DE10114821A1

DE10114821A1 - Wässrige Hydroxylamin-Lösung

Info

Publication number: DE10114821A1
Application number: DE10114821A
Authority: DE
Inventors: Naoshi Imai; Kouzou Toguro
Original assignee: Nissin Chemicals Co Ltd
Current assignee: BASF SE
Priority date: 2000-03-24
Filing date: 2001-03-26
Publication date: 2001-12-06
Anticipated expiration: 2021-03-27
Also published as: DE10114821B4; JP4582602B2; US20010034312A1; US6300518B1; JP2001261312A

Abstract

Eine wässrige, Hydroxylamin in einer Menge von 30 Gew.-% oder mehr enthaltende Hydroxylamin-Lösung, die Eisen in einer Menge von nicht mehr als 10 ppb, andere Metallkomponenten als Eisen in einer Menge von nicht mehr als 5 ppb für jede Metallkomponente und trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-% enthält, wird durch Destillation einer konzentrierten, wässrigen rohen Hydroxylamin-Lösung unter Verwendung einer in spezifischer Weise oberflächenbehandelten Destillationsapparatur erhalten.

Description

GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft eine hochkonzentrierte und hochgereinigte wässrige Lösung von freiem Hydroxylamin (das nicht in Form eines Salzes vorliegt). Die Erfindung betrifft insbesondere eine hochkonzentrierte wässrige Hydroxylamin-Lösung, die fast keine Metallkomponenten enthält und die eine solch hohe Stabilität hat, dass die Lösung vorteilhafterweise zur Bearbeitung oder zum Waschen elektronischer Geräte ver wendet wird.

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Bisher wurde eine wässrige Hydroxylamin-Lösung z. B. als Bear beitungslösung oder Detergens zur Herstellung elektronischer Geräte verwendet. Vor kurzem wurde insbesondere eine hoch konzentrierte und hochgereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung, die fast keine Verunreinigungen (insbesondere Metall komponenten) enthält, z. B. zum Waschen sehr kleiner und hochintegrierter elektronischer Geräte wie z. B. Halbleiter-IC-Chips, gefordert.

Hydroxylamin (NH₂OH) wird im Allgemeinen nach einem bekannten Verfahren synthetisiert. In den Verfahren werden Natrium bisulfit und Natriumnitrit in einer wässrigen Phase unter Herstellung einer wässrigen Lösung von Natriumhydroxylamin sulfonat umgesetzt, welches dann unter Erhalt einer wässrigen Hydroxylaminsulfat-Lösung hydrolysiert wird. Die erhaltene Lösung wird mit Natriumhydroxid neutralisiert, wobei eine wässrige Lösung von freiem Hydroxylamin erhalten wird.

Hydroxylamin nimmt bei Raumtemperatur normalerweise die Form von Kristallen an; und sein Schmelzpunkt und Siedepunkt ist 33°C bzw. 57°C (bei 20 mmHg). Es ist bekannt, dass Hydroxyl amin-Kristalle, wenn sie erhitzt werden, explosiv sind; und es ist bekannt, dass eine wässrige Hydroxylamin-Lösung so instabil ist, dass sie sich leicht zersetzt. Aus diesem Grund wird im Voraus eine wässrige Lösung von stabilem Hydroxyl aminsalz hergestellt, und das freie Hydroxylamin wird produ ziert, wenn es in der Industrie verwendet wird. Da dieses Verfahren lästig und unbequem ist, wurde verlangt, ein Stabi lisierungsmittel zu finden, das für freies Hydroxylamin spezifisch wirksam ist. Beispiele für die Stabilisierungs mittel, die bisher vorgeschlagen wurden, umfassen 8-Hydroxy chinolin (japanische Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. 57-100908), 1,10-Phenanthrolin (japanische Patentanmeldungs-Offen legungsschrift Nr. 58-69841), Bipyridin (japanische Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. 58-69842), Thio carbonsäuren (japanische Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. 58-69843) und Chinolin (japanische Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. 58-69844). Ferner lehren die WO 97/22549 und US-Patent Nr. 5 783 161, dass trans-1,2-Di aminocyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure freies Hydroxyl amin wirksam stabilisiert.

Die bereits vorgeschlagenen Stabilisierungsmittel sind aller dings nicht völlig wirksam, wenn sie in normaler Art und Weise eingesetzt werden. Außerdem enthält eine hergestellte wässrige Hydroxylamin-Lösung im Allgemeinen Verunreinigungen wie z. B. Metallkomponenten (z. B. Eisen, Aluminium, Alkali metalle wie Natrium und Kalium), die ursprünglich in den Ausgangsmaterialien enthalten sind oder im Herstellungs verfahren eingeführt werden.

Um eine hochgereinigte wässrige Lösung von freiem Hydroxyl amin herzustellen, die zur Bearbeitung oder zum Waschen von Halbleitergeräten geeignet ist, sind Konzentrierung und Destillation durch Erwärmung unerlässlich. Allerdings verur sachen diese Behandlungen leicht eine Explosion und von daher ist es schwierig, die wässrige Hydroxylamin-Lösung (die instabil und korrosiv ist) sicher zu destillieren, wobei das Destillat vor Kontamination mit Verunreinigungen geschützt ist.

Die vorliegende Erfindung stellt eine hochkonzentrierte und hochgereinigte wässrige Lösung von (freiem) Hydroxylamin bereit, die insbesondere fast keine Metallkomponenten wie z. B. Eisen enthält. Die Erfindung stellt auch ein Verfahren zur sicheren und einfachen Herstellung der wässrigen Hydroxylamin-Lösung bereit.

Die Erfinder haben bereits ein Stabilisierungsmittel gefun den, durch das eine wässrige Lösung von freiem Hydroxylamin wirksam genug stabilisiert wird, um diese durch Erhitzen sicher zu konzentrieren und zu destillieren; dieses Mittel ist trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure (CDTA). CDTA macht es einfach, eine wässrige Lösung von freiem Hydroxylamin zu lagern und zu transportieren. Außerdem macht CDTA es möglich, eine gereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung in sicherer Weise herzustellen und zu liefern, welche Natrium und Kalium in einer Menge von jeweils 30 bis 100 ppb und Eisen in einer Menge von 50 bis 100 ppb enthält. Aller dings ist die Reinheit dieses Levels zur Behandlung elektro nischer Geräte nicht günstig. Zur weiteren Reinigung der wässrigen Hydroxylamin-Lösung muss die Lösung durch Erhitzen weiter konzentriert und destilliert werden. Ein solches strenges Destillationsverfahren ist nicht einfach, da eine Destillationsapparatur durch Hydroxylamin leicht korrodiert wird, wobei neue Verunreinigungen freigesetzt werden.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben nun weitere Untersuchungen angestellt und schliesslich festgestellt, dass eine hochgereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung erhalten werden kann, indem eine wässrige rohe Hydroxylamin-Lösung (im folgenden als "rohe Lösung" bezeichnet) in Gegenwart des spezifischen Stabilisierungsmittels (trans-1,2-Diamino cyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure) unter Verwendung einer Destillationsapparatur aus Stainless Steel, die vorzugsweise eine Vorrichtung (z. B. einen Spritzer-Separator = spatter separator) aufweist, um Spritzer der konzentrierten Lösung von einer Verunreinigung der resultierenden Lösung abzu halten, und die eine Innenfläche hat, die mit einem wässrigen Hydroxylaminsalz behandelt ist, so dass die Oberfläche nicht unter Freisetzung von Verunreinigungen korrodiert werden kann, destilliert wird. Die so hergestellte wässrige Hydroxylamin-Lösung ist viel reiner als die rohe Lösung und ist daher für die Verwendung beim Waschen von Halbleiter geräten geeignet.

Die vorliegende Erfindung liegt in einer wässrigen, Hydroxyl amin in einer Menge von nicht weniger als 30 Gew.-% enthal tenden Hydroxylamin-Lösung, die Eisen in einer Menge von nicht mehr als 10 ppb, andere Metallkomponenten als Eisen in einer Menge von nicht mehr als 5 ppb für jede Metallkompo nente und trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetra essigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-% enthält.

Die Erfindung liegt ferner in einem Verfahren zur Herstellung einer hochgereinigten wässrigen Hydroxylamin-Lösung, umfas send die Schritte:

- Erhitzen einer wässrigen rohen Hydroxylamin-Lösung, die 40 bis 60 Gew.-% Hydroxylamin und 15 bis 200 ppb Eisen enthält, in einem Gefäß in Gegenwart von trans-1,2-Diamino cyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der rohen Lösung, unter Abdestillieren von Wasser und Erhalt einer konzentrierten wässrigen Hydroxylamin-Lösung, die Hydroxyl amin in einer Menge von 70 bis 95 Gew.-% enthält; und
- Destillieren der konzentrierten wässrigen Hydroxyl amin-Lösung unter Erhalt eines wässrigen Hydroxylamin-Destillats mittels einer Destillationsapparatur aus Stainless Steel, deren Innenfläche vorher mit einer wässrigen Hydroxyl aminsalz-Lösung behandelt worden ist.

Die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung sind wie folgt:

1. Die wässrige Hydroxylamin-Lösung, in der die Eisenmenge nicht mehr als 5 ppb (bevorzugter nicht mehr als 3 ppb) ist.
2. Die wässrige Hydroxylamin-Lösung, in der die Mengen an Natrium und Kalium jeweils nicht mehr als 2 ppb (bevorzugter nicht mehr als 1 ppb) sind.
3. Die wässrige Hydroxylamin-Lösung, in der die Mengen an anderen Metallkomponenten als Eisen jeweils nicht mehr als 2 ppb (bevorzugter nicht mehr als 1 ppb) sind.
4. Die Destillationsapparatur ist mit einer Vorrichtung aus gestattet, die eine destillierte wässrige Hydroxylamin-Lösung vor Kontamination mit der konzentrierten Lösung, die in das Gefäß spritzt, schützt.
5. Die konzentrierte wässrige Hydroxylamin-Lösung wird destilliert, während ein Teil der konzentrierten wässrigen Hydroxylamin-Lösung aus dem Gefäß entnommen wird.
6. Die konzentrierte wässrige Hydroxylamin-Lösung, die aus dem Gefäß entnommen wird, wird mit einer frisch zugeführten wässrigen rohen Hydroxylamin-Lösung unter Erhalt eines wässrigen Gemisches vermischt, welches dann dem Gefäß zuge führt wird.
7. Ein Teil der konzentrierten wässrigen Hydroxylamin-Lösung, die aus dem Gefäß entnommen wird, wird vor dem Ver mischen verworfen.
8. Trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure wird dem wässrigen Hydroxylamin-Destillat zugeführt.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG

Die Figur ist ein Fliessschema einer Destillationsapparatur, die vorteilhafterweise zur Herstellung einer gereinigten wässrigen Hydroxylamin-Lösung der Erfindung eingesetzt wird.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Das Verfahren zur Herstellung einer wässrigen Hydroxylamin-Lösung der Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnung beschrieben.

Die in der Figur gezeigte Destillationsapparatur besteht aus einem Materialbehälter A zur Lagerung des Ausgangsmaterials (d. h. roher wässriger Hydroxylamin-Lösung), einer Umwälzpumpe B, die das Ausgangsmaterial kontinuierlich aus dem Behälter A zu einer Heizvorrichtung C führt und dann durch eine Übertra gungsleitung 1 zu einem Verdampfungszylinder D führt, einem Kühler E zur Kühlung von gereinigtem Hydroxylamingas, das von Spritzern des Materials abgetrennt wird und durch eine Gas transferleitung 3 geführt wird, welcher mit dem oberen Teil des Verdampferzylinders D verbunden ist, einer druckredu zierenden Leitung (Vakuumpumpe) 5, die mit der Ausfluss leitung des Kühlers E verbunden ist, und einem Produktbehäl ter F zur Lagerung der resultierenden gereinigten wässrigen Hydroxylamin-Lösung, die aus dem Dampf, der Hydroxylamingas enthält, kondensiert wird und die durch eine Transferleitung 4 für kondensierte Flüssigkeit, die mit dem Kühler E verbun den ist, geführt wird. Die druckreduzierende Leitung (Vakuum pumpe) 5 hält den Innendruck der Apparatur (Verdampfungs zylinder D, Gastransferleitung 3, Kühler E) auf einem vorher festgesetzten Level. Eine Zirkulationsleitung 2 ist mit dem unteren Teil des Verdampfungszylinders D verbunden und ein Destillationsrest der konzentrierten Lösung in dem Ver dampfungszylinder D wird mit der Pumpe B durch die Leitung 2 zu dem Ausgangsmaterial zurückgeschickt. Eine Abblasleitung 6 ist zwischen der Pumpe B und der Heizvorrichtung C angeordnet und ein Teil des Destillationsrückstands wird durch die Abblasleitung 6 entfernt, so dass der Gehalt an Verunreini gungen auf einem zugelassenen Level gehalten wird.

Der Verdampfungszylinder D (der Hauptteil mit Destillations apparatur) ist mit einem Spritzer-Separator (nicht gezeigt) ausgestattet, um zu verhindern, dass Spritzer der konzen trierten Lösung in die resultierende Lösung eintreten. Der Verdampfungszylinder D ist aus Stainless Steel hergestellt und seine Innenfläche ist vorher mit einer wässrigen Lösung von Hydroxylaminsalz (z. B. Hydroxylaminsulfat, Hydroxylamin phosphat, Hydroxylaminchlorid) behandelt worden, damit er nicht korrodiert wird, wenn er mit korrosivem Hydroxylamin in Kontakt gehalten wird. Die Antikorrosionsbehandlung kann durch Erhitzen der Innenfläche bei Atmosphärendruck in Gegenwart einer wässrigen Hydroxylaminsalz-Lösung (etwa 0,2 bis 20 Gew.-%) bei etwa 50 bis 200°C für mehr als etwa 3 min durchgeführt werden.

Die wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung kann unter Verwendung der in der Figur dargestellten Destillationsapparatur wie folgt hergestellt werden.

Zuerst wird die wässrige rohe Hydroxylamin-Lösung (Aus gangsmaterial) in den Materialbehälter A geleitet. Die rohe Lösung kann nach dem vorstehend genannten bekannten Verfahren hergestellt werden. Im Allgemeinen enthält die rohe Lösung keine kleinen Mengen an Verunreinigungen nicht-flüchtiger Metallkomponenten wie Eisen, Aluminium, Natrium, Kalium und Calcium. Die Gehalte an Hydroxylamin und Eisen in dem Aus gangsmaterial der rohen Lösung liegen in den Bereichen von 40 bis 60 Gew.-% bzw. 15 bis 200 ppb. Vor einer Destillation wird trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure (CDTA) der rohen Lösung in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der Lösung, zugesetzt. CDTA stabilisiert die rohe Lösung, indem es Hydroxylamin an einer Zersetzung hindert.

Die Umwälzpumpe B schickt das Ausgangsmaterial (rohe wässrige Hydroxylamin-Lösung) kontinuierlich durch die Transferleitung 1 zu der Heizvorrichtung C; die Lösung wird durch die Heiz vorrichtung C erhitzt. Die erhitzte Lösung wird dann zu dem Verdampfungszylinder D geführt, in dem der Druck vorher durch die druckreduzierende Leitung (Vakuumpumpe) 5 reduziert wird, und die transferierte Hydroxylamin-Lösung wird durch Erhitzen konzentriert und destilliert. Wenn die Lösung unter reduzier tem Druck destilliert wird, wird die Flüssigkeitstemperatur möglichst niedrig gehalten. Die Destillationsbedingungen liegen üblicherweise im Bereich von 45 bis 50°C/12 bis 17 mmHg. Durch Destillation unter diesen Bedingungen wird die Lösung so konzentriert, dass der Hydroxylamin-Gehalt in den Bereich von 70 bis 90 Gew.-% (vorzugsweise 78 bis 90 Gew.-%) kommt. Spritzer der Lösung, die während der Konzentrierung spritzen, werden durch eine Vorrichtung wie z. B. einen Spritzer-Separator abgetrennt.

Die konzentrierte Lösung liefert einen Dampf, der hochgereinigtes Hydroxylamingas, in dem Verunreinigungen durch Abtrennen der Spritzer verringert sind, enthält. Das wässrige Hydroxylamingas (Destillatgas) wird durch die Gastransferleitung 3, die mit dem oberen Teil des Verdampfungszylinders D verbunden ist, zu dem Kühler E geschickt. Die Innenfläche der Apparatur einschliesslich der Gastransferleitung 3, wo das Destillat fliesst, ist, um sie antikorrosiv zu machen, wie oben beschrieben vorher behandelt oder mit antikorrosivem Material (z. B. Polypropylen, Polyethylen, Polytetrafluorethylen) überzogen worden.

Während die Destillation kontinuierlich durchgeführt wird, sammelt sich ein Rückstand der konzentrierten Lösung in dem Verdampfungszylinder D an. Der Rückstand enthält Verunreini gungen (Metallkomponenten) in hohen Gehalten, enthält aber auch das Stabilisierungsmittel. Während der Destillation wird die konzentrierte Lösung vorzugsweise kontrolliert, so dass die Gehalte an Stabilisierungsmittel und Verunreinigungen (insbesondere Eisen) in den Bereichen 0,0005 bis 0,5 Gew.-% bzw. weniger als etwa 5 ppm, bezogen auf die Menge der Lö sung, gehalten werden können. Zur Steuerung der Konzentration der Lösung wird die Destillation vorzugsweise durchgeführt, während der Rückstand entnommen wird. Ein Teil des Rückstands wird geeigneterweise durch die Zirkulationsleitung 2 (die an dem unteren Teil des Verdampfungszylinders D angeschlossen ist) und die Abblasleitung 6 entnommen, so dass Hydroxylamin vor einer Zersetzung bewahrt wird und außerdem die Menge an angesammelten Verunreinigungen auf einem zugelassenen Level gehalten wird. Um die Destillation effektiv durchzuführen, wird der Rückstand mit frisch zugeführter wässriger roher Hydroxylamin-Lösung vermischt und das erhaltene Gemisch wird durch Erhitzen erneut konzentriert. Ein Teil des Rückstands kann bevor oder nachdem der Rückstand mit der frisch zuge führten rohen Lösung vermischt wird, entfernt werden und dann kann das verbleibende Gemisch durch Erhitzen konzentriert werden.

Das hochgereinigte Hydroxylamingas wird in dem Kühler E gekühlt und kondensiert und die produzierte wässrige Lösung wird durch die Transferleitung 4 für kondensierte Flüssigkeit in den Produktbehälter F eingeführt, in dem die resultierende Lösung gelagert wird. Das Stabilisierungsmittel, trans-1,2-Diaminocyclo hexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure (CDTA) wird vorzugsweise der so erhaltenen Lösung zugesetzt.

Die hergestellte hochkonzentrierte und hochgereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung enthält Hydroxylamin in einer Menge von nicht weniger als 30 Gew.-%. Der Gehalt an Eisen ist nicht mehr als 10 ppb, vorzugsweise nicht mehr als 5 ppb und bevorzugter nicht mehr als 3 ppb. Die Gehalte an anderen Metallkomponenten als Eisen sind für jede Komponente nicht mehr als 5 ppb, vorzugsweise nicht mehr als 2 ppb und bevorzugter nicht mehr als 1 ppb. Insbesondere ist der Gehalt an Natrium und Kalium vorzugsweise jeweils nicht mehr als 2 ppb und bevorzugter nicht mehr als 1 ppb. Die resultierende gereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung enthält das Stabilisierungsmittel trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-te traessigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-%.

Die vorliegende Erfindung wird durch die folgenden nicht-be schränkenden Arbeitsbeispiele näher beschrieben.

BEISPIEL 1

Eine wässrige Hydroxylamin-Lösung gemäss der vorliegenden Erfindung wurde aus der rohen Lösung mit Hilfe der in der Figur dargestellten Destillationsapparatur hergestellt. Die Bedingungen für das Herstellungsverfahren waren wie folgt:

1. Ein Spritzer-Separator war an dem Verdampfungszylinder angeordnet, um Spritzer der Lösung, die während der Kon zentrierung spritzten, abzutrennen. Der Verdampfungszylinder und die Gastransferleitung (durch welche das Destillatgas strömt) waren aus Stainless Steel und ihre Innenflächen waren vorher mit Hydroxylaminsalz behandelt worden. Für die anti korrosive Behandlung wurden die Innenflächen auf etwa 100°C bei Atmosphärendruck 8 h lang in Gegenwart einer wässrigen Hydroxylaminsulfat-Lösung (20 Gew.-%) erhitzt.
2. Das Ausgangsmaterial war eine wässrige rohe Hydroxylamin-Lösung mit etwa 50 Gew.-%, die trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetra essigsäure (Stabilisierungsmittel) in einer Menge von 0,005 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der Lösung, enthielt.
3. In die Destillationsapparatur wurde das Ausgangsmaterial kontinuierlich aus dem Materialbehälter A mit einer Geschwin digkeit von 250 l/h zugeführt. Die resultierende hochge reinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung wurde mit einer Ge schwindigkeit von 230 l/h produziert, während die Hydroxyl amin-Lösung, die eine relativ hohe Menge an Verunreinigungen enthielt, durch die Abblasleitung mit einer Geschwindigkeit von 20 l/h entnommen wurde.
4. Die Bedingungen zur Destillation wurden so gesteuert, dass die Flüssigkeitstemperatur in dem Verdampfungszylinder im Bereich von 45 bis 50°C/12 bis 17 mmHg gehalten wurde.

Auf diese Weise wurde eine wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung, die Hydroxylamin in einer Menge von etwa 50 Gew.-% enthielt, hergestellt. Die Gehalte der Metallkomponenten in der hergestellten Lösung sind wie in Tabelle 1 angegeben. In Tabelle 2 sind die Gehalte der Metallkomponenten in dem Ausgangsmaterial (d. h. der wässrigen rohen Hydroxylamin- Lösung) ebenfalls angegeben.

TABELLE 1

(1) Wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung

TABELLE 2

(2) Rohe wässrige Hydroxylamin-Lösung (Ausgangsmaterial)

Die Resultate in Tabelle 1 zeigen, dass die hochgereinigte wässrige Hydroxylamin-Lösung der Erfindung Metallkomponenten (insbesondere Eisen, Aluminium und Alkalimetalle wie Natrium und Kalium) im Vergleich zu der wässrigen rohen Ausgangs hydroxylamin-Lösung in deutlich reduzierten Mengen enthält.

Claims

1. Wässrige, Hydroxylamin in einer Menge von nicht weniger als 30 Gew.-% enthaltende Hydroxylamin-Lösung, die Eisen in einer Menge von nicht mehr als 10 ppb, andere Metallkomponenten als Eisen in einer Menge von nicht mehr als 5 ppb für jede Metallkomponente und trans-1,2-Diaminocyclo hexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-% enthält.

2. Wässrige Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Eisenmenge nicht mehr als 5 ppb ist.

3. Wässrige Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 2 oder Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Eisenmenge nicht mehr als 3 ppb ist.

4. Wässrige Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge für Natrium und Kalium jeweils nicht mehr als 2 ppb ist.

5. Wässrige Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge für Natrium und Kalium jeweils nicht mehr als 1 ppb ist.

6. Wässrige Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mengen an anderen Metallkompo nenten als Eisen jeweils nicht mehr als 2 ppb sind.

7. Verfahren zur Herstellung der wässrigen Hydroxylamin-Lösung nach Anspruch 1, umfassend die Schritte:

- Erhitzen einer wässrigen rohen Hydroxylamin-Lösung, die 40 bis 60 Gew.-% Hydroxylamin und 15 bis 200 ppb Eisen enthält, in einem Gefäß in Gegenwart von trans-1,2-Diaminocyclohexan-N,N,N',N'-tetra essigsäure in einer Menge von 0,0005 bis 0,5 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der rohen Lösung, unter Abdestillieren von Wasser und Erhalt einer konzentrierten wässrigen Hydroxylamin-Lösung, die Hydroxylamin in einer Menge von 70 bis 95 Gew.-% enthält; und
- Destillieren der konzentrierten wässrigen Hydroxyl amin-Lösung unter Erhalt eines wässrigen Hydroxyl amin-Destillats, mittels einer Destillations apparatur aus Stainless-Steel, deren Innenfläche vorher mit einer wässrigen Hydroxylaminsalz-Lösung behandelt worden ist.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Destillationsapparatur mit einer Vorrichtung aus gestattet ist, die eine destillierte wässrige Hydroxyl amin-Lösung vor Kontamination durch die konzentrierte Lösung, die in dem Gefäß spritzt, schützt.

9. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die konzentrierte wässrige Lösung destilliert wird, während ein Teil der konzentrierten wässrigen Hydroxylamin-Lösung aus dem Gefäß entnommen wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die konzentrierte wässrige Hydroxylamin-Lösung, die aus dem Gefäß entnommen wird, mit einer frisch zugeführten wässrigen rohen Hydroxylamin-Lösung unter Erhalt eines wässrigen Gemisches vermischt wird, welches dann dem Gefäß zuge führt wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei ein Teil der kon zentrierten wässrigen Lösung, die aus dem Gefäß ent nommen wird, vor dem Vermischen verworfen wird.

12. Verfahren nach Anspruch 7, wobei trans-1,2-Diamino cyclohexan-N,N,N',N'-tetraessigsäure dem wässrigen Hydroxylamin-Destillat zugeführt wird.