DE10106996A1 - Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten - Google Patents

Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten

Info

Publication number
DE10106996A1
DE10106996A1 DE10106996A DE10106996A DE10106996A1 DE 10106996 A1 DE10106996 A1 DE 10106996A1 DE 10106996 A DE10106996 A DE 10106996A DE 10106996 A DE10106996 A DE 10106996A DE 10106996 A1 DE10106996 A1 DE 10106996A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microcomponents
openings
pressure plate
plate
sealing plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10106996A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10106996C2 (de
Inventor
Guido Pieper
Michael Schmelz
Hanns Wurziger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Merck Patent GmbH
Original Assignee
Merck Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE10106996A priority Critical patent/DE10106996C2/de
Application filed by Merck Patent GmbH filed Critical Merck Patent GmbH
Priority to US10/468,083 priority patent/US7060894B2/en
Priority to PCT/EP2002/000610 priority patent/WO2002064247A1/de
Priority to CA002437965A priority patent/CA2437965A1/en
Priority to EP02711808A priority patent/EP1360000A1/de
Priority to JP2002564035A priority patent/JP2004529749A/ja
Priority to KR1020037010566A priority patent/KR100846639B1/ko
Priority to TW091102230A priority patent/TWI268805B/zh
Publication of DE10106996A1 publication Critical patent/DE10106996A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10106996C2 publication Critical patent/DE10106996C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0093Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/32Packing elements in the form of grids or built-up elements for forming a unit or module inside the apparatus for mass or heat transfer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L9/00Supporting devices; Holding devices
    • B01L9/52Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips
    • B01L9/527Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips for microfluidic devices, e.g. used for lab-on-a-chip
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00801Means to assemble
    • B01J2219/0081Plurality of modules
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819Materials of construction
    • B01J2219/00824Ceramic
    • B01J2219/00828Silicon wafers or plates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/02Adapting objects or devices to another
    • B01L2200/026Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
    • B01L2200/027Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06Fluid handling related problems
    • B01L2200/0689Sealing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/08Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887Laminated structure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N2035/00178Special arrangements of analysers
    • G01N2035/00326Analysers with modular structure
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126Assembling bases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53174Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53252Means to simultaneously fasten three or more parts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Machines For Manufacturing Corrugated Board In Mechanical Paper-Making Processes (AREA)

Abstract

Bei einer Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, ist zwischen den Mikrokomponenten eine Dichtungsplatte angeordnet, die Öffnungen aufweist, welche mit Öffnungen der Mikrokomponenten korrespondieren.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen.
Zur Entwicklung und Herstellung neuer Substanzen sind im Bereich der Chemie häufig umfangreiche Versuchsreihen erforderlich. Dazu sind Mikrokomponenten bekanntgeworden, mit deren Hilfe die Versuche mit geringen Mengen durchgeführt werden können. Durch den modularen Aufbau dieser Mikrokomponenten, beispielsweise Mikroreaktoren und anderer Komponenten zum Behandeln verschiedener Substanzen, ist ein Zusammenstellen von Systemen für die jeweilige Aufgabe leicht möglich. Eines solcher modularen chemischen Mikrosysteme ist in DE 199 17 398 A1 beschrieben. Bei diesem Mikrosystem sind die verschiedenen Mikrokomponenten über Steueranschlüsse mit einem Steuerbus und über Stoffanschlüsse mit einem Stoffkanalsystem verbunden. Die Herstellung der Vielzahl von Stoffanschlüssen ist jedoch recht kompliziert. Insbesondere ist es dabei sogar erforderlich, Substanzen von einer Mikrokomponente zu einer benachbarten über das Stoffkanalsystem zu leiten. Ein Anschlußträger für plattenförmige Mikrokomponenten ist ferner durch DE 198 54 096 A1 bekanntgeworden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine einfache Weiterleitung der Substanzen von einer Mikrokomponente zu einer anderen zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen den Mikrokomponenten eine Dichtungsplatte angeordnet ist, die Öffnungen aufweist, welche mit Öffnungen der Mikrokomponenten korrespondieren. Dabei ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Dichtungsplatte aus einem elastischen Werkstoff besteht, der gegen die jeweils in den Mikrokomponenten behandelten Medien beständig ist. Für eine große Zahl von zu behandelnden Substanzen ist es vorteilhaft, wenn der Werkstoff Polytetrafluorethylen ist.
Die erfindungsgemäße Einrichtung hat den Vorteil, daß zwischen benachbarten Mikrokomponenten in äußerst einfacher und zuverlässiger Weise Verbindungen zum Transport von flüssigen, gegebenenfalls auch gasförmigen Substanzen möglich sind. Dabei ist seitens der Mikrokomponenten, die vorzugsweise aus einem bruchempfindlichen Silizium-Kristall bestehen, keine spezielle Anschlußvorrichtung erforderlich. Es genügen einfache Löcher. Außerdem ist bei der erfindungsgemäßen Einrichtung die notwendige Dichtheit gegeben.
Die einzelnen Mikrokomponenten können beispielsweise Reaktoren, Pumpen, Mischer, Verweilstrecken, Extraktoren oder Wärmeüberträger sein, die nach Art eines Baukastens zu einem komlexen Mikrosystem zusammengestellt werden können. Dazu ist außer einer funktional richtigen Anordnung der jeweiligen Öffnung eine abwechselnde Schichtung der Mikrokomponenten und der Dichtungsplatten erforderlich.
Sollte für die jeweiligen Substanzen Polytetrafluorethylen nicht geeignet sein, stehen auch andere Werkstoffe mit entsprechender chemischen Beständigkeit und mit erforderlichen mechanischen Eigenschaften, insbesondere Elastizität und Oberflächengüte, zur Verfügung, beispielsweise Perfluor-Elastomere oder Polyvenylidenfluorid.
Eine gute Dichtwirkung ergibt sich bei der erfindungsgemäßen Einrichtung, wenn gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen ist, daß die Dichtungsplatte im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponenten aufweist. Sollte bei den Mikrokomponenten jedoch nur teilweise eine plane Oberfläche vorhanden sein und auf anderen Teilen der Oberfläche zusätzliche Komponenten hervorstehen, so kann die erfindungsgemäße Einrichtung auch derart weitergebildet sein, daß die Dichtungsplatte einen mit Öffnungen versehenen Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten bedeckt und einen weiteren Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten frei läßt.
Die Anordnung der Dichtungsplatten zwischen den Mikrokomponenten läßt sich auf verschiedene Weise verwirklichen. Im Falle eines Einsatzes der gesamten Ordnung als Einwegapparatur kommen unlösbare Fügetechniken, wie Verkleben, Vernieten oder Vergießen in bzw. mit Kunstharz in Betracht. Eine lösbare und trotzdem dichte Verbindung zwischen den Mikrokomponenten ist jedoch dadurch erzielbar, daß die Mikrokomponenten aneinandergepreßt werden. Hierzu stehen ebenfalls verschiedene Techniken zur Verfügung, beispielsweise federnde Schnappverbindungen - ähnlich eines Kistenverschlusses -, federnde oder schraubbare Klammern, Bolzen-Bajonettverschlüsse oder elektromagnetisch, pneumatisch oder hydraulisch angetriebene Einspannvorrichtungen.
Durch den modularen Aufbau ist ein Austausch bzw. eine Reparatur einzelner Mikrokomponenten möglich, ohne daß im Fehlerfall das ganze modulare System ausgetauscht werden muß.
Bei einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Einrichtung wird vorgesehen, daß eine Halterung zum Aneinanderpressen ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponenten aufweist mit zwei Schenkeln, deren Enden mit einer Andruckplatte verschraubbar sind. Damit wird die zur Abdichtung erforderliche Kraft gleichmäßig über die Fläche der Mikrokomponenten verteilt, so daß die bruchempfindlichen Silizium-Mikrokomponenten vor Zerstörung geschützt sind.
Um mit einer Halterung verschieden dicke Stapel aus Mikrokomponenten und Dichtungsplatten einspannen zu können, ist gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen, daß die Andruckplatte einen verstärkten Mittelteil aufweist, der zwischen die Schenkel des U-förmigen Aufnahmeteils paßt.
Eine andere vorteilhafte Ausgestaltung ermöglicht Anschlüsse nach außen dadurch, daß in der Andruckplatte und in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich des U-förmigen Aufnahmeteils Gewindebohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen vorgesehen sind.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung anhand mehrerer Figuren dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 die Teile einer erfindungsgemäßen Einrichtung in Explosionsdarstellung und
Fig. 2 im zusammengebauten Zustand, wobei in Fig. 2 gegenüber der Darstellung in Fig. 3 eine größere Zahl von Mikrokomponenten vorgesehen ist.
In Fig. 1 sind zwei Mikrokomponenten 2 mit Öffnungen 6 versehen, durch die Substanzen von einer zur anderen der Mikrokomponenten transportiert werden. Dazu ist zwischen den beiden Mikrokomponenten 2 eine Dichtungsplatte 3 mit zwei Öffnungen 7 angeordnet, die mit den Öffnungen 6 korrespondieren. Die Mikrokomponenten 2 werden in einer Halterung gegeneinander gepreßt.
Die Halterung besteht aus einem U-förmigen Aufnahmeteil 1 mit zwei Schenkeln 11, 12 und einem die Schenkel 11, 12 verbindenden Basisteil 13. Das U-förmige Aufnahmeteil 1 ist auf einer Montageplatte 14 angeordnet, die wiederum mit Hilfe von Löchern 17 in einem größeren Gesamtsystem befestigt werden kann. An den Stirnflächen der Schenkel 11, 12 sind Gewindebohrungen 15, 16 vorgesehen, so daß eine Andruckplatte 4, die mit Durchgangsbohrungen 18 versehen ist, mit Hilfe von Schrauben 19 befestigt werden kann.
Die Andruckplatte 4 ist im mittleren Bereich 5 verstärkt, so daß sie zwischen die Schenkel 11, 12 eindringt und somit verschieden dicke Stapel unter gleichzeitiger Führung durch die Schenkel 11, 12 sicher gegeneinander gepreßt werden können.
In dem Basisteil 13 und in der Andruckplatte 4 sind Gewindebohrungen 20 vorgesehen, in welche Anschlußelemente 21 eingeschraubt werden können, welche als Verbindungen zum Zu- und Abführen von Substanzen von und nach außerhalb des beschriebenen Systems dienen. Die Anschlußelemente sind an ihrer Stirnfläche jeweils mit Dichtscheiben 22 versehen.
Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäße Einrichtung im zusammengebauten Zustand, wobei fünf Mikrokomponenten 2 jeweils unter Zwischenlage von Dichtungsplatten 3 miteinander verbunden sind.

Claims (9)

1. Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Mikrokomponenten (2) eine Dichtungsplatte (3) angeordnet ist, die Öffnungen (7) aufweist, welche mit Öffnungen (6) der Mikrokomponenten (2) korrespondieren.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte (3) aus einem elastischen Werkstoff besteht, der gegen die jeweils in den Mikrokomponenten (2) behandelten Medien beständig ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff Polytetrafluorethylen ist.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte (3) im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponenten (2) aufweist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte einen mit Öffnungen versehenen Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten bedeckt und einen weiteren Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten frei läßt.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrokomponenten (2) aneinandergepreßt werden.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Halterung (1, 4) zum Aneinanderpressen ein U-förmiges Aufnahmeteil (1) für die Mikrokomponenten (2) aufweist mit zwei Schenkeln (11, 12), deren Enden mit einer Andruckplatte (4) verschraubbar sind.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Andruckplatte (4) einen verstärkten Mittelteil (5) aufweist, der zwischen die Schenkel (11, 12) des U-förmigen Aufnahmeteils (1) paßt.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Andruckplatte (4) und in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich (13) des U-förmigen Aufnahmeteils (1) Gewindebohrungen (20) zur Aufnahme von Anschlußelementen (21) vorgesehen sind.
DE10106996A 2001-02-15 2001-02-15 Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten Expired - Fee Related DE10106996C2 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10106996A DE10106996C2 (de) 2001-02-15 2001-02-15 Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten
PCT/EP2002/000610 WO2002064247A1 (de) 2001-02-15 2002-01-23 Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten
CA002437965A CA2437965A1 (en) 2001-02-15 2002-01-23 Device for connecting microcomponents
EP02711808A EP1360000A1 (de) 2001-02-15 2002-01-23 Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten
US10/468,083 US7060894B2 (en) 2001-02-15 2002-01-23 Device for connecting microcomponents
JP2002564035A JP2004529749A (ja) 2001-02-15 2002-01-23 マイクロコンポーネント連結用デバイス
KR1020037010566A KR100846639B1 (ko) 2001-02-15 2002-01-23 마이크로컴퍼넌트의 연결 장치
TW091102230A TWI268805B (en) 2001-02-15 2002-02-07 Device for connecting microcomponents

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10106996A DE10106996C2 (de) 2001-02-15 2001-02-15 Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10106996A1 true DE10106996A1 (de) 2002-09-05
DE10106996C2 DE10106996C2 (de) 2003-04-24

Family

ID=7674111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10106996A Expired - Fee Related DE10106996C2 (de) 2001-02-15 2001-02-15 Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7060894B2 (de)
EP (1) EP1360000A1 (de)
JP (1) JP2004529749A (de)
KR (1) KR100846639B1 (de)
CA (1) CA2437965A1 (de)
DE (1) DE10106996C2 (de)
TW (1) TWI268805B (de)
WO (1) WO2002064247A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10155010A1 (de) * 2001-11-06 2003-05-15 Cpc Cellular Process Chemistry Mikroreaktorsystem
WO2004011134A1 (en) * 2002-07-26 2004-02-05 Avantium International B.V. System for performing a chemical reaction on a plurality of different microreactors
DE10134885B4 (de) * 2001-07-18 2004-02-05 Roche Diagnostics Gmbh Modulares Analysesystem
DE10345029A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-21 Microfluidic Chipshop Gmbh Vorrichtung zum Kontaktieren und Verbinden von mikrofluidischen Systemen mittels Steckern
US7320338B2 (en) * 2005-06-03 2008-01-22 Honeywell International Inc. Microvalve package assembly

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2003286736A1 (en) * 2002-10-28 2004-05-25 Transform Pharmaceuticals, Inc. Transdermal assay with magnetic clamp
US7449307B2 (en) 2002-10-28 2008-11-11 Transform Pharmaceuticals, Inc. Raised surface assay plate
JP4804718B2 (ja) * 2003-04-28 2011-11-02 富士フイルム株式会社 流体混合装置、及び、流体混合システム
DE10335068A1 (de) * 2003-07-31 2005-03-03 Dahlbeck, Rolf, Dr.-Ing. Mikroreaktormodul
NL1024486C2 (nl) * 2003-10-08 2005-04-11 Lionix B V Werkwijze en koppelingselement voor het koppelen van onderdelen alsmede inrichting omvattende zo een koppelingselement.
KR100777172B1 (ko) * 2004-06-07 2007-11-28 나노 퓨전 가부시키가이샤 전기 침투류 펌프 시스템 및 전기 침투류 펌프
JP2006275016A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Science Solutions International Laboratory Inc 液体輸送装置及び液体輸送システム
EP1873532A1 (de) * 2005-03-30 2008-01-02 NANO Fusion Technologies, Inc. Elektroosmosepumpe und flüssigkeitszuführungsvorrichtung
EP1715348B2 (de) 2005-07-15 2019-05-08 Agilent Technologies, Inc. Vorrichtung zur Handhaben von mikrofluidischen Vorrichtungen mit einer Klemmeinrichtung
TW200738328A (en) 2006-03-31 2007-10-16 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
DE102008047902A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-25 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Bausatz für Reaktoren und Reaktor
DE202009017416U1 (de) 2009-05-12 2010-04-15 Lonza Ag Reaktor und Satz aus Reaktoren
DE202010000262U1 (de) * 2009-05-12 2010-05-20 Lonza Ag Strömungsreaktor mit Mikrokanalsystem
FR2951153A1 (fr) * 2009-10-09 2011-04-15 Corning Inc Dispositif microfluidique
US9993795B2 (en) * 2013-12-12 2018-06-12 The Council Of Scientific & Industrial Research Glass lined metal micro-reactor
CN110678414A (zh) 2017-11-10 2020-01-10 Nok株式会社 微流控芯片及微流控器件
DE102022102894A1 (de) 2022-02-08 2023-08-10 Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V. (IUTA) Mikrofluidiksystem und Verfahren zum Herstellen eines solchen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5209906A (en) * 1991-05-10 1993-05-11 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Modular isothermal reactor
WO1994021372A1 (en) * 1993-03-19 1994-09-29 E.I. Du Pont De Nemours And Company Integrated chemical processing apparatus and processes for the preparation thereof
DE19652823A1 (de) * 1996-12-18 1998-03-26 Guenter Prof Dr Fuhr Strukturierter Polytetrafluorethylen-Spacer
WO2000051720A2 (en) * 1999-03-03 2000-09-08 Symyx Technologies, Inc. Chemical processing microsystems and methods for preparing and using same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137807A (ja) * 1982-02-10 1983-08-16 Mitsubishi Rayon Co Ltd 光学繊維積層体の製造方法
DE59105165D1 (de) * 1990-11-01 1995-05-18 Ciba Geigy Ag Vorrichtung zur Aufbereitung oder Vorbereitung von flüssigen Proben für eine chemische Analyse.
US5746976A (en) * 1994-12-17 1998-05-05 Horiba Ltd. Detachable gas analyzing apparatus
US5964239A (en) * 1996-05-23 1999-10-12 Hewlett-Packard Company Housing assembly for micromachined fluid handling structure
US5841036A (en) * 1996-08-22 1998-11-24 Mayeaux; Donald P. Modular sample conditioning system
US6240790B1 (en) * 1998-11-09 2001-06-05 Agilent Technologies, Inc. Device for high throughout sample processing, analysis and collection, and methods of use thereof
DE19854096A1 (de) * 1998-11-24 2000-05-25 Merck Patent Gmbh Anschlußträger für plattenförmige Mikrokomponenten

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5209906A (en) * 1991-05-10 1993-05-11 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Modular isothermal reactor
WO1994021372A1 (en) * 1993-03-19 1994-09-29 E.I. Du Pont De Nemours And Company Integrated chemical processing apparatus and processes for the preparation thereof
DE19652823A1 (de) * 1996-12-18 1998-03-26 Guenter Prof Dr Fuhr Strukturierter Polytetrafluorethylen-Spacer
WO2000051720A2 (en) * 1999-03-03 2000-09-08 Symyx Technologies, Inc. Chemical processing microsystems and methods for preparing and using same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10134885B4 (de) * 2001-07-18 2004-02-05 Roche Diagnostics Gmbh Modulares Analysesystem
US6780064B2 (en) 2001-07-18 2004-08-24 Roche Diagnostics Operations, Inc. Modular analytical system having at least two modules connected by a connecting plug
DE10155010A1 (de) * 2001-11-06 2003-05-15 Cpc Cellular Process Chemistry Mikroreaktorsystem
US7468165B2 (en) 2001-11-06 2008-12-23 Sebastian Oberbeck Microreactor system
WO2004011134A1 (en) * 2002-07-26 2004-02-05 Avantium International B.V. System for performing a chemical reaction on a plurality of different microreactors
DE10345029A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-21 Microfluidic Chipshop Gmbh Vorrichtung zum Kontaktieren und Verbinden von mikrofluidischen Systemen mittels Steckern
US7320338B2 (en) * 2005-06-03 2008-01-22 Honeywell International Inc. Microvalve package assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US20040074084A1 (en) 2004-04-22
US7060894B2 (en) 2006-06-13
DE10106996C2 (de) 2003-04-24
EP1360000A1 (de) 2003-11-12
KR20030080220A (ko) 2003-10-11
KR100846639B1 (ko) 2008-07-16
JP2004529749A (ja) 2004-09-30
TWI268805B (en) 2006-12-21
WO2002064247A1 (de) 2002-08-22
CA2437965A1 (en) 2002-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10106996C2 (de) Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten
WO2000048716A2 (de) Vorrichtung zum konzentrieren und/oder reinigen von makromolekülen in einer lösung und verfahren zum herstellen einer derartigen vorrichtung
EP1572335A2 (de) Statischer laminationsmikrovermischer
DE2162060C3 (de) Filtervorrichtung
EP2852768B1 (de) Befestigungsvorrichtung
DE2557207B2 (de) Vorrichtung zum zusammenhalten von membranen fuer ein geraet mit ebenen, semipermeablen membranen
EP0600138B1 (de) Kartusche mit mindestens einem Vorratszylinder und mit Mischer
DE2261265B2 (de) Plattenhalterung von Membranen für Fluidseparatoren
DE102007009766A1 (de) Bajonett-Stutzen
CH685331A5 (de) Modul zur Durchführung der Pervaporation von Fluiden.
DE2213150A1 (de) Vorrichtung zur Durchführung einer umgekehrten Osmose in Form eines ebenen Moduls
WO2002043853A1 (de) Einrichtung zum temperieren von mikrokomponenten
DE102015223791B4 (de) Probenbeutel für automatisiertes Analyseverfahren sowie Verfahren zur Analyse
EP0158002A1 (de) Vorrichtung zum Verbinden von Lagen flächigen Materials
DE102010002959A1 (de) Vorrichtung zum Begasen einer in einem Behandlungsbecken aufgenommenen Suspension
EP0542007B1 (de) Vorrichtung zum mittelbaren Verbinden von Konstruktionsprofilen und/oder vergleichbarer Teile, insbesondere für flexible Montagesysteme
EP0463468A1 (de) Kopplungsvorrichtung für Pipettiernadel
DE10055374B4 (de) Verteilerplatte für Flüssigkeiten und Gase
WO1998030798A1 (de) Luftfilter
EP1190179A1 (de) Fluidische verbindungseinrichtung
WO2023036582A1 (de) Befestigungsteil für ein gehäuse sowie gehäuse für ein feldgerät
DE10118030A1 (de) Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten
WO2005061894A1 (de) Mikropumpe und klebstoffreies verfahren zur verbindung zweier substrate
DE4014282A1 (de) Membranfilter-anordnung
DE202023101291U1 (de) Spaltrohrfilter zur Anordnung an einer Behälterwand und Behälter mit Spaltrohrfilter

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8304 Grant after examination procedure
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee