DE10111458A1 - Modul für eine Diagnoseeinrichtung, Applikator als Austauschteil der Diagnoseeinrichtung und zugehörige Diagnoseeinrichtung - Google Patents
Modul für eine Diagnoseeinrichtung, Applikator als Austauschteil der Diagnoseeinrichtung und zugehörige DiagnoseeinrichtungInfo
- Publication number
- DE10111458A1 DE10111458A1 DE10111458A DE10111458A DE10111458A1 DE 10111458 A1 DE10111458 A1 DE 10111458A1 DE 10111458 A DE10111458 A DE 10111458A DE 10111458 A DE10111458 A DE 10111458A DE 10111458 A1 DE10111458 A1 DE 10111458A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- chip
- diagnostic device
- housing
- applicator
- module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/128—Microapparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/02—Adapting objects or devices to another
- B01L2200/026—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
- B01L2200/027—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
- B01L2300/0645—Electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/18—Means for temperature control
- B01L2300/1805—Conductive heating, heat from thermostatted solids is conducted to receptacles, e.g. heating plates, blocks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01068—Erbium [Er]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/1815—Shape
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
Bei einem Diagnosegerät, insbesondere zur dezentralen biochemischen Analytik, mit einem Sensor-Chip in einem ersten Gehäuse, ist der Sensor-Chip Teil eines Moduls, bestehend aus Chipträger, Chip und elektrischen Kontakten zwischen Chip und Chipträger. Eine Verkapselung (5) des Chips (1) ist derart gestaltet, dass die elektrischen Kontakte (3, 3', ..., 3·VIII·) isoliert sind, die sensitive Fläche (2) des Sensor-Chips (1) aber für ein Fluid zugänglich bleibt. Modul (15) und ein erstes Gehäuse bilden einen austauschbaren Applikator (10, 20, 60), der zur Analyse und zum Auslesen der Messdaten in ein zweites Gehäuse (80) mit Auswerteeinheit einschiebbar ist. Der Applikator ist vorteilhafterweise nach Art einer Chipkarte (10), in die mikrofluidische Komponenten und/oder Funktionen integriert sind, ausgebildet.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Modul für eine Diagnose
einrichtung, insbesondere zur dezentralen biochemischen Ana
lytik, mit einem Sensor-Chip in einem ersten Gehäuse. Daneben
bezieht sich die Erfindung auch auf einen Applikator als Aus
tauschteil der Diagnoseeinrichtung und die zugehörige Diagno
seeinrichtung.
Die Mikrosensorik und die Mikrosystemtechnik haben in den
letzten 20 Jahren auf der technologischen Plattform der Mik
roelektronik eine stürmische Entwicklung durchlaufen. Dabei
haben alle technisch-naturwissenschaftlichen Disziplinen ihre
jeweiligen Beiträge eingebracht und ein breites Spektrum von
Sensoren und Systemen zwischen Physik und Mikrobiologie ge
schaffen.
Während jedoch physikalische Konzepte, wie z. B. Druck- und
Beschleunigungs-Sensoren/-Systeme die produktionstechnische
Umsetzung und erfolgreiche Markteinführung durchlaufen haben,
sind die meisten chemisch-biologischen Entwicklungen nicht
über das Labormuster-Stadium hinausgekommen. Einen wesentli
chen Einfluss hat dabei die Tatsache, dass chemisch-biologi
sche Systeme mikrofluidische Komponenten benötigen, die per
Definition zunächst einmal nicht kompatibel mit der Mikro
elektronik sind, da die klassischen mikroelektronischen Kom
ponenten hermetisch in ein Gehäuse eingeschlossen werden um
einen "stofflichen" Kontakt mit der Umwelt zu vermeiden. So
sind praktisch alle chemisch-biologischen Sensoren/Sensor-
Systeme von der Entwicklung einer speziellen Gehäusetechnik
abhängig.
In wenigen Fällen sind mikroelektronik-kompatible Gehäuse-
Lösungen bis zur Markteinführung entwickelt worden, z. B. bei
i-STAT Corporation, 303A College Road East, Princeton, New
Jersey 08540. Eine diesbezügliche Vorrichtung ist in der US 5 096 669 A
beschrieben: Ein oder mehrere Si-Chips besitzen
sensitiven Flächen mit chemischen Sensoren, sowie Kontakt-
Flächen zur elektrischen Verbindung mit dem Auslesegerät. Die
Chips sind derart in einem Gehäuse montiert, dass große Teile
der Chip-Flächen zum Abdichten eines Durchflusskanales ver
wendet werden, sowie große Kontaktflächen zur elektrischen
Kontaktierung von außerhalb des Gehäuses zugänglich sind. So
mit wird ein Großteil der kostbaren Si-Chipfläche verschwen
det. Außerdem befindet sich die elektrische Kontaktierung im
Gehäuse auf der selben Seite wie die sensitiven Flächen des
Chips, was eine sichere Trennung der elektrischen Kontaktie
rung von der Fluidik erschwert.
Aufgrund der hohen Entwicklungs- und Fertigungskosten bei
vergleichsweise niedrigen Stückzahlen von chemisch-biolo
gischen Systemen ist die Marktdurchdringung dieser Produkte
problematisch.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, Verbesserungen vorzu
schlagen, durch die bei obigen Geräten eine erfolgreiche
Markteinführung möglich erscheint.
Die Aufgabe ist bezüglich des Moduls erfindungsgemäß durch
die Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst. Ein Applikator
als Austauschteil der Diagnoseeinrichtung, der eine solches
Modul enthält, ist Gegenstand des Patentanspruches 11. Eine
mit einem erfindungsgemäßen Modul und dem angegebenen Appli
kator arbeitende Diagnoseeinrichtung ist Gegenstand des Pa
tentanspruches 21. Vorteilhafte Weiterbildungen des Moduls,
des Applikators bzw. der zugehörigen Diagnoseeinrichtung und
insbesondere deren Verwendung sind in den jeweils abhängigen
Ansprüchen angegeben.
Mit dem erfindungsgemäßen Modul lässt sich ein System schaf
fen, das insbesondere für dezentrale Anwendungen geeignet
ist. Das Modul realisiert mit dem kompakten ersten Gehäuse
einen Applikator als dezentral verwendbare Messeinheit. Zur
Durchführung der Analyse und zum Auslesen der Messwerte kann
der Applikator in ein zweites Gehäuse mit Auswerteeinheit
eingebracht werden.
Bei der Erfindung ist der Applikator mit erstem Gehäuse und
darin integriertem Modul vorteilhafterweise nach Art einer
Chipkarte ausgebildet. Eine solche Chipkarte kann zusammen
mit dem zweiten Gehäuse eine vielseitig einsetzbare Diagnose
einrichtung bilden. Insbesondere kann eine derartige Diagno
seeinrichtung für das Screening von Körperflüssigkeiten, bei
spielsweise für dezentrale Blutgas-Messungen oder aber Spei
cheluntersuchungen verwendet werden. Aber auch andere Anwen
dungen in der biochemischen Analytik sind realisierbar.
Eine weitere vorteilhafte Anwendungsmöglichkeit der Erfindung
ist die Amplifikation von DNA/RNA(Desoxyribonuklein-säure/Ri
bonukleinsäuse)-Proben mittels, der exponentielle Vervielfäl
tigungs-Methode bei der sog. PCR(Polymer Chain Reaction),
d. h. der sog. Polymerase-Kettenreaktion-Methode. Dazu muss
die Probenflüssigkeit 20 bis 40 mal zwischen zwei Temperatu
ren, typischerweise zwischen 35°C und 95°C, zyklisiert wer
den. Bei dieser Methode ist die Geschwindigkeit der Zyklisie
rungen entscheidend. Nach dem Stand der Technik ist der Ab
kühlungsprozess geschwindigkeitsbestimmend.
Beide Probleme können mit der Erfindung wie folgt gelöst wer
den: Für die Praxis kommt als Applikator eine besonders vor
teilhafte Ausführungsform, nämlich die Chip-Karte, in Be
tracht. Bei der Chipkarte ist der Si-Chip auf einer nur etwa
50 µm dicken, vergoldeten Kupferschicht montiert. Es handelt
sich dabei um das mittlere Metall-Feld von bekannten Chipkar
ten-Modulen, das für elektrische Kontaktierungen im Karten-
Lesegerät dort nicht benutzt wird. Dieses freie Feld kann somit
im Kartenlesegerät als Auswertegerät genutzt werden, um
direkt ein Kühlelement, z. B. einen Peltierkühler, an die ent
sprechende Stelle der Chipkarte zu kontaktieren. Aufgrund der
Platzierung (50 µm metallischer Kontakt zum Chip) ist somit
ein effizienter Temperaturübergang möglich, so dass eine de
finierte Temperatur sehr schnell einstellbar ist.
Besonders vorteilhaft ist bei der Erfindung, dass sich das
Gehäusekonzept zur Realisierung der Mikrofluidik so weit wie
möglich an denen der klassischen Mikroelektronik orientiert.
Dadurch sind die wesentlichen Voraussetzungen geschaffen,
dass auch bei vergleichsweise niedrigen Stückzahlen Module
mit chemisch-biologischen Sensoren bzw. derartige Sensor-
Systeme kommerziellen Erfolg haben können.
Darüber hinaus wird bei der Erfindung weiterhin berücksich
tigt, dass das chemisch-biologische Sensorsystem insbesondere
auch zur einmaligen Benutzung, d. h. als sog. Disposable, ein
gesetzt werden kann.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich
aus der nachfolgenden Figurenbeschreibung von Ausführungsbei
spielen anhand der Zeichnung in Verbindung mit den Patentan
sprüchen. Es zeigen jeweils in schematischer Darstellung
Fig. 1 den Schnitt durch ein Chip-Modul mit Draht-Bond-
Technologie,
Fig. 2 den Schnitt durch ein Chip-Modul mit Flip-Chip-
Technologie,
Fig. 3 die Draufsicht auf ein Chipkarten-Kontaktierungs
feldes mit einzelnen Kontaktierungen,
Fig. 4 die Draufsicht auf den Chip-Sensor mit sensitiver
Fläche,
Fig. 5 eine detaillierte, maßstäbliche Darstellung einer
Chip-Karte für den Einbau eines Moduls mit Draht-
Bond-Technologie,
Fig. 6 eine entsprechende Darstellung wie Fig. 5 für den
Einbau eines Moduls mit Flip-Chip-Technologie und
wiederverwendbarer Durchfluss-Ankopplung,
Fig. 7 einen Schnitt einer Kombination eines Moduls und ei
nem Applikator zum Einschieben in ein Auslesegerät
und
Fig. 8 die Draufsicht der Anordnung von Fig. 7.
In den Figuren haben gleiche bzw. gleichwirkende Teile glei
che bzw. sich entsprechende Bezugszeichen. Die Figuren, ins
besondere Fig. 1 und Fig. 2, werden teilweise gemeinsam be
schrieben.
Die Chipkarten-Technologie ist ein bekanntes, weitverbreite
tes sowie äußerst kostengünstiges Gehäusekonzept in der Mik
roelektronik. Dabei wird ein Mikro-Silizium-Chip, der zuvor
auf Waferebene auf ca. 180 µm dünngeschliffen wurde, auf ein
Trägerband, das aus vergoldetem, vorgestanztem Kupferband be
steht und eventuell mit einem Kunststoff-Band verstärkt ist,
geklebt. Nach einer Standard-Drahtbondung wird der Chip samt
Drähte mit einem Polymer verkapselt. Eine kommerziell erhält
liche Standard-Plastikkarte (Materialien: PVC, PET, PC; Maße:
ca. 85 × 54 × 0,8 mm3) wird zur Aufnahme des Chip-Träger-
Moduls an einer definierten Stelle auf Modulgröße (ca.
13 × 12 mm2) ausgefräst, sodass nach Ausstanzen des Moduls
aus dem Trägerband, dieses in die Ausfräsung eingeklebt wer
den kann.
In Fig. 1 ist ein Chip-Modul in Draht-Bond-Technologie sche
matisch dargestellt. Es besteht aus dem eigentlichen Chip 1
mit einer sensitiven Fläche 2 auf der Oberseite, wobei der
Chip 1 rückseitig auf einem Trägerband 3 aus Kupfer, das ge
gebenenfalls vergoldet ist, zwecks Kontaktierung aufgebracht
ist. Auf dem Trägerband mit Kontaktbereichen 3', 3", . . . be
finden sich isolierende Elemente (4) aus Kunststoff, die ins
besondere die Kontaktierungsflächen voneinander elektrisch
isolieren. In dieser Formation mit gegebenenfalls auch kunststoffverstärkten
Kontakten werden derartige Sensor-Chips 1
bisher bereits in Massenfertigung konfektioniert, so dass sie
äußerst preiswert sind.
Auf dem Trägerband 3 mit Kontaktbereichen 3', 3", . . . befin
den sich isolierende Elemente 4 aus Kunststoff, die insbeson
dere die Kontaktierungsflächen voneinander isolieren. Es ist
eine Verkapselung 5 vorhanden, in der Bonddrähte 6, 6', 6",
. . . zum Kontaktieren des Chips 1 eingegossen sind. Während
beim Stand der Technik der Chip-Technologie mittels eines
sog. "Glob Top's" eine geschlossene Kunststoffumhüllung vor
handen ist, wird nunmehr die Verkapselung flach mit planarer
Oberfläche und Öffnung ausgeführt, da das gesamte Modul bei
spielsweise in eine Chipkarte als Gehäuse eingebracht werden
soll. Um ein vollständiges Benetzen der sensitiven Chipfläche
2 beim Betrieb zu gewährleisten, d. h. um das Einschließen von
Luftblasen zu vermeiden ist es wichtig, dass das Verhältnis
von Höhe der Verkapselung über der Oberkante des Chips 1 zum
Durchmesser der sensitiven Fläche des Chips etwa 1 : 5 nicht
überschreitet bzw. typischerweise kleiner 200 µm ist. Wie aus
der maßstäblichen Fig. 5 hervorgeht sind 100 µm eine vorteil
hafte Verkapselungshöhe über der Oberkante des Chips 1. Um
die Zufluss- und Abflusskanäle zuverlässig zum ersten Gehäuse
abzudichten muss die Verkapselung eine definierte laterale
Ausdehnung aufweisen. Eine Erweiterung der lateralen Ausdeh
nung der Verkapselung ist u. a. notwendig, wenn Zufluss und
Abfluss außerhalb der sensitiven Fläche des Chips liegen sol
len, um z. B. störende Einflüsse einer inhomogenen Strömung
der Fluide zu vermeiden. Zufluss und Abfluss treffen dann im
Bereich der Verkapselung auf das Sensor-Modul und können dort
sicher abgedichtet werden. In Kombination mit dem oben be
schriebenen Verhältnis von Verkapselungshöhe zu Durchmesser
der sensitiven Fläche wird ein gleichmäßiges Anströmen der
sensitiven Fläche 2, d. h. parallel zur sensitiven Fläche des
Chips, mit den Fluiden ermöglicht.
Um das Verhältnis von sensitiver zu Gesamtfläche des Chip zu
maximieren, ist die Form des Chips vorzugsweise annä
hernd/exakt quadratisch, wobei sich die elektrischen Kontakte
des Chips (Bond-Pads) im Bereich der Chipecken befinden, so
dass die sensitive Fläche bis an die Chipkanten ausgedehnt
werden kann.
Bei der Alternative gemäß Fig. 2 ist der Chip 1 mit seiner
sensitiven Fläche 2 nach unten hin orientiert. Der Sensor-
Chip 1 ist in sog. Flip-Chip-Technologie mit Kontakten 8, 8',
8", . . . auf einem Trägerband 3 mit Kontaktbereichen 3', 3",
. . ., das in entsprechender Ausbildung wie in Fig. 1 aus
Kupfer mit gegebenenfalls einer Vergoldung besteht, angeord
net. Isolierungselemente 4 sind wiederum aus Kunststoff ge
bildet, wobei eine Aussparung für die sensitive Fläche 2 des
Sensor-Chips 1 vorhanden ist.
Durch die Ansichten von beiden Seiten des Moduls anhand der
Fig. 3 und 4 wird die Funktionsweise des eigentlichen
Chips 1 verdeutlicht. Auf der elektrischen Kontaktseite, d. h.
der Rückseite des Moduls 15 mit Sensor-Chip 1, sind einzelne
Anschlüsse der Kontaktierungsfelder 3, 3', . . ., 3 VIII ersicht
lich, die den üblichen Kontaktierungen für kartenintegrierba
re Chips entsprechen. Auf der sensitiven Seite 2 des Chips 1
verlaufen gemäß Fig. 4 die Drahtbondungen 6, 6', aus den
Ecken des Chips 1 zu den Kontakten der Kontaktierungsfelder
3, 3', . . . 3 VIII.
Durch die Auftrennung von elektrischer Kontaktierung und Flu
id-Zutritt auf entgegengesetzte Seiten des Sensor-Moduls 15
wird im Gegensatz zur US 5 096 669 A eine sichere Trennung
der elektrischen Kontaktierung von der Fluidik gewährleistet.
Weiterhin wird ein problemloser Fluid-Zutritt ermöglicht.
Durch eine kreisförmige plane Oberfläche 100 der Verkapselung
5 aus Kunststoff mit vorteilhaft innerer kreisrunder Ausspa
rung 101 auf dem Chip 1 wird eine sichere Isolation der
Drahtbond-Kontaktierungen 6, 6', . . . erreicht und gleicherma
ßen die sensitive Chipfläche 2 zentrisch freigehalten.
Die Herstellung der Sensor-Module findet in einem sog. "Roll
to Roll"-Prozess als bekannte Technologie auf einem flexiblen
Grundkörper statt. Im "Roll to Roll"-Prozess wird ein Träger
band verarbeitet, d. h. die Vorgänge 1. Chipaufkleben, 2.
Drahtbonden/Flip-Chip, 3. Verkapseln werden automatisiert -
quasi am Fließband - bis zum fertigen Modul von Filmrolle zu
Filmrolle verarbeitet. Anschließend werden die Module ausge
stanzt und in die "ersten Gehäuse" eingebaut.
In Fig. 5 und Fig. 6 sind die beiden alternativen Anordnun
gen von in einem erstem Gehäuse eingebrachten Modulen mit
Draht-Bond-Technologie einerseits und Flip-Chip-Technologie
andererseits dargestellt. In beiden Fällen besteht die Anord
nung jeweils im Wesentlichen aus einer Standard-Plastikkarte
10 bzw. 20 mit mikrofluidischen Komponenten und Funktionen,
die weiter unten noch im Einzelnen beschrieben werden. Spe
ziell die Karte 10 kann weitere Schichten 18 haben, z. B.
eine Klebefolie od. dgl., mit der die gesamte Einheit gegen
Umwelteinflüsse abgedichtet wird.
In der Karte 10 gemäß Fig. 5 sind als mikrofluidische Kompo
nenten ein Mikrokanal 11 sowie Kavitäten 12 und 13 vorhanden,
die u. a. zur Aufnahme und zum Transport von Substanzen
und/oder Reagenzien dienen. Wesentlich ist eine Aussparung 14
im Gehäuse 10, in die das Chip-Modul 15 gemäß Fig. 1 oder
Fig. 2 in geeigneter Positionierung eingebracht ist. Die
Aussparung 14 muss an die Verkapselung 5 des Chips 1 ange
passt sein. Dabei kann eine radiale Symmetrie mit einer Achse
senkrecht zur aktiven Fläche des Chips 1 und/oder eine plana
re Verkapselung parallel zur aktiven Fläche des Chips 1 vor
teilhaft sein.
Bei der Montage des Moduls 15 in das erste Gehäuse muss eine
flüssigkeitsdichte Verbindung zwischen der Oberfläche der
Verkapselung 5 und den mikrofluidischen Komponenten gewähr
leistet sein. Dies kann durch Hinzunahme von Hilfsmittels wie
Klebstoffen oder doppelseitige Klebebänder erreicht werden.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform kann auf die
Hilfsmittel verzichtet werden indem ein elastisches Verkapse
lungsmaterial verwendet wird. Im Betrieb der Diagnoseeinrich
tung wird die elastische Verkapselung an die mikrofluidischen
Kanäle des ersten Gehäuses gepresst die dadurch abgedichtet
werden. Das Anpressen kann z. B. durch einen Aktuator im zwei
ten Gehäuse geschehen.
Das gesamte Chip-Modul 15 entsprechend den Alternativen gemäß
Fig. 1 oder Fig. 2 einschließlich Silizium-Chip 1 mit sen
sitiver Fläche 2 ist also derart in den Grundkörper, insbe
sondere Kartenkörper 10 in Fig. 5, eingefügt, dass die An
ordnung nach außen hin hinreichend dicht ist, einen Zufluss,
bzw. Eintrag von zu analysierenden Substanzen erlaubt und nur
die aktive Fläche des Chips 1 mit den zu analysierenden Sub
stanzen in Wechselwirkung kommen kann. Um ein vollständiges
Benetzen der sensitiven Chipfläche 2 beim Betrieb zu gewähr
leisten, d. h. um das Einschließen von Luftblasen zu vermeiden
ist es wichtig, dass das Verhältnis von Höhe des im Betrieb
mit Fluiden gefüllten Luftspaltes zum Durchmesser der sensi
tiven Fläche des Chips kleiner 1 : 5 ist bzw. der Spalt typi
scherweise kleiner 200 µm ist.
Der angegebene Luftspalt von kleiner 200 µm ist von Vorteil
bei diffusionskontrollierten Reaktionen, z. B. einer DNA-
Hybridisierung, auf der sensitiven Fläche 2 des Chips 1.
Durch Anströmen der Reaktionspartner, die z. B. in der Pro
benflüssigkeit gelöst sind, in dünner Schicht über der reak
tiven, sensitiven Chipfläche 2 können diese verglichen mit
reiner Diffusion in höherer Konzentration an der Oberfläche
des Chips 1 angeboten werden, was zu einer Beschleunigung der
Reaktion führt.
In Fig. 6 ist eine Anordnung als Alternative zu Fig. 5 dar
gestellt, die aus einem Kartenkörper 20 ohne fluidische Kom
ponenten und in diesem Fall auch ohne elektrische Funktionen
besteht. Auf den Kartenkörper 20 ist der Chip 1 mit nach oben
orientierter sensitiver Fläche 2 kontaktiert.
In Abweichung zu Fig. 5 wird in Fig. 6 eine partiell "wie
derverwendbare" Durchflusszelle verwendet. Damit erfolgt die
elektrische Abfrage sowie die Probenzufuhr und -abfuhr von
Fluiden von außen.
Der Kartenkörper 20 bildet in Fig. 6 das erste Gehäuse, wo
bei die Mess- und Analysefunktion im oberen Teil als zweites
Gehäuse realisiert wird. Die fluidischen und elektrischen
Komponenten sind im oberen Teil zu finden.
In Fig. 6 ist auf dem Grundkörper 20, der zusammen mit dem
Modul die Chipkarte realisiert, das Oberteil 25, das Träger
von Zu- und Abflusskanälen 22 und 23 ist, so aufgesetzt, wo
bei ein sogenannter Kontaktkopf gebildet ist. Das Oberteil 25
als Kontaktkopf hat federnd aufsetzbare elektrische Kontakte
26 und es sind weiterhin Dichtmittel, wie beispielsweise ein
Dichtring 24, vorhanden. Der Dichtring 24 aus Polyimid-Ma
terial dient zur Gewährleistung der Dichtigkeit im fluidi
schen Bereich 21 zwischen Oberteil und sensitiver Fläche 2
des Chips 1 bei den federnd aufgesetzten Kontakten 26 des
Kontaktkopfes 25 zur elektrischen Durchkontaktierung des
Chips 1.
Im Körper 20 der Fig. 6 ist analog zur Fig. 5 das Modul ge
mäß Fig. 2 mit dem Silizium-Chip 1 eingepasst, wobei - im
Gegensatz zu Fig. 2 zur Verdeutlichung des Prinzips der
Flip-Chip-Technologie - die sensitive Chipfläche 2 auch bei
hier angewandter Flip-Chip-Technologie wiederum nach oben
zeigt. Der Sensor-Chip 1 ist dabei einschließlich Träger im
Kartenkörper 20 eingepasst.
Für letzteren Zweck können weitere Hilfsmittel der Flip-Chip-
Technologie, wie z. B. ein PI-Ring 27, ein sog. Underfill 29
und ein sog. Bump 28, zum Abdichten und Einhalten der Maßhal
tigkeit der Chip-Position, vorhanden sein. Diese technologi
schen Hilfsmittel haben sich in der Halbleitertechnologie be
währt und gewährleisten die erforderliche Qualität bei der
Konfektionierung der Chips.
Wesentlich bei Fig. 6 ist im vorliegenden Zusammenhang, dass
das separate Oberteil 21 erst zur Messung auf den Grundkörper
20 aufgesetzt wird und dann dabei gleichermaßen die fluidi
sche Verbindung einerseits und die elektrische Kontaktierung
an den vorhandenen Durchkontaktierungen andererseits ge
währleistet.
Die Karte 10 nach Fig. 5 bzw. der Körper 20 nach Fig. 6
bilden also jeweils einen separat austauschbaren, flachen Ap
plikator mit einem erste Gehäusen für die jeweiligen Messmo
dule. Zur Analyse und zum Auslesen der Messsignale werden
diese Applikatoren mit erstem Gehäuse in jeweils ein zweites
Gehäuse eingeschoben, das beispielsweise Teil einer stationä
ren Mess- und Diagnoseeinrichtung ist oder aber auch ein por
tables Gerät für lokal änderbare Messeinsätze sein kann.
In den Fig. 7 und 8 ist ein Applikator, bestehend aus Sen
sor-Modul 15 und erstem Gehäuse 60, dargestellt, der in ein
zweites Gehäuse 80 zur Durchführung der Messung und zum Aus
lesen der Messwerte eingeschoben ist.
In Fig. 7 ist dem Sensor-Modul 15 mit zugehörigen Kontakten
rückseitig im zweiten Gehäuse 80 ein Peltierelement 30 zur
Thermostatisierung insbesondere Kühlung der Chipfläche zuge
ordnet, so dass bei definierten Temperaturen gearbeitet wer
den kann bzw. eine schnelle Wärmeabfuhr bei Abkühlungsprozes
sen von hohen Temperaturen, z. B. 90°C, auf niedrigere Tempe
raturen, z. B. 30°C, gewährleistet ist. Aufgrund der sehr gut
wärmeleitfähigen Materialien Silizium und Kupfer/Gold, sowie
der geringen Schichtdicken (ca. 180 µm Silizium; 50 µm Kup
fer/Gold) ist ein ausgezeichneter Wärmeübergang gewährleis
tet. Für das Peltierelement 30 ist ein Kühlblech 31 vorgese
hen und es sind weiterhin elektrische Klemmkontakte 33 zum
Auslesen der Chipinformation vorgesehen. Durch Anpressen des
Peltierelementes 30 an das Sensor-Modul 15 kann neben der
Verbesserung des Wärmeübergangs auch das oben beschriebene
Abdichten einer elastischen Verkapselung an die Mikrofluidik
kanäle erfolgen.
Letztere Anordnung kann vorteilhafterweise eingesetzt werden
zur Amplifikation von DNA/RNA(Desoxyribonuklein-säure/Ribo
nukleinsäure) mittels einer exponentiellen Vervielfältigungs-
Methode, der sog. PCR(Polymer Chain Reaction). Dazu werden
die DNA/RNA-Probe sowie benötigte Reagenzien wie z. B. Nukleo
tidtriphosphate, Primär-DNA und Polymerase in Pufferlösung
über die mikrofluidischen Kanäle der sensitiven Fläche des
Sensorchips zugeführt. Besonders vorteilhaft ist hierbei die
Immobilisierung der DNA/RNA Probe auf der sensitiven Fläche
des Chip. Dies kann z. B. mittels Hybridisierung an komplemen
tärer Fänger-DNA, die auf dem Chip z. B. in Form von Arrays
gebunden ist, erfolgen. Der Reaktionsraum, d. h. der Raum über
der sensitiven Fläche des Chips mit einer Höhe von bis zu we
nigen hundert µm, wird dann circa 20 bis 40 mal zwischen zwei
Temperaturen, typischerweise zwischen 35°C und 95°C, zykli
siert. Bei dieser Anordnung kann der gesamte DNA/RNA-Verviel
fältigungsprozess in wenigen Minuten durchgeführt werden.
Bei einer speziellen Ausführungsform des Sensorchips kann zu
sätzlich die DNA/RNA-Amplifikation quantitativ verfolgt wer
den.
Gemäß Fig. 8 ist im ersten Gehäuse 60 ein erster Reagenzka
nal 61 vorhanden, der mit einem Wassereinlass 62 verbunden
ist. Weiterhin ist ein zweiter Reagenzkanal 61' vorhanden,
der parallel zum ersten Reagenzkanal 61 verläuft und in der
Darstellung der Fig. 7 im Gegensatz zum Reagenzkanal 61
nicht gefüllt ist. Der zweite Reagenzkanal 61' ist mit einem
zweiten Wassereinlass 62' verbindbar. Es können weitere pa
rallelgeschaltete Reagenzkanäle 61", . . . mit Wassereinlässen
62", . . . vorgesehen sein, die jeweils parallelgeschaltet
sind, so dass insgesamt n Reagenzkanäle und n Wassereinlässe
gebildet sind. Weiterhin ist ein Eingabeport 68 für die zu
untersuchende Flüssigkeit vorhanden, von dem die Messprobe
über einen Kanal 69 zum Sensor-Modul 15 transportiert wird,
ohne vorher mit der Reagenzflüssigkeit in Kontakt kommen zu
müssen. Schließlich ist ein Auslass 63 vorgesehen, über den
nach dem Vorbeiströmen an der sensitiven Fläche 2 des Sensor-
Moduls 15 die Flüssigkeit ausgebracht wird. Alternativ können
die verbrauchten Flüssigkeiten in einem entsprechenden Volu
men, z. B. durch Erweiterung des Kanals oder Verlängerung des
Kanals in Form eines Mäanders, des ersten Gehäuses verblei
ben. Im Auslesegerät des zweiten Gehäuses 80 ist ein Wasser
verteilungssystem mit Ventilen vorgesehen.
Das beschriebene Beispiel einer Diagnoseeinrichtung mit in
ein Auslesegerät einschiebbaren Chipkarten als Messapplikato
ren macht sich also die wesentlichen Komponenten und Verfah
rensschritte der hinlänglich bekannten Chipkarten-Technologie
zunutze. Zur Funktionsweise einer Chipkarte mit kombinierten
elektrischen und fluidischen Komponenten sind folgende,
nichtriviale Veränderungen bzw. zusätzliche Merkmale vorgese
hen: Eine modifizierte Verkapselung des Chips und der elekt
rischen Kontakte über Bonddrähte sorgt dafür, dass nur die
chemisch-biologisch aktive Fläche des Chips von der Verkapse
lung frei bleibt. Die modifizierte Verkapselung des Sensor-
Chips und der zugehörigen Bonddrähte weist eine definierte
Geometrie auf d. h. die Verkapselung hat eine definierte Di
cke, eine definierte laterale Ausdehnung sowie eine planare
und/oder eine radialsymmetrische Oberfläche zum exakten Ein
fügen in eine Chipkarte.
Zusammenfassend ist in Ergänzung zu obigen Beispielen zum
chemisch-biologischen Messeinsatz der Chipkarten-Technologie
noch folgendes herauszustellen: In allen Ausführungsformen
erfolgt die Ausgestaltung der Plastikkarte derart, dass im
Inneren und/oder an der Oberfläche der Karte mikrofluidische
Komponenten und Funktionen integriert sind. Dadurch wird er
möglicht, dass Flüssigkeiten oder Gase in die Chipkarte ein
treten können und im Inneren oder an der Oberfläche der Chip
karte transportiert und im Bereich des Silizium-Chips der ak
tiven Fläche des Chips zur Verfügung stehen. Hier erfolgt die
Messung, wonach die Flüssigkeiten oder Gase im Bereich des
Silizium-Chips anschließend von der aktiven Fläche des Chips
weggeführt und die Chipkarte verlassen können. Gegebenenfalls
können Substanzen im Inneren oder an der Oberfläche der Chip
karte gelagert werden bzw. dort nach Benutzung verbleiben.
Wesentlich ist die Aussparung in der Chipkarte zur Aufnahme
des Chip-Moduls derart, dass eine mikrofluidische Verbindung
zwischen Fluidikkanälen der Plastik-Karte und der aktiven,
d. h. sensitiven Fläche des Chips ermöglicht wird und keine
äußeren Einflüsse die Messung stören können.
Abhängig von der benötigten Lage der mikrofluidischen Kompo
nenten kann die Chipkarte aus einer oder mehreren Komponenten
oder Schichten bestehen, die durch bekannte Verbindungsmetho
den wie Kleben, Schweißen, Laminieren od. dgl. zusammengefügt
werden.
Die Komponenten für die mikrofluidischen Funktionen können
mit unterschiedlichsten Verfahren erzeugt werden, wie Fräsen,
Stanzen, Prägen, Spritzgießen, Laserabtrag od. dgl.
Der Applikator selbst kann aufgrund von bestimmten Anforde
rungen bezüglich beispielsweise der chemischen Beständigkeit
oder der Temperatur-Belastbarkeit aus unterschiedlichsten Ma
terialien bestehen und so an die aktuellen Anforderungen an
gepasst werden. Dazu kann weitestgehend auf das Know-how der
Kartentechnologie zurückgegriffen werden.
Es ist somit eine Diagnoseeinrichtung geschaffen, die in der
biochemischen Analytik z. B. für den Einsatz in der medizini
schen Diagnostik, der Forensik, für die Lebensmittelüberwa
chung sowie für die Umweltmesstechnik in vielfältiger Weise
einsetzbar ist. Die dezentrale Anwendung von Applikator und
Auslesegerät erlaubt insbesondere in der Klinik und beim nie
dergelassenen Arzt eine zeitsparende kostengünstige vor-Ort
Untersuchung von z. B. Blut, Liquor, Speichel und Abstrichen
nach z. B. Erregern von Infektionskrankheiten. Dabei kann,
falls erforderlich, nicht nur eine einfache Typisierung der
Keime sondern beispielsweise auch die Bestimmung etwaiger An
tibiotikaresistenzen erfolgen, was die Qualität der Therapie
deutlich verbessert und damit die Krankheitsdauer und -Kosten
reduzieren kann. Neben der Diagnose von Infektionskrankheiten
eignet sich das Diagnosesystem in der Medizin z. B. auch zur
Blutgas/Blutelektrolytanalyse, zur Therapiekontrolle, zur
Früherkennung von Krebs sowie zur Bestimmung genetischer Prä
dispositionen.
Für diesen Zweck kann der Applikator als autarke Einheit aus
gebildet sein, wobei im Applikatorgehäuse eine Spannungsquel
le, eine vereinfachte Auswerteelektronik und ein Display vor
handen ist.
Claims (37)
1. Modul für eine Diagnoseeinrichtung, insbesondere zur de
zentralen biochemischen Analytik, mit einem Sensor-Chip (1),
der eine sensitive Fläche hat, wobei der Chip (1) einschließ
lich seiner elektrischen Kontakte auf einem Träger (3) mit
zugehörigen Kontaktfeldern (3', 3", . . . 3 VIII) eine Verkapse
lung (5) aufweist derart, dass die sensitive Fläche (2) des
Chips (1) für ein Fluid zugänglich bleibt.
2. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass das Verhältnis von Höhe der Verkap
selung (5) über der Oberkante des Chips (1) zum größten Durch
messer der sensitiven Fläche des Chips kleiner 1 : 5 ist.
3. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Verkapselung (5) des Chips eine
definierte laterale Ausdehnung aufweist um den Fluidik-Zu-
und -Abfluss abzudichten.
4. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass das Material der Verkapselung (5)
elastisch ist, wodurch der Fluidikzufluss und Fluidabfluss
ohne Zuhilfenahme von weiteren Mitteln abdichtbar ist.
5. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass die elektrischen Kontakte (sog.
Bond-Pads) des Chips (1) im Bereich der Ecken des Chips (1)
liegen.
6. Modul nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, dass die Verkapselung (5)
eine planare und/oder radialsymmetrische Oberfläche (100,
101) aufweist.
7. Modul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet
durch eine Ausbildung in Chipkar
ten-Technologie.
8. Modul nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Chip (1) auf einem Trägerband
(3) in Draht-Bond-Technologie montiert ist.
9. Modul nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Chip (1) auf einem Trägerband
(3) in Flip-Chip-Technologie montiert ist.
10. Modul nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, dass das Trägerband (3)
kunststoffverstärkte Metallkontakte (3', 3", . . ., 3 VIII) auf
weist.
11. Applikator als Austauschteil einer Diagnoseeinrichtung,
mit einem Modul nach Anspruch 1 oder einem der Ansprüche 2
bis 10, dadurch gekennzeichnet,
dass das Modul (15) Teil eines ersten Gehäuses (10, 20) ist
mit Mitteln zum Zufluss (12, 22) und Abfluss (13, 23) für
Fluide zur sensitiven Fläche (2) des Chips (1).
12. Applikator nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, dass das Verhältnis von Höhe des
im Betrieb mit Fluiden gefüllten Luftspaltes über der sensi
tiven Fläche (2) des Chips (1) zum größten Durchmesser der
sensitiven Fläche des Chips kleiner 1 zu 5 ist.
13. Applikator nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, . . . dass der im Betrieb mit Fluiden
gefüllte Luftspalt (11, 21) über der sensitiven Fläche (2) des
Chips (1) kleiner als 200 µm ist.
14. Applikator nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, dass Modul (15) und erstes Gehäu
se (10, 20) in flacher Bauform nach Art einer Chipkarte ausgebildet
sind derart, dass im Inneren und/oder an der Ober
fläche der Karte mikrofluidische Komponenten (11, 21) und
Funktionen integriert sind.
15. Applikator nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, dass die Chipkarte (10, 20) der
art mit mikrofluidischen Komponenten (11, 21) versehen ist,
dass die Flüssigkeiten und/oder Gase zu bzw. von der aktiven
Fläche (2) des Chips (1) zu- und wegführbar sind.
16. Applikator nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, dass im Inneren oder an der Ober
fläche der Chipkarte (10, 20) Feststoffe und/oder Flüssigkei
ten und/oder Gase lagerbar sind.
17. Applikator nach einem der Ansprüche 11 bis 16, da
durch gekennzeichnet, dass eine mikro
fluidische Verbindung (11, 21) zwischen den Kanälen der Karte
(10, 20) und der aktiven Fläche des Chips (1) besteht.
18. Applikator nach einem der Ansprüche 11 bis 17, da
durch gekennzeichnet, dass das als Kar
te ausgebildete erste Gehäuse (10, 20) aus einer oder mehre
ren Schicht(en) besteht.
19. Applikator nach einem der Ansprüche 11 bis 18, da
durch gekennzeichnet, dass das als Kar
te ausgebildete erste Gehäuse (10, 20) lokal aus unterschied
lichen Materialien besteht.
20. Applikator nach einem der Ansprüche 11 bis 18, da
durch gekennzeichnet, dass im ersten
Gehäuse (10, 20) eine Spannungsquelle, eine Auswerteelektro
nik und/Oder ein Display integriert sind.
21. Diagnoseeinrichtung zur dezentralen biochemischen Analy
tik, mit einem Applikator, insbesondere für dezentrale Messungen,
nach einem der Ansprüche 11 bis 18, wobei der Appli
kator ein Modul nach Anspruch 1 oder einem der weiteren vor
hergehenden Ansprüche 2 bis 10 und ein erstes Gehäuse (10,
20, 60) enthält, wobei Flüssigkeiten und/oder Gase in das
erste Gehäuse (10, 20, 60) eintreten, in dessen Inneren oder
an dessen Oberfläche transportiert und im Bereich des Sensor-
Chips (1) der aktiven Fläche (2) des Chips (1) zugeführt wer
den, dadurch gekennzeichnet, dass
ein zweites Gehäuse (80) mit einer Auswerteeinheit vorhanden
ist, in das der Applikator mit erstem Gehäuse (10, 20, 60)
zur Durchführung des Analysevorgangs und zum Auslesen von
Messdaten einbringbar ist.
22. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, wobei der Applika
tor eine Chipkarte ist, dadurch gekenn
zeichnet, dass in das zweite Gehäuse (80) die Chip
karte (10, 20) zur Durchführung der Analyse und zum Auslesen
von Messdaten einschiebbar ist.
23. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21 oder 22, da
durch gekennzeichnet, dass bei der
Durchführung der Analyse und beim Auslesen der Messdaten über
das zweite Gehäuse (80, 90) die Flüssigkeiten und/oder Gase
zwischen Applikator mit ersten Gehäuse (10, 20), und dem
zweiten Gehäuse (80) transferierbar sind.
24. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 23, dadurch
gekennzeichnet, dass Mittel vorhanden sind,
um die elastische Verkapselung (5) des Moduls (15) an Ausspa
rungen (14) im ersten Gehäuse (10) anzupressen.
25. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch den Einsatz in der biochemischen Ana
lytik.
26. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz in der medizinischen
Diagnostik.
27. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz in der Lebensmittel
überwachung.
28. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz in der Umweltmesstech
nik.
29. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz. in der Forensik.
30. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz bei der Blutgas-/Blut
elektrolyt-Analyse.
31. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz bei der Diagnostik von
Infektionskrankheiten
32. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz bei der Therapiekon
trolle.
33. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 21, gekenn
zeichnet durch einen Einsatz zur Früherkennung von
Krankheiten
34. Diagnoseeinrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 24,
dadurch gekennzeichnet, dass Mittel
zur Einstellung einer definierten Temperatur an der Sensor
fläche (2) des Sensorchips (1), insbesondere zur Kühlung,
vorhanden sind.
35. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 34, dadurch
gekennzeichnet, dass ein Peltierelement (30)
im zweiten Gehäuse (70, 80) vorhanden ist, das eine Thermo
statisierung, insbesondere Kühlung, des Sensor-Chips (1) er
laubt.
36. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 33, gekenn
zeichnet in der Anwendung bei der DNA-Analyse.
37. Diagnoseeinrichtung nach Anspruch 33, gekenn
zeichnet in der Anwendung zur Beschleunigung der Ab
kühlphase in der PCR-Technik.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10111458A DE10111458B4 (de) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | Analyseeinrichtung |
EP02722000A EP1366361A2 (de) | 2001-03-09 | 2002-03-08 | Modul fur eine analyseeinrichtung, applikator als austauschteil der analyseeinrichtung und zugehörige analyseeinrichtung |
CA002440126A CA2440126A1 (en) | 2001-03-09 | 2002-03-08 | Module for an analysis device, applicator as an exchangeable part of theanalysis device and associated analysis device |
PCT/DE2002/000836 WO2002073153A2 (de) | 2001-03-09 | 2002-03-08 | Modul für eine analyseeinrichtung, applikator als austauschteil der analyseeinrichtung und zugehörige analyseeinrichtung |
JP2002572367A JP2004532396A (ja) | 2001-03-09 | 2002-03-08 | 分析装置のためのモジュール、分析装置の交換部分としてのアプリケータおよび分析装置 |
US10/471,167 US20050031490A1 (en) | 2001-03-09 | 2002-03-08 | Module for an analysis device, applicator as an exchange part of the analysis device and analysis device associated therewith |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10111458A DE10111458B4 (de) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | Analyseeinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10111458A1 true DE10111458A1 (de) | 2002-09-19 |
DE10111458B4 DE10111458B4 (de) | 2008-09-11 |
Family
ID=7676919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10111458A Expired - Fee Related DE10111458B4 (de) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | Analyseeinrichtung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050031490A1 (de) |
EP (1) | EP1366361A2 (de) |
JP (1) | JP2004532396A (de) |
CA (1) | CA2440126A1 (de) |
DE (1) | DE10111458B4 (de) |
WO (1) | WO2002073153A2 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004070382A2 (de) * | 2003-02-05 | 2004-08-19 | Infineon Technologies Ag | Biosensor und verfahren zur herstellung desselben sowie messgerät und verfahren für biologische proben |
EP1591780A2 (de) | 2004-04-28 | 2005-11-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor für die Detektion von Flüssigkeiten, und diesen Sensor enthaltende Detektionsvorrichtung |
DE102004011667A1 (de) * | 2004-03-10 | 2005-11-17 | Technische Fachhochschule Berlin | Vorrichtung mit einem Halbleiterchip und einem mikrofluidischen System und Verfahren zur Herstellung |
WO2006025014A1 (en) | 2004-09-03 | 2006-03-09 | Koninklijke Philips Electronics N. V. | Micro-fluidic system |
EP2708876A3 (de) * | 2012-09-17 | 2016-02-24 | Robert Bosch Gmbh | Elektronische Sensorvorrichtung zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies, mikrofluidische Vorrichtung mit einer derartigen Sensorvorrichtung sowie Verfahren zum Herstellen der Sensorvorrichtung und Verfahren zum Herstellen der mikrofluidischen Vorrichtung |
CN113786870A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-12-14 | 大连理工大学 | 一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法 |
Families Citing this family (73)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10233212B4 (de) * | 2002-07-22 | 2006-07-06 | Siemens Ag | Messvorrichtung mit einer Biochip-Anordnung und Verwendung der Vorrichtung für ein Hochdurchsatzanalyseverfahren |
US20050112545A1 (en) * | 2003-11-24 | 2005-05-26 | Chapman Charles B. | Method and device for sanitizing disposable biochips |
US8536661B1 (en) | 2004-06-25 | 2013-09-17 | University Of Hawaii | Biosensor chip sensor protection methods |
JP2008504627A (ja) | 2004-06-30 | 2008-02-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ホルダ挿入用チップカード |
CN100534619C (zh) * | 2004-10-15 | 2009-09-02 | 西门子公司 | 对可通过导管进入测量室中的液态测量样品进行电化学测量的方法和相应的布置 |
WO2007008246A2 (en) | 2004-11-12 | 2007-01-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Charge perturbation detection system for dna and other molecules |
DE102005002814B3 (de) * | 2005-01-20 | 2006-10-12 | Siemens Ag | Halbleitersensorbauteil mit geschützten Zuleitungen und Verfahren zur Herstellung desselben |
US20090126459A1 (en) * | 2005-05-19 | 2009-05-21 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Functional assembly and method of obtaining it |
US10816563B2 (en) | 2005-05-25 | 2020-10-27 | Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh | System for operating a system for the integrated and automated analysis of DNA or protein |
CN101218032A (zh) | 2005-05-25 | 2008-07-09 | 西门子公司 | 综合和自动化的dna或蛋白质分析系统及其运行方法 |
DE102006024149B4 (de) * | 2005-05-25 | 2020-04-02 | Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh | System zur integrierten und automatisierten DNA- oder Protein-Analyse |
DE102005053682A1 (de) * | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors |
CN101416048B (zh) * | 2006-01-12 | 2013-10-02 | 迈克罗拉布诊断有限公司 | 新仪器系统和方法 |
CA2636508A1 (en) | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Micah James Atkin | New instrumentation systems and methods |
JP2008051803A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-03-06 | Sharp Corp | 分析用マイクロ流路デバイス |
JP2008151772A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-07-03 | Fujifilm Corp | マイクロ流体チップの温調方法及び検体分析システム並びにマイクロ流体チップ |
US8349167B2 (en) | 2006-12-14 | 2013-01-08 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays |
US11339430B2 (en) | 2007-07-10 | 2022-05-24 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
EP2653861B1 (de) | 2006-12-14 | 2014-08-13 | Life Technologies Corporation | Verfahren zur Nukleinsäure-Sequenzierung mittels großer FET-Arrays |
US8262900B2 (en) | 2006-12-14 | 2012-09-11 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
DE102007057902A1 (de) * | 2007-11-29 | 2009-06-04 | Continental Automotive Gmbh | Sensormodul und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP2009175108A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Sharp Corp | 分析用マイクロ流路デバイス |
DE102008009185A1 (de) | 2008-02-15 | 2009-09-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Einrichtung und Verfahren zum Nachweis von Flüssigkeiten oder Substanzen aus Flüssigkeiten sowie Verwendung der Einrichtung |
CN102203282B (zh) | 2008-06-25 | 2014-04-30 | 生命技术公司 | 使用大规模fet阵列测量分析物的方法和装置 |
US20100089135A1 (en) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | Nxp B.V. | Device and method for measuring sensor chips |
US20100137143A1 (en) | 2008-10-22 | 2010-06-03 | Ion Torrent Systems Incorporated | Methods and apparatus for measuring analytes |
US20100301398A1 (en) | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Ion Torrent Systems Incorporated | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8776573B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-07-15 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8673627B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-03-18 | Life Technologies Corporation | Apparatus and methods for performing electrochemical reactions |
US20120261274A1 (en) | 2009-05-29 | 2012-10-18 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
EP2287596B1 (de) * | 2009-08-11 | 2014-03-19 | Sensirion AG | Sensor mit Glob-Top und Herstellungsverfahren dafür |
DE102009043226B4 (de) * | 2009-09-28 | 2012-09-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Flachkörper nach Art einer Chip-Karte zur biochemischen Analyse und Verfahren zu dessen Verwendung |
DE102009045544A1 (de) | 2009-10-09 | 2011-05-05 | Bundesdruckerei Gmbh | Dokument |
US8940241B2 (en) | 2010-01-13 | 2015-01-27 | The Aerospace Corporation | Photostructured chemical devices and methods for making same |
US9146377B2 (en) * | 2010-01-13 | 2015-09-29 | The Aerospace Corporation | Photostructured optical devices and methods for making same |
US8369070B2 (en) * | 2010-01-13 | 2013-02-05 | The Aerospace Corporation | Photostructured electronic devices and methods for making same |
US8410660B2 (en) | 2010-01-13 | 2013-04-02 | The Aerospace Corporation | Acoustic devices embedded in photostructurable ceramics |
US8479375B2 (en) | 2010-01-13 | 2013-07-09 | The Aerospace Corporation | Method of making an embedded electromagnetic device |
JP2011163993A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Hitachi Ltd | 試料分析チップ及び試料分析システム |
EP2366993A1 (de) | 2010-03-08 | 2011-09-21 | Nxp B.V. | Sensor und Verfahren zur Montage eines Sensors |
WO2011158246A1 (en) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | Saharan Pawan | An apparatus and method for detecting biological state in a sample using biomarkers |
AU2011226767B1 (en) | 2010-06-30 | 2011-11-10 | Life Technologies Corporation | Ion-sensing charge-accumulation circuits and methods |
TWI569025B (zh) | 2010-06-30 | 2017-02-01 | 生命技術公司 | 用於測試離子感測場效電晶體(isfet)陣列之裝置及方法 |
US8487790B2 (en) | 2010-06-30 | 2013-07-16 | Life Technologies Corporation | Chemical detection circuit including a serializer circuit |
US11307166B2 (en) | 2010-07-01 | 2022-04-19 | Life Technologies Corporation | Column ADC |
EP2589065B1 (de) | 2010-07-03 | 2015-08-19 | Life Technologies Corporation | Chemisch empfindlicher sensor mit leicht dotierten abflüssen |
WO2012036679A1 (en) | 2010-09-15 | 2012-03-22 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
AU2011226766A1 (en) | 2010-09-24 | 2012-04-12 | Life Technologies Corporation | Matched pair transistor circuits |
US9970984B2 (en) | 2011-12-01 | 2018-05-15 | Life Technologies Corporation | Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array |
US8747748B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-06-10 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with conductive cup-shaped sensor surface |
US8821798B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-09-02 | Life Technologies Corporation | Titanium nitride as sensing layer for microwell structure |
US8786331B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-07-22 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US9080968B2 (en) | 2013-01-04 | 2015-07-14 | Life Technologies Corporation | Methods and systems for point of use removal of sacrificial material |
US9841398B2 (en) | 2013-01-08 | 2017-12-12 | Life Technologies Corporation | Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors |
US8962366B2 (en) | 2013-01-28 | 2015-02-24 | Life Technologies Corporation | Self-aligned well structures for low-noise chemical sensors |
US8841217B1 (en) | 2013-03-13 | 2014-09-23 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with protruded sensor surface |
US8963216B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-02-24 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface |
US20140264472A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with consistent sensor surface areas |
US9835585B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-12-05 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with protruded sensor surface |
US9116117B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-25 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall sensor surface |
JP6671274B2 (ja) | 2013-03-15 | 2020-03-25 | ライフ テクノロジーズ コーポレーション | 薄伝導性素子を有する化学装置 |
US9128044B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-09-08 | Life Technologies Corporation | Chemical sensors with consistent sensor surface areas |
RU2532087C1 (ru) * | 2013-03-21 | 2014-10-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Поволжский государственный технологический университет" | Способ активации топливной батареи |
US20140336063A1 (en) | 2013-05-09 | 2014-11-13 | Life Technologies Corporation | Windowed Sequencing |
US10458942B2 (en) | 2013-06-10 | 2019-10-29 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor array having multiple sensors per well |
CN107250784B (zh) | 2014-12-18 | 2020-10-23 | 生命科技公司 | 具有发送器配置的高数据率集成电路 |
WO2016100521A1 (en) | 2014-12-18 | 2016-06-23 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale fet arrays |
US10077472B2 (en) | 2014-12-18 | 2018-09-18 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with power management |
JP2019537706A (ja) | 2016-10-07 | 2019-12-26 | ベーリンガー インゲルハイム フェトメディカ ゲーエムベーハーBoehringer Ingelheim Vetmedica GmbH | サンプルを検査するための方法及び分析システム |
AU2017340656B2 (en) | 2016-10-07 | 2022-02-03 | Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh | Analysis device and method for testing a sample |
CA3105374C (en) * | 2018-06-29 | 2022-08-23 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Sensor assembly for a sample fluid analysis system |
IT201800010263A1 (it) * | 2018-11-12 | 2020-05-12 | Univ Degli Studi Magna Graecia Di Catanzaro | Metodo di diagnosi del cancro e relativo kit. |
EP3734492B1 (de) * | 2019-04-29 | 2021-06-30 | ddm hopt + schuler GmbH & Co. KG. | Kartenleser mit shim-attacken-detektierung |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4301414A (en) * | 1979-10-29 | 1981-11-17 | United States Surgical Corporation | Disposable sample card and method of making same |
US4654127A (en) * | 1984-04-11 | 1987-03-31 | Sentech Medical Corporation | Self-calibrating single-use sensing device for clinical chemistry and method of use |
US5096669A (en) * | 1988-09-15 | 1992-03-17 | I-Stat Corporation | Disposable sensing device for real time fluid analysis |
WO2000052457A1 (en) * | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Helix Biopharma Corporation | Card-based biosensor device |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2111215A (en) * | 1981-10-31 | 1983-06-29 | Alastair Sibbald | Electrochemical sensor assembly |
GB2224356A (en) * | 1988-10-31 | 1990-05-02 | Plessey Co Plc | Biosensor device |
JPH03223674A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-10-02 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | 反応容器 |
JP3064468B2 (ja) * | 1991-04-18 | 2000-07-12 | 株式会社東芝 | 成分分析装置 |
JP2509509B2 (ja) * | 1992-01-20 | 1996-06-19 | 三井金属鉱業株式会社 | テ―プキャリアおよびこれを用いたテ―プキャリアデバイス |
CA2134477C (en) * | 1992-05-01 | 1999-07-06 | Peter Wilding | Analysis based on flow restriction |
JP2988286B2 (ja) * | 1994-07-21 | 1999-12-13 | 日立電線株式会社 | Bga型半導体装置及びその製造方法 |
JP3343642B2 (ja) * | 1996-04-26 | 2002-11-11 | シャープ株式会社 | テープキャリアパッケージ及び液晶表示装置 |
US6140144A (en) * | 1996-08-08 | 2000-10-31 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Method for packaging microsensors |
DE59706639D1 (de) * | 1996-12-17 | 2002-04-18 | Lab Fuer Physikalische Elektro | Verfahren zum aufbringen eines mikrosystems oder wandlers auf ein substrat und nach diesem verfahren herstellbare vorrichtung |
JP2000025709A (ja) * | 1998-07-13 | 2000-01-25 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法,その方法で使用されるキャリヤテープおよび半導体製造装置 |
US6392296B1 (en) * | 1998-08-31 | 2002-05-21 | Micron Technology, Inc. | Silicon interposer with optical connections |
DE19852967B4 (de) * | 1998-11-17 | 2004-05-27 | Micronas Gmbh | Messeinrichtung mit einer Halbleiteranordnung |
CA2407973C (en) * | 2000-05-03 | 2011-06-07 | Jen-Jr Gau | Biological identification system with integrated sensor chip |
-
2001
- 2001-03-09 DE DE10111458A patent/DE10111458B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-08 US US10/471,167 patent/US20050031490A1/en not_active Abandoned
- 2002-03-08 WO PCT/DE2002/000836 patent/WO2002073153A2/de active Application Filing
- 2002-03-08 JP JP2002572367A patent/JP2004532396A/ja active Pending
- 2002-03-08 EP EP02722000A patent/EP1366361A2/de not_active Withdrawn
- 2002-03-08 CA CA002440126A patent/CA2440126A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4301414A (en) * | 1979-10-29 | 1981-11-17 | United States Surgical Corporation | Disposable sample card and method of making same |
US4654127A (en) * | 1984-04-11 | 1987-03-31 | Sentech Medical Corporation | Self-calibrating single-use sensing device for clinical chemistry and method of use |
US5096669A (en) * | 1988-09-15 | 1992-03-17 | I-Stat Corporation | Disposable sensing device for real time fluid analysis |
WO2000052457A1 (en) * | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Helix Biopharma Corporation | Card-based biosensor device |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DIRKS, G., e.a.: Development of a disposable biosensor chipcard system. Sens.Technol.Neth., Proc. Dutch Sens.Conf. 3rd (1998), 207-212, (abstract) CAPLUS (online). In: STN. AN 1998: 323978. DN 129:92457 * |
LANGEREIS, G.R.: An integrated sensor system for monitoring washing process, ISBN 90-365-1272-7, (online), April 1999, Im Internet: <URL:http://www.ub.utwente.nl/webdoes/el/1/t000000a.pdf> * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004070382A2 (de) * | 2003-02-05 | 2004-08-19 | Infineon Technologies Ag | Biosensor und verfahren zur herstellung desselben sowie messgerät und verfahren für biologische proben |
WO2004070382A3 (de) * | 2003-02-05 | 2005-01-27 | Infineon Technologies Ag | Biosensor und verfahren zur herstellung desselben sowie messgerät und verfahren für biologische proben |
DE102004011667B4 (de) * | 2004-03-10 | 2006-03-23 | Technische Fachhochschule Berlin | Vorrichtung mit einem Halbleiterchip und einem mikrofluidischen System und Verfahren zur Herstellung |
DE102004011667A1 (de) * | 2004-03-10 | 2005-11-17 | Technische Fachhochschule Berlin | Vorrichtung mit einem Halbleiterchip und einem mikrofluidischen System und Verfahren zur Herstellung |
DE102004020829A1 (de) * | 2004-04-28 | 2005-12-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor für die Detektion von Inhaltsstoffen von Flüssigkeiten, insbesondere biologischer Materialien, und diesen Sensor enthaltende Detektionsvorrichtung |
EP1591780A2 (de) | 2004-04-28 | 2005-11-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor für die Detektion von Flüssigkeiten, und diesen Sensor enthaltende Detektionsvorrichtung |
DE102004020829B4 (de) * | 2004-04-28 | 2006-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor für die Detektion von Inhaltsstoffen von Flüssigkeiten, insbesondere biologischer Materialien, und diesen Sensor enthaltende Detektionsvorrichtung |
US7367221B2 (en) | 2004-04-28 | 2008-05-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor for detection of liquid ingredients, particularly for biological materials and the detection device contained in the sensor |
WO2006025014A1 (en) | 2004-09-03 | 2006-03-09 | Koninklijke Philips Electronics N. V. | Micro-fluidic system |
EP2708876A3 (de) * | 2012-09-17 | 2016-02-24 | Robert Bosch Gmbh | Elektronische Sensorvorrichtung zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies, mikrofluidische Vorrichtung mit einer derartigen Sensorvorrichtung sowie Verfahren zum Herstellen der Sensorvorrichtung und Verfahren zum Herstellen der mikrofluidischen Vorrichtung |
US9515159B2 (en) | 2012-09-17 | 2016-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Electronic sensor apparatus for detecting chemical or biological species, microfluidic apparatus comprising such a sensor apparatus, and method for producing the sensor apparatus and method for producing the microfluidic apparatus |
CN113786870A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-12-14 | 大连理工大学 | 一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法 |
CN113786870B (zh) * | 2021-09-13 | 2022-05-27 | 大连理工大学 | 一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2440126A1 (en) | 2002-09-19 |
WO2002073153A2 (de) | 2002-09-19 |
EP1366361A2 (de) | 2003-12-03 |
WO2002073153A3 (de) | 2003-04-03 |
JP2004532396A (ja) | 2004-10-21 |
US20050031490A1 (en) | 2005-02-10 |
DE10111458B4 (de) | 2008-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10111458A1 (de) | Modul für eine Diagnoseeinrichtung, Applikator als Austauschteil der Diagnoseeinrichtung und zugehörige Diagnoseeinrichtung | |
EP1381466B1 (de) | Analyseeinrichtung | |
DE10122133B4 (de) | Integriertes Mikrosystem | |
EP1654065B1 (de) | Flusszelle aus schichten mit verbindungsmittel | |
US6742661B1 (en) | Well-plate microfluidics | |
DE10058394C1 (de) | Verfahren für die biochemische Analytik und zugehörige Anordnung | |
EP1740932B1 (de) | Messzelle sowie Verfahren zur Herstellung einer solchen Messzelle | |
EP1003035B1 (de) | Messeinrichtung | |
DE60006811T2 (de) | Apparat zum betrieb eines mikrofluidischen gerätes | |
DE102007044889B4 (de) | Diagnosetestsystem | |
EP1591780B1 (de) | Sensor für die Detektion von Flüssigkeiten, und diesen Sensor enthaltende Detektionsvorrichtung | |
EP2394156B1 (de) | Anordnung und verfahren zum elektrochemischen messen von biochemischen reaktionen sowie herstellungsverfahren der anordnung | |
EP1807208A1 (de) | Anordnung zur integrierten und automatisierten dna- oder protein-analyse in einer einmal verwendbaren cartridge, herstellungsverfahren für eine solche cartridge und betriebsverfahren der dna- oder protein-analyse unter verwendung einer solchen cartridge | |
CN102026724B (zh) | 传感器阵列和制造传感器阵列的方法 | |
DE102013106596A1 (de) | Verfahren für die Ausbildung von Biochips sowie Biochips mit nicht-organischen Kontaktauflagen für einen verbesserten Wärmehaushalt | |
DE102012216497A1 (de) | Elektronische Sensorvorrichtung zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies, mikrofluidische Vorrichtung mit einer derartigen Sensorvorrichtung sowie Verfahren zum Herstellen der Sensorvorrichtung und Verfahren zum Herstellen der mikrofluidischen Vorrichtung | |
DE102010038445B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines mikrofluidischen Systems | |
DE102019209746A1 (de) | Mikrofluidische Vorrichtung zum Prozessieren und Aliquotieren einer Probenflüssigkeit, Verfahren und Steuergerät zum Betreiben einer mikrofluidischen Vorrichtung und mikrofluidisches System zum Durchführen einer Analyse einer Probenflüssigkeit | |
DE60023862T2 (de) | Mikromassstabgetreue vorrichtung für chemische analyse | |
US20100314699A1 (en) | Electrochemical sensor device, method of manufacturing the same | |
DE102005049976A1 (de) | Anordnung zur integrierten und automatisierten DNA- oder Protein-Analyse in einer einmal verwendbaren Cartridge, Herstellungsverfahren für eine solche Cartridge und Betriebsverfahren der DNA- oder Protein-Analyse unter Verwendung einer solchen Cartridge | |
US11351548B2 (en) | Analyte sensor package with dispense chemistry and microfluidic cap | |
EP2243024B1 (de) | Einrichtung und verfahren zum nachweis von flüssigkeiten oder substanzen aus flüssigkeiten | |
WO2017129340A1 (de) | Mikrofluidische flusszelle mit integrierter elektrode und verfahren zu ihrer herstellung | |
US20170140990A1 (en) | Packaging methods for fabrication of analytical device packages and analytical device packages made thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |