JP6328823B2 - 加速度センサー構造体およびその用途 - Google Patents
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Description
ション(位置)を決定するために広く応用されている方法である。その目的のためには、様々なセンサーが使用できるが、MEMS構造体は、小さいサイズであるがゆえに、多くの用途に好適である。マイクロエレクトロニクスでは、需要の増大によって、多くの分野で直面した目的のために益々良好な構造体を開発することが可能になっており、特許分類がMEMS関連の加速度センサーを有し得るいくつかの応用分野では、例えば、車両、家庭用電子機器、衣類、靴に関連する分野が挙げられる。
者であれば、MEMS構造体において構成部品同士を絶縁することが必要な場合には、そうするための多くの方法を知っている。可動フレーム102は、バネ101を介して、アンカー構造体106に接続されている。
様である。図は、アンカー106に対して対称な構造を示しているが、これは、可動フレーム102の静止状態(rest state)において有効となる。
解している。これらの正のおよび負の静電容量の領域は、図では、対応する極性符号+および−でそれぞれに示されている。
、試験質量部)202と、ピボット回転軸204とを有する。該プルーフマス202が(
図示した)xy方向に広がると考え、かつ、該プルーフマス202がz方向の加速度の影響下にあると考えるならば、該プルーフマスは力を受け、その力は、その軸204を中心に該プルーフマスをしかるべくピボット回転させる。
によって、ピボット回転中、該要素の一方の側が一方の方向に移動し、それと同時に、要素の他方の側が反対方向に移動するようになっている。従って、電極領域303P、304P、305N、306Nの静電容量が変化することによって、例えば、電極303Pの静電容量が増加するとき、電極305Nの静電容量は、これに対応して減少するようになっている。同様に、電極304Pの静電容量が増大するとき、電極306Nの静電容量が、これに対応して減少する。増加および減少するPおよびNの要素は、入れ替わってよいが、しかし、該同時の逆のシーソー運動は、両方の状況において起こる。図3では、両方の機械的要素のプルーフマスが、ピボット回転軸Axiに対して、不均一に分布している。図3の上方および下方の機械的要素は、単一の対称性を持つように示されている。該ピボット回転は、一対のトルク重視(torque-oriented)のバネでAxiを中心に回転するように
構成され得る。従って、ピボット回転軸Axiは、トルク作用を有する一対のバネで実施できる。
図2の1つの機械的なシーソー要素が用いられている。該センサー構造体はまた、XおよびY方向の加速度検出のための図1の櫛形構造の容量検出セルを有する。図4Aは、検出器で用いられているセンサー構造体の中央における、ピボット回転可能な機械的要素Zを図解している。図2で説明されるように、該機械的要素は、軸Axiによって、より短い部分、および、より長い部分へと分割される。図4Bは、図4Aのセンサー構造体の機械的要素Zの側面図を図解している。図4Bはまた、構造体400、例えば、カバーまたは基板(substrate)を示し、該構造体では、Zの静電容量のためのグラウンド電極402、4
04が固定(fixed)されている。該機械的要素が変形するような構造、または、グラウン
ド電極が固定(secured)されている構造が変形するとき、概略図が示すように、機械的要
素Zの電極領域までのグラウンド電極の距離が、異なる様に変化する。例えば、図4Bに図解される場合では、負の電極までの距離が減少し、正の電極までの距離が増大するが、これは、従来の差動検出が、変形によって激しく妨げられることを意味する。
ウンド電極と機械的要素Z1、Z2の電極領域との間の距離は、異なる様に変化することがわかり得る。例えば、図5Bに図解される場合では、Z1、Z2の負の静電容量の電極領域からグラウンド電極までの距離が増大し、Z1、Z2の正の静電容量の電極領域から正の電極までの距離は減少する。差動検出が適用されるとき、これは、検出にオフセット誤差を引き起こす。加えて、図2および3で説明されているように、Z1、Z2のプルーフマスが、軸Axiに対して非対称に分布し得、従って、異なる様に傾くか、またはピボット回転する。5Aに示される構成では、これは、変形の影響を補償しない。
たは、その一式の実施形態では、グローバルに対称に実施できる。従って、一式とは、例えば、マトリックス(行列体)、または、積層体、または、積層されたマトリックスを指すことができ、それらがセンサーを有し、および/または、センサーで用いられる機械的要素を有することができる。
いて非対称に見えるような非対称なセンサー構造体がマトリックス構造体にあるという条件のもとでは、センサーのマトリックスは、グローバル的に対称ではないとみなされる。それは、たとえ、単数のセンサー/複数のセンサーが、センサー構造体(該センサーがその一部となっている)のスケールで、ローカル的に対称なセンサーがあったとしてもである。従って、マトリックスのセンサー構造体がグローバルに対称でなくても、全体的なスケールでのセンサーは、グローバルに対称であり得る。
は寸法で、物品全体の少なくとも一部を意味する。該物品は、センサー構造体、センサー、および/または、その一式(例えば、マトリックス(行列体)、または、積層体、または、積層されたマトリックスといったものであり、それが、センサーを有し、および/または、センサーにおいて使用される構造体を有する)の実施態様にて具現化され得る。
で、対称性を供述している表現をいう。
る。これはまた、対応する実施形態の一式のローカルなおよび/またはグローバルな対称性に適用される。
心について、対称性要素に対して対称な部分の対称性が在るように、該対称性要素が合致する。対称性の質(quality)は、以下から、つまり:対称性要素に対する対称性に関連す
る形状的測定、形状的特徴、質量、容積、面積、密度、数、または、他の量から選択できる属性であるため、対称性の次数に適用可能な対称性要素に対して、同量の、少なくとも2つの同様の対称性の質の特性(attribute)で表現された質がある。対称性の質の範囲に
は、鏡面状の対称性もまた含まれるが、また、構造体が非鏡面(anti-mirror)対称性を有
するような対称性(即ち、物体が、それが鏡面対称であるかのように位置づけられているが、半サイクル分だけ、または、任意の実施形態では、他のピボット回転角度分だけ、ピボット回転しているような対称性)も含まれる。鏡面対称性および非鏡面対称性は、並進対称性(translatory symmetry)を持つと考えることができ、即ち、対称性要素によって対称な部分が、それがあった鏡面対称性または非鏡面対称性の場所から、対称性要素に対する鏡面対称性によってシフトされたと考えることができる。
する。
施形態に言及し得るが、これは、そのような言及それぞれが、同じ実施形態を指すこと、または、特徴が、単一の実施形態だけに適用されることを必ずしも意味しない。異なる実施形態の単一の特徴は、さらなる実施形態を提供するべく、組み合わせられ得る。
差動的に連結された一対の量、つまり、第三の位置における第三の量と、第四の位置における増加する第四の量とのペアがあることを意味しており、該ペアは、第一の位置における第一の量、および、第二の位置における増加する第二の量の作動についての文脈で説明したのと同じように作用するが、第一の量および第二の量のペアに対して位相シフトがあることを意味している。二重差動検出では、第一の量、第二の量、第三の量、および第四の量は、検出される動作から、またはそれに応じた前記検出可能な量を生成するために、ペア(対)になって使用される。
、差動的に、また、二重差動的にも、互いに依存するように配置できることを知っている。例示的な実施形態では、位相シフトは180度、すなわち、ペアは逆位相にあるが、本発明は、必ずしも、そのような位相シフトだけに限定されるわけではない。
そのような部品を実施する方法を知っている。
、それらのより長い第一の方向では、第一の対称性要素として機能すると考えることができる。櫛歯および/またはそれらそれぞれのアンカー607N、607P、並びにバネはまた、該対称軸に対して構造的に対称に配置され得る。前記第一の方向に対して垂直な方向を持った対称性要素606同士の間のピッチは、櫛歯および/またはアンカー607N、607Pと、また、バネとの構造上の対称性のための、他の第二の対称性要素とみなされ得る。なお、対称性は、単純な鏡面対称性からの、非鏡面の、鏡面の、回転の、および/または、並進の変更でのチャージおよび/または作動によって考慮され得る。
および第二の量を運動の第一の差動検出に提供し、第二のペアは、第三の量および第四の量を同じ運動の二重差動検出に提供する。対称性、第一のペアは、第二のペアとは逆位相において動作するよう配置されている。従って、図6では、第三の量は、固定負電荷電極608Nと、これらの固定電極と交互に挿入された可動電極603の一部とに関する静電容量を参照できる。第四の量は、固定正電荷電極604Pと、これらの固定電極と交互に
挿入された可動電極603の一部とに関する静電容量を参照できる。
(1)err(N)−err(p) > 0、
しかしながら、図8Bの構成では、誤差(error)は消える:
(2)[err(N)+err(n)]−[err(P)+err(p)] = 0。
Aout 〜 [C(114P) + C(115P)] − [C(114N) + C(115N)]
延びるならば、グラウンド電極を支持する基板の変形によって、該グラウンド電極までの電極114Nの距離が増大するのと同時に、該グラウンド電極までの電極114Pの距離が減少するように、構成が変位し得る。その変位によって、114Nの静電容量について測定された値が本質的に減少し、114Pの静電容量について測定された値が増大する。該変形によって要素が同様に傾くことによって、115Pおよび115Nの距離および静電容量についても、同じことになる。即ち、該変位は、同時に、115Pの静電容量について測定された値を減少させ、115Nの静電容量について測定された値を増大させる。加速度の出力において、構成の変位から生じるこれらの誤差が、電極の点対称なポジショニングによって、互いにキャンセルされることが、これでわかる。
21を有して、回転式バネ122へと延び得る。要素Z1、Z2は、回転式バネに接続され、図11に開示されているバネの軸線を中心にピボット回転または回転し得る。二重差動検出および補償的な対称性を得るために、要素Z1およびZ2は、アンカー120のアンカー係留点に対して点対称である。この単一点のアンカー係留によって、該アンカー係留は、支持基板の変形による影響をよりいっそう受け難くなる。このさらなる利点は、図13でより詳細に図解されている。
イスDおよび/またはデバイスGにおける、実施例で示したセンサー構造体を具現化した少なくとも1つの(デバイスDおよびG)を有する。いくつかの実施形態における文字SおよびMのポジションが当業者に示しているのは、様々な実施形態のセンサー構造体が、マスタリングデバイスのポジションで独立的に作動され得、その加速度が、当該センサー構造体でモニターされるということである。
Claims (7)
- センサー構造体のマトリックスであって、当該センサー構造体のマトリックスは、平坦な構造を持ったセンサーセル(X1、X2、Y1、Y2)を有し、
前記センサーセル(X1、X2、Y1、Y2)の各々は、静電容量性の検出用櫛状部とフレームとを含んでおり、該フレームは、共通の平面内で前記検出用櫛状部の周囲に延びており、該検出用櫛状部の可動電極は、前記フレームと共に、前記共通の平面内で移動するように連結されており、
前記センサーセル(X1、X2、Y1、Y2)は、前記共通の平面内における加速度成分を検出するように、前記共通の平面に配置されており、
一対のセンサーセル(X1、X2)は、第一の面内方向における検出のために配置されており、
他の対のセンサーセル(Y1、Y2)は、第二の面内方向における検出のために配置されており、該第二の面内方向は、前記第一の面内方向に対して垂直であり、
前記一対のセンサーセルと他の対のセンサーセルは、当該センサー構造体のマトリックスの前記共通の平面に、補償的な対称性を提供するように配置されている、
前記センサー構造体のマトリックス。 - 上記各々のセンサーセル(X1、X2、Y1、Y2)が、また、内部補償的な対称性を持って実施されている、請求項1に記載のセンサー構造体のマトリックス。
- 上記センサーセル(X1、X2、Y1、Y2)が、内部補償的な対称性を持たずに実施されている、請求項1に記載のセンサー構造体のマトリックス。
- 上記センサーセル(X1、X2、Y1、Y2)が、2×2のマトリックスへと配置されており、該2×2のマトリックスでは、前記センサーセルの各対が交差状のポジションを取っている、請求項1に記載のセンサー構造体のマトリックス。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のセンサー構造体のマトリックスを少なくとも1つ有する、加速度センサー。
- 請求項5に記載の加速度センサーを有するデバイス(D)であって、
当該デバイスが:
自動車、衣類、靴、ポインター、コンパス、計器、地震計、ナビゲーター、モバイル装置、機械的モーター、液圧モーター、電気モーター、発電機、ベアリングモジュール、遠心機、
のうちの少なくとも1つを有する、
前記デバイス。 - 請求項6に記載のデバイスを少なくとも1つ有するシステム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019056658A (ja) * | 2017-09-22 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器、携帯型電子機器および移動体 |
JP2020187118A (ja) * | 2019-05-15 | 2020-11-19 | 株式会社村田製作所 | ロバストなz軸加速度センサ |
JP2021047181A (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-25 | 株式会社村田製作所 | 低ノイズ多軸mems加速度計 |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9218065B2 (en) * | 2013-03-11 | 2015-12-22 | Intel Corporation | Stress tolerant MEMS accelerometer |
TWI508913B (zh) * | 2013-10-03 | 2015-11-21 | Pixart Imaging Inc | 微機電元件與微機電應力補償結構 |
FI126071B (en) * | 2014-01-28 | 2016-06-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope structure and gyroscope |
GB2523320A (en) * | 2014-02-19 | 2015-08-26 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
CN103954793B (zh) * | 2014-04-30 | 2016-11-16 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种mems加速度计 |
US10203351B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-02-12 | Analog Devices, Inc. | MEMS accelerometer with Z axis anchor tracking |
US9840409B2 (en) * | 2015-01-28 | 2017-12-12 | Invensense, Inc. | Translating Z axis accelerometer |
FI127229B (en) * | 2015-03-09 | 2018-02-15 | Murata Manufacturing Co | Microelectromechanical structure and device |
US11231441B2 (en) * | 2015-05-15 | 2022-01-25 | Invensense, Inc. | MEMS structure for offset minimization of out-of-plane sensing accelerometers |
FI127000B (en) * | 2015-06-26 | 2017-09-15 | Murata Manufacturing Co | MEMS sensor |
JP6558110B2 (ja) | 2015-07-10 | 2019-08-14 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
JP6583547B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2019-10-02 | 株式会社村田製作所 | 改良型微小電気機械加速度測定装置 |
JP6468167B2 (ja) * | 2015-11-03 | 2019-02-13 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
US10393770B2 (en) * | 2016-04-28 | 2019-08-27 | Semiconductor Components Industries, Llc | Multi-axis accelerometer with reduced stress sensitivity |
US10203352B2 (en) | 2016-08-04 | 2019-02-12 | Analog Devices, Inc. | Anchor tracking apparatus for in-plane accelerometers and related methods |
US9946646B2 (en) * | 2016-09-06 | 2018-04-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | Systems and method for delayed cache utilization |
JP6206785B1 (ja) * | 2016-09-27 | 2017-10-04 | 東 高橋 | 液体容器 |
US10261105B2 (en) | 2017-02-10 | 2019-04-16 | Analog Devices, Inc. | Anchor tracking for MEMS accelerometers |
US11268976B2 (en) * | 2017-02-23 | 2022-03-08 | Invensense, Inc. | Electrode layer partitioning |
US10732196B2 (en) * | 2017-11-30 | 2020-08-04 | Invensense, Inc. | Asymmetric out-of-plane accelerometer |
JP2020030067A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、センサーデバイス、電子機器、および移動体 |
US10578384B1 (en) | 2019-05-24 | 2020-03-03 | Reese C. Gwillim, JR. | Ammunition count signaling in retrofit apparatus for handgun |
JP6763458B2 (ja) * | 2019-07-17 | 2020-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
EP3792637B1 (en) * | 2019-09-11 | 2023-05-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Low-noise multi-axis mems accelerometer |
WO2021134676A1 (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种mems驱动器及成像防抖装置 |
USD961583S1 (en) | 2020-06-01 | 2022-08-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Smart watch |
EP4047375B1 (en) | 2021-02-22 | 2024-07-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Anchor structure for reducing temperature-based error |
US11714102B2 (en) | 2021-06-08 | 2023-08-01 | Analog Devices, Inc. | Fully differential accelerometer |
EP4116718A1 (en) * | 2021-07-05 | 2023-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Seesaw accelerometer |
JP2023042084A (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-27 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサーモジュール |
FR3144989A1 (fr) * | 2023-01-16 | 2024-07-19 | Tronic's Microsystems | Dispositif MEMS de détection de vibration |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4174891A (en) * | 1976-11-15 | 1979-11-20 | Bell & Howell Company | Microfilm reader/printer |
DE3634023A1 (de) * | 1986-10-07 | 1988-04-21 | Bodenseewerk Geraetetech | Integriertes, redundantes referenzsystem fuer die flugregelung und zur erzeugung von kurs- und lageinformationen |
US6230563B1 (en) * | 1998-06-09 | 2001-05-15 | Integrated Micro Instruments, Inc. | Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability |
DE19832905C2 (de) * | 1998-07-22 | 2000-06-29 | Karlsruhe Forschzent | Kapazitiver Beschleunigungssensor |
TW402098U (en) * | 1998-10-21 | 2000-08-11 | Defence Dept Chung Shan Inst | Piezoelectric solid state accelerometers |
US6257059B1 (en) | 1999-09-24 | 2001-07-10 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Microfabricated tuning fork gyroscope and associated three-axis inertial measurement system to sense out-of-plane rotation |
JP2003166999A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
US6785117B2 (en) * | 2002-03-15 | 2004-08-31 | Denso Corporation | Capacitive device |
DE10225714A1 (de) | 2002-06-11 | 2004-01-08 | Eads Deutschland Gmbh | Mehrachsiger monolithischer Beschleunigungssensor |
CN101069099A (zh) * | 2003-02-24 | 2007-11-07 | 佛罗里达大学 | 微机械加工的集成单片三轴加速度计 |
US6910379B2 (en) * | 2003-10-29 | 2005-06-28 | Honeywell International, Inc. | Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer |
US7013730B2 (en) | 2003-12-15 | 2006-03-21 | Honeywell International, Inc. | Internally shock caged serpentine flexure for micro-machined accelerometer |
EP1626283B1 (en) * | 2004-08-13 | 2011-03-23 | STMicroelectronics Srl | Micro-electromechanical structure, in particular accelerometer, with improved insensitivity to thermomechanical stresses |
EP1645847B1 (en) * | 2004-10-08 | 2014-07-02 | STMicroelectronics Srl | Temperature compensated micro-electromechanical device and method of temperature compensation in a micro-electromechanical device |
US7140250B2 (en) | 2005-02-18 | 2006-11-28 | Honeywell International Inc. | MEMS teeter-totter accelerometer having reduced non-linearty |
US7240552B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-07-10 | Bei Technologies, Inc. | Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling |
FI119299B (fi) | 2005-06-17 | 2008-09-30 | Vti Technologies Oy | Menetelmä kapasitiivisen kiihtyvyysanturin valmistamiseksi ja kapasitiivinen kiihtyvyysanturi |
ITTO20050628A1 (it) * | 2005-09-15 | 2007-03-16 | St Microelectronics Srl | Dispositivo stabilizzatore di immagini, in particolare per l'acquisizione mediante un sensore di immagini digitali |
CN100425993C (zh) | 2006-01-25 | 2008-10-15 | 哈尔滨工业大学 | 框架结构差分电容式加速度传感器 |
WO2008059757A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Panasonic Corporation | Capteur |
US7934423B2 (en) * | 2007-12-10 | 2011-05-03 | Invensense, Inc. | Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics |
US7591201B1 (en) * | 2007-03-09 | 2009-09-22 | Silicon Clocks, Inc. | MEMS structure having a compensated resonating member |
EP2176672A2 (en) * | 2007-07-24 | 2010-04-21 | Nxp B.V. | Multi-axial sensor for determining displacement, velocity and acceleration of a linear or angular movement |
US20090183570A1 (en) * | 2008-01-18 | 2009-07-23 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Micromachined cross-differential dual-axis accelerometer |
EP2098822B8 (en) | 2008-03-05 | 2015-08-12 | Colibrys S.A. | Vibrating gyroscope with quadrature signals reduction |
DE102008017156A1 (de) * | 2008-04-03 | 2009-10-08 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
FI122397B (fi) * | 2008-04-16 | 2011-12-30 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
US8171793B2 (en) * | 2008-07-31 | 2012-05-08 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for detecting out-of-plane linear acceleration with a closed loop linear drive accelerometer |
US8020443B2 (en) | 2008-10-30 | 2011-09-20 | Freescale Semiconductor, Inc. | Transducer with decoupled sensing in mutually orthogonal directions |
CN102216789A (zh) * | 2008-11-13 | 2011-10-12 | 三菱电机株式会社 | 加速度传感器 |
US8146424B2 (en) | 2008-12-16 | 2012-04-03 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for an inertial sensor suspension that minimizes proof mass rotation |
FI20095201A0 (fi) * | 2009-03-02 | 2009-03-02 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
US8661901B2 (en) * | 2009-03-19 | 2014-03-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Three phase capacitance-based sensing |
US8186221B2 (en) * | 2009-03-24 | 2012-05-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Vertically integrated MEMS acceleration transducer |
JP2010238921A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサ |
US8640541B2 (en) | 2009-05-27 | 2014-02-04 | King Abdullah University Of Science And Technology | MEMS mass-spring-damper systems using an out-of-plane suspension scheme |
CN102667497B (zh) | 2009-11-24 | 2014-06-18 | 松下电器产业株式会社 | 加速度传感器 |
CN201569670U (zh) * | 2009-12-29 | 2010-09-01 | 杭州电子科技大学 | 折叠梁式双向微惯性传感器 |
CN201852851U (zh) | 2010-05-28 | 2011-06-01 | 南京理工大学 | 框架式电容硅微机械加速度计 |
JP5527019B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2014-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
US8539836B2 (en) | 2011-01-24 | 2013-09-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with dual proof masses |
CN102759637B (zh) * | 2011-04-26 | 2015-06-24 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | Mems三轴加速度传感器及其制造方法 |
US20150201583A1 (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | John Greeson | Method for the treatment of animals with hooves |
CN105731353A (zh) * | 2014-12-12 | 2016-07-06 | 立锜科技股份有限公司 | 微机电装置 |
-
2013
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-
2017
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019056658A (ja) * | 2017-09-22 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器、携帯型電子機器および移動体 |
JP2020187118A (ja) * | 2019-05-15 | 2020-11-19 | 株式会社村田製作所 | ロバストなz軸加速度センサ |
JP2021047181A (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-25 | 株式会社村田製作所 | 低ノイズ多軸mems加速度計 |
JP7028293B2 (ja) | 2019-09-11 | 2022-03-02 | 株式会社村田製作所 | 低ノイズ多軸mems加速度計 |
Also Published As
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