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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein
Verfahren zur Vorhangbeschichtung (englisch Curtain Coating) zum
Aufbringen dünner
Filme auf bewegte Substrate. Insbesondere bezieht sich die Erfindung
auf eine Vorrichtung zur Seitenführung
von Beschichtungsvorhängen
sowie ein Verfahren zur Verwendung dieser Vorrichtung. Derartige
Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt bei der Beschichtung
von Papier, Klebebändern
oder auch bei der Beschichtung von fotografischen Filmen.
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In
der fotografischen Industrie wie auch zur Herstellung von beschichteten
Papierbahnen oder Klebebändern
wird bereits seit längerem
ein Verfahren eingesetzt, bei dem beispielsweise ein bahnförmiges Trägermaterial
(z. B. Papierbahnen oder Kunststofffolie) sich kontinuierlich durch
einen Beschichtungsbereich bewegt, wo es von einem frei fallenden
Flüssigkeitsvorhang
ganz oder teilweise in einer oder mehreren Lagen beschichtet wird.
Dieses Verfahren wird allgemein als Vorhangbeschichtung oder auch
Curtain Coating bezeichnet. Im Sprachgebrauch wird dabei bisweilen
noch zwischen dem eigentlichen, einschichtigen Vorhangbeschichten
und einer Kaskadenbeschichtung, bei der mehrere Schichten gleichzeitig
auf das Trägermaterial
aufgebracht werden, unterschieden. Diese Unterscheidung ist in der
folgenden Beschreibung jedoch von untergeordneter Relevanz, so dass
beide Verfahren gleicher Weise als Vorhangbeschichtung bezeichnet werden
sollen und gleichermaßen
durch die Erfindung betroffen sein sollen.
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Bei
der Vorhangbeschichtung wird zunächst eine
entsprechende Beschichtungsflüssigkeit,
beispielsweise ein Lösungsmittel
oder auch eine Dispersion oder Lösung,
einem entsprechenden Beschichtungskopf zugeführt. Mittels eines entsprechend
gestalteten Gießspaltes
oder einer entsprechenden Gießlippe
wird die Beschichtungsflüssigkeit
zu einem frei fallenden Vorhang geformt, welcher auf ein sich quer
zur Fallrichtung des Vorhangs bewegendes Substrat auftrifft. Typische
Geschwindigkeiten für
die Bewegung des Substrates liegen beispielsweise bei der Papierbeschichtung
im Bereich von einigen 100 m/min.
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Insbesondere
bei Beschichtung mit großen Substratgeschwindigkeiten
ergibt sich dabei eine Vielzahl von Problemen. Viele der Probleme
hängen damit
zusammen, dass der Flüssigkeitsvorhang
stabilisiert werden muss, um möglichst
gleichmäßig auf das
zu beschichtende Substrat aufzutreffen.
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Eines
der dabei auftretenden Probleme besteht insbesondere darin, die
Ränder
des Vorhangs zu stabilisieren. Aufgrund der Oberflächenspannung des
Flüssigkeitsfilms
neigt der Vorhang insbesondere dazu, sich zusammenzuziehen, wodurch
die beschichtete Fläche
auf dem Substrat sich verringert und wobei sich beim Auftreffen
auf das Substrat am Rand des entstehenden Oberflächenfilms Verdickungen (Wulste)
bilden.
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Aus
dem Stand der Technik sind zahlreiche Vorrichtungen bekannt, mittels
derer die Ränder
des Flüssigkeitsvorhangs
stabilisiert werden können.
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Aus
der
GB 2 021 001 A ist
ein Vorhanghalter bekannt, bei welchem die Ränder des Vorhangs mittels Fäden oder
Drähten
stabilisiert werden. Über eine
Konstruktion verschiedener Umlenkrollen bewegt sich an jedem Rand
des Vorhangs ein entsprechender Faden oder Draht in Fallrichtung
des Vorhangs, an welchem der Vorhang haftet. Die in der
GB 2 021 001 A beschriebene
Vorrichtung ist jedoch technisch sehr aufwändig. Weiterhin leidet die
Stabilität
des beschriebenen Vorhanghalters darunter, dass nicht in jedem Punkt
die Geschwindigkeit des Fadens bzw. Drahtes optimal der Fallgeschwindigkeit des
Vorhangs angepasst ist, wodurch Instabilitäten auftreten können.
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Eine
weitere Möglichkeit
der Stabilisierung der Ränder
der Vorhänge
besteht darin, starre Vorhanghalter vorzusehen, welche mit einer
Hilfsflüssigkeit
benetzt sind. Die Hilfsflüssigkeit
kann sich teilweise mit dem frei fallenden Vorhang mitbewegen und
gleicht so den Geschwindigkeitsunterschied zwischen dem starren
Vorhanghalter und dem frei fallenden Vorhang aus. Derartige Systeme
sind beispielsweise in der
EP
0 737 521 A2 beschrieben. In der
EP 0 907 103 B1 erfolgt
die Zuführung
einer Hilfsflüssigkeit
auf die Oberfläche
eines Vorhanghalters durch eine poröse Platte, deren Dicke einen
Gradienten aufweisen kann, so dass die Hilfsflüssigkeit sich im optimalen
Fall mit der gleichen Geschwindigkeit in Fallrichtung bewegt wie
auch die Kanten des Vorhangs.
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Nachteilig
an den beschriebenen Vorrichtungen und Verfahren ist jedoch, dass,
insbesondere bei Verwendung von Lösungen und Dispersionen, die Führungsoberflächen der
Vorhanghalter leicht verschmutzen bzw. die porösen Materialien leicht durch die
eingesetzten Beschichtungsflüssigkeiten
verstopft werden. Dies erfordert aufwendige Reinigungsschritte und
bedingt hohe Wartungszeiten des Systems. Dabei sinkt die Betriebszeit
zwischen erforderlichen Wartungs- bzw. Reinigungsvorgängen mit dem
Alter der Vorhanghalter, da die porösen Materialien nie vollständig gereinigt
werden können.
Weiterhin kommt es infolge lokaler Verstopfung der porösen Oberfläche zu lokalen Überdosierungen
von Hilfsflüssigkeit.
Außerdem
haben die eingesetzten porösen
Materialien typischerweise eine hohe Oberflächenrauhigkeit und somit einen
hohen Strömungswiderstand.
Weiterhin sind die mitgeführten
Hilfsflüssigkeitsfilme
häufig
mit mehreren 10 mm vergleichsweise breit gegenüber den typischen Dicken von
0,3 mm der Beschichtungsvorhänge.
Dadurch treten leicht Strömungsinhomogenitäten innerhalb
der Hilfsflüssigkeitsströmung auf,
welche auch auf den Beschichtungsvorhang übertragen werden. Ein weiterer Nachteil
der beschriebenen Systeme besteht darin, dass die Hilfsflüssigkeit
am unteren Ende der Vorhanghalter häufig nicht vollständig abgesaugt
wird, was zu Inhomogenitäten
in der Filmstärke
(Wulstbildung) der beschichteten Substrate im Randbereich führen kann.
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In
der WO 90/01179 und in der
EP
0 414 721 B1 und in der
US
4,479,987 wird ein allgemeines Verfahren beschrieben, bei
welchem eine entsprechende Hilfs- oder Spülflüssigkeit parallel zum Vorhang
in einer Röhre
oder röhrenähnlichen
Konstruktion in Fallrichtung geführt
wird. Über
einen Spalt, einen Schlitz oder eine poröse Membran steht die Hilfsflüssigkeit
in der Röhre
mit dem zu stabilisierenden, frei fallenden Vorhang in Verbindung.
Die in diesen Druckschriften dargestellten Lösungen haben jedoch alle den
Nachteil, dass erhebliche Geschwindigkeitsunterschiede zwischen
dem frei fallenden Vorhang und der Hilfsflüssigkeit in der Röhre auftreten,
wodurch es im Randbereich des Vorhangs zu Störungen kommen kann. Weiterhin
muss Flüssigkeit,
um vom inneren der Röhre
hin zum Rand des Vorhangs gelangen zu können, sich mit einer Geschwindigkeit senkrecht
zur Fallrichtung des Vorhangs bewegen. Diese Geschwindigkeitskomponente
senkrecht zur Fallrichtung kann im Randbereich des Vorhangs Instabilitäten induzieren,
wodurch in vielen Fällen
der Vorhang vom Vorhanghalter abreißt.
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In
der
EP 0 740 197 A1 wird
eine Vorrichtung beschrieben, bei welcher mittels eines horizontalen, senkrecht
zum Vorhang stehenden Dosierschlitzes ein Film einer Hilfsflüssigkeit
auf die Oberfläche
einer Seitenführung
aufgebracht wird, welcher sich mit dem Rand des Vorhangs verbindet
und mit diesem in Fallrichtung bewegt. Der Flüssigkeitsfilm kann in seiner
Breite begrenzt sein. Die in der
EP 0 740 197 A1 beschriebene Vorrichtung
weist jedoch den Nachteil auf, dass insbesondere kurz unterhalb
der Gießlippe zur
Einspeisung der Hilfsflüssigkeit
auf die Seitenführungsvorrichtung
Turbulen zen im Hilfsflüssigkeitsfilm auftreten,
welche insbesondere dadurch bedingt sind, dass die Hilfsflüssigkeit
senkrecht zur Fallrichtung des Vorhangs auf die Oberfläche der
Seitenführungen
eingespeist wird, um dort schließlich um 90° umgelenkt zu werden. Es sind
also noch über
einen Bereich von typischerweise mehreren mm Geschwindigkeitskomponenten
in der Hilfsflüssigkeit senkrecht
zur Fallrichtung des Vorhangs vorhanden, welche Turbulenzen induzieren
können.
Dies führt häufig zu
Störungen
im Randbereich des Vorhangs und somit zu unsauberen Beschichtungen
oder sogar zu einem Abreißen
des Vorhangs.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, die bestehenden Möglichkeiten
zur Stabilisierung des Vorhangs bei der Vorhangbeschichtung zu verbessern
und somit die Beschichtungsqualität und die Zuverlässigkeit
der Vorhangbeschichtung zu erhöhen.
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Diese
Aufgabe wird durch die Erfindung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruches
gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen dargestellt.
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Es
wird eine Seitenführungsvorrichtung
zur Stabilisierung der Ränder
eines mittels eines Vorhangerzeugers erzeugten flüssigen Beschichtungsvorhangs
vorgeschlagen. Bei dem Vorhangerzeuger kann es sich beispielsweise
um eine handelsübliche Düse eines
kommerziellen Vorhangbeschichtens handeln, beispielsweise eine einfache
Düse oder auch
eine Kaskadendüse
zur Erzeugung eines aus mehreren einzelnen Schichten bestehenden
flüssigen
Vorhangs. Auch Vorhangerzeuger mit einfachen Gießvorrichtungen mit einer oder
mehreren Gießlippen
sind denkbar. Dabei wird davon ausgegangen, dass der erzeugte flüssige Vorhang
im Wesentlichen in vertikale Richtung frei fällt.
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Die
Seitenführungsvorrichtung
weist einen Seitenführungskörper mit
einer Führungsoberfläche auf.
Dieser Seitenführungskörper kann
insbesondere direkt oder indirekt über ein Zwischenstück (beispielsweise
ein Trennblech) mit dem Vorhangerzeuger verbunden, beispielsweise
verschraubt sein. Das Trennblech bzw. Zwischenstück bildet einen Bestandteil
der gesamten Seitenführungsvorrichtung. Der
Seitenführungskörper und
das Trennblech können
beispielsweise ganz oder teilweise aus Aluminium, Edelstahl, behandeltem
Stahl (z. B. verchromtem oder vernickeltem Stahl etc.) oder Kunststoff
gearbeitet sein oder auch aus unterschiedlichen Werkstoffen bestehen.
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Weiterhin
ist in die Führungsoberfläche des Seitenführungskörpers eine
Seitenführungsnut
eingelassen. Diese Seitenführungsnut
erstreckt sich beim Einsatz der Seiten führungsvorrichtung zur Stabilisierung
eines frei fallenden Beschichtungsvorhangs im Wesentlichen vertikal.
Die Seitenführungsnut
weist mindestens zwei Teilbereiche auf, eine Beruhigungsstrecke
und eine unterhalb der Beruhigungsstrecke angeordnete Führungsstrecke.
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Weiterhin
ist in den Seitenführungskörper ein Hilfsflüssigkeitszulauf
zum Einleiten einer Hilfsflüssigkeit
in die Seitenführungsnut
eingelassen, wobei der Hilfsflüssigkeitszulauf
oberhalb der Beruhigungsstrecke angeordnet ist. Zum Aufnehmen von
Hilfsflüssigkeit
nach Durchlaufen der Seitenführungsnut ist
weiterhin im Seitenführungskörper ein
Flüssigkeitsablauf
vorgesehen.
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Die
Stabilisierung des Beschichtungsvorhangs erfolgt dadurch, dass Hilfsflüssigkeit
in vertikaler Richtung durch die Seitenführungsnut fließt, wobei
die Hilfsflüssigkeit
in Kontakt mit dem flüssigen, frei
fallenden Beschichtungsvorhang steht. Durch eine vollständige oder
teilweise Vermischung der Hilfsflüssigkeit mit der Flüssigkeit
des Beschichtungsvorhangs zumindest in einem Grenzbereich zwischen
beiden Flüssigkeiten
entsteht eine gemeinsame Oberfläche.
Die Oberflächenspannung
wirkt einer Trennung des Beschichtungsvorgangs von der Hilfsflüssigkeit
entgegen. Dies bewirkt, dass die Wahrscheinlichkeit eines Abreißens des
Vorhangs von der Seitenführungsvorrichtung
(bzw. von der Hilfsflüssigkeit)
erheblich verringert wird. Der Beschichtungsvorhang wird also stabilisiert.
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Ein
wesentliches Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass
die Hilfsflüssigkeit
in dem Fließbereich
der Seitenführungsnut
keine oder nur noch geringe horizontale Komponenten mehr aufweist.
Die Bewegung der Hilfsflüssigkeit
erfolgt also praktisch vollständig
parallel zur Bewegung des Beschichtungsvorhangs, was die Wahrscheinlichkeit eines
Abreißens
des Beschichtungsvorhangs von der Hilfsflüssigkeit zusätzlich verringert.
Ein wesentlicher Bestandteil der Erfindung ist daher die genannte Beruhigungsstrecke,
welche dazu dient, die Strömung
der Hilfsflüssigkeit
nach dem Einleiten in den Fließbereich über den
Hilfsflüssigkeitszulauf
von einer turbulenten Strömung
in eine laminare Strömung in
vertikaler Richtung zu überführen. In
diesem Abschnitt des Fließbereichs
steht der Beschichtungsvorhang nicht in Berührung mit der Hilfsflüssigkeit, um
eine Übertragung
von Querkomponenten der Geschwindigkeit der Hilfsflüssigkeit,
welche diese innerhalb der Beruhigungsstrecke noch aufweisen kann, auf
den Beschichtungsvorhang zu vermeiden und so die Wahrscheinlichkeit
eines Abreißens
des Beschichtungsvorhangs zusätzlich
zu verringern. Insbesondere kann zu diesem Zweck der Hilfsflüssigkeitszulauf
eine im Wesentlichen senkrecht zur Füh rungsoberfläche verlaufende
Bohrung aufweisen, über welche
in horizontaler Richtung Hilfsflüssigkeit
in die Seitenführungsnut
eingeleitet wird, um dann dort um 90° umgelenkt zu werden. In der
Beruhigungsstrecke werden dann allmählich sämtliche Geschwindigkeitskomponenten
bzw. Impulskomponenten der Hilfsflüssigkeit senkrecht zur Führungsoberfläche abgebaut und
die Bewegung der Hilfsflüssigkeit
in eine laminare Strömung
in vertikaler Richtung umgewandelt.
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Als
vorteilhaft hat es sich erwiesen, wenn die Seitenführungsvorrichtung
zusätzlich
eine Trennvorrichtung aufweist, welche die Hilfsflüssigkeit
in der Beruhigungsstrecke ganz oder teilweise von dem Beschichtungsvorhang
bzw. der Beschichtungsflüssigkeit
trennt. Diese Trennvorrichtung kann beispielsweise ein Trennblech
sein, welches die Seitenführungsnut
im Bereich der Beruhigungsstrecke abdeckt und die Seitenführungsvorrichtung
von dem Vorhangerzeuger trennt. Die Beruhigungsstrecke sollte dabei
eine Länge
von mehr als 3 mm aufweisen, vorzugsweise eine Länge von 5 bis 7 mm.
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Weiterhin
kann zusätzlich
in der Seitenführungsnut
eine Zwangsvermischungsstrecke vorgesehen sein, insbesondere zwischen
der Beruhigungsstrecke und der Führungsstrecke.
Die Zwangsvermischungsstrecke sollte zwischen der Beruhigungsstrecke
und der Führungsstrecke
angeordnet sein. Dabei steht die Hilfsflüssigkeit beim Durchlaufen der Zwangsvermischungsstrecke
mit der Beschichtungsflüssigkeit
in Kontakt, bevor die Beschichtungsflüssigkeit den Vorhangerzeuger
verlassen hat.
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Dies
lässt sich
insbesondere dadurch erzielen, dass die Seitenführungsvorrichtung eine Vorrichtung
zum Befestigen der Seitenführungsvorrichtung an
dem Vorhangerzeuger aufweist, beispielsweise eine einfache Vorrichtung
zum Verschrauben, insbesondere entsprechende Bohrungen oder Gewindebohrungen.
Es lässt
sich dann ein handelsüblicher Vorhangerzeuger
mit einer Düse
einsetzen, wobei die Seitenführungsvorrichtung
so an dem Vorhangerzeuger angebracht wird, dass die Hilfsflüssigkeit
bereits in Kontakt mit der Beschichtungsflüssigkeit steht, bevor diese
die Düsenspitze
des Vorhangerzeuger erreicht hat. Beispielsweise kann die Seitenführungsvorrichtung
eine Wand des Vorhangerzeugers bilden. Vorteilhafterweise findet
die Zwangsvermischung zwischen Hilfsflüssigkeit und Beschichtungsflüssigkeit
auf einer Länge
von 0,5 bis 3 mm statt.
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Da
viele Vorhangerzeuger ähnliche
Abmessungen haben und eine vergleichbare Konstruktion aufweisen,
ist eine Adaption der vorgeschlagenen Seitenführungsvorrichtung, insbesondere
der Befestigungsvorrichtung an verschiedene Typen von Vorhangerzeugern
in der Regel problemlos möglich.
Es lassen sich auch einfach Befestigungsvorrichtungen konstruieren,
welche beispielsweise entsprechende Bohrungen für verschiedene Typen von Vorhangerzeugern
aufweisen und somit universell einsetzbar sind.
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Die
Zwangsvermischung kann derart erfolgen, dass die Seitenführungsvorrichtung über eine Trennvorrichtung,
insbesondere ein Trennblech, an einer Wand des Vorhangerzeugers
befestigt wird. Das Trennblech trennt im Bereich der Beruhigungsstrecke
die Hilfsflüssigkeit
in der Beruhigungsstrecke von der Beschichtungsflüssigkeit.
Das Trennblech kann dann im Bereich der Zwangsvermischungsstrecke
einen Vermischungsschlitz aufweisen, innerhalb dessen eine Zwangsvermischung
zwischen der Hilfsflüssigkeit
in der Zwangsvermischungsstrecke und der Beschichtungsflüssigkeit
im Vorhangerzeuger erfolgen kann.
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Weiterhin
kann die Seitenführungsvorrichtung
derart ausgestaltet sein, dass der mindestens eine Flüssigkeitsablauf
einen Absaugspalt aufweist, welcher auf die Führungsoberfläche mündet. Insbesondere
kann dieser Absaugspalt mit einer Vakuumvorrichtung zum Absaugen
der Hilfsflüssigkeit
verbunden sein. Dieser Absaugspalt mündet optimalerweise unter einen
von 90° verschiedenen
Winkel auf die Führungsoberfläche. Als
besonders vorteilhaft haben sich dabei Winkel im Bereich von 30
bis 88° des
Absaugspalts zur Führungsoberfläche, vorzugsweise
sogar in einem Bereich von 40 bis 75° und ganz besonders bevorzugt
in einem Bereich von 50° bis
70° erwiesen.
Der Absaugspalt hat optimalerweise eine Breite zwischen 0,5 und
3 mm, vorzugsweise im Bereich zwischen 1 und 2 mm und ganz besonders
bevorzugt eine Breite von 1,3 bis 1,6 mm, insbesondere von 1,5 mm.
Mit diesen Winkeln und Abmessungen des Absaugspalts ergeben sich
maximale Absaugleistungen.
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Die
Seitenführungsnut
kann grundsätzlich beliebigen
Querschnitt aufweisen, also insbesondere einen rechteckigen, ovalen,
runden oder V-förmigen Querschnitt.
Die Seitenführungsnut
sollte insbesondere eine Breite von 0,5 bis 1,5 mm, vorzugsweise
im Bereich von 1 mm, aufweisen. Dadurch ist gewährleistet, dass der Verbrauch
an Hilfsflüssigkeit,
wobei es sich insbesondere um Wasser handeln kann, minimiert wird.
Die Breite der Seitenführungsnut
ist gerade so groß,
dass die Dicke des Beschichtungsvorhangs erfasst wird, sowie kleinere
Schwankungen (beispielsweise durch Luftbewegungen) des Beschichtungsvorhangs.
In vielen Fällen
muss, da die Hilfsflüssigkeit
meistens nach Durchlaufen der Führungsstrecke
mit Beschichtungsflüssigkeit
konta miniert ist, die Hilfsflüssigkeit
aufgereinigt werden, da häufig
ein Einleiten von Beschichtungsflüssigkeit oder von mit Beschichtungsflüssigkeit
kontaminierte Hilfsflüssigkeit
in ein Abwassersystem oder einfaches Abfallsystem aus Umweltschutzgründen nicht möglich ist.
Die vorgeschlagene Anordnung hat gegenüber den im Stand der Technik
beschriebenen Anordnungen den Vorteil, dass der Bedarf an Hilfsflüssigkeit
minimiert ist.
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Weiterhin
sollte die Seitenführungsnut
an mindestens einer Stelle eine Tiefe von 0,5 bis 1,5 mm, vorzugsweise
im Bereich von 1 mm, aufweisen. Bei vielen Hilfsflüssigkeiten,
beispielsweise bei Wasser, gewährleistet
diese Tiefe, dass eine Anpassung der vertikalen Geschwindigkeit
der Hilfsflüssigkeit
in der Seitenführungsnut
von 0 (direkt an der Wand der Nut) bis hin zur Geschwindigkeit des
freien Falls, welche auch der Geschwindigkeit des Beschichtungsvorhangs
weitgehend entspricht, erfolgen kann. Die Tiefe der Seitenführungsnut
kann über
den gesamten Verlauf der Seitenführungsnut
hinweg variieren. So hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn
die Tiefe der Seitenführungsnut
im vertikalen Fließbereich
einen Gradientenbereich aufweist, in welchem die Tiefe der Seitenführungsnut,
nach unten hin kontinuierlich zunimmt. Unter kontinuierlich ist
dabei jedoch nicht notwendigerweise eine lineare Zunahme der Tiefe
zu verstehen, sondern es kann sich beispielsweise auch um eine nicht
lineare Zunahme, beispielsweise eine quadratische Zunahme mit der durchflossenen
Strecke, handeln. Diese Weiterbildung der Erfindung gewährleistet,
dass im unteren Bereich der Seitenführungsnut, wo die Geschwindigkeit
der Hilfsflüssigkeit
und des Beschichtungsvorhangs größer ist
als im oberen Bereich der Seitenführungsnut, eine dickere Hilfsflüssigkeitsschicht
zur Verfügung
steht, innerhalb derer die Geschwindigkeit der Flüssigkeiten
von der (Fall-)Geschwindigkeit des Beschichtungsvorhangs auf die
Geschwindigkeit Null direkt an der Wand zum Seitenführungskörper angeglichen
wird. Weiterhin kann sich die Beschichtungsflüssigkeit im unteren Bereich
der Seitenführungsvorrichtung
intensiver mit der Hilfsflüssigkeit
vermischen. Zusätzlich
wird die Beschichtungsflüssigkeit bzw.
der Beschichtungsvorhang im unteren Bereich der Führungsnut
stärker
in diese Führungsnut
hineingezogen, weitet sich also in seiner Breite leicht auf, und
wird, insbesondere wenn eine Vakuumvorrichtung verwendet wird, stärker in
diese Vakuumvorrichtung hineingezogen. Dies alles erhöht die Stabilität des Vorhangs
erheblich.
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Vorteilhafterweise
ist die Oberfläche
der Seitenführungsvorrichtung
zumindest teilweise, insbesondere im Fließbereich, durch geeignete mechanische
Maßnahmen
auf eine Rauhigkeit von nicht mehr als 100 μm, vorzugsweise sogar zwischen
25 und 75 μm,
reduziert worden. Als geeignete Maßnahmen bieten sich beispielsweise
Politurverfah ren oder entsprechende Herstellungsverfahren, die eine
geringe Oberflächenrauhigkeit
erzeugen, wie beispielsweise Erodieren, an. Dies gewährleistet,
dass die durch Rauhigkeiten in der Oberfläche hervorgerufenen Wirbel
und somit Geschwindigkeitskomponenten senkrecht zur Fließrichtung
(also in horizontaler Richtung) minimiert werden.
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Weiterhin
ist es vorteilhaft, den Beschichtungsvorhang soweit wie möglich an
das zu beschichtende Substrat heranzuführen. Typischerweise werden
beim Vorhangbeschichten kontinuierliche Substrate, beispielsweise
Papierbahnen oder Kunststoffbahnen, eingesetzt. Diese werden typischerweise über Walzen-
oder Wellensysteme dem Beschichtungsvorhang zugeleitet. In vielen
Fällen
ist also die zu beschichtende Oberfläche unterhalb des Vorhangerzeugers
gekrümmt.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist daher die
Seitenführungsvorrichtung
eine untere Kante oder Fläche
auf, welche gegenüber
der Horizontalen ganz oder teilweise gewinkelt verläuft und/oder
zumindest teilweise einen konkaven Verlauf aufweist. Unter einem konkaven
Verlauf ist dabei beispielsweise eine runde Einfräsung zu
verstehen, wobei der Radius dieser Einfräsung Idealerweise dem Radius
der Krümmung des
zu beschichtenden Substrates an der Auftreffstelle des Beschichtungsvorhangs
angepasst ist. Dadurch ist gewährleistet,
dass die Seitenführungsvorrichtung
so nahe wie möglich,
optimaler Weise bis auf einen Abstand von nicht mehr als 1 bis 2
mm, besonders bevorzugt auf einen Abstand von weniger als 1 mm,
an das Substrat herangeführt
werden kann. Die Stabilisierung des Vorhangs durch die Seitenführungsvorrichtung
erfolgt also unmittelbar bis über
die Substratoberfläche,
was die Stabilität
der Seitenführung
zusätzlich
erhöht.
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Weiterhin
wird ein Vorhangbeschichter vorgeschlagen, in welchen eine Seitenführungsvorrichtung
gemäß einer
der oben beschriebenen Ausgestaltungen integriert ist. Weiterhin
wird ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten mittels eines
Vorhangbeschichtungsverfahrens vorgeschlagen, bei dem mindestens
ein Beschichtungsvorhang durch mindestens eine erfindungsgemäße Seitenführungsvorrichtung
stabilisiert wird.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten
Ausführungsbeispiele näher erläutert. Die
Erfindung ist jedoch nicht auf die genannten Ausführungsbeispiele
beschränkt.
Gleiche Bezugsziffern bezeichnen dabei gleiche bzw. einander in
ihrer Funktion entsprechende Bauteile.
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Im
Einzelnen zeigt:
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1 eine
Vorderansicht eines Ausführungsbeispiels
eines Seitenführungskörpers einer Seitenführungsvonrichtung;
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2 eine
Seitenansicht des Seitenführungskörpers der
Seitenführungsvorrichtung
gemäß 1;
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2B einen
Ausschnitt einer zu 2 alternativen Ausgestaltung
mit einer Seitenführungsnut mit
kontinuierlich zunehmender Tiefe d;
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3 den
Ausschnitt A der Vorderansicht gemäß 1;
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4 den
Ausschnitt B der Seitenansicht gemäß 2;
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5 eine
Aufsicht auf ein Ausführungsbeispiel
eines Trennblechs einer Seitenführungsvorrichtung;
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6 eine
Zusammenbauzeichnung der Seitenführungsvorrichtung
und des Vorhangerzeugers; und
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7 einen
Ablaufplan eines erfindungsgemäßen Verfahrens
zum Einsatz der erfindungsgemäßen Seitenführungsvorrichtung.
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In
den 1 bis 4 ist eine mögliche Ausgestaltung eines
erfindungsgemäßen Seitenführungskörpers 110 einer
Seitenführungseinrichtung
in verschiedenen Ansichten dargestellt. Der Seitenführungskörper 110 ist
in diesem Ausführungsbeispiel angepasst
auf einen Beschichtungskopf (Vorhangerzeuger) der TSE Trolle Schweizer
Engineering AG. Der Seitenführungskörper 110 weist
einen im Wesentlichen rechteckigen Befestigungsbereich 112 auf,
mittels dessen die Seitenführungskörper 110 an dem
Beschichtungskopf befestigt werden können (siehe unten, 6).
Zu diesem Zweck sind in dem Befestigungsbereich 112 Bohrungen 114 eingelassen, über welche
der Seitenführungskörper 110 mittels
Schrauben an dem Beschichtungskopf befestigt werden kann (siehe
unten, 6). Die Schraubenköpfe sind dabei im Befestigungsbereich 112 versenkt.
Weiterhin weist der Befestigungsbereich 112 eine Entlüftungsbohrung 116 auf,
welche bei am Beschichtungskopf befestigter Seitenführungsvorrichtung
mit einem Entlüftungsbereich
des Beschichtungskopfes korrespondiert und erlaubt, dass ein Druckausgleich
im Beschichtungskopf stattfindet.
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An
den Befestigungsbereich 112 schließt sich nach unten hin, also
in Fallrichtung des Beschichtungsvorhangs, ein im Wesentlichen trapezförmiger Übergangsbereich 118 an,
gefolgt von einem lang gestreckten Führungselement 120.
In den Übergangsbereich 118 und
das Führungselement 120 ist eine
vertikal verlaufende Seitenführungsnut 122 eingebracht.
Als Herstellungsverfahren für
diese Seitenführungsnut 122 bietet
sich insbesondere ein Säge- oder
Erodierverfahren an. Die Seitenführungsnut 122 weist
einen rechteckigen Querschnitt mit einer Tiefe d (siehe 2 und 4)
von 1 mm und einer Breite b (seihe 1 und 3)
von ebenfalls 1 mm auf.
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In
dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Tiefe
d über
den gesamten Bereich der Seitenführungsnut 122 konstant.
Alternativ kann auch die Tiefe d nach unten hin, also in Fallrichtung des
Beschichtungsvorhangs, kontinuierlich zunehmen. Ein Beispiel einer
derartigen Ausgestaltung ist in 2B dargestellt.
Dabei nimmt die Tiefe d der Seitenführungsnut 122 nach
unten hin linear zu. Unmittelbar unterhalb der Zuführbohrung 124 weist
die Seitenführungsnut 122 eine
Tiefe d1 von 1 mm auf, unmittelbar oberhalb
des Flüssigkeitsablaufs 142 eine
Tiefe d2 von 2 mm. Auf diese Weise ist in
Fallrichtung (also in 2B nach unten hin) ein stärkeres Hineinragen
des Beschichtungsvorhangs in die Seitenführungsnut 122 gewährleistet,
wodurch eine intensivere und zuverlässigere Stabilisierung nach unten
hin erfolgt.
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Verschiedene
Fertigungsverfahren für
die Herstellung der Seitenführungsnut 122 sind
denkbar. Je nach dem gewählten
Herstellungsverfahren bietet sich zusätzlich noch ein Nachbehandlungsschritt
an, mittels dessen die Rauhigkeit der Seitenwände der Seitenführungsnut 122 verringert
wird (siehe oben). Um unerwünschte
Turbulenzen zu vermeiden, wird typischerweise eine Rauhigkeit RZ von nicht mehr als 50 μm gewählt.
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Als
Hilfsflüssigkeit
wird in diesem Ausführungsbeispiel,
bei welchem überwiegend
Beschichtungen mit wässrigen
Dispersionen erzeugt werden sollen, vorzugsweise Wasser gewählt. Für andere Beschichtungen
lassen sich aber auch beispielsweise organische Lösungsmittel
oder andere Hilfsflüssigkeiten
einsetzen. Als Material für
den Seitenführungskörper 110 wird
in diesem Beispiel Edelstahl verwendet. Alternativ lassen sich auch
andere Materialien, beispielsweise Kunststoffe, oder Aluminium, verwenden.
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Zum
Einleiten der Hilfsflüssigkeit
in die Seitenführungsnut 122 ist
eine Zuführbohrung 124 vorgesehen,
welche sich senkrecht zur Führungsoberfläche 126 durch
den Übergangsbereich 118 erstreckt.
Die Zuführbohrung 124 weist
einen Anschlussbereich 127 mit einem Gewinde auf, über welchen
beispielsweise ein (nicht dargestellter) Zuführschlauch an die Zuführbohrung 124 angeschlossen werden
kann. Weiterhin weist die Zuführbohrung 124 einen
Strömungsbereich 128 auf,
welcher unmittelbar oberhalb der Seitenführungsnut 122 in der
Führungsoberfläche 126 endet.
Hilfsflüssigkeit,
beispielsweise Wasser, wird am Ende des Strömungsbereichs 128 um
90° umgelenkt,
um sich dann in vertikaler Richtung durch die Seitenführungsnut 122 zu bewegen.
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Die
gestrichelte Kontur 132 bezeichnet die Grenzlinie, oberhalb
derer im zusammengebauten Zustand (siehe beispielsweise 6 unten)
der Befestigungsbereich 112 und (teilweise) der Übergangsbereich 118 durch
ein Trennblech (Bezugsziffer) abgedeckt sind. Wie in 1 zu
erkennen, weist die Grenzlinie 132 des Trennblechs (Bezugsziffer)
einen Vermischungsschlitz 134 in Form eines nach unten
geöffneten
U auf. Dementsprechend ist die Seitenführungsnut 122 in drei
Bereiche eingeteilt (siehe 1):
- – einen
unmittelbar an die Zuführbohrung 124 angrenzenden
ersten Bereich 136 (Beruhigungsstrecke), welcher sich vom
unteren Rand der Zuführbohrung 124 bis
zum oberen Rand des Vermischungsschlitzes 134 erstreckt
und eine Länge von
ca. 5 mm aufweist,
- – einen
zweiten Bereich 138 (Zwangsvermischungsstrecke), welcher
sich innerhalb des Vermischungsschlitzes 134 erstreckt
und eine Länge von
ca. 2 mm aufweist, und
- – einen
dritten Bereich 140 (Führungsstrecke), welcher
den restlichen Bereich der Seitenführungsnut 122 umfasst
und sich unterhalb der Zwangsvermischungsstrecke 138 bis
hin zu einem Flüssigkeitsablauf 142 erstreckt.
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Wie
oben bereits beschrieben, dient die Einteilung der Seitenführungsnut 122 in
die drei Bereiche der Stabilisierung des Vorhangs. Innerhalb der Beruhigungsstrecke 136 wird
die Hilfsflüssigkeit
nach Einleiten durch die Zuführbohrung 124 und
entsprechendem Umlenken um 90°,
zunächst
in ihrer Strömung
beruhigt. Dabei werden sämtliche
Geschwindigkeitskomponenten der Hilfsflüssigkeit senkrecht zur Führungsoberfläche 126 eliminiert
und die Strömung
in eine laminare Strömung
in vertikale Richtung durch die Seitenführungsnut 122 umgewandelt.
Innerhalb der Zwangsvermischungsstrecke 138 kommt die Hilfsflüssigkeit
erstmalig mit der Beschichtungsflüssigkeit in Berührung und
vermischt sich mit dieser. Dies findet jedoch in einem Bereich statt,
innerhalb dessen die Beschichtungsflüssigkeit noch nicht den Beschichtungskopf
verlassen hat. Innerhalb der Zwangsvermischungsstrecke 138 werden
auch mögliche
Turbulenzen, welche durch das Vermischen der beiden Flüssigkeiten
entstehen, ausgeglichen.
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In
der Führungsstrecke 140 findet
schließlich die
eigentliche Stabilisierung des Vorhanges statt. Die Hilfsflüssigkeit
und die Beschichtungsflüssigkeit haben
sich zumindest im Randbereich des Vorhangs mittlerweile vermischt,
so dass eine Trennung des Vorhangs von der Hilfsflüssigkeit
in der Seitenführungsnut 122 einen
Energieaufwand bedeuten würde.
Ein Abreißen
des Vorhangs vom Seitenführungskörper 110 wird
damit unwahrscheinlich.
-
Das
untere Ende des Führungselements 120 ist
als Ausschnitt A bzw. B in den 3(A) und 4(B) dargestellt, wobei die 4 die
Ausführungsvariante des
Seitenführungskörpers 110 mit
konstanter Tiefe d der Seitenführungsnut 122 gemäß 2,
nicht die alternative Ausgestaltung gemäß 2b darstellt. Wie
in 1 und 2 dargestellt, verläuft die
untere Fläche 144 der
Seitenführungsvorrichtung 110 nicht
parallel zur Horizontalen, sondern weist sowohl in der Zeichenebene
gemäß 1 (Vorderansicht, Neigungswinkel α) als auch
in der Zeichenebene von 2 (Seitenansicht, Neigungswinkel β) jeweils
einen von 90° verschiedenen
Winkel zur Vertikalen auf. Diese Winkel dienen einem unterschiedlichen Zweck.
Der Unterschied des Neigungswinkels α zu 90° in der Zeichenebene gemäß 1 dient
dazu, eine Neigung des zu beschichtenden Substrates gegenüber der
Horizontalen auszugleichen. Diese Neigung des zu beschichtenden
Substrates tritt beispielsweise dann auf, wenn die Vorhangbeschichtung
auf einem über
eine Rolle geführten
Substrat in einer von der 12-Uhr-Position
verschiedenen Position (siehe unten) erfolgen soll. Die Neigung
gewährleistet,
dass die Seitenführungsvorrichtung 110 mit ihrer
unteren Fläche 144 so
dicht wie möglich
an die Substratoberfläche
herangeführt
werden kann. In diesem Ausführungsbeispiel
hat der Neigungswinkel α einen
Betrag von 85°,
so dass die die Fläche 144 in der
Zeichenebene gemäß 1 um
5° gegen
die Horizontale geneigt ist.
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Anstelle
einer ebenen, geneigten Fläche 144 kann
auch eine runde Einfräsung
der Fläche 144 erfolgen,
beispielsweise um die Fläche 144 so
dicht wie möglich
an eine gewölbte
Substratoberfläche
(beispielsweise ein Substrat auf einer Rolle) heranzuführen.
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Die
von 90° verschiedene
Neigung β in
der Zeichenebene gemäß 2 dient
hingegen dem Zweck, eine Kapillarwirkung zu verhindern, wenn die untere
Fläche 144 des
Seitenführungskörpers 110 dicht
an eine Substratoberfläche
herangeführt
wird. Wäre
die Fläche 144 eben
zum Substrat ausgebildet, so könnte
sich bei Annäherung
an eine Substratoberfläche
ein enger Hohlraum mit parallelen Seitenwänden ausbilden, welcher Beschichtungsflüssigkeit
des Vorhangs durch die Kapillarwirkung anzieht, wodurch die Beschichtung
an den Rändern
verschmiert würde.
In diesem Ausführungsbeispiel
wird ein Winkel β von
80° verwendet,
so dass die Fläche 144 also
in der Zeichenebene gemäß 2 um
10° gegen
die Horizontale geneigt ist.
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Der
Flüssigkeitsablauf 142 weist
einen Spalt 146 auf (siehe 3 und 4)
welcher in einem von 90° verschiedenen
Winkel γ (siehe 4)
auf die Führungsoberfläche 126 mündet. Die Öffnung des Spaltes 146 auf
der Führungsoberfläche 126 verläuft parallel
zur unteren Kante der Führungsoberfläche, so
dass die Öffnung
gegenüber
der Vertikalen den Winkel α aufweist
(siehe 1). Der Spalt 146 ist dabei so angeordnet,
dass die Seitenführungsnut 122 in dem
Spalt 146 endet.
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Weiterhin
weist der Ablauf 142 eine Absaugbohrung 148 auf,
wobei der Absaugspalt 146 in die Absaugbohrung 148 endet.
Auch die Absaugbohrung 148 ist um den Winkel α gegenüber der
Vertikalen geneigt, so dass die Achse der Absaugbohrung parallel zur
Fläche 144 verläuft. Bei
der Absaugbohrung 148 handelt es sich in diesem Ausführungsbeispiel
um eine glatte, durchgängige
Bohrung. Dies bietet gegenüber
einer Sacklochbohrung den Vorteil einer vereinfachten und kostengünstigeren
Herstellung.
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Zum
Zwecke des Absaugens der Hilfsflüssigkeit
aus dem Ablauf kann die Absaugbohrung 148 mit einem Vakuumsystem
verbunden werden. Zu diesem Zwecke sind im Führungselement 120 nahe
der Absaugbohrung 148 Gewindebohrungen 150 vorgesehen
(auf jeder Seite jeweils zwei), welche zum Befestigen einer Vakuumvorrichtung
genutzt werden können.
Typischerweise wird der Flüssigkeitsablauf 142 über ein
Pumpensystem mit einem entsprechenden Flüssigabfallbehälter verbunden,
in welchen die mit Beschichtungsflüssigkeit kontaminierte Hilfsflüssigkeit
gepumpt werden kann. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen,
dass die Absaugbohrung 148 in 3 links
mit einem Vakuumsystem verbunden ist, wobei das Vakuumsystem (z.
B. ein Schlauch oder Stutzen) an der linken Gewindebohrung 150 befestigt
ist. Die rechte Seite der Absaugbohrung 148 kann dann beispielsweise
vakuumdicht mit einer Platte verschlossen werden, welche über die
rechte Gewindebohrung 150 an dem Führungselement 120 befestigt
ist. So kann Hilfsflüssigkeit
mittels des Vakuumsystems über
den Absaugspalt 146 und die Absaugbohrung 148 aus
der Seitenführungsnut 122 abgesaugt
werden.
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Wie
in 4 dargestellt, verläuft der parallele Absaugspalt 146 unter
einem Winkel γ zur
Vertikalen. Dieser Winkel γ bewirkt,
dass die Mündung
des Absaugspaltes 146 auf der Führungsoberfläche 126 möglichst
nahe an der Abschlussfläche 144,
also am unteren Ende der Führungsfläche 126,
mündet.
Dadurch wird gewährleistet,
dass der Beschichtungsvorhang möglichst
bis direkt über
die Substratoberfläche
von der Hilfsflüssigkeit
geführt
wird. Andererseits gewährleistet
der Winkel γ,
dass die Absaugbohrung 148 oberhalb von der Mündungsstelle
des Absaugspalts 146 auf die Führungsoberfläche 126 zu
liegen kommt, wodurch diese Bohrung 148 groß genug
ausgestaltet werden kann, um genügend Hilfsflüssigkeit
abzupumpen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel liegt der Winkel γ bei 50°.
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In 5 ist
eine in diesem Beispiel als Trennblech 510 ausgestaltete
Trennvorrichtung dargestellt, welche im an den Beschichtungskopf
montierten Zustand der Seitenführungsvorrichtung 110 einen
integralen Bestandteil der Seitenführungsvorrichtung bildet. Das
Trennblech 510 ist aus Edelstahl gearbeitet, weist eine
Dicke von 0,1 mm auf. Alternativ könnten auch andere Dicken eingesetzt
werden sowie andere Werkstoffe für
das Trennblech 510, wie beispielsweise Kunststoff. Das
Trennblech 510 weist einen rechteckigen Befestigungsbereich 512 und
einen trapezförmigen Übergangsbereich 514 auf.
Der Befestigungsbereich 512 ist mit Befestigungsbohrungen 516 versehen,
welche den Bohrungen 114 in 1 weitgehend
entsprechen. Auch eine Entlüftungsbohrung 518 ist
vorgesehen, welche der Entlüftungsbohrung 116 in 1 entspricht.
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Die
untere Kante 132 des Übergangsbereichs 514 weist
den bereits oben beschriebenen Vermischungsschlitz 134 in
Form eines nach unten geöffneten
U auf. Im Bereich dieses Vermischungsschlitzes findet im zusammengebauten
Zustand die Zwangsvermischung zwischen Hilfsflüssigkeit und der Beschichtungsflüssigkeit
statt.
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In 6 ist
eine Zusammenbauzeichnung der Seitenführungsvorrichtung 608,
in diesem Fall bestehend aus dem Seitenführungskörper 110 und dem Trennblech 510,
mit einem Beschichtungskopf 610, dargestellt. Der Beschichtungskopf 610 weist
im Wesentlichen einen Spalt 612 auf, durch welchen Beschichtungsflüssigkeit
vertikal nach unten zur Düsenspitze 614 geführt wird.
Weiterhin weist der Beschichtungskopf 610 einen Verteilerkanal 616 auf, welcher
mit der Entlüftungsbohrung 116 und
der Entlüftungsbohrung 518 korrespondiert.
Die Seitenführungsvorrichtung 608,
also das Seitenführungselement 110 und
das Trennblech 510, wird als Seitenwand an dem Beschichtungskopf 610 befestigt,
so dass die Seitenführungsvorrichtung 608 als
Wandelement des Beschichtungskopfs 610 fungiert und den Spalt 612 abschließt.
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Der
Beschichtungskopf 610 erzeugt einen Vorhang 618 aus
Beschichtungsflüssigkeit,
welcher von der Düsenspitze 614 vertikal
nach unten fällt. Dieser
Vorhang soll an seinen Rändern
durch die Seitenführungsvorrichtungen 608 stabilisiert
werden, wobei in 6 nur eine der beiden Seitenführungsvorrichtungen 608 dargestellt
ist. Mittels des Beschichtungsvorhangs 618 wird ein (in 6 ebenfalls nicht
dargestelltes) Substrat beschichtet, welches über eine Beschichtungswalze 620 geführt wird.
Der Beschichtungsvorhang 618 trifft dabei jedoch nicht
im Zenit (12-Uhr-Position, 622) auf die Welle 620 (bzw. das
darauf geführte
Substrat) auf, sondern in einer um (in diesem Ausführungsbeispiel)
um 25 mm in horizontale Richtung versetzten Auftreffposition 624. Wie
oben bereits beschrieben, wird dieser Tatsache dadurch Rechnung
getragen, dass die untere Fläche 144 des
Seitenführungskörpers 110 um
den von 90° verschiedenen
Winkel α geneigt
ist, also nicht horizontal verläuft.
Dadurch kann die untere Fläche 144 der
Seitenführungsvorrichtung 110 möglichst
nahe an die zu beschichtende Oberfläche herangeführt werden,
so dass die Stabilisierung des Beschichtungsvorhangs 618 bis
unmittelbar über
diese Oberfläche
erfolgen kann. Bei der Darstellung in 6 ist darauf
zu achten, dass als Seitenführungsvorrichtung 608 nicht
der in 1 bis 4 dargestellte Seitenführungskörper 110 verwendet
wird, sondern eine spiegelbildliche Seitenführungsvorrichtung mit dem Winkel α + 90°. Die in
den 1 bis 4 dargestellte Seitenführungsvorrichtung 608 würde in 6 verwendet,
um das gegenüberliegende,
nicht dargestellte Ende des Beschichtungsvorhangs 618 zu
stabilisieren.
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Die
beschriebene erfindungsgemäße Seitenführungsvorrichtung 608 hat
sich in der Praxis als den herkömmlichen
Seitenführungsvorrichtungen stark überlegen
erwiesen. So wird insbesondere eine sehr gute Fixierung des Beschichtungsvorhangs 618 erzielt.
Weiterhin ließen
sich Beschichtungsgeschwindigkeiten von mehr als eintausend m/min
erzielen. Der Hilfsflüssigkeitsfilm
wird durch die schmale Seitenführungsnut 122 fixiert
und wandert nicht auf der Führungsoberfläche 126,
was die Prozessstabilität
stark erhöht.
Die Menge an Fixierflüssigkeit
(Wasser) ließ sich
durch Einsatz der Seitenführungsvorrichtung 608 von
zwölf bis
zwanzig l/h auf vier bis sechs l/h reduzieren, so dass die Umweltverträglichkeit
durch Reduzierung der belasteten Abwässer erhöht wurde. Weiterhin war im
Vergleich zu herkömmlichen
Seitenführungsvorrichtungen
der Reinigungsaufwand der erfindungsgemäßen Seitenführungsvorrichtung 608 nach
Einsatz stark erniedrigt. Dies führte
zu einer deutlichen Verringerung der Standzeiten für Wartung
bzw. Reinigung und zu einer deutlichen Verringerung des Aufwandes
an Material (Verschleißteile)
und Zeit. Die Seitenführungsvorrichtung 608 ließ sich auch
für sehr
kleine Beschichtungs- bzw. Substratgeschwindigkeiten, insbesondere
sogar für
Geschwindigkeiten unter 300 m/min, einsetzen, was mit herkömmlichen
Seitenführungsvorrichtungen
nicht möglich
ist. Weiterhin zeigt sich bei Einsatz des Flüssigkeitsablaufs 142,
dass bei „geparktem" Vorhangbeschichter
(also in einem Betriebszustand, in dem ein Beschichtungsvorhang 618 erzeugt wird,
jedoch kein Substrat beschichtet wird), dass keine Hilfsflüssigkeit
in den Rücklauf
des Vorhangbeschichters gerät,
was ebenfalls einen wichtigen Vorteil darstellt.
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In 7 ist
eine mögliche
Ausgestaltung eines Verfahrens dargestellt, mittels dessen unter
Einsatz einer erfindungsgemäßen Seitenführungsvorrichtung
ein Substrat mit einem Beschichtungsvorhang beschichtet werden kann.
Die dargestellten Verfahrensschritte müssen nicht notwendigerweise in
der abgebildeten Reihenfolge durchgeführt werden. Außerdem kann
das Verfahren zusätzliche,
in 7 nicht dargestellte Verfahrensschritte aufweisen.
Mehrere Verfahrensschritte können
auch parallel durchgeführt
werden.
-
In
einem ersten Schritt wird mittels eines Vorhangerzeugers 610 mindestens
ein Beschichtungsvorhang 618 entsprechend 6 erzeugt.
In einem weiteren Schritt wird eine Hilfsflüssigkeit durch die Fließbereiche 140 zweier
Seitenführungsnute 122 gemäß einer
erfindungsgemäßen Seitenführungsvorrichtung 608 geleitet.
In einem weiteren Schritt wird schließlich der Beschichtungsvorhang 618 in Kontakt
mit der Hilfsflüssigkeit
gebracht und dadurch stabilisiert.
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- 110
- Seitenführungskörper
- 112
- Befestigungsbereich
- 114
- Bohrungen
für Befestigungsschrauben
- 116
- Entlüftungsbohrung
- 118
- Übergangsbereich
- 120
- Führungselement
- 122
- Seitenführungsnut
- 124
- Zuführbohrung
- 126
- Führungsoberfläche
- 127
- Anschlussbereich
- 128
- Strömungsbereich
- 130
- Strömungsbereich
- 132
- Grenzlinie
der Abdeckung durch das Trennblech
- 134
- Vermischungsschlitz
- 136
- Beruhigungsstrecke
- 138
- Zwangsvermischungsstrecke
- 140
- Führungsstrecke
- 142
- Flüssigkeitsablauf
- 144
- untere
Kante der Seitenführungsvorrichtung
- 146
- Absaugspalt
- 148
- Absaugbohrung
- 150
- Gewindebohrung
- 510
- Trennblech
- 512
- Befestigungsbereich
- 514
- Übergangsbereich
- 516
- Befestigungsbohrung
- 518
- Entlüftungsbohrung
- 608
- Seitenführungsvorrichtung
- 610
- Beschichtungskopf
- 612
- Spalt
- 614
- Düsenspitze
- 616
- Verteilerkanal
mit endseitiger Entlüftungsmöglichkeit
- 618
- Beschichtungsvorhang
- 620
- Beschichtungswalze
- 622
- 12-Uhr-Position
- 624
- Beschichtungsposition
- 710
- Erzeugung
eines Beschichtungsvorhangs
- 712
- Einleiten
von Hilfsflüssigkeit
in die Seitenführungsnut
- 714
- Kontaktierung
und Stabilisierung des Beschichtungsvorhangs durch die Hilfsflüs
-
- sigkeit