WO2002043853A1 - Einrichtung zum temperieren von mikrokomponenten - Google Patents

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Gerd Quenzer
Michael Schmelz
Hanns Wurziger
Lothar Spreng
Norbert Schwesinger
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
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    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/0095—Control aspects
    • B01J2219/00952—Sensing operations

Definitions

  • the invention relates to a device for tempering microcomponents, in particular microreactors, which are preferably plate-shaped and preferably consist of silicon.
  • microcomponents have become known, with the aid of which the experiments can be carried out in small quantities.
  • the modular structure of these microcomponents for example microreactors and other components for treating different substances, makes it easy to put together systems for the respective task.
  • Such modular chemical microsystems are described in DE 198 54 096 A1 and DE 199 17 398 A1.
  • the object of the present invention is to advantageously temperature control microcomponents, in particular microreactors, while maintaining the flexibility of the systems consisting of microcomponents. This object is achieved in that a temperature control element is provided and that there is a flat heat-conducting connection between the microcomponent and the temperature control element.
  • the temperature control element is a Peltier element.
  • This configuration has the advantage, among other things, that a relatively rapid change in the thermal power supplied or removed is possible.
  • a heat exchanger is arranged on the side of the Peltier element facing away from the microcomponents, to which a cooling or heating medium can be supplied.
  • the heat exchanger can preferably have an enlarged surface for heat exchange be formed with the ambient air.
  • a blower can be used to support the heat exchange.
  • temperature control is achieved in that the temperature control element is a heat exchanger to which a cooling or heating medium can be supplied.
  • the cooling or heating medium can be, for example, water or a heat transfer oil.
  • the heat exchanger can be hollow and can be provided with line connections for the cooling or heating medium.
  • the heat transfer surface of the temperature control element has essentially the size of the adjacent surface of the microcomponent.
  • the device according to the invention can also be developed in such a way that the heat-transferring surface of the temperature control element is smaller than the adjacent surface of the microcomponent.
  • a holder has a U-shaped receiving part for the microcomponent and for the temperature control element with two legs, the ends of which can be screwed to a pressure plate.
  • the pressure plate has a reinforced middle part which fits between the legs of the U-shaped receiving part.
  • a structurally clever arrangement of the temperature control element, in particular a Peltier element, is the result of another advantageous embodiment possible that an opening for receiving the temperature control element is arranged in the area of the U-shaped receiving part opposite the pressure plate.
  • Another advantageous embodiment enables connections to the outside in that holes are provided in the pressure plate for receiving connection elements.
  • the handling of the device according to the invention in particular the laying of electrical lines, can be facilitated by providing electrical connections for the temperature control element on the receiving part.
  • the holder consists of thermally resistant plastic.
  • microcomponents can be put together and connected to one another.
  • temperature control can be carried out in such a way that a plurality of microcomponents are held against one another and that an external microcomponent is thermally conductive to the temperature control element or that the other external microcomponent is thermally conductive to another temperature control element.
  • the temperature control from both sides of the stack can be carried out in the same direction in order to heat several of the microcomponents in the same direction, for example to cool or heat them.
  • Nenten plates are arranged with low thermal conductivity. It can be provided that the plates have openings for the passage of substances between the adjacent microcomponents, which are also provided with openings.
  • At least one sensor for detecting the temperature of at least one microcomponent is provided, which controls at least one controller of the temperature control element.
  • An advantageous arrangement of a sensor in which a good heat transfer from the microcomponent to the sensor is ensured, can be achieved in that the at least one sensor is arranged in a groove of a holder which is open in the direction of the adjacent microcomponent.
  • FIG. 1 shows the parts of a device according to the invention in an exploded view
  • FIG. 1 the embodiment of FIG. 1 in the assembled state in two different views
  • Fig. 5 shows a third embodiment
  • Fig. 6 shows part of the embodiment of FIG. 1 with a sensor.
  • 1 consists of a U-shaped receiving part 1 for receiving at least one micro component 2 and a pressure plate 3, which can be screwed to side webs 5, 6 (leg) of the receiving part 1.
  • the pressure plate 3 is reinforced in a central area 4. In the exemplary embodiment, one microcomponent is shown, but several microcomponents can also be held.
  • the receiving part 1 has two flange-like extensions 7, 8 for attachment to a suitable base.
  • Connection elements 10 can be screwed into the pressure plate 3, each of which has a sealing washer 11 at its front end and forms liquid-tight or possibly gas-tight connections with the surface of the microcomponent.
  • a cutout 12 in the receiving part 1 is shaped on two opposite edges 13, 14 in such a way that a positive connection is formed with the lateral contours of a Peltier element 15.
  • a cable connection 16 shown interrupted in Fig. 1 is used to supply electrical energy to the Peltier element 15 via a multiple connector 17.
  • the connection 16 can be passed through a bore, not shown, of the receiving part 1, so that the multiple connector 17 can be mounted directly on the receiving part 1 (Fig. 2 and Fig. 3).
  • the Peltier element 15 generates a temperature difference as a function of the applied voltage and can therefore be used for supplying and removing heat to and from the microcomponent 2. A simple and quick reversal of the heat flow is possible.
  • a body 18 is provided for heat exchange with the surroundings, the surface of which is enlarged with a series of ribs. An air flow of a blower 19 is guided between the ribs.
  • the cooling / heating power is limited in the Peltier elements available on the market, which are suitable, for example, in terms of their size, for the device according to the invention. Should higher powers, especially temperature differences If necessary, several Peltier elements can be connected in series or put together in the form of a step pyramid.
  • a heat exchanger 20 (FIG. 1a) can also be connected to the pelletizing element 15, which has a cavity for flow through with a cooling / heating medium which can be supplied and removed via connections 21, 22.
  • a heat sink 20 according to FIG. 1a is provided instead of the ribbed body 18 (FIGS. 1 to 3) for supplying and removing the heat transported by the Peltier element 15.
  • the exemplary embodiment according to FIG. 5 shows a device according to the invention, in which two microcomponents 2, 2 'are arranged in the holder 1, 3' and are separated by a plate 23. This serves to seal substances carried between the microcomponents 2, 2 'and for thermal insulation.
  • the pressure plate 3 'in the embodiment according to FIG. 5 is provided with channels not visible in the figure, so that it can be flowed through by an oil or heating medium which is supplied or discharged at 21 and 22.
  • two Peltier elements or two heat exchangers through which a cooling or heating medium flows can also be provided for tempering microcomponents or stacking microcomponents on both sides.
  • Fig. 6 shows a pressure plate 3 ', in which a groove 25 for a temperature sensor 24 is made. The sensor then closes approximately flat with the side of the pressure plate 3 1 facing the microcomponent, so that good heat-conducting contact with the microcomponent arises.

Abstract

Bei einer Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, wird mindestens eine Mikrokomponente in einer Halterung an ein Temperierelement (15, 20) gepreßt. Zwischen der Mikrokomponente (2) und dem Temperierelement (15, 20) besteht eine flächige wärmeleitende Verbindung.

Description

Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen.
Zur Entwicklung und Herstellung neuer Substanzen sind im Bereich der Chemie häufig umfangreiche Versuchsreihen erforderlich. Dazu sind Mikrokomponenten bekanntgeworden, mit deren Hilfe die Versuche mit geringen Mengen durchgeführt werden können. Durch den modularen Aufbau dieser Mikrokomponenten, beispielsweise Mikroreaktoren und anderer Komponenten zum Behandeln verschiedener Substanzen, ist ein Zusammenstellen von Systemen für die jeweilige Aufgabe leicht möglich. Solche modularen chemischen Mikrosysteme sind in DE 198 54 096 A1 und DE 199 17 398 A1 beschrieben.
Für die jeweils gewünschten Reaktionen ist oft die Einhaltung vorgegebener Temperaturen erforderlich. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, in vorteilhafter Weise zu temperieren, wobei die Flexibilität der aus Mikrokomponenten bestehenden Systeme erhalten bleiben soll. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Temperierelement vorgesehen ist und daß zwischen der Mikrokomponente und dem Temperierelement eine flächige wärmeleitende Verbindung besteht.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß das Temperierelement ein Peltierelement ist. Diese Ausgestaltung hat unter anderem den Vorteil, daß eine relativ schnelle Änderung der zu- bzw. abgeführten thermischen Leistung möglich ist. Zum weiteren Wärmeaustausch mit der Umgebung kann bei dieser Ausgestaltung vorgesehen sein, daß auf der von der Mikrokom- ponenten abgewandten Seite des Peltierelementes ein Wärmetauscher angeordnet ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist. Vorzugsweise kann dabei der Wärmetauscher durch eine vergrößerte Oberfläche zum Wärmeaustausch mit der Umgebungsluft ausgebildet sein. Zur Unterstützung des Wärmeaustausches kann dabei ein Gebläse dienen.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird eine Temperie- rung dadurch erzielt, daß das Temperierelement ein Wärmetauscher ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist. Dabei kann das Kühl- oder Heizmedium beispielsweise Wasser oder ein Wärmeträgeröl sein.
Bei beiden vorteilhaften Ausgestaltungen kann der Wärmetauscher hohl ausge- bildet sein und mit Leitungsanschlüssen für das Kühl- oder Heizmedium versehen sein.
Vorzugsweise ist bei der Erfindung vorgesehen, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponente aufweist. Sollte bei den Mikrokomponenten jedoch nur teilweise eine zur Wärmeübertragung geeignete Fläche vorhanden sein, so kann die erfindungsgemäße Einrichtung auch derart weitergebildet sein, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes kleiner als die angrenzende Fläche der Mikrokomponente ist.
Bei einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Einrichtung ist vorgesehen, daß eine Halterung ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponente und für das Temperierelement aufweist mit zwei Schenkeln, deren Enden mit einer Andruckplatte verschraubbar sind.
Um mit einer Halterung verschieden dicke Mikrokomponenten oder Stapel aus Mikrokomponenten einspannen zu können, ist gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen, daß die Andruckplatte einen verstärkten Mittelteil aufweist, der zwischen die Schenkel des U-förmigen Aufnahmeteils paßt.
Eine konstruktiv geschickte Anordnung des Temperierelementes, insbesondere eines Peltierelementes, ist bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung dadurch möglich, daß in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich des U- förmigen Aufnahmeteils eine Öffnung zur Aufnahme des Temperierelementes angeordnet ist.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung ermöglicht Anschlüsse nach außen dadurch, daß in der Andruckplatte Bohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen vorgesehen sind.
Die Handhabbarkeit der erfindungsgemäßen Einrichtung, insbesondere die Ver- legung elektrischer Leitungen kann dadurch erleichtert werden, daß an dem Aufnahmeteil elektrische Anschlüsse für das Temperierelement vorgesehen sind.
Je nach Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung stehen für die Halterung verschiedene Werkstoffe zur Verfügung. Es hat sich jedoch als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Halterung aus thermisch beständigem Kunststoff besteht.
Wie bereits erwähnt, können mehrere Mikrokomponenten, gegebenenfalls als Stapel, zusammengestellt und miteinander verbunden werden. Dabei kann eine Temperierung derart erfolgen, daß mehrere Mikrokomponenten aneinanderlie- gend gehalten werden und daß eine außenliegende Mikrokomponente mit dem Temperierelement in wärmeleitender Verbindung steht oder daß ferner die andere außenliegende Mikrokomponente mit einem weiteren Temperierelement in wärmeleitender Verbindung steht. Die Temperierung von beiden Seiten des Sta- pels kann gleichsinnig erfolgen, um mehrere der Mikrokomponenten gleichsinnig zu temperieren, beispielsweise zu kühlen oder zu erhitzen. Es ist jedoch auch möglich, die Temperierung an beiden Seiten des Stapels mit verschiedenen Temperaturen vorzunehmen, beispielsweise eine der außenliegenden Mikrokomponenten zu kühlen und die andere zu erwärmen.
Zur Verringerung eines Temperaturausgleiches zwischen den Mikrokomponenten kann dabei vorgesehen sein, daß zwischen aneinanderliegenden Mikrokompo- nenten Platten geringer Wärmeleitfähigkeit angeordnet sind. Dabei kann vorgesehen sein, daß die Platten Öffnungen zur Durchleitung von Substanzen zwischen den benachbarten Mikrokomponenten, die ebenfalls mit Öffnungen versehen sind, aufweisen.
Zur Einhaltung einer vorgegebenen Temperatur kann bei der erfindungsgemäßen Einrichtung ferner vorgesehen sein, daß mindestens ein Sensor zur Erfassung der Temperatur mindestens einer Mikrokomponente vorgesehen ist, der mindestens einen Regler des Temperierelementes steuert.
Eine vorteilhafte Anordnung eines Sensors, bei welcher ein guter Wärmeübergang von der Mikrokomponente zum Sensor gewährleistet ist, kann dadurch erfolgen, daß der mindestens eine Sensor in einer in Richtung auf die angrenzende Mikrokomponente offenen Nut einer Halterung angeordnet ist.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung anhand mehrerer Figuren dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 die Teile einer erfindungsgemäßen Einrichtung in Explosionsdarstellung,
Fig. 1a ein weiteres Teil,
Fig. 2 und Fig. 3 das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 im zusammengebauten Zustand in zwei verschiedenen Ansichten,
Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel,
Fig. 5 ein drittes Ausführungsbeispiel und
Fig. 6 ein Teil des Ausführungsbeispiels nach Fig. 1 mit einem Sensor. Die Einrichtung nach Fig. 1 besteht aus einem U-förmigen Aufnahmeteil 1 zur Aufnahme mindestens einer Mikrokomponente 2 und einer Andruckplatte 3, die mit seitlichen Stegen 5, 6 (Schenkel) des Aufnahmeteils 1 verschraubt werden kann. Die Andruckplatte 3 ist in einem mittleren Bereich 4 verstärkt. In dem Aus- führungsbeispiel ist eine Mikrokomponente dargestellt, es können jedoch auch mehrere Mikrokomponenten gehalten werden. Das Aufnahmeteil 1 weist zwei flanschartige Erweiterungen 7, 8 auf zur Befestigung auf einer geeigneten Basis. In die Andruckplatte 3 können Anschlußelemente 10 eingeschraubt werden, die an ihrem Stirnende jeweils eine Dichtscheibe 11 tragen und mit der Oberfläche der Mikrokomponente flüssigkeits- oder gegebenenfalls gasdichte Verbindungen bilden.
Eine Aussparung 12 in dem Aufnahmeteil 1 ist an zwei gegenüberliegenden Rändern 13, 14 derart geformt, daß mit den seitlichen Konturen eines Peltierele- mentes 15 eine formschlüssige Verbindung gebildet wird. Eine in Fig. 1 unterbrochen dargestellte Kabelverbindung 16 dient zur Zuführung von elektrischer Energie zum Peltierelement 15 über einen Mehrfachstecker 17. Die Verbindung 16 kann durch eine nicht dargestellte Bohrung des Aufnahmeteils 1 geführt werden, so daß der Mehrfachstecker 17 unmittelbar am Aufnahmeteil 1 montiert werden kann (Fig. 2 und Fig. 3).
Das Peltierelement 15 erzeugt eine Temperaturdifferenz in Abhängigkeit von der angelegten Spannung und kann deshalb zur Zuführung und zum Entzug von Wärme zum bzw. aus der Mikrokomponente 2 verwendet werden. Dabei ist ein einfaches und schnelles Umkehren des Wärmestroms möglich. Zum Wärmeaustausch mit der Umgebung ist bei dem Beispiel nach Fig. 1 ein Körper 18 vorgesehen, dessen Oberfläche mit einer Reihe von Rippen vergrößert ist. Zwischen den Rippen wird ein Luftstrom eines Gebläses 19 geführt.
Bei den auf dem Markt erhältlichen Peltierelementen, die beispielsweise in Bezug auf ihre Größe für die erfindungsgemäße Einrichtung geeignet sind, ist die Kühl- /Heizleistung begrenzt. Sollten höhere Leistungen, insbesondere Temperaturdif- ferenzen, erforderlich sein, lassen sich mehrere Peltierelemente in Reihe schalten oder stufenpyramidenförmig zusammenfügen.
Anstelle des Körpers 18 kann auch ein Wärmetauscher 20 (Fig. 1a) mit dem Pel- tierelement 15 verbunden werden, der einen Hohlraum zum Durchströmen mit einem Kühl-/Heizmedium aufweist, das über Anschlüsse 21 , 22 zu- und abführbar ist.
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist anstelle des gerippten Körpers 18 (Figuren 1 bis 3) zum Zu- bzw. Abführen der vom Peltierelement 15 transportierten Wärme ein Kühlkörper 20 gemäß Fig. 1a vorgesehen.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 zeigt eine erfindungsgemäße Einrichtung, bei welcher in der Halterung 1, 3' zwei Mikrokomponenten 2, 2' angeordnet sind, die von einer Platte 23 getrennt werden. Diese dient zum Abdichten von zwischen den Mikrokomponenteen 2, 2' geführten Substanzen und zur Wärmeisolierung. Die Andruckplatte 3' ist bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 mit in der Fig. nicht sichtbaren Kanälen versehen, so daß sie von einem Öl- bzw. Heizmedium durchströmt werden kann, das bei 21 und 22 zu- bzw. abgeleitet wird. Zur beidseitigen Temperierung von Mikrokomponenten bzw. Stapeln von Mikrokomponenten können in Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 5 auch zwei Peltierelemente oder zwei von einem Kühl- bzw. Heizmedium durchströmte Wärmetauscher vorgesehen sein.
Fig. 6 zeigt eine Andruckplatte 3', in welche eine Nut 25 für einen Temperatursensor 24 eingebracht ist. Der Sensor schließt dann etwa flächig mit der der Mikrokomponente zugewandten Seite der Andruckplatte 31 ab, so daß ein guter wärmeleitender Kontakt mit der Mikrokomponente entsteht.

Claims

Patentansprüche
Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Temperierelement (15, 20) vorgesehen ist und daß zwischen der Mikrokomponente (2) und dem Temperierelement (15, 20) eine flächige wärmeleitende Verbindung besteht.
Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Temperierelement ein Peltierelement (15) ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der von der Mikrokomponenten (2) abgewandten Seite des Peltierelementes ein Wärmetauscher (18, 20) angeordnet ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmetau- scher (18) durch eine vergrößerte Oberfläche zum Wärmeaustausch mit der
Umgebungsluft ausgebildet ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterstützung des Wärmeaustausches ein Gebläse (19) vorgesehen ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Temperierelement ein Wärmetauscher (18, 20) ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmetauscher (20) hohl ausgebildet ist und mit Leitungsanschlüssen (21 , 22) für das Kühl- oder Heizmedium versehen ist.
Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes (18, 20) im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponente (2) aufweist.
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes kleiner als die angrenzende Fläche der Mikrokomponente ist.
10. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (1 , 3, 3') ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponente (2) und für das Temperierelement (15) aufweist mit zwei Schenkeln (5, 6), deren Enden mit einer Andruckplatte (3, 3') verschraubbar sind.
11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Andruckplatte (3) einen verstärkten Mittelteil (4) aufweist, der zwischen die Schenkel (5, 6) des U-förmigen Aufnahmeteils (1) paßt.
12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11 , dadurch gekennzeichnet, daß in dem der Andruckplatte (3) gegenüberliegenden Bereich des U- förmigen Aufnahmeteils (1) eine Öffnung (12) zur Aufnahme des Temperierelementes (15) angeordnet ist.
13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in der Andruckplatte Bohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen (10) vorgesehen sind.
14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Aufnahmeteil elektrische Anschlüsse (17) für das Temperierelement (15) vorgesehen sind.
15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (1 , 3, 3') aus thermisch beständigem Kunststoff besteht.
16. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Mikrokomponenten (2, 2') aneinanderliegend gehalten werden und daß eine außenliegende Mikrokomponente (2) mit dem Temperierelement (15) in wärmeleitender Verbindung steht.
17. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ferner die andere außenliegende Mikrokomponente (2') mit einem weiteren Temperierelement (3') in wärmeleitender Verbindung steht.
18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeich- net, daß zwischen aneinanderliegenden Mikrokomponenten Platten (23) geringer Wärmeleitfähigkeit angeordnet sind.
19. Einrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten Öffnungen zur Durchleitung von Substanzen zwischen den benachbarten Mikrokomponenten, die ebenfalls mit Öffnungen versehen sind, aufweisen.
20. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Sensor zur Erfassung der Temperatur mindestens einer Mikrokomponente vorgesehen ist, der mindestens einen Regler des Temperierelementes steuert.
21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Sensor (24) in einer in Richtung auf die angrenzende Mikrokomponente offenen Nut (25) einer Halterung (3') angeordnet ist.
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