WO2005061894A1 - Mikropumpe und klebstoffreies verfahren zur verbindung zweier substrate - Google Patents

Mikropumpe und klebstoffreies verfahren zur verbindung zweier substrate Download PDF

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WO2005061894A1
WO2005061894A1 PCT/EP2004/014505 EP2004014505W WO2005061894A1 WO 2005061894 A1 WO2005061894 A1 WO 2005061894A1 EP 2004014505 W EP2004014505 W EP 2004014505W WO 2005061894 A1 WO2005061894 A1 WO 2005061894A1
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functional element
channel
layer
valve flap
substrate layer
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PCT/EP2004/014505
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English (en)
French (fr)
Inventor
Ron Meyknecht
Original Assignee
Bartels Mikrotechnik Gmbh
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Publication date
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Priority to EP20040804104 priority patent/EP1700036B1/de
Priority to DE200450011253 priority patent/DE502004011253D1/de
Priority to US10/569,435 priority patent/US8043073B2/en
Priority to JP2006544383A priority patent/JP4664309B2/ja
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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/1037—Flap valves
    • F04B53/1047—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7837—Direct response valves [i.e., check valve type]
    • Y10T137/7879—Resilient material valve
    • Y10T137/7888—With valve member flexing about securement
    • Y10T137/7891—Flap or reed

Definitions

  • the present invention relates to an adhesive-free process for
  • connection of two substrates and in particular to a micropump which is produced in particular by means of the adhesive-free process for connecting two substrates.
  • a large number of methods are known from the prior art for having a first, second and third essentially two-dimensionally formed layer composed in particular of plastic and / or glass and / or substrate and / or metal.
  • the first, second and third layers can be connected to one another by means of adhesives, the methods known from the prior art each using three layers which are essentially the same in their areal extent.
  • Micropumps are also known from the prior art, which essentially consist of a lower housing part and an upper housing part, between which a valve membrane is arranged, e.g. from DE-19720482 C2.
  • the object of the present invention is therefore to provide a micropump of compact design with high pumping capacity, which can also be used in large sizes using simple and inexpensive production and connection techniques Quantities to be produced.
  • Another object of the present invention is to provide an inexpensive manufacturing method for a micromechanical component, which essentially consists of a two-layer structure with a functional element between the two layers.
  • FIG. 1a, b, c and d show a schematic representation of the basic elements of a device according to the invention
  • FIGS. 2a, b and c each show modifications of the device according to the invention from FIG. 1;
  • FIG. 3a shows a schematic plan view of the essential components of a device according to the invention according to a first embodiment of the present
  • FIG. 3b shows a section through components of FIG. 3a arranged one above the other;
  • Fig. 4a is a partial section through superimposed components of a device according to the invention according to a second embodiment of the present
  • FIGS. 4b and c show a schematic top view of a functional element of the second embodiment of the present invention from FIG. 4a;
  • 5a shows a schematic partial section through one above the other
  • FIGS. 5b and c show a schematic plan view of a functional element of the third embodiment of the present invention from FIG. 5a;
  • 6a shows a schematic representation of the arrangement of a device according to the invention according to a fourth embodiment of the present invention, and
  • FIG. 6b shows a schematic representation of a functional element of a fourth embodiment of the present invention from FIG. 6a, and
  • FIG. 6c shows a schematic representation of the arrangement of a invention
  • FIG. 6d shows a schematic illustration of a functional element of a fifth embodiment of the present invention from FIG. 6c.
  • FIG. 7 a and 7b further schematic representations in exploded representation or in section of a device according to the invention according to the first embodiment of the present invention from FIG. 3.
  • FIG. 8 shows an advantageous modification of the functional element from FIG. 6d.
  • Fig. 9 shows a schematic section through an inventive device in the arrangement of Fig. 6c.
  • FIG. 10 shows an advantageous modification of the device according to the invention from FIG. 9.
  • the present invention is based on the idea of specifying a method for connecting a first substrate layer 1, a second substrate layer 2 and a functional element 3, the functional element 3 being designed to be elastic and / or much thinner than the first 1 and second 2
  • the first 1 and second 2 layers and the functional element 3 are essentially two-dimensional, the functional one Element 3 according to the invention has a smaller area than the first 1 and second 2 layers.
  • the pressure and the material of layer 1 and layer 2 are selected such that layers 1 and 2 are permanently connected to one another after the pressure has been removed.
  • the method according to the invention also comprises, in particular, the following steps, the functional element 3 being initially arranged at a predetermined position on one of the layers 1 or 2, for example on the layer 1, and then a suitable solvent on the one not covered by the functional element 3 Surface of the layer 1 or 2 is applied, and then the second layer 2 is arranged over the first layer 1 and the functional element 3, and then pressure is applied to the second layer 2, so that the first 1 and second 2 Layer with each other and the functional element 3 is clamped between the layers 1 and 2.
  • the material of layers 1 and 2 and the solvent and the amount and duration of the pressure are selected such that layers 1 and 2 are permanently connected to one another after the pressure has been removed.
  • the functional element suitably comprises a thin plastic film and / or a metal film.
  • the first 1 and second 2 layers suitably comprise a substrate layer made of plastic and preferably made of polycarbonate and / or PPSU and / or PEI and / or melamine.
  • Parallel basic idea of the present invention is to provide a device with channel-like structures for transporting and / or storing a liquid and / or gaseous medium, which comprises a first 1 and second 2 substrate layer, between which a functional element 3 is arranged, which is designed to be elastic and / or much thinner than the first 1 and second 2 Layer is formed, wherein the channel-like structures are formed in the first 1 and / or second 2 layer, and the first 1 and the second 2 layer are firmly and permanently connected to each other, and the functional element 3 between the first 1 and the second 2 Layer is clamped so that by means of the functional element 3, the channel-like structures in the first 1 and / or second 2 layer are at least partially sealed gas and / or liquid-tight.
  • a device comprises, in particular, a functional element 3 which is designed as a movable element such that a channel-like structure in the first 1 and / or second 2 layer can be opened and / or closed by means of the functional element 3, the functional element 3 in particular can have a valve function.
  • a micropump is suitably provided by means of a device according to the invention, the functional element 3 having at least one valve flap 31 and the device also a dynamic one.
  • Drive element 4 comprises, which is suitable to change a volume of a cavity formed in the device.
  • a device according to the invention suitably comprises a first layer 1, in which a first channel 10 is formed, and a second layer 2, in which a second channel 20 is formed, so that a connection between the first 10 and the second 20 channels is provided.
  • a valve flap 31 of the functional element 3 is arranged such that the connection between the first 10 and the second 20 channel is opened or closed.
  • the first one is particularly and suitably.
  • connection between the first 10 and second 20 channels with the first 10 and second 20 channels including an angle ⁇ of 5 ° to 80 ° and preferably of 15 ° to 50 °, so that means of connection between the first 10 and second 20 duct a tangential transition between the first 10 and second 20 duct is provided •.
  • the valve flap 31 of the functional element 3 is suitable located at the junction between the first 10 and second 20 channels.
  • the first channel 10 has a first width 10b
  • the second channel 20 has a second width 20b
  • the valve flap 31 has a third width
  • a device having a first channel 10 with a first width 10b, a second channel 20 with a second width 20b, and a valve flap 31 with a third width 31b is provided, in particular and suitably, the second width 20b ⁇ the third width 31b ⁇ the first width 10b, and wherein a drive element 4 of the valve flap 31 is connected in the flow direction 231 before (4,231) and / or after (231, 4), a pump structure (II) according to the invention being provided.
  • a multiplicity of micropump structures (I) and / or (II) can be formed in combination in a device according to the invention.
  • a device according to the invention comprises a central drive element 4, to which at least one first valve flap 31 according to the pump structure (I) is connected upstream in the flow direction 132 (4, 132) and also at least one second valve flap 31 according to the pump structure (II) is connected downstream in the flow direction (231) ( 231, 4), and a device according to the invention also comprises, in particular, a third valve flap 31 according to pump structure I, which is connected downstream of the drive element 4 in the flow direction 132 (132, 4) and is connected upstream of the second valve flap 31, and also a fourth valve flap 31 according to pump structure II, which is connected upstream of the drive element 4 in the flow direction 231 (231, 4) and is connected downstream of the first valve flap 31.
  • the valve flaps 31 are formed in a plastic film 3 in the direction of flow, and moreover between the third and fourth valve flap 31 is formed a recess 30 which is connected to a cavity which interacts with the drive element 4.
  • a device according to the invention comprises a series connection of
  • valve flaps 31 are formed in a functional element 3 in the flow direction.
  • a recess 30 is formed between the two middle valve flaps 31, which cooperates with the pump chamber and the drive element 4.
  • a hole structure 30 'with a filter effect can be provided instead of the recess 30, the functional element 3 being suitably formed in a thin plastic film.
  • FIG. 1a, b, c and d show a schematic representation of the basic elements of a device according to the invention, the basic principle of the method according to the invention also being illustrated on the basis of the figures mentioned.
  • the method according to the invention for connecting a first substrate layer 1, a second substrate layer 2 and a functional element 3 which is designed to be elastic and is suitably designed to be much thinner than the first 1 and second 2 substrate layers.
  • the functional element 3 is sandwiched between the first 1 and second 2 substrate layers, wherein the functional element 3 has a smaller area than the first 1 and second 2 layers and is suitably arranged at a predetermined position on the first substrate layer 1. This is followed by a Suitable solvent applied to the surface of the substrate layer 1 not covered by the functional element 3.
  • the second substrate layer 2 is arranged over the first layer 1 and the functional element 3 and pressure is exerted on the second substrate layer 2, so that the first 1 and second 2 substrate layers bond and the functional element 3 is clamped between the substrate layers 1 and 2 , so that the first 1 and second 2 substrate layers are permanently connected to one another, and the functional element 3 is arranged permanently between the first 1 and second 2 substrate layers.
  • the material of substrate layers 1 and 2 and the solvent and the amount and duration of the pressure are selected such that layers 1 and 2 are permanently connected to one another after the pressure has been removed.
  • Substrate layer 1 positioning recesses may be formed, which correspond to positioning pins on the functional element 3, so that the functional element 3 can be arranged in a simple manner and exactly at a predetermined position on the substrate layer 1. It is clear that, conversely, positioning pins can also be formed on the surface of the first substrate layer 1 and positioning recesses or positioning holes corresponding to the positioning pins of the substrate layer 1 can be formed on the functional element 3.
  • the functional element 3 is essentially designed as a two-dimensional layer, which is designed to be elastic and is suitably designed to be much thinner than the first 1 and second 2 substrate layers, and the functional element 3 also has a smaller area than the first 1 and second 2 substrate layer, and in addition the first 1 and second 2 substrate layers are formed from a material which is available by means of a suitable solvent and pressure and which also has sufficient elasticity so that the functional element 3 is pressurized between the first 1 and second 2 substrate layer can be clamped and itself. touch and connect the surfaces of the first 1 and second 2 substrate layers and are permanently connected to one another after the pressure has been removed.
  • the functional element 3 can be clamped between the two substrate layers one and two in such a way that small cavities x arise at its edges.
  • the first 1 and second 2 substrate layer are suitably made of plastic and preferably of polycarbonate and / or PPSU and / or PEI and / or melamine, and the functional element 3 is suitably a thin plastic film and / or a metal foil and in particular made of plastic and preferably made of polymid.
  • FIG. 2a, b and c show schematic representations of the basic elements of a device according to the invention and in each case modifications of the device according to the invention from FIG. 1.
  • two functional elements 3 are clamped between a first 1 and second 2 substrate layer
  • a large number of functional elements 3 can also be clamped according to the invention between a first 1 and second 2 substrate layer by means of the method according to the invention.
  • FIG. 2b shows the basic components of a further modification of the device according to the invention from FIG. 1, only one functional element 3 being clamped here by way of example between a first 1 and a second 2 substrate layer.
  • a first 1 and a second 2 substrate layer are the first functional element 3 being clamped here by way of example between a first 1 and a second 2 substrate layer.
  • the functional element 3 can also be made thicker than a functional element 3 of the embodiment of FIGS. 1 and 2a.
  • the functional element 3 of the embodiment in FIG. 2 b has a thickness that is the same size or greater than the depth of the recess in the substrate layer 1.
  • 2c shows a schematic representation of the essential components of a further modification of a device according to the invention, a suitable recess also being formed in the second substrate layer 2, which corresponds to the recess in the substrate layer 1 and the functional element 3.
  • the functional element 3 can have a greater thickness than the functional element 3 in the embodiments of FIGS. 1, 2a and 2b, the thickness of the functional element 3 suitably being equal to or greater than the sum of the depths of the Recesses in the substrate layers 1 and 2.
  • FIG. 3a shows a plan view of the essential components of a device according to the invention in accordance with a first embodiment of the present invention
  • FIG. 3b shows a section through components of FIG. 3a arranged one above the other.
  • the first embodiment of the present invention provides a device with channel-like structures for transporting and / or storing a liquid and / or gaseous medium, the device being a first 1 and second 2 substrate layer and a functional element 3, which is elastic and suitably much thinner than the first 1 and second 2 substrate layer, and which is sandwiched between the first 1 and second 2 substrate layer.
  • channel-like structures 10 and 20 are formed in the first 1 and / or second 2 substrate layer, and the first 1 and second 2 substrate layers are firmly and permanently connected to one another, the functional element 3 being clamped in this way between the first 1 and second 2 substrate layers, that by means of the functional element 3, the channel-like structures 10 and 20 in the first 1 and / or second 2 substrate layer are at least gas and / or liquid-tight.
  • an upwardly open channel 10 is formed in the first layer 1 and an opening 20 corresponding to the channel 10 and through the layer 2 is formed in the second layer 2.
  • the functional element 3 is designed according to the invention as a thin film with a continuous opening 30, which corresponds to the opening 20 of the second substrate layer 2, and also with a valve flap 31, the width and length of which correspond to the width and depth of the channel 10.
  • the layers 1 and 2 are now arranged one above the other, and also the functional element 3 is sandwiched between the substrate layers 1 and 2, which is provided by means of the openings 30 and 20 to connect the channel 10 to a cavity, which is connected to a drive element 4 interacts, and in addition the channel 10 can be opened and / or closed by means of the valve flap 31, so that a pump structure according to the invention is provided.
  • the pump structure described above is shown schematically in Fig. 3b.
  • the drive element 4 can be provided for example and suitably by means of a piezo actuator 4. 3b, the opening 30 and 20 and the drive element 4 are connected downstream of the valve flap 31 in the flow direction (arrow direction). It is clear that the opening 20 and 30 and the drive element 4 with a suitable design of the valve flap 31 in FIG Flow direction can also be connected upstream, and / or in addition to the openings 20 and 30 of FIGS. 3a and b, second openings 20 and 30 and a second drive element 4 in addition to the drive element 4 connected downstream of the valve flap 31 can be connected upstream of the valve flap 31.
  • a perforated structure 30 ' can also be formed in the functional element 3 instead of the opening 30, which has a filtering effect and effectively prevents interference or dirt particles, for example contained in a liquid to be pumped, from entering the cavity or get to the pumping chamber.
  • Such an advantageous hole structure 30 ' is shown schematically in FIG. 8 and is described in detail below.
  • FIG. 4a shows a partial section through superimposed components of a device according to the invention in accordance with a second embodiment of the present invention
  • FIG. 4b shows a top view
  • FIG. 4c shows a partial top view of a functional element of the second embodiment of the present invention from FIG. 4a.
  • the second embodiment of the present invention shown in Fig. 4 substantially corresponds to the embodiment of Fig. 3, with the difference that the channel 10 flattens ⁇ in the first layer at 'a predetermined position at a predetermined angle, and also in the second substrate layer 2, a second channel 20 is formed, which also flattens out at a predetermined position at a predetermined angle ⁇ , and which corresponds to the channel 10 formed in the first substrate layer 1 in such a way that when the
  • Substrate layers 1 and 2 a tangential connection of the channels 10 and 20 is provided at a predetermined angle ⁇ .
  • the channel 20 is also designed such that it is connected at a predetermined position (not shown in the drawing) to a cavity arranged above the layer 2 and which interacts with a drive element 4.
  • the functional element 3 of the embodiment of FIG. 4 essentially corresponds to the functional element 3 of the embodiment of FIG. 3 with the difference that that the functional element 3 of the embodiment of FIG. 4 does not comprise an opening 30.
  • the first channel 10 and the second channel 20 and the functional element 3 with the valve flap 31 are now designed according to the invention such that the valve flap
  • the first channel 10, the second channel 20 and the valve flap 31 are designed such that the first channel 10 has a first width 10b, the second channel 20 has a second width 20b and the valve flap 31 has a third width 31b, so that the first width 10b ⁇ the third width 31b, and the third width 31b ⁇ the second width 20b.
  • the valve flap 31 is also suitably arranged and designed such that a pump structure with a
  • Flow direction (arrow direction) from the first channel 10 to the second channel 20 is provided, the drive element 4 of the valve flap 31 being able to be connected downstream of (4.132) and / or (132.4) in the flow direction 32. 4a, a pump structure (I) according to the invention is provided.
  • FIG. 5a shows a partial section through superimposed components of a device according to the invention in accordance with a third embodiment of the present invention
  • FIGS. 5b and c show a top view and a partial top view of a functional element 3 of the third embodiment of the present invention from FIG.
  • the channels 10 and 20 suitably have a first width 10b and one, respectively second width 20b and the valve flap 31 a third width 31b, so that the second width 20b ⁇ the third width 31b and the third width 3b ⁇ the first width 10b.
  • a drive element 4 of the valve flap 31 can also be connected in the flow direction 231 before (4,231) and / or after (231, 4).
  • the third embodiment of the present invention provides a pump structure (II) according to the invention.
  • the angle ⁇ suitably includes an angle of 5 ° to 80 ° and preferably of 15 to 50 ° and particularly advantageously an angle, so that a tangential transition between the both channels 10 and 20 is provided.
  • FIG. 6a shows a schematic representation of the arrangement of a device according to the invention in accordance with a fourth embodiment of the present invention.
  • At least one first valve flap 31 according to the pump structure (I) from FIG. 4 is connected upstream of a central drive element 4 in the flow direction (arrow direction) and at least one second valve flap 31 according to the pump structure (II ) downstream of Fig. 5 in the flow direction.
  • the pump structure (I) and the pump structure (II) can each be provided by means of independent functional elements 3 and their valve flaps 31.
  • the pump structure (I) and (II) can also be provided by means of a suitably designed, one-piece functional element 3 with a central through opening 30, which is preceded by a valve flap 31 according to the embodiment of FIG.
  • FIG. 6b shows a suitable one-piece functional element 3 with a central, continuous recess 30, to which a valve flap element 31 is shown from FIG. 4 ( ⁇ ) upstream in the flow direction (arrow direction) and which is followed by a valve flap 31 according to the embodiment of FIG. 5 (II) in the flow direction.
  • a hole structure 30 ′ according to the functional element 3 of FIG. 8, which is described below, can also be formed in the functional element 3 instead of the opening 30.
  • FIG. 6c shows a schematic representation of the arrangement of a device according to the invention in accordance with a fifth embodiment of the present invention, in which, as in the fourth embodiment of the present invention from FIG. 6a, a pump structure (I) according to the embodiment of FIG.
  • a second pump structure (II) according to the embodiment of FIG. 5 is connected downstream of the drive element 4 in the flow direction, and in addition a third pump structure (II) according to the embodiment of FIG 5 is connected upstream of the central drive element 4 in the flow direction and the first pump structure
  • FIG. 4 is connected downstream, and in addition a fourth pump structure (I) according to the embodiment of FIG. 4 is connected downstream of the central drive element 4, and the first pump structure (11) according to FIG. 5 is connected upstream.
  • a liquid flows through a channel 10 in the first substrate layer 1, through a pump structure (I) and a channel 20 in the second substrate layer 2, a pump structure (II) and a channel 10 in the first substrate layer 1, a further pump structure (I), and a channel 20 in the second substrate layer 2, and finally through a further pump structure (II) and a channel 10 in the first
  • the four pump structures (I) and (II) can be provided by individual functional elements 3 which cooperate with the central drive element 4.
  • valve flaps 31 are provided by a one-piece functional element 3 which has a continuous recess 30 in its central region, two in each case Valve flaps 31 are connected upstream and downstream of the recess 30 in the flow direction in accordance with the designs of the pump structures (II) and (I).
  • FIG. 9 shows a schematic section through the fifth embodiment of the present invention from FIG. 6c.
  • Such an advantageous functional element 3 is shown schematically in FIG. 6d and in each case comprises valve flaps 31 according to the pump structures (I), (II), (I) and (II), which are connected in series in the flow direction F and the central unit Recess 30 is arranged between the valve flaps 31 of the middle pump structures (II) and (I). More appropriate and advantageous
  • a perforated structure 30 ' can also be formed in the functional element 3 according to the functional element 3 of FIG. 8, which will be described below.
  • Fig. 7a shows an example of a schematic representation of an inventive
  • FIG. 7a corresponds in its structure and mode of operation to that of FIG. 3, which is why reference is made here to the description in this regard.
  • the layers 1 and 2 are arranged one above the other and the functional element 3 is sandwiched between the layers 1 and 2.
  • the fourth layer 41 with the cavity 410 which comprises a pump chamber, is arranged above the second layer 2 and is covered with a thin glass layer 42, over which a drive element 43 is arranged, which is suitably provided by means of a piezo actuator 4.
  • the opening 20 of the second layer and the cavity 410 in the layer 41 are suitably formed and arranged in such a way that the opening 20 of the second layer is arranged at an apex of the cavity 410 of the substrate layer 41.
  • the drive element 4 can suitably be a thin piezo membrane.
  • the present invention can in particular be miniaturized
  • Microstructure technologies can also be produced inexpensively in industrial series production.
  • FIG. 8 shows a schematic representation of an advantageous modification of the one-piece functional element 3 according to the invention from FIG. 6d, which suitably comprises a thin plastic film.
  • the functional element 3 also comprises valve flaps 31 according to the pump structures (I), (II), (I) and (II), which are formed in this order in a plastic film and are arranged in the flow direction F. Between the middle pump structures (II) and (I) a hole structure 30 'is formed in a suitable manner and advantageously, which with the
  • Cavity 410 of a pump chamber cooperates.
  • the perforated structure has the effect of a filter which prevents dirt or disruptive particles contained in a liquid to be pumped from entering the pumping chamber 410 and associated operational failures of the drive element 4 effectively prevented. Any particles contained in the liquid to be pumped are therefore completely channeled through the fluid channel and do not reach the pump chamber, so that a piezo membrane 4 can move unhindered. This meets the requirements for the purity of a pump
  • Liquid is advantageously determined solely by the channel cross section of the channel structures 10 and 20, which can be approximately 1 mm 2 , for example.
  • the advantageous hole structure 30 ′ of the functional element 3 described above acts particularly advantageously with a multiple valve arrangement according to FIG.
  • FIGS. 9 and 10 together, whereby even elongated fibrous particles pass a pump according to the invention without problems.
  • Fig. 9 shows a schematic section through a device according to the invention according to the fifth embodiment of the present invention, the above under
  • the fifth embodiment of the invention is particularly suitable for a one-piece functional element 3 according to FIG. 6d, which is shown by way of example in drawing 9, and is particularly advantageously suitable for a functional element 4 according to FIG. 8.
  • FIG. 10 shows an advantageous modification of the fifth embodiment of the present invention from FIG. 6c and FIG. 9, which essentially corresponds to that described above with reference to FIG.
  • FIG. 9 correspond to the fifth embodiment described, with the difference that the transition of the channel structures 10 and 20 is advantageously stepless and without edges and corners, which is the efficiency of the pumping power further significantly increased and the susceptibility to interference from dirt or disruptive particles considerably further reduced, in particular in combination with the functional layer 3 of FIG. 8 with the perforated structure 30 'used here by way of example and advantageously.
  • the one-story design of the functional element 3 and its multifunctionality as a filter and with several differently designed and similar valve flaps 31 is particularly advantageous because it is particularly efficient in terms of performance and effect, in particular with suitable channel structures 10 and 20, and also miniaturized simply and inexpensively also in huge
  • a first to fifth embodiment of a micropump according to the invention described above, and in particular the fourth and fifth embodiment of the invention, is particularly suitable for conveying liquids and gases even in the smallest metered quantities and, with a correspondingly miniaturized design, can have a particle tolerance up to a particle diameter of approximately 40 ⁇ m , Due to the structure of the fluid channel according to the invention with flat angles and the integrated valve flaps, only an extremely small pressure loss can occur during work.
  • a micropump according to the invention can be used in many areas, for example in the metering of fluids in chemical, biological, medical analysis, for example in sampling, for example in environmental analysis, and also, for example, in

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Abstract

Verfahren zum Verbinden einer ersten Substratschich (1), einer zweiten Substratschicht (2), und einem funktionalen Element (3), wobei: das funktionale Element wird aus einem Material mit einer vorbestimmten Elastizität ausgewählt; und die erste und zweite Schicht werden aus einem Material mit einer vorbestimmten Steifigkeit ausgewählt; das funktionale Element wird sandwichartig zwischen der ersten und zweiten Substratschicht angeordnet; die erste und zweite Substratschicht wird mittels Druck zusammengefügt, wobei das funktionale Element derart geklemmt wird, dass die erste und zweite Substratschicht dauerhaft miteinander verbunden sind, und das funktionale Element dauerhaft zwischen der ersten und zweiten Substratschicht angeordnet ist. Vorrichtung mit kanalartigen Strukturen zum Transport und/oder zur Lagerung eines flüssigen und/oder gasförmigen Mediums, wobei die Vorrichtung umfaßt: eine erste (1) und zweite (2) Substratschicht und ein funktionales Element (3), das sandwichartig zwischen der ersten und zweiten Substratschicht angeordnet ist; und die kanalartigen Strukturen sind in der ersten und/oder zweiten Substratschicht ausgebildet; und die erste und zweite Substratschicht sind fest und dauerhaft miteinander verbunden, und das funktionale Element ist zwischen die erste und zweite Substratschicht geklemmt; wobei das funktionale Element ist elastisch ausgebildet, und die erste und zweite Schicht sind steif ausgebildet; und mittels dem funktionalen Element die kanalartigen Strukturen in der ersten und/oder zweiten Substratschicht zumindest teilweise gas- und/oder flüssigkeitsdicht abgeschlossen sind.

Description

Mikropumpe und klebstoffreies Verfahren zur Verbindung zweier Substrate
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein klebstoffreies Verfahren zur
Verbindung zweier Substrate und insbesondere auf eine Mikropumpe, die insbesondere mittels dem klebstoffreien Verfahren zur Verbindung zweier Substrate hergestellt ist.
Aus dem Stand der Technik sind eine Vielzahl von Verfahren bekannt, eine erste, zweite und dritte im wesentlichen zweidimensional ausgebildete Schicht aus insbesondere Kunststoff und/oder Glas und/oder Substrat und/oder Metall miteinander zu verfügen. Beispielsweise können die erste, zweite und dritte Schicht mittels Klebstoffen miteinander verbunden werden, wobei die aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren jeweils drei in ihrer flächenhaften Ausdehnung im wesentlichen gleich große Schichten verwenden. Aus dem Stand der Technik sind außerdem Mikropumpen bekannt, die im wesentlichen aus einem Gehäuseunterteii und einem Gehäuseoberteil bestehen, zwischen denen eine Ventilmembran angeordnet ist, z.B. aus der DE-19720482 C2.
Die aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren zur Verbindung dreier Schichten sind meist recht aufwendig und kostspielig, was in gleiche Weise für die aus dem Stand der Technik bekannten Mikropumpen gilt, die mittels den genannten Verfahren hergestellt werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, eine Mikropumpe kompakter Bauart mit hoher Pumpleistung bereitzustellen, die unter Einsatz einfacher und kostengünstiger Herstellungs- und Verbindungstechniken auch in großen Stückzahlen zu fertigen ist. Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein kostengünstiges Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil bereitzustellen, das im wesentlichen aus einem Zwei-Schichtaufbau mit einem funktionalen Element zwischen den beiden Schichten besteht.
Die Aufgaben werden mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausführungen der vorliegenden Erfindung sind in den Unteransprüchen und/oder der nachfolgenden Beschreibung erwähnt, die von schematischen Zeichnungen begleitet ist.
Hierzu zeigt:
Fig. 1a, b, c und d eine schematische Darstellung der grundlegenden Elemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 2a, b und c jeweils Abwandlungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung von Fig. 1 ;
Fig. 3a eine schematische Draufsicht auf die wesentlichen Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführung der vorliegenden
Erfindung, und Fig. 3b einen Schnitt durch übereinander angeordnete Bauelemente von Fig. 3a;
Fig. 4a einen Teilschnitt durch übereinander angeordnete Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführung der vorliegenden
Erfindung, und Fig. 4b und c eine schematische Draufsicht auf ein funktionales Element der zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 4a;
Fig. 5a einen schematischen Teilschnitt durch übereinander angeordnete
Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 5b und c eine schematische Draufsicht auf ein funktionales Element der dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 5a; Fig. 6a eine schematische Darstellung der Anordnung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 6b eine schematische Darstellung eines funktionalen Elements einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6a, und Fig. 6c eine schematische Darstellung der Anordnung einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung gemäß einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 6d eine schematische Darstellung eines funktionalen Elements einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6c.
Fig. 7 a und 7b weitere schematische Darstellungen in Explosionsdarstellung bzw. im Schnitt einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß der ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 3.
Fig. 8 eine vorteilhafte Abwandlung des funktionalen Elements von Fig. 6d.
Fig. 9 einen schematischen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung in der Anordnung von Fig. 6c.
Fig. 10 eine vorteilhafte Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung von Fig. 9.
Der vorliegenden Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, ein Verfahren zum Verbinden einer ersten Substratschicht 1 , einer zweiten Substratschicht 2 und einem funktionalen Element 3 anzugeben, wobei das funktionale Element 3 elastisch ausgebildet ist und/oder sehr viel dünner als die erste 1 und zweite 2
Substratschicht ausgebildet ist, und das funktionale Element sandwichartig zwischen der ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht angeordnet ist, und wobei die erste 1 und zweite 2 Schicht mittels Druck zusammengefügt werden, so dass das funktionale Element 3 derart zwischen die beiden Schichten geklemmt wird, dass die erste 1 und zweite 2 Schicht dauerhaft miteinander verbunden sind, und das funktionale Element 3 dauerhaft zwischen der ersten 1 und zweiten 2 Schicht angeordnet ist. Dabei ist die erste 1 und zweite 2 Schicht und das funktionale Element 3 im wesentlichen zweidimensional ausgebildet, wobei das funktionale Element 3 erfindungsgemäß eine kleinere Fläche als die erste 1 und zweite 2 Schicht aufweist.
Erfindungsgemäß ist hierbei der Druck und das Material von Schicht 1 und Schicht 2 derart ausgewählt, dass nach Absetzen des Drucks Schicht 1 und 2 dauerhaft miteinander verbunden sind.
Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt außerdem insbesondere die folgenden Schritte, wobei zunächst das funktionale Element 3 an einer vorbestimmten Position auf einer der Schichten 1 oder 2, beispielsweise auf der Schicht 1 angeordnet wird, und anschließend ein geeignetes Lösungsmittel auf der nicht von dem funktionalen Element 3 bedeckten Oberfläche der Schicht 1 oder 2 aufgebracht wird, und daran anschließend die zweite Schicht 2 über der ersten Schicht 1 und dem funktionalen Element 3 angeordnet wird, und daran anschließend Druck auf die zweite Schicht 2 ausgeübt wird, so dass sich die erste 1 und zweite 2 Schicht miteinander verfügen und das funktionale Element 3 zwischen die Schichten 1 und 2 geklemmt wird.
Erfindungsgemäß ist hierbei das Material von Schicht 1 und 2 und das Lösungsmittel und Höhe und Dauer des Drucks derart ausgewählt, dass nach Absetzen des Drucks Schicht 1 und 2 dauerhaft miteinander verbunden sind.
Geeigneterweise umfaßt das funktionale Element eine dünne Kunststoffolie und/oder eine Metallfolie.
Die erste 1 und zweite 2 Schicht umfassen geeigneter Weise eine Substratschicht aus Kunststoff und vorzugsweise aus Polycarbonat und/oder PPSU und/oder PEI und/oder Melamin.
Paralleler Grundgedanke der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung mit kanalartigen Strukturen zum Transport und/oder zur Lagerung eines flüssigen und/oder gasförmigen Mediums anzugeben, die eine erste 1 und zweite 2 Substratschicht umfaßt, zwischen der ein funktionales Element 3 angeordnet ist, das elastisch ausgebildet ist und/oder sehr viel dünner als die erste 1 und zweite 2 Schicht ausgebildet ist, wobei die kanalartigen Strukturen in der ersten 1 und/oder zweiten 2 Schicht ausgebildet sind, und die erste 1 und die zweite 2 Schicht fest und dauerhaft miteinander verbunden sind, und das funktionale Element 3 zwischen die erste 1 und die zweite 2 Schicht geklemmt ist, so dass mittels dem funktionalen Element 3 die kanalartigen Strukturen in der ersten 1 und/oder zweiten 2 Schicht zumindest teilweise gas- und/oder flüssigkeitsdicht abgeschlossen sind.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt insbesondere ein funktionales Element 3, das als bewegliches Element derart ausgebildet ist, dass mittels dem funktionalen Element 3 eine kanalartige Struktur in der ersten 1 und / oder zweiten 2 Schicht geöffnet und/oder verschlossen werden kann, wobei das funktionale Element 3 insbesondere eine Ventilfunktion aufweisen kann.
Geeigneterweise wird mittels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Mikropumpe bereitgestellt, wobei das funktionale Element 3 zumindest eine Ventilklappe 31 aufweist und die Vorrichtung außerdem ein dynamisches . Antriebselement 4 umfaßt, das geeignet ist ein Volumen eines in der Vorrichtung ausgebildeten Hohlraumes zu verändern. Geeigneterweise umfaßt eine erfindungsgemäße Vorrichtung eine erste Schicht 1 , in der ein erster Kanal 10 ausgebildet ist, und eine zweite Schicht 2, in der ein zweiter Kanal 20 ausgebildet ist, so dass eine Verbindung zwischen dem ersten 10 und dem zweiten 20 Kanal bereitgestellt ist. Außerdem ist eine Ventilklappe 31 des funktionalen Element 3 derart angeordnet, dass die Verbindung zwischen dem ersten 10 und dem zweiten 20 Kanal geöffnet oder geschlossen ist. Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung sind insbesondere und geeigneterweise der erste . 10 und zweite 20 Kanal im wesentlichen parallel angeordnet, wobei die Verbindung zwischen dem ersten 10 und zweiten 20 Kanal mit dem ersten 10 und zweiten 20 Kanal einen Winkel α von 5° bis 80° und vorzugsweise von 15° bis 50° einschließt, so dass mittels der Verbindung zwischen dem ersten 10 und zweiten 20 Kanal ein tangentialer Übergang zwischen dem ersten 10 und zweiten 20 Kanal bereitgestellt • ist. Außerdem ist die Ventilklappe 31 des funktionalen Elements 3 geeigneterweise an der Verbindungsstelle zwischen dem ersten 10 und zweiten 20 Kanal angeordnet.
Insbesondere und geeigneterweise hat der erste Kanal 10 eine erste Breite 10b, der zweite Kanal 20 eine zweite Breite 20b und die Ventilklappe 31 eine dritte Breite
31b, wobei die erste Breite 10b < dritte Breite 31b ≤ zweite Breite 20b ist, und wobei in Flußrichtung 132 ein Antriebselement 4 der Ventilklappe 31 vor (4,132) und/oder (132,4) nachgeschaltet ist, womit eine Pumpenstruktur (I) bereitgestellt ist.
Gemäß einer abgewandelten Ausführung der vorliegenden Erfindung wird insbesondere und geeigneterweise eine Vorrichtung mit einem ersten Kanal 10 mit einer ersten Breite 10b, einem zweiten Kanal 20 mit einer zweiten Breite 20b, und einer Ventilklappe 31 mit einer dritten Breite 31 b bereitgestellt, wobei die zweite Breite 20b < die dritte Breite 31b < die erste Breite 10b ist, und wobei ein Antriebselement 4 der Ventilklappe 31 in Flußrichtung 231 vor (4,231) und/oder nach (231 ,4) geschaltet ist, wobei eine erfindungsgemäße Pumpenstruktur (II) bereitgestellt ist.
Erfindungsgemäß kann eine Vielzahl von Mikropumpenstrukturen (I) und/oder (II) in Kombination in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgebildet sein.
Insbesondere und geeigneterweise umfaßt eine erfindungsgemäße Vorrichtung ein zentrales Antriebselement 4, dem wenigstens eine erste Ventilklappe 31 gemäß Pumpenstruktur (I) in Flußrichtung 132 vorgeschaltet (4,132) ist und außerdem wenigstens eine zweite Ventilklappe 31 gemäß Pumpenstruktur (II) in Flußrichtung (231) nachgeschaltet (231 ,4) ist, und eine erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst außerdem insbesondere eine dritte Ventilklappe 31 gemäß Pumpenstruktur I, die dem Antriebselement 4 in Flußrichtung 132 nachgeschaltet (132,4) ist, und der zweiten Ventilklappe 31 vorgeschaltet ist, und außerdem eine vierte Ventilklappe 31 gemäß Pumpenstruktur II, die dem Antriebselement 4 in Flußrichtung 231 vorgeschaltet (231 ,4) ist, und der ersten Ventilklappe 31 nachgeschaltet ist. Dabei sind insbesondere und geeigneterweise die Ventilklappen 31 in dieser Anordnung in Flußrichtung in einer Kunststoffolie 3 ausgebildet, wobei außerdem zwischen der dritten und vierten Ventilklappe 31 eine Ausnehmung 30 ausgebildet ist, die mit einem Hohlraum verbunden ist, der mit dem Antriebselement 4 zusammenwirkt.
Nach einer besonders vorteilhaften Ausführung der vorliegenden Erfindung umfasst eine erfindungsgemäße Vorrichtung eine Hintereinanderschaltung von
Pumpenstrukturen (I), (II), (I) und (II) mit einer zugehörigen ersten, zweiten, dritten und vierten Ventilklappe 31 in dieser Reihenfolge in Flussrichtung, wobei ein zentrales Antriebselement 4 und ein Hohlraum (Pumpkammer) zwischen den mittleren Pumpenstrukturen (II) und (I) angeordnet ist. Dabei sind insbesondere und geeigneterweise die Ventilklappen 31 in dieser Anordnung in Flussrichtung in einem funktionalen Element 3 ausgebildet. Ausserdem ist zwischen den beiden mittleren Ventilklappen 31 eine Ausnehmung 30 ausgebildet, die mit der Pumpkammer und dem Antriebselement 4 zusammenwirkt.
Nach einer vorteilhaften Ausführung des erfindungsgemäßen funktionalen Elements
3 kann an Stelle der Ausnehmung 30 eine Lochstruktur 30' mit Filterwirkung vorgesehen sein, wobei das funktionale Element 3 geeigneterweise in einer dünnen Kunststoffolie ausgebildet ist.
Nachfolgend werden vorteilhafte Ausführungen der vorliegenden Erfindung anhand der begleitenden Zeichnungen detailliert beschrieben.
Fig. 1a, b, c und d zeigen eine schematische Darstellung der grundlegenden Elemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei anhand der genannten Figuren auch das grundlegende Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens verdeutlicht ist. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Verbinden einer ersten Substratschicht 1 , einer zweiten Substratschicht 2 und einem funktionalen Element 3 das elastisch ausgebildet ist und geeigneterweise sehr viel dünner als die erste 1 und zweite 2 Substratschicht ausgebildet ist. Außerdem wird das funktionale Element 3 sandwichartig zwischen der ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht angeordnet, wobei das funktionale Element 3 eine kleinere Fläche als die erste 1 und zweite 2 Schicht hat und geeigneterweise an einer vorbestimmten Position auf der ersten Substratschicht 1 angeordnet wird. Daran anschließend wird ein geeignetes Lösungsmittel auf der nicht von dem funktionalen Element 3 bedeckten Oberfläche der Substratschicht 1 aufgebracht. Daran anschließend wird die zweite Substratschicht 2 über der ersten Schicht 1 und dem funktionalen Element 3 angeordnet und Druck auf die zweite Substratschicht 2 ausgeübt, so dass sich die erste 1 und zweite 2 Substratschicht verbinden und das funktionale Element 3 zwischen die Substratschichten 1 und 2 geklemmt wird, so dass die erste 1 und zweite 2 Substratschicht dauerhaft miteinander verbunden ist, und das funktionale Element 3 dauerhaft zwischen der ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht angeordnet ist.
Hierbei ist das Material von Substratschicht 1 und 2 und das Lösungsmittel und Höhe und Dauer des Drucks derart ausgewählt, dass Schicht 1 und 2 nach Absetzen des Drucks dauerhaft miteinander verbunden sind.
Wie in Fig. 1 c und d schematisch dargestellt ist, können in der ersten
Substratschicht 1 Positionierungsausnehmungen ausgebildet sein, die mit Positionierungsstiften an dem funktionalen Element 3 korrespondieren, so dass das funktionale Element 3 auf einfache Weise und exakt an einer vorbestimmten Position auf der Substratschicht 1 angeordnet werden kann. Es ist klar, dass auch umgekehrt Positionierungsstifte auf der Oberfläche der ersten Substratschicht 1 ausgebildet sein können und mit den Positionierungsstiften der Substratschicht 1 korrespondierende Positionierungsausnehmungen oder Positionierungslöcher an dem funktionalen Element 3 ausgebildet sein können.
Erfindungsgemäß ist das funktionale Element 3 im wesentlichen als zweidimensionale Schicht ausgebildet, die elastisch ausgebildet ist und geeigneterweise sehr viel dünner ausgebildet ist, als die erste 1 und zweite 2 Substratschicht, und außerdem hat das funktionale Element 3 eine kleinere Fläche als die erste 1 und zweite 2 Substratschicht, und außerdem sind die erste 1 und zweite 2 Substratschicht aus einem Material ausgebildet, das mittels einem geeigneten Lösungsmittel und Druck verfügbar ist, und das außerdem eine hinreichende Elastizität aufweist, so dass das funktionale Element 3 mittels Druck zwischen die erste 1 und zweite 2 Substratschicht geklemmt werden kann und sich . die Oberflächen der ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht berühren und miteinander verbinden und nach Absetzen des Drucks dauerhaft miteinander verbunden sind. Dabei kann das funktionale Element 3 derart zwischen die beiden Substratschichten eins und zwei geklemmt werden, dass an seinen Rändern kleine Hohlräume x entstehen.
Geeigneterweise ist die erste 1 und zweite 2 Substratschicht aus Kunststoff und vorzugsweise aus Polycarbonat und/oder PPSU und/oder PEI und/oder Melamin ausgebildet, und das funktionale Element 3 ist geeigneterweise eine dünne Kunststofffolie und/oder eine Metallfolie und insbesondere aus Kunststoff und vorzugsweise aus Polymid ausgebildet.
Fig. 2a, b und c zeigen schematische Darstellungen der grundlegenden Elemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und jeweils Abwandlungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung von Fig. 1. Bei der Vorrichtung von Fig. 2a werden beispielsweise zwei funktionale Elemente 3 zwischen eine erste 1 und zweite 2 Substratschicht geklemmt, wobei klar ist, dass auch eine Vielzahl funktionaler Elemente 3 erfindungsgemäß zwischen einer ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht mittels dem erfindungsgemäßen Verfahren geklemmt werden können.
Fig. 2b zeigt die grundlegenden Bauelemente einer weiteren Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung von Fig. 1 , wobei hier beispielhaft lediglich ein funktionales Element 3 zwischen eine erste 1 und zweite 2 Substratschicht geklemmt wird. Außerdem ist bei der Ausführung von Fig. 2b die erste
Substratschicht 1 derart vorbehandelt, das heißt eine geeignete Ausnehmung in der Oberfläche von Substratschicht 1 ausgebildet, dass das funktionale Element 3 in der Ausnehmung positionsgenau angeordnet werden kann. Bei der Ausführung von Fig. 2b kann außerdem das funktionale Element 3 dicker ausgebildet sein, als ein funktionales Element 3 der Ausführung von Fig. 1 und Fig. 2a. Geeigneterweise hat das funktionale Element 3 der Ausführung von Fig. 2b eine Dicke die gleich groß oder größer als die Tiefe der Ausnehmung der Substratschicht 1 ist. tu
Fig. 2c zeigt eine schematische Darstellung der wesentlichen Bauelemente einer weiteren Abwandlung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei hier auch in der zweiten Substratschicht 2 eine geeignete Ausnehmung ausgebildet ist, die mit der Ausnehmung in der Substratschicht 1 und dem funktionalen Element 3 korrespondiert. Bei der Ausführung von Fig. 2c kann das funktionale Element 3 eine größere Dicke haben wie das funktionale Element 3 bei den Ausführungen der Fig. 1 , 2a und 2b, wobei die Dicke des funktionalen Element 3 geeigneterweise gleichgroß oder größer als die Summe der Tiefen der Ausnehmungen in den Substratschichten 1 und 2 ist.
Es ist klar, dass weitere Abwandlungen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen Verfahrens auch aus Kombinationen der Ausführungen von Fig. 1 , 2a, 2b und 2c bereitgestellt werden können.
Die nachfolgenden Figuren zeigen schematische Darstellungen der wesentlichen
Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß weiteren Ausführungen der vorliegenden Erfindung, wobei eine prinzipielle Anordnung der Ausführung von Fig. 1 gewählt wurde, bei der in den beiden gegenüberliegenden Substratschichterf 1 und 2 keine Ausnehmungen zur Positionierung des funktionalen Element 3 ausgebildet sind. Es ist klar, dass die nachfolgend beschriebenen Ausführungen auch gemäß den oben beschriebenen Ausführungen von Fig. 2b oder 2c bereitgestellt werden-können, und dass die jeweiligen funktionalen Elemente 3 und / oder Substratschichten 1 und / oder 2 auch anhand Fig. 1 und 2 beschriebene Positionierungsausbildungen aufweisen können.
Fig. 3a zeigt eine Draufsicht auf die wesentlichen Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 3b zeigt einen Schnitt durch übereinander angeordnete Bauelemente von Fig. 3a.
Die erste Ausführung der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 3a stellt eine Vorrichtung mit kanalartigen Strukturen zum Transport und/oder zur Lagerung eines flüssigen und/oder gasförmigen Mediums bereit, wobei die Vorrichtung eine erste 1 und zweite 2 Substratschicht und ein funktionales Element 3 umfaßt, das elastisch ausgebildet ist und geeigneterweise sehr viel dünner als die erste 1 und zweite 2 Substratschicht ausgebildet ist, und das sandwichartig zwischen der ersten 1 und zweiten 2 Substratschicht angeordnet ist. Außerdem sind in der ersten 1 und/oder zweiten 2 Substratschicht kanalartige Strukturen 10 und 20 ausgebildet, und die erste 1 und zweite 2 Substratschicht fest und dauerhaft miteinander verbunden, wobei das funktionale Element 3 derart zwischen die erste 1 und zweite 2 Substratschicht geklemmt ist, dass mittels dem funktionalen Element 3 die kanalartigen Strukturen 10 und 20 in der ersten 1 und/oder zweiten 2 Substratschicht zumindest gas- und/oder flüssigkeitsdicht abgeschlossen sind.
Erfindungsgemäß ist bei der Ausführung bei der Fig. 3 in der ersten Schicht 1 ein nach oben offener Kanal 10 ausgebildet und in der zweiten Schicht 2 eine mit dem Kanal 10 korrespondierende durch die Schicht 2 durchgehende Öffnung 20 ausgebildet. Außerdem ist das funktionale Element 3 erfindungsgemäß als dünne Folie mit einer durchgehenden Öffnung 30 ausgebildet, die mit der Öffnung 20 der zweiten Substratschicht 2 korrespondiert, und außerdem mit einer Ventilklappe 31 ausgebildet, deren Breite und Länge mit der Breite und Tiefe des Kanals 10 korrespondiert.
Erfindungsgemäß sind die Schichten 1 und 2 nun derart übereinander angeordnet, und außerdem das funktionale Element 3 derart sandwichartig zwischen den Substratschichten 1 und 2 angeordnet, das mittels der Öffnung 30 und 20 eine Verbindung des Kanals 10 zu einem Hohlraum bereitgestellt ist, der mit einem Antriebselement 4 zusammenwirkt, und außerdem mittels der Ventilklappe 31 der Kanal 10 geöffnet und/oder geschlossen werden kann, so dass eine erfindungsgemäße Pumpenstruktur bereitgestellt ist.
Die vorstehend beschriebene Pumpenstruktur ist schematisch in Fig. 3b dargestellt. Das Antriebselement 4 kann beispielsweise und geeigneterweise mittels einem Piezoaktor 4 bereitgestellt werden. Bei der Ausführung von Fig. 3b ist beispielhaft die Öffnung 30 und 20 und das Antriebselement 4 in Flussrichtung (Pfeilrichtung) der Ventilklappe 31 nachgeschaltet. Es ist klar, dass die Öffnung 20 und 30 und das Antriebselement 4 bei geeigneter Ausbildung der Ventilklappe 31 dieser in Flussrichtung auch vorgeschaltet sein kann, und/oder zusätzlich zu der Öffnung 20 und 30 von Fig. 3a und b jeweils zweite Öffnungen 20 und 30 und ein zweites Antriebselement 4 zusätzlich zu dem der Ventilklappe 31 nachgeschalteten Antriebselement 4 der Ventilklappe 31 vorgeschaltet sein kann.
Geeigneter Weise und vorteilhafter Weise kann in dem funktionalen Element 3 an Stelle der Öffnung 30 auch eine Lochstruktur 30' ausgebildet sein, die eine Filterwirkung hat und wirksam verhindert, dass etwa in einer zu pumpenden Flüssigkeit enthaltene Stör- bzw. Schmutzpartikel in den Hohlraum bzw. die Pumpkammer gelangen. Eine derartige vorteilhafte Lochstruktur 30' ist schematisch in Fig. 8 dargestellt und wird nachfolgend detailliert beschrieben.
Fig. 4a zeigt einen Teilschnitt durch übereinander angeordnete Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 4b eine Draufsicht und Fig. 4c eine Teildraufsicht auf ein funktionales Element der zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 4a.
Die zweite Ausführung der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 4 entspricht im wesentlichen der Ausführung von Fig. 3, mit dem Unterschied, dass der Kanal 10 in der ersten Schicht an'einer vorbestimmten Position mit einem vorbestimmten Winkel α abflacht, und außerdem in der zweiten Substratschicht 2 ein zweiter Kanal 20 ausgebildet ist, der ebenfalls an einer vorbestimmten Position in einem vorbestimmten Winkel α abflacht, und der mit dem in der ersten Substratschicht 1 ausgebildeten Kanal 10 derart korrespondiert, dass bei übereinander Anordnung der
Substratschichten 1 und 2 eine tangentiale Verbindung der Kanäle 10 und 20 in einen vorbestimmten Winkel α bereitgestellt ist. Der Kanal 20 ist außerdem derart ausgebildet, dass er an einer in der Zeichnung nicht dargestellten vorbestimmten Position mit einem oberhalb der Schicht 2 angeordneten Hohlraum verbunden ist, der mit einem Antriebselemt 4 zusammenwirkt.
Das funktionale Element 3 der Ausführung von Fig. 4 entspricht im wesentlichen dem funktionalen Element 3 von der Ausführung von Fig. 3 mit dem Unterschied, dass das funktionale Element 3 der Ausführung von Fig. 4 keine Öffnung 30 umfasst.
Der erste Kanal 10 und der zweite Kanal 20 und das funktionale Element 3 mit der Ventilklappe 31 sind nun erfindungsgemäß derart ausgebildet, dass die Ventilklappe
31 an der Verbindungsstelle zwischen dem ersten Kanal 10 und dem zweiten Kanal 20 derart angeordnet ist, dass in Zusammenwirken mit einem Antriebselement 4, das der Ventilklappe 31 vor- und/oder nachgeschaltet sein kann, die Verbindung zwischen dem ersten Kanal 10 und dem zweiten Kanal 20 geöffnet oder geschlossen ist. Erfindungsgemäß sind der erste Kanal 10, der zweite Kanal 20 und die Ventilklappe 31 derart ausgebildet, dass der erste Kanal 10 eine erste Breite 10b, der zweite Kanal 20 eine zweite Breite 20b und die Ventilklappe 31 eine dritte Breite 31 b hat, so dass die erste Breite 10b ≤ der dritten Breite 31b ist, und die dritte Breite 31b < der zweiten Breite 20b ist. Geeigneterweise ist die Ventilklappe 31 außerdem derart angeordnet und ausgebildet, dass eine Pumpenstruktur mit einer
Flussrichtung (Pfeilrichtung) von dem ersten Kanal 10 zu dem zweiten Kanal 20 bereitgestellt ist, wobei das Antriebselement 4 der Ventilklappe 31 in Flussrichtung 32 vor (4,132) und/oder (132,4) nachgeschaltet sein kann. Mittels der vorstehend beschriebenen Ausführung gemäß Fig. 4a ist eine erfindüngsgemäße Pumpenstruktur (I) bereitgestellt.
Fig. 5a zeigt einen Teilschnitt durch übereinander angeordnete Bauelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 5b und c eine Draufsicht bzw. eine Teildraufsicht auf ein funktionales Element 3 der dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig.
5a.
Die dritte Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 5 entspricht in ihrem Prinzip im wesentlichen der zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 4 mit dem Unterschied, dass die Kanäle 10 und 20 und das funktionale Element
3 mit der Ventilklappe 31 derart ausgebildet und angeordnet sind, so dass eine Pumpe mit Flussrichtung (Pfeilrichtung) von Kanal 20 zu Kanal 10 bereitgestellt ist. . Dabei haben die Kanäle 10 und 20 geeigneterweise eine erste Breite 10b bzw. eine zweite Breite 20b und die Ventilklappe 31 eine dritte Breite 31 b, so dass die zweite Breite 20b < der dritten Breite 31b ist und die dritte Breite 3 b ≤ der ersten Breite 10b ist. Es ist klar, dass bei der dritten Ausführung von Fig. 5 ein Antriebselement 4 der Ventilklappe 31 ebenfalls in Flussrichtung 231 vor (4,231) und/oder nach (231 ,4) geschaltet sein kann. Mit der dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung ist eine erfindungsgemäße Pumpenstruktur (II) bereitgestellt.
Für beide Ausführungen der vorliegenden Erfindung, nämlich der Ausführung von Fig. 4 und 5 schließt der Winkel α geeigneterweise einen Winkel von 5° bis 80° und vorzugsweise von 15 bis 50° und besonders vorteilhaft einen Winkel ein, so dass ein tangentialer Übergang zwischen den beiden Kanälen 10 und 20 bereitgestellt ist.
Fig. 6a zeigt eine schematische Darstellung der Anordnung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Bei der vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6a ist erfindungsgemäß einem zentralen Antriebselement 4 wenigstens eine erste Ventilklappe 31 gemäß der Pumpenstruktur (I) von Fig. 4 in Flussrichtung (Pfeilrichtung) vorgeschaltet und außerdem wenigstens eine zweite Ventilklappe 31 gemäß der Pumpenstruktur (II) von Fig. 5 in Flussrichtung nachgeschaltet. Bei der vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung kann die Pumpenstruktur (I) und die Pumpenstruktur (II) jeweils mittels unabhängigen funktionalen Elementen 3 und deren Ventilklappen 31 bereitgestellt sein. Geeigneterweise kann die Pumpenstruktur (I) und (II) auch mittels einem geeignet ausgebildeten einstückigen funktionalen Element 3 mit einer zentralen durchgehenden Öffnung 30 bereitgestellt sein, der eine Ventilklappe 31 gemäß der Ausführung von Fig. 4 in Flussrichtung vorgeschaltet ist, und mit einer Ventilklappe 31 gemäß der Ausführung von Fig. 5, die der durchgehenden Öffnung 30 in Flussrichtung nachgeschaltet ist. Ein derartiges erfindungsgemäßes funktionales Element 3 ist schematisch in Fig. 6b dargestellt, die ein geeignetes einstückiges funktionales Element 3 mit einer zentralen durchgehenden Ausnehmung 30 zeigt, dem ein Ventilklappenelement 31 n mäR Her Ausführunα von Fiα. 4 (\) in Flussrichtung (Pfeilrichtung) vorgeschaltet ist, und dem eine Ventilklappe 31. gemäß der Ausführung von Fig. 5 (II) in Flussrichtung nachgeschaltet ist. Geeigneter und vorteilhafter Weise kann in dem funktionalen Element 3 an Stelle der Öffnung 30 auch eine Lochstruktur 30' gemäß dem funktionalen Element 3 von Fig. 8 ausgebildet sein, das nachfolgend beschrieben wird.
Fig. 6c zeigt eine schematische Darstellung der Anordnung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung, bei der ebenfalls, wie bei der vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6a erste eine Pumpenstruktur (I) gemäß der Ausführung von Fig.
4 einem zentralen Antriebselement 4 in Flussrichtung (Pfeilrichtung) vorgeschaltet ist, und eine zweite Pumpenstruktur (II) gemäß der Ausführung von Fig. 5 dem Antriebselement 4 in Flussrichtung nachgeschaltet ist, und bei der außerdem eine dritte Pumpenstruktur (II) gemäß der Ausführung von Fig. 5 dem zentralen Antriebselement 4 in Flussrichtung vorgeschaltet ist und der ersten Pumpenstruktur
(I) nachgeschaltet ist, und bei dem außerdem eine vierte Pumpenstruktur (I) gemäß der Ausführung von Fig. 4 dem zentralen Antriebselement 4 nachgeschaltet ist, und der ersten Pumpenstruktur (11) gemäß Fig. 5 vorgeschaltet ist.
Bei Betrieb der fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6c fließt eine Flüssigkeit durch einen Kanal 10 in der ersten Substratschicht 1 , durch eine Pumpenstruktur (I) und einen Kanal 20 in der zweiten Substratschicht 2, eine Pumpenstruktur (II) und einen Kanal 10 in der ersten Substratschicht 1 , eine weitere Pumpenstruktur (I), und einen Kanal 20 in der zweiten Substratschicht 2, und schließlich durch eine weitere Pumpenstruktur (II) und einen Kanal 10 in der ersten
Substratschicht 1.
Bei der fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6c können die vier Pumpenstrukturen (l) und (ll) von individuellen funktionalen Elementen 3 bereitgestellt werden, die mit dem zentralen Antriebselement 4 zusammenwirken.
Geeigneterweise und erfindungsgemäß werden die jeweiligen Ventilklappen 31 von einem einstückigen funktionalen Element 3 bereitgestellt, das in seinem zentralen Bereich eine durchgehende Ausnehmung 30 aufweist, wobei jeweils zwei Ventilklappen 31 gemäß den Ausführungen der Pumpenstrukturen (II) und (I) der Ausnehmung 30 in Flussrichtung vor- und nachgeschaltet sind. Fig. 9 zeigt einen schematischen Schnitt durch die fünfte Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6c.
Ein derartiges vorteilhaftes funktionales Element 3 ist schematisch in Fig. 6d dargestellt und umfasst jeweils Ventilklappen 31 gemäß den Pumpenstrukturen (I), (II), (I) und (II), die in dieser Reihenfolge in Flussrichtung F hintereinandergeschaltet sind und wobei die Zentrale Ausnehmung 30 zwischen den Ventilklappen 31 der mittleren Pumpenstrukturen (II) und (I) angeordnet ist. Geeigneter und vorteilhafter
Weise kann in dem funktionalen Element 3 an Stelle der Öffnung 30 auch eine Lochstruktur 30' gemäß dem funktionalen Element 3 von Fig. 8 ausgebildet sein, das nachfolgend beschrieben wird.
Fig. 7a zeigt beispielhaft eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung der ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung mit einem Kanal 10, der in der ersten Substratschicht 1 ausgebildet ist, und einem funktionalen Element 3 mit einer durchgehenden Ausnehmung 30 oder einer Lochstruktur 30', der eine Ventilklappe 31 vorgeschaltet ist, und einer zweiten Substratschicht 2 mit einer durchgehenden Ausnehmung 20, die mit einem Hohlraum 410 korrespondiert, der in einer dritten Substratschicht 41 ausgebildet ist. Die Ausführung von Fig. 7a entspricht in ihrem Aufbau und ihrer Wirkungsweise der Ausführung von Fig. 3, weshalb hier an die diesbezügliche Beschreibung verwiesen wird. Die Schichten 1 und 2 sind übereinander angeordnet und das funktionale Element 3 ist sandwichartig zwischen den Schichten 1 und 2 angeordnet. Die vierte Schicht 41 mit dem Hohlraum 410, der eine Pumpkammer umfasst, ist oberhalb der zweiten Schicht 2 angeordnet und wird mit einer dünnen Glasschicht 42 bedeckt, über der ein Antriebselement 43 angeordnet ist, das geeigneterweise mittels einem Piezoaktor 4 bereitgestellt ist. Geeigneterweise ist die Öffnung 20 der zweiten Schicht und der Hohlraum 410 in der Schicht 41 derart ausgebildet und angeordnet, dass die Öffnung 20 der zweiten Schicht an einem Scheitel des Hohlraumes 410 der Substratschicht 41 angeordnet ist. Hierdurch wird bei Einsatz der vorliegenden Erfindung als Flüssigkeitspumpe das Eindringen von Luftblasen in den Hohlraum 410 minimiert.
Die Ausbildung des Hohlraums 4 0 in einer Substratschicht 41 , die oberhalb der zweiten Substratschicht 20 angeordnet ist, und deren vorteilhafte Anordnung wurde anhand der Ausführung von Fig. 7a und Fig. 3 beispielhaft beschrieben und ist ebenso vorteilhaft für die anderen Ausführungen der vorliegenden Erfindung. Es ist klar, dass der Ein- und Auslaß von Kanälen 10 in der ersten Substratschicht beliebig, beispielsweise gegenüberliegend, parallel oder in einem Winkel angeordnet seih können.
Es ist ausserdem klar, dass auch die vorstehend beschriebene zweite bis fünfte Ausführung der vorliegend beschriebenen zweiten bis fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung auf entsprechende Weise vorteilhaft mit einem Antriebselement 43 und den weiteren Elementen bzw. Schichten 4, 41 , 410, 42 und
43 gemäß Fig. 7 kombiniert werden können.
Das Antriebselement 4 kann geeigneter Weise eine dünne Piezomembran sein.
Die vorliegende Erfindung kann insbesondere miniaturisiert ausgebildet mittels
Mikrostrukturtechniken kostengünstig auch in industrieller Serienfertigung hergestellt werden.
Fig. 8 zeigt eine schematische Darstellung einer vorteilhaften Abwandlung des erfindungsgemäßen einstückigen funktionalen Elements 3 von Fig. 6d, das geeigneter Weise eine dünne Kunststoffolie umfasst. Das funktionale Element 3 umfasst ausserdem Ventilklappen 31 gemäß den Pumpenstrukturen (I), (II), (I) und (II), die in dieser Reihenfolge in einer Kunststoffolie ausgebildet und- in Flussrichtung F angeordnet sind. Zwischen den mittleren Pumpenstrukturen (II) und (I) ist geeigneter Weise und vorteilhaft eine Lochstruktur 30' ausgebildet, die mit dem
Hohlraum 410 einer Pumpkammer zusammenwirkt. Die Lochstruktur hat dabei die Wirkung eines Filters, der das Eindringen von etwa in einer zu pumpenden Flüssigkeit enthaltenen Schmutz- bzw. Störpartikeln in die Pumpkammer 410 und damit verbundene Betriebsstörungen des Antriebselements 4 wirksam verhindert. Etwaige in der zu pumpenden Flüssigkeit enthaltene Partikel werden daher vollständig durch den Fluidkanal hindurchgeschleust und erreichen nicht die Pumpkammer, so dass sich eine Piezomembran 4 ungehindert bewegen kann. Hierdurch werden die Anforderungen an die Reinheit einer zu pumpenden
Flüssigkeit vorteilhaft allein durch den Kanalquerschnitt der Kanalstrukturen 10 und 20 bestimmt, der beispielhaft etwa 1 mm2 betragen kann.
Die vorstehend beschriebene vorteilhafte Lochstruktur 30' des funktionalen Elements 3 wirkt besonders vorteilhaft mit einer Mehrfach-Ventilanordnung gemäß
Fig. 6c, Fig. 9 und 10 zusammen, wobei selbst längliche faserige Partikel störungslos eine erfindungsgemäße Pumpe passieren.
Fig. 9 zeigt einen schematischen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß der fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung, die vorstehend unter
Bezugnahme auf Fig. 6c detailliert beschrieben wurde. Die fünfte Ausführung der Erfindung ist besonders geeignet für ein einstückiges funktionales Element 3 gemäß Fig. 6d, das beispielhaft in der Zeichnung 9 dargestellt ist, und insbesondere vorteilhaft geeignet ist für ein funktionales Element 4 gemäß Fig. 8.
Die vorteilhafte Hintereinanderschaltung der Pumpenstrukturen (I), (II), (I) und (II) in dieser Reihenfolge in Flussrichtung F mit den jeweiligen Ventilklappen 31 und den zugehörigen Kanalstrukturen 10 und 20 in der oberen 1 und unteren 2 Substratschicht und dem zentralen zwischen der mittleren Pumpenstruktur (II) und (I) angeordneten Antriebselement 4 mit der zentralen Pumpkammer begünstigt insbesondere aufgrund der in einem Winkel α mit insbesondere tangentialem Übergang der Kanalstrukturen 10 und 20 eine besonders effiziente Pumpenleistung.
Fig. 10 zeigt eine vorteilhafte Abwandlung der fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung von Fig. 6c und Fig. 9, die im Wesentlichen der vorstehend anhand der
Fig. 6c und Fig. 9 beschriebenen fünften Ausführung entspricht, mit dem Unterschied, dass der Übergang der Kanalstrukturen 10 und 20 vorteilhaft stufenlos und ohne Kanten und Ecken ausgebildet ist, was die Effizienz der Pumpleistung weiter deutlich erhöht und auch die Störanfälligkeit durch Schmutz- bzw. Störpartikel erheblich weiter verringert, insbesondere in Kombination mit der hier beispielhaft und vorteilhaft verwendeten funktionalen Schicht 3 von Fig. 8 mit der Lochstruktur 30'.
Insbesondere die einstöckige Ausbildung des funktionalen Elements 3 und dessen Multifunktionalität als Filter und mit mehreren unterschiedlich ausgebildeten und ähnlichen Ventilklapperi 31 ist besonders vorteilhaft, da besonders effizient in Leistung und Wirkung insbesondere mit geeigneten Kanalstrukturen 10 und 20 und ausserdem da auch miniaturisiert einfach und kostengünstig auch in großen
Stückzahlen zu fertigen und zu montieren.
Eine vorstehend beschriebene erste bis fünfte Ausführung einer erfindungsgemäßen Mikropumpe und insbesondere die vierte und fünfte Ausführung der Erfindung ist besonders geeignet zur Förderung von Flüssigkeiten und Gasen auch in kleinsten dosierten Mengen und kann bei entsprechenderminiaturisierter Bauform eine Partikeltoleranz bis zu einem Partikeldurchmesser von ca. 40 μm aufweisen. Aufgrund der erfindungsgemäßen Struktur des Fluidkanals mit flachen Winkeln und den integrierten Ventilklappen kann ausserdem lediglich ein äußerst geringer Druckverlust im Arbeitsbetrieb auftreten.
Es ist ausserdem klar, dass eine erfindungsgemäße Mikropumpe in vielen Bereichen Anwendung finden kann, beispielsweise etwa bei der Dosierung von Fluiden in der chemischen, biologischen, medizinischen Analytik, etwa bei der Probenentnahme z.B: in der Umweltanalytik, und ausserdem beispielsweise in der
Nahrungsmittelindustrie, bei Kühlsystemen, zu Transportzwecken etwa bei Schrriiersystemen oder zu Dispensionszwecken, etc.

Claims

Ansprüche
1. Verfahren zum Verbinden einer ersten Substratschich (1 ),einer zweiten Substratschicht (2), und einem funktionalen Element (3), wobei: das funktionale Element (3) wird aus einem Material mit einer vorbestimmten Elastizität ausgewählt; und die erste (1) und zweite (2) Schicht werden aus einem Material mit einer vorbestimmten Steifigkeit ausgewählt; das funktionale Element (3) wird sandwiehartig zwischen der ersten (1) und zweiten (2) Substratschicht angeordnet; die erste (1) und zweite (2) Substratschicht wird mittels Druck zusammengefügt, wobei das funktionale Element (3) derart geklemmt wird, dass die erste (1) und zweite (2) Substratschicht nach Absetzen des Drucks dauerhaft miteinander verbunden sind, und das funktionale Element (3) dauerhaft zwischen der ersten (1) und zweiten (2) Substratschicht angeordnet ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1 wobei: das funktionale Element (3) wird sehr viel dünner als die erste (1) und zweite (2) Substratschicht ausgebildet; und die erste (1) und zweite (2) Substratschicht und das funktionale Element (3) werden im wesentlichen zwei-dimensional ausgebildet; und das funktionale Element (3) hat eine kleinere Fläche als die erste (1) und zweite (2)
Substratschicht; und das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: - Anordnung des funktionalen Elements (3) an einer vorbestimmten Position auf Schicht (1);
- Aufbringen eines geeigneten Lösungsmittels auf der nicht von dem funktionalen Element (3) bedeckten Oberfläche von Schicht (1); - Anordnung der zweiten Schicht (2) über der ersten Schicht (1) und dem funktionalen Element (3);
- Druck auf die zweite Schicht (2), so dass sich die erste (1) und zweite (2) Substratschicht verbinden, und das funktionale Element (3) zwischen die Schichten (1) und (2) geklemmt wird, wobei die erste (1) und zweite (2) Schicht nach Absetzen des Drucks dauerhaft miteinander verbunden sind.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, wobei: das funktionale Element (3) wird mittels einer dünnen Kunststoffolie und/oder einen Metallfolie ausgebildet, und die erste (1) und zweite (2) Substratschicht wird aus Kunststoff und vorzugsweise aus Polycarbonat und/oder PPSU und/oder PEI und/oder Melamin ausgebildet; und das funktionale Element (3) wird aus Kunststoff und vorzugsweise aus Polymid ausgebildet.
4. Vorrichtung mit kanalartigen Strukturen zum Transport und/oder zur
Lagerung eines flüssigen und/oder gasförmigen Mediums, wobei: die Vorrichtung umfaßt: eine erste (1) und zweite (2) Substratschicht und ein funktionales Element (3), das sandwichartig zwischen der ersten (1) und zweiten (2) Substratschicht angeordnet ist; und die kanalartigen Strukturen sind in der ersten (1) und/oder zweiten (2) Substratschicht ausgebildet; und die erste (1) und zweite (2) Substratschicht sind fest und dauerhaft miteinander verbunden, und das funktionale Element (3) ist zwischen die erste (1) und zweite (2) Substratschicht geklemmt; wobei das funktionale Element (3) ist elastisch ausgebildet, und die erste (1) und zweite (2) Schicht sind steif ausgebildet; und mittels dem funktionalen Element (3) die kanalartigen Strukturen in der ersten (1) und/oder zweiten (2) Substratschicht zumindest teilweise gas- und/oder flüssigkeitsdicht abgeschlossen sind, und das funktionale Element (3) ist sehr viel dünner ausgebildet als die erste (1) und zweite (2) Schicht, und das funktionale Element (3) ist als zumindest ein funktionales bewegliches Element derart ausgebildet, dass mittels dem funktionalen Element (3) eine kanalartige
Struktur (10, 20) geöffnet und/oder verschlossen ist, das funktionale Element (3) umfaßt zumindest eine Ventilklappe (31); die Vorrichtung umfaßt ein dynamisches Antriebselement (4), das geeignet ist, ein
Volumen eines in der Vorrichtung ausgebildeten Hohlraumes (410) zu verändern, und in der ersten Schicht (1) ist ein erster Kanal (10) ausgebildet; und in der zweiten Schicht (2) ist ein zweiter Kanal (20) ausgebildet, so dass eine Verbindung zwischen dem ersten (10) und dem zweiten (20) Kanal bereitgestellt ist; zumindest eine Ventilklappe (31) des funktionalen Elements (3) ist derart angeordnet, dass die Verbindung zwischen dem ersten (10) und dem zweiten (20) Kanal geöffnet oder geschlossen ist, und der erste (10) und zweite (20) Kanal ist im wesentlichen parallel angeordnet; und die Verbindung zwischen dem ersten (10) und zweiten (20) Kanal schließt mit dem ersten (10) und zweiten (20) Kanal einen Winkel (α) von 5° bis 90° und vorzugsweise von 15° bis 50° ein.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei: mittels der Verbindung zwischen dem ersten (10) und zweiten (20) Kanal ist ein tangentialer stufenloser, kantenloser und eckenloser Übergang zwischen dem ersten (10) und zweiten (20) Kanal bereitgestellt.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 wobei: der erste Kanal (10) hat eine erste Breite (10b), der zweite Kanal (20) hat eine zweite Breite (20b); und die Ventilklappe (31) hat eine dritte Breite (31b); und es gilt: erste Breite (10b) < dritte Breite (31b) < zweite Breite (20b); wobei in Flußrichtung (132) ein Antriebselement (4) der Ventilklappe (31) vor (4,132) und/oder (132,4) nachgeschaltet ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 wobei: der erste Kanal. (10) hat eine erste Breite (1 Ob); der zweite Kanal (20) hat eine zweite Breite (20b); und die Ventilklappe (31) hat eine dritte Breite (31b); und es gilt: zweite Breite (20b) < dritte Breite (31b) ≤ erste Breite (10b); wobei ein Antriebselement (4) der Ventilklappe (31) in Flußrichtung (231) vor (4,231) und/oder nach (231 ,4) geschaltet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, mit: einem zentralen Antriebselement (4), dem wenigstens eine erste Ventilklappe (31) gemäß Anspruch 6 in Flußrichtung (132) vorgeschaltet (4,132), ist; und dem außerdem wenigstens eine zweite Ventilklappe (31) gemäß Anspruch 7 in Flußrichtung (231 ) nachgeschaltet (231 ,4) ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8 mit: einer dritten Ventilklappe (31) gemäß Anspruch 11 , die dem Antriebselement (4) in
Flußrichtung (123) nachgeschaltet (132,4) ist und der zweiten Ventilklappe (31) vorgeschaltet ist, und einer vierten Ventilklappe (31) gemäß Anspruch 12, die dem Antriebselement (4) in Flußrichtung (231) vorgeschaltet (231 ,4) ist, und der ersten Ventilklappe (31) nachgeschaltet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 und 8, mit: einer Vielzahl von Ventilklappen (31) gemäß Anspruch 6 und/oder Anspruch 7 und wenigstens einem Antriebselement (4).
11. Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei: eine erste, zweite, dritte und vierte Ventilklappe (31) gemäß Pumpenstruktur (I), (II), (I) und (II) in dieser Anordnung in Flußrichtung in einer Kunststoffolie (3) ausgebildet sind, und außerdem zwischen der zweiten (II) und dritten (I) Ventilklappe (31) eine Ausnehmung (30) ausgebildet ist, die mit einem Hohlraum (410) verbunden ist, der mit dem Antriebselement (4) zusammenwirkt.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, wobei: . das Antriebselement (4) umfaßt: einen Hohlraum (410), der mittels einer Substratschicht (41) mit einer zentralen Ausnehmung (410) bereitgestellt ist, oberhalb der eine Schicht(42) mit vorbestimmter Steifigkeit und ein Piezoelement (43) angeordnet ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei: eine Öffnung (20) der zweiten Schicht (2) an einem Scheitel des Hohlraumes (410) der Substratschicht (41) angeordnet ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 13, wobei: die Vorrichtung umfasst ein einstückiges in einer dünnen Kunststoffolie ausgebildetes funktionales Element 3, mit Ventilklappen 31 und mit einer zentralen Lochstruktur 30' und Filterwirkung, die mit dem Hohlraum einer Pumpkammer zusammenwirkt.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 14, wobei: die Vorrichtung ist hergestellt mittels .dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4.
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