten Ansprüchen haben gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass mit der lediglich einen seismischen Masse eine separate Detektion von wenigstens zwei senkrecht zueinander gerichteten Beschleunigungswirkungen auf das mikromechanische Bauelement ermöglicht wird. Dies wird dadurch erreicht, dass sowohl die erste Auslenkung der seismischen Masse, in Form einer Translation der seismischen Masse im Wesentlichen parallel zur ersten Richtung, von dem ersten Detektionsmittel, als auch eine zweite Auslenkung der seismischen Masse, in Form einer Rotation der seismischen Masse im Wesentlichen um die erste Rotationsachse, von dem zweiten Detektionsmittel detektierbar bzw. vermessbar sind. Somit wird mit nur einer einzigen seismischen Masse eine wenigstens zweikanalige Beschleunigungsvermessung ermöglicht, d. h. das mikromechanische Bauelement ist gleichzeitig in der ersten Richtung und in einer zur ersten Richtung senkrechten dritten Richtung gegenüber Beschleunigungskräften sensitiv. Somit ist im Vergleich zum Stand der Technik eine deutlich bauraumkompaktere und stromsparendere Realisierung eines mehrkanaligen Beschleunigungssensors möglich, so dass einerseits die Herstellungskosten und andererseits der Implementierungsaufwand in erheblicher Weise gesenkt werden. Bevorzugt weist die seismische Masse eine asymmetrische Massenverteilung gegenüber der ersten Rotationsachse bzw. bezüglich einer die erste Rotationsachse schneidenden und parallel zur dritten Richtung verlaufenden Linie auf, so dass insbesondere eine Beschleunigungswirkung parallel zur dritten Richtung, d. h. senkrecht zur ersten Richtung und senkrecht zur ersten Rotationsachse, ein auf die seismische Masse wirkendes Drehmoment erzeugt und somit die zweite Auslenkung der seismischen Masse im Wesentlichen in Form einer Drehung der seismischen Masse um die erste Rotationsachse bewirkt. Detektion und Vermessung im Sinne der vorliegenden Erfindung umfasst insbesondere jede qualitative und/oder quantitative Erkennung und Ermittlung der jeweiligen Auslenkung.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen, sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung entnehmbar.
- Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das mikromechanische Bauelement dritte Detektionsmittel zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen dritten Auslenkung der seismischen Masse um eine zweite Rotationsachse parallel zu einer dritten Richtung im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene. Besonders vorteilhaft ist somit die Realisierung eines dreikanaligen Beschleunigungssensors möglich, da zusätzlich zur Vermessung der Beschleunigungswirkung parallel zur ersten und parallel zur dritten Richtung auch eine Vermessung einer Beschleunigungswirkung auf das mikromechanische Bauelement parallel zur zweiten Richtung mittels der dritten Detektionsmittel ermöglicht wird. Insbesondere weist die seismische Masse auch eine asymmetrische Massenverteilung bezüglich der zweiten Rotationsachse auf, welche insbesondere der Linie entspricht, so dass eine auf die seismische Masse senkrecht zur zweiten Rotationsachse und senkrecht zur ersten Richtung wirkende Beschleunigungskraft ein auf die seismische Masse wirkendes weiteres Drehmoment erzeugt und somit im Wesentlichen eine Drehung der seismische Masse um die zweite Rotationsachse bewirkt.
- Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die seismische Masse als Wippe ausgebildet ist, welche insbesondere um die erste und/oder die zweite Rotationsachse drehbeweglich gelagert ist. In vorteilhafter Weise ist durch die Realisierung der seismischen Masse als Wippe, welche um die erste und/oder die zweite Achse drehbeweglich ist, eine besonders einfache Implementierung der entsprechenden Detektionsmittel beispielsweise unterhalb der seismischen Masse möglich, wobei die Wippe bezüglich der jeweiligen Rotationsachse vorzugsweise eine asymmetrische Massenverteilung aufweist.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die ersten, zweiten und/oder dritten Detektionsmittel Elektroden, insbesondere zur kapazitiven Vermessung der ersten, zweiten und/oder dritten Auslenkung, umfassen, wobei die ersten und/oder zweiten Detektionsmittel bevorzugt als Fingerelektroden und/oder die dritten Detektionsmittel bevorzugt als Flächenelektroden ausgebildet sind. Besonders vorteilhaft sind somit in vergleichsweise einfacher und kostengünstiger Weise die ersten, zweiten und/oder dritten Detektionsmittel realisierbar, welche vorzugsweise durch die kapazitive Vermessung der ersten, zweiten und dritten Auslenkung eine vergleichsweise präzise Detektion bzw. Vermessung von Beschleunigungswirkungen parallel zur ersten, zur zweiten und/oder zur dritten Richtung erlauben. Die Verwendung von Fingerelektroden ermöglicht besonders bevorzugt eine differentielle Vermessung der Beschleunigungswirkungen parallel zur ersten, zur zweiten und/oder zur dritten Richtung.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die ersten und/oder die zweiten Detektionsmittel an wenigstens einem Rand der seismischen Masse und/oder in ersten und/oder zweiten Aussparungen der seismischen Masse angeordnet sind. Besonders vorteilhaft ist somit eine vergleichsweise bauraumkompakte Integration der ersten und/oder der zweiten Detektionsmittel und insbesondere einer Vielzahl von Fingerelektroden in das mikromechanische Bauelement bzw. in die seismische Masse möglich. Besonders bevorzugt ist eine differentielle Auswertung der ersten und/oder zweiten Auslenkung mittels der ersten und/oder zweiten Detektionsmittel vorgesehen.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die dritten Detektionsmittel senkrecht zur Haupterstreckungsebene die seismische Masse überlappend angeordnet sind. Besonders vorteilhaft ist somit die dritte Auslenkung parallel zur dritten Richtung vermessbar, welche vorzugsweise senkrecht zur Haupterstreckungsebene ausgerichtet ist. Aufgrund der asymmetrischen Massenverteilung der seismischen Masse bezüglich der zweiten Rotationsachse ist besonders bevorzugt eine differentielle Auswertung der dritten Auslenkung mittels ”unterhalb” der seismischen Masse angeordneten dritten Detektionsmittel möglich, so dass keine vergleichsweise prozesstechnisch aufwändige Anordnung von Elektroden ”oberhalb” der seismischen Masse zu differentiellen Vermessung der dritten Auslenkung notwendig ist.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die seismische Masse über Federelemente, insbesondere Torsions- und/oder Biegefedern, mit dem Substrat verbunden ist, wobei die ersten Federelemente vorzugsweise derart ausgebildet sind, dass die erste, die zweite und/oder die dritte Auslenkung der seismischen Masse ermöglicht werden. Besonders vorteilhaft sind aufgrund der Verwendung von lediglich einer einzigen seismischen Masse zur Vermessung von Beschleunigungswirkungen parallel zur ersten, zweiten und dritten Richtung im Vergleich zum Stand der Technik auch nur die ersten Federelemente zur beweglichen Lagerung der seismischen Masse notwendig. Vorzugsweise umfassen die ersten Federelemente zwei Torsions-Biege-Federn, welche während der ersten Auslenkung gleichsam in die erste Richtung verbogen werden, welche während der zweiten Auslenkung entgegengesetzt parallel zur ersten Richtung verbogen werden, d. h. dass eine der zwei Torsion-Biege-Federn in Richtung der ersten Richtung und die zweite der zwei Torsions-Biege-Federn antiparallel zur ersten Richtung ausgelenkt werden, und welche während der dritten Auslenkungsbewegung eine Torsion um die zweite Rotationsachse durchführen.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das mikromechanische Bauelement einen Beschleunigungssensor umfasst, wobei insbesondere die erste, die zweite und die dritte Richtung zueinander senkrecht ausgerichtet sind, so dass besonders vorteilhaft eine Vermessung von Beschleunigungswirkungen auf das mikromechanische Bauelement in alle drei Raumrichtungen mit nur einer einzigen seismischen Masse ermöglicht wird.
- Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements, wobei eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements in die erste Richtung durch eine Vermessung der im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung der seismischen Masse und eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements in eine zur ersten Richtung im Wesentlichen senkrechten zweiten Richtung durch eine Vermessung der im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung der seismischen Masse detektiert wird, so dass im Gegensatz zum Stand der Technik mit nur einer einzigen seismischen Masse eine wenigstens zweikanalige Vermessung von Beschleunigungswirkungen auf das mikromechanische Bauelement durch die Vermessung der im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung und der im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung ermöglicht wird.
- Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements in eine zur ersten und zur zweiten Richtung jeweils im Wesentlichen senkrechten dritten Richtung durch eine Vermessung der im Wesentlichen rotativen dritten Auslenkung der seismischen Masse detektiert wird, so dass in vorteilhafter Weise mit der nur einen seismischen Masse zusätzlich auch eine Beschleunigungswirkung auf das mikromechanische Bauelement parallel zur dritten Richtung vermessbar ist.
- Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste Auslenkung mit den ersten Detektionsmitteln, die zweite Auslenkung mit den zweiten Detektionsmitteln und/oder die dritte Auslenkung mit den dritten Detektionsmitteln vermessen werden, so dass besonders vorteilhaft die Beschleunigungswirkungen in die erste, zweite und/oder dritte Richtung unabhängig voneinander durch die ersten, zweiten und/oder dritten Detektionsmittel vermessbar sind.
- Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
- Es zeigen
-
1a ,1b und1c schematische Aufsichten von in x-, y- und z-Richtung sensitiven Beschleunigungssensoren gemäß dem Stand der Technik, -
2a und2b schematische Seitenansichten des in z-Richtung sensitiven Beschleunigungssensor gemäß dem Stand der Technik und -
3a ,3b und3c schematische Aufsichten eines mikromechanischen Bauelements gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. - Ausführungsformen der Erfindung
- In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils nur einmal erwähnt bzw. benannt.
- In den
1a ,1b und1c sind schematische Aufsichten von in x-, y- und z-Richtung sensitiven Beschleunigungssensoren gemäß dem Stand der Technik dargestellt, wobei der in1a illustrierte und parallel zur x-Richtung sensitive Beschleunigungssensor ein Substrat2 und eine seismische Masse3 aufweist, wobei die x-Richtung parallel zu einer Haupterstreckungsebene des Substrats2 verläuft und wobei die seismische Masse3 über zwei Federelemente29 und zwei Befestigungsanker31 am Substrat2 derart befestigt ist, dass die seismische Masse2 parallel zur x-Richtung relativ zum Substrat2 beweglich ist. Eine auf den Beschleunigungssensor wirkende Beschleunigungskraft mit einer Komponente parallel zur x-Richtung erzeugt aufgrund der Massenträgheit der seismischen Masse3 gegenüber dem Substrat2 eine Auslenkung derselben parallel zur x-Richtung. Diese Auslenkung wird von Detektionsmitteln34 in Form von Elektroden vermessen, welche in Aussparungen der seismischen Masse3 angeordnet und ortsfest am Substrat2 fixiert sind. Die seismische Masse3 bzw. Teilbereiche der seismischen Masse3 bilden die Gegenelektroden zu den Elektroden, so dass die Auslenkung der seismischen Masse3 durch eine Kapazitätsänderung zwischen den Elektroden und den Gegenelektroden vermessbar ist. In1b ist ein in y-Richtung sensitiver Beschleunigungssensor zur Detektion einer Beschleunigungswirkung parallel zur y-Richtung dargestellt, wobei die y-Richtung insbesondere parallel zur Haupterstreckungsebene und senkrecht zur x-Richtung verläuft und wobei der in y-Richtung sensitive Beschleunigungssensor identisch dem in1a illustrierten in x-Richtung sensitiven Beschleunigungssensor ist und lediglich um 90 Grad in der Haupterstreckungsebene gedreht angeordnet ist. In1c ist ein in z-Richtung sensitiver Beschleunigungssensor dargestellt, wobei die z-Richtung senkrecht zur x-Richtung und senkrecht zur y-Richtung verläuft und wobei der in z-Richtung sensitive Beschleunigungssensor ebenfalls ein Substrat2 und eine gegenüber dem Substrat2 bewegliche seismische Masse3 hier in Form einer Wippe aufweist, welche mittels eines Befestigungsankers31 in einer Aussparung der seismischen Masse3 an dem Substrat2 befestigt und mittels einer Torsionsfeder30 in der Aussparung drehbar um eine Rotationsachse38 parallel zur Torsionsfeder30 gelagert ist, d. h. die Rotationsachse38 ist insbesondere parallel zur y-Richtung angeordnet und durchläuft die Torsionsfeder30 im Wesentlichen axial. Aufgrund einer asymmetrischen Massenverteilung der seismischen Masse3 relativ zur Rotationsachse38 bewirkt eine Beschleunigungswirkung auf den Beschleunigungssensor parallel zur z-Richtung eine Drehung der seismischen Masse3 um die Rotationsachse38 , wobei einer Drehung der seismischen Masse3 durch Flächenelektroden6 , welche unterhalb der seismischen Masse, d. h. in z-Richtung mit der seismischen Masse3 überlappend, und auf oder in dem Substrat2 angeordnet sind, vermessbar ist. Zur mehrkanaligen Vermessung von Beschleunigungswirkungen in alle drei Raumrichtungen gleichzeitig müssen gemäß dem Stand der Technik demnach alle drei in x-, y- und z-Richtung sensitiven Beschleunigungssensoren verwendet werden. - In den
2a und2b sind schematische Seitenansichten des in z-Richtung sensitiven Beschleunigungssensors gemäß dem Stand der Technik dargestellt, wobei die asymmetrische Massenverteilung der seismischen Masse3 bezüglich der Rotationsachse38 durch einen zusätzlichen eingezeichneten Teilbereich32 der seismischen Masse verdeutlicht wird. Eine zwischen den Flächenelektroden6 und der seismischen Masse3 vermessbare elektrische Kapazität, symbolisch angedeutet durch die schematischen Plattenkondensatoren33 in2b , verändert während einer Drehung der seismischen Masse3 um die Rotationsachse38 ihren Wert, so dass eine Beschleunigungswirkung auf den Beschleunigungssensor in z-Richtung vermessbar ist. - In den
3a ,3b und3c sind schematische Aufsichten einer ersten Auslenkung14 , einer zweiten Auslenkung15 und einer dritten Auslenkung16 einer seismischen Masse3 eines mikromechanischen Bauelements1 gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei das mikromechanische Bauelement1 ein Substrat2 , eine seismische Masse3 und erste, zweite und dritte Detektionsmittel4 ,5 ,6 aufweist, wobei das Substrat2 eine Haupterstreckungsebene100 aufweist und wobei die ersten Detektionsmittel4 zur Detektion einer im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung14 der seismischen Masse3 dargestellt in3a entlang einer ersten Richtung14' im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene100 vorgesehen sind, wobei die erste Auslenkung14 durch eine Beschleunigungswirkung auf das mikromechanische Bauelement1 parallel zur ersten Richtung14' erzeugt wird. Die zweiten Detektionsmittel5 sind zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung15 der seismischen Masse3 dargestellt in3b um eine erste Rotationsachse15'' parallel zu einer zweiten Richtung15' im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene100 vorgesehen, wobei die zweite Auslenkung15 durch eine Beschleunigungswirkung auf das mikromechanische Bauelement1 parallel zu einer senkrecht zur ersten Richtung14' und senkrecht zur zweiten Richtung15' verlaufenden dritten Richtung16' erzeugt wird, da die seismische Masse1 bezüglich der ersten Rotationsachse15'' bzw. bezüglich einer die erste Rotationsachse15'' schneidenden und parallel zur dritten Richtung16' verlaufenden Linie112 eine asymmetrische Massenverteilung aufweist. Die dritten Detektionsmittel6 sind zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen dritten Auslenkung16 der seismischen Masse3 dargestellt in3c um eine zweite Rotationsachse16'' parallel zur dritten Richtung16' vorgesehen, wobei die dritte Auslenkung16 durch eine Beschleunigungswirkung auf das mikromechanische Bauelement1 parallel zur zweiten Richtung15' und die asymmetrische Massenverteilung der seismischen Masse bezüglich der Linie112 erzeugt wird und wobei die seismische Masse1 somit als Wippe ausgebildet ist, welche jeweils um die erste und die zweite Rotationsachse15'' ,16'' drehbar bzw. verkippbar gelagert ist. Die ersten und zweiten Detektionsmittel4 ,5 sind in Aussparungen8 der seismischen Masse3 angeordnet und als Elektroden ausgebildet, so dass die erste und zweite Auslenkung14 ,15 durch eine Kapazitätsänderung an den jeweiligen Elektroden, insbesondere gemäß der x- und y-sensitiven Beschleunigungssensoren illustriert in den1a und1b , vorzugsweise jeweils differentiell vermessbar sind. Die dritten Detektionsmittel6 sind als Flächenelektroden parallel zur zweiten Richtung15' unterhalb der seismischen Masse3 angeordnet und fungieren insbesondere nach dem Prinzip des z-sensitiven Beschleunigungssensors dargestellt in den1c ,2a und2b . Die seismische Masse3 ist über Federelemente9 in Form von zwei Torsinns-Biege-Federn an dem Substrat2 befestigt und gegenüber dem Substrat2 zur Ermöglichung der ersten, zweiten und dritten Auslenkung14 ,15 ,16 beweglich gelagert. Während der ersten Auslenkung14 werden die zwei Torsinns-Biege-Federn gleichsam in die erste Richtung verbogen. Während der zweiten Auslenkung werden die beiden Torsinns-Biege-Federn entgegengesetzt parallel zur ersten Richtung verbogen, d. h. dass eine der zwei Torsinn-Biege-Federn in Richtung der ersten Richtung und die zweite der zwei Torsinns-Biege-Federn antiparallel zur ersten Richtung ausgelenkt werden, so dass die seismische Masse3 insgesamt im Wesentlichen eine Rotation um die erste Rotationsachse15'' durchführt. Während der dritten Auslenkungsbewegung werden die Torsinns-Biege-Federn gleichsam um die zweite Rotationsachse verdreht, so dass die seismische Masse3 im Wesentlichen eine Rotation um die zweite Rotationsachse16'' durchführt. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - DE 19719779 A1 [0002]
Claims (11)
- Mikromechanisches Bauelement (
1 ) mit einem Substrat (2 ), einer seismischen Masse (3 ) und ersten und zweiten Detektionsmitteln (4 ,5 ), wobei das Substrat (2 ) eine Haupterstreckungsebene (100 ) aufweist und wobei die ersten Detektionsmittel (4 ) zur Detektion einer im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung (14 ) der seismischen Masse (3 ) entlang einer ersten Richtung (14' ) im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene (100 ) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Detektionsmittel (5 ) zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung (15 ) der seismischen Masse (3 ) um eine erste Rotationsachse (15'' ) parallel zu einer zweiten Richtung (15' ) im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100 ) vorgesehen sind. - Mikromechanisches Bauelement (
1 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische Bauelement (1 ) dritte Detektionsmittel (6 ) zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen dritten Auslenkung (16 ) der seismischen Masse (3 ) um eine zweite Rotationsachse (16'' ) parallel zu einer dritten Richtung (16' ) im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene (100 ). - Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die seismische Masse (
1 ) als Wippe ausgebildet ist, welche insbesondere um die erste und/oder die zweite Rotationsachse (15'' ,16'' ) drehbeweglich gelagert ist. - Mikromechanisches Bauelement (
1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten, zweiten und/oder dritten Detektionsmittel (4 ,5 ,6 ) Elektroden, insbesondere zur kapazitiven Vermessung der ersten, zweiten und/oder dritten Auslenkung (14 ,15 ,16 ), umfassen, wobei die ersten und/oder zweiten Detektionsmittel (4 ,5 ) bevorzugt als Kamm- und/oder Fingerelektroden und/oder die dritten Detektionsmittel (6 ) bevorzugt als Flächenelektroden ausgebildet sind. - Mikromechanisches Bauelement (
1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und/oder die zweiten Detektionsmittel (4 ,5 ) an wenigstens einem Rand der seismischen Masse (3 ) und/oder in einer Aussparung (8 ) der seismischen Masse (3 ) angeordnet sind. - Mikromechanisches Bauelement (
1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die dritten Detektionsmittel (6 ) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100 ) die seismische Masse (3 ) überlappend angeordnet ist. - Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die seismische Masse (
3 ) über Federelemente (9 ), insbesondere Torsions- und/oder Biegefedern, mit dem Substrat (2 ) verbunden ist, wobei die ersten Federelemente (9 ) vorzugsweise derart ausgebildet sind, dass die erste, die zweite und/oder die dritte Auslenkung (14 ,15 ,16 ) der seismischen Masse (3 ) ermöglicht werden. - Mikromechanisches Bauelement (
1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische Bauelement (1 ) einen Beschleunigungssensor umfasst, wobei insbesondere die erste, die zweite und die dritte Richtung (14' ,15' ,16' ) zueinander senkrecht ausgerichtet sind. - Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements (
1 ) nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements (1 ) in die erste Richtung (14' ) durch eine Vermessung der im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung (14 ) der seismischen Masse (3 ) und eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements (1 ) in eine zur ersten Richtung (14' ) im Wesentlichen senkrechten zweiten Richtung (15' ) durch eine Vermessung der im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung (15 ) der seismischen Masse (3 ) detektiert wird. - Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beschleunigung des mikromechanischen Bauelements (
1 ) in eine zur ersten und zur zweiten Richtung (14' ,15' ) jeweils im Wesentlichen senkrechten dritten Richtung (16' ) durch eine Vermessung der im Wesentlichen rotativen dritten Auslenkung (16 ) der seismischen Masse (3 ) detektiert wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Auslenkung (
14 ) mit den ersten Detektionsmitteln (4 ), die zweite Auslenkung (15 ) mit den zweiten Detektionsmitteln (5 ) und/oder die dritte Auslenkung (16 ) mit den dritten Detektionsmitteln (6 ) vermessen werden.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008001442A DE102008001442A1 (de) | 2008-04-29 | 2008-04-29 | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements |
EP09737961.4A EP2274627B1 (de) | 2008-04-29 | 2009-04-01 | Mikromechanisches bauelement und verfahren zum betrieb eines mikromechanischen bauelements |
PCT/EP2009/053860 WO2009132917A1 (de) | 2008-04-29 | 2009-04-01 | Mikromechanisches bauelement und verfahren zum betrieb eines mikromechanischen bauelements |
JP2011506636A JP5653343B2 (ja) | 2008-04-29 | 2009-04-01 | マイクロメカニカル素子および加速度検出方法 |
US12/736,609 US8596122B2 (en) | 2008-04-29 | 2009-04-01 | Micromechanical component and method for operating a micromechanical component |
CN200980115376.4A CN102016603B (zh) | 2008-04-29 | 2009-04-01 | 微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 |
JP2013216638A JP5661894B2 (ja) | 2008-04-29 | 2013-10-17 | マイクロメカニカル素子および加速度検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008001442A DE102008001442A1 (de) | 2008-04-29 | 2008-04-29 | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102008001442A1 true DE102008001442A1 (de) | 2009-11-05 |
Family
ID=40874713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102008001442A Ceased DE102008001442A1 (de) | 2008-04-29 | 2008-04-29 | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8596122B2 (de) |
EP (1) | EP2274627B1 (de) |
JP (2) | JP5653343B2 (de) |
CN (1) | CN102016603B (de) |
DE (1) | DE102008001442A1 (de) |
WO (1) | WO2009132917A1 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITTO20100511A1 (it) * | 2010-06-15 | 2011-12-16 | Milano Politecnico | Accelerometro capacitivo triassiale microelettromeccanico |
DE102012200740A1 (de) | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements |
DE102014202819A1 (de) | 2014-02-17 | 2015-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur für einen Beschleunigungssensor |
DE102014211054A1 (de) | 2014-06-10 | 2015-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
DE102016207866A1 (de) | 2016-05-09 | 2017-11-09 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor und Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Sensors |
DE102019200839A1 (de) | 2019-01-24 | 2020-07-30 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Inertialsensor |
DE102019217505A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Inertialsensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisendem Substrat und einer über eine Federanordnung mit dem Substrat verbundenen seismischen Masse |
DE102020211362A1 (de) | 2020-09-10 | 2022-03-10 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanische Struktur und mikromechanischer Sensor |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8418556B2 (en) * | 2010-02-10 | 2013-04-16 | Robert Bosch Gmbh | Micro electrical mechanical magnetic field sensor utilizing modified inertial elements |
US8555719B2 (en) * | 2011-01-24 | 2013-10-15 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with folded torsion springs |
US8539836B2 (en) * | 2011-01-24 | 2013-09-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with dual proof masses |
US8555720B2 (en) * | 2011-02-24 | 2013-10-15 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS device with enhanced resistance to stiction |
US20130042686A1 (en) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | Sitronix Technology Corp. | Inertia sensing apparatus |
JP2013117396A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Denso Corp | 加速度センサ |
JP5799929B2 (ja) * | 2012-10-02 | 2015-10-28 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
US9316666B2 (en) * | 2012-11-27 | 2016-04-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor having a capacitor array located in the center of an inertial mass |
US9470709B2 (en) | 2013-01-28 | 2016-10-18 | Analog Devices, Inc. | Teeter totter accelerometer with unbalanced mass |
US9297825B2 (en) | 2013-03-05 | 2016-03-29 | Analog Devices, Inc. | Tilt mode accelerometer with improved offset and noise performance |
EP2808295B1 (de) * | 2013-05-31 | 2015-12-30 | Tronics Microsystems S.A. | MEMS-Sensor |
US20150268269A1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | Sensor with combined sense elements for multiple axis sensing |
US10073113B2 (en) | 2014-12-22 | 2018-09-11 | Analog Devices, Inc. | Silicon-based MEMS devices including wells embedded with high density metal |
US10436812B2 (en) | 2015-03-20 | 2019-10-08 | Nxp Usa, Inc. | Micro-electro-mechanical acceleration sensor device |
DE102015211387A1 (de) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Drei-achsiger Drehbeschleunigungssensor |
US10078098B2 (en) | 2015-06-23 | 2018-09-18 | Analog Devices, Inc. | Z axis accelerometer design with offset compensation |
CN105044387B (zh) * | 2015-08-31 | 2018-09-11 | 歌尔股份有限公司 | 一种惯性测量器件及惯性测量系统 |
DE102016203092A1 (de) | 2015-11-10 | 2017-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor |
CN106932608B (zh) * | 2015-12-25 | 2020-02-18 | 上海矽睿科技有限公司 | 加速度传感单元以及加速度计 |
US10393770B2 (en) * | 2016-04-28 | 2019-08-27 | Semiconductor Components Industries, Llc | Multi-axis accelerometer with reduced stress sensitivity |
US10247753B2 (en) * | 2017-02-14 | 2019-04-02 | Nxp Usa, Inc. | MEMS device with off-axis shock protection |
JP2020030067A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、センサーデバイス、電子機器、および移動体 |
US11733263B2 (en) * | 2018-09-21 | 2023-08-22 | Analog Devices, Inc. | 3-axis accelerometer |
DE102019216984A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Sensoranordnung |
DE102019216987A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Sensoranordnung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19719779A1 (de) | 1997-05-10 | 1998-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Beschleunigungssensor |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5009A (en) * | 1847-03-13 | Ratchet-wrench | ||
US5806365A (en) * | 1996-04-30 | 1998-09-15 | Motorola, Inc. | Acceleration sensing device on a support substrate and method of operation |
JP2000081448A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-03-21 | Zexel Corp | 移動体基礎情報検出方法及び移動体基礎情報用マルチセンサ |
JP2000019198A (ja) | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Zexel Corp | 加速度センサ |
US6845670B1 (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Single proof mass, 3 axis MEMS transducer |
DE602005005478T2 (de) * | 2004-06-09 | 2009-04-23 | ETH Zürich | Mehrachsiger kapazitiver wandler |
CN1332205C (zh) * | 2004-07-19 | 2007-08-15 | 西北工业大学 | 单质量平板三轴微机械加速度计 |
JP4561352B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-10-13 | パナソニック電工株式会社 | 微小電気機械デバイスの製造方法 |
JP4600345B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2010-12-15 | パナソニック電工株式会社 | 静電容量式センサ |
JP4605087B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2011-01-05 | パナソニック電工株式会社 | 静電容量式センサ |
JP2007298405A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電容量式センサ |
US7487661B2 (en) * | 2006-10-11 | 2009-02-10 | Freescale Semiconductor, Inc. | Sensor having free fall self-test capability and method therefor |
DE102006048381A1 (de) | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor zur Erfassung von Beschleunigungen |
-
2008
- 2008-04-29 DE DE102008001442A patent/DE102008001442A1/de not_active Ceased
-
2009
- 2009-04-01 EP EP09737961.4A patent/EP2274627B1/de active Active
- 2009-04-01 WO PCT/EP2009/053860 patent/WO2009132917A1/de active Application Filing
- 2009-04-01 JP JP2011506636A patent/JP5653343B2/ja active Active
- 2009-04-01 US US12/736,609 patent/US8596122B2/en active Active
- 2009-04-01 CN CN200980115376.4A patent/CN102016603B/zh active Active
-
2013
- 2013-10-17 JP JP2013216638A patent/JP5661894B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19719779A1 (de) | 1997-05-10 | 1998-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Beschleunigungssensor |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITTO20100511A1 (it) * | 2010-06-15 | 2011-12-16 | Milano Politecnico | Accelerometro capacitivo triassiale microelettromeccanico |
US8863575B2 (en) | 2010-06-15 | 2014-10-21 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical three-axis capacitive accelerometer |
DE102012200740A1 (de) | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements |
US9097736B2 (en) | 2011-10-27 | 2015-08-04 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical component and method for manufacturing a micromechanical component |
DE102012200740B4 (de) | 2011-10-27 | 2024-03-21 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements |
US10215772B2 (en) | 2014-02-17 | 2019-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical structure for an acceleration sensor |
WO2015120940A1 (de) | 2014-02-17 | 2015-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische struktur für einen beschleunigungssensor |
DE102014202819A1 (de) | 2014-02-17 | 2015-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur für einen Beschleunigungssensor |
US9581613B2 (en) | 2014-06-10 | 2017-02-28 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical acceleration sensor |
DE102014211054A1 (de) | 2014-06-10 | 2015-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
US10900996B2 (en) | 2016-05-09 | 2021-01-26 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical sensor and method for manufacturing a micromechanical sensor |
DE102016207866A1 (de) | 2016-05-09 | 2017-11-09 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor und Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Sensors |
WO2017194376A1 (de) | 2016-05-09 | 2017-11-16 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer sensor und verfahren zum herstellen eines mikromechanischen sensors |
CN111735986A (zh) * | 2019-01-24 | 2020-10-02 | 罗伯特·博世有限公司 | 微机械惯性传感器 |
US11215632B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-01-04 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical inertial sensor |
DE102019200839A1 (de) | 2019-01-24 | 2020-07-30 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Inertialsensor |
DE102019217505A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Inertialsensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisendem Substrat und einer über eine Federanordnung mit dem Substrat verbundenen seismischen Masse |
WO2021089343A1 (de) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | Robert Bosch Gmbh | Inertialsensor mit einem eine haupterstreckungsebene aufweisendem substrat und einer über eine federanordnung mit dem substrat verbundenen seismischen masse |
DE102020211362A1 (de) | 2020-09-10 | 2022-03-10 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanische Struktur und mikromechanischer Sensor |
US11858805B2 (en) | 2020-09-10 | 2024-01-02 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical structure and micromechanical sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014062907A (ja) | 2014-04-10 |
EP2274627B1 (de) | 2017-07-19 |
US8596122B2 (en) | 2013-12-03 |
JP5661894B2 (ja) | 2015-01-28 |
JP5653343B2 (ja) | 2015-01-14 |
US20110154899A1 (en) | 2011-06-30 |
EP2274627A1 (de) | 2011-01-19 |
JP2011523036A (ja) | 2011-08-04 |
CN102016603B (zh) | 2017-03-01 |
WO2009132917A1 (de) | 2009-11-05 |
CN102016603A (zh) | 2011-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2274627B1 (de) | Mikromechanisches bauelement und verfahren zum betrieb eines mikromechanischen bauelements | |
EP2263093B1 (de) | Mikromechanischer beschleunigungssensor | |
DE102008040855B4 (de) | Dreiachsiger Beschleunigungssensor | |
EP2102666B1 (de) | Beschleunigungssensor mit kammelektroden | |
DE102005005554B4 (de) | Verfahren zur Überprüfung eines Halbleitersensors für eine dynamische Grösse | |
EP2027474B1 (de) | Beschleunigungssensor | |
DE102008040525B4 (de) | Mikromechanisches Sensorelement | |
EP2082189B1 (de) | Drehratensensor mit quadraturkompensationsstruktur | |
DE102008041327B4 (de) | Dreiachsiger Beschleunigungssensor | |
DE102009047018B4 (de) | Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor | |
DE102011083487A1 (de) | Beschleunigungssensor und Verfahren zum Betrieb eines Beschleunigungssensors | |
DE102012207939A1 (de) | Federnder Anschlag für Beschleunigungssensor | |
DE4432837A1 (de) | Beschleunigungssensor und Meßverfahren | |
DE112014004013T5 (de) | Beschleunigungssensor | |
DE102017219901B3 (de) | Mikromechanischer z-Inertialsensor | |
DE102012200740A1 (de) | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements | |
DE102013223227A1 (de) | Vibrationsrobuster Drehratensensor | |
DE102021200483A1 (de) | Dreiachsiger Drehratensensor mit einem Substrat und einem Doppelrotor | |
DE102009028343B4 (de) | Sensorelement und Verfahren zum Betrieb eines Sensorelements | |
DE102020211922A1 (de) | Mikromechanische Struktur und mikromechanischer Sensor | |
DE102009028371B4 (de) | Mikromechanisches Bauelement mit Wippenstruktur | |
DE102014211054A1 (de) | Mikromechanischer Beschleunigungssensor | |
DE102018217841A1 (de) | Mikromechanischer Inertialsensor | |
DE102008042366A1 (de) | Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors | |
DE102008040567B4 (de) | Verfahren zum Betrieb eines Sensormoduls und Sensormodul |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20150120 |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |