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Die
Erfindung betrifft Verfahren zum Kalibrieren eines Halbleiter-Bauelement-Testgeräts.
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Halbleiter-Bauelemente,
z.B. entsprechende, integrierte (analoge bzw. digitale) Rechenschaltkreise,
Halbleiter-Speicherbauelemente
wie z.B. Funktionsspeicher-Bauelemente (PLAs, PALs, etc.) und Tabellenspeicher-Bauelemente
(z.B. ROMs und RAMs, insbesondere SRAMs und DRAMs), etc. werden – z.B. im
halbfertigen, und/oder im fertigen Zustand – an mehreren Test-Stationen
umfangreichen Tests unterzogen.
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Zum
Testen der Halbleiter-Bauelemente kann an der jeweiligen Test-Station
jeweils ein entsprechendes Halbleiter-Bauelement-Testgerät vorgesehen sein, welches
die zum Testen der Halbleiter-Bauelemente erforderlichen Test-Signale
erzeugt.
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Beispielsweise
können – an einer
ersten Test-Station – die
zum Testen von noch auf dem entsprechenden Wafer befindlicher, Halbleiter-Bauelemente
erforderlichen Signale z.B. von einem mit einer entsprechenden Halbleiter-Bauelement-Test-Karte
(„probecard") verbundenen Testgerät erzeugt,
und mittels entsprechenden, an der Test-Karte vorgesehenen nadelförmigen Anschlüssen („Kontakt-Nadeln") in die jeweiligen
Pads der Halbleiter-Bauelemente eingegeben werden.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale von den Halbleiter-Bauelementen
an entsprechenden Pads ausgegebenen Signale werden von entsprechenden,
nadelförmigen
Anschlüssen
(„Kontakt-Nadeln") der probecard abgegriffen, und
(z.B. über
eine entsprechende, die probecard mit dem Testgerät verbindende
Signalleitung) an das Testgerät
weitergeleitet, wo eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden
kann.
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Nach
dem Zersägen
des Wafers können
die – dann
einzeln zur Verfügung
stehenden – Bauelemente
jeweils einzeln in sog. Carrier (d.h. eine entsprechende Umverpackung)
geladen, und an eine weitere Test-Station weitertransportiert werden.
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An
der weiteren Test-Station werden die Carriers in entsprechende – mit einem
(weiteren) Testgerät
verbundene – Adapter
bzw. Sockel eingesteckt, und dann das in dem jeweiligen Carrier
befindliche Bauelement entsprechenden. (weiteren) Testverfahren
unterzogen.
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Zum
Testen der in den Carriern befindlichen Halbleiter-Bauelemente werden
die entsprechenden, vom Testgerät
ausgegebenen Test-Signale über
den Adapter, und den Carrier (bzw. entsprechende Anschlüsse des
Carriers) an die entsprechenden Pads des jeweiligen Halbleiter-Bauelements
weitergeleitet.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale von den Halbleiter-Bauelementen
an entsprechenden Pads ausgegebenen Signale werden von entsprechenden
Carrier-Anschlüssen
abgegriffen, und über
den Adapter (und eine entsprechende, den Adapter mit dem Testgerät verbindende
Signalleitung) an das Testgerät
weitergeleitet, wo eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden kann.
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Auf
entsprechend ähnliche
Weise können die
Halbleiter-Bauelemente
z.B. auch nach deren endgültigen
Einbau in entsprechende Bauelement-Gehäuse (z.B. entsprechende steck- oder oberflächenmontierbare
Gehäuse)
getestet werden, und/oder nach dem Einbau der – mit entsprechenden Halbleiter-Bauelementen versehenen – Gehäuse in entsprechende,
elektronische Module, etc.
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Um
bei den o.g. Testverfahren eine hohe Genauigkeit zu erreichen (insbesondere
eine hohe Genauigkeit bei den bei den o.g. Testverfahren verwendeten
bzw. gemessenen Signalen), kann das jeweilige Testgerät – vor Beginn
des eigentlichen Testverfahrens – einem Kalibrier- bzw. Setup-Prozess
unterzogen werden.
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Beispielsweise
kann vom jeweilige Testgerät an
einer – das
entsprechende Testgerät
mit der jeweiligen probecard, dem jeweiligen Adapter (z.B. dem jeweiligen
Carrier- oder Gehäuse-Adapter),
etc. verbindenden – Signalleitung
ein entsprechendes Kalibrier-Signal ausgegeben werden, und vom Testgerät das durch
das Kalibrier-Signal hervorgerufene Reflexions-Signal gemessen,
und ausgewertet werden.
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Dieses
Verfahren ist relativ ungenau.
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Alternativ
können
sog. Punkt-zu-Punkt-Kalibrier- bzw. Punkt-zu-Punkt-Setup-Verfahren verwendet werden.
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Bei
diesen Verfahren wird das vom Testgerät an der o.g. Signalleitung
ausgegebene Kalibrier-Signal (z.B. von einer entsprechenden Kalibrier-Einrichtung)
dort – bzw.
ungefähr
dort – gemessen,
und ausgewertet, wo es – beim
späteren,
eigentlichen Test – jeweils
vom jeweiligen Bauelement empfangen werden würde.
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Dadurch
kann sichergestellt werden, dass die vom jeweiligen Bauelement – beim späteren, eigentlichen
Test – vom
Testgerät
empfangenen Signale den für
den jeweiligen Test jeweils gewünschten Test-Signalen
entsprechen (mit möglichst
exakt den jeweils gewünschten
Spannungshöhen,
und/oder mit möglichst
exakt dem jeweils gewünschten,
zeitlichen Verlauf, etc.).
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Das
Testen von noch auf einem entsprechenden Wafer befindlichen Halbleiter-Bauelementen
mit Hilfe der o.g. probecards (und entsprechend auch das Kalibrieren
des jeweils verwendeten Testgeräts)
kann in einem – von
der Umwelt abgeschlossenen – Sub-System
(z.B. einem entsprechenden Mikro-Reinraum-System) stattfinden.
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Zur
Durchführung
der o.g. Kalibrier- bzw. Setup-Verfahren ist das jeweilige Testgerät – über eine entsprechende
Signalleitung – mit
einer entsprechenden (innerhalb des Sub-Systems bewegbaren), mehrere (z.B. drei)
nadelförmige
Anschlüsse
bzw. Kontakt-Nadeln aufweisenden Einrichtung verbunden (z.B. einer
SPP bzw. short pin plate).
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Zum
Kalibrieren des Testgeräts
wird die SPP (short pin plate) so zu einer Kalibrier-Einrichtung
(z.B. einer NAC- bzw. needle auto calibration-Einrichtung), insbesondere
deren NAC-Platte
(needle auto calibration plate) hin bewegt, dass die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse bzw.
Kontakt-Nadeln der SPP die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse (Pads)
der Kalibrier-Einrichtung
(NAC) (bzw. die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse von
deren Kontakt-Platte (needle auto calibration plate)) kontaktieren.
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Ein
von dem Testgerät – über die
o.g. Signalleitung – ausgegebenes
Kalibrier-Signal kann dann von der Kalibrier-Einrichtung gemessen, und ausgewertet
werden.
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Auf
entsprechend umgekehrte Weise kann z.B. auch ein von der Kalibrier-Einrichtung
ausgegebenes (weiteres) Kalibrier-Signal (über ein entsprechendes NAC-Pad,
und eine entsprechende SPP-Kontakt-Nadel) an das Testgerät weitergeleitet, und
dort gemessen, und ausgewertet werden.
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Nach
der Kalibrierung des Testgeräts
kann dann die SPP wieder von der NAC-Einrichtung, insbesondere der
NAC-Platte entfernt werden, und daraufhin z.B. ein entsprechendes
probecard-Kalibrier- bzw.
Setup-Verfahren durchgeführt
werden.
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Hierzu
kann die probecard (entsprechend ähnlich wie vorher die SPP)
so zur o.g. Kalibrier-Einrichtung (NAC-Einrichtung, insbesondere
deren NAC-Platte (needle auto calibration plate)) hin bewegt werden,
dass die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse bzw.
Kontakt-Nadeln der probecard die – jeweils gewünschten – Anschlüsse (Pads)
der Kalibrier-Einrichtung kontaktieren.
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Ein
entsprechendes, von der Kalibrier-Einrichtung (NAC-Einrichtung) ausgesendetes
Kalibrier-Signal wird dann – über ein
entsprechendes NAC-Pad, und eine entsprechende, dieses kontaktierende
probecard-Kontakt-Nadel an die probecard weitergeleitet.
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Das
in Reaktion auf das eingegebene Kalibrier-Signal von der probecard
an einer entsprechenden Kontakt-Nadel ausgegebene Signal wird von
einem entsprechenden – mit
der Kontakt-Nadel in Kontakt stehenden – NAC-Pad abgegriffen, und
dann durch die Kalibrier-Einrichtung gemessen und ausgewertet.
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Von
Nachteil bei der o.g. Vorgehensweise ist u.a., dass beim Kalibrieren
des Test-Geräts
die Kalibrier-Signale über
zusätzliche
Pins (nämlich
die o.g. SPP-Kontakt-Nadeln) geleitet werden müssen, was zu Ungenauigkeiten
führen
kann.
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Die
Druckschrift
DE 100
56882 C2 zeigt ein Verfahren zum Kalibrieren eines Testsystems,
das zum Testen von Halbleiterbauelementen verwendet wird, und bei
dem ein zu testendes Bauelement mittels einer Nadelkarte kontaktiert
wird.
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Zum
Kalibrieren des Testsystems wird ein Testsubstrat, z.B. eine Siliziumscheibe
verwendet, welche mehrere Anschlusskontaktflächen, und mehrere weitere Anschlusskontaktflächen aufweist,
die paarweise einander zugeordnet, und elektrisch leitend miteinander
verbunden sind.
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Auf
die Anschlusskontaktflächen
wird jeweils eine Nadel einer Nadelkarte aufgesetzt, die mit einer elektrischen
Anschlussleitung zu dem Testsystem versehen ist. Auf die weitere
Anschlusskontaktfläche, die
der jeweiligen Anschlusskontaktfläche zugeordnet ist, wird eine
Referenznadel einer ebenfalls über eine
Anschlussleitung mit dem Testsystem verbundenen Vorrichtung aufgesetzt.
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Die
Erfindung hat zur Aufgabe, neuartige Verfahren zum Kalibrieren eines
Halbleiter-Bauelement-Testgeräts
zur Verfügung
zu stellen, insbesondere Verfahren, mit denen eine genaue und schnelle Kalibrierung
des Testgeräts
erreicht werden kann.
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Sie
erreicht dieses und weitere Ziele durch die Gegenstände der
Ansprüche
1 und 4.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und der beigefügten Zeichnung
näher erläutert. In
der Zeichnung zeigt:
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1 eine
schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus eines – gemäß dem Stand
der Technik – zum
Testen von auf einem Wafer angeordneten Halbleiter-Bauelementen
verwendeten Halbleiter-Bauelement-Test-Systems, mit einer probecard, und
einem daran angeschlossenen Testgerät;
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2 eine
schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus von – gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung – zum
Kalibrieren des in 1 gezeigten Test-Systems, bzw.
des dort gezeigten Testgeräts
bzw. der probecard verwendeten Einrichtungen; und
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3 eine
schematische Darstellung eines – zum
Kalibrieren des in 1 gezeigten Test-Systems, bzw.
des dort gezeigten Testgeräts
bzw. der probecard verwendeten – Wafers,
von oben her betrachtet, zur Veranschaulichung von auf dem Wafer vorgesehenen
Kalibrier-Routing-Strukturen.
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In 1 ist
eine schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus eines – gemäß dem Stand der
Technik – an
einer Test-Station 3 zum Testen von auf einem – herkömmlichen – Wafer 11 angeordneten bzw.
gefertigten Halbleiter-Bauelementen verwendeten Halbleiter-Bauelement-Test-Systems 5 gezeigt.
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Bei
den – noch
auf dem Wafer 11 (d.h. der entsprechenden Silizium-Scheibe)
befindlichen, zu testenden – Halbleiter-Bauelementen kann
es sich z.B. um entsprechende, integrierte (analoge bzw. digitale)
Rechenschaltkreise handeln, und/oder um Halbleiter-Speicherbauelemente
wie z.B. Funktionsspeicher-Bauelemente
(PLAs, PALs, etc.) oder Tabellenspeicher-Bauelemente (z.B. ROMs oder RAMS), insbesondere
um SRAMs oder DRAMs (hier z.B. um DRAMs (Dynamic Random Access Memories
bzw. dynamische Schreib-Lese-Speicher) mit doppelter Datenrate (DDR-DRAMs
= Double Data Rate – DRAMs)).
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Die
zum Testen der – noch
auf der Silizium-Scheibe bzw. dem Wafer 11 befindlichen – Halbleiter-Bauelemente
benötigten
Test-Signale werden von einem Testgerät 4 (hier: ein DC-Testgerät) über eine
oder mehrere entsprechende Signalleitungen („Treiberkanäle" 8a, 8b, 8c)
an eine Halbleiter-Bauelement-Test-Karte bzw. probecard 2 weitergeleitet, und – über entsprechende,
an der probecard vorgesehene Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e – an entsprechende
auf den Halbleiter-Bauelementen vorgesehene Anschlüsse bzw.
Pads.
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Wie
aus 1 (und 2) hervorgeht, erstrecken sich
die Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e von
der Unterseite der probecard 2 aus nach unten.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale an entsprechenden
(z.B. den o.g., oder hiervon unterschiedlichen) Halbleiter-Bauelement-Anschlüssen bzw.
Pads ausgegebenen Signale werden – entsprechend umgekehrt wie
oben beschrieben – von
entsprechenden Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e der
probecard 2 abgegriffen, und über die o.g. oder eine oder
mehrere weitere Signalleitungen („Komparatorkanäle" 9a, 9b, 9c)
dem Testgerät 4 zugeführt, wo
dann eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden kann.
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Wie
aus 1 hervorgeht, sind die o.g. probecard 2,
die zu testenden Halbleiter-Bauelemente (bzw. der Wafer 11)
(sowie ggf. auch das o.g Testgerät 4)
an der Test-Station 3 in einem – von der Umwelt abgeschlossenen – Sub-System
(z.B. einem entsprechenden Mikro-Reinraum-System) angeordnet.
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Zum
Kalibrieren des Test-Systems 5, bzw. des dort gezeigten
Testgeräts 4 bzw.
der probecard 2 (z.B. vor der Durchführung der o.g. Test-Verfahren (und/oder
zwischen mehreren, an der o.g. Test-Station 3 durchgeführten Test-Verfahren))
kann gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung z.B. das anhand von 2 und 3 im
folgenden genauer beschriebene Verfahren eingesetzt werden (unter
Verwendung z.B. des in 2 gezeigten, z.B. einem entsprechenden
Mikro-Reinraum-System
angeordneten Aufbaus, bzw. – insbesondere – unter
Verwendung des in 2 und 3 gezeigten,
speziellen Kalibrier-Wafers 1 mit speziellen Kalibrier-Routing-Strukturen (bzw.
mit einer speziell strukturierten Metallisierungsschicht)).
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Aus
den vorhandenen Testerkanälen
(d.h. den Treiberkanälen 8a, 8b, 8c,
und den Komparatorkanälen 9a, 9b, 9c)
wird jeweils ein Treiberkanal, und jeweils ein Komparatorkanal als
Referenz-Treiberkanal und als Referenz-Komparatorkanal ausgewählt (z.B.
der Treiberkanal 8a als Referenz-Treiberkanal, und der Komparatorkanal 9a als
Referenz-Komparatorkanal).
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Wie
im folgenden noch genauer erläutert wird,
wird das Kalibrierverfahren in mehreren Schritten Ia, Ib, Ic, IIa,
IIb, IIc, etc. durchgeführt,
für die – wie in 3 gezeigt
ist – ein
dem jeweiligen Verfahrensschritt zugeordnetes Wafer-Strukturfeld
Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc (von mehreren, auf dem Wafer 1 vorgesehenen
Strukturfeldern Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc) verwendet wird.
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Gemäß 2 ist
jeder Testerkanal (genauer: jeder Treiberkanal 8a, 8b, 8c,
und jeder Komparatorkanal 9a, 9b, 9c)
elektrisch mit einer jeweils zugeordneten Kontakt-Nadel der probecard 2 verbunden.
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Wie
im folgenden noch genauer erläutert wird,
kann im Testgerät 4 – für jeden
Treiber- und für jeden
Komparatorkanal 8a, 8b, 8c, 9a, 9b, 9c – ein entsprechendes,
separates Verzögerungs-Glied
vorgesehen sein.
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Die
für die
Treiberkanäle 8a, 8b, 8c vorgesehenen
Verzögerungsglieder
beaufschlagen die vom Testgerät 4 über den
jeweiligen Treiberkanal ausgegebenen Signale (z.B. entsprechende
Kalibrier-Test-Signale) mit einer entsprechend variabel einstellbaren
Verzögerungszeit;
auf entsprechend ähnliche
Weise beaufschlagen auch die für
die Komparatorkanäle 9a, 9b, 9c vorgesehenen
Verzögerungsglieder
die vom Testgerät 4 über den
jeweiligen Komparatorkanal empfangenen Signale (z.B. entsprechende
Kalibrier-Test-Signale)
mit einer entsprechend variabel einstellbaren Verzögerungszeit.
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Bei
einem (ersten) Schritt Ia des Kalibrierverfahrens wird der Wafer 1 (vorteilhaft
automatisch, d.h. durch eine entsprechende Maschine) so zur Unterseite
der probecard 2 hin bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten
Pfeile A, B), dass die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in einem
(ersten) Strukturfeld Ia des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Kontakt-Feld 6a kontaktiert,
und dass eine einem ((ersten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal (z.B, dem
Komparatorkanal 9b) zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(ersten) Strukturfeld Ia des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9b vorgesehenes Kontakt-Feld 6b kontaktiert.
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Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6a – im
ersten Strukturfeld Ia des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10a elektrisch mit dem für den ((ersten) Nicht- Referenz-) Komparatorkanal 9b vorgesehenen
Kontakt-Feld 6b verbunden.
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Ein
vom Testgerät 4 am
Referenz-Treiberkanal 8a (zu einem bestimmten, z.B. in
Bezug zu einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt
t0) angelegtes – durch ein entsprechendes,
für den
Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert ausgegebenes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal wird über den Referenz-Treiberkanal 8a und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2 an
das für
den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene Kontakt-Feld 6a weitergeleitet.
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Von
dem Kontakt-Feld 6a aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10a an
das für
den o.g. Komparatorkanal 9b vorgesehene Kontakt-Feld 6b weitergeleitet,
und dort von der dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Kontakt-Nadel
der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B. auf den
Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke beziehbaren, aufgrund
der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt verzögerten) Zeitpunkt tx,1,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Komparatorkanal 9b dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Komparatorkanal 9b vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
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Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,1 des
durch den Komparatorkanal 9b zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit einem – vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ia,1).
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Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
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Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
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Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt t0,
wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (identisch) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw.
Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6a, die Wafer-Leitung 10a, das für den o.g.
Komparatorkanal 9b vorgesehene Kontakt-Feld 6b,
die dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Kontakt-Nadel der
probecard 2, und den Komparatorkanal 9b dem Testgerät 4 zugeführt (wobei das
Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9b vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend mehr oder weniger stark, als vorher zeitlich verzögert zu
einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,2 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
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Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,2 des
durch den Komparatorkanal 9b zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ia,2).
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Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
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Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
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Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,3 des
durch den Komparatorkanal 9b rückgeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ia,3).
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Die
durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,1,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ia,4).
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Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten Ia,1–Ia,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
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Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9b rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend – anders
als vorher – verzögerten Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt,
und der Referenz-Zeitpunkt tx identisch
bzw. im Wesentlichen identisch sind.
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Die
durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,1,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert.
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Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert, z.B.
die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
Ia,1–Ia,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
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Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tdelay,1,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
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Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tdelay,1,1, tdelay,1,2,
tdelay,1,3 etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied fest
eingestellt.
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Durch
die mehrfache Durchführung
der o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte,
und die o.g. Verzögerungszeit-Berechung können bei
Einzel-Messungen auftretende Fehler und Meß-Abweichungen herausgemittelt
werden, und dadurch die Kalibrier-Genauigkeit erhöht werden.
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Daraufhin
wird ein zweiter (Haupt-) Schritt Ib des Kalibrierverfahrens durchgeführt:
Hierbei
wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine
entsprechende Maschine) zunächst
wieder von der Unterseite der probecard weg-, und dann in seitlicher
Richtung bewegt, und daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin
bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
einem (zweiten) Strukturfeld Ib des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Kontakt-Feld 6c kontaktiert,
und dass eine einem ((zweiten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal
(z.B. dem Komparatorkanal 9c) zugeordnete, und mit diesem
elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(zweiten) Strukturfeld Ib des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9c vorgesehenes Kontakt-Feld 6d kontaktiert.
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Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c – im
zweiten Strukturfeld Ib des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10b elektrisch mit dem für den ((zweiten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal 9c vorgesehenen
Kontakt-Feld 6d verbunden.
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Ein
vom Testgerät 4 am
Referenz-Treiberkanal 8a (zu einem bestimmten, z.B. in
Bezug zu einem Referenz-Takt (z.B, dessen positive Flanke) gewählten, dem
o.g. Referenz-Zeitpunkt entsprechenden Zeitpunkt t0)
angelegtes – durch
das entsprechende, für
den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert ausgegebene – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
wird über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2 an das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c weitergeleitet.
-
Von
dem Kontakt-Feld 6c aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10b an
das für
den o.g. Komparatorkanal 9c vorgesehene Kontakt-Feld 6d weitergeleitet,
und dort von der dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Kontakt-Nadel
der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B. auf den
Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren, aufgrund
der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt verzögerten) Zeitpunkt tx,2,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Komparatorkanal 9c dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Komparatorkanal 9c vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,1 des
durch den Komparatorkanal 9c zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – o.g.,
vorbestimmten (ebenfalls auf die z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt t0,
wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (identisch) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw.
Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c, die Wafer-Leitung 10b, das für den o.g.
Komparatorkanal 9c vorgesehene Kontakt-Feld 6d,
die dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Kontakt-Nadel der
probecard 2, und den Komparatorkanal 9c dem Testgerät 4 zugeführt (wobei das
Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9c vorgesehene
Verzögerungs-Glied entsprechend
mehr oder weniger stark, als vorher zeitlich verzögert zu
einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,2 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,2 des
durch den Komparatorkanal 9c zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,3 des
durch den Komparatorkanal 9c rückgeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,3).
-
Die
durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,2,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ib,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten Ib,1–Ib,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9c rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend – anders
als vorher – verzögerten Kalibrier-Test-Signals
gemessen, mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, bis – erneut – ermittelt wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der
Referenz-Zeitpunkt tx identisch bzw. im
Wesentlichen identisch sind.
-
Die
durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,2,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert, z.B.
die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
Ib,1–Ib,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tdelay,2,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tdelay,2,1, tdelay,2,2,
tdelay,2,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied fest
eingestellt.
-
Daraufhin
kann ein dritter (Haupt-) Schritt Ic des Kalibrierverfahrens durchgeführt werden:
Hierbei wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h.
durch eine entsprechende Maschine) zunächst wieder von der Unterseite
der probecard weg-, und dann in seitlicher Richtung bewegt, und
daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin bewegt
(vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
einem (dritten) Strukturfeld Ic des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Kontakt-Feld 6e kontaktiert,
und dass eine einem ((dritten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal
zugeordnete, und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
dem (dritten) Strukturfeld Ic des Wafers 1 – ein für diesen
(dritten) Komparatorkanal vorgesehenes Kontakt-Feld 6f kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6e – im
dritten Strukturfeld Ic des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10c elektrisch mit dem für den ((dritten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal
vorgesehenen Kontakt-Feld 6f verbunden.
-
Als
nächstes
können – für den ((dritten) Nicht-Referenz-)
Komparatorkanal – dann
entsprechend mehrfach hintereinander entsprechende Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte
durchgeführt
werden, wie oben für
den ersten und zweiten Nicht-Referenz-Komparatorkanal anhand der Kalibrier-Verfahren-Subschritte
Ia,1–Ia,4
bzw. Ib,1–Ib,4
erläutert
(d.h. – mehrfach
hintereinander – den
o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten Ia,1–Ia,4 bzw. Ib,1–Ib,4 entsprechende
Kalibrier-Verfahren-Subschritte).
-
Dabei
können – entsprechend
wie oben erläutert – für den ((dritten)
Nicht-Referenz-) Komparatorkanal, bzw. das diesem zugeordnete Verzögerungsglied
Verzögerungszeiten
ermittelt werden, für die
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkts tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Daraufhin
kann – wiederum – ein Mittelwert der
entsprechenden, ermittelten Verzögerungszeiten gebildet
werden, und die so ermittelte (Mittelwerts-)Verzögerungszeit (bzw. die dieser
zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung
für das
entsprechende Verzögerungsglied
fest eingestellt werden.
-
Den
o.g. Verfahrensschritten Ia, Ib, Ic entsprechende Schritte (mit
jeweils mehrfach hintereinander durchgeführten, den o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten
Ia,1–Ia,4
bzw. Ib,1–Ib,4
entsprechenden Kalibrier-Verfahren-Subschritten) werden – unter
Verwendung des o.g. Referenz-Treiberkanals 8a – für sämtliche
Nicht-Referenz-Komparatorkanäle durchgeführt.
-
Daraufhin
(oder alternativ bereits vor den o.g. Verfahrens-Schritten Ia, Ib, Ic) werden – unter Verwendung
des o.g. Referenz-Komparatorkanals (hier: des Komparatorkanals 9a)
anstelle des Referenz-Treiberkanals (hier: des Treiberkanals 8a) – den o.g.
Verfahrens-Schritten Ia, Ib, Ic entsprechende Verfahrens-Schritte
IIa, IIb, IIc durchgeführt:
Beispielsweise wird bei einem – z.B.
im Anschluß an
die o.g. Verfahrens-Schritte Ia, Ib, Ic durchgeführten – Verfahrens-Schritt IIa des Kalibrierverfahrens
der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine entsprechende
Maschine) so zur Unterseite der probecard 2 hin bewegt
(vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die einem ((ersten) Nicht-Referenz-)
Treiberkanal 8b zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in einem
(vierten) Strukturfeld IIa des Wafers 1 – ein für diesen
Treiberkanal 8b vorgesehenes Kontakt-Feld 6g kontaktiert,
und dass eine dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(vierten) Strukturfeld IIa des Wafers 1 – ein für diesen
Komparatorkanal 9a vorgesehenes Kontakt-Feld 6h kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Treiberkanal 8b vorgesehene
Kontakt-Feld 6g – im vierten
Strukturfeld IIa des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur
auf dem Wafer 1 geschaffene Leitung 10d elektrisch
mit dem für
den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenen Kontakt-Feld 6h verbunden.
-
Ein
vom Testgerät 4 am
Treiberkanal 8b (zu einem bestimmten, z.B. in Bezug zu
einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt
t0) angelegtes – durch ein entsprechendes, für den Treiberkanal 8b vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
ausgegebenes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
wird über
den Treiberkanal 8b und die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2 an das für den Treiberkanal 8b vorgesehene
Kontakt-Feld 6g weitergeleitet.
-
Von
dem Kontakt-Feld 6g aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10d an
das für
den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6h weitergeleitet,
und dort von der dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordneten
Kontakt-Nadel der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B.
auf den Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren,
aufgrund der Signal-Laufzeit gegenüber dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt
verzögerten)
Zeitpunkt tx,4,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,4,1 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9a zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit einem – vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen,
zum o.g. Referenz-Zeitpunkt identischen) – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt (z.B. dessen
positive Flanke) gewählten
Zeitpunkt t0, wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend unterschiedlich stark, z.B. entsprechend mehr oder
weniger stark, als vorher zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Treiberkanal 8b und die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2, das für den
Treiberkanal 8b vorgesehene Kontakt-Feld 6g, die
Wafer-Leitung 10d, das für den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Kontakt-Feld 6h, die dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, und den Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
identisch wie vorher zeitlich verzögert wird, und zu einem vom
o.g. Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,1 unterschiedlichen Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,2 in das Testgerät 4 eingegeben wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,4,2 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9b zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt,
und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,3 des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIa,3).
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,4,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Treiberkanal 8b zugeordneten Verzögerungsglieds wieder entsprechend
geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten IIa,1–IIa,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt
wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,4,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Treiberkanal 8b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
IIa,1–IIa,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte Verzögerungszeit
tdelay,4,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds charakterisierende
Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert, usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Treiberkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tdelay,4,1, tdelay,4,2,
tdelay,4,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied
fest eingestellt.
-
Daraufhin
wird ein weiterer Kalibrierverfahrens-Hauptschritt IIb durchgeführt:
Hierbei
wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine
entsprechende Maschine) zunächst
wieder von der Unterseite der probecard weg-, und dann in seitlicher
Richtung bewegt, und daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin
bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die einem ((zweiten) Nicht-Referenz-) Treiberkanal (z.B, dem Treiberkanal 8c)
zugeordnete, und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in einem
(fünften)
Strukturfeld IIb des Wafers 1 – ein für diesen Treiberkanal 8c vorgesehenes
Kontakt-Feld 6i kontaktiert, und dass die dem o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(fünften)
Strukturfeld IIb des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9a vorgesehenes
Kontakt-Feld 6k kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Treiberkanal 8c vorgesehene
Kontakt-Feld 6i – im fünften Strukturfeld
IIb des Wafers 1 – über eine
entsprechende, durch die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10e elektrisch mit dem für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenen
Kontakt-Feld 6k verbunden.
-
Ein
vom Testgerät 4 am
Treiberkanal 8c (zu einem bestimmten, z.B. in Bezug zu
einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten, dem
o.g. Referenz-Zeitpunkt entsprechenden Zeitpunkt t0)
angelegtes – durch
das entsprechende, für den
Treiberkanal 8c vorgesehene Verzögerungs-Glied entsprechend
zeitlich verzögert
ausgegebene – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal wird über den Treiberkanal 8c und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2 an
das für
den Treiberkanal 8c vorgesehene Kontakt-Feld 6i weitergeleitet.
-
Von
dem Kontakt-Feld 6i aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10e an
das für
den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6k weitergeleitet,
und dort von der dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordneten
Kontakt-Nadel der probecard 2 abgegriffen, und zu einem
(z.B. auf den Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren, aufgrund der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt
verzögerten)
Zeitpunkt tx,5,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,1 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9a zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – o.g., vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am o.g.
Treiberkanal 8c ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (unterschiedlich wie vorher) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt, und über den Treiberkanal 8c und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2, das
für den
Treiberkanal 8c vorgesehene Kontakt-Feld 6i, die
Wafer-Leitung 10e,
das für
den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6k,
die dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2, und den Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend verzögert
zu einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,2 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,2 des
durch den Komparatorkanal 9a zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz- Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8c ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt,
und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,5,3 des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,3).
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,5,1 (bzw.: die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIb,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Treiberkanal 8c zugeordneten Verzögerungsglieds wieder entsprechend
geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten IIb,1–IIb,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8c ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt
wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,5,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Treiberkanal 8c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
IIb,1–IIb,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tdelay,5,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tdelay,5,1, tdelay,5,2,
tdelay,5,31, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied
fest eingestellt.
-
Als
nächstes
können – für einen
weiteren ((dritten) Nicht-Referenz-)
Treiberkanal (und unter Verwendung des – in 3 gezeigten – sechsten Wafer-Strukturfelds
IIc, und – weiterhin – des Referenz-Komparatorkanals 9a) – dann entsprechend mehrfach
hintereinander entsprechende Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte durchgeführt werden,
wie oben für
den ersten und zweiten Nicht-Referenz-Treiberkanal 8b, 8c anhand
der Kalibrier-Verfahren-Subschritte IIa,1–IIa,4 bzw. IIb,1–IIb,4 erläutert (d.h. – mehrfach
hintereinander – den
o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten IIa,1–IIa,4 bzw. IIb,1–IIb,4 entsprechende
Kalibrier-Verfahren-Subschritte).
-
Dabei
können – entsprechend
wie oben erläutert – für den ((dritten)
Nicht-Referenz-) Treiberkanal, bzw. das diesem zugeordnete Verzögerungsglied
Verzögerungszeiten
ermittelt werden, für
die der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkts
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Daraufhin
kann – wiederum – ein Mittelwert der
entsprechenden, ermittelten Verzögerungszeiten gebildet
werden, und die so ermittelte (Mittelwerts-)Verzögerungszeit (bzw. die dieser
zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung
für das
entsprechende Verzögerungsglied
fest eingestellt werden.
-
Den
o.g. Verfahrensschritten IIa, IIb, IIc entsprechende Schritte (mit
jeweils mehrfach hintereinander durchgeführten, den o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten
IIa,1–IIa,4
bzw. IIb,1–IIb,4
entsprechenden Kalibrier-Verfahren-Subschritten) werden – unter
Verwendung des o.g. Referenz-Komparatorkanals 9a – für sämtliche
Nicht-Referenz-Treiberkanäle durchgeführt.
-
Vorteilhaft
können
die in 2 gezeigten Treiberkanäle 8a, 8b, 8c,
und/oder die Komparatorkanäle 9a, 9b, 9c,
alle die gleiche Länge
aufweisen, und/oder können
die Längen
der den Referenz-Treiberkanal 8a mit den jeweiligen (Nicht-Referenz-) Komparatorkanälen 9b, 9c verbindenden
Wafer-Leitungen 10a, 10b, 10c jeweils
im wesentlichen gleich groß sein,
und/oder können
die Längen
der die jeweiligen (Nicht-Referenz-) Treiberkanäle 8b, 8c mit
dem Referenz-Komparatorkanal 9a verbindenden Wafer-Leitungen 10d, 10e, 10f jeweils
im wesentlichen gleich groß sein
(und z.B. im wesentlichen gleich groß wie diejenigen der den Referenz-Treiberkanal 8a mit
den jeweiligen (Nicht-Referenz-) Komparatorkanälen 9b, 9c verbindenden
Wafer-Leitungen 10a, 10b, 10c).
-
Bereits
vor (oder alternativ nach) der Durchführung der o.g. Verfahrens-Schritte
Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc, etc. können der Referenz-Treiberkanal 8a und der
Referenz-Komparatorkanal 9a so abgeglichen werden, dass
(z.B. auf eine positive Flanke des Referenz-Takts bezogen) für beide
Referenz-Kanäle 8a, 9a der
Wert für
den o.g. Referenz-Zeitpunkt tx identisch
ist, bzw. für
beide Referenz-Kanäle 8a, 9a ein identischer
Wert für
den o.g. Referenz-Zeitpunkt tx verwendet
werden kann.
-
Beispielsweise
können
hierzu – unter
Verwendung herkömmlicher
Messverfahren – der
Referenz-Kanal 8a, und der Referenz-Kanal 9a so
abgeglichen werden (z.B. durch entsprechende Einstellung des dem
jeweiligen Referenz-Kanal 8a, 9a zugeordneten
Verzögerungsglieds,
bzw. Anpassung der durch das dem jeweiligen Referenz-Kanal 8a, 9a zugeordneten
Verzögerungsglied
hervorgerufenen Verzögerungszeit),
dass sich für
den Referenz-Treiberkanal 8a und den Referenz-Komparatorkanal 9a – insgesamt – jeweils
identische Signal-Laufzeiten bzw.
Signal-Verzögerungszeiten
ergeben.
-
Mit
dem o.g. Verfahren und System wird eine eine relativ hohe Genauigkeit
liefernde probecard – und/oder
Testgerät-Kalibrierung erreicht,
die unabhängig
von der jeweils eingesetzten probecard 2 ist, und wobei
der für
die Kalibrierung notwendige Zeitaufwand insgesamt relativ gering
gehalten werden kann.
-
- 1
- Kalibrier-Wafer
- 2
- probecard
- 3
- Test-Station
- 4
- Testgerät
- 5
- Test-System
- 6a
- Kontakt-Feld
- 6b
- Kontakt-Feld
- 6c
- Kontakt-Feld
- 6d
- Kontakt-Feld
- 6e
- Kontakt-Feld
- 6f
- Kontakt-Feld
- 6g
- Kontakt-Feld
- 6h
- Kontakt-Feld
- 6i
- Kontakt-Feld
- 6k
- Kontakt-Feld
- 6l
- Kontakt-Feld
- 6m
- Kontakt-Feld
- 7a
- Kontakt-Nadeln
- 7b
- Kontakt-Nadeln
- 7c
- Kontakt-Nadeln
- 7d
- Kontakt-Nadeln
- 7e
- Kontakt-Nadeln
- 8a
- Treiberkanal
- 8b
- Treiberkanal
- 8c
- Treiberkanal
- 9a
- Komparatorkanal
- 9b
- Komparatorkanal
- 9c
- Komparatorkanal
- 10a
- Leitung
- 10b
- Leitung
- 10c
- Leitung
- 10d
- Leitung
- 10e
- Leitung
- 10f
- Leitung
- 11
- Wafer
- Ia
- Strukturfeld
- Ib
- Strukturfeld
- Ic
- Strukturfeld
- IIa
- Strukturfeld
- IIb
- Strukturfeld
- IIc
- Strukturfeld