JP2014062907A - マイクロメカニカル素子および加速度検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板2と、1つのサイズモ質量体3と、第1および第2の検出手段4、5を備えるマイクロメカニカル素子1に関する。基板2は主面100を備える。第1の検出手段4は主面100に実質的に平行な第1の方向14’に沿った、サイズモ質量体3の実質的に並進的な第1の変位14を検出するために設けられる。第2の検出手段5は主面100に実質的に垂直な第2の方向15’に平行な第1の回転軸15’’の周りのサイズモ質量体3の実質的に回転的な第2の変位15を検出するために設けられる。サイズモ質量体3は非対称なロッカとしてデザイン可能であり、加速度は回転として検出される。検出は容量検出により行うことができる。
【選択図】図3a
Description
Claims (7)
- 基板(2)と、1つのサイズモ質量体(3)と、第1の検出手段(4)および第2の検出手段(5)とを備えるマイクロメカニカル素子(1)であって、
前記基板(2)は主面(100)を備え、
前記第1の検出手段(4)は、前記主面(100)に平行な第1の方向(14’)に沿った、前記サイズモ質量体(3)の並進運動的な第1の変位(14)を検出するために設けられ、
前記第2の検出手段(5)は、前記主面(100)に垂直な第2の方向(15’)に平行な第1の回転軸(15’’)の周りの、前記サイズモ質量体(3)の回転運動的な第2の変位(15)を検出するために設けられており、
前記主面(100)に平行な第3の方向(16’)に平行な第2の回転軸(16’’)の周りの、前記サイズモ質量体(3)の回転運動的な第3の変位(16)を検出するための第3の検出手段(6)を備え、
前記第1の方向(14’)、前記第2の方向(15’)および前記第3の方向(16’)は互いに垂直に方向付けられており、
前記サイズモ質量体(3)は、2つのねじり曲げバネの形態のバネ部材(9)を介して前記基板(2)に固定されており、かつ、前記第1の変位(14)、前記第2の変位(15)および前記第3の変位(16)を可能とするように、前記基板(2)に対して可動に設けられており、
前記2つのねじり曲げバネは、以下のように、すなわち、
− 前記第1の変位(14)の際、前記2つのねじり曲げバネがほぼ前記第1の方向(14’)に曲げられ、
− 前記第2の変位(15)の際、前記2つのねじり曲げバネの一方は前記第1の方向(14’)に変位され、前記2つのねじり曲げバネの他方は、前記第1の方向(14’)に逆平行に変位され、
− 前記第3の変位(16)の際、前記2つのねじり曲げバネは、ほぼ前記第2の回転軸(16’’)の回りに回転され、前記サイズモ質量体(3)は実質的に前記第2の回転軸(16’’)の回りを回転する、
ように構成されている、
ことを特徴とするマイクロメカニカル素子。 - 前記サイズモ質量体(3)は、ロッカとして構成されており、該ロッカは有利には前記第1の回転軸(15’’)および/または前記第2の回転軸(16’’)の周りに回動可能に支承されている、請求項1記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記第1の検出手段(4)、前記第2の検出手段(5)および/または前記第3の検出手段(6)は、前記第1の変位(14)、前記第2の変位(15)および/または前記第3の変位(16)を容量に基づいて測定するための電極を有し、前記第1の検出手段(4)および/または前記第2の検出手段(5)は櫛状電極および/または指状電極として構成され、ならびに/あるいは、前記第3の検出手段(6)は平面電極として構成されている、請求項1または2記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記第1の検出手段(4)および/または前記第2の検出手段(5)は、前記サイズモ質量体(3)の少なくとも1つの部分領域に配置され、および/または、前記サイズモ質量体(3)の切り欠き部(8)に配置されている、請求項1乃至3のいずれか1項記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記第3の検出手段(6)は、前記主面(100)に垂直な方向において、前記サイズモ質量体(3)に覆われて配置されている、請求項1乃至4のいずれか1項記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記サイズモ質量体(3)は、バネ部材(9)を介して前記基板(2)に接続され、前記バネ部材(9)は、有利には、前記サイズモ質量体(3)の前記第1の変位(14)、前記第2の変位(15)および/または前記第3の変位(16)が発生するように構成されている、請求項1乃至5のいずれか1項記載のマイクロメカニカル素子。
- 基板(2)と、1つのサイズモ質量体(3)と、第1の検出手段(4)および第2の検出手段(5)とを備えるマイクロメカニカル素子(1)であって、
前記基板(2)は主面(100)を備え、
前記第1の検出手段(4)は、前記主面(100)に平行な第1の方向(14’)に沿った、前記サイズモ質量体(3)の並進運動的な第1の変位(14)を検出するために設けられているマイクロメカニカル素子を用いた加速度検出方法であって、
前記第2の検出手段(5)は、前記主面(100)に垂直な第2の方向(15’)に平行な第1の回転軸(15’’)の周りの、前記サイズモ質量体(3)の回転運動的な第2の変位(15)を検出するために設けられており、
前記マイクロメカニカル素子(1)は、前記主面(100)に平行な第3の方向(16’)に平行な第2の回転軸(16’’)の周りの、前記サイズモ質量体(3)の回転運動的な第3の変位(16)を検出するための第3の検出手段(6)を備えており、
前記第1の方向(14’)における前記マイクロメカニカル素子(1)の加速度を、前記サイズモ質量体(3)の並進運動的な前記第1の変位(14)の測定により検出し、および、前記第1の方向(14’)に垂直な第3の方向(16’)における前記マイクロメカニカル素子(1)の加速度を、前記サイズモ質量体(3)の回転運動的な前記第2の変位(15)の測定により検出し、
前記第1の方向(14’)および前記第3の方向(16’)にそれぞれ垂直な前記第2の方向(15’)における、前記マイクロメカニカル素子(1)の加速度を、前記サイズモ質量体(3)の実質的に回転運動的な前記第3の変位(16)の測定により検出し、
前記サイズモ質量体(3)は、2つのねじり曲げバネの形態のバネ部材(9)を介して前記基板(2)に固定されており、かつ、前記第1の変位(14)、前記第2の変位(15)および前記第3の変位(16)を可能とするように、前記基板(2)に対して可動に設けられており、
− 前記第1の変位(14)の際、前記2つのねじり曲げバネがほぼ前記第1の方向に曲げられ、
− 前記第2の変位(15)の際、前記2つのねじり曲げバネの一方は前記第1の方向(14’)に変位され、前記2つのねじり曲げバネの他方は、前記第1の方向(14’)に逆平行に変位され、
− 前記第3の変位(16)の際、前記2つのねじり曲げバネは、ほぼ前記第2の回転軸(16’’)の回りに回転され、前記サイズモ質量体(3)は実質的に前記第2の回転軸(16’’)の回りを回転する、
ことを特徴とする加速度検出方法。
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