-
TECHNISCHES GEBIET DER
ERFINDUNG
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Schnittstellenaufbau zur mechanischen
Verbindung von Koaxialsteckern miteinander und eine Trockengas einschließende Vorrichtung,
die diesen Schnittstellenaufbau verwendet. Insbesondere betrifft
die vorliegende Erfindung einen Schnittstellenaufbau zum Verbinden
eines Prüfkopfs
und einer Prüfkarte über Koaxialstecker
bei einer Halbleiterprüfvorrichtung
sowie eine Trockengas enthaltende Vorrichtung, die diesen Schnittstellenaufbau
verwendet.
-
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
-
In
einer Halbleiterprüfvorrichtung
erfolgt die Inspektion von Halbleitervorrichtungen, indem die Prüfnadel einer
Prüfkarte
oder eine Kontaktsonde, wie eine Membransonde, mit den Elektrodenkontaktstellen
mehrerer auf einem Wafer hergestellter Halbleitervorrichtungen in
Kontakt gebracht, ein Prüfsignal
von einem Prüfkopf
angewendet wird und Ausgabesignale von den Halbleitervorrichtungen
nachgewiesen werden.
-
Die
Inspektion von Halbleitervorrichtungen erfolgt durch Einstellen
der Atmosphärentemperatur auf
eine Temperatur, die den Bedingungen entspricht, unter denen die
Halbleitervorrichtungen verwendet werden. Daher wird die Inspektion
nicht nur in einer Hochtemperaturatmosphäre, sondern auch in einer Niedrigtemperaturatmosphäre durchgeführt. Wenn
die Inspektion durch Einstellen der Atmosphärentemperatur auf eine niedrige
Temperatur durchgeführt
wird, tritt manchmal Kondensation an der Peripherie von Wafer oder
Prüfkarte
auf. Kommt es zu Kondensation an der Peripherie von Wafer oder Prüfkarte,
bewirkt dies eine Verschlechterung der elektrischen Eigenschaften,
wie Kurzschluss freiliegender Verdrahtungsmuster oder Zunahme von
Kriechverlusten, und verunreinigt zudem die Oberfläche. Aus diesem
Grund verwendet man eine Vorrichtung zum Einbringen eines Trockengases
an die Prüfkartenoberfläche (zum
Beispiel japanische Patentanmeldung mit der Offenlegungsnr. 11-026523) oder eine Vorrichtung
zum Einbringen eines Trockengases um einen Wafer (zum Beispiel japanische
Patentanmeldung mit der Offenlegungsnr. 2003-179109) in Halbleiterprüfvorrichtungen,
um das Auftreten von Kondensation zu verhindern.
-
Der
vor kurzem auf dem Gebiet von Halbleitervorrichtungen, die Gegenstände von
Messungen sind, erzielte Fortschritt erzeugte einen Bedarf an einer
verbesserten Leistung von Halbleiterprüfausrüstung. Insbesondere wenn Messungen
durchgeführt werden,
um die Kapazität von
Gate-Isolationsfilm zu bestimmen, Beanspruchungseigenschaften von Transistoren
zu bewerten und die RF-Eigenschaften von Transistoren zu bewerten,
reicht die Frequenz von Signalen, die bei den Messungen eingesetzt
werden, bis in das HF-Band oder RF-Band, und Messungen in den Hochfrequenzbändern werden
erforderlich.
-
Für die elektrische
Verbindung eines Prüfkopfs
und einer Prüfkarte
in einer Halbleiterprüfvorrichtung
werden in der Regel Pogo-Stecker verwendet. Pogo-Stecker werden
auch als Verbindungsstecker, Prüfstecker
und Federstecker bezeichnet, und sie halten die Messgenauigkeit
aufrecht, wenn sie zur Messung von Gleichstromsignalen oder niederfrequenten
Signalen verwendet werden.
-
Werden
jedoch hochfrequente Signale im HF-Band oder RF-Band gemessen, ist
es aufgrund von Reflexionsverlust oder dergleichen schwierig, die Messgenauigkeit
mit den Pogo-Steckern
aufrechtzuerhalten. Wenn also hochfrequente Signale im HF-Band oder
RF-Band gemessen werden, müssen Koaxialstecker
für HF-
oder RF-Signale in den Anschlussabschnitten von Prüfkopf und
Prüfkarte
verwendet werden.
-
Das
Zusammenkuppeln der Koaxialstecker erfolgt gewöhnlich durch manuelles Befestigen
von Koaxialkabeln nacheinander an Koaxialsteckern. Der Anmelder
hat jedoch einen Stecker erfunden und patentiert, der sogar ein
automatisches Zusammenkuppeln von Koaxialsteckern gestattet (japanische
Patentanmeldung mit der Offenlegungsnr. 10-106677). Werden Koaxialstecker,
die zum automatischen Zusammenkuppeln in der Lage sind, an einer
Schnittstelle zum Verbinden eines Prüfkopfs und einer Prüfkarte bereitgestellt
und wird die Schittstelle in einer Halbleiterprüfvorrichtung eingesetzt, in
die ein Trockengas zwischen den Prüfkopf und die Prüfkarte eingebracht
werden kann, trifft man auf die folgenden Probleme.
-
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
-
Werden
ein Prüfkopf
und eine Prüfkarte
unter Verwendung einer Schnittstelle mit Koaxialsteckern verbunden,
die automatisch zusammengekuppelt werden können, ist für die Schnittstelle eine Struktur
erforderlich, die das automatische Zusammenkuppeln von Koaxialsteckern
gestattet. Aufgrund dieser Struktur verschlechtert sich die Luftdichtheit zwischen
dem Prüfkopf
und der Prüfkarte.
-
Hier
enthält
der Prüfkopf
im Inneren einen Abzugsventilator zum Abziehen der im Inneren des Prüfkopfs vorhandenen
Luft nach außen,
um die Innenseite des Prüfkopfs
mit Luft zu kühlen.
Wenn ein Trockengas zwischen den Prüfkopf und die Prüfkarte eingebracht
wird, leckt daher das Trockengas aufgrund schlechter Luftdichtheit
in der Schnittstelle in den Prüfkopf, und
das übergetretene
Trockengas wird außerdem
durch den im Inneren des Prüfkopfs enthaltenen
Abzugsventilator angesaugt und nach außerhalb des Prüfkopfs abgezogen.
Daraus ergibt sich das Problem, dass das zwischen dem Prüfkopf und
der Prüfkarte
vorhandene Trockengas verdünnt wird
und Kondensation auf der Prüfkartenoberfläche auftritt.
-
Die
vorliegende Erfindung wurde gemacht, um das oben beschriebene Problem
zu lösen,
und es ist ihre Aufgabe zu verhindern, dass das Trockengas, das
zwischen Prüfkopf
und Prüfkarte
eingebracht wurde und in den Prüfkopf übergetreten
ist, nach außerhalb
des Prüfkopfs
abgezogen wird, wenn der Prüfkopf
und die Prüfkarte über Koaxialstecker
verbunden sind, die automatisch zusammengekuppelt werden können.
-
Zur
Lösung
der obengenannten Aufgabe stellt die vorliegende Erfindung an einem
Prüfkopf
einen Schnittstellenaufbau zum Verbinden einer Prüfkarte mit
dem Prüfkopf
bereit. Der Schnittstellenaufbau umfasst eine Schnittstelle, die
einen Schnittstellenkörper
und einen vom Schnittstellenkörper
getragenen Koaxialstecker umfasst, und ein an der Schnittstelle
bereitgestelltes Abdeckelement zum Einschließen eines Trockengases, das
zwischen den Prüfkopf
und die Prüfkarte
eingebracht wird und durch einen Spalt, der von der Schnittstelle
in einem Zustand gebildet wird, in dem der Koaxialstecker mit einem
an der Prüfkarte
bereitgestellten, dazu passenden Koaxialstecker zusammengekuppelt
wird, in den Prüfkopf
leckt.
-
KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
-
1 ist
eine Schemazeichnung, die einen Verbindungsabschnitt eines Prüfkopfs und
einer Prüfkarte
der Halbleiterprüfvorrichtung
veranschaulicht;
-
2 ist
eine Perspektivansicht eines Schnittstellenaufbaus 100 der
erfindungsgemäßen Ausführungsform;
-
3 ist
eine Aufsicht auf einen Schnittstellenaufbau 100 der erfindungsgemäßen Ausführungsform;
-
4 ist
eine Ansicht entlang des Schnitts a-a in 3;
-
5A und 5B veranschaulichen
einen Koaxialstecker;
-
6 ist
eine vergrößerte Ansicht
der Haltemechanismusperipherie und
-
7 veranschaulicht
den verbundenen Zustand von Prüfkopf
und Prüfkarte.
-
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
-
Ein
Schnittstellenaufbau 100 und eine Trockengas einschließende Vorrichtung 200,
die Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung sind, werden im Folgenden anhand der
beigefügten
Zeichnungen beschrieben.
-
Eine
Halbleiterprüfvorrichtung,
die die vorliegende Erfindung einsetzt, dient zur Inspektion von Halbleitervorrichtungen,
die auf einem Wafer 12 hergestellt worden sind, bei dem
es sich um einen in einer Klemme 11 gehaltenen Messgegenstand
handelt. Die Halbleiterprüfvorrichtung,
wie in 1 dargestellt, umfasst einen Prüfkopf 13 zum
Ausgeben elektrischer Signale an eine Halbleitervorrichtung, Verarbeiten
elektrischer Signale von der Halbleitervorrichtung und Messen der
elektrischen Eigenschaften des Wafers 12, eine Prüfkarte 10,
die eine Prüfnadel 14 umfasst,
die mit einer Elektrodenkontaktstelle der Halbleitervorrichtung
in Kontakt gebracht werden muss, und eine Schnittstelle 20 zum
Verbinden der Prüfkarte 10 mit
dem Prüfkopf 13.
-
Der
Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 werden elektrisch
verbunden, indem Koaxialstecker 2, die an der Schnittstelle 20 bereitgestellt
sind, mit dazu passenden Koaxialsteckern 15, die an der
Prüfkarte 10 bereitgestellt
sind, zusammengekuppelt und ein Substratabschnitt 10a der
Prüfkarte 10 mit
Pogo-Steckern 19 in Kontakt gebracht wird, die über eine
ringförmige
Grundplatte 18 um die Schnittstelle 20 angeordnet
sind. Der Koaxialstecker 2 dient zur Messung eines hochfrequenten
Signals, und der Pogo-Stecker 19 dient zur Messung eines
niederfrequenten Signals.
-
Die
Inspektion des Wafers 12 erfolgt unter Bedingungen, die
den Verwendungsbedingungen des Wafers 12 entsprechen. Zu
diesem Zweck wird die Inspektion manchmal durchgeführt, indem
die Umgebungstemperatur um den Wafer 12 auf eine niedrige
Temperatur eingestellt wird. In diesem Fall erfolgt die Einstellung
der Umgebungstemperatur durch Zuleiten eines geeigneten Kühlmittels
in eine Klemme 11.
-
Das
Einstellen der Umgebungstemperatur um den Wafer 12 auf
eine niedrige Temperatur verringert auch die Temperatur der Prüfkarte 10.
Aus diesem Grund wird Kondensation auf dem Wafer 12 und der
Prüfkarte 10 zu
einem Problem, aber das Auftreten von Kondensation wird durch Einbringen
eines Trockengases an der Peripherie des Wafers 12 und der
Prüfkarte 10 verhindert.
-
Der
Schnittstellenaufbau 100 umfasst die Schnittstelle 20 zum
Verbinden der Prüfkarte 10 mit dem
Prüfkopf 13,
ein Gehäuse 5,
das als Abdeckelement zum Einschließen eines Trockengases dient, das
zwischen den Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 eingebracht
wird und in den Prüfkopf 13 durch
einen Spalt leckt, der durch die Schnittstelle 20 in einem Zustand
gebildet wird, wenn die Koaxialstecker 2 der Schnittstelle 20 mit
den dazu passenden Koaxialsteckern 15 der Prüfkarte 10 zusammengekuppelt
sind, eine Ringplatte 4 als ringförmiges Element zum Verbinden
der Schnittstelle 20 und des Gehäuses 5 und einen Haltemechanismus 3 zum
Halten der Schnittstelle 20 auf der Ringplatte 4.
-
Die
Schnittstelle 20 umfasst einen Schnittstellenkörper 1 und
eine Mehrzahl Koaxialstecker 2, die vom Schnittstellenkörper 1 gehalten
werden. Die Schnittstelle 20 wird durch den Haltemechanismus 3 schiebbar
auf der Ringplatte 4 gehalten Eine Mehrzahl erster Durchgangslöcher 1c und
eine Mehrzahl zweiter Durchgangslöcher 1d, jeweils mit Öffnungen an
der ersten Oberfläche 1a,
die zur Prüfkarte 10 hin gerichtet
ist, und an der zweiten Oberfläche 1b,
die der ersten Oberfläche 1a gegenüberliegt,
sind im Schnittstellenkörper 1 enthalten.
-
Die
ersten Durchgangslöcher 1c halten
Koaxialstecker 2, und die zweiten Durchgangslöcher 1d halten
den Haltemechanismus 3. Wie in 4 gezeigt,
ist eine Stufe 1e an der inneren peripheren Oberfläche des
zweiten Durchgangslochs 1d bereitgestellt. Bei der vorliegenden
Ausführungsform
ist der Schnittstellenkörper 1 mit
zylindrischer Form dargestellt, aber diese Form ist nicht beschränkend.
-
Die
Koaxialstecker 2 werden im Folgenden anhand von 5 beschrieben. 5A ist
eine Explosionsansicht des Koaxialsteckers 2, und 5B veranschaulicht
einen Zustand, in dem der Koaxialstecker 2 am Schnittstellenkörper 1 angebracht
ist. Der Koaxialstecker 2 dient zur Messung hochfrequenter
Signale, z.B. vom HF-Band oder RF-Band, und ist durch den Schnittstellenkörper 1 hindurch
angeordnet.
-
Ein
Koaxialabschnitt 2a, der aus der ersten Oberfläche 1a des
Schnittstellenkörpers 1 hervor ragt,
wird mit dem dazu passenden Koaxialstecker 15, der auf
der Prüfkarte 10 bereitgestellt
wird, zusammengekuppelt, und ein Koaxialkabel 16, das zum
Prüfkopf 13 führt, wird
am Steckerabschnitt 2b angeschlossen, der aus der zweiten
Oberfläche 1b des
Schnittstellenkörpers 1 hervor
ragt.
-
Siehe 5A:
In dem Koaxialstecker 2 wird ein „Blind-Mate"-Stecker 51 über eine
Flanschmutter 52 und eine Spiralfeder 53 in dem
ersten Durchgangsloch 1c gehalten, das im Schnittstellenkörper 1 enthalten
ist. Der „Blind-Mate"-Stecker 51 ist
so gebaut, dass er sich in vertikaler Richtung und horizontaler
Richtung bewegen kann.
-
Mit
dem Koaxialstecker 2 dieser Bauweise lässt sich das Zusammenkuppeln
des Koaxialsteckers 2 mit dem dazu passenden Koaxialstecker 15 durch
ein Einrastsystem durchführen,
bei dem der passende Koaxialstecker 15 in axialer Richtung
in Bezug auf den Koaxialstecker 2 geschoben wird, wie in 5B dargestellt,
ohne dass die beiden Koaxialstecker 2 und 15 um
die Mittelachse gedreht werden. Die Kupplungskraft eines Satzes
aus dem Koaxialstecker 2 und dem dazu passenden Koaxialstecker 15 beträgt etwa
1 kgf. In den 5A und 5B entspricht
der Steckerabschnitt 2a dem weiblichen Steckertyp und der
dazu passende Koaxialstecker 15 dem männlichen Steckertyp, aber der
Steckerabschnitt 2a kann auch dem männlichen Steckertyp entsprechen
und der dazu passende Koaxialstecker 15 dem weiblichen
Steckertyp.
-
Die
Ringplatte 4, wie in den 4 und 6 gezeigt,
umfasst einen ringförmigen
Plattenabschnitt 4a mit einem größeren Außendurchmesser als der Schnittstellenkörper 1 und
eine Haltesäule 4b,
die an der Stelle bereitgestellt ist, die dem zweiten Durchgangsloch 1d des
Schnittstellenkörpers 1 im
Plattenabschnitt 4a entspricht.
-
Eine
Stufe 4c ist in der Haltesäule 4b ausgebildet,
eine Öffnung 4e ist
im Scheitelabschnitt 4d der Haltesäule 4b ausgebildet,
und ein Innengewinde ist in der Öffnung 4e ausgebildet.
Der Außendurchmesser
der Haltesäule 4b ist
kleiner als der Innendurchmesser des zweiten Durchgangslochs 1d des Schnittstellenkörpers 1.
Ferner ist die Höhe
vom Plattenabschnitt 4a in der Haltesäule 4b zur Stufe 4c größer als
die Tiefe von der zweiten Oberfläche 1b im zweiten
Durchgangsloch 1d zur Stufe 1e.
-
Ein
Verfahren zur Befestigung der Ringplatte 4 am Schnittstellenkörper 1 ist
im Folgenden beschrieben. Die Haltesäule 4b wird von der
Seite der zweiten Oberfläche 1b in
das zweite Durchgangsloch 1d eingebracht. Dadurch werden
der Schnittstellenkörper 1 und
die Ringplatte 4 in einem Zustand angeordnet, in dem die
Stufe 1e des zweiten Durchgangslochs 1d mit der
Stufe 4c der Haltesäule 4b in
Kontakt steht. In diesem Zustand wird der Bolzen 6, der als
Befestigungselement dient, in das Innengewinde der Öffnung 4e der
Haltesäule 4b geschraubt.
Der Haltemechanismus 3 wird somit von der Haltesäule 4b und
dem Bolzen 6 aufgebaut, und die Schnitstelle 20 wird
durch diesen Haltemechanismus 3 auf der Ringplatte 4 gehalten.
-
In
dem Zustand, in dem die Schnittstelle 20 auf der Ringplatte 4 gehalten
wird, ist der Außendurchmesser
der Haltesäule 4b kleiner
als der Innendurchmesser des zweiten Durchgangslochs 1d des Schnittstellenkörpers 1.
Daher befindet sich ein Spalt 7 zwischen der Haltesäule 4b und
dem zweiten Durchgangsloch 1d (siehe 6 und 7).
Weil außerdem
die Höhe
der Stufe 4c der Haltesäule 4b größer ist
als die Höhe
von der zweiten Oberfläche 1b im
zweiten Durchgangsloch 1d zur Stufe 1e, befindet
sich auch ein Spalt 8 zwischen dem Schnittstellenkörper 1 und
der Ringplatte 4 (siehe 6 und 7).
-
Die
Schnittstelle 20 wird also vom Haltemechanismus 3 so
gehalten, dass sich die Spalte 7 und 8 zwischen
der Schnittstelle 20 und der Ringplatte 4 befinden.
Die Schnittstelle 20 kann daher so gehalten werden, dass
sie in Bezug auf die Ringplatte 4 in die Richtung (von
links nach rechts in 4) senkrecht zur Haltesäule 4b gleiten
kann.
-
Die
Verbindung des Prüfkopfs 13 und
der Prüfkarte 10 über die
Schnittstelle 20 erfolgt, wie in 1 gezeigt,
durch Bewegen der Prüfkarte 10 nach oben
und gleichzeitiges Einrasten einer Mehrzahl zusammenpassender Koaxialstecker 15 der
Prüfkarte 10 in
eine Mehrzahl Koaxialstecker 2 der Schnittstelle 20.
Wenn eine Mehrzahl Koaxialstecker so in einem Arbeitsgang zusammengekuppelt
wird, ist es schwierig, in einem Zustand, in dem die Koaxialstecker
der beiden Gruppen fixiert sind, alle Koaxialstecker glatt zusammenzukuppeln.
Im Fall der Schnittstelle 20 können jedoch die Koaxialstecker 2 selbst
in Vertikalrichtung und Horizontalrichtung bewegt werden, und die
Schnittstelle 20, die den Koaxialstecker 2 hält, kann
in Bezug auf die Prüfkarte 10 gleiten.
So können
eine Mehrzahl Koaxialstecker 2 der Schnittstelle 20 und
eine Mehrzahl damit zusammenpassender Koaxialstecker 15 der
Prüfkarte 10 in
einem Arbeitsgang glatt zusammengekuppelt werden.
-
Siehe 4 und 7:
Das Gehäuse 5 ist ein
kappenförmiger
Behälter
mit einem röhrenförmigen Abschnitt 5a,
der eine Öffnung
an einem Ende besitzt, an dem ein ringförmiger offener Rand 5b bereitgestellt
wird. Ein ringförmiger
Steckerhalteabschnitt 5d zum Aufnehmen eines Koaxialsteckers 23 zum
Anbringen einer Messsonde (in der Figur nicht dargestellt) von einem
Impedanzanalysator oder dergleichen ist im Scheitelabschnitt 5c des
Gehäuses 5 ausgebildet.
-
Der
offene Rand 5b ist mit einer Oberfläche 4f verbunden,
die sich gegenüber
der Oberfläche
befindet, an der sich die Haltesäule 4b in
der Ringplatte 4 befindet. Das Gehäuse 5 ist so über die
Ringplatte 4 mit der Schnittstelle 20 verbunden.
-
Der
im Steckerhalteabschnitt 5d aufgenommene Koaxialstecker 23 und
der vom Schnittstellenkörper 1 gehaltene
Steckerabschnitt 2b des Koaxialsteckers 2 sind
durch ein Koaxialkabel 16 oder dergleichen über den
Koaxialstecker 24 verbunden. Somit wird der Koaxialstecker 24 oder
das Koaxialkabel 16 zum Verbinden der Schnittstelle 20 und
des Prüfkopfes 13 im
Gehäuse 5 aufgenommen.
Der Koaxialstecker 23 wird ebenfalls im Steckerhalteabschnitt 5d aufgenommen,
wobei ein luftdichter Zustand aufrechterhalten wird. Eine Trockengas
einschließende Vorrichtung 200,
wie in 1 gezeigt, umfasst den Schnittstellenaufbau 100,
eine Düse 21 als
Gaszuleitungsmittel zum Einbringen eines Trockengases zur Peripherie
der Prüfkarte 10 und
ein röhrenförmiges Element 22,
das um die Schnittstelle 20 angeordnet ist und den Raum
zwischen dem Prüfkopf 13 und
der Prüfkarte 10 in
dem Zustand umgibt, in dem der Koaxialstecker 2 der Schnittstelle 20 und
der dazu passende Koaxialstecker 15 der Prüfkarte 10 zusammengekuppelt
sind.
-
Die
Düse 21 leitet
das Trockengas vom Trockengasgenerator (in der Figur nicht gezeigt)
zwischen den Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10,
um das Auftreten von Kondensation an der Substratabschnittoberfläche 10b der
Prüfkarte 10,
die mit dem Pogo-Stecker 19 in Kontakt ist, zu verhindern.
Die Düse 21 ist
im Inneren des röhrenförmigen Elements 22 angeordnet
und wird vom Plattenabschnitt 4a der Ringplatte 4 und
dem offenen Rand 5b des Gehäuses 5 gehalten. Das
Trockengas ist zum Beispiel Luft.
-
Das
röhrenförmige Element 22 wird
von der Grundplatte 18 gehalten, wie in 7 gezeigt,
und ist so angeordnet, dass das es der Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b in
dem Zustand gegenüberliegt,
in dem der Koaxialstecker 2 und der dazu passende Koaxialstecker 15 zusammengekuppelt
sind und der Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 verbunden sind.
Daher wird das zwischen den Prüfkopf 13 und die
Prüfkarte 10 eingebrachte
Trockengas zwischen dem Prüfkopf 13 und
der Prüfkarte 10 eingeschlossen.
-
Ein
Ende des röhrenförmigen Elements 22 ist
nicht vollständig
mit der Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b verbunden,
und zwischen ihnen gibt es einen kleinen Spalt. Eine sehr kleine
Mengen des Trockengases, die aus dem winzigen Spalt leckt, tritt
entlang der Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b auf
der Außenseite
des röhrenförmigen Elements 22 aus.
Deshalb wird auch der Anteil der Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b,
der nicht von dem röhrenförmigen Element 22 umgeben ist,
in einem trockenen Zustand gehalten.
-
Die
Funktionen des Schnittstellenaufbaus 100 und der Trockengas
einschließenden
Vorrichtung 200 mit der oben beschriebenen Bauweise werden
nachstehend anhand von 7 beschrieben. 7 veranschaulicht
einen Zustand, in dem der Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 durch
Zusammenkuppeln der Koaxialstecker der Schnittstelle 20 und der
Prüfkarte 10 verbunden
sind.
- (1) Der Schnittstellenaufbau 100 ist
am Prüfkopf 13 über die
Grundplatte 18 fixiert, die am Prüfkopf 13 bereitgestellt
wird. Die Befestigung der Grundplatte 18 und des Schnittstellenaufbaus 100 erfolgt
durch Einbringen des röhrenförmigen Abschnitts 5a des
Gehäuses 5 in
einen zentralen offenen Abschnitt der Grundplatte 18, die
ein ringförmiges
Element ist, und Befestigen der Grundplatte 18 am ringförmigen offenen
Rand 5b des Gehäuses 5.
Wenn die Pogo-Stecker 19 nicht verwendet werden, kann der
Schnittstellenaufbau 100 direkt über das Gehäuse 5 oder die Ringplatte 4 am
Prüfkopf 13 befestigt
werden.
- (2) Der Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 werden durch
Zusammenkuppeln des Koaxialsteckers 2 der Schnittstelle 20 mit
dem dazu passenden Koaxialstecker 15 der Prüfkarte 10 verbunden.
In diesem Zustand ist das röhrenförmige Element 22 um
die Schnittstelle 20 angeordnet, so dass es den Raum zwischen
dem Prüfkopf 13 und
der Prüfkarte 10 umgibt.
- (3) Ein Trockengas wird zwischen den Prüfkopf 13 und die Prüfkarte 10 eingebracht,
um Kondensation auf der Substratabschnittoberfläche 10b der Prüfkarte 10 in
dem Zustand zu verhindern, in dem der Prüfkopf 13 und die Prüfkarte 10 miteinander
verbunden sind. Der Strom des eingebrachten Gases wird nach unten
eingestellt, wie in der Figur durch das röhrenförmige Element 22 dargestellt,
und die Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b wird
getrocknet. Weil sich Spalte zwischen den Haltesäulen 4a und dem zweiten Durchgangsloch 1d des
Schnittstellenkörpers 1 sowie
zwischen dem Schnittstellenkörper 1 und der
Ringplatte 4 befinden, leckt jedoch das Trockengas auf
der Seite des Prüfkopfs
aus diesen Spalten in den Prüfkopf 13.
- (4) Das in den Prüfkopf 13 übergetretene
Trockengas wird durch das Gehäuse 5 des
Schnittstellenaufbaus 100 eingeschlossen und nicht durch
einen Abzugsventilator (in der Figur nicht gezeigt), der im Inneren
des Prüfkopfs 13 enthalten
ist, nach außen
gesaugt. So wird das zwischen den Prüfkopf 13 und die Prüfkarte 10 eingebrachte
Trockengas ohne Verdünnung
zur Prüfkarte 10 geleitet,
und das Auftreten von Kondensation auf der Prüfkartensubstratabschnittoberfläche 10b kann
verhindert werden.
-
Wie
hier vorstehend beschrieben, kann mit der erfindungsgemäßen Schnittstelle 20 das
Trockengas, das zwischen den Prüfkopf 13 und
die Prüfkarte 10 eingebracht
wird und in den Prüfkopf 13 leckt,
eingeschlossen werden. Daher kann verhindert werden, dass das Trockengas
zur Außenseite
des Prüfkopfs 13 freigesetzt
wird.
-
Ferner
kann mit der erfindungsgemäßen, Trockengas
einschließenden
Vorrichtung 200 verhindert werden, dass das zwischen den
Prüfkopf 13 und die
Prüfkarte 10 eingebrachte
Trockengas verdünnt wird.
Daher kann mit einer kleineren Menge Trockengas Kondensation auf
der Substratabschnittoberfläche 10b der
Prüfkarte 10 effizient
verhindert werden.
-
Die
vorliegende Erfindung ist offensichtlich nicht auf die oben beschriebene
Ausführungsform beschränkt und
im Rahmen ihres technischen Konzepts kann auf eine Vielzahl von
Weisen modifiziert werden.
-
Beispielsweise
können
eine Membransonde oder andere Kontaktsonden an Stelle der Prüfnadel verwendet
werden.