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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren einer probecard
bzw. eines Halbleiter-Bauelement-Testgeräts, sowie eine Einrichtung
zum Kalibrieren einer probecard bzw. eines Halbleiter-Bauelement-Testgeräts.
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Halbleiter-Bauelemente,
z.B. entsprechende, integrierte (analoge bzw. digitale) Rechenschaltkreise,
Halbleiter-Speicherbauelemente
wie z.B. Funktionsspeicher-Bauelemente (PLAs, PALs, etc.) und Tabellenspeicher-Bauelemente
(z.B. ROMs und RAMs, insbesondere SRAMs und DRAMs), etc. werden – z.B. im
halbfertigen, und/oder im fertigen Zustand – an mehreren Test-Stationen
umfangreichen Tests unterzogen.
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Zum
Testen der Halbleiter-Bauelemente kann an der jeweiligen Test-Station
jeweils ein entsprechendes Halbleiter-Bauelement-Testgerät vorgesehen sein, welches
die zum Testen der Halbleiter-Bauelemente erforderlichen Test-Signale
erzeugt.
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Beispielsweise
können – an einer
ersten Test-Station – die
zum Testen von noch auf dem entsprechenden Wafer befindlichen Halbleiter-Bauelemente
erforderlichen Signale z.B. von einem mit einer entsprechenden Halbleiter-Bauelement-Test-Karte
(„probecard") verbundenen Testgerät erzeugt,
und mittels entsprechenden, an der Test-Karte vorgesehenen nadelförmigen Anschlüssen („Kontakt-Nadeln") in die jeweiligen
Pads der Halbleiter-Bauelemente eingegeben werden.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale von den Halbleiter-Bauelementen
an entsprechenden Pads ausgegebenen Signale werden von entsprechenden,
nadelförmigen
Anschlüssen („Kontakt-Nadeln") der probecard abgegriffen, und
(z.B. über
eine entsprechende, die probecard mit dem Testgerät verbindende
Signalleitung) an das Testgerät
weitergeleitet, wo eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden
kann.
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Nach
dem Zersägen
des Wafers können
die – dann
einzeln zur Verfügung
stehenden – Bauelemente
jeweils einzeln in sog. Carrier (d.h. eine entsprechende Umverpackung)
geladen, und an eine weitere Test-Station weitertransportiert werden.
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An
der weiteren Test-Station werden die Carriers in entsprechende – mit einem
(weiteren) Testgerät
verbundene – Adapter
bzw. Sockel eingesteckt, und dann das in dem jeweiligen Carrier
befindliche Bauelement entsprechenden (weiteren) Testverfahren unterzogen.
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Zum
Testen der in den Carriern befindlichen Halbleiter-Bauelemente werden
die entsprechenden, vom Testgerät
ausgegebenen Test-Signale über
den Adapter, und den Carrier (bzw. entsprechende Anschlüsse des
Carriers) an die entsprechenden Pads des jeweiligen Halbleiter-Bauelements
weitergeleitet.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale von den Halbleiter-Bauelementen
an entsprechenden Pads ausgegebenen Signale werden von entsprechenden
Carrier-Anschlüssen
abgegriffen, und über
den Adapter (und eine entsprechende, den Adapter mit dem Testgerät verbindende
Signalleitung) an das Testgerät
weitergeleitet, wo eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden kann.
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Auf
entsprechend ähnliche
Weise können die
Halbleiter-Bauelemente
z.B. auch nach derem endgültigen
Einbau in entsprechende Bauelement-Gehäuse (z.B. entsprechende steck- oder oberflächenmontierbare
Gehäuse)
getestet werden, und/oder nach dem Einbau der – mit entsprechenden Halbleiter- Bauelementen versehenen – Gehäuse in entsprechende,
elektronische Module, etc.
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Um
bei den o.g. Testverfahren eine hohe Genauigkeit zu erreichen (insbesondere
eine hohe Genauigkeit bei den bei den o.g. Testverfahren verwendeten
bzw. gemessenen Signalen), kann das jeweilige Testgerät – vor Beginn
des eigentlichen Testverfahrens – einem Kalibrier- bzw. Setup-Prozess
unterzogen werden.
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Beispielsweise
kann vom jeweilige Testgerät an
einer – das
entsprechende Testgerät
mit der jeweiligen probecard, dem jeweiligen Adapter (z.B. dem jeweiligen
Carrier- oder Gehäuse-Adapter),
etc. verbindenden – Signalleitung
ein entsprechendes Kalibrier-Signal ausgegeben werden, und vom Testgerät das durch
das Kalibrier-Signal hervorgerufene Reflexions-Signal gemessen,
und ausgewertet werden.
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Dieses
Verfahren ist relativ ungenau.
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Alternativ
können
sog. Punkt-zu-Punkt-Kalibrier- bzw. Punkt-zu-Punkt-Setup-Verfahren verwendet werden.
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Bei
diesen Verfahren wird das vom Testgerät an der o.g. Signalleitung
ausgegebene Kalibrier-Signal (z.B. von einer entsprechenden Kalibrier-Einrichtung)
dort – bzw.
ungefähr
dort – gemessen,
und ausgewertet, wo es – beim
späteren,
eigentlichen Test – jeweils
vom jeweiligen Bauelement empfangen werden würde.
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Dadurch
kann sichergestellt werden, dass die vom jeweiligen Bauelement – beim späteren, eigentlichen
Test – vom
Testgerät
empfangenen Signale den für
den jeweiligen Test jeweils gewünschten Test-Signalen
entsprechen (mit möglichst
exakt den jeweils gewünschten
Spannungshöhen,
und/oder mit möglichst
exakt dem jeweils gewünschten,
zeitlichen Verlauf, etc.).
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Das
Testen von noch auf einem entsprechenden Wafer befindlichen Halbleiter-Bauelementen
mit Hilfe der o.g. probecards (und entsprechend auch das Kalibrieren
des jeweils verwendeten Testgeräts)
kann in einem – von
der Umwelt abgeschlossenen – Sub-System
(z.B. einem entsprechenden Mikro-Reinraum-System) stattfinden.
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Zur
Durchführung
der o.g. Kalibrier- bzw. Setup-Verfahren ist das jeweilige Testgerät – über eine entsprechende
Signalleitung – mit
einer entsprechenden (innerhalb des Sub-Systems bewegbaren), mehrere (z.B. drei)
nadelförmige
Anschlüsse
bzw. Kontakt-Nadeln aufweisenden Einrichtung verbunden (z.B. einer
SPP bzw. short pin plate).
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Zum
Kalibrieren des Testgeräts
wird die SPP (short pin plate) so zu einer Kalibrier-Einrichtung
(z.B. einer NAC- bzw. needle auto calibration-Einrichtung), insbesondere
deren NAC-Platte
(needle auto calibration plate) hin bewegt, dass die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse bzw.
Kontakt-Nadeln der SPP die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse (Pads)
der Kalibrier-Einrichtung
(NAC) (bzw. die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse von
deren Kontakt-Platte (needle auto calibration plate)) kontaktieren.
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Ein
von dem Testgerät – über die
o.g. Signalleitung – ausgegebenes
Kalibrier-Signal kann dann von der Kalibrier-Einrichtung gemessen, und ausgewertet
werden.
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Auf
entsprechend umgekehrte Weise kann z.B. auch ein von der Kalibrier-Einrichtung
ausgegebenes (weiteres) Kalibrier-Signal (über ein entsprechendes NAC-Pad,
und eine entsprechende SPP-Kontakt-Nadel) an das Testgerät weitergeleitet, und
dort gemessen, und ausgewertet werden.
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Nach
der Kalibrierung des Testgeräts
kann dann die SPP wieder von der NAC-Einrichtung, insbesondere der
NAC-Platte entfernt werden, und daraufhin z.B. ein entsprechendes
probecard-Kalibrier- bzw.
Setup-Verfahren durchgeführt
werden.
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Hierzu
kann die probecard (entsprechend ähnlich wie vorher die SPP)
so zur o.g. Kalibrier-Einrichtung (NAC-Einrichtung, insbesondere
deren NAC-Platte (needle auto calibration plate)) hin bewegt werden,
dass die – jeweils
gewünschten – Anschlüsse bzw.
Kontakt-Nadeln der probecard die – jeweils gewünschten – Anschlüsse (Pads)
der Kalibrier-Einrichtung kontaktieren.
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Ein
entsprechendes, von der Kalibrier-Einrichtung (NAC-Einrichtung) ausgesendetes
Kalibrier-Signal wird dann – über ein
entsprechendes NAC-Pad, und eine entsprechende, dieses kontaktierende
probecard-Kontakt-Nadel an die probecard weitergeleitet.
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Das
in Reaktion auf das eingegebene Kalibrier-Signal von der probecard
an einer entsprechenden Kontakt-Nadel ausgegebene Signal wird von
einem entsprechenden – mit
der Kontakt-Nadel in Kontakt stehenden – NAC-Pad abgegriffen, und
dann durch die Kalibrier-Einrichtung gemessen und ausgewertet.
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Von
Nachteil bei der o.g. Vorgehensweise ist u.a., dass beim Kalibrieren
des Test-Geräts
die Kalibrier-Signale über
zusätzliche
Pins (nämlich
die o.g. SPP-Kontakt-Nadeln) geleitet werden müssen, was zu Ungenauigkeiten
führen
kann.
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Die
Erfindung hat zur Aufgabe, eine neuartige Einrichtung und ein neuartiges
Verfahren zum Kalibrieren einer probecard bzw. eines Halbleiter-Bauelement-Testgeräts zur Verfügung zu
stellen.
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Sie
erreicht dieses und weitere Ziele durch die Gegenstände der
Ansprüche
1 und 10.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und der beigefügten Zeichnung
näher erläutert. In
der Zeichnung zeigt:
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1 eine
schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus eines – gemäß dem Stand
der Technik – zum
Testen von auf einem Wafer angeordneten Halbleiter-Bauelementen
verwendeten Halbleiter-Bauelement-Test-Systems, mit einer probecard, und
einem daran angeschlossenen und Testgerät;
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2 eine
schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus von – gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung – zum
Kalibrieren des in 1 gezeigten Test-Systems, bzw.
des dort gezeigten Testgeräts
bzw. der probecard verwendeten Einrichtungen; und
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3 eine
schematische Darstellung eines – zum
Kalibrieren des in 1 gezeigten Test-Systems, bzw.
des dort gezeigten Testgeräts
bzw. der probecard verwendeten – Wafers,
von oben her betrachtet, zur Veranschaulichung von auf dem Wafer vorgesehenen
Kalibrier-Routing-Strukturen.
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In 1 ist
eine schematische Darstellung des prinzipiellen Aufbaus eines – gemäß dem Stand der
Technik – an
einer Test-Station 3 zum Testen von auf einem – herkömmlichen – Wafer 11 angeordneten bzw.
gefertigten Halbleiter-Bauelementen verwendeten Halbleiter-Bauelement-Test-Systems 5 gezeigt.
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Bei
den – noch
auf dem Wafer 11 (d.h. der entsprechenden Silizium-Scheibe)
befindlichen, zu testenden – Halbleiter-Bauelementen kann
es sich z.B. um entsprechende, integrierte (analoge bzw. digitale)
Rechenschaltkreise handeln, und/oder um Halbleiter-Speicherbauelemente
wie z.B. Funktionsspeicher-Bauelemente
(PLAs, PALs, etc.) oder Tabellenspeicher-Bauelemente (z.B. ROMs oder RAMS), insbesondere
um SRAMs oder DRAMs (hier z.B. um DRAMs (Dynamic Random Access Memories
bzw. dynamische Schreib-Lese-Speicher) mit doppelter Datenrate (DDR-DRAMs
= Double Data Rate – DRAMs)).
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Die
zum Testen der – noch
auf der Silizium-Scheibe bzw. dem Wafer 11 befindlichen – Halbleiter-Bauelemente
benötigten
Test-Signale werden von einem Testgerät 4 (hier ein DC-Testgerät) über eine
oder mehrere entsprechende Signalleitungen („Treiberkanäle" 8a, 8b, 8c)
an eine Halbleiter-Bauelement-Test-Karte bzw. probecard 2 weitergeleitet, und – über entsprechende,
an der probecard vorgesehene Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e – an entsprechende
auf den Halbleiter-Bauelementen vorgesehene Anschlüsse bzw.
Pads.
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Wie
aus 1 (und 2) hervorgeht, erstrecken sich
die Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e von
der Unterseite der probecard 2 aus nach unten.
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Die
in Reaktion auf die eingegebenen Test-Signale an entsprechenden
(z.B. den o.g., oder hiervon unterschiedlichen) Halbleiter-Bauelement-Anschlüssen bzw.
Pads ausgegebenen Signale werden – entsprechend umgekehrt wie
oben beschrieben – von
entsprechenden Kontakt-Nadeln 7a, 7b, 7c, 7d, 7e der
probecard 2 abgegriffen, und über die o.g. oder eine oder
mehrere weitere Signalleitungen („Komparatorkanäle" 9a, 9b, 9c)
dem Testgerät 4 zugeführt, wo
dann eine Auswertung der entsprechenden Signale stattfinden kann.
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Wie
aus 1 hervorgeht, sind die o.g. probecard 2,
die zu testenden Halbleiter-Bauelemente (bzw. der Wafer 11)
(sowie ggf. auch das o.g Testgerät 4)
an der Test-Station 3 in einem – von der Umwelt abgeschlossenen – Sub-System
(z.B. einem entsprechenden Mikro-Reinraum-System) angeordnet.
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Zum
Kalibrieren des Test-Systems 5, bzw. des dort gezeigten
Testgeräts 4 bzw.
der probecard 2 (z.B. vor der Durchführung der o.g. Test-Verfahren (und/oder
zwischen mehreren, an der o.g. Test-Station 3 durchgeführten Test-Verfahren))
kann gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung z.B. das anhand von 2 und 3 im
folgenden genauer beschriebene Verfahren eingesetzt werden (unter
Verwendung z.B. des in 2 gezeigten, z.B. einem entsprechenden
Mikro-Reinraum-System
angeordneten Aufbaus, bzw. – insbesondere – unter
Verwendung des in 2 und 3 gezeigten,
speziellen Kalibrier-Wafers 1 mit speziellen Kalibrier-Routing-Strukturen (bzw.
mit einer speziell strukturierten Metallisierungsschicht)).
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Aus
den vorhandenen Testerkanälen
(d.h. den Treiberkanälen 8a, 8b, 8c,
und den Komparatorkanälen 9a, 9b, 9c)
wird jeweils ein Treiberkanal, und jeweils ein Komparatorkanal als
Referenz-Treiberkanal und als Referenz-Komparatorkanal ausgewählt (z.B.
der Treiberkanal 8a als Referenz-Treiberkanal, und der Komparatorkanal 9a als
Referenz-Komparatorkanal).
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Wie
im folgenden noch genauer erläutert wird,
wird das Kalibrierverfahren in mehreren Schritten Ia, Ib, Ic, IIa,
IIb, IIc, etc. durchgeführt,
für die – wie in 3 gezeigt
ist – ein
dem jeweiligen Verfahrensschritt zugeordnetes Wafer-Strukturfeld
Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc (von mehreren, auf dem Wafer 1 vorgesehenen
Strukturfeldern Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc) verwendet wird.
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Gemäß 2 ist
jeder Testerkanal (genauer: jeder Treiberkanal 8a, 8b, 8c,
und jeder Komparatorkanal 9a, 9b, 9c)
elektrisch mit einer jeweils zugeordneten Kontakt-Nadel der probecard 2 verbunden.
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Wie
im folgenden noch genauer erläutert wird,
kann im Testgerät 4 – für jeden
Treiber- und für jeden
Komparatorkanal 8a, 8b, 8c, 9a, 9b, 9c – ein entsprechendes,
separates Verzögerungs-Glied
vorgesehen sein.
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Die
für die
Treiberkanäle 8a, 8b, 8c vorgesehenen
Verzögerungsglieder
beaufschlagen die vom Testgerät 4 über den
jeweiligen Treiberkanal ausgegebenen Signale (z.B. entsprechende
Kalibrier-Test-Signale) mit einer entsprechend variabel einstellbaren
Verzögerungszeit;
auf entsprechend ähnliche
Weise beaufschlagen auch die für
die Komparatorkanäle 9a, 9b, 9c vorgesehenen
Verzögerungsglieder
die vom Testgerät 4 über den
jeweiligen Komparatorkanal empfangenen Signale (z.B. entsprechende
Kalibrier-Test-Signale)
mit einer entsprechend variabel einstellbaren Verzögerungszeit.
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Bei
einem (ersten) Schritt Ia des Kalibrierverfahrens wird der Wafer 1 (vorteilhaft
automatisch, d.h. durch eine entsprechende Maschine) so zur Unterseite
der probecard 2 hin bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten
Pfeile A, B), dass die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in einem
(ersten) Strukturfeld Ia des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Kontakt-Feld 6a kontaktiert,
und dass eine einem ((ersten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal (z.B. dem
Komparatorkanal 9b) zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(ersten) Strukturfeld Ia des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9b vorgesehenes Kontakt-Feld 6b kontaktiert.
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Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6a – im
ersten Strukturfeld Ia des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10a elektrisch mit dem für den ((ersten) Nicht- Referenz-) Komparatorkanal 9b vorgesehenen
Kontakt-Feld 6b verbunden.
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Ein
vom Testgerät 4 am
Referenz-Treiberkanal 8a (zu einem bestimmten, z.B. in
Bezug zu einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt
t0) angelegtes – durch ein entsprechendes,
für den
Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert ausgegebenes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal wird über den Referenz-Treiberkanal 8a und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2 an
das für
den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene Kontakt-Feld 6a weitergeleitet.
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Von
dem Kontakt-Feld 6a aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10a an
das für
den o.g. Komparatorkanal 9b vorgesehene Kontakt-Feld 6b weitergeleitet,
und dort von der dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Kontakt-Nadel
der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B. auf den
Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke beziehbaren, aufgrund
der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt verzögerten) Zeitpunkt tx,1,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Komparatorkanal 9b dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Komparatorkanal 9b vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
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Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,1 des
durch den Komparatorkanal 9b zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit einem – vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ia,1).
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Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
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Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
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Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt t0,
wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (identisch) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw.
Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6a, die Wafer-Leitung 10a, das für den o.g.
Komparatorkanal 9b vorgesehene Kontakt-Feld 6b,
die dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Kontakt-Nadel der
probecard 2, und den Komparatorkanal 9b dem Testgerät 4 zugeführt (wobei das
Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9b vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend mehr oder weniger stark, als vorher zeitlich verzögert zu
einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,2 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
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Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,2 des
durch den Komparatorkanal 9b zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ia,2).
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Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
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Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,1,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
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Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,1,3 des
durch den Komparatorkanal 9b rückgeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ia,3).
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Die
durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,1,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ia,4).
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Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten Ia,1–Ia,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
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Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9b rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend – anders
als vorher – verzögerten Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt,
und der Referenz-Zeitpunkt tx identisch
bzw. im Wesentlichen identisch sind.
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Die
durch das dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,1,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert.
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Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Komparatorkanal 9b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert, z.B.
die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
Ia,1–Ia,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
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Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tdelay,1,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
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Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Komparatorkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungs
zeiten tdelay,1,1, tdelay,1,2,
tdelay,1,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied fest
eingestellt.
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Durch
die mehrfache Durchführung
der o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte,
und die o.g. Verzögerungszeit-Berechung können bei
Einzel-Messungen auftretende Fehler und Meß-Abweichungen herausgemittelt
werden, und dadurch die Kalibrier-Genauigkeit erhöht werden.
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Daraufhin
wird ein zweiter (Haupt-) Schritt Ib des Kalibrierverfahrens durchgeführt: Hierbei
wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine entsprechende
Maschine) zunächst
wieder von der Unterseite der probecard weg-, und dann in seitlicher Richtung
bewegt, und daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin
bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete, und mit diesem
elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
einem (zweiten) Strukturfeld Ib des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes
Kontakt-Feld 6c kontaktiert, und dass eine einem ((zweiten)
Nicht-Referenz-) Komparatorkanal (z.B. dem Komparatorkanal 9c)
zugeordnete, und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
dem (zweiten) Strukturfeld Ib des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9c vorgesehenes
Kontakt-Feld 6d kontaktiert.
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Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c – im
zweiten Strukturfeld Ib des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10b elektrisch mit dem für den ((zweiten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal 9c vorgesehenen
Kontakt-Feld 6d verbunden.
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Ein
vom Testgerät 4 am
Referenz-Treiberkanal 8a (zu einem bestimmten, z.B. in
Bezug zu einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten, dem
o.g. Referenz-Zeitpunkt entsprechenden Zeitpunkt t0)
angelegtes – durch
das entsprechende, für
den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert ausgegebene – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
wird über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2 an das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c weitergeleitet.
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Von
dem Kontakt-Feld 6c aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10b an
das für
den o.g. Komparatorkanal 9c vorgesehene Kontakt-Feld 6d weitergeleitet,
und dort von der dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Kontakt-Nadel
der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B. auf den
Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren, aufgrund
der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt verzögerten) Zeitpunkt tx,2,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Komparatorkanal 9c dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Komparatorkanal 9c vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,1 des
durch den Komparatorkanal 9c zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – o.g.,
vorbestimmten (ebenfalls auf die z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt t0,
wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (identisch) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw.
Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Referenz-Treiberkanal 8a und die diesem zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6c, die Wafer-Leitung 10b, das für den o.g:
Komparatorkanal 9c vorgesehene Kontakt-Feld 6d,
die dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Kontakt-Nadel der
probecard 2, und den Komparatorkanal 9c dem Testgerät 4 zugeführt (wobei das
Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9c vorgesehene
Verzögerungs-Glied entsprechend
mehr oder weniger stark, als vorher zeitlich verzögert zu
einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,1 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,2 des
durch den Komparatorkanal 9c zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,2,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,2,3 des
durch den Komparatorkanal 9c rückgeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
Ib,3).
-
Die
durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,2,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt Ib,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten Ib,1–Ib,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Referenz-Treiberkanal 8a ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9c rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend – anders
als vorher – verzögerten Kalibrier-Test-Signals
gemessen, mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, bis – erneut – ermittelt wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der
Referenz-Zeitpunkt tx identisch bzw. im
Wesentlichen identisch sind.
-
Die
durch das dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,2,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Komparatorkanal 9c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert, z.B.
die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
Ib,1–Ib,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tdelay,2,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Komparatorkanal 9c zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungs
zeiten tdelay,2,1, tdelay,2,2,
tdelay,2,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied fest
eingestellt.
-
Daraufhin
kann ein dritter (Haupt-) Schritt Ic des Kalibrierverfahrens durchgeführt werden:
Hierbei
wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine
entsprechende Maschine) zunächst
wieder von der Unterseite der probecard weg-, und dann in seitlicher
Richtung bewegt, und daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin
bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die dem Referenz-Treiberkanal 8a zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
einem (dritten) Strukturfeld Ic des Wafers 1 – ein für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehenes Kontakt-Feld 6e kontaktiert,
und dass eine einem ((dritten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal
zugeordnete, und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in
dem (dritten) Strukturfeld Ic des Wafers 1 – ein für diesen
(dritten) Komparatorkanal vorgesehenes Kontakt-Feld 6f kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Referenz-Treiberkanal 8a vorgesehene
Kontakt-Feld 6e – im
dritten Strukturfeld Ic des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10c elektrisch mit dem für den ((dritten) Nicht-Referenz-) Komparatorkanal
vorgesehenen Kontakt-Feld 6f verbunden.
-
Als
nächstes
können – für den ((dritten) Nicht-Referenz-)
Komparatorkanal – dann
entsprechend mehrfach hintereinander entsprechende Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte
durchgeführt
werden, wie oben für
den ersten und zweiten Nicht-Referenz-Komparatorkanal anhand der Kalibrier-Verfahren-Subschritte
Ia,1–Ia,4
bzw. Ib,1–Ib,4
erläutert
(d.h. – mehrfach
hintereinander – den
o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten Ia,1–Ia,4 bzw. Ib,1–Ib,4 entsprechende
Kalibrier-Verfahren-Subschritte).
-
Dabei
können – entsprechend
wie oben erläutert – für den ((dritten)
Nicht-Referenz-) Komparatorkanal, bzw. das diesem zugeordnete Verzögerungsglied
Verzögerungszeiten
ermittelt werden, für die
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkts tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Daraufhin
kann – wiederum – ein Mittelwert der
entsprechenden, ermittelten Verzögerungszeiten gebildet
werden, und die so ermittelte (Mittelwerts-)Verzögerungszeit (bzw. die dieser
zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung
für das
entsprechende Verzögerungsglied
fest eingestellt werden.
-
Den
o.g. Verfahrensschritten Ia, Ib, Ic entsprechende Schritte (mit
jeweils mehrfach hintereinander durchgeführten, den o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten
Ia,1–Ia,4
bzw. Ib,1–Ib,4
entsprechenden Kalibrier-Verfahren-Subschritten) werden – unter
Verwendung des o.g. Referenz-Treiberkanals 8a – für sämtliche
Nicht-Referenz-Komparatorkanäle durchgeführt.
-
Daraufhin
(oder alternativ bereits vor den o.g. Verfahrens-Schritten Ia, Ib, Ic) werden – unter Verwendung
des o.g. Referenz-Komparatorkanals (hier: des Komparatorkanals 9a)
anstelle des Referenz-Treiberkanals (hier: des Treiberkanals 8a) – den o.g.
Verfahrens-Schritten Ia, Ib, Ic entsprechende Verfahrens-Schritte
IIa, IIb, IIc durchgeführt:
Beispielsweise
wird bei einem – z.B.
im Anschluß an die
o.g. Verfahrens-Schritte Ia, Ib, Ic durchgeführten – Verfahrens-Schritt IIa des Kalibrierverfahrens
der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine entsprechende
Maschine) so zur Unterseite der probecard 2 hin bewegt
(vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die einem ((ersten) Nicht-Referenz-)
Treiberkanal 8b zugeordnete, und mit diesem elektrisch
verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in einem
(vierten) Strukturfeld IIa des Wafers 1 – ein für diesen
Treiberkanal 8b vorgesehenes Kontakt-Feld 6g kontaktiert,
und dass eine dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(vierten) Strukturfeld IIa des Wafers 1 – ein für diesen
Komparatorkanal 9a vorgesehenes Kontakt-Feld 6h kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Treiberkanal 8b vorgesehene
Kontakt-Feld 6g – im vierten
Strukturfeld IIa des Wafers 1 – über eine entsprechende, durch
die Kalibrier-Routing-Struktur
auf dem Wafer 1 geschaffene Leitung 10d elektrisch
mit dem für
den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenen Kontakt-Feld 6h verbunden.
-
Ein
vom Testgerät 4 am
Treiberkanal 8b (zu einem bestimmten, z.B. in Bezug zu
einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten Zeitpunkt
t0) angelegtes – durch ein entsprechendes, für den Treiberkanal 8b vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
ausgegebenes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
wird über
den Treiberkanal 8b und die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2 an das für den Treiberkanal 8b vorgesehene
Kontakt-Feld 6g weitergeleitet.
-
Von
dem Kontakt-Feld 6g aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signah über die o.g. Wafer-Leitung 10d an
das für
den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6h weitergeleitet,
und dort von der dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordneten
Kontakt-Nadel der probecard 2 abgegriffen, und zu einem (z.B.
auf den Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren,
aufgrund der Signal-Laufzeit gegenüber dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt
verzögerten)
Zeitpunkt tx,4,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch ein entsprechendes, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenes
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,4,1 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9a zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit einem – vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen,
zum o.g. Referenz-Zeitpunkt identischen) – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b (zu
einem entsprechend identischen, z.B. in Bezug zum Referenz-Takt (z.B. dessen
positive Flanke) gewählten
Zeitpunkt t0, wie oben) ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend unterschiedlich stark, z.B. entsprechend mehr oder
weniger stark, als vorher zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und über
den Treiberkanal 8b und die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2, das für den
Treiberkanal 8b vorgesehene Kontakt-Feld 6g, die
Wafer-Leitung 10d, das für den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Kontakt-Feld 6h, die dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete
Kontakt-Nadel der probecard 2, und den Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
identisch wie vorher zeitlich verzögert wird, und zu einem vom
o.g. Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,1 unterschiedlichen Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,2 in das Testgerät 4 eingegeben wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,4,2 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9b zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,4,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt,
und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,4,3 des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIa,3).
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,4,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIa,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Treiberkanal 8b zugeordneten Verzögerungsglieds wieder entsprechend
geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten IIa,1–Ia,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8b ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt
wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,4,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Treiberkanal 8b zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
IIa,1–IIa,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Treiberkanal 8b zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte Verzögerungszeit
tdelay,4,3 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds charakterisierende
Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert, usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Treiberkanal 9b zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tdelay,4,1, tdelay,4,2,
tdelay,4,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit
(bzw. die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied
fest eingestellt.
-
Daraufhin
wird ein weiterer Kalibrierverfahrens-Hauptschritt IIb durchgeführt:
Hierbei
wird der Wafer 1 (vorteilhaft automatisch, d.h. durch eine
entsprechende Maschine) zunächst
wieder von der Unterseite der probecard weg-, und dann in seitlicher
Richtung bewegt, und daraufhin so zur Unterseite der probecard 2 hin
bewegt (vgl. z.B. die in 2 gezeigten Pfeile A, B), dass
die einem ((zweiten) Nicht-Referenz-) Treiberkanal (z.B. dem Treiberkanal 8c)
zugeordnete, und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel
der probecard 2 – in einem
(fünften)
Strukturfeld IIb des Wafers 1 – ein für diesen Treiberkanal 8c vorgesehenes
Kontakt-Feld 6i kontaktiert, und dass die dem o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete,
und mit diesem elektrisch verbundene Kontakt-Nadel der probecard 2 – in dem
(fünften)
Strukturfeld IIb des Wafers 1 – ein für diesen Komparatorkanal 9a vorgesehenes
Kontakt-Feld 6k kontaktiert.
-
Wie
aus 3 hervorgeht, ist das für den Treiberkanal 8c vorgesehene
Kontakt-Feld 6i – im fünften Strukturfeld
IIb des Wafers 1 – über eine
entsprechende, durch die Kalibrier-Routing-Struktur auf dem Wafer 1 geschaffene
Leitung 10e elektrisch mit dem für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehenen
Kontakt-Feld 6k verbunden.
-
Ein
vom Testgerät 4 am
Treiberkanal 8c (zu einem bestimmten, z.B. in Bezug zu
einem Referenz-Takt (z.B. dessen positive Flanke) gewählten, dem
o.g. Referenz-Zeitpunkt entsprechenden Zeitpunkt t0)
angelegtes – durch
das entsprechende, für den
Treiberkanal 8c vorgesehene Verzögerungs-Glied entsprechend
zeitlich verzögert
ausgegebene – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal wird über den Treiberkanal 8c und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2 an
das für
den Treiberkanal 8c vorgesehene Kontakt-Feld 6i weitergeleitet.
-
Von
dem Kontakt-Feld 6i aus wird das Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal über die o.g. Wafer-Leitung 10e an
das für
den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6k weitergeleitet,
und dort von der dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordneten
Kontakt-Nadel der probecard 2 abgegriffen, und zu einem
(z.B. auf den Referenz-Takt
(z.B. dessen positive Flanke) beziehbaren, aufgrund der Signal-Laufzeit
gegenüber
dem o.g. Kalibrier-Test-Signal-Ausgabe-Zeitpunkt
verzögerten)
Zeitpunkt tx,5,1 („Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt") über den
o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a dem Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend zeitlich verzögert
in das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,1 des
durch den Referenz-Komparatorkanal 9a zugeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – o.g., vorbestimmten
(ebenfalls auf z.B. die positive Flanke des Referenz-Takts bezogenen) – Referenz-Zeitpunkt
tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,1).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,1 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,1 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am o.g.
Treiberkanal 8c ein – durch
das Verzögerungs-Glied
entsprechend (unterschiedlich wie vorher) zeitlich verzögertes – Kalibrier-Test-Signal
bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt, und über den Treiberkanal 8c und
die diesem zugeordnete Kontakt-Nadel der probecard 2, das
für den
Treiberkanal 8c vorgesehene Kontakt-Feld 6i, die
Wafer-Leitung 10e,
das für
den o.g. Referenz-Komparatorkanal 9a vorgesehene Kontakt-Feld 6k,
die dem Referenz-Komparatorkanal 9a zugeordnete Kontakt-Nadel
der probecard 2, und den Referenz-Komparatorkanal 9a dem
Testgerät 4 zugeführt (wobei
das Kalibrier-Test-Signal durch das entsprechende, für den Komparatorkanal 9a vorgesehene
Verzögerungs-Glied
entsprechend verzögert
zu einem Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,2 in
das Testgerät 4 eingegeben
wird).
-
Im
Testgerät 4 wird
der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt tx,5,2 des
durch den Komparatorkanal 9a zugeführten, und durch das entsprechende
Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals gemessen (beispielsweise durch Messung der
seit der letzten, positiven Flanke des Referenz-Takts vergangenen
Zeit), und mit dem – vorbestimmten – Referenz- Zeitpunkt tx verglichen (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,2).
-
Ist
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,2 größer als
der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx, wird
die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend verringert.
-
Ist
demgegenüber
der Wert des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts tx,5,2 kleiner
als der Wert des Referenz-Zeitpunkts tx,
wird die durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht.
-
Daraufhin
wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8c ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal angelegt,
und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt
tx,5,3 des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, und mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, usw., usw., bis ermittelt wird,
dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw, im Wesentlichen identisch
sind (Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt
IIb,3).
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,5,1 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden in einer entsprechenden Speichereinrichtung des
Testgeräts 4 abgespeichert
(Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritt IIb,4).
-
Daraufhin
wird – absichtlich – die Einstellung des
dem Treiberkanal 8c zugeordneten Verzögerungsglieds wieder entsprechend
geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert, und erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten IIb,1–IIb,4 entsprechende
Schritte durchgeführt.
-
Mit
anderen Worten wird erneut vom Testgerät 4 am Treiberkanal 8c ein
entsprechendes Kalibrier-Test-Signal bzw. Kalibrier-Test-Impuls-Signal
angelegt, und im Testgerät 4 der
Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt des durch den Referenz-Komparatorkanal 9a rückgeführten, und
durch das entsprechende Verzögerungsglied
entsprechend verzögerten
Kalibrier-Test-Signals
gemessen, mit dem – vorbestimmten – Referenz-Zeitpunkt tx verglichen, etc., etc., bis – erneut – ermittelt
wird, dass der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkt
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Die
durch das dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied
dann hervorgerufene Verzögerungszeit
tdelay,5,2 (bzw. die jeweilige Einstellung
des Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der o.g. Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert.
-
Daraufhin
kann – erneut – absichtlich
die Einstellung des dem Treiberkanal 8c zugeordneten Verzögerungsglieds
wieder entsprechend geändert,
z.B. die durch das Verzögerungsglied
hervorgerufene Verzögerungszeit
entsprechend erhöht
oder verringert werden, und können
erneut den o.g. Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritten
IIb,1–IIb,4
entsprechende Schritte durchgeführt
werden.
-
Die – bei Identität des Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkts,
und Referenz-Zeitpunkts tx – für das dem
Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied dann ermittelte
Verzögerungszeit
tx,5,3 (bzw. die jeweilige Einstellung des
Verzögerungsglieds
charakterisierende Daten) werden – erneut – in der Speichereinrichtung
des Testgeräts 4 abgespeichert,
usw.
-
Als
letztes wird ein Mittelwert der in der Speichereinrichtung abgespeicherten,
für das
dem Treiberkanal 8c zugeordnete Verzögerungsglied ermittelten Verzögerungszeiten
tx,5,1, tx,5,2,
tx,5,3, etc. gebildet, und die so ermittelte
(Mittelwerts-)Verzögerungszeit (bzw.
die dieser zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds) für den Normalbetrieb
des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung für das entsprechende
Verzögerungsglied
fest eingestellt.
-
Als
nächstes
können – für einen
weiteren ((dritten) Nicht-Referenz-)
Treiberkanal (und unter Verwendung des – in 3 gezeigten – sechsten Wafer-Strukturfelds
IIc, und – weiterhin – des Referenz-Komparatorkanals 9a) – dann entsprechend mehrfach
hintereinander entsprechende Kalibrier-Verfahren-Sub-Schritte durchgeführt werden,
wie oben für
den ersten und zweiten Nicht-Referenz-Treiberkanal 8b, 8c anhand
der Kalibrier-Verfahren-Subschritte IIa,1–IIa,4 bzw. IIb,1–IIb,4 erläutert (d.h. – mehrfach
hintereinander – den
o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten IIa,1–IIa,4 bzw. IIb,1–IIb,4 entsprechende
Kalibrier-Verfahren-Subschritte).
-
Dabei
können – entsprechend
wie oben erläutert – für den ((dritten)
Nicht-Referenz-) Treiberkanal, bzw. das diesem zugeordnete Verzögerungsglied
Verzögerungszeiten
ermittelt werden, für
die der Test-Signal-Eingabe-Zeitpunkt, und der Referenz-Zeitpunkts
tx identisch bzw. im Wesentlichen identisch
sind.
-
Daraufhin
kann – wiederum – ein Mittelwert der
entsprechenden, ermittelten Verzögerungszeiten gebildet
werden, und die so ermittelte (Mittelwerts-)Verzögerungszeit (bzw. die dieser
zugeordnete Einstellung des Verzögerungsglieds)
für den
Normalbetrieb des Testgeräts 4 (beim
Testen von Bauelementen) als Standard-Verzögerungszeit bzw. Standard-Einstellung
für das
entsprechende Verzögerungsglied
fest eingestellt werden.
-
Den
o.g. Verfahrensschritten IIa, IIb, IIc entsprechende Schritte (mit
jeweils mehrfach hintereinander durchgeführten, den o.g. Kalibrier-Verfahren-Subschritten
IIa,1–IIa,4
bzw. IIb,1–IIb,4
entsprechenden Kalibrier-Verfahren-Subschritten) werden – unter
Verwendung des o.g. Referenz-Komparatorkanals 9a – für sämtliche
Nicht-Referenz-Treiberkanäle durchgeführt.
-
Vorteilhaft
können
die in 2 gezeigten Treiberkanäle 8a, 8b, 8c,
und/oder die Komparatorkanäle 9a, 9b, 9c,
alle die gleiche Länge
aufweisen, und/oder können
die Längen
der den Referenz-Treiberkanal 8a mit den jeweiligen (Nicht-Referenz-) Komparatorkanälen 9b, 9c verbindenden
Wafer-Leitungen 10a, 10b, 10c jeweils
im wesentlichen gleich groß sein,
und/oder können
die Längen
der die jeweiligen (Nicht-Referenz-) Treiberkanäle 8b, 8c mit
dem Referenz-Komparatorkanal 9a verbindenden Wafer-Leitungen 10d, 10e, 10f jeweils
im wesentlichen gleich groß sein
(und z.B. im wesentlichen gleich groß wie diejenigen der den Referenz-Treiberkanal 8a mit
den jeweiligen (Nicht-Referenz-) Komparatorkanälen 9b, 9c verbindenden
Wafer-Leitungen 10a, 10b, 10c).
-
Bereits
vor (oder alternativ nach) der Durchführung der o.g. Verfahrens-Schritte
Ia, Ib, Ic, IIa, IIb, IIc, etc. können der Referenz-Treiberkanal 8a und der
Referenz-Komparatorkanal 9a so abgeglichen werden, dass
(z.B. auf eine positive Flanke des Referenz-Takts bezogen) für beide
Referenz-Kanäle 8a, 9a der
Wert für
den o.g. Referenz-Zeitpunkt tx identisch
ist, bzw. für
beide Referenz-Kanäle 8a, 9a ein identischer
Wert für
den o.g. Referenz-Zeitpunkt tx verwendet
werden kann.
-
Beispielsweise
können
hierzu – unter
Verwendung herkömmlicher
Messverfahren – der
Referenz-Kanal 8a, und der Referenz-Kanal 9a so
abgeglichen werden (z.B. durch entsprechende Einstellung des dem
jeweiligen Referenz-Kanal 8a, 9a zugeordneten
Verzögerungsglieds,
bzw. Anpassung der durch das dem jeweiligen Referenz-Kanal 8a, 9a zugeordneten
Verzögerungsglied
hervorgerufenen Verzögerungszeit),
dass sich für
den Referenz-Treiberkanal 8a und den Referenz-Komparatorkanal 9a – insgesamt – jeweils
identische Signal-Laufzeiten bzw.
Signal-Verzögerungszeiten
ergeben.
-
Mit
dem o.g. Verfahren und System wird eine eine relativ hohe Genauigkeit
liefernde probecard – und/oder
Testgerät-Kalibrierung erreicht,
die unabhängig
von der jeweils eingesetzten probecard 2 ist, und wobei
der für
die Kalibrierung notwendige Zeitaufwand insgesamt relativ gering
gehalten werden kann.
-
- 1
- Kalibrier-Wafer
- 2
- probecard
- 3
- Test-Station
- 4
- Testgerät
- 5
- Test-System
- 6a
- Kontakt-Feld
- 6b
- Kontakt-Feld
- 6c
- Kontakt-Feld
- 6d
- Kontakt-Feld
- 6e
- Kontakt-Feld
- 6f
- Kontakt-Feld
- 6g
- Kontakt-Feld
- 6h
- Kontakt-Feld
- 6i
- Kontakt-Feld
- 6k
- Kontakt-Feld
- 61
- Kontakt-Feld
- 6m
- Kontakt-Feld
- 7a
- Kontakt-Nadeln
- 7b
- Kontakt-Nadeln
- 7c
- Kontakt-Nadeln
- 7d
- Kontakt-Nadeln
- 7e
- Kontakt-Nadeln
- 8a
- Treiberkanal
- 8b
- Treiberkanal
- 8c
- Treiberkanal
- 9a
- Komparatorkanal
- 9b
- Komparatorkanal
- 9c
- Komparatorkanal
- 10a
- Leitung
- 10b
- Leitung
- 10c
- Leitung
- 10d
- Leitung
- 10e
- Leitung
- 10f
- Leitung
- 11
- Wafer
- Ia
- Strukturfeld
- Ib
- Strukturfeld
- Ic
- Strukturfeld
- IIa
- Strukturfeld
- IIb
- Strukturfeld
- IIc
- Strukturfeld