DE10154271B4 - Mikroskopvorrichtung und Mikroskopsystem - Google Patents

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    • G02B21/00—Microscopes
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Abstract

Mikroskopvorrichtung, aufweisend:
ein Trägerelement (11), welches ein Probestück trägt;
ein erstes optisches System (17a, 17b, 14a, 14b), welches ein Bild eines Probestück-Teilbereiches erzeugt;
ein zweites optisches System (17c), welches ein Gesamtbild des Probestücks erzeugt;
eine Bilderzeugungsvorrichtung (18), welche die Bilder photoelektrisch erfaßt, die durch das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) und das zweite optische System (17c) erzeugt werden;
einen Umschaltmechanismus (117, 127), welcher zwischen einem ersten Lichtweg, der vom Probestück über das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft, und einem zweiten Lichtweg umschaltet, der vom Probestück über das zweite optische System (17c) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft;
eine Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29), welche den Umschaltmechanismus (117, 127) so ansteuert, daß der Bilderzeugungsvorrichtung (18) in Übereinstimmung mit einem Operationsbefehl der erste Lichtweg oder der zweite Lichtweg vorgestellt wird; und
eine Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29), welche das Trägerelement (11) verschiebt, wobei...

Description

  • Die Offenbarung der folgenden Prioritätsanmeldung bildet durch Bezugnahme Bestandteil dieser Erfindung:
    Japanische Patentanmeldung Nr. 2000-337934, eingereicht am 6. November 2000.
  • Die Erfindung betrifft eine Mikroskopvorrichtung und ein Mikroskopsystem, welche ein optisches System beinhalten, das innerhalb eines Gehäuses der Mikroskopvorrichtung untergebracht ist.
  • Es gibt einen bekannten Typ kastenförmiger Mikroskopvorrichtungen, bei welchen ein optisches System innerhalb eines Gehäuses untergebracht ist, wie beispielsweise offenbart in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. H8-271794. Bei dieser kastenförmigen Mikroskopvorrichtung sind die optischen Systeme vollständig innerhalb eines Gehäuses untergebracht. Dadurch ist es möglich, die Freiheit der Wahl des Standortes zu verbessern, an welchem die Mikroskopvorrichtung aufgestellt werden soll. Wenn beispielsweise diese kastenförmige Mikroskopvorrichtung auf dem Fußboden positioniert ist, ist es für den Benutzer möglich, die Fläche seines Arbeitstisches frei zu verwenden.
  • Jedoch wird, wenn eine kastenförmige Mikroskopvorrichtung auf dem Fußboden positioniert ist, der Betrachter zu einer unnatürlichen Haltung gezwungen, um direkt durch die Okularlinse schauen zu können. Daher ist ein Anzeigebildschirm auf dem Arbeitstisch vorgesehen, und das Bild, das durch eine kastenförmige Mikroskopvorrichtung erzeugt wird, wird auf diesem Monitor angezeigt. Ein optisches Bild von einem kleinen Bereich des Probestücks, das durch die kastenförmige Mikroskopvorrichtung erzeugt wird, d.h. ein sogenanntes Mikroskopbild, wird durch ein Bilderfassungselement, das innerhalb des Gehäuses der Mikroskopvorrichtung vorgesehen ist, in elektronische Form umgewandelt, und dieses elektronische Bild wird auf dem Monitor ausgegeben.
  • Weiter wurden die Mechanismen, welche zum Verschieben des Objekttisches und zur Änderung der Beobachtungsvergrößerung dienen, ebenfalls auf einen elektrischen Betrieb umgestellt. Dadurch braucht der Beobachter keine unnatürliche Haltung einzunehmen und kann einfach durch Betätigung einer Tastatur und/oder Maus, die sich auf dem Arbeitstisch befinden, den Objekttisch verschieben und die Beobachtungsvergrößerung verändern.
  • Um einen gewünschten Punkt auf dem Probestück zu beobachten, wird die Beobachtungsvergrößerung zuerst auf einen geringen Vergrößerungswert eingestellt und ein breiter Bereich auf dem Probestück wird beobachtet, und der Objekttisch wird um geringe Größen verschoben, so daß der gewünschte Punkt ins Betrachtungsgebiet des optischen Systems kommt. Und die Beobachtungsvergrößerung wird fortschreitend in Richtung zu einem hohen Vergrößerungswert hin verschoben. Um den gewünschten Punkt ins Zentrum des Betrachtungsgebietes zu verschieben, ist es erforderlich, zu überprüfen, auf welchen Bereich auf dem Probestück das momentan betrachtete Mikroskopbild fällt.
  • Normalerweise entfernt der Beobachter bei einem Mikroskop, welches nicht vom kastenförmigen Typ ist, sein Auge von der Okularlinse, beobachtet die Positionsbeziehung zwischen Objekttisch und Okularlinse, und untersucht den Bereich des Mikroskopbildes auf dem Probestück.
  • Jedoch ist im Fall eines kastenförmigen Mikroskops eine Zusatzfunktion zum automatischen Erhalten von Bilddaten für ein Gesamtbild des gesamten Probestücks vorgesehen. Auf dem Anzeigebildschirm wird nicht nur das Mikroskopbild angezeigt, sondern es wird auch dieses Gesamtbild des gesamten Probestücks angezeigt. Dadurch ist es für den Beobachter möglich, den Bereich auf dem Probestück zu überprüfen, auf welchen das Mikroskopbild fällt, ohne das Probestück direkt mit dem Auge anzuschauen. Es sei angemerkt, daß bei der verwandten Technik ein Probestück, welches von außen eingeführt wird, durch eine linienförmige Diodengruppierung abgetastet wird, die in einer Probestück-Einführ- und Entnahmeöffnung des Gehäuses vorgesehen ist, um Bilddaten für dieses Gesamtbild des Probestücks zu erfassen.
  • Wie oben beschrieben, wird eine kastenförmige Mikroskopvorrichtung elektrisch betrieben und ist in Verbindung mit einer Informationsverarbeitungsvorrichtung wie beispielsweise einem Computer realisiert. Jedoch trifft man bei einer kastenförmigen Mikroskopvorrichtung auf die folgenden Probleme. Zuerst einmal wird eine beträchtliche Zeitdauer benötigt, um ein Gesamtbild anzuzeigen. Zweitens besteht in Abhängigkeit vom Verwendungsort die Möglichkeit, daß das optische System, bedingt durch das Vorbeilaufen von Personal oder dergleichen, in Schwingung versetzt werden kann, so daß das Gesamtbild des auf dem Anzeigebildschirm anzuzeigenden Probestücks „verwaschen" sein kann.
  • In der DE 198 12 599 A1 ist ein Verfahren zur Video-Mikroskopie angegeben, bei dem ein mit einem Mikroskop erzeugtes Bild eines Objektes auf einem Mikroskopiertisch mit einer Videokamera aufgenommen, digitalisiert, zwischengespeichert und auf dem Monitor eines Computers dargestellt wird. Dabei wird bei einer bekannten Vergrößerung ein Bilddetail ausgewählt. Die Bildkoordinaten dieses Bilddetails relativ zur Bildmitte des Monitorschirms werden maßstäblich bestimmt. Nach einer Vergrößerungsumschaltung bleibt die Lage des Bilddetails auf dem Monitorschirm erhalten, in dem der Mikroskopiertisch vorzeichenrichtig verfahren wird.
  • In der US 4,168,881 ist ein mit einer Dämpfungseinrichtung ausgestattetes Mikroskop angegeben.
  • Schließlich ist in der DE 196 09 288 A1 ein computergestütztes Video-Mikroskop beschrieben, welches als geschlossenes Gehäuse ausgebildet ist, in das das zu mikroskopierende Präparat über eine Einführöffnung eingezogen werden kann. Dabei kann ein Gesamtbild des Präparats mit Hilfe einer Diodenzeile erzeugt werden. Das vergrößerte Bild wird mit einem Video-Chip erfaßt.
    •
  • INHALT DER ERFINDUNG
  • Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine kastenförmige Mikroskopvorrichtung und ein Mikroskopsystem bereitzustellen, für welches die Bedienungseigenschaften und die gelieferte Beobachtungsumgebung hervorragend sind.
  • Um das oben beschriebene Ziel zu erreichen, wird die in Anspruch 1, 7, 8 und 18 angegebene Weiterbildung bekannter Mikroskope vorgeschlagen.
  • Die Mikroskopvorrichtung ist mit einem speziell dafür vorgesehenen optischen System zum Erfassen eines Gesamtbildes des gesamten Probestücks ausgerüstet. Aufgrund dieser Tatsache ist es möglich, dieses Gesamtbild sehr schnell zu erfassen.
  • Die Freiheit der Wahl des Ortes für die Mikroskopvorrichtung wird dadurch erhöht, dass das Trägerelement, das optische System und die Bilderzeugungsvorrichtung über den Antivibrationsmechanismus an der Rahmenstruktur befestigt ist.
    •
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Gesamtstrukturansicht eines Mikroskopsystems gemäß der ersten und vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • 2 ist eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer Mikroskopvorrichtung gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform.
  • 3 ist eine Strukturansicht dieser Mikroskopvorrichtung gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform.
  • 4 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Struktur eines Gehäuses dieser Mikroskopvorrichtung zeigt.
  • 5 ist eine Ansicht, welche ein Beispiel eines Gebietes eines Beobachtungsbereiches eines optischen Systems zum Erfassen eines Gesamtbildes darstellt.
  • 6 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Ablauf eines Steuerprogramms darstellt, das durch einen Host-Computer ausgeführt wird.
  • 7 ist eine Ansicht, welche eine Steuerbildschirm darstellt.
  • 8 ist eine Gesamtstrukturansicht eines Mikroskopsystems gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • 9 ist eine Strukturansicht dieser Mikroskopvorrichtung gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform.
  • 10 ist eine Gesamtstrukturansicht eines Mikroskopsystems gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • 11 ist eine Strukturansicht dieser Mikroskopvorrichtung gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform.
  • 12A ist eine Ansicht, welche die Positionen von Antivibrationselementen dieser vierten bevorzugten Ausführungsform darstellt.
  • 12B ist eine weitere Ansicht, welche die Positionen von Antivibrationselementen dieser vierten bevorzugten Ausführungsform darstellt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • AUSFÜHRUNGSFORM 1
  • Eine erste bevorzugte Ausführungsform der Mikroskopvorrichtung gemäß der Erfindung wird nachfolgend mit Bezug auf die 1 bis 7 der Zeichnungen erläutert. 1 ist eine Gesamtstrukturansicht eines Mikroskopsystems 1, in welches eine Mikroskopvorrichtung 10 eingebaut ist, gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung. 2 ist eine teilweise geschnitten dargestellte perspektivische Ansicht der Mikroskopvorrichtung 10 und 3 ist eine Strukturansicht der Mikroskopvorrichtung 10.
  • Wie in 1 dargestellt, weist dieses Mikroskopsystem 1 auf: Die Mikroskopvorrichtung 10, einen Host-Computer 50, eine Anzeigevorrichtung 60, und eine Eingabevorrichtung 70, welche aus einer Tastatur 70a und/oder einer Maus 70b und dergleichen bestehen kann. Der Host-Computer 50, die Anzeigevorrichtung 60, und die Eingabevorrichtung 70 sind auf einem Arbeitstisch 80 angeordnet. Die Mikroskopvorrichtung 10 ist unter dem Arbeitstisch 80 auf dem Fußboden angeordnet. Die Mikroskopvorrichtung 10, die Anzeigevorrichtung 60 und die Eingabevorrichtung 70 sind jeweils mit dem Host-Computer 50 verbunden.
  • Der Host-Computer 50 beinhaltet eine Steuerplatine für die Mikroskopvorrichtung 10, welche nachfolgend beschrieben werden wird, eine CPU, einen Speicher, etc. Eine GUI (Graphische Benutzeroberfläche) ist auf dem Host-Computer 50 vorgesehen. Der Host-Computer 50 zeigt auf der Anzeigevorrichtung 60 gemeinsam mit dem Mikroskopbild auch Bilder an, welche die Bedienperson zu verschiedenen Eingaben auffordern. Die Bedienperson betätigt die Eingabevorrichtung 70, während sie die Anzeigevorrichtung 60 beobachtet, und gibt Befehle für die Mikroskopvorrichtung 10 ein. Hierbei bezeichnet "Mikroskopbild" ein optisches Bild eines sehr kleinen Bereiches auf dem Probestück, welches durch die Mikroskopvorrichtung 10 erzeugt wird.
  • Wie in den 2 und 3 dargestellt, ist das optische System der Mikroskopvorrichtung 10 vollständig innerhalb eines Gehäuses (Chassis) 10a untergebracht. 4 ist eine Figur, welche die Struktur dieses Gehäuses 10a darstellt. Wie in 4 dargestellt, weist dieses Gehäuse 10a einen Rahmen 10c auf, welcher als rechtwinkliges Parallelepiped zusammengebaut ist, und eine Abdeckung 10d, welche die Außenseite dieses Rahmens 10c abdeckt. Es sei angemerkt, dass, auch wenn in 4 lediglich zwei seitliche Abdeckelemente der Abdeckung 10d dargestellt sind, diese Abdeckung 10d tatsächlich ausgebildet ist, um alle Seiten des Rahmens 10c sowie dessen Oberseite abzudecken. Außerdem ist in einer Seitenfläche der Abdeckung 10d eine Einführ- und Entnahmeöffnung 10b vorgesehen, welche sich frei öffnen und schließen lässt, um zu erlauben, dass ein nachfolgend noch beschriebener Objekttisch 11 sich aus dem Inneren des Gehäuses 10a nach außen ausfahren lässt und sich von außen wieder in das Gehäuse 10a einfahren lässt.
  • Der Rahmen 10c weist erwünschtermaßen mindestens einen rechtwinkligen Rahmen auf, welcher die Basis des Gehäuses 10a definiert, und vier Trägerpfosten, welche sich in senkrechter Richtung von den vier Ecken des rechtwinkligen Rahmens aus erstrecken. Auf diese Weise ist es möglich, die Festigkeit des Gehäuses 10a in senk rechter Richtung zu verstärken, und es ist möglich, die Widerstandsfähigkeit der Struktur gegenüber Erschütterungen zu verbessern.
  • Ein Objekttisch 11, welcher das zu untersuchende Probestück 10A trägt, ist innerhalb des Gehäuses 10a vorgesehen. Wie in den 2 und 3 dargestellt, wird dieser Objekttisch 11 durch Tischführungen 11a getragen die sich in einer Ebene befinden, welche horizontal und außerdem parallel zur X-Y-Ebene ist, die durch die X-Richtung und die Y-Richtung in 2 definiert ist. Der Objekttisch 11 weist die Tischführungen 11a und einen nicht in den Figuren dargestellten Getriebemechanismus auf, bei dem es sich beispielsweise um einen Zahnstangen-Getriebemechanismus oder dergleichen handeln kann, und er kann durch diesen Getriebemechanismus entlang der Tischführungen 11A in X-Richtung wie in den 2 und 3 dargestellt angetrieben werden. Es sei angemerkt, dass eine Kugelumlaufspindel oder eine Gewindespindel an Stelle des Zahnstangengetriebes verwendet werden kann. Durch Verschieben des Objekttisches 11 in X-Richtung wird das zu untersuchende Probestück 10A auf dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 und dem Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 eingestellt. Es sei angemerkt, dass die Hublänge, um welche der Objekttisch 11 in X-Richtung verschoben wird, ausreichend lang sein muss, damit der Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 zwischen dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 und der Einführ- und Entnahmeöffnung 10b vorgesehen sein kann.
  • Weiter ist der Objekttisch 11 so beschaffen, dass er sich nicht nur in X-Richtung verschieben lässt, sondern auch in Y-Richtung und in Z-Richtung, wie in 2 dargestellt. Die Y-Richtung und die Z-Richtung verlaufen beide senkrecht zur X-Richtung und ebenso senkrecht zueinander. Es sei angemerkt, dass die Z-Richtung die Richtung der optischen Achse der dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 zugewandten Objektivlinse ist. Die Objektivlinse wird später noch erläutert.
  • Im Inneren des Gehäuses 10a der Mikroskopvorrichtung 10 sind vorgesehen: Eine Mehrzahl von Objektivlinsen, welche Mikroskopbilder unterschiedlicher Vergröße rung erzeugen, und mindestens ein bilderzeugendes optisches System, welches ein
  • Bild des Probestücks erzeugt, ein Bilderzeugungsglied 18, welches einer vorbestimmten Position angeordnet ist, das optische Bild erfasst, welches durch das bilderzeugende optische System erzeugt wurde, und Bilddaten aus diesem erzeugt, und ein Durchstrahlungs-Beleuchtungsglied 16, welches den Objekttisch 11 von der der Objektivlinse gegenüberliegenden Seite beleuchtet.
  • Diese Mehrzahl von Objektivlinsen weist eine Objektivlinse 14a starker Vergrößerung und eine Objektivlinse 14b geringer Vergrößerung auf. Es ist möglich, die Beobachtungsvergrößerung gemäß dem Beobachtungsbereich des Probestücks auszuwählen. Die Objektivlinsen 14a und 14b werden von einem Objektivlinsen-Trägerglied 15 getragen. Dieses Objektivlinsen-Trägerglied 15 bringt entweder die Objektivlinse 14a starker Vergrößerung oder die Objektivlinse 14b geringer Vergrößerung zur Anwendung, damit sie dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 gegenüberliegt.
  • Das Objektivlinsen-Trägerglied 15 kann beispielsweise durch einen (nicht in den Figuren dargestellten) Revolverkopf gebildet sein, an welchem die Objektivlinsen 14a und 14b befestigt sind, gemeinsam mit einem (auch nicht in den Figuren dargestellten) Getriebemechanismus, welcher den Revolverkopf schrittweise mittels eines Schaltklinkenmechanismus dreht, um ihn in vorbestimmte Positionen zu bringen. Somit kann dieses Objektivlinsen-Trägerglied durch Betätigung des Getriebemechanismus so umgeschaltet werden, dass entweder die Objektivlinse 14a oder die Objektivlinse 14b dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 gegenüberliegt.
  • Die Mehrzahl der bilderzeugenden optischen Systeme weisen ein optisches System 17a zur Beobachtung eines mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes, ein optisches System 17b zur Beobachtung eines mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes, und ein optisches System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes auf. Diese optischen Systeme 17a, 17b und 17c werden von einem Optiksystem-Trägerglied 17 getragen. Dieses Optiksystem-Trägerglied 17 bringt entweder das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes, das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes, oder das optische System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes in den vom zum untersuchenden Probestück 10A zum Bilderzeugungsglied 18 verlaufenden vorbestimmten Lichtweg.
  • Das Optiksystem-Trägerglied 17 kann beispielsweise aufweisen: Ein (nicht in den Figuren dargestelltes) Trägerelement, welches das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes, das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes und das optische System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes trägt, so dass sie sich auf einer Linie entlang der Y-Richtung (der horizontalen Richtung) befinden, wie in 2 dargestellt, und einen (ebenfalls nicht in den Figuren dargestellten) Führungsmechanismus, welcher dieses Trägerelement entlang der Y-Richtung gleitend verschiebt. Es sei angemerkt, dass in 3 zur leichteren Erklärbarkeit die optischen Systeme 17a, 17b und 17c so dargestellt sind, als wären sie entlang der Z-Richtung in einer Linie angeordnet. Das Optiksystem-Trägerglied 17 wird so umgeschaltet, dass es, durch Antreiben des Führungsmechanismus, entweder das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes, das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes, oder das optische System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes des gesamten Probestückes in den vorbestimmten Lichtweg bringt.
  • Somit wird entweder das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes oder das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes in den Lichtweg eingebracht, welcher von der jeweiligen dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 gegenüberliegenden Objektivlinse 14a oder 14b zum Bilderzeugungsglied 18 verläuft. Somit bildet das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes, oder das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes, mit seiner eigenen charakteristischen Vergrößerung den Lichtstrom, der empfangen wird, nachdem er die Objektivlinse 14a starker Vergrößerung bzw. die Objektivlinse 14b geringer Vergrößerung durchlaufen hat.
  • Andererseits wird das optische System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes in den Lichtweg eingebracht, welcher vom Gesamtbild-Erfassungsbereich E2, der zwischen dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 und der Einführ- und Entnahmeöffnung 10b vorgesehen ist, zum Bilderzeugungsglied 18 verläuft. Das optische System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes erzeugt ein optisches Bild des Gesamtbild-Erfassungsbereiches E2. Weiter handelt es sich beim optischen System 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes um ein optisches Bilderzeugungssystem mit konstanter Brennweite. Mit anderen Worten ist es möglich, auf der Bilderzeugungsfläche des Bilderzeugungsglieds 18 ein optisches Bild des zu untersuchenden Probestücks A zu erzeugen, ohne irgendeine Brennweiteneinstellung vorzunehmen, da die Schärfentiefe ziemlich groß ist.
  • 5 zeigt ein Beispiel des Gebietes eines Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes. Wie in 5 dargestellt, entspricht das Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes ungefähr der Hälfte des Bereiches des gesamten zu untersuchenden Probestücks 10A. Dies ist deutlich breiter als das Gebiet des Betrachtungsbereiches, welcher festgelegt ist durch die Kombination entweder der Objektivlinse 14a starker Vergrößerung oder der Objektivlinse 14b geringer Vergrößerung zusammen mit dem optischen System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes bzw. dem optischen System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes.
  • Als nächstes wird das in 3 dargestellte Durchstrahlungs-Beleuchtungsglied 16 erläutert. Das Durchstrahlungs-Beleuchtungsglied 16 weist eine als Lichtquelle dienende Lampe 16a, ein Lichtverminderungsfilter 16b, ein Spezialfilter 16c, eine Feldblende 16d, eine Aperturblende 16e und dergleichen auf. Das Durchstrahlungs-Beleuchtungsglied 16 leitet Beleuchtungslicht, das von der Lichtquellen-Lampe 16a emittiert wird, über das Lichtverminderungsfilter 16b, das Spezialfilter 16c, die Feldblende 16d, die Aperturblende 16e und ein vorbestimmtes optisches System an den Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1.
  • Es sei angemerkt, dass das Durchstrahlungs-Beleuchtungsglied 16 in dieser bevorzugten Ausführungsform der Erfindung nicht nur den Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1, sondern auch den Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 anstrahlt. Dies kann auch durch Vorsehen einer weiteren Lichtquellen-Lampe 16a' erzielt werden, welche den Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 separat von der Lichtquellen-Lampe 16a anstrahlt, wie in 3 dargestellt. Alternativ ist es auch möglich, eine solche Anordnung vorzunehmen, dass das von der Lichtquellen-Lampe 16a emittierte Beleuchtungslicht nicht nur auf den Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 sondern auch auf den Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 fällt.
  • Das Lichtverminderungsfilter 16b weist eine Mehrzahl von Typen von Lichtverminderungsgliedern für unterschiedliche Lichtverminderungsgrößen auf und ist so beschaffen, dass es die Lichtverminderungsgröße verändern kann, welche es auf das von der Lichtquellen-Lampe 16a kommende Beleuchtungslicht anwendet. Beispielsweise kann das Lichtverminderungsfilter 16b eine drehbare Halteeinrichtung und eine Mehrzahl von Typen von Lichtverminderungsgliedern aufweisen, welche am Umfang dieser Halteeinrichtung vorgesehen sind. In einem derartigen Fall kann durch Drehen der Halteeinrichtung jeder der Lichtverminderungsglieder wahlweise entweder in den Lichtweg des Beleuchtungslichtes eingebracht oder aus diesem herausbewegt werden, so dass das Ausmaß der Lichtverminderung verändert werden kann.
  • Das Spezialfilter 16c weist eine Mehrzahl von Filtertypen auf, welche unterschiedliche optische Eigenschaften haben, und ist so beschaffen, dass es die Spektralverteilung über die Wellenlänge des von der Lichtquellen-Lampe 16a kommenden Beleuchtungslichts verändern kann. Beispielsweise kann in diesem Fall die Mehrzahl von Filtertypen die folgenden zwei Typen beinhalten: Ein monochromatisches Inter ferenzfilter und ein Farbkonversionsfilter. Außerdem kann das Spezialfilter 14c eine drehbare Halteeinrichtung und eine Mehrzahl von Typen von Filtergliedern beinhalten, welche um den Umfang dieser Halteeinrichtung herum vorgesehen sind. In einem derartigen Fall kann durch Drehen der Halteeinrichtung jedes der Filterglieder wahlweise entweder in den Lichtweg des Strahlenbündels des Beleuchtungslichtes eingebracht oder aus diesem herausbewegt werden, so dass die Spektralverteilung über die Wellenlänge verändert werden kann.
  • Die Feldblende 16d vergrößert oder verkleinert den Feldblendendurchmesser für das von der Lichtquellen-Lampe 16a kommende Beleuchtungslicht. Diese Feldblende 16d kann beispielsweise eine Mehrzahl von Lamellen und einen Nockenmechanismus aufweisen, genau wie eine Aperturblende des Typs, welcher herkömmlicherweise in einer fotografischen Kamera oder dergleichen vorgesehen ist, und kann den Feldblendendurchmesser durch Betätigung des Nockenmechanismus verändern.
  • Die Aperturblende 16e vergrößert oder verkleinert den Aperturblendendurchmesser für das von der Lichtquellen-Lampe 16a kommende Beleuchtungslicht. Diese Aperturblende 16e kann beispielsweise eine Mehrzahl von Lamellen und einen Nockenmechanismus aufweisen, genau wie eine Aperturblende des Typs, welcher herkömmlicherweise in einer fotografischen Kamera oder dergleichen vorgesehen ist, und kann den Aperturblendendurchmesser durch Betätigung des Nockenmechanismus verändern.
  • Zuvor wurden die verschiedenen Glieder erläutert, aus welchen die im Gehäuse 10a untergebrachte Mikroskopvorrichtung 10 aufgebaut ist. Jedes dieser Glieder weist einen Stellantrieb und einen Sensor auf. Der Stellantrieb, welcher jedes Glied antreibt, wird durch den Host-Computer 50 gesteuert. Weiter werden die Antriebszustände der Stellantriebe durch die Sensoren erfasst, welche Signale, die für diese repräsentativ sind, zum Host-Computer 50 übertragen. Im Folgenden werden der Sensor und der Stellantrieb für die jeweiligen Glieder mit Bezug auf 3 erläutert.
  • Am Objekttisch 11 sind ein Stellantrieb 115, welcher den Getriebemechanismus des Objekttisches 11 antreibt, und ein Positionserfassungssensor 125 vorgesehen, welcher dessen Position erfasst. Beispielsweise kann eine Kombination aus einem Schrittmotor und einem Anfangspunkt-Erfassungssensor am Objekttisch 11 vorgesehen sein. Am Objektivlinsen-Trägerglied 15 sind ein Stellantrieb 111, welcher den Getriebemechanismus des Objektivlinsen-Trägerglieds 15 antreibt, und ein Positionserfassungssensor 121 vorgesehen, welcher dessen Position erfasst. Beispielsweise kann eine Kombination aus einem Gleichstrommotor und einem Potentiometer am Objektivlinsen-Trägerglied 15 vorgesehen sein. Am Optiksystem-Trägerglied 17 sind ein Stellantrieb 117 vorgesehen, welcher den (nicht in den Figuren dargestellten) Mechanismus des Optiksystem-Trägerglieds 17 antreibt, und ein Positionserfassungssensor 127, welcher dessen Position erfasst. Beispielsweise kann eine Kombination aus einem Gleichstrommotor und einem Potentiometer am Optiksystem-Trägerglied 17 vorgesehen sein.
  • Am Lichtverminderungsfilter 16b sind ein Stellantrieb 116b, welcher das Lichtverminderungsfilter 16b dreht, und ein Positionserfassungssensor 126b vorgesehen, welcher dessen Drehposition erfasst. Am Spezialfilter 16c sind ein Stellantrieb 116c, welcher das Spezialfilter 16c dreht, und ein Positionserfassungssensor 126c vorgesehen, welcher dessen Drehposition erfasst. An der Feldblende 16d sind ein Stellantrieb 116d, welcher den Nockenmechanismus der Feldblende 16d betätigt, und ein Positionserfassungssensor 126d vorgesehen, welcher deren Drehposition erfasst. Und an der Aperturblende 16e sind ein Stellantrieb 116e, welcher den Nockenmechanismus der Aperturblende 16e betätigt, und ein Positionserfassungssensor 126e vorgesehen, welcher dessen Drehposition erfasst. Jeder dieser Stellantriebe und Positionserfassungssensoren kann beispielsweise eine Kombination aus einem Gleichstrommotor und einem Potentiometer beinhalten.
  • Die oben beschriebenen Stellantriebe 115, 111, 117 und 116b bis 116e, die Positionserfassungssensoren 125, 121, 127 und 126b bis 126e, die Lichtquellen-Lampen 16a und 16a', und das Bilderzeugungsglied 18 sind alle mit der Steuereinrichtung des Host-Computers 50 über einen Stecker 19 elektrisch verbunden.
  • Der Host-Computer 50 steuert die Ansteuerung der Stellantriebe 115, 111, 117 und 116b bis 116e, basierend auf den Signalen von den Positionserfassungssensoren 125, 121, 127 und 126b bis 126e, und basierend auf Befehlen, welche über die Eingabevorrichtung 70 eingegeben werden. Im Folgenden wird die Funktionsweise eines Steuerprogramms für die Mikroskopvorrichtung 10, welches durch die CPU des Host-Computers 50 ausgeführt wird, mit Bezug auf 6 erläutert, bei welcher es sich um dessen Ablaufdiagramm handelt. Es sei angemerkt, dass dieses Steuerprogramm vorab festgelegt ist und in einer nicht in den Figuren dargestellten Speichervorrichtung des Host-Computers 50 gespeichert ist.
  • Dieses Steuerprogramm wird gestartet, indem das Stromversorgungsgerät des Host-Computers 50 angeschaltet wird. Wenn somit das Stromversorgungsgerät eingeschaltet wurde, wird bei einem ersten Schritt S1 eine Steuerbildschirmmaske 78, beispielsweise wie dargestellt in 7, auf der Anzeigevorrichtung 60 angezeigt.
  • Wie in 7 dargestellt, sind auf dem Steuerbildschirm 78 Schaltflächen 71, 75, 76 und 77, sowie ein Gesamtbild 72 und ein vergrößertes Bild 74 dargestellt. Die Bedienperson kann durch Betätigen der Schaltflächen 71, 75, 76 und 77 die Einstellungen verschiedener Glieder der Mikroskopvorrichtung 10 verändern. Als Schaltflächen sind beispielsweise eine Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71, welche ein Ausfahren oder Einziehen des Objekttisches 11 anweist, eine Optionsschaltfläche 75, welche die Beobachtungsvergrößerung festlegt, eine Optionsschaltfläche 76, welche den Typ des zu verwendenden Spezialfilters 16c auswählt, und Schieber 77 vorhanden. Weiter ist auch ein kreuzförmiger Cursor 73 zur Bezeichnung des Beobachtungspunktes vorhanden. Diese Schaltflächen werden nachfolgend detailliert erläutert. Es sei angemerkt, dass das Gesamtbild 72 und das vergrößerte Bild 74, welches auf der in 7 dargestellten Schaltfläche dargestellt ist, in einem Zustand dargestellt sind, bei welchem ein zu untersuchendes Probestück 10A bereits auf den Objekttisch 11 gelegt wurde.
  • Der Host-Computer 50 zeigt den Steuerbildschirm 78 auf Basis der Werte der verschiedenen Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 an. Mit anderen Worten werden die Werte der verschiedenen Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10, d.h. die Betätigungszustände der Steuerschaltflächen 71, 75, 76 und 77, durch die auf dem Anzeigebildschirm 78 angezeigten Inhalte wiedergegeben.
  • In der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wählt die Bedienperson die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 auf dem Steuerbildschirm 78 unter Verwendung der Eingabevorrichtung 70 aus, so dass die Einführ- und Entnahmeöffnung 10b der Mikroskopvorrichtung 10 geöffnet wird. Weiter kann diese Einführ- und -Entnahmevorrichtung 10b durch Auswählen dieser Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 wieder geschlossen werden.
  • Als nächstes wird bei einem Schritt S2 bestimmt, ob die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 gewählt wurde. Wenn bei diesem Schritt S2 bestimmt wird, dass tatsächlich die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 gewählt wurde, dann geht der Steuerablauf weiter auf den nächsten Schritt S3. Bei diesem Schritt S3 wird ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 des Objekttisches 11 ausgegeben, so dass der Objekttisch 11 in X-Richtung verschoben wird und durch die Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b nach außen herausragt. In diesem Zustand, bei dem der Objekttisch 11 durch die Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b wie in 2 dargestellt nach außen vorsteht, legt die Bedienperson das zu untersuchende Probestück 10A auf den Objekttisch 11.
  • Als nächstes wird in einem Schritt S4 bestimmt, ob die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 erneut ausgewählt wurde. Wenn bei diesem Schritt S4 bestimmt wird, dass die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 tatsächlich in dem momentanen Zustand ausgewählt wurde, bei welchem der Objekttisch 11 durch die Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b, nach außen vorsteht, dann fährt der Steuerablauf mit dem nächsten Schritt S5 fort.
  • Bei diesem Schritt S5 wird ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 des Objekttisches 11 ausgegeben. Weiter wird ein Steuersignal an den Stellantrieb 117 des Optiksystem-Trägerglieds 17 ausgegeben. Gemäß dem Steuersignal verschiebt der Stellantrieb 115 den Objekttisch 11 in X-Richtung, so dass er ins Innere der Mikroskopvorrichtung 10 zurückgezogen wird. Der Objekttisch 11 hält an, wenn er einen Punkt erreicht, bei dem das zu untersuchende Probestück 10A sich im Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 befindet. Der Stellantrieb 117 schaltet das Optiksystem-Trägerglied 17 um, so dass das Optiksystem 17c für eine Erfassung eines Gesamtbildes in den Lichtweg eingebracht wird. Es sei angemerkt, dass die oben beschriebene 5 die Positionsbeziehung zwischen dem Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes des zu untersuchenden Probestücks 10A zeigt, und zwar in dem Zustand, bei welchem, gemeinsam mit dem (in Schritt S5) in den Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 eingebrachten zu untersuchenden Probestück 10A, auch das Optiksystem 17c zum Erfassen eines Gesamtbildes in den Lichtweg eingebracht wurde.
  • Im nächsten Schritt S6 werden die Bilddaten für ein Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A erzeugt, welches durch das Bilderzeugungsglied 18 erfasst wurde, und auf dem Steuerbildschirm 78 angezeigt. Es ist für die Bedienperson möglich, das Gesamtbild 72 auf dem Steuerbildschirm 78 der Anzeigevorrichtung 60 anzuzeigen, indem einfach das zu untersuchende Probestück 10A auf den Objekttisch 11 gelegt wird und die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 gewählt wird. Es sei angemerkt, dass der Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 durch die Beleuchtungslampe 16a' ausreichend hell zum Erhalten dieses Gesamtbildes beleuchtet ist. Die Erzeugung der Bilddaten für das Gesamtbild wird nachfolgend beschrieben.
  • Dieses Gesamtbild 72 wird fortlaufend auf dem Steuerbildschirm 78 angezeigt, bis die Bedienperson einen Befehl zum Beenden dieser Anzeige erteilt hat.
  • Als nächstes wird in Schritt S7 ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 ausgegeben, um den Objekttisch 11 erneut in X-Richtung zu verschieben. Diese Bewegung des Objekttisches 11 wird angehalten, wenn das zu untersuchende Probestück 10A am Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 ankommt. Weiter werden, gemäß dem Betätigungszustand der Optionsschaltfläche 75, Steuersignale an die Stellantriebe 115 und 117 ausgegeben, um das Objektivlinsen-Trägerglied 15 bzw. das Optiksystem-Trägerglied 17 umzuschalten. Das Objektivlinsen-Trägerglied 15 stellt entweder die Objektivlinse 15a starker Vergrößerung oder die Objektivlinse 14b geringer Vergrößerung so ein, dass sie dem zu untersuchenden Probestück 10a, das sich im Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 befindet, gegenüberliegt. Das Optiksystem-Trägerglied 17 bringt das optische System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes oder das optische System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes in den Lichtweg ein.
  • Nachdem die Beobachtungsvergrößerung in Schritt S7 festgelegt wurde, geht der Steuerablauf weiter mit Schritt S8. Bei diesem Schritt S8 wird bestimmt, ob irgendein Befehl von der Bedienperson durch Betätigen irgendeiner der Steuerschaltflächen 73, 75, 76 oder 77 auf dem Steuerbildschirm 78 erteilt wurde, um den Wert irgendeiner der Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 zu verändern. Im nächsten Schritt S9 werden Steuersignale an die verschiedenen Stellantriebe 111, 115, 117 und 116b bis 116e in geeigneter Weise zum Verändern der Werte der Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 gemäß den Betätigungszuständen der Steuerschaltflächen 73, 75, 76 und 77 ausgegeben. Die verschiedenen Stellantriebe 111, 115, 117 und 116b bis 116e ändern die Einstellungen der verschiedenen Glieder der Mikroskopvorrichtung 10 gemäß diesen Steuersignalen.
  • Gemäß dieser ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein kreuzförmiger Cursor 73 auf dem Gesamtbild 72 in überlagernder Weise vorgesehen, wie in 7 dargestellt. Dieser kreuzförmige Cursor 73 bezeichnet die Position auf dem Gesamtbild 72, welche dem vergrößerten Bild 74 entspricht. Die Bedienperson kann unschwierig den momentanen Beobachtungspunkt auf dem zu untersuchenden Probestück 10A durch die Position des kreuzförmigen Cursors 73 auf dem Gesamtbild 72 feststellen. Im Folgenden wird, wenn der kreuzförmige Cursor 73 betätigt wird, die Änderung der Werte der Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 durch diese Betätigung im Hinblick auf die Prozeduren der Schritte S8 und S9 erläutert.
  • Die Bedienperson betätigt den kreuzförmigen Cursor 73 auf dem Steuerbildschirm 78 unter Verwendung der Eingabevorrichtung 70 und bezeichnet den gewünschten Beobachtungspunkt auf dem Gesamtbild 72. Wenn der Beobachtungspunkt auf diese Weise durch den kreuzförmigen Cursor 73 bezeichnet wurde, gibt der Host-Computer 50 ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 für den Objekttisch 11 aus und verschiebt den Objekttisch 11 in X-Richtung und in Y-Richtung, um die optische Achse der momentan eingestellten Objektivlinse 14a oder 14b (je nach Fall) auf den Beobachtungspunkt auszurichten. Wenn die optische Achse der Objektivlinse auf den Beobachtungspunkt ausgerichtet wurde, wird der Objekttisch 11 in Z-Richtung verschoben, so dass eine Brennpunkteinstellung vorgenommen wird.
  • Diese Brennpunkteinstellung kann unschwierig durch ein Hill-Climbing-Verfahren (Gradientenverfahren) oder dergleichen implementiert werden, basierend auf der Stärke des Bildsignals, das durch das Bilderzeugungsglied 18 erfasst wird. Das Brennpunkteinstellverfahren ist ein an sich bekanntes Verfahren, welches in einer Videokamera oder dergleichen verwendet wird, und dessen Beschreibung entfällt hier der Kürze halber. Es sei angemerkt, dass es für diese Brennpunkteinstellung akzeptabel ist, das optische System objektivlinsenseitig zu verschieben, anstatt den Objekttisch 11 zu verschieben. Nach der Durchführung einer Brennpunkteinstellung wird das Bilderzeugungsglied 18 angesteuert, und ein vergrößertes Bild des Beobachtungspunktes auf dem zu untersuchenden Probestück 10A, mit anderen Worten Bilddaten des mikroskopischen Bildes, werden erfasst. Dieses erfasste Mikroskop bild wird auf dem Steuerbildschirm 78 als vergrößertes Bild 74 angezeigt. Der Vorgang der Brennpunkteinstellung wird nachfolgend erläutert.
  • Bisher wurde die Art und Weise erläutert, auf welche der Beobachtungspunkt unschwierig durch Betätigen des kreuzförmigen Cursors 73 angegeben werden kann. Die Änderung der Werte der Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 durch Betätigung der anderen Steuerschaltflächen 75, 76 und 77 wird nachfolgend ebenfalls erläutert.
  • Wie zuvor erläutert, werden in den Schritten S8 und S9 die Werte der Einstellungen der Mikroskopvorrichtung 10 geändert, und das vergrößerte Bild 72 des zu untersuchenden Probestücks 10A um den gewünschten Beobachtungspunkt herum wird auf dem Steuerbildschirm 78 angezeigt. Danach geht der Steuerungsablauf weiter auf Schritt S10. Bei diesem Schritt S10 wird bestimmt, ob die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 gewählt wurde oder nicht, nachdem das Bild des Probestückes auf dem Steuerbildschirm 78 betrachtet wurde. Wenn in Schritt S10 bestimmt wird, dass die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 tatsächlich gewählt wurde, geht die Ablaufsteuerung weiter auf Schritt S11. Bei diesem Schritt S11 wird ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 des Objekttisches 11 ausgegeben und der Objekttisch 11 wird in X-Richtung verschoben, so dass er durch die Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b nach außen vorsteht. Die Bedienperson entnimmt das zu untersuchende Probestück 10A, wenn der Objekttisch 11 den Zustand, bei welchem er durch die Einführ- und Entnahmeöffnung 10b nach außen vorsteht, erreicht und dort angehalten hat.
  • Außerdem geht, wenn in Schritt S10 bestimmt wurde, dass die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 nicht gewählt wurde, dann der Steuerungsablauf zurück auf Schritt S8. Wenn eine Änderung einiger Einstellwerte der Mikroskopvorrichtung 10 bei diesem Schritt S8 angewiesen wurde, wird dieser Einstellwert der Mikroskopvorrichtung 10 in Schritt S9 geändert, und ein vergrößertes Bild 74, wel ches auf dem neu eingestellten Wert basiert, wird auf dem Anzeigebildschirm angezeigt.
  • Nachdem das zu untersuchende Probestück 10A entnommen wurde, wird der Steuerablauf mit Schritt S12 fortgesetzt. Bei diesem Schritt S12 wird bestimmt, ob die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 erneut gewählt wurde. Wenn bei diesem Schritt S12 bestimmt wurde, dass die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 tatsächlich gewählt wurde, wird der Steuerablauf fortgesetzt mit dem nächsten Schritt S13. Bei diesem Schritt S13 wird ein Steuersignal an den Stellantrieb 115 des Objekttisches 11 ausgegeben, so dass der Objekttisch 11 in X-Richtung verschoben wird, so dass er ins Innere der Mikroskopvorrichtung 10 zurückgezogen wird.
  • Nachdem der Objekttisch 11 in der Mikroskopvorrichtung 10 untergebracht wurde, beendet die Bedienperson den Betrieb des Steuerprogramms auf dem Host-Computer 50, indem sie dieses schließt. Danach wird die Stromversorgung der Mikroskopvorrichtung 10 und des Host-Computers 50 abgeschaltet.
  • Als nächstes wird die Erzeugung von Bilddaten für das Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A in Schritt S6 des oben beschriebenen Ablaufdiagramms von 6 erläutert. Bei einer kastenförmigen Mikroskopvorrichtung der verwandten Technik war zum Anzeigen eines derartigen Gesamtbildes des zu untersuchenden Probestücks ein sehr langer Zeitraum erforderlich. In diesem Zusammenhang wird bei der Mikroskopvorrichtung 10 gemäß der Erfindung, wie offenbart in der japanischen Patentoffenlegungssschrift Nr. H10-333056, der Objekttisch 11 mit dem auf diesem angebrachten zu untersuchenden Probestück 10A schrittweise verschoben und Bilddaten werden durch das Bilderzeugungsglied 18 erzeugt, während er sich auf seiner jeweiligen Position befindet. Der Host-Computer 50 erzeugt Bilddaten für das Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A, indem er die auf diese Weise durch das Bilderzeugungsglied 18 erfassten Bilddaten zusammenfügt.
  • Im Folgenden werden die Details der Erzeugung der Bilddaten für das Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A mit Bezug auf 5 erläutert.
  • Wie in 5 dargestellt, ist in dieser ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung das Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes ausreichend breit, um fast die Hälfte des zu untersuchenden Probestücks 10A abzudecken. Auf Grund dessen ist es möglich, das gesamte zu untersuchende Probestück 10A in zwei Schritten abzudecken. Es sei angemerkt, dass in 5 die linke Seite der Figur die Seite ist, auf welcher sich die Einführ- und Entnahmeöffnung 10b befindet.
  • Zuerst wird, wie in 5 dargestellt, der Objekttisch 11 so verschoben, dass das Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes die Bereichshälfte des zu untersuchenden Probestücks 10A abdeckt, welche sich auf der der Einführ- und Entnahmeöffnung 10b gegenüberliegenden Seite befindet. Der Objekttisch 11 wird in der Position angehalten, in welcher das Gebiet des Beobachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes die Bereichshälfte des zu untersuchenden Probestücks 10A abdeckt, die sich auf der der Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b gegenüberliegenden Seite befindet, und in diesem Zustand wird das Bilderzeugungsglied 18 angesteuert und Bilddaten werden erfasst. Als nächstes wird der Objekttisch 11 so verschoben, dass das Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes die verbleibende Bereichshälfte des zu untersuchenden Probestücks 10A abdeckt, die sich auf der der Einführ- und -Entnahmeöffnung 10B zugewandten Seite befindet. Der Objekttisch 11 wird in der Position angehalten, in welcher das Gebiet des Betrachtungsbereiches e1 des optischen Systems 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes dieses anderen verbleibenden Bereiches des zu untersuchenden Probestücks 10A abdeckt, und in diesem Zustand wird das Bilderzeugungsglied 18 erneut angesteuert und weitere Bilddaten werden erfasst.
  • Das Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A wird synthetisiert, indem die beiden Sätze von Bilddaten, welche in diesen zwei Positionen erfasst wurde, miteinander verbunden werden. Das synthetisierte Gesamtbild 72 wird auf dem Steuerbildschirm 78 der Anzeigevorrichtung 60 angezeigt.
  • Wie zuvor erläutert wurde, verfügt, um ein Gesamtbild des zu untersuchenden Probestücks 10A zu erfassen, das optische System 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes des gesamten Probestücks über ein breites Betrachtungsgebiet e1. Dadurch bedingt ist es möglich, dass dieses Gesamtbild relativ schnell erfasst werden kann.
  • Weiter handelt es sich beim Bilderzeugungsglied 18 zur Erfassung des Gesamtbildes des zu untersuchenden Probestücks 10A um ein und denselben wie das Bilderzeugungsglied 18 zur Erfassung des vergrößerten Bildes. Dies kann erzielt werden, indem ein Umschalten zwischen dem optischen System 17c zur Erfassung eines Gesamtbildes des gesamten Probestücks, und dem optischen System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes oder dem optischen System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes ermöglicht wird. Bedingt durch diese Struktur wird erreicht, dass die Anzahl der Teile, aus welchen die Mikroskopvorrichtung 10 besteht, nicht erhöht wird.
  • Als nächstes wird der Ablauf der Änderung der Einstellungswerte der Mikroskopvorrichtung 10 in den Schritten S8 und S9 des oben beschriebenen Flussdiagramms von 8 erläutert.
  • Es wurde das Beispiel erörtert, bei welchem in den Schritten S8 und S9 der gewünschte Beobachtungspunkt von der Bedienperson durch Betätigen des kreuzförmigen Cursors 73 auf dem Gesamtbild 72 bezeichnet wurde. Der Einstellungswert für die Mikroskopvorrichtung 10 wurde gemäß der Position des kreuzförmigen Cursors 73 geändert. Nun wird das Verfahren zur Änderung der Einstellwerte in der Mikroskopvorrichtung 10 durch Betätigung der Steuerschaltflächen 75, 76 und 77 erläutert.
  • Es sei angemerkt, dass die Schieber 77 umfassen: Einen Lampen-Einstellschieber 77a zur Einstellung der Spannung der Lichtquellen-Lampe 16a, einen Lichtverminderungsgrößen-Einstellschieber 77b zur Wahl der durch das Lichtverminderungsfilter 16b zu liefernden Lichtverminderungsgröße, einen Feldblenden-Einstellschieber 77d zur Einstellung des Blendendurchmessers der Feldblende 16d, und einen Aperturblenden-Einstellschieber 77e zur Einstellung des Blendendurchmessers der Aperturblende 16e. Weiter beinhalten sie einen X-Positions-Einstellschieber 77x zur Einstellung der Position in X-Richtung des Objekttisches 11, einen Y-Positions-Einstellschieber 77y zur Einstellung der Position in Y-Richtung des Objekttisches 11, einen Brennpunkt-Einstellschieber 77z zur Durchführung einer Brennpunkteinstellung, einen Zoom-Einstellschieber 77f zur Durchführung eines digitalen Zoomvorgangs, und dergleichen. Es wird der Bedienperson ermöglicht, die Einstellwerte der Lichtverminderungsgröße usw. nach ihren Wünschen zu verändern, indem sie diese Schieber 77a bis 77f einstellt.
  • Zuerst wird eine Brennpunkteinstellung für den gewünschten Beobachtungspunkt unter Verwendung des Schiebers 77 durchgeführt. Die Bedienperson betätigt den Brennpunkt-Einstellschieber 77z unter Verwendung der Eingabevorrichtung 70 und führt dadurch eine Brennpunkteinstellung durch Verschieben des Objekttisches 11 in Z-Richtung in 3 durch. Nachdem die Bedienperson auf diese Weise eine Brennpunkteinstellung vorgenommen hat, betätigt sie den X-Positions-Einstellschieber 77x, um den gewünschten Beobachtungspunkt in das Gebiet des Beobachtungsbereiches der Objektivlinse zu bringen, und dadurch wird der Objekttisch 11 in X-Richtung verschoben. In identischer Weise betätigt sie den Y-Positions-Einstellschieber 77y, um den Objekttisch 11 in Y-Richtung zu verschieben. Wenn dies zu diesem Zeitpunkt erforderlich ist, kann sie durch Betätigen der Optionsschaltfläche 75 die Beobachtungsvergrößerung auf eine geringe Vergrößerung einstellen und führt dann eine Brennpunkteinstellung für den gewünschten Beobachtungspunkt durch. Danach stellt sie durch Betätigen der Optionsschaltfläche 75 die Beobachtungsvergrößerung auf eine starke Vergrößerung ein und führt erneut eine Brennpunkteinstellung für den gewünschten Beobachtungspunkt durch, indem sie erneut eine geringfügige Betätigung des Brennpunkt-Einstellschiebers 77z durchführt.
  • Wenn die Bedienperson der Meinung ist, dass die Helligkeit des vergrößerten Bildes 74 auf dem Steuerbildschirm 78 nicht passend ist, kann sie den Lampen-Einstellschieber 77a und den Lichtverminderungsgrößen-Einstellschieber 77b betätigen. Oder sie kann lediglich entweder den Lampen-Einstellschieber 77a oder den Lichtverminderungsgrößen-Einstellschieber 77b betätigen. Dadurch führt sie eine Einstellung der Helligkeit der Lichtquellen-Lampe 16a durch und stellt die Helligkeit des vergrößerten Bildes 74 ein. Es sei angemerkt, dass die Lichteinstellung des vergrößerten Bildes 78 automatisch durchgeführt wird, beispielsweise wird die Helligkeit der Lichtquellen-Lampe 16a in Abhängigkeit von der Beobachtungsvergrößerung geändert. Weiter wird, genau wie bei der automatischen Belichtung in der fotografischen Kamera, der Verstärkungsfaktor des Verstärkers für das vom Bilderzeugungsglied 18 erzeugte Bildsignal automatisch verändert, wenn die Helligkeit des vergrößerten Bildes 78 bedingt durch die Öffnungsgröße der Blende oder die Schattierung des Probestücks verändert wurde. Es ist für die Bedienperson möglich, die Helligkeit des vergößeren Bildes 78 zu verändern, indem sie die Einstellschieber 77a und 77b nach ihren Wünschen betätigt.
  • Wenn die Qualität des vergrößerten Bildes 74 schlecht ist, kann es der Fall sein, dass das Beleuchtungslicht andere Bereiche als den Beobachtungspunkt anstrahlt und das Streulicht von diesen anderen Bereichen die Qualität des vergrößerten Bildes 74 beeinträchtigt. In einem derartigen Fall sollte die Bedienperson den Feldblenden-Einstellschieber 77d betätigen und den Öffnungsdurchmesser der Feldblende 16d vermindern, um so eine Einstellung vorzunehmen, die gewährleistet, dass das Beleuchtungslicht soweit als möglich keine Bereiche außer dem Beobachtungspunkt anstrahlt. Wenn weiter die Bedienperson wünscht, dem Kontrast Vorrang zu geben, und zwar sogar in dem Maße, dass darunter die Auflösung des vergrößerten Bildes 74 in X- oder Y-Richtung leidet, ist es für sie effektiv, den Öffnungsblenden- Einstellschieber 77e zu betätigen und den Öffnungsdurchmesser der Aperturblende 16e zu vermindern. Die Bedienperson legt den Wert des Öffnungsdurchmessers der Öffnungsblende 16e auf einen Wert fest, den sie für den geeignetsten hält, und beobachtet dabei genau die Auflösung des vergrößerten Bildes 74 in X- und Y-Richtung, und ebenso den Kontrast. Wenn der Öffnungsdurchmesser der Aperturblende 16e verändert wird, wird auch die Helligkeit des vergrößerten Bildes 74 verändert. Dadurch bedingt kann die Bedienperson auch die Helligkeit des Beleuchtungslichts anpassen, indem sie nach Wunsch den Lampen-Einstellschieber 77a und/oder den Lichtverminderungsgrößen-Einstellschieber 77b betätigt.
  • Die Bedienperson kann das vergrößerte Bild 74 in jeder gewünschten Größe anzeigen, indem sie den Zoom-Einstellschieber 77f einstellt. Wenn sie dies tut, wird der mittlere Abschnitt des vergrößerten Bildes 74 ausgeschnitten und vergrößert, so dass ein elektronisch gezoomtes Bild geliefert wird.
  • Gemäß der Betätigung der Steuerschaltflächen 75, 76 und 77 wie oben erläutert, steuert der Host-Computer 50 die Stellantriebe 111, 115, 117 und 116b bis 116e usw., wie nachstehend beschrieben wird. Zu diesem Zeitpunkt steuert der Host-Computer 50 das Ansteuern der Stellantriebe 111, 115, 117 und 116b bis 116e, und überwacht dabei die Erfassungssignale von den Positionssensoren 121, 125, 127 und 126b bis 126e.
  • Der Stellantrieb 116c wird gemäß dem Betätigungszustand der Optionsschaltfläche 76 so angesteuert, dass der Filtertyp des Spezialfilters 16c umgeschaltet wird. Und die Ansteuerspannung, welche der Lichtquellen-Lampe 16a zugeführt wird, wird gemäß der Betätigung des Lampen-Einstellschiebers 77a verändert. Außerdem wird die durch das Lichtverminderungsfilter 16b gelieferte Lichtverminderungsgröße durch Ansteuern des Stellantriebs 116b gemäß der Betätigung des Lichtverminderungsgrößen-Einstellschiebers 77b verändert. Und der Öffnungsdurchmesser der Feldblende 16d wird durch Ansteuern des Stellantriebs 116d gemäß der Betätigung des Feldblenden-Einstellschiebers 77d verändert. Außerdem wird der Öffnungs durchmesser der Aperturblende 16e durch Ansteuern des Stellantriebs 116e gemäß der Betätigung des Aperturblenden-Einstellschiebers 77e verändert. Der Stellantrieb 115 wird gemäß der Betätigung des X-Positions-Einstellschiebers 77x und des Y-Positions-Einstellschiebers 77y angesteuert, so dass die Position des Objekttisches in X-Richtung bzw. in Y-Richtung verändert wird. Die Beobachtungsvergrößerung wird durch Ansteuern der Stellantriebe 111 und 117 gemäß dem Auswahlzustand der Optionsschaltfläche 75 angesteuert. Der Stellantrieb 115 wird gemäß der Betätigung des Brennpunkt-Einstellschiebers 77z angesteuert, so dass die Position des Objekttisches 11 in Z-Richtung verändert wird. Weiter wird eine Bildverarbeitung mit den Bilddaten für das vergrößerte Bild 74 durchgeführt, so dass eine elektronische Vergrößerung oder Verkleinerung gemäß der Betätigung des Zoom-Einstellschiebers 77f durchgeführt wird.
  • Wie oben erläutert, wird in dieser ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ein optisches System verwendet, bei dem das Gebiet des Beobachtungsbereiches breit ist und ein Bild des gesamten Probestücks schrittweise erfasst wird. Dadurch ist es möglich, ein Gesamtbild schnell zu erhalten.
  • Durch Umschalten zwischen dem optischen System zur Erfassung eines Gesamtbildes des gesamten Probestücks, dem optischen System zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes und dem optischen System zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößeren Bildes wird eine Anordnung gewählt, bei welcher jedes dieser optischen Systeme nach Wunsch im Lichtweg zwischen dem zu untersuchenden Probestück 10A und dem Bilderzeugungsglied positioniert werden kann. Dadurch ist es möglich, das gleiche Bilderzeugungsglied zur Erfassung eines Bildes des gesamten Probestücks zu verwenden und ein vergrößertes Bild des abzubildenden Abschnitts zu erfassen, und demgemäß ist es möglich, eine Erhöhung der Anzahl der Teile der Mikroskopvorrichtung insgesamt zu vermeiden.
  • Es sei angemerkt, dass in der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung der Verschiebehub des Objekttisches 11 in X-Richtung auf einen ausreichend großen Wert festgelegt ist, so dass es möglich ist, den Gesamtbild-Erfassungsbereich E2 zwischen der Einführ- und -Entnahmeöffnung 10b der Mikroskopvorrichtung 10 und dem Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 vorzusehen. Jedoch gäbe es auch die Möglichkeit, einen Handhabungsmechanismus, d.h. einen sogenannten Roboterarm vorzusehen, anstatt einen derart langen Verschiebehub des Objekttisches 11 in X-Richtung festzulegen. Hierbei wird mit "Handhabungsmechanismus" ein Mechanismus bezeichnet, welcher das zu untersuchende Probestück 10A greift und dann das zu untersuchende Probestück 10A zwischen dem Objekttisch 11, welcher sich in der Position des Mikroskopbild-Erfassungsbereich E1 befindet, und der Einführ- und Entnahmeöffnung 10b verschiebt. Jedoch lässt sich das Verfahren, bei dem der Hub des Objekttisches 11 in X-Richtung auf einen ausreichend großen Wert eingestellt wird, einfacher implementieren, da in diesem Fall kein spezieller Mechanismus erforderlich ist.
  • Weiter ist die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 auf dem Steuerbildschirm 78 der Anzeigevorrichtung 60 vorgesehen, welche ein Herausschieben und Zurückziehen des Objekttisches 11 durchführt. Jedoch besteht anstelle dieser Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 auch die Möglichkeit, einen Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltknopf 79 von dem in 2 dargestellten Typ auf der Außenfläche des Gehäuses 10a der Mikroskopvorrichtung 10 vorzusehen. Weiter wäre es auch möglich, sowohl die Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltfläche 71 auf dem Steuerbildschirm 78 als auch den Probestück-Einführ- und -Entnahmeschaltknopf 79 auf der Außenfläche des Gehäuses 10a vorzusehen.
  • Weiter sei angemerkt, dass in dieser ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die gesamte Bedienung der Mikroskopvorrichtung und Beobachtung der Proben auf dem Steuerbildschirm erfolgt. Aus diesem Grund ist keine Okularlinse vorgesehen. Und zwar deshalb, da in Verbindung mit den vor kurzem erfolgten schnellen Verbesserungen, insbesondere die Vergrößerung der Pixelzahl von Bilderfassungsvorrichtungen, die Qualität elektronischer Bilder genau so gut ist wie die bei Okular-Beobachtungen, welche durch eine Okularlinse erfolgen. Es ist jedoch auch möglich, dieses Mikroskopsystem mit einer Kombination aus beiden, Steuerbildschirm und Okularlinse, auszurüsten. Die dritte bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, welche nachfolgend beschrieben wird, ist ein Beispiel für dieses Konzept.
  • AUSFÜHRUNGSFORM 2
  • Als nächstes wird eine zweite bevorzugte Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die 8 und 9 beschrieben. 8 ist eine Gesamtstrukturansicht, welche ein Mikroskopsystem 2 zeigt, das eine Mikroskopvorrichtung 20 gemäß dieser zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung beinhaltet. Und 9 ist eine Strukturansicht dieser Mikroskopvorrichtung 20. Es sei angemerkt, dass in den 8 und 9 Strukturelemente der zweiten bevorzugten Ausführungsform, welche denen der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform entsprechen und die gleichen Funktionen haben, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind.
  • Wie in 8 dargestellt, weist dieses Mikroskopsystem 2 die Mikroskopvorrichtung 20 und eine Eingabevorrichtung 70 auf, die beide auf einem Arbeitstisch 80 vorgesehen sind. Wie in 9 dargestellt, ist ein Steuerglied 29, welches den Betrieb der Mikroskopvorrichtung 20 steuert, in einem Gehäuse 20a der Mikroskopvorrichtung 20 untergebracht. Weiter ist die Mikroskopvorrichtung 20 mit einer Anzeigevorrichtung ausgerüstet, welche ein Gesamtbild und ein vergrößertes Bild des zu untersuchenden Probestücks 10A, verschiedene Steuerschaltflächen, und dergleichen anzeigt.
  • Mit dieser Mikroskopvorrichtung 20 gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform sind, genau wie bei der Mikroskopvorrichtung 10 der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform, das gesamte optische System und der gesamte Mechanismus innerhalb des Gehäuses 20a untergebracht. Die Funktionen und Operationen der optischen Systeme und der Mechanismen sind identisch zu denen in der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform. Hierbei werden sich die nachfolgenden Erläuterungen auf die Punkte konzentrieren, bei denen ein Unterschied zur ersten bevorzugten Ausführungsform besteht.
  • Das Steuerglied 29, welches im Gehäuse 20a der Mikroskopvorrichtung 20 untergebracht ist, weist eine nicht in den Figuren dargestellte Schaltungsplatine auf, welche über die gleichen Funktionen verfügt wie der Host-Computer 50 der ersten bevorzugten Ausführungsform, und verfügt auch über eine ebenfalls nicht in den Figuren dargestellte elektrische Stromquelle.
  • Die Anzeigevorrichtung 21 verfügt über die gleichen Funktionen wie die Anzeigevorrichtung 60 der ersten bevorzugten Ausführungsform. Der Anzeigebildschirm der Anzeigevorrichtung 21 ist auf der Seitenfläche des Gehäuses 20a der Mikroskopvorrichtung 20 angeordnet, und zwar in einer Position, in welcher sie eine Bedienperson ohne weiteres sehen kann. Bei dieser Anzeigevorrichtung 21 kann es sich um eine Anzeigevorrichtung vom Flüssigkristalltyp oder dergleichen handeln. Es ist möglich, die Gesamtgröße der Mikroskopvorrichtung 20 relativ gering zu halten, indem die Anzeigevorrichtung 21 als Anzeigevorrichtung vom Flüssigkristalltyp aufgebaut ist, bei der eine relativ dünne Ausführung möglich ist. Es sei angemerkt, dass die Anzeigevorrichtung 21 separat von der Mikroskopvorrichtung 20, d.h. nicht auf dem Gehäuse 20a befestigt, vorgesehen sein kann, sofern der Anzeigebildschirm der Anzeigevorrichtung 20 für die Bedienperson leicht zu sehen ist.
  • Das Steuerglied 29 ist mit der Anzeigevorrichtung 21 und der Eingabevorrichtung 70 verbunden, und ist auch mit den verschiedenen Stellantrieben der Mikroskopvorrichtung 20 verbunden.
  • Die Bedienperson gibt Befehle – beispielsweise den Objekttisch auszufahren – unter Verwendung der Eingabevorrichtung 70 ein, während sie die Anzeigevorrichtung 21 beobachtet, welche auf der Seitenfläche der Mikroskopvorrichtung 20 vorgesehen ist. Steuersignale werden von der Bedienperson an das Steuerglied 29 der Mikroskopvorrichtung 20 durch Eingeben von Befehlen abgeschickt.
  • Mit anderen Worten sind gemäß dieser zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die optischen Systeme, Mechanismen, Schaltungsbauteile, Stromversorgungsgeräte usw., welche für eine Mikroskopbeobachtung erforderlich sind, alle zu einer einzigen Einheit kombiniert, so dass die Mikroskopvorrichtung gebildet wird. Dadurch wird es einfach, den Standort der Mikroskopvorrichtung zu verändern und sie zu positionieren.
  • AUSFÜHRUNGSFORM 3
  • Als nächstes wird eine dritte bevorzugte Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die 10 und 11 beschrieben. 10 ist eine Gesamtstrukturansicht, welche ein Mikroskopsystem 3 zeigt, das eine Mikroskopvorrichtung 30 gemäß dieser dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aufweist. Und 11 ist eine Strukturansicht dieser Mikroskopvorrichtung 30. Es sei angemerkt, dass in den 10 und 11 Strukturelemente der dritten bevorzugten Ausführungsform, welche denen der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform entsprechen und die gleichen Funktionen haben, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind.
  • Wie in 10 dargestellt, weist diese Mikroskopvorrichtung 3 einen Host-Computer 50 auf, welcher auf einem Arbeitstisch 80 angeordnet ist, sowie eine Anzeigevorrichtung 60 und eine Eingabevorrichtung 70, welche in ähnlicher Weise auf dem Arbeitstisch 80 angeordnet sind, sowie die Mikroskopvorrichtung 30, welche unter dem Arbeitstisch 80 auf dem Fußboden angeordnet ist.
  • Mit dieser Mikroskopvorrichtung 30 gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform sind, genau wie bei der Mikroskopvorrichtung 10 der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform, das gesamte optische System und der gesamte Mechanismus innerhalb des Gehäuses 30a untergebracht. Die Funktionen und Operationen der optischen Systeme und der Mechanismen sind identisch zu denen in der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform. Hierbei werden sich die nachfolgenden Erläuterungen auf die Punkte konzentrieren, bei denen ein Unterschied zur ersten bevorzugten Ausführungsform besteht.
  • Wie in den 10 und 11 dargestellt, weist diese Mikroskopvorrichtung 30 weiter eine Okulareinheit (Okularbeobachtungssystem) 31, und ein optisches System auf, welches von einem zu untersuchenden Probestück 10A kommendes Licht zu dieser Okulareinheit 31 lenkt. Die Okulareinheit 31 kann beispielsweise zwei Okularlinsen aufweisen, eine für das linke Auge und eine für das rechte Auge. Weiter weist sie einen Mechanismus zur Einstellung des Abstandes zwischen den optischen Achsen jeder dieser zwei Okularlinsen auf. Die zwei Okularlinsen sind an der Mikroskopvorrichtung 30 so befestigt, dass sie von der Seitenfläche des Gehäuses 30a nach außen überstehen.
  • Im Inneren der Mikroskopvorrichtung 30 wird ein Lichtstrom, welcher von dem zu untersuchenden Probestück 10A kommend auf die Abbildungsfläche des Bilderzeugungsglieds 18 auftrifft, über einen Halbspiegel 33 und dergleichen zur Okulareinheit 31 gelenkt. Mit anderen Worten wird es in dieser dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung für die Bedienperson möglich gemacht, die Okulareinheit 31 zu verwenden, um das zu untersuchende Probestück 10A durch direkte optische Beobachtung zu betrachten. Dadurch bedingt ist es für den Betrachter möglich, das optische Bild mit hoher Auflösung zu betrachten, da er ein optisches Bild betrachtet, anstatt ein auf der Anzeigevorrichtung 60 angezeigtes elektronisches Bild.
  • In der oben beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erfolgten die Bedienung der Mikroskopvorrichtung und die Betrachtung des Probestücks vollständig auf dem Steuerbildschirm. Wenn jedoch die Auflösungsleistung des Bilderzeugungsglieds 18 nicht ausreichend groß ist, dann ist es effektiv, eine Okulareinheit in der Art der Okulareinheit 31 dieser dritten bevorzugten Ausführungsform vorzusehen.
  • Weiter gibt es, sogar wenn die Auflösungsleistung des Bilderzeugungsglieds 18 ausreichend groß ist, die Möglichkeit, die Okulareinheit 31 vorzusehen, wenn man das natürlichere Gefühl einer optischen Beobachtung für ausreichend wichtig hält.
  • AUSFÜHRUNGSFORM 4
  • Als nächstes wird die vierte bevorzugte Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die 1, 12A und 12B beschrieben. 1 lässt sich zwar auf die erste bevorzugte Ausführungsform anwenden, dient jedoch auch dazu, die Gesamtstruktur dieses Mikroskopsystems 4 gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung darzustellen, welche ebenfalls eine Mikroskopvorrichtung 40 aufweist. Und 12A und 12B sind Ansichten, welche die Gesamtstruktur dieser Mikroskopvorrichtung 40 gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform darstellen. Es sei angemerkt, dass in 12A Strukturelemente der vierten bevorzugten Ausführungsform, welche denen der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform entsprechen und die gleichen Funktionen haben, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind.
  • Die Mikroskopvorrichtung 40 gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform verfügt über die gleichen Funktionen wie die Mikroskopvorrichtung 10, welche zuvor in Verbindung mit der ersten bevorzugten Ausführungsform beschrieben wurde. Weiter ist, wie in den 12A und 12B dargestellt, ein Antivibrationselement 41 auf der Unterseite dieser Mikroskopvorrichtung 40 vorgesehen.
  • Wenn, wie in 1 dargestellt, die Mikroskopvorrichtung 40 auf dem Fußboden unterhalb des Arbeitstisches 80 angeordnet ist, kann der Zustand der Anzeige des Mikroskopbildes durch Schwingungen beeinflusst werden, die durch vorbeilaufende Menschen oder dergleichen verursacht werden. Daher ist die Mikroskopvorrichtung 40 dieser vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit dem Antivibrationselement 41 ausgerüstet, so dass von außen kommende Schwingungen absorbiert werden. Das Antivibrationselement 41 kann beispielsweise aus einem Gummimate rial bestehen, welches gute Elastizität aufweist, oder aus einem Keramikmaterial, welches in effektiver Weise Schwingungen absorbiert.
  • Die in der Mikroskopvorrichtung 40 befindlichen optischen Systeme und Mechanismen sind an deren Rahmen 10c über dieses Antivibrationselement 41 befestigt. Der Rahmen 10c ist direkt mit der Abdeckung 10d verbunden, wie in 4 dargestellt.
  • Wie in 12A dargestellt, ist das Antivibrationselement 41 an der Bodenfläche der Mikroskopvorrichtung 40 vorgesehen und am Rahmen 10c befestigt. Und, wie in 12B dargestellt, ist es wünschenswert, dass eine Stromversorgungseinheit 42, welche mit verschiedenen Schaltungen und dem Stromversorgungsgerät und dergleichen zu einer eine Einheit bildenden Konstruktion kombiniert ist, auf der Oberseite des Antivibrationselementes 41 befestigt ist. Weiter ist es wünschenswert, dass eine Optiksystemeinheit 43 von einer eine Einheit bildenden Konstruktion, in welche die optischen Systeme und Mechanismen integriert sind, auf der Oberseite der Stromversorgungseinheit 42 befestigt ist.
  • Die Anordnungsreihenfolge des Antivibrationselementes 41, der Stromversorgungseinheit 42 und der Optiksystemeinheit 43 kann verändert werden. Beispielsweise ist es möglich, die Stromversorgungseinheit 42 am Boden der Mikroskopvorrichtung 40 anzuordnen, das Antivibrationselement 41 auf deren Oberseite anzuordnen, und dann auf diesem wiederum die Optiksystemeinheit 43 zu befestigen. Auch in diesem Fall wäre das Ergebnis, dass die Optiksystemeinheit 43 über das Antivibrationselement 41 mit dem Rahmen 10c verbunden ist.
  • Wie oben beschrieben, werden Schwingungen, welche von außen auf die Mikroskopvorrichtung 40 auftreffen, durch das Antivibrationselement 41 absorbiert. Dadurch bedingt werden die Schwingungen nicht auf die innerhalb der Mikroskopvorrichtung 40 befindlichen optischen Systeme und Mechanismen übertragen, und eine vibrationsbedingte Beeinträchtigung des Mikroskopbildes wird verhindert. Demzu folge wird es sehr unwahrscheinlich, dass die Mikroskopvorrichtung 40 durch irgendwelche durch vorbeilaufende Menschen oder dergleichen bedingte Vibrationen beeinträchtigt wird, sogar wenn die Mikroskopvorrichtung 40 auf dem Fußboden angeordnet ist, und demgemäß wird die Freiheit zur Wahl der Position, in welcher die Mikroskopvorrichtung 40 anzuordnen ist, verbessert.
  • Da weiter der vibrationsbedingte schlechte Einfluss auf die Mikroskopvorrichtung unterdrückt wird, wird es möglich, die Mikroskopvorrichtung 40 in der Art eines Computers vom Tower-Typ aufzubauen. Mit anderen Worten wird es möglich, die Größe der Mikroskopvorrichtung 40 in vertikaler Richtung zu erhöhen. Dadurch wird die Freiheit zur Anordnung der optischen Systeme und Mechanismen innerhalb der Mikroskopvorrichtung 40 verbessert.
  • Es sei angemerkt, dass es auch möglich wäre, das Antivibrationselement 41, welches mit Bezug auf die oben beschriebene vierte bevorzugte Ausführungsform erläutert wurde, für die Mikroskopvorrichtung 10 der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform, oder für die Mikroskopvorrichtung 20 der oben beschriebenen zweiten bevorzugten Ausführungsform, oder auch für die Mikroskopvorrichtung 30 der oben beschriebenen dritten bevorzugten Ausführungsform vorzusehen.
  • In der obigen Beschreibung der vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wurde das für die Mikroskopvorrichtung vorzusehende Antivibrationselement als aus einem Material bestehend beschrieben, das Schwingungen gut absorbieren kann. Jedoch wäre es stattdessen auch möglich, eine mechanische Struktur zu verwenden, die zum Absorbieren von Schwingungen in der Lage ist.
  • In der oben beschriebenen ersten bis vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wurde das gleiche Bilderzeugungsglied 18 sowohl zum Erfassen des Bildes des gesamten Probestücks als auch zum Erfassen des vergrößerten Bildes eines Teilstücks von diesem verwendet. Jedoch besteht auch die Möglichkeit, zwei separate Bilderzeugungsglieder vorzusehen, und das Gesamtbild mit dem einen und das ver größerte Bild mit dem anderen von diesen zu erfassen. In einem derartigen Fall wird es unnötig, zwischen dem optischen System 17a zur Beobachtung des mit starker Vergrößerung vergrößerten Bildes oder dem optischen System 17b zur Beobachtung des mit geringer Vergrößerung vergrößerten Bildes, und dem optischen System 17c zur Beobachtung des Gesamtbildes des gesamten Probestückes umzuschalten. Außerdem wird es durch Vorsehen von zwei separaten Bilderzeugungsgliedern möglich, eine Erfassung des Gesamtbildes des Probestücks sehr schnell durchzuführen.
  • Im Folgenden werden die vorteilhaften Effekte der Mikroskopvorrichtung gemäß den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung erläutert. Die Mikroskopvorrichtung gemäß der bevorzugten Ausführungsform ist mit einem speziell dafür vorgesehenen optischen System zur Erfassung eines Gesamtbildes des gesamten Probestücks versehen. Dadurch wird es möglich, dieses Gesamtbild sehr schnell zu erfassen.
  • Diese Struktur sorgt dafür, dass das Bilderzeugungsglied, welches das vergrößerte Bild erfasst, das ein Bild eines Teilbereiches des Probestücks ist, auch für die Erfassung des Bildes des gesamten Probestücks verwendet wird. Dadurch wird es möglich, die Anzahl der Teile in der Mikroskopvorrichtung niedrig zu halten und die Kosten unter Kontrolle zu halten.
  • Die Struktur sorgt dafür, dass das vergrößerte Bild und das Gesamtbild des Probestücks in Übereinstimmung mit einem Bedienbefehl durch das Bilderzeugungsglied erfasst werden. Dadurch bedingt ist es möglich, das Gesamtbild und das vergrößerte Bild automatisch zu erfassen.
  • Das Gesamtbild und das vergrößerte Bild des Probestücks werden auf der Anzeigevorrichtung angezeigt, und die Position des vergrößerten Bildes bezüglich des Gesamtbildes wird durch eine dem Gesamtbild überlagerte Markierung angezeigt. Dadurch bedingt ist es der Bedienperson möglich, den momentanen Beobachtungspunkt auf dem Probestück ohne weiteres zu kontrollieren.
  • Die Freiheit, mit welcher der Ort für die Mikroskopvorrichtung gewählt werden kann, wird durch Vorsehen der Antivibrationsvorrichtung für die Mikroskopvorrichtung erhöht. Da weiter der schlechte Einfluss der Schwingungen auf die Mikroskopvorrichtung unterdrückt wird, wird es möglich, die Größe der Mikroskopvorrichtung in vertikaler Richtung zu erhöhen, indem sie in der Art eines Computers vom Tower-Typ konfiguriert wird. Dadurch wird die Freiheit der Anordnung für die optischen Systeme und Mechanismen im Inneren der Mikroskopvorrichtung erhöht.
  • Demzufolge wird es möglich, eine kastenförmige Mikroskopvorrichtung zu realisieren, welche eine gute Bedienfähigkeit und eine hervorragende Beobachtungsumgebung bietet. Dies führt zu einem großen Sprung nach vorne bei der Analyse des Mikroskopbildes, und die Produktivität von Arbeitsvorgängen am Mikroskop wird ebenfalls verbessert.

Claims (20)

  1. Mikroskopvorrichtung, aufweisend: ein Trägerelement (11), welches ein Probestück trägt; ein erstes optisches System (17a, 17b, 14a, 14b), welches ein Bild eines Probestück-Teilbereiches erzeugt; ein zweites optisches System (17c), welches ein Gesamtbild des Probestücks erzeugt; eine Bilderzeugungsvorrichtung (18), welche die Bilder photoelektrisch erfaßt, die durch das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) und das zweite optische System (17c) erzeugt werden; einen Umschaltmechanismus (117, 127), welcher zwischen einem ersten Lichtweg, der vom Probestück über das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft, und einem zweiten Lichtweg umschaltet, der vom Probestück über das zweite optische System (17c) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft; eine Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29), welche den Umschaltmechanismus (117, 127) so ansteuert, daß der Bilderzeugungsvorrichtung (18) in Übereinstimmung mit einem Operationsbefehl der erste Lichtweg oder der zweite Lichtweg vorgestellt wird; und eine Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29), welche das Trägerelement (11) verschiebt, wobei das Trägerelement (11), das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b), das zweite optische System (17c), die Bilderzeugungsvorrichtung (18), die Umschaltvorrichtung (117, 127), die Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29) und die Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29) innerhalb eines Gehäuses (10a, 10c, 10d, 20a, 30a) untergebracht sind; der erste Lichtweg und der zweite Lichtweg vom Probestück zu derselben Bilderzeugungsvorrichtung (18) verlaufen, wobei eine optische Achse des ersten Lichtweges sich zumindest abschnittweise von einer optischen Achse des zweiten Lichtweges unterscheidet; die Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29) das Trägerelement (11) zu einem ersten Bilderfassungsbereich verschiebt, in dem das Probestück dem zweiten optischen System (17c) gegenüberliegt, wenn die Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29) den Umschaltmechanismus (117, 127) zum Vorstellen des zweiten Lichtweges vor die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ansteuert, so daß die Bilderzeugungsvorrichtung photoelektrisch das vom zweiten optischen System (17c) erzeugte Gesamtbild des Probestücks erfaßt; und die Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29) das Trägerelement (11) zu einem zweiten Bilderfassungsbereich verschiebt, an dem das Probestück dem ersten optischen System (17a, 17b, 14a, 14b) gegenüberliegt, wenn die Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29) den Umschaltmechanismus (117, 127) zum Vorstellen des ersten Lichtweges vor die Bilderzeugungsvorrichtung ansteuert, so daß die Bilderzeugungsvorrichtung (18) photoelektrisch das vom ersten optischen System (17a, 17b, 14a, 14b) erzeugte Bild des Probestück-Teilbereiches erfaßt.
  2. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiter aufweist: eine Anzeigesteuervorrichtung (50, 29), welche ein Bild eines Probestück-Teilbereiches und eines Gesamtbildes des Probestücks, welche photoelektrisch erfaßt wurden, auf einer Anzeigevorrichtung gemeinsam anzeigt, und dem angezeigten Gesamtbild eine vorbestimmte Markierung in einer dem Teilbereich entsprechenden Position überlagert.
  3. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 2, bei welcher: das Trägerelement (11) in Übereinstimmung mit dem Verschieben der Markierung auf dem Gesamtbild verschoben wird.
  4. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher: das Gebiet des Probestück-Betrachtungsbereiches des zweiten optischen Systems (17c) ungefähr die Hälfte des Probestücks abdeckt.
  5. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiter aufweist: eine Anti-Vibrationsstruktur (41), welche Schwingungen vermindert.
  6. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 5, bei welcher: der Anti-Vibrationsmechanismus (41) durch ein Element gebildet ist, welches Schwingungen absorbiert.
  7. Mikroskopvorrichtung, aufweisend: ein Trägerelement (11), welches ein Probestück trägt; ein optisches System (17a, 17b, 14a, 14b), welches ein Bild eines Probestück-Teilbereiches erzeugt; und eine Bilderzeugungsvorrichtung (18), welche das Bild des Teilbereiches photoelektrisch erfaßt, der durch das optische System (17a, 17b, 14a, 14b) erzeugt wird; wobei das Trägerelement (11), das optische System (17a, 17b, 14a, 14b) und die Bilderzeugungsvorrichtung (18) im Inneren eines Gehäuses (10a, 10c, 10d, 20a, 30a) untergebracht sind; wobei das Gehäuse (10a, 10c, 10d, 20a, 30a) eine Rahmenstruktur aufweist; und das Trägerelement (11), das optische System (17a, 17b, 14a, 14b) und die Bilderzeugungsvorrichtung (18) an der Rahmenstruktur über einen Anti-Vibrationsmechanismus (41) befestigt sind, welcher Schwingungen vermindert.
  8. Mikroskopsystem, welches aufweist; eine Mikroskopvorrichtung (10, 30, 40), bei welcher: ein Trägerelement (11), welches ein Probestück trägt, ein erstes optisches System (17a, 17b, 14a, 14b), welches ein Bild eines Probestück-Teilbereiches erzeugt, ein zweites optisches System (17c), welches ein Gesamtbild des Probestücks erzeugt, eine Bilderzeugungsvorrichtung (18), welche die Bilder photoelektrisch erfaßt, die durch das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) und das zweite optische System (17c) erzeugt werden, und ein Umschaltmechanismus (117, 127), welcher zwischen einem ersten Lichtweg, der vom Probestück über das erste optische System (17a, 17b, 14a, 14b) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft, und einem zweiten Lichtweg umschaltet, der vom Probestück über das zweite optische System (17c) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) verläuft, innerhalb eines Gehäuses (10a, 10c, 10d, 20a, 30a) untergebracht sind; und eine Steuervorrichtung (50), welche aufweist: (A) ein Umschalt-Steuerglied (50), welches den Umschaltmechanismus (117, 127) so ansteuert, daß der Bilderzeugungsvorrichtung (18) in Übereinstimmung mit einem Operationsbefehl der erste Lichtweg oder der zweite Lichtweg vorgestellt wird, (B) eine Trägerelement-Steuervorrichtung (50), welche das Trägerelement (11) verschiebt, und (C) ein Anzeigesteuerglied (50), welches ein Bild eines Probestück-Teilbereiches und eines Gesamtbildes des Probestücks, welche photoelektrisch erfaßt wurden, auf einer Anzeigevorrichtung gemeinsam anzeigt, und dem angezeigten Gesamtbild eine vorbestimmte Markierung in einer dem Teilbereich entsprechenden Position überlagert, der erste Lichtweg und der zweite Lichtweg vom Probestück zu derselben Bilderzeugungsvorrichtung (18) verlaufen, wobei eine optische Achse des ersten Lichtweges sich zumindest abschnittweise von einer optischen Achse des zweiten Lichtweges unterscheidet; die Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29) das Trägerelement (11) zu einem ersten Bilderfassungsbereich verschiebt, in dem das Probestück dem zweiten optischen System (17c) gegenüberliegt, wenn die Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29) den Umschaltmechanismus (117, 127) zum Vorstellen des zweiten Lichtweges vor die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ansteuert, so daß die Bilderzeugungsvorrichtung photoelektrisch das vom zweiten optischen System (17c) erzeugte Gesamtbild des Probestücks erfaßt; und die Trägerelement-Steuervorrichtung (50, 29) das Trägerelement (11) zu einem zweiten Bilderfassungsbereich verschiebt, an dem das Probestück dem ersten optischen System (17a, 17b, 14a, 14b) gegenüberliegt, wenn die Umschalt-Steuervorrichtung (50, 29) den Umschaltmechanismus (117, 127) zum Vorstellen des ersten Lichtweges vor die Bilderzeugungsvorrichtung ansteuert, so daß die Bilderzeugungsvorrichtung (18) photoelektrisch das vom ersten optischen System (17a, 17b, 14a, 14b) erzeugte Bild des Probestück-Teilbereiches erfaßt.
  9. Mikroskopsystem nach Anspruch 8, welches weiter aufweist; eine Okulareinheit (31) zur Beobachtung des Probestücks, wobei: die Okulareinheit (31) durch eine Okularlinse und ein optisches System gebildet ist, welches Licht vom Probestück zur Okularlinse lenkt.
  10. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher: die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ein Bild des Probestücks erfaßt, welches in eine Mehrzahl von unterschiedlichen Bereichen unterteilt ist, wenn das Bild des Probestücks durch das zweite optische System (17c) erfaßt wird.
  11. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher: die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ein Bild des Probestücks erfaßt, das durch das Trägerelement (11) verschoben wird und in eine Mehrzahl von verschiedenen Bereichen unterteilt ist, wenn das Bild des Probestücks durch das zweite optische System (17c) erfaßt wird.
  12. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 10, welche weiter aufweist: eine Gesamtbild-Erzeugungsvorrichtung (50, 29), welche eine Mehrzahl von durch die Bilderzeugungsvorrichtung (18) erfaßten Bilddaten zusammenfügt, so daß das Gesamtbild des Probestücks erzeugt wird.
  13. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 11, welche weiter aufweist: eine Gesamtbild-Erzeugungsvorrichtung (50, 29), welche eine Mehrzahl von durch die Bilderzeugungsvorrichtung (18) erfaßten Bilddaten zusammenfügt, so daß das Gesamtbild des Probestücks erzeugt wird.
  14. Mikroskopsystem nach Anspruch 8, bei welchem: die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ein Bild des Probestücks erfaßt, das in eine Mehrzahl von verschiedenen Bereichen unterteilt ist, wenn das Bild des Probestücks durch das zweite optische System (17c) erfaßt wird.
  15. Mikroskopsystem nach Anspruch 8, bei welchem: die Bilderzeugungsvorrichtung (18) ein Bild des Probestücks erfaßt, das durch das Trägerelement (11) verschoben wird und in eine Mehrzahl von unterschiedlichen Bereichen unterteilt ist, wenn das Bild des Probestücks durch das zweite optische System (17c) erfaßt wird.
  16. Mikroskopsystem nach Anspruch 14, welches weiter aufweist: eine Gesamtbild-Erzeugungsvorrichtung (50, 29), welche eine Mehrzahl von durch die Bilderzeugungsvorrichtung (18) erfaßten Bilddaten zusammenfügt, so daß das Gesamtbild des Probestücks erzeugt wird.
  17. Mikroskopsystem nach Anspruch 15, welches weiter aufweist: eine Gesamtbild-Erzeugungsvorrichtung (50, 29), welche eine Mehrzahl von durch die Bilderzeugungsvorrichtung (18) erfaßten Bilddaten zusammenfügt, so daß das Gesamtbild des Probestücks erzeugt wird.
  18. Mikroskopvorrichtungs-Steuerungsverfahren, welches umfaßt: Einfügen eines optischen Systems (17c) geringer Vergrößerung in einen Lichtweg zwischen einem Probestück und einer Bilderzeugungsvorrichtung, mit dem ein Gesamtbild des Probestücks zur Bilderzeugungsvorrichtung geleitet wird; Verschieben eines das Probestück tragenden Objekttisches, so daß das Probestück dem optischen System (17c) geringer Vergrößerung gegenüberliegt; photoelektrisches Erfassen des Gesamtbildes des auf dem Objekttisch (11) liegenden Probestücks, welches durch das optische System (17c) geringer Vergrößerung zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) gelangt, zur Abspeicherung; Anzeigen des photoelektrisch erfaßten und abgespeicherten Gesamtbildes des Probestücks; Markieren einer gewünschten Stelle für eine Probestück-Teilbereichsdarstellung auf dem angezeigten Gesamtbild; Einfügen eines optischen Systems (17a, 17b, 14a, 14b) starker Vergrößerung in den Lichtweg zwischen dem Probestück und der Bilderzeugungsvorrichtung (18), durch welches ein Bild des Probestück-Teilbereichs zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) weitergeleitet wird, wobei eine optische Achse des optischen Systems (17c) geringer Vergrößerung, welche erhalten wird, wenn das optische System (17c) geringer Vergrößerung in den optischen Weg eingefügt ist und eine optische Achse des optischen Systems (17a, 17b, 14a, 14b) starker Vergrößerung, welche erhalten wird, wenn das optische System starker Vergrößerung (17a, 17b, 14a, 14b) in den vom Probestück zur einzigen Bilderzeugungsvorrichtung (18) verlaufenden Lichtweg eingefügt ist, sich zumindest abschnittweise voneinander unterscheiden; Verschieben des das Probestück tragenden Objekttisches (11), so daß die markierte gewünschte Stelle des Probestücks dem optischen System starker Vergrößerung (17a, 17b, 14a, 14b) gegenüberliegt; photoelektrisches Erfassen einer Teilbereichdarstellung des auf dem Objekttisch (11) liegenden Probestücks, welche die gewünschte Stelle enthält, in dem diese Darstellung durch das optische System starker Vergrößerung (17a, 17b, 14a, 14b) zur Bilderzeugungsvorrichtung (18) weitergeleitet wird; und Anzeigen des photoelektrisch erfaßten Bildes des Probestück-Teilbereichs zusammen mit dem Gesamtbild des Probestücks und Überlagern einer Beobachtungspunktmarkierung über das Gesamtbild, wobei die Beobachtungspunktmarkierung die Lage des Teilbereichs auf dem Gesamtbild angibt.
  19. (Zusatz) Mikroskopvorrichtungs-Steuerungsverfahren nach Anspruch 18, bei dem die gewünschte Stelle des Probestücks durch Bewegen der Beobachtungspunktmarkierung auf dem angezeigten Gesamtbild bezeichnet wird; und das Bild des Probestück-Teilbereichs wiederholt photoelektrisch erfaßt wird, um dadurch das Teilbereichsbild entsprechend einer Bewegung der Beobachtungspunktmarkierung zu aktualisieren.
  20. Mikroskopvorrichtungs-Steuerungsverfahren nach Anspruch 22, bei welchem: eine Brennpunkteinstellung bei dem Teilbild ausgeführt wird, bevor das Bild des Probestück-Teilbereichs photoelektrisch erfaßt wird.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003248176A (ja) 2001-12-19 2003-09-05 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡画像撮影装置
JP2005234306A (ja) * 2004-02-20 2005-09-02 Olympus Corp 顕微鏡観察装置
JP2005114859A (ja) * 2003-10-03 2005-04-28 Nikon Corp 顕微鏡
DE10355529A1 (de) * 2003-11-21 2005-07-07 Carl Zeiss Jena Gmbh Stereomikroskop
US7589839B2 (en) * 2004-03-31 2009-09-15 Olympus Corporation Examination apparatus, fluoroscopy apparatus, examination method, and experimental method
DE102004026093B4 (de) * 2004-05-25 2006-04-13 Leica Microsystems Cms Gmbh System und Verfahren zur Bildaufnahme und Bilddarstellung von Präparaten
JP4789454B2 (ja) * 2004-12-03 2011-10-12 株式会社キーエンス 蛍光顕微鏡
JP2006162765A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Keyence Corp 倒立型蛍光顕微鏡
DE102005013152B4 (de) 2005-03-22 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Automatisiertes Mikroskop
JP4728344B2 (ja) * 2005-11-16 2011-07-20 オリンパス株式会社 光学顕微鏡装置
DE102005056806A1 (de) * 2005-11-29 2007-06-06 Aziz Bousfiha Ohne Okular Vorrichtung
US20080145040A1 (en) * 2006-12-19 2008-06-19 Cytyc Corporation Simultaneous imaging of multiple specimen slides on a single slide stage
WO2008156872A1 (en) * 2007-06-21 2008-12-24 The Johns Hopkins University Manipulation device for navigating virtual microscopy slides/digital images and methods related thereto
JP5389390B2 (ja) 2008-07-25 2014-01-15 オリンパス株式会社 観察装置
JP5056871B2 (ja) * 2010-03-02 2012-10-24 横河電機株式会社 共焦点顕微鏡システム
WO2012029817A1 (ja) * 2010-08-30 2012-03-08 三洋電機株式会社 観察装置、観察プログラム及び観察システム
JP5445499B2 (ja) * 2011-03-30 2014-03-19 三洋電機株式会社 観察装置
WO2013047315A1 (ja) 2011-09-30 2013-04-04 三洋電機株式会社 ビームスプリッタおよび観察装置
KR20130113082A (ko) * 2012-04-05 2013-10-15 주식회사 휴비츠 현미경의 광학 배율 조절 장치
DE102012111528A1 (de) * 2012-11-28 2014-05-28 Astrium Gmbh Vorrichtung zum Mikroskopieren
CN105008979A (zh) * 2013-03-26 2015-10-28 松下健康医疗控股株式会社 观察装置、信号输出方法及信号生成程序
DE102014204994A1 (de) * 2014-03-18 2015-09-24 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Fluoreszenzmikroskopie einer Probe
CN115298592A (zh) 2020-03-27 2022-11-04 豪夫迈·罗氏有限公司 载玻片成像设备和用于对载玻片进行成像的方法
EP3985424A1 (de) 2020-10-14 2022-04-20 Abberior Instruments GmbH Hochauflösendes mikroskop mit einem gehäuse und verwendung eines gehäuses zum abdecken von an einem träger montierten optischen elementen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4168881A (en) * 1975-10-17 1979-09-25 Bausch & Lomb Incorporated Anti-vibration microscope stand
DE19609288A1 (de) * 1995-03-24 1996-09-26 Zeiss Carl Fa Computerunterstütztes Video-Mikroskop
JPH10333056A (ja) * 1997-05-28 1998-12-18 Nikon Corp 顕微鏡装置及び画像作成方法
DE19812599A1 (de) * 1998-03-23 1999-09-30 Leica Microsystems Verfahren zur Video-Mikroskopie

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0245734A (ja) * 1988-08-05 1990-02-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 自動組織解析処理装置
JP2925647B2 (ja) * 1990-04-16 1999-07-28 オリンパス光学工業株式会社 顕微鏡変倍装置
JP3081699B2 (ja) 1992-02-21 2000-08-28 オリンパス光学工業株式会社 マクロレンズを備えた顕微鏡
JP3362892B2 (ja) * 1992-04-28 2003-01-07 オリンパス光学工業株式会社 顕微鏡
JPH09178563A (ja) * 1995-12-21 1997-07-11 Shimadzu Corp 分光測定装置
JPH10339845A (ja) 1997-06-09 1998-12-22 Olympus Optical Co Ltd モニタ観察型顕微鏡
JP3361735B2 (ja) * 1997-12-01 2003-01-07 セイコーインスツルメンツ株式会社 表面分析装置
JP2000056235A (ja) * 1998-08-12 2000-02-25 Olympus Optical Co Ltd 検査顕微鏡システム
JP4229498B2 (ja) * 1998-10-02 2009-02-25 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡及び共焦点顕微鏡等に用いられるリレー光学系
JP2002031758A (ja) * 2000-07-17 2002-01-31 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4168881A (en) * 1975-10-17 1979-09-25 Bausch & Lomb Incorporated Anti-vibration microscope stand
DE19609288A1 (de) * 1995-03-24 1996-09-26 Zeiss Carl Fa Computerunterstütztes Video-Mikroskop
JPH08271794A (ja) * 1995-03-24 1996-10-18 Carl Zeiss:Fa コンピュータ支援ビデオ顕微鏡
JPH10333056A (ja) * 1997-05-28 1998-12-18 Nikon Corp 顕微鏡装置及び画像作成方法
DE19812599A1 (de) * 1998-03-23 1999-09-30 Leica Microsystems Verfahren zur Video-Mikroskopie

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Publication number Publication date
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