DE102004051846B4 - Bauteil mit einer Reflektorschicht sowie Verfahren für seine Herstellung - Google Patents

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PL05777540T PL1784368T3 (pl) 2004-08-23 2005-08-23 Element konstrukcyjny z warstwą reflektorową oraz sposób jego wytwarzania
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Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005058819B4 (de) * 2005-10-13 2009-04-30 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Beschichtung eines Bauteils aus hochkieselsäurehaltigem Glas, mit einer SiO2-haltigen, glasigen Schicht versehenes Bauteil, sowie Verwendung des Bauteils
DE102006046619A1 (de) * 2006-09-29 2008-04-03 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Streichfähiger SiO2-Schlicker für die Herstellung von Quarzglas, Verfahren zur Herstellung von Quarzglas unter Einsatz des Schlickers
DE102006055397B3 (de) * 2006-11-22 2008-05-15 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung für die Herstellung eines zylinderförmigen Profilelements aus Quarzglas sowie Verwendung desselben
DE102006062166B4 (de) * 2006-12-22 2009-05-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quarzglas-Bauteil mit Reflektorschicht sowie Verfahren zur Herstellung desselben
DE102007040466A1 (de) * 2007-02-15 2008-08-21 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quarzglas-Bauteil als Leitungseinheit für ein UV-Entkeimungsgerät
DE102007008696B3 (de) * 2007-02-20 2008-10-02 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler mit opakem Reflektor und seine Herstellung
DE102007030698B4 (de) * 2007-06-30 2009-06-10 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers aus einem Basiskörper aus opakem Quarzglas und einer dichten Versiegelungsschicht sowie Verwendung des Verbundkörpers
DE102007048564A1 (de) * 2007-10-09 2009-04-23 Heraeus Noblelight Gmbh Vorrichtung für eine Bestrahlungseinheit
DE102007049930B4 (de) * 2007-10-18 2011-04-28 Universität Hamburg Oberflächenmodifizierte Hohlraumstrukturen, Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung
US20090308315A1 (en) * 2008-06-13 2009-12-17 Asm International N.V. Semiconductor processing apparatus with improved thermal characteristics and method for providing the same
DE102008028233A1 (de) 2008-06-16 2009-12-17 Heraeus Noblelight Gmbh Kompaktes UV-Bestrahlungsmodul
DE102008063677B4 (de) 2008-12-19 2012-10-04 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler und Verwendung des Infrarotstrahlers in einer Prozesskammer
JP5441243B2 (ja) * 2009-02-24 2014-03-12 信越石英株式会社 赤外線透過性部材の熱処理用石英ガラス治具
GB2474032B (en) 2009-10-01 2016-07-27 Heraeus Noblelight Gmbh Flash lamp or gas discharge lamp with integrated reflector
DE102009049032B3 (de) * 2009-10-10 2011-03-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils aus Quarzglas
DE102009059015B4 (de) 2009-12-17 2014-02-13 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quarzglasbauteil mit opaker Innenzone sowie Verfahren zur Herstellung desselben
DE102011012363A1 (de) 2011-02-24 2012-08-30 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarot-Flächenstrahler mit hoher Strahlungsleistung und Verfahren für seine Herstellung
DE102012025142A1 (de) * 2012-12-21 2014-06-26 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler mit hoher Strahlungsleistung
DE202013000527U1 (de) * 2013-01-21 2013-08-27 Kay-Michael Bauer Infrarotstrahler in U-Form mit Keramik-Reflektorbeschichtung
CN105210173A (zh) * 2013-05-23 2015-12-30 应用材料公司 用于半导体处理腔室的经涂布的衬里组件
EP2878584B1 (de) 2013-11-28 2017-01-04 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils aus Quarzglas oder Quarzgut
EP3023162A1 (de) 2014-11-24 2016-05-25 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines mit einer Funktionsschicht versehenen Bauteils aus Glas sowie Vorrichtung zur Herstellung einer derartigen Schicht
DE102015104932B3 (de) * 2015-03-31 2016-06-02 Heraeus Noblelight Gmbh Vorrichtung zur Wärmebehandlung
DE102015119763A1 (de) 2015-11-16 2017-05-18 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Infrarotstrahler
CN108698894A (zh) 2015-12-18 2018-10-23 贺利氏石英玻璃有限两合公司 在多腔式烘箱中制备石英玻璃体
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass
JP7044454B2 (ja) 2015-12-18 2022-03-30 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 石英ガラス調製時の中間体としての炭素ドープ二酸化ケイ素造粒体の調製
TWI794149B (zh) 2015-12-18 2023-03-01 德商何瑞斯廓格拉斯公司 石英玻璃粉粒、不透明成型體及彼等之製備方法
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
EP3390290B1 (de) 2015-12-18 2023-03-15 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Herstellung eines opaken quarzglaskörpers
WO2017103115A2 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung eines quarzglaskörpers in einem schmelztiegel aus refraktärmetall
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
WO2017103160A1 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung von quarzglaskörpern aus siliziumdioxidgranulat
EP3185057A1 (de) * 2015-12-22 2017-06-28 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Faseroptische streueinrichtung und herstellungsverfahren dafür
DE102016111234B4 (de) 2016-06-20 2018-01-25 Heraeus Noblelight Gmbh Vorrichtung für die thermische Behandlung eines Substrats sowie Trägerhorde und Substrat-Trägerelement dafür
DE102016113815A1 (de) 2016-07-27 2018-02-01 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotflächenstrahler und Verfahren zur Herstellung des Infrarotflächenstrahlers
EP3428132B1 (de) * 2017-07-10 2023-08-30 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Quarzglasbauteil mit hoher thermischer stabilität, halbzeug dafür und verfahren zur herstellung desselben
PL3546431T3 (pl) * 2018-03-28 2024-09-16 Ovivo Inc. Urządzenie i sposób do dostarczania ultraczystej wody
DE102020128337A1 (de) 2020-10-28 2022-04-28 Heraeus Noblelight Gmbh Strahlerbauteil mit einer Reflektorschicht sowie Verfahren für seine Herstellung
DE102020131324A1 (de) 2020-11-26 2022-06-02 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler und Infrarotstrahlung emittierendes Bauelement
DE102022111985A1 (de) 2022-05-12 2023-11-16 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarot-Strahler mit einer auf eine Reflektorschicht aus Metall aufgebrachten emissiven Schicht und Verwendung der emissiven Schicht
CN120043073A (zh) * 2023-11-27 2025-05-27 苏州佳世达光电有限公司 反光板及照明装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE587715C (de) * 1932-10-14 1933-11-07 Patra Patent Treuhand Elektrische Gluehlampe oder Leuchtroehre mit einem fuer sichtbare und auch ultraviolette Strahlen durchlaessigen Glasgefaess
DE4022100C1 (https=) * 1990-07-11 1991-10-24 Heraeus Quarzglas Gmbh, 6450 Hanau, De
DE4338807C1 (de) * 1993-11-12 1995-01-26 Heraeus Quarzglas Formkörper mit hohem Gehalt an Siliziumdioxid und Verfahren zur Herstellung solcher Formkörper
DE69027590T2 (de) * 1989-08-01 1996-12-05 Asahi Glass Co Ltd Verfahren zur Herstellung von Schichten auf basis von Siliziumdioxyd mittels DC Sputtern und Target dafür
DE19822829A1 (de) * 1998-05-20 1999-11-25 Heraeus Noblelight Gmbh Kurzwelliger Infrarot-Flächenstrahler
WO2001046079A1 (de) * 1999-12-22 2001-06-28 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG VON OPAKEM QUARZGLAS, FÜR DIE DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETES SiO2-GRANULAT UND BAUTEIL AUS OPAKEM QUARZGLAS
DE69806628T2 (de) * 1997-10-17 2003-02-06 Saint-Gobain Quartz Plc, Wallsend Herstellung von quarzglasgegenständen mit grosser oberflächenreinheit
DE10211249A1 (de) * 2002-03-13 2003-10-02 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler mit Hüllrohr und darauf befindlicher metallischer Reflexionsschicht, sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE10253582B3 (de) * 2002-11-15 2004-07-15 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56158090U (https=) * 1980-04-25 1981-11-25
JPS6268101U (https=) * 1985-10-17 1987-04-28
US5045751A (en) * 1988-10-25 1991-09-03 Asahi Glass Company Ltd. Cathode ray tube of improved breakdown voltage characteristic
KR900007740A (ko) * 1988-11-04 1990-06-01 후루모또 지로 유리보강법과 그에 사용되는 필름 형성 합성물 및 그 강화 유리제품
DE4417405A1 (de) * 1994-05-18 1995-11-23 Inst Neue Mat Gemein Gmbh Verfahren zur Herstellung von strukturierten anorganischen Schichten
JPH08315965A (ja) * 1994-09-29 1996-11-29 Tokyo Electron Ltd 加熱装置及びその製造方法、並びに処理装置
JP4185194B2 (ja) * 1997-07-31 2008-11-26 コバレントマテリアル株式会社 カーボンヒータ
GB0011964D0 (en) * 2000-05-18 2000-07-05 Suyal N Thick glass films with controlled refractive indices and their applications
DE10243954B3 (de) * 2002-09-20 2004-07-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung eines opaken Quarzglas-Kompositwerkstoffs sowie Verwendung desselben
JP4444559B2 (ja) * 2002-10-09 2010-03-31 ジャパンスーパークォーツ株式会社 石英ガラスルツボの強化方法とシリコン単結晶の引き上げ方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE587715C (de) * 1932-10-14 1933-11-07 Patra Patent Treuhand Elektrische Gluehlampe oder Leuchtroehre mit einem fuer sichtbare und auch ultraviolette Strahlen durchlaessigen Glasgefaess
DE69027590T2 (de) * 1989-08-01 1996-12-05 Asahi Glass Co Ltd Verfahren zur Herstellung von Schichten auf basis von Siliziumdioxyd mittels DC Sputtern und Target dafür
DE4022100C1 (https=) * 1990-07-11 1991-10-24 Heraeus Quarzglas Gmbh, 6450 Hanau, De
DE4338807C1 (de) * 1993-11-12 1995-01-26 Heraeus Quarzglas Formkörper mit hohem Gehalt an Siliziumdioxid und Verfahren zur Herstellung solcher Formkörper
DE4440104C2 (de) * 1993-11-12 1996-04-25 Heraeus Quarzglas Formkörper aus Quarzglas, Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus Quarzglas und Behälter aus Quarzglas
DE69806628T2 (de) * 1997-10-17 2003-02-06 Saint-Gobain Quartz Plc, Wallsend Herstellung von quarzglasgegenständen mit grosser oberflächenreinheit
DE19822829A1 (de) * 1998-05-20 1999-11-25 Heraeus Noblelight Gmbh Kurzwelliger Infrarot-Flächenstrahler
WO2001046079A1 (de) * 1999-12-22 2001-06-28 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG VON OPAKEM QUARZGLAS, FÜR DIE DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETES SiO2-GRANULAT UND BAUTEIL AUS OPAKEM QUARZGLAS
DE10211249A1 (de) * 2002-03-13 2003-10-02 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler mit Hüllrohr und darauf befindlicher metallischer Reflexionsschicht, sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE10253582B3 (de) * 2002-11-15 2004-07-15 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung

Also Published As

Publication number Publication date
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