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Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Struktur und einen mikromechanischen Sensor.
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Stand der Technik
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Aus dem Stand der Technik sind mikromechanische Strukturen und mikromechanische Sensoren bekannt. Aus der Druckschrift
DE 10 2008 001 442 A1 ist beispielsweise ein mikromechanischer Sensor bekannt, bei dem mittels erster Detektionsmittel eine translatorische Auslenkung einer seismischen Masse in einer ersten Richtung und mittels zweiter Detektionsmittel eine rotatorische Auslenkung um eine Rotationsachse parallel zu einer zweiten Richtung der seismischen Masse bestimmt werden kann, wobei dadurch eine Beschleunigung der mikromechanischen Struktur in der ersten Richtung und in einer dritten ermittelt werden kann, wobei die drei Richtungen orthogonal sind. Die Detektionsmittel umfassen dabei Elektroden, die jeweils entweder an der seismischen Masse oder an einem Substrat angeordnet sind.
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Offenbarung der Erfindung
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Eine Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte mikromechanische Struktur anzugeben, bei dem die Wahrscheinlichkeit einer Berührung von Elektroden der Detektionsmittel verringert ist. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, einen mikromechanischen Sensor mit einer solchen mikromechanischen Struktur anzugeben.
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Diese Aufgaben werden mit den Gegenständen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Patentansprüchen angegeben.
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Eine mikromechanische Struktur weist ein Substrat und eine gegenüber dem Substrat bewegliche seismische Masse sowie erste Detektionsmittel und zweite Detektionsmittel auf. Eine erste Richtung und eine zur ersten Richtung im Wesentlichen senkrechte zweite Richtung definieren eine Haupterstreckungsebene des Substrats. Die ersten Detektionsmittel sind zur Detektion einer translatorischen Auslenkung der seismischen Masse in der ersten Richtung vorgesehen. Die zweiten Detektionsmittel sind zur Detektion einer rotatorischen Auslenkung der seismischen Masse um eine Rotationsachse vorgesehen, wobei die Rotationsachse in der zweiten Richtung angeordnet ist. Die seismische Masse ist mit dem Substrat über ein Verankerungselement und vier entlang der zweiten Richtung angeordneten Torsionsfederabschnitten verbunden. Die ersten Detektionsmittel weisen eine Elektrodenstruktur mit an der seismischen Masse befestigten ersten Elektroden und mit am Substrat befestigten zweiten Elektroden auf. Die ersten Elektroden und zweiten Elektroden weisen eine im Wesentlichen zweidimensionale Ausdehnung in der zweiten Richtung und in einer dritten Richtung auf, wobei die dritte Richtung senkrecht zur Haupterstreckungsebene ist. Das Verankerungselement weist einen ersten Abschnitt und einen zweiten Abschnitt auf, wobei zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt ein Spalt angeordnet ist. Ein Verbindungselement verbindet zwei erste Elektroden, wobei das Verbindungselement durch den Spalt geführt ist.
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Durch das Verbindungselement wird eine verbesserte mechanische Stabilität der ersten Elektroden erreicht. Dadurch ist eine verlängerte Lebensdauer der mikromechanischen Struktur möglich, da bei einer aufgrund einer mechanischen Instabilität verursachten Berührung einer ersten Elektrode mit einer der zweiten Elektroden eine Sensitivität des ersten Detektionsmittels dauerhaft verringert wird. Eine erhöhte mechanische Stabilität führt also zu einer verbesserten Lebensdauer.
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Die verbesserte mechanische Stabilität der ersten Elektroden ist vorteilhaft für die mechanische Robustheit, beispielsweise im Falle einer mechanischen Überlast und/oder während eines mechanisch verursachten Kollapses. Darüber hinaus verringert sich durch das Verbindungselement die Wahrscheinlichkeit für einen elektrisch verursachten Kollaps der ersten und zweiten Elektroden. Die Wahrscheinlichkeit für eine Berührung der Elektroden durch elektrische Anziehung wird also reduziert. Ohne das Verbindungselement könnte eine vergleichbare mechanische Stabilität nur durch sehr dicke erste Elektroden erreicht werden. Durch das Verbindungselement kann also bei gleicher mechanischer Robustheit Masse und Fläche eingespart werden.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur sind mehrere erste Elektroden auf einer ersten Seite des Verankerungselements angeordnet und mehrere erste Elektroden auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite des Verankerungselements angeordnet. Eine erste Querstruktur verbindet die ersten Elektroden auf der ersten Seite mit dem Verbindungelement. Eine zweite Querstruktur verbindet die ersten Elektroden auf der zweiten Seite mit dem Verbindungelement. Dadurch wird die mechanische Stabilität weiter erhöht.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur weist das Verbindungselement mindestens eine erste Erhebung auf. Im Bereich der ersten Erhebung ist ein Abstand zwischen Verbindungselement und Substrat verringert verglichen mit dem Abstand zwischen Verbindungselement und Substrat außerhalb der ersten Erhebung. Dadurch kann ein mechanisches Anschlagen der Verbindungsstruktur am Substrat auf die erste Erhebung reduziert werden und so ebenfalls die mechanische Stabilität der mikromechanischen Struktur erhöht werden. Dadurch ist eine verlängerte Lebensdauer der mikromechanischen Struktur möglich.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur weist das Verbindungselement mindestens eine zweite Erhebung auf. Im Bereich der zweiten Erhebung ist ein Abstand zwischen Verbindungselement und Verankerungselement verringert verglichen mit dem Abstand zwischen Verbindungselement und Verankerungselement außerhalb der zweiten Erhebung. Dadurch kann ein mechanisches Anschlagen des Verbindungselements am Substrat auf die erste Erhebung reduziert werden und so ebenfalls die mechanische Stabilität der mikromechanischen Struktur erhöht werden.
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Die beiden vorgenannten Ausführungsformen können kombiniert werden. In diesem Fall können die Erhebungen wir oben als erste und zweite Erhebung bezeichnet werden. Sind nur erste Erhebungen oder nur zweite Erhebungen vorgesehen, können diese auch allgemein als Erhebungen bezeichnet werden.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur weist die seismische Masse einen Rahmen auf, wobei die Torsionsfederabschnitte an den Rahmen und das Verankerungselement angrenzen. Die ersten Elektroden grenzen an den Rahmen an. Dies ermöglicht eine weitere Verbesserung der mechanischen Stabilität der mikromechanischen Struktur.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur sind durch die Torsionsfederabschnitte, das Verankerungselement und den Rahmen zwei Außenbereiche und zwei Innenbereiche gebildet. Die Außenbereiche sind zwischen dem Rahmen und jeweils zwei Torsionsfederabschnitten angeordnet. Die Innenbereiche sind jeweils zwischen zwei Torsionsfederabschnitten, dem Rahmen und dem Verankerungselement angeordnet. Das Verbindungelement verbindet erste Elektroden, die jeweils in einem der Innenbereiche angeordnet sind, miteinander.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur weist der Rahmen in der ersten Richtung eine bezogen auf das Verankerungselement und die Torsionsfederabschnitte asymmetrische Massenverteilung auf. Dies ermöglicht eine Umsetzung einer Beschleunigung der seismischen Masse in der dritten Richtung in eine rotatorische Auslenkung um die Rotationsachse.
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In einer Ausführungsform der mikromechanischen Struktur umfassen die zweiten Detektionsmittel eine am Rahmen angeordnete dritte Elektrode und eine am Substrat angeordnete vierte Elektrode. Dies ermöglicht eine kapazitive Ermittlung der Auslenkung der seismischen Masse um die Rotationsachse.
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Ein mikromechanischer Sensor umfasst die mikromechanische Struktur und eine elektrische Schaltung zum Auslesen der ersten Detektionsmittel und der zweiten Detektionsmittel.
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In einer Ausführungsform des mikromechanischen Sensors ist die elektrische Schaltung zur Ermittlung einer ersten Kapazität eines aus mindestens einer ersten Elektrode und mindestens einer zweiten Elektrode gebildeten ersten Kondensators und einer zweiten Kapazität eines aus mindestens einer dritten Elektrode und mindestens einer vierten Elektrode gebildeten zweiten Kondensators eingerichtet.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der folgenden Zeichnungen erläutert. In der schematischen Zeichnung zeigen:
- 1 eine Draufsicht auf eine mikromechanische Struktur;
- 2 einen Querschnitt der mikromechanischen Struktur der 1;
- 3 einen weiteren Querschnitt der mikromechanischen Struktur der 1;
- 4 eine Draufsicht auf eine weitere mikromechanische Struktur;
- 5 einen Querschnitt der mikromechanischen Struktur der 4;
- 6 eine Draufsicht auf eine weitere mikromechanische Struktur;
- 7 einen Querschnitt der mikromechanischen Struktur der 6;
- 8 eine Draufsicht auf eine weitere mikromechanische Struktur; und
- 9 einen mikromechanischen Sensor.
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1 zeigt eine Draufsicht auf eine mikromechanische Struktur 1 bestehend aus einem Substrat 2 und einer seismischen Masse 3. 2 zeigt einen Querschnitt durch die mikromechanische Struktur 1 der 1 an der mit A bezeichneten Schnittlinie. 3 zeigt einen Querschnitt durch die mikromechanische Struktur 1 der 1 an der mit B bezeichneten Schnittlinie. Im Folgenden wird die mikromechanische Struktur anhand der 1 bis 3 beschrieben, wobei es sein kann, dass einzelne Elemente nicht in allen Figuren sichtbar sind.
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Die mikromechanische Struktur 1 weist erste Detektionsmittel 4 und zweite Detektionsmittel 5 auf. Eine erste Richtung 11 und eine zweite Richtung 12 definieren eine Haupterstreckungsebene des Substrats, wobei die erste Richtung 11 und die zweite Richtung 12 im Wesentlichen senkrecht aufeinander stehen und insbesondere senkrecht zueinander sind. Die ersten Detektionsmittel 4 sind zur Detektion einer translatorischen Auslenkung der seismischen Masse 3 in der ersten Richtung 11 vorgesehen. Die zweiten Detektionsmittel 5 sind zur Detektion einer rotatorischen Auslenkung der seismischen Masse 3 um eine Rotationsachse vorgesehen, wobei die Rotationsachse im Wesentlichen parallel zur zweiten Richtung 12, insbesondere parallel zur zweiten Richtung 12, ist. Die seismische Masse 3 ist mit dem Substrat 2 über ein Verankerungselement 6 und vier Torsionsfederabschnitte 7 verbunden. Das Verankerungselement 6 ist dabei mit dem Substrat 2 und den Torsionsfederabschnitten 7 verbunden, die Torsionsfederabschnitte 7 sind mit dem Verankerungselement 6 und der seismischen Masse 3 verbunden.
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Die ersten Detektionsmittel 4 umfassen eine Elektrodenstruktur aus ersten Elektroden 41 und zweiten Elektroden 42, wobei die ersten Elektroden 41 an der seismischen Masse 3 und die zweiten Elektroden 42 am Substrat befestigt sind. Die ersten Elektroden 41 und zweiten Elektroden 42 weisen eine im Wesentlichen zweidimensionale Ausdehnung in der zweiten Richtung 12 und einer dritten Richtung 13 auf, wobei die dritte Richtung 13 im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene ist. In anderen Worten ist eine Ausdehnung der ersten Elektroden 41 beziehungsweise zweiten Elektroden 42 in der ersten Richtung 11 klein gegenüber einer Ausdehnung in der zweiten Richtung 12 beziehungsweise dritten Richtung 13.
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Das Verankerungselement 6 weist einen ersten Abschnitt 61 und einen zweiten Abschnitt 62 auf. Zwischen dem ersten Abschnitt 61 und dem zweiten Abschnitt 62 ist ein Spalt 63 angeordnet. Ein Verbindungselement 8 verbindet zwei erste Elektroden 41 und ist durch den Spalt geführt. Das Verbindungselement 8 ermöglicht eine verbesserte mechanische Stabilität der durch das Verbindungselement 8 verbundenen ersten Elektroden.
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Wird die seismische Masse 3 in der ersten Richtung 11 aus einer Ruhelage ausgelenkt aufgrund einer auf die seismische Masse 3 wirkenden Beschleunigung in der ersten Richtung 11, so verschieben sich die mit der seismischen Masse 3 verbundenen ersten Elektroden 41 gegenüber den mit dem Substrat 2 verbundenen zweiten Elektroden 42. Diese Verschiebung kann als Änderung einer Kapazität eines durch erste Elektroden 41 und zweite Elektroden 42 gebildeten ersten Kondensators detektiert werden. Ein Maß der Verschiebung ist dabei von einer ersten Federkonstante der Torsionsfederabschnitte 7 abhängig, wobei die erste Federkonstante ein Maß einer Auslenkung der Torsionsfederabschnitte 7 in der ersten Richtung 11 bezogen auf eine auf die Torsionsfederabschnitte 7 wirkende Kraft angibt.
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Die weiteren Merkmale der in 1 bis 3 beschriebenen mikromechanischen Struktur 1 sind optional und stehen bevorzugte Ausführungsformen dar.
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Auf einer ersten Seite 64 des Verankerungselements 6 sind zwei erste Elektroden 41 angeordnet, auf eine der ersten Seite 64 gegenüberliegenden zweiten Seite 65 sind ebenfalls zwei erste Elektroden 41 angeordnet. Die ersten Elektroden 41 auf der ersten Seite 64 sind mittels einer ersten Querstruktur 81 mit dem Verbindungselement 8 verbunden. Die ersten Elektroden 41 auf der zweiten Seite 65 sind mittels einer zweiten Querstruktur 82 mit dem Verbindungselement 8 verbunden. Es kann vorgesehen sein, dass auf der ersten Seite 64 und der zweiten Seite 65 jeweils eine von den 1 bis 3 abweichende Anzahl an ersten Elektroden 41 angeordnet ist.
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Die seismische Masse 3 weist einen Rahmen 31 auf. Die Torsionsfederabschnitte 7 grenzen an den Rahmen 31 und das Verankerungselement 6 an. Die ersten Elektroden 41 grenzen an den Rahmen an.
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Durch den Rahmen 31, das Verankerungselement 6 und die Torsionsfederabschnitte 7 sind zwei Außenbereiche 34 und zwei Innenbereiche 35 gebildet. Die Außenbereiche 34 sind dabei zwischen dem Rahmen 31 und jeweils zwei Torsionsfederabschnitten 7 angeordnet. Die Innenbereiche 35 sind jeweils zwischen dem Rahmen 31, zwei Torsionsfederabschnitten 7 und dem Verankerungselement 6 angeordnet. Das Verbindungselement 8 verbindet erste Elektroden 41, die jeweils in einem der Innenbereiche 35 angeordnet sind, miteinander. Insbesondere verbindet das Verbindungselement 8 alle ersten Elektroden 41 in einem der Innenbereiche 35 mit allen ersten Elektroden 41 im anderen Innenbereich 35.
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Der Rahmen 31 weist eine erste Masse 32 und eine zweite Masse 33 auf, die jeweils bezogen auf die erste Richtung 11 außen an der seismischen Masse 3 angeordnet sind. Da die zweite Masse 33 größer ist als die erste Masse 32 führt eine Beschleunigung der mikromechanischen Struktur 3 in der dritten Richtung 13 zu einer Rotation der seismischen Masse 3 um die Rotationsachse parallel zur zweiten Richtung 12. Durch die erste Masse 32 und die zweite Masse 33 ist eine asymmetrische Massenverteilung gegeben, die für diesen Effekt notwendig ist.
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Die zweiten Detektionsmittel 5 weisen am Rahmen 31 angeordnete dritte Elektroden 53 und am Substrat 2 angeordnete vierte Elektroden 54 auf. Wird die seismische Masse 3 um die Rotationsachse parallel zur zweiten Richtung 12 aus einer Ruhelage rotatorisch ausgelenkt aufgrund einer auf die seismische Masse 3 wirkenden Beschleunigung in der dritten Richtung 13, so verschieben sich die mit der seismischen Masse 3 beziehungsweise dem Rahmen 31 verbundenen dritten Elektroden 53 gegenüber den mit dem Substrat 2 verbundenen vierten Elektroden 54. Diese Verschiebung kann als Änderung einer Kapazität eines durch die dritten Elektroden 53 und die vierten Elektroden 54 gebildeten ersten Kondensators detektiert werden. Ein Maß der Verschiebung ist dabei von einer zweiten Federkonstante der Torsionsfederabschnitte 7 abhängig, wobei die zweite Federkonstante ein Maß einer Torsionssteifigkeit der Torsionsfederabschnitte 7 angibt. Anstelle der gezeigten zweiten Detektionsmittel 5 können auch andere zweite Detektionsmittel 5 vorgesehen sein, mit denen eine rotatorische Auslenkung um die zur zweiten Achse 12 parallele Rotationsachse detektiert werden kann.
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Jeder der ersten Elektroden 41 sind zwei zweite Elektroden 42 zugeordnet, so dass immer zwei zweite Elektroden 42 und eine erste Elektrode 41 teil eines Detektionsmittels 4 sind. In jedem Detektionsmittel wird bei einer Auslenkung in der ersten Richtung 11 ein erster Kondensator gebildet aus der ersten Elektrode 41 und einer der zweiten Elektrode 42 im Plattenabstand verkleinert während ein weiterer erster Kondensator gebildet aus der ersten Elektrode 41 und der anderen der zweiten Elektroden 42 im Plattenabstand vergrößert wird.
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4 zeigt eine Draufsicht auf einen Ausschnitt einer weiteren mikromechanischen Struktur 1, die der mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 entspricht, sofern im Folgenden keine Unterschiede beschrieben sind. In 4 sind insbesondere die Innenbereiche 35 gezeigt. In den Außenbereichen 34 kann die mikromechanische Struktur 1 insbesondere identisch zur mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 sein. In den Innenbereichen 35 ist auf der ersten Seite 64 und der zweiten Seite 65 jeweils nur eine erste Elektrode 41 und zwei zweite Elektroden 42 angeordnet. Das Verbindungselement 8 verbindet die ersten Elektroden 41. Da jeweils nur eine erste Elektrode 41 in den Innenbereichen 35 angeordnet ist, sind auch keine Querstrukturen 81, 82 vorgesehen.
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In dem Bereich in dem die Abschnitte 61, 62 des Verankerungselements 6 mit den Torsionsfederabschnitten 7 verbunden sind, weist das Verankerungselement 6 jeweils eine Verjüngung 66 auf. Es kann vorgesehen sein, dass die Verankerungselemente 6 im Bereich der Verjüngung 66 in der dritten Richtung 13 nicht bis zum Substrat 2 geführt sind, so dass die zwei Torsionsfederabschnitte 7, die an den ersten Abschnitt 61 angrenzen, und die zwei Torsionsfederabschnitte 7, die an den zweiten Abschnitt 62 angrenzen, jeweils eine durchgehende Torsionsfeder 71 bilden.
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Diese beiden Ausgestaltungen der mikromechanischen Struktur 1 der 4 können unabhängig voneinander auch in der mikromechanischen Struktur der 1 bis 3 vorgesehen sein.
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5 zeigt einen Querschnitt durch die mikromechanische Struktur 1 der 4 an der in 4 mit C bezeichneten Schnittlinie durch das Verbindungselement 8. Das Verbindungselement 8 weist eine erste Erhebung 83 auf. Die erste Erhebung ist dabei zwischen dem Verbindungselement 8 und dem Substrat 2 angeordnet. Durch die erste Erhebung 83 wird ein Abstand zwischen dem Substrat 2 und dem Verbindungselement 8 verringert, verglichen mit Bereichen außerhalb der ersten Erhebung 83. Die erste Erhebung 83 dient dazu, sollte sich die seismische Masse 3 aufgrund einer auf die mikromechanische Struktur 1 wirkende Kraft in die dritte Richtung 13 hin zum Substrat 2 bewegt werden, ein Anschlagen der seismischen Masse 3 am Substrat 2 zu verhindern oder zumindest zu erschweren. Insbesondere soll ein flächiges Anschlagen des Verbindungselements 8 am Substrat 2 verhindert oder zumindest erschweret werden.
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Im Gegensatz zur Darstellung der 5 können auch mehrere erste Erhebungen 83 vorgesehen sein. Eine zur ersten Erhebung 83 der 5 identische Ausgestaltung kann auch bei der mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 vorgesehen sein. In diesem Fall kann ebenfalls vorgesehen sein, eine oder mehrere erste Erhebungen 83 an der ersten Querstruktur 81 beziehungsweise der zweiten Querstruktur 82 zusätzlich oder alternativ zu der in 5 gezeigten ersten Erhebung 83 anzuordnen.
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Im Gegensatz zur Darstellung der 5 kann der Rahmen 31 auch derart ausgestaltet sein, dass der Rahmen 31 in der dritten Richtung 13 dieselbe Erstreckung aufweist wie die ersten Elektroden 41.
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6 zeigt eine Draufsicht auf einen Ausschnitt einer weiteren mikromechanischen Struktur 1, die der mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 entspricht, sofern im Folgenden keine Unterschiede beschrieben sind. 7 zeigt einen Querschnitt durch die mikromechanische Struktur 1 der 6 an der in 6 mit D bezeichneten Schnittlinie. In 6 sind insbesondere die Innenbereiche 35 gezeigt. In den Außenbereichen 34 kann die mikromechanische Struktur 1 insbesondere identisch zur mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 sein. Das Verbindungelement 8 weist zwei zweite Erhebungen 84 auf. Durch die zweiten Erhebungen 84 wird ein Abstand zwischen dem Verbindungselement 8 und dem Verankerungselement 6 verringert, verglichen mit Bereichen außerhalb der zweiten Erhebungen 84. Die zweiten Erhebungen 84 dienen dazu, sollte sich die seismische Masse 3 aufgrund einer auf die mikromechanische Struktur 1 wirkende Kraft in der ersten Richtung 11 bewegt werden, ein Anschlagen der seismischen Masse 3 am Substrat 2 zu verhindern oder zumindest zu erschweren. Insbesondere soll ein flächiges Anschlagen des Verbindungselements 8 am Verankerungselement 6 verhindert oder zumindest erschwert werden. Es können auch mehr als zwei zweite Erhebungen 84 oder nur eine zweite Erhebung 84 vorgesehen sein. Alternativ können das Verbindungselement 8 und die ersten Elektroden 41 auch die im Zusammenhang mit den 4 und 5 beschriebenen Merkmale aufweisen.
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Im Gegensatz zur Darstellung der 7 können die Torsionsfederabschnitte 7 auch derart ausgestaltet sein, dass die Torsionsfederabschnitte 7 in der dritten Richtung 13 dieselbe Erstreckung aufweisen wie die ersten Elektroden 41.
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Die in 6 und 7 dargestellten zweiten Erhebungen 84 können alternativ oder zusätzlich zu der im Zusammenhang mit 5 beschriebenen ersten Erhebung 83 vorgesehen sein. Sind nur erste Erhebungen 83 oder nur zweite Erhebungen 84 vorgesehen, können diese auch allgemein als Erhebungen 83 oder Erhebungen 84 bezeichnet werden.
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8 zeigt eine Draufsicht auf einen Ausschnitt einer weiteren mikromechanischen Struktur 1, die der mikromechanischen Struktur 1 der 1 bis 3 entspricht, sofern im Folgenden keine Unterschiede beschrieben sind. Zwischen den ersten Elektroden 41 in den Außenbereichen 34 sind weitere Verbindungselemente 85 angeordnet, die jeweils zwei erste Elektroden 41 miteinander verbinden. Dadurch wird eine mechanische Stabilität der mikromechanischen Struktur 1 weiter erhöht. Die Ausgestaltung des Verbindungselements 8 kann dabei wie im Zusammenhang mit den 1 bis 7 beschrieben sein. Die weiteren Verbindungselemente 85 können erste Erhebungen 83 wir im Zusammenhang mit 5 beschrieben aufweisen.
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Die mikromechanische Struktur 1 kann dabei aus Silizium aufgebaut sein. Insbesondere können auch die Elektroden 41, 42, 53, 54 aus Silizium bestehen, insbesondere aus dotiertem Silizium. Zur Herstellung der mikromechanischen Struktur kann vorgesehen sein, schichtweise Silizium und Siliziumoxid derart anzuordnen, dass nach einem Entfernen des Siliziumoxids, beispielsweise mittels eines Ätzprozesses, die beschriebene mikromechanische Struktur 1 aus Silizium bestehen bleibt.
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9 zeigt einen mikromechanischen Sensor 9 mit einer der in den 1 bis 8 beschriebenen mikromechanischen Strukturen. Der mikromechanische Sensor 9 weist ferner eine elektrische Schaltung 91 auf, mit der die Detektionsmittel 4, 5 ausgelesen werden können. Insbesondere kann die elektrische Schaltung 91 eingerichtet sein, einen durch erste Elektroden 41 und zweite Elektroden 42 gebildeten ersten Kondensator hinsichtlich einer sich verändernden Kapazität auszuwerten und einen durch dritte Elektroden 53 und vierte Elektroden 54 gebildeten zweiten Kondensator hinsichtlich einer sich verändernden Kapazität auszuwerten.
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Obwohl die Erfindung im Detail durch die bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist die Erfindung nicht auf die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen hieraus können vom Fachmann abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102008001442 A1 [0002]
