WO2002064247A1 - Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten - Google Patents

Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten Download PDF

Info

Publication number
WO2002064247A1
WO2002064247A1 PCT/EP2002/000610 EP0200610W WO02064247A1 WO 2002064247 A1 WO2002064247 A1 WO 2002064247A1 EP 0200610 W EP0200610 W EP 0200610W WO 02064247 A1 WO02064247 A1 WO 02064247A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
microcomponents
pressure plate
sealing plate
plate
openings
Prior art date
Application number
PCT/EP2002/000610
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Guido Pieper
Michael Schmelz
Hanns Wurziger
Norbert Schwesinger
Original Assignee
Merck Patent Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Merck Patent Gmbh filed Critical Merck Patent Gmbh
Priority to KR1020037010566A priority Critical patent/KR100846639B1/ko
Priority to CA002437965A priority patent/CA2437965A1/en
Priority to EP02711808A priority patent/EP1360000A1/de
Priority to US10/468,083 priority patent/US7060894B2/en
Priority to JP2002564035A priority patent/JP2004529749A/ja
Publication of WO2002064247A1 publication Critical patent/WO2002064247A1/de

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0093Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/32Packing elements in the form of grids or built-up elements for forming a unit or module inside the apparatus for mass or heat transfer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L9/00Supporting devices; Holding devices
    • B01L9/52Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips
    • B01L9/527Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips for microfluidic devices, e.g. used for lab-on-a-chip
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00801Means to assemble
    • B01J2219/0081Plurality of modules
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819Materials of construction
    • B01J2219/00824Ceramic
    • B01J2219/00828Silicon wafers or plates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/02Adapting objects or devices to another
    • B01L2200/026Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
    • B01L2200/027Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06Fluid handling related problems
    • B01L2200/0689Sealing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/08Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887Laminated structure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N2035/00178Special arrangements of analysers
    • G01N2035/00326Analysers with modular structure
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126Assembling bases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53174Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53252Means to simultaneously fasten three or more parts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Machines For Manufacturing Corrugated Board In Mechanical Paper-Making Processes (AREA)

Abstract

Bei einer Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, ist zwischen den Mikrokomponenten (2) eine Dichtungsplatte (3) andeordnet, die Öffnungen (7) aufweist, welche mit Öffnungen (6) der Mikrokomponenten (2) korrespondieren.

Description

Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen.
Zur Entwicklung und Herstellung neuer Substanzen sind im Bereich der Chemie häufig umfangreiche Versuchsreihen erforderlich. Dazu sind Mikrokomponenten bekanntgeworden, mit deren Hilfe die Versuche mit geringen Mengen durchgeführt werden können. Durch den modularen Aufbau dieser Mikrokomponenten, beispielsweise Mikroreaktoren und anderer Komponenten zum Behandeln verschiedener Substanzen, ist ein Zusammenstellen von Systemen für die jeweilige Aufgabe leicht möglich. Eines solcher modularen chemischen Mik- rosysteme ist in DE 199 17 398 A1 beschrieben. Bei diesem Mikrosystem sind die verschiedenen Mikrokomponenten über Steueranschlüsse mit einem Steuerbus und über Stoffanschlüsse mit einem Stoffkanalsystem verbunden. Die Herstellung der Vielzahl von Stoffanschlüssen ist jedoch recht kompliziert. Insbesondere ist es dabei sogar erforderlich, Substanzen von einer Mikrokompo- nente zu einer benachbarten über das Stoffkanalsystem zu leiten. Ein Anschlußträger für plattenförmige Mikrokomponenten ist ferner durch DE 198 54 096 A1 bekanntgeworden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine einfache Weiterleitung der Substanzen von einer Mikrokomponente zu einer anderen zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen den Mikrokomponenten eine Dichtungsplatte angeordnet ist, die Öffnungen aufweist, welche mit Öffnungen der Mikrokomponenten korrespondieren. Dabei ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Dichtungsplatte aus einem elastischen Werk- stoff besteht, der gegen die jeweils in den Mikrokomponenten behandelten Medien beständig ist. Für eine große Zahl von zu behandelnden Substanzen ist es vorteilhaft, wenn der Werkstoff Polytetrafluorethylen ist. Die erfindungsgemäße Einrichtung hat den Vorteil, daß zwischen benachbarten Mikrokomponenten in äußerst einfacher und zuverlässiger Weise Verbindungen zum Transport von flüssigen, gegebenenfalls auch gasförmigen Substanzen möglich sind. Dabei ist seitens der Mikrokomponenten, die vorzugsweise aus einem bruchempfindlichen Silizium-Kristall bestehen, keine spezielle Anschlußvorrichtung erforderlich. Es genügen einfache Löcher. Außerdem ist bei der erfindungsgemäßen Einrichtung die notwendige Dichtheit gegeben.
Die einzelnen Mikrokomponenten können beispielsweise Reaktoren, Pumpen, Mischer, Verweilstrecken, Extraktoren oder Wärmeüberträger sein, die nach Art eines Baukastens zu einem komiexen Mikrosystem zusammengestellt werden können. Dazu ist außer einer funktional richtigen Anordnung der jeweiligen Öffnung eine abwechselnde Schichtung der Mikrokomponenten und der Dich- tungsplatten erforderlich.
Sollte für die jeweiligen Substanzen Polytetrafluorethylen nicht geeignet sein, stehen auch andere Werkstoffe mit entsprechender chemischen Beständigkeit und mit erforderlichen mechanischen Eigenschaften, insbesondere Elastizität und Oberflächengüte, zur Verfügung, beispielsweise Perfluor-Elastomere oder Polyvenylidenfluorid.
Eine gute Dichtwirkung ergibt sich bei der erfindungsgemäßen Einrichtung, wenn gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen ist, daß die Dich- tungsplatte im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponenten aufweist. Sollte bei den Mikrokomponenten jedoch nur teilweise eine plane Oberfläche vorhanden sein und auf anderen Teilen der Oberfläche zusätzliche Komponenten hervorstehen, so kann die erfindungsgemäße Einrichtung auch derart weitergebildet sein, daß die Dichtungsplatte einen mit Öff- nungen versehenen Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten bedeckt und einen weiteren Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten frei läßt. Die Anordnung der Dichtungsplatten zwischen den Mikrokomponenten läßt sich auf verschiedene Weise verwirklichen. Im Falle eines Einsatzes der gesamten Ordnung als Einwegapparatur kommen unlösbare Fügetechniken, wie Verkleben, Vernieten oder Vergießen in bzw. mit Kunstharz in Betracht. Eine lösbare und trotzdem dichte Verbindung zwischen den Mikrokomponenten ist jedoch dadurch erzielbar, daß die Mikrokomponenten aneinandergepreßt werden. Hierzu stehen ebenfalls verschiedene Techniken zur Verfügung, beispielsweise federnde Schnappverbindungen - ähnlich eines Kistenverschlusses -, federnde oder schraubbare Klammern, Bolzen-Bajonettverschlüsse oder elektromagne- tisch, pneumatisch oder hydraulisch angetriebene Einspannvorrichtungen.
Durch den modularen Aufbau ist ein Austausch bzw. eine Reparatur einzelner Mikrokomponenten möglich, ohne daß im Fehlerfall das ganze modulare System ausgetauscht werden muß.
Bei einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Einrichtung wird vorgesehen, daß eine Halterung zum Aneinanderpressen ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponenten aufweist mit zwei Schenkeln, deren Enden mit einer Andruckplatte verschraubbar sind. Damit wird die zur Abdichtung erfor- derliche Kraft gleichmäßig über die Fläche der Mikrokomponenten verteilt, so daß die bruchempfindlichen Silizium-Mikrokomponenten vor Zerstörung geschützt sind.
Um mit einer Halterung verschieden dicke Stapel aus Mikrokomponenten und Dichtungsplatten einspannen zu können, ist gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen, daß die Andruckplatte einen verstärkten Mittelteil aufweist, der zwischen die Schenkel des U-förmigen Aufnahmeteils paßt.
Eine andere vorteilhafte Ausgestaltung ermöglicht Anschlüsse nach außen da- durch, daß in der Andruckplatte und in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich des U-förmigen Aufnahmeteils Gewindebohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen vorgesehen sind. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung anhand mehrerer Figuren dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 die Teile einer erfindungsgemäßen Einrichtung in Explosionsdarstellung und
Fig. 2 im zusammengebauten Zustand, wobei in Fig. 2 gegenüber der DarStellung in Fig. 3 eine größere Zahl von Mikrokomponenten vorgesehen ist.
In Fig. 1 sind zwei Mikrokomponenten 2 mit Öffnungen 6 versehen, durch die Substanzen von einer zur anderen der Mikrokomponenten transportiert werden. Dazu ist zwischen den beiden Mikrokomponenten 2 eine Dichtungsplatte 3 mit zwei Öffnungen 7 angeordnet, die mit den Öffnungen 6 korrespondieren. Die Mikrokomponenten 2 werden in einer Halterung gegeneinander gepreßt.
Die Halterung besteht aus einem U-förmigen Aufnahmeteil 1 mit zwei Schenkeln 11 , 12 und einem die Schenkel 11 , 12 verbindenden Basisteil 13. Das U- förmige Aufnahmeteil 1 ist auf einer Montageplatte 14 angeordnet, die wiederum mit Hilfe von Löchern 17 in einem größeren Gesamtsystem befestigt werden kann. An den Stirnflächen der Schenkel 11 , 12 sind Gewindebohrungen 15, 16 vorgesehen, so daß eine Andruckplatte 4, die mit Durchgangsbohrungen 18 versehen ist, mit Hilfe von Schrauben 19 befestigt werden kann.
Die Andruckplatte 4 ist im mittleren Bereich 5 verstärkt, so daß sie zwischen die Schenkel 11 , 12 eindringt und somit verschieden dicke Stapel unter gleichzeitiger Führung durch die Schenkel 11 , 12 sicher gegeneinander gepreßt werden können.
In dem Basisteil 13 und in der Andruckplatte 4 sind Gewindebohrungen 20 vorgesehen, in welche Anschlußelemente 21 eingeschraubt werden können, wel- ehe als Verbindungen zum Zu- und Abführen von Substanzen von und nach außerhalb des beschriebenen Systems dienen. Die Anschlußelemente sind an ihrer Stirnfläche jeweils mit Dichtscheiben 22 versehen.
Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäße Einrichtung im zusammengebauten Zustand, wobei fünf Mikrokomponenten 2 jeweils unter Zwischenlage von Dichtungsplatten 3 miteinander verbunden sind.

Claims

Patentansprüche
1. Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mik- roreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Mikrokomponenten (2) eine Dichtungsplatte (3) angeordnet ist, die Öffnungen (7) aufweist, welche mit Öffnungen (6) der Mikrokomponenten (2) korrespondieren.
2. Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte (3) aus einem elastischen Werkstoff besteht, der gegen die jeweils in den Mikrokomponenten (2) behandelten Medien beständig ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff Polytetrafluorethylen ist.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte (3) im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponenten (2) aufweist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsplatte einen mit Öffnungen versehenen Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten bedeckt und einen weiteren Bereich der angrenzenden Mikrokomponenten frei läßt.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrokomponenten (2) aneinandergepreßt werden.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Halterung (1 , 4) zum Aneinanderpressen ein U-förmiges Aufnahmeteil (1 ) für die Mikrokomponenten (2) aufweist mit zwei Schenkeln (11 , 12), deren Enden mit einer Andruckplatte (4) verschraubbar sind.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Andruckplatte (4) einen verstärkten Mittelteil (5) aufweist, der zwischen die Schenkel (11 , 12) des U-förmigen Aufnahmeteils (1 ) paßt.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Andruckplatte (4) und in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich (13) des U-förmigen Aufnahmeteils (1) Gewindebohrungen (20) zur Aufnahme von Anschlußelementen (21 ) vorgesehen sind.
PCT/EP2002/000610 2001-02-15 2002-01-23 Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten WO2002064247A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020037010566A KR100846639B1 (ko) 2001-02-15 2002-01-23 마이크로컴퍼넌트의 연결 장치
CA002437965A CA2437965A1 (en) 2001-02-15 2002-01-23 Device for connecting microcomponents
EP02711808A EP1360000A1 (de) 2001-02-15 2002-01-23 Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten
US10/468,083 US7060894B2 (en) 2001-02-15 2002-01-23 Device for connecting microcomponents
JP2002564035A JP2004529749A (ja) 2001-02-15 2002-01-23 マイクロコンポーネント連結用デバイス

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10106996.0 2001-02-15
DE10106996A DE10106996C2 (de) 2001-02-15 2001-02-15 Einrichtung zur Verbindung von Mikrokomponenten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2002064247A1 true WO2002064247A1 (de) 2002-08-22

Family

ID=7674111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2002/000610 WO2002064247A1 (de) 2001-02-15 2002-01-23 Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7060894B2 (de)
EP (1) EP1360000A1 (de)
JP (1) JP2004529749A (de)
KR (1) KR100846639B1 (de)
CA (1) CA2437965A1 (de)
DE (1) DE10106996C2 (de)
TW (1) TWI268805B (de)
WO (1) WO2002064247A1 (de)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003039736A1 (de) * 2001-11-06 2003-05-15 Cpc-Cellular Process Chemistry Systems Gmbh Mikroreaktorsystem
EP1473077A2 (de) * 2003-04-28 2004-11-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Vorrichtung und Sytem zur Mischung von Fluiden
NL1024486C2 (nl) * 2003-10-08 2005-04-11 Lionix B V Werkwijze en koppelingselement voor het koppelen van onderdelen alsmede inrichting omvattende zo een koppelingselement.
EP1556501A1 (de) * 2002-10-28 2005-07-27 Transform Pharmaceuticals, Inc. Transdermaler assay mit magnetischerklemme
WO2005120696A1 (ja) * 2004-06-07 2005-12-22 Nano Fusion Technologies, Inc. 電気浸透流ポンプシステム及び電気浸透流ポンプ
DE102004037059B4 (de) * 2003-07-31 2007-03-29 Syntics Gmbh Prozessleitmodul für die Mikroverfahrenstechnik
DE102008047902A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-25 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Bausatz für Reaktoren und Reaktor
US7763455B2 (en) 2003-05-16 2010-07-27 Transform Pharmaceuticals, Inc. Raised surface assay plate
WO2010130808A2 (en) * 2009-05-12 2010-11-18 Lonza Ag Continuous reaction micro-reactor
WO2011044350A2 (en) 2009-10-09 2011-04-14 Corning Incorporated Interconnection of microfluidic devices
US8287824B2 (en) 2006-03-31 2012-10-16 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
US9023296B2 (en) 2009-05-12 2015-05-05 Lonza Ag Method of manufacturing a reactor and set of reactors
EP1715348B2 (de) 2005-07-15 2019-05-08 Agilent Technologies, Inc. Vorrichtung zur Handhaben von mikrofluidischen Vorrichtungen mit einer Klemmeinrichtung
DE102022102894A1 (de) 2022-02-08 2023-08-10 Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V. (IUTA) Mikrofluidiksystem und Verfahren zum Herstellen eines solchen

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10134885B4 (de) * 2001-07-18 2004-02-05 Roche Diagnostics Gmbh Modulares Analysesystem
AU2002318070A1 (en) * 2002-07-26 2004-02-16 Avantium International B.V. System for performing a chemical reaction on a plurality of different microreactors
DE10345029A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-21 Microfluidic Chipshop Gmbh Vorrichtung zum Kontaktieren und Verbinden von mikrofluidischen Systemen mittels Steckern
WO2006106884A1 (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Nano Fusion Technologies, Inc. 電気浸透流ポンプ及び液体供給装置
JP2006275016A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Science Solutions International Laboratory Inc 液体輸送装置及び液体輸送システム
US7320338B2 (en) * 2005-06-03 2008-01-22 Honeywell International Inc. Microvalve package assembly
EP3092070A2 (de) * 2013-12-12 2016-11-16 Council of Scientific and Industrial Research Mit glas ausgekleideter metallmikroreaktor
US11478790B2 (en) 2017-11-10 2022-10-25 Nok Corporation Microfluidic chip and microfluidic device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5250263A (en) * 1990-11-01 1993-10-05 Ciba-Geigy Corporation Apparatus for processing or preparing liquid samples for chemical analysis
US5964239A (en) * 1996-05-23 1999-10-12 Hewlett-Packard Company Housing assembly for micromachined fluid handling structure
DE19854096A1 (de) * 1998-11-24 2000-05-25 Merck Patent Gmbh Anschlußträger für plattenförmige Mikrokomponenten
DE19952764A1 (de) * 1998-11-09 2000-05-31 Hewlett Packard Co Vorrichtung zur Hochdurchsatz-Proben-Verarbeitung, -Analyse und -Sammlung und Verfahren zur Verwendung derselben
US6122825A (en) * 1996-08-22 2000-09-26 Mayeaux Donald P Method of constructing a sampler having barriers and passages

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137807A (ja) * 1982-02-10 1983-08-16 Mitsubishi Rayon Co Ltd 光学繊維積層体の製造方法
US5209906A (en) * 1991-05-10 1993-05-11 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Modular isothermal reactor
DE69413012T2 (de) * 1993-03-19 1999-03-25 Du Pont Integrierte vorrichtung für chemische verfahrensschritte und herstellungsverfahren dafür
US5746976A (en) * 1994-12-17 1998-05-05 Horiba Ltd. Detachable gas analyzing apparatus
DE19652823A1 (de) * 1996-12-18 1998-03-26 Guenter Prof Dr Fuhr Strukturierter Polytetrafluorethylen-Spacer
AU3719400A (en) * 1999-03-03 2000-09-21 Symyx Technologies, Inc. Chemical processing microsystems, diffusion-mixed microreactors and methods for preparing and using same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5250263A (en) * 1990-11-01 1993-10-05 Ciba-Geigy Corporation Apparatus for processing or preparing liquid samples for chemical analysis
US5964239A (en) * 1996-05-23 1999-10-12 Hewlett-Packard Company Housing assembly for micromachined fluid handling structure
US6122825A (en) * 1996-08-22 2000-09-26 Mayeaux Donald P Method of constructing a sampler having barriers and passages
DE19952764A1 (de) * 1998-11-09 2000-05-31 Hewlett Packard Co Vorrichtung zur Hochdurchsatz-Proben-Verarbeitung, -Analyse und -Sammlung und Verfahren zur Verwendung derselben
DE19854096A1 (de) * 1998-11-24 2000-05-25 Merck Patent Gmbh Anschlußträger für plattenförmige Mikrokomponenten

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1360000A1 *

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003039736A1 (de) * 2001-11-06 2003-05-15 Cpc-Cellular Process Chemistry Systems Gmbh Mikroreaktorsystem
US7468165B2 (en) * 2001-11-06 2008-12-23 Sebastian Oberbeck Microreactor system
EP1556501A4 (de) * 2002-10-28 2009-04-08 Transform Pharmaceuticals Inc Transdermaler assay mit magnetischerklemme
EP1556501A1 (de) * 2002-10-28 2005-07-27 Transform Pharmaceuticals, Inc. Transdermaler assay mit magnetischerklemme
EP1473077A2 (de) * 2003-04-28 2004-11-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Vorrichtung und Sytem zur Mischung von Fluiden
JP2004344877A (ja) * 2003-04-28 2004-12-09 Fuji Photo Film Co Ltd 流体混合装置、流体混合システム、流体分離装置、及び、流体混合・分離装置
EP1473077A3 (de) * 2003-04-28 2005-04-20 Fuji Photo Film Co., Ltd. Vorrichtung und Sytem zur Mischung von Fluiden
US7549788B2 (en) 2003-04-28 2009-06-23 Fujifilm Corporation Fluid mixing apparatus and fluid mixing system
US7763455B2 (en) 2003-05-16 2010-07-27 Transform Pharmaceuticals, Inc. Raised surface assay plate
DE102004037059B4 (de) * 2003-07-31 2007-03-29 Syntics Gmbh Prozessleitmodul für die Mikroverfahrenstechnik
NL1024486C2 (nl) * 2003-10-08 2005-04-11 Lionix B V Werkwijze en koppelingselement voor het koppelen van onderdelen alsmede inrichting omvattende zo een koppelingselement.
KR100777172B1 (ko) * 2004-06-07 2007-11-28 나노 퓨전 가부시키가이샤 전기 침투류 펌프 시스템 및 전기 침투류 펌프
WO2005120696A1 (ja) * 2004-06-07 2005-12-22 Nano Fusion Technologies, Inc. 電気浸透流ポンプシステム及び電気浸透流ポンプ
EP1715348B2 (de) 2005-07-15 2019-05-08 Agilent Technologies, Inc. Vorrichtung zur Handhaben von mikrofluidischen Vorrichtungen mit einer Klemmeinrichtung
US8512653B2 (en) 2006-03-31 2013-08-20 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
US8287824B2 (en) 2006-03-31 2012-10-16 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
US9375698B2 (en) 2006-03-31 2016-06-28 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
US9962678B2 (en) 2006-03-31 2018-05-08 Lonza Ag Micro-reactor system assembly
DE102008047902A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-25 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Bausatz für Reaktoren und Reaktor
WO2010130808A3 (en) * 2009-05-12 2011-07-14 Lonza Ag Continuous reaction micro-reactor
WO2010130808A2 (en) * 2009-05-12 2010-11-18 Lonza Ag Continuous reaction micro-reactor
US9023296B2 (en) 2009-05-12 2015-05-05 Lonza Ag Method of manufacturing a reactor and set of reactors
US9302243B2 (en) 2009-05-12 2016-04-05 Lonza Ag Continuous reaction micro-reactor
EA025581B1 (ru) * 2009-05-12 2017-01-30 Лонца Аг Микрореактор для осуществления непрерывной реакции
WO2011044350A2 (en) 2009-10-09 2011-04-14 Corning Incorporated Interconnection of microfluidic devices
DE102022102894A1 (de) 2022-02-08 2023-08-10 Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V. (IUTA) Mikrofluidiksystem und Verfahren zum Herstellen eines solchen

Also Published As

Publication number Publication date
TWI268805B (en) 2006-12-21
US7060894B2 (en) 2006-06-13
DE10106996C2 (de) 2003-04-24
DE10106996A1 (de) 2002-09-05
EP1360000A1 (de) 2003-11-12
JP2004529749A (ja) 2004-09-30
KR100846639B1 (ko) 2008-07-16
CA2437965A1 (en) 2002-08-22
US20040074084A1 (en) 2004-04-22
KR20030080220A (ko) 2003-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2002064247A1 (de) Einrichtung zur verbindung von mikrokomponenten
WO2000048716A2 (de) Vorrichtung zum konzentrieren und/oder reinigen von makromolekülen in einer lösung und verfahren zum herstellen einer derartigen vorrichtung
WO2004052518A2 (de) Statischer laminationsmikrovermischer
DE2104050C3 (de) Klemmhalterung
EP1763439A1 (de) Druckmaschine mit drehübertrager zum einführen eines flüssigen oder gasförmigen mediums
DE2162060C3 (de) Filtervorrichtung
DE102012208482A1 (de) Befestigungsvorrichtung
DE2261265B2 (de) Plattenhalterung von Membranen für Fluidseparatoren
EP0600138A1 (de) Verfahren zum gerichteten Befestigen eines Mischers an eine Kartusche
DE3323947A1 (de) Tragbare werkzeugmaschine mit vibrierender planscheibe
WO2002043853A1 (de) Einrichtung zum temperieren von mikrokomponenten
DE8313965U1 (de) Verbindungselement zum Kuppeln zweier Flansche
CH701598A1 (de) Wechselschildhalter für Fahrzeug-Kennzeichen.
EP0158002A1 (de) Vorrichtung zum Verbinden von Lagen flächigen Materials
DE10335068A1 (de) Mikroreaktormodul
WO1998030798A1 (de) Luftfilter
EP0542007B1 (de) Vorrichtung zum mittelbaren Verbinden von Konstruktionsprofilen und/oder vergleichbarer Teile, insbesondere für flexible Montagesysteme
DE102010002959A1 (de) Vorrichtung zum Begasen einer in einem Behandlungsbecken aufgenommenen Suspension
WO2023036582A1 (de) Befestigungsteil für ein gehäuse sowie gehäuse für ein feldgerät
EP0758720A2 (de) Verbindungselement zum schraubenlosen Zusammenfügen von profilierten und gelochten Baugruppenträgern für Elektroinstallationsverteiler
DE1927145C3 (de) Pneumatisches Logik-Element
AT403915B (de) Mehrteiliger kompostsilo
CH715099B1 (de) Doppelklappenvorrichtung zum kontaminationsfreien Umfüllen von fliess- und/oder schüttfähigen Materialien.
DE202023101291U1 (de) Spaltrohrfilter zur Anordnung an einer Behälterwand und Behälter mit Spaltrohrfilter
EP1205670A2 (de) Verteilerplatte für Flüssigkeiten und Gase

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002711808

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020037010566

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2437965

Country of ref document: CA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10468083

Country of ref document: US

Ref document number: 2002564035

Country of ref document: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020037010566

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2002711808

Country of ref document: EP

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642