DE10085332B4 - Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektronischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung - Google Patents

Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektronischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anlegbar sind, wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst:
eine Gleichspannungsquelle (7) zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2);
eine Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zum Schalten der Gleichspannung; und
eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d), um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T1) und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität für einen vorgegebenen Zeitraum (T2a; T2b) anzulegen, der notwendig ist, damit die am Spalt anliegende Spannung einen vorgegebenen Wert annimmt, welcher niedriger als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeignete Spannung, wobei letztere abhängig ist von der aus folgenden drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung,...

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer" Drahtelektrode und einem Werkstück anlegbar sind.
  • Diese Vorrichtung wird im folgenden mitunter auch als Vorrichtung zur Drahtelektroden-Entladungsbearbeitung bezeichnet. Die Energieversorgungseinrichtung wird im folgenden mitunter auch als Stromquellenvorrichtung bezeichnet.
  • Aus der US 5 416 290 A ist eine Energieversorgungseinrichtung für eine mit elektrischer Entladung arbeitende Bearbeitungsvorrichtung bekannt, wobei Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück anlegbar sind und wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst:
    • – eine Gleichspannungsquelle zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück;
    • – eine Schalteinrichtung zum Schalten der Gleichspannung; und
    • – eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung, um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität für einen vorgegebenen weiteren Zeitraum anzulegen, der notwendig ist, damit die am Spalt anliegende Spannung einen vorgegebenen Wert annimmt, welcher niedriger ist als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeignete Spannung.
  • Der Mechanismus einer Bearbeitung mit einer elektrischen Gasentladung ist im folgenden anhand von 8 bis 11 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. In diesen Zeichnungen bezeichnen das Bezugszeichen 1 eine Elektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 3 eine Lichtbogensäule, das Bezugszeichen 4 eine Bearbeitungsflüssigkeit und das Bezugszeichen 5 ein durch Elektroentladungsbearbeitung erzeugter Arbeitsspan. Das Abtragen von Material am Werkstück 2 durch die elektrische Entladung schreitet fort, während die folgenden Zyklen (a) bis (e) entsprechend den Darstellungen in 8A bis 8E wiederholt werden. Das heißt, (a) illustriert die Ausbildung der Lichtbogensäule durch Erzeugung einer elektrischen Entladung, (b) ein lokales Verdampfen der Bearbeitungsflüssigkeit 4 durch Wärmeenergie aus der elektrischen Entladung, (c) das Auftreten von Verdampfungs-Explosionskräften in der Bearbeitungsflüssigkeit 4, (d) das Verstreuen von geschmolzenen Materialteilen (Arbeitsspäne 5), und (e) das Kühlen durch die Bearbeitungsflüssigkeit, Verfestigen und Wiederherstellen einer Isolation im Spalt. Diese Arbeitsweise bezieht sich auf Entladungsbearbeitung mittels einer Drahtelektrode, wie es beim Bearbeiten durch Bohren, Schneiden, usw., bei der elektrischen Entladung vorkommt.
  • Beim Bearbeiten durch elektrische Entladung unter Verwendung einer Drahtelektrode wird eine hohe Genauigkeit und beispielsweise sind gefordert, z. B. in der Halbleiterindustrie, wo bei Bearbeitungsgenauigkeit in der Größenordnung von 1 bis 2 μm verlangt wird.
  • 9A bis 9C zeigen erläuternde Darstellungen z. B. für einen Bearbeitungsprozess mittels elektrischer Entladung unter Verwendung einer Drahtelektrode. In diesen Darstellungen bezeichnet das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 4a Wasser als Bearbeitungsflüssigkeit, und das Bezugszeichen 6 ein Startloch in dem Werkstück. 9A zeigt einen ersten Schnitt, der eine Rohbearbeitung ist, 9B zeigt einen zweiten Schnitt, der Halbfertigbearbeitung nach der Rohbearbeitung ist, und 9C zeigt die Situation in einem dritten Schnitt, der zur Feinbearbeitung zur endgültigen Fertigstellung der Bearbeitung ist.
  • Ein Bearbeitungsbeispiel des ersten Schnitts gemäß 9A zeigt das Bearbeiten zum Passieren der Drahtelektrode 1a durch das Ausgangsloch 6 und Bohren des Werkstücks 2. Im Falle eines solchen ersten Schnitts werden, da Oberflächenrauhigkeit und Genauigkeit im nachfolgenden Bearbeiten berücksichtigt werden, präzise Oberflächenrauhigkeit und Genauigkeit nicht benötigt, weshalb eine hohe Bearbeitungsgeschwindigkeit erzielt werden kann zur Verbesserung der Produktivität. Beim Drahtelektroentladungsbearbeiten wird, um die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen, das Wasser 4a auf einen Spalt gespritzt, um Arbeitsspäne effektiv aus dem Spalt auszuspülen. Auch wird, um Schwankungen im Strahl des Wassers 4a zum Spalt hin zu eliminieren und dadurch einen Bruch der der Drahtelektrode 1a zu verhindern, ein Verfahren verwendet, bei dem das Wasser 4a in einem Bearbeitungsbad (nicht dargestellt) gespeichert und das Werkstück 2 eingetaucht wird. Dabei wird eine geeignete Einrichtung zur Zuführung der Bearbeitungsflüssigkeit zum Spalt verwendet.
  • Bei der oben beschriebenen vorbekannten Drahtelektroentladungsbearbeitungsmethode wird auch ein Bearbeiten des zweiten Schnitts (9B) und des dritten Schnitts (9C) nach dem ersten Schnitt (9A) in dem Wasser 4a durchgeführt, das die Bearbeitungsflüssigkeit darstellt.
  • Wenn eine Spannung an einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 angelegt wird, wirkt eine wechselseitige Anziehungskraft in einer Pluspolarität und einer Minuspolarität, so dass die Drahtelektrode 1a, welche eine geringe Steifheit aufweist, durch diese elektrostatische Kraft auf die Seite des Werkstücks 2 gezogen. Dies verursacht Vibration der Drahtelektrode 1a, wodurch ein hochgenaues Bearbeiten aufgrund solcher Vibration schwierig wird.
  • Auch wirkt in einem Zustand, in dem Verdampfungsexplosionskraft der Bearbeitungsflüssigkeit durch elektrische Entladungsenergie (z.B. gemäß 8C) auftritt, eine große Kraft in einer dem Werkstück 2 entgegengesetzten Richtung durch die Verdampfungsexplosionskraft der Bearbeitungsflüssigkeit auf die Drahtelektrode 1a ein und auch dadurch tritt Vibration auf. Aufgrund solcher Vibration kann es zu einer Unebenheit bei der Form des Werkstücks 2 und zu einer Verschlechterung der Genauigkeit kommen.
  • Andererseits werden z. B. in der Halbleiterindustrie beim Bearbeiten einer Form, beispielsweise für einen IC-Systemträger, eine extrem hohe Genauigkeit und eine sehr glatte Oberfläche gefordert, mit Formgenauigkeit von 1 μm und einer Oberflächenrauhigkeit von höchstens 1 μmRmax. Insbesondere bei einer solchen Verwendung verursacht eine Vibration der Drahtelektrode, wie oben beschrieben, große Probleme.
  • 10 ist ein Blockschaltbild einer herkömmlichen Energieversorgungseinrichtung für eine Draht-Elektroentladungsbearbeitung. Darin bezeichnet das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 7 eine Gleichstromquelle zum Zuführen einer Gleichspannung an einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2, das Bezugszeichen 8 ein Schalteinrichtung, das Bezugszeichen 9 ein Steuereinrichtung zum Durchführen von Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung 8 und das Bezugszeichen 10 einen Spaltwiderstand zum Ableiten von etwaigen vagabundierenden Kapazitäten
  • 11 zeigt eine Wellenform der Spaltspannung bei einer Vorrichtung gemäß 10. Darin ist V eine Spaltspannung in Form eines Spannungsimpulses mit einer Dauer T1 und einer Pausenzei Tr. Nach Abschalten der Schalteinrichtung 8 sinkt die Spaltspannung V exponentiell, was einen raschen Spannungsabfall verhindert.
  • Die JP 1-257 513 A zeigt eine Energieversorgungsvorrichtung für eine elektrische Entladungsbearbeitung, bei welcher elektrolytische Korrosion zu verhindert wird. Auch bei dieser Vorrichtung wird jedoch das Problem einer nicht hinreichend raschen Spannungsabfalls am Spalt nicht gelöst. Auch besteht dort die Schwierigkeit, dass die Pausenzeit nicht hinreichend verkürzt werden kann, da das Aufbrauchen der Restenergie am Spalts Zeit braucht. Daneben bleibt das Problem der Möglichkeit einer unkontrollierten elektrischen Entladung
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energievorsorgungseinrichtung zu schaffen, welche vielseitig einsetzbar ist und dabei an Betriebsbedingungen der jeweiligen Art des Einsatzes angepasst werden kann.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung nach einem der Patentansprüche 1, 2, 3 oder 5 gelöst.
  • Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung weist eine Energieversorgungseinrichtung auf, welche umfasst: Eine Gleichspannungsquelle zum Anlegen von Spannungen positiver und entgegengesetzter Polaritäten an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück, eine Schalteinrichtung zum Umschalten der an den Spalt angelegten Spannung und eine Steuereinrichtung zum Anlegen eines ersten Spannungsimpulses an den Spalt für einen vorgegebenen Zeitraum und danach zum Anlegen eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität für einen vorgegebenen weiteren Zeitraum, der notwendig ist, damit die Spaltspannung einem vorgegebenen Betrag entspricht, der niedriger oder gleich einer Spannung ist, die zum Starten einer elektrischen Entladung geeignet ist, wobei diese Spannung einer jeweiligen Bearbeitungsbedingung in einer Bearbeitungsflüssigkeit, in einem Nebel oder in einem Gas entspricht und wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung bei zumindest zwei dieser Bearbeitungsbedingungen verwendet wird.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung weist eine Energieversorgungseinrichtung auf, welche umfasst: Eine Gleichspannungsquelle zum Anlegen von Spannungen positiver und entgegengesetzter Polaritäten an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück, eine Schalteinrichtung zum Umschalten der an den Spalt angelegten Spannung, eine Spannungserfassungseinrichtung zum Erfassen einer Spannung im Spalt, eine Spannungsvergleichseinrichtung zum Vergleichen einer durch die Spannungserfassungseinrichtung erfassten Spaltspannung mit einer vorgegebenen Spannung, die auf einen Wert eingestellt ist, welcher niedriger ist als die Spannung, die zum Starten elektrischen Entladung geeignet ist, und eine Steuereinrichtung zum Anlegen eines ersten Spannungsimpulses an den Spalt für einen vorgegebenen Zeitraum und danach zum Anlegen eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität, wobei das Anlegen des zweiten Spannungsimpulses beendet wird, wenn durch die Spannungserfassungseinrichtung erfasst wird, dass die Spaltspannung den vorgegebenen Wert annimmt, welcher an der Spannungsvergleichseinrichtung eingestellt ist, wobei dieser Spannungswert einer jeweiligen Bearbeitungsbedingung in einer Bearbeitungsflüssigkeit, in einem Nebel oder in einem Gas entspricht und wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung bei zumindest zwei dieser Bearbeitungsbedingungen verwendet wird.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung weist eine Energieversorgungseinrichtung auf, welche umfasst: Eine Gleichspannungsquelle zum Anlegen von Spannungen positiver und entgegengesetzter Polaritäten an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück, eine Schalteinrichtung zum Umschalten der an den Spalt angelegten Spannung, eine Spannungserfassungseinrichtung zum Erfassen einer Spannung im Spalt, eine Spannungsvergleichseinrichtung zum Vergleichen einer durch die Spannungserfassungseinrichtung erfassten Spaltspannung mit einer vorgegebenen Spannung, die auf einen Wert eingestellt ist, welcher niedriger ist als die Spannung, die zum Starten elektrischen Entladung geeignet ist, und eine Steuereinrichtung zum Anlegen eines ersten Spannungsimpulses an den Spalt für einen vorgegebenen Zeitraum und danach zum Anlegen eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität, wobei das Anlegen des zweiten Spannungsimpulses jeweils so lange dauert bis durch die Spannungserfassungseinrichtung erfasst wird, dass die Spaltspannung den vorgegebenen Wert annimmt, welcher an der Spannungsvergleichseinrichtung eingestellt ist, wobei dieser Spannungswert einer jeweiligen Bearbeitungsbedingung in einer Bearbeitungsflüssigkeit, in einem Nebel oder in einem Gas entspricht und wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung bei zumindest zwei dieser Bearbeitungsbedingungen verwendet wird.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung weist eine Energieversorgungseinrichtung auf, welche umfasst: Eine Gleichspannungsquelle zum Anlegen von Spannungen positiver und entgegengesetzter Polaritäten an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück, eine Schalteinrichtung zum Umschalten der an den Spalt angelegten Spannung, eine Spannungserfassungseinrichtung zum Erfassen einer durchschnittlichen Spannung am Spalt, eine Spannungsvergleichseinrichtung zum Vergleichen der an dem Spalt anliegenden und von der Spannungserfassungseinrichtung erfassten Spannung mit einer vorgegebenen Spannung, die betragsmäßig niedriger ist als die zum Starten der elektrischen Entladung geeigneten Spannung, welche abhängig ist von einer jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung aus den Bearbeitungsbedingungen in einer Bearbeitungsflüssigkeit, in einem Nebel oder in einem Gas, eine Durchschnittsspannungs-Vergleichseinrichtung zum Vergleichen einer durch die Durchschnittsspannungs-Erfassungseinrichtung erfassten durchschnittlichen Spaltspannung mit der Null-Spannung und eine Steuereinrichtung zum Anlegen eines ersten Spannungsimpulses an den Spalt für einen vorgegebenen Zeitraum und danach zum Anlegen eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität in einem vorgegebenen weiteren Zeitraum so lange, bis die am Spalt erfasste und durch die Spannungserfassungseinrichtung mit der vorgegebenen Spannung verglichene Spannung mit dieser identisch ist, um an den Spalt einen dritten Spannungsimpuls für einen weiteren vorgegebenen Zeitraum anzulegen und danach einen vierten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls gleichen Polarität so zu steuern, dass die am Spalt erfasste und durch die Spannungsvergleichseinrichtung mit der vorgegebenen Spannung verglichene Spannung betragsmäßig kleiner oder gleich dieser vorgegebenen Spannung wird, derart, dass die am Spalt anliegende und durch die Durchschnittsspannungs-Vergleichseinrichtung mit der Null-Spannung verglichene durchschnittliche Spannung in Intervallen auf Null-Spannung gesetzt wird, wobei die Vorrichtung zum Bearbeiten mittels elektrischer Entladung für die Durchführung einer kombinierten Bearbeitung bei zumindest zwei der vorgenannten drei Bearbeitungsbedingungen verwendet wird.
  • Auch kann eine Energieversorgungseinrichtung vorgesehen werden, welche nach Beenden des Anlegens des ersten Spannungspulses der zweite Spannungspuls nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit angelegt wird, um die Zerstörung der Schalteinrichtung zu verhindern.
  • Auch kann die vorgegebene Spannung, die niedriger oder gleich einer Spannung ist, die zum Starten einer elektrischen Entladung zum Zeitpunkt des Anlegens des zweiten Spannungspulses geeignet ist, oder eine vorgegebene Spannung, die niedriger oder gleich einer Spannung ist, die zum Starten einer elektrischen Entladung zum Zeitpunkt des Anlegens des vierten Spannungspulses geeignet ist, nahe der Spannung eingestellt werden, die zum Starten der elektrischen Entladung geeignet ist.
  • Auch kann nach Beendigung des Anlegens des ersten Spannungspulses der zweite Spannungsimpuls nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit angelegt werden, um eine Zerstörung der Schalteinrichtung zu verhindern, und nach Beendigung des Anlegens des dritten Spannungsimpulses kann der vierte Spannungspuls nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit angelegt werden, um eine Zerstörung der Schalteinrichtung zu verhindern.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung für eine Bearbeitung mittels elektrischer Entladung ermöglicht eine Bearbeitung mit hoher Bearbeitungsqualität und hoher Zuverlässigkeit, wobei die Bearbeitungszeiten verkürzt und elektrolytische Korrosion des Werkstücks verhindert werden können.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher beschrieben.
  • In den Zeichnungen zeigen:
  • 1A1C schematische Darstellungen zur Erläuterung einer Vorrichtung für eine Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • 2 ein Blockschaltbild der Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • 3A u. 3B Diagramme zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch eine Steuereinrichtung des Gegenstandes von 2 und Wellenformen der Spannung am Bearbeitungsspalt der Vorrichtung nach 2;
  • 4 ein weiteres Diagramm zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch die Steuereinrichtung des Gegenstandes von 2 und eine Wellenform der Spannung am Bearbeitungsspalt der Vorrichtung nach 2;
  • 5 ein weiteres Diagramm zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch die Steuereinrichtung des Gegenstandes von 2 und eine Wellenform der Spannung am Bearbeitungsspalt der Vorrichtung nach 2;
  • 6 ein Diagramm zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch die Steuereinrichtung und eine Wellenform der Spannung am Bearbeitungsspalt einer Vorrichtung gemäß einer zweiten und dritten Ausführungsform der Erfindung;
  • 7A7B Diagramme zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch eine Steuereinrichtung und Wellenformen der Spannung am Bearbeitungsspalt der Vorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung;
  • 8A8E schematische Darstellungen zur Erläuterung der Wirkungsweise einer Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung;
  • 9A9C schematische Darstellungen zur Erläuterung einer Vorrichtung für eine Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung;
  • 10 ein Blockschaltbild einer konventionellen Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung;
  • 11 ein Diagramm zur Erläuterung der Ein-/Aus-Steuerung durch eine Steuereinrichtung und eine Wellenform der Spannung am Bearbeitungsspalt der konventionellen Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung.
  • Nachfolgend werden die vorgenannten bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung im einzelnen beschrieben.
  • Erste Ausführungsform
  • 1A bis 1C zeigen schematische Darstellungen zur Erläuterung der Vorrichtung für eine Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung. Dabei bezeichnet das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 4a Wasser als Bearbeitungsflüssigkeit in einem Bearbeitungsbehälter, das Bezugszeichen 6 ein Bearbeitungs-Startloch in dem Werkstück 2, das Bezugszeichen 11 einen Nebel aus Wasser etc. in einem Bearbeitungsbehälter und das Bezugszeichen 12 ein Gas wie z. B. Luft in einem Bearbeitungsbehälter.
  • Die Darstellung in 1A zeigt einen ersten Schnitt als Rohbearbeitung des Werkstücks, 1B zeigt einen zweiten Schnitt bei einer zweiten Bearbeitung des Werkstücks als Halbfertigstellungs-Bearbeitung nach dem Rohbearbeiten, und 1C zeigt einen dritten Schnitt bei einer dritten Bearbeitung des Werkstücks zur endgültigen Fertigstellung.
  • Der erste Schnitt, der zweite Schnitt und der dritte Schnitt werden aus Gründen einer leichten Durchführung der Bearbeitung vorgesehen, jedoch ist das Bearbeiten eines Werkstücks mittels elektrischer Entladung nicht notwendigerweise nicht auf drei Bearbeitungsschritte festgelegt. Zum Beispiel kann beim Bearbeiten eines Werkstücks mit niedrigeren Anforderungen an die Genauigkeit der Bearbeitung nur der erste Schnitt allein oder nur der erste und der zweite Schnitt vorgesehen werden, während bei einer Bearbeitung eines Werkstücks mit hoher Genauigkeit die Bearbeitung beispielsweise sogar sieben- oder achtfach durchgeführt werden kann.
  • In 1A ist der erste Schnitt das Bearbeiten zum Passieren der Drahtelektrode 1a durch das Startloch 6 und zum Bohren des Werkstücks 2. Im ersten Schnitt sind, da Oberflächenrauhigkeit und hohe Genauigkeit erst beim nachfolgenden Bearbeiten zu berücksichtigen sind, die Einhaltung von höheren Anforderungen an Oberflächenrauhigkeit und Bearbeitungsgenauigkeit noch nicht notwendig. Vielmehr wird im ersten Bearbeitungsschritt angestrebt, die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen, um die Produktivität zu verbessern, und die Bearbeitung erfolgt bei Zuführung von Wasser 4a in einen Bearbeitungsspalt zwischen Elektrode und Werkstück.
  • In diesem Schritt wird das Bearbeitungsfluid Wasser verwendet, das mittels einer nicht dargestellten Zuführungseinrichtung dem Bearbeitungsspalt in einer Weise zugeführt, wie dies in ähnlicher Weise aus dem Stand der Technik nach 9A bis 9C bekannt ist. Hierzu kann das Wasser 4a als Bearbeitungsflüssigkeit in einem einen Speicher bildenden Behälter vorgesehen werden, um das Werkstück 2 darin einzutauchen, und/oder das Wasser 4a kann als Bearbeitungsflüssigkeit in den Spalt eingespritzt werden.
  • Im zweiten Schnitt, der das Halbfertigstellungsbearbeiten nach 1B ist, wird die Bearbeitung im Inneren eines als Bearbeitungsfluid dienenden Nebels 11 durchgeführt, um eine Vibration der Drahtelektrode 1a zu unterdrücken und dadurch die Bearbeitungsformgenauigkeit zu verbessern. Eine Bearbeitungsgeschwindigkeit im Inneren des Nebels 11 hält einem Vergleich mit der Bearbeitung im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit 4a stand und die Bearbeitungsgenauigkeit wird besser, da Vibration der Drahtelektrode 1a aufgrund elektrostatischer Kraft unterdrückt wird. Das Bearbeiten im Inneren des Nebels 11 kann durch Einsprühen des Nebels in einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 durchgeführt werden, beispielsweise durch eine Nebelzuführeinrichtung (nicht gezeigt).
  • Die Gründe dafür, warum eine hohe Genauigkeit beim Bearbeiten mittels elektrischer Entladung innerhalb des Nebels 11 oder innerhalb eines Gases 12 erhalten wird, sind wie folgt. Da die elektrostatische Kraft, die auf die Drahtelektrode 1a und das Werkstück 2 zum Zeitpunkt des Anlegens einer Spannung an den Spalt einwirkt, proportional zu einer dielektrischen Konstante im Spalt ist, wird bei gleicher Spaltweite die elektrostatische Kraft in dem Fall, dass sich in dem Spalt der Nebel 11 oder das Gas 12 befindet, um ein Vielfaches von zehn höher, verglichen mit der elektrostatischen Kraft in dem Fall, dass in dem Spalt als Bearbeitungsflüssigkeit Wasser 4a vorgesehen wird. Hierzu wird darauf hingewiesen, dass die dielektrische Konstante in einem Vakuum am kleinsten ist und die dielektrische Konstante in Wasser etwa das 80-fache der dielektrischen Konstante im Vakuum beträgt. Selbst wenn eine Verdampfungsexplosivkraft durch in den Spalt eindringendes Bearbeitungsfluid infolge einer elektrischen Entladung auftritt, wird die Drahtelektrode 1a durch die Verdampfungsexplosivkraft nicht sehr beeinträchtigt, wenn nur der Nebel 11 oder das Gas 12 als Bearbeitungsfluid im Spalt vorhanden ist.
  • Daher kann hochgenaues Bearbeiten mittels elektrischer Entladung im Inneren des Nebels 11 oder im Inneren des Gases 12 durchgeführt werden. Durch Bearbeitung des Werkstücks im Inneren von Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren des Nebels und im Inneren des Gases in Kombination miteinander können die Produktivität und die Genauigkeit der Bearbeitung des Werkstücks an die jeweiligen Anforderungen angepasst werden.
  • Beim Bearbeiten mittels elektrischer Entladung unter Verwendung einer Drahtelektrode wird durch eine DC- Stromquelle der Energieversorgungseinrichtung (nachfolgend auch Stromquellenvorrichtung genannt) eine Gleichspannung an einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 zugeführt, um eine elektrische Entladung im Spalt zu erzeugen. Dabei schreitet die Bearbeitung fort, wobei die Drahtelektrode 1a und das Werkstück 2 relativ zueinander bewegt werden, und die dem Spalt zugeführte Gleichspannung wird durch Ein- oder Ausschalten einer Schalteinrichtung (nachfolgend auch Schaltmittel genannt) gesteuert.
  • Auch ändert sich der durch eine ungeerdete Kapazität etc. gespeicherte Energiebetrag im Spaltbereich nicht nur abhängig von der Größe des Werkstücks, einem Bearbeitungszustand, etc., sondern ist auch stark abhängig von Bearbeitungsbedingungen im Spalt, insbesondere auch durch das Vorhandensein von Bearbeitungssubstanzen im Spalt, etwa durch Bearbeiten in einer Bearbeitungsflüssigkeit, die im Spalt vorhanden ist infolge von Eintauchen des Werkstücks oder Einsprühen von Behandlungsflüssigkeit in den Spalt, Bearbeiten im Inneren von Nebel oder Bearbeiten im Inneren von Gas. Daher ist bei Durchführen der Drahtelektroden-Entladungsbearbeitung im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren des Nebels und im Inneren des Gases in Kombination, wie in 1 gezeigt, bei Verwendung einer herkömmlichen Energieversorgungseinrichtung gemäß 10 eine Änderung der für den Verbrauch von Energie notwendigen Zeit groß und die elektrische Entladungsenergie schwankt in dem Fall, dass eine elektrische Entladung während des Energieverbrauchs auftritt, und es ist schwierig, mit einer konventionellen Vorrichtung und mit einem konventionellen Verfahren eine stabile Bearbeitung zu erreichen. Somit ist die Bearbeitungsqualität relativ gering.
  • 2 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration der Energieversorgungseinrichtung für das Drahtelektroden-Entladungsbearbeiten gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt. In 2 bezeichnet das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 7 eine Gleichspannungsstromquelle zum Zuführen einer Gleichspannung an einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2, das Bezugszeichen 10 einen Spaltwiderstand, die Bezugszeichen 13a, 13b, 13c und 13d eine Schalteinrichtung für einen Feldeffekttransistor etc. zum Schalten der Gleichspannung, das Bezugszeichen 14 eine Steuereinrichtung für eine Ein-/Aussteuerung der Schalteinrichtung 13a, 13b, 13c und 13d, das Bezugszeichen 15 eine Spannungserfassungseinrichtung zum Erfassen einer Spannung am Spalt, das Bezugszeichen 16 eine Durchschnittsspannungs-Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Durchschnittsspannung am Spalt, das Bezugszeichen 17 eine Spannungsvergleichseinrichtung zum Vergleichen eines mittels der Spannungserfassungseinrichtung 15 erfassten Spannungswerts mit einem Einstellwert, und das Bezugszeichen 18 eine Durchschnittsspannungs-Vergleichseinrichtung zum Vergleichen einer mittels der Durchschnittsspannungs-Erfassungseinrichtung 16 erfassten Werts mit einem Einstellwert.
  • Somit verwendet die Energieversorgungseinrichtung für das Drahtelektroden-Entladungsbearbeiten gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung einen Brückenschaltkreis, der geeignet ist, Spannungen sowohl positiver als auch entgegengesetzter Polaritäten an den Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 anzulegen.
  • 3A und 3B sind erläuternde Diagramme, welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung und eine Wellenform der Spaltspannung in der Energieversorgungseinrichtung zum Drahtelektroden-Entladungsbearbeiten gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigen. Insbesondere zeigt 3A den Fall, dass eine elektrische Entladung am Ende einer vorgegebenen Zeit T1 nicht auftritt, und 3B zeigt den Fall, dass eine elektrische Entladung am Ende der vorgegebenen Zeit T1 auftritt. In 3A und 3B bedeutet V eine Spaltspannung und T1 die Zeit eines angelegten Spannungsimpulses (vorgegebene Zeit, für welche die Schalteinrichtungs-Komponenten 13a und 13b eingeschaltet sind) und t bedeutet eine vorgegebene Zeit, die zum Verhindern einer Zerstörung der Schalteinrichtung eingestellt ist. T2a und T2b zeigen eine vorgegebene Zeit, für welche die Schalteinrichtungs-Komponenten 13c und 13d nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit t eingeschaltet sind, und T5 zeigt die Pausenzeit. Va zeigt einen Bereich der Spaltspannung, der niedriger oder gleich einer Spannung ist, welche geeignet ist, eine elektrische Entladung zu starten.
  • Nachdem die Schalteinrichtungs-Komponenten 13a und 13b, wie in 3 gezeigt, eingeschaltet sind, werden durch ein Steuersignal von der Steuereinrichtung 14 von 2 die Schalteinrichtungs-Komponenten 13a und 13b nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit T1 abgeschaltet, und danach werden die Schalteinrichtungs-Komponenten 13c und 13d nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit t eingeschaltet, und die Schalteinrichtungs-Komponenten 13c und 13d werden nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit T2a in 3a und nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit T2b in 3b ausgeschaltet. Als vorgegebene Zeit T2a bzw. T2b kann eine zum Erreichen einer beliebigen Spannung innerhalb des Spannungsbereiches Va für die Spaltspannung V notwendige vorgegebene Zeit voreingestellt werden. In 3A und 3B ist die vorgegebene Zeit diejenige, die notwendig ist, damit die Spaltspannung V Null wird. Die vorgegebene Zeit ist bedingt durch Bearbeitungsbedingungen, wie etwa die Größe eines Werkstücks oder eine elektrische Bedingung, die der Bearbeitung im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit 4a, der Bearbeitung im Inneren von Nebel 11 und der Bearbeitung im Inneren von Gas 12 entspricht.
  • Anstatt die vorgegebenen Zeiten T2a und T2b vorab einzustellen, kann auch vorgesehen werden, die Schalteinrichtungs-Komponenten 13c und 13d abzuschalten, wenn ein durch die Spannungserfassungseinrichtung 15 erfasster Spannungswert mit dem vorgegebenen Einstellwert durch das Spannungsvergleichseinrichtung 17 mit dem Spannungsbereich Va verglichen wird und die Spaltspannung V zum eingestellten Wert wird.
  • In den 3A und 3B liegt der Grund, warum die vorgegebene Zeit T bereitgestellt wird, darin, dass, wenn eine Zeitzone vorhanden ist, in der die Schalteinrichtungs-Komponenten 13a oder 13b und 13c oder 13d gleichzeitig eingeschaltet worden sind, ein Kurzschlussstrom auftritt und die Schalteinrichtung zerstört wird. Als die vorgegebene Zeit T kann beispielsweise eine Zeit in der Größenordnung von 500 ns eingestellt werden. Ein Wert dieser vorgegebenen Zeit T kann verringert werden, da die Schalteinrichtung mit einer hohen Betriebsgeschwindigkeit für den Fall verwendet werden kann, dass eine angelegte Spannung niedrig ist, und steigt an, da es notwendig ist, die Schalteinrichtung mit einer hohen dielektrischen Stärke und einer niedrigen Betriebsgeschwindigkeit zu benutzen, wenn die angelegte Spannung für eine jeweilige Sorte oder Art eines Werkstücks oder für eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitung erhöht wird.
  • Auch gibt es, wenn eine Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung durchgeführt werden kann, bei welcher die Zeitzone, in der die Schalteinrichtungs-Komponenten 13a oder 13b und 13c oder 13d gleichzeitig eingeschaltet werden, nicht vorhanden ist, keine Notwendigkeit, die vorgegebene Zeit t bereitzustellen.
  • Wie oben beschrieben, kann durch Anlegen einer Spannung einer Polarität, die entgegengesetzt ist einer Spannung zur vorgegebenen Zeit T1, durch Einschalten der Schalteinrichtungs-Komponenten 13c und 13d für die vorgegebene Zeit T2 nach Beenden des Anlegens eines Spannungsimpulses der vorgegebenen Zeit T1 ein Absinken der im Spalt verbleibenden Spannung rasch durchgeführt werden, wie in 3A und 3B gezeigt ist, z.B. in einem Brückenschaltkreis, der, wie in 2 gezeigt ist, geeignet ist, Spannungen sowohl positiver als auch entgegengesetzter Polaritäten anzulegen.
  • Durch rasches Absenken der Spannung am Spalt, um auf diese Weise Restspannung zu beseitigen, kann zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück aufgrund von Restspannung auftretende elektrostatische Kraft unterdrückt werden. Daher kann, da Vibration der Drahtelektrode beim Bearbeiten im Inneren von Bearbeitungsflüssigkeit, beim Bearbeiten im Inneren von Nebel und beim Bearbeiten im Inneren von Gas unterdrückt wird, eine Verminderung der Bearbeitungsgenauigkeit am Werkstück verhindert werden, falls das Bearbeiten im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, das Bearbeiten im Inneren des Nebels und das Bearbeiten im Inneren des Gases in Verbindung durchgeführt werden.
  • Auch kann eine durch Restspannung am Spalt verursachte elektrische Entladung verhütet werden, und eine elektrische Entladung kann nur innerhalb der zur Steuerung geeigneten Zeit erfolgen, in der Spannung angelegt ist, so dass die Bearbeitungsqualität verbessert werden kann.
  • Weiterhin können die Pausenzeit T5 gemäß 3A und 3B verkürzt und die Bearbeitungszeit verkürzt werden.
  • Auch zeigt sich ein ähnlicher Effekt, wenn die Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung nach 3A und 3B gemäß der obigen Beschreibung so durchgeführt wird, wie dies in 4 gezeigt ist.
  • 5 stellt den Fall dar, dass eine Spannung in der vorgegebenen Zeit T3 auf eine Polarität gesetzt wird, die entgegengesetzt einer Spannung in der vorgegebenen Zeit T1 ist, und es zeigt sich ein Effekt ergeben, der ähnlich ist dem Fall einer Durchführung von Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung, wie in 3 gezeigt. Weiter zeigt 5 einen Effekt, der in der Lage ist, elektrolytische Korrosion des Werkstücks in dem Fall zu verhindern, dass eine durch die Durchschnittsspannungs-Erfassungseinrichtung 16 von 2 erfasste Durchschnittsspannung verglichen wird mit einem an der Durchschnittsspannungs-Vergleichseinrichtung 18 auf 0 Volt gesetzten Spannungseinstellwert und dass die Ein-/Aus-Steuerung der Schalteinrichtung 13a, 13b, 13c und 13d durch die Steuereinrichtung 14 durchgeführt wird, um so diesen Durchschnittsspannungs-Erfassungswert auf Null zu bringen (sogenannte Null-Volt-Steuerung).
  • Zweite Ausführungsform
  • 6 ist ein erläuterndes Diagramm, das eine Ein-/Aus-Steuerung des Schaltmittels und eine Spaltspannungswellenform in einer Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. In 6 ist V eine Spaltspannung und Va ein Bereich der Spaltspannung, der niedriger ist als oder gleich einer Spannung ist, die zum Starten einer elektrischen Entladung geeignet ist, und V1 und V2 zeigen vorgegebene Spannungen innerhalb des Spannungsbereiches Va. T1 ist die Zeit eines angelegten Spannungspulses (vorgegebene Zeit, in der die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet sind). t ist eine zum Verhindern einer Zerstörung des Schaltmittels eingestellte vorgegebene Zeit und T2a' zeigt eine vorgegebene Zeit für die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13c und 13d nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit T1 und t, und T3' zeigt die Zeit eines angelegten Spannungspulses (vorgegebene Zeit, für welche die Schaltmittel 13c und 13d eingeschaltet sind) und T4a' zeigt eine vorgegebene Zeit, für welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13a und 13b nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit T3' und t durchgeführt werden, und T5' zeigt eine Pausenzeit.
  • Auch ähnelt ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration der Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten zeigt, dem von 2, das im ersten Ausführungsbeispiel gezeigt ist.
  • Bei der Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten gemäß der zweiten Ausführungsform wird, da sich die Restspannung an einem Spalt abhängig von einem Bearbeitungszustand und einer angelegten Spannung usw. verändert, so gesteuert, dass eine Spannung nach einem Abfall eines Spannungspulses im Spalt innerhalb einer vorgegebenen Spannung im Spannungsbereich Va gehalten wird, wobei das Spannungsfeststellmittel 15 zum Feststellen einer Spannung am Spalt von 2 und das Spannungsvergleichsmittel 17 zum Vergleichen einer vorgegebenen Spannung mit einer Spannung am Spalt in jeweiligen positiven und entgegengesetzten Polaritäten verwendet werden.
  • Zum Beispiel wird zuerst eine Spannung einer positiven Polarität für eine vorgegebene Zeit T1 angelegt und dann wird nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit t eine Spannung entgegengesetzter Polarität angelegt, so dass das Schaltmittel nicht zerstört wird, und eine Spannung am Spalt wird unter Verwendung des Spannungsfeststellmittels 15 festgestellt, und die vorgegebene Spannung V2 wird unter Verwendung des Spannungsvergleichsmittels 17 mit der Spannung am Spalt verglichen. Im Falle eines Erreichens der vorgegebenen Spannung V2 werden die Schaltmittel 13c und 13d sofort abgeschaltet, und Ein-/Aus-Operationen der Schaltmittel 13c und 13d werden für die vorgegebene Zeit T2a' wiederholt, so dass die Spaltspannung nicht die vorgegebene Spannung V2 erreicht oder niedriger wird.
  • Auch wird eine Spannung der entgegengerichteten Polaritätsseite für die vorgegebene Zeit T3' angelegt und dann wird nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit t eine Spannung der positiven Polaritätsseite angelegt, so dass die Schaltmittel nicht zerstört werden, und eine Spannung am Spalt wird unter Verwendung des Spannungsfeststellmittels 15 festgestellt und die innerhalb des Bereiches Va der Spaltspannung eingestellte Spannung V1, die niedriger als oder gleich einer Spannung ist, die zum Starten einer elektrischen Entladung geeignet ist, wird mit der Spannung am Spalt unter Verwendung des Spannungsvergleichsmittels 17 verglichen. Im Falle des Erreichens der vorgegebenen Spannung V1 werden die Schaltmittel 13a und 13b sofort abgeschaltet, und Ein-/Aus-Operationen der Schaltmittel 13a und 13d werden für die vorgegebene Zeit T4a' wiederholt, so dass die Spaltspannung nicht die vorgegebene Spannung V1 erreicht oder höher wird.
  • Durch Durchführen der oben beschriebenen Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel kann nach Verstreichen der vorgegebenen Anlegezeit (T1 und T3') des vorgegebenen Spannungspulses ein Abfall der Restspannung am Spalt rasch erfolgen, Auch kann ein Niveau der Restspannung am Spalt auf eine Spannung oder niedriger eingestellt werden, die zum Starten einer elektrischen Entladung geeignet ist, und eine elektrische Entladung kann während der Zeit T2a' und T4a' unterdrückt werden, so dass sich eine Verbesserung der Bearbeitungsqualität etc. ähnlich wie dem in der ersten Ausführungsform zeigt.
  • 7A und 7B sind erläuternde Diagramme zum Zeitpunkt der elektrischen Entladungserzeugung, welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel, eine Spaltspannungswellenform und eine Spaltstromwellenform in der Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten gemäß der zweiten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen. V ist eine Spaltspannung und I ein Spaltstrom und T1 ist die Angelegezeit eines Spannungspulses (vorgegebene Zeit, für welche die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet sind) und t ist vorgegebene Zeit, die zum Verhindern der Zerstörung des Schaltmittels eingestellt ist, und T2a' und T2b' sind vorgegebene Zeiten, für welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13c und 13d nach Verstreichen der vorgegebenen Zeit T1 und t durchgeführt wird.
  • Wie in 7(a) gezeigt, erreicht bei Auftreten einer elektrische Entladung am Ende der vorgegebenen Zeit T1 die Spannung den vorgegebenen Wert V2 in kurzer Zeit, da eine Spannung in dem Bearbeitungsspalt innerhalb des Spannungsbereichs Va zu liegen kommt und die zuerst angelegte Spannung eines Spannungspulses innerhalb der Zeit T2b' wird kurz. Doch das Anlegen einer Spannung innerhalb dieser vorgegebenen Zeit T2b' kann in einer Weise durchgeführt werden, die der von 6 ähnelt. Außerdem kann, wie in 7B gezeigt, in dem Fall, dass eine elektrische Entladung innerhalb der vorgegebenen Zeit T1 auftritt und eine elektrische Entladung nicht am Ende der vorgegebenen Zeit T1 auftritt, das Anlegen einer Spannung innerhalb der Zeit T2a' in einer Weise durchgeführt werden, die ähnlich ist zu der, welche in 6 gezeigt ist. Auch kann beispielsweise das Anlegen einer Spannung innerhalb der Zeit T2b' und T2a', wie in 7A oder 7B gezeigt, durchgeführt werden, wenn bei abschließendem Bearbeiten des Werkstücks in einem dritten Schnitt, einem vierten Schnitt, eine Spannung mit Gruppenpulsform angelegt wird, abhängig davon, ob oder ob nicht eine elektrische Entladung am Ende der angelegten Spannungspulszeit auftritt.
  • Dritte Ausführungsform
  • 6 ist auch ein erläuterndes Diagramm, das Ein-/Aus-Steuerung von Schaltmitteln und eine Spaltspannungswellenform in einer Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten gemäß einer dritten Ausführungsform dieser Erfindung zeigt. Ein Blockschaltbild, welches eine Konfiguration der Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten zeigt, ist ähnlich zu dem in der ersten Ausführungsform gezeigten Blockschaltbild gemäß 2. Jedoch ist in der dritten Ausführungsform die angelegte Zeit T3' eines Spannungspulses nicht eine vorgegebene Zeit, sondern eine zu steuernde Zeit.
  • In der dritten Ausführungsform wird zusätzlich zu der zweiten Ausführungsform eine Steuerung (sogenannte "Null-Volt-Steuerung") hinzugefügt, um eine Durchschnittsspannung an einem Spalt zu vorgegebenen Zeitintervallen auf Null zu bringen unter Verwendung des Durchschnittsspannungsfeststellmittels 16 und des Durchschnittsspannungsvergleichsmittels 18 von 2, so dass eine elektrolytische Korrosion eines Werkstücks verhütet wird.
  • Das heißt, dass eine Durchschnittsspannung innerhalb einer konstanten Zeit in dem Spalt durch das Durchschnittsspannungsfeststellmittel 16 festgestellt wird und dieser Durchschnittsspannungsfeststellwert mit einem auf 0 Volt eingestellten Durchschnittseinstellwert durch das Durchschnittsspannungsvergleichsmittel 18 verglichen wird und die Dauer der angelegten Zeit T3 eines Spannungspulses einer Polarität, die entgegengesetzt ist einer Spannung der vorgegebenen Zeit T1, gesteuert wird, um so diesen Durchschnittsspannungsfeststellwert auf Null zu bringen (es wird eine Steuerung ähnlich der Steuerung gemäß 5 der ersten Ausführungsform durchgeführt) und es gibt einen Effekt, der zum Verhüten der elektrolytischen Korrosion des Werkstücks geeignet ist.
  • Auch wächst in 6, wenn eine vorgegebene Spannung V2 so nahe als möglich an das Ende eines Spannungsbereiches Va gebracht wird, beispielsweise wie durch Pfeil A gezeigt (d.h. wenn sie innerhalb des Spannungsbereiches Va und nahe einer Spannung eingestellt wird, welche zum Starten einer elektrischen Entladung geeignet ist), eine Durchschnittsspannung einer Polarität, die entgegengesetzt einer Spannung innerhalb der vorgegebenen Zeit T1 ist, innerhalb der Zeit T2a', so dass die angelegte Spannungspulszeit T3' von 6 kürzer gemacht werden kann als die angelegte Spannungspulszeit T3 von 5, wenn eine Null-Volt-Steuerung durchgeführt wird (das heißt, T3' < T3). Auch kann die angelegte Spannungspulszeit T3' durch weiteres Verlängern der Zeit T2a' weiter verkürzt werden. In diesem Fall ist beispielsweise ein Fortschreiten der Bearbeitung in einer Spannungspolarität der vorgegebenen Zeit T1 einfach, während ein Fortschreiten der Bearbeitung in einer Spannungspolarität der vorgegebenen Zeit T3' schwierig ist, so dass sich die Bearbeitungsproduktivität nicht vermindert, selbst wenn die angelegte Spannungspulszeit T3' kurz wird.
  • Die Fähigkeit, die angelegte Spannungspulszeit T3' zu verkürzen, bedeutet, dass die Zeit von angelegter Spannungszeit T1 in 6 bis zur nächsten angelegten Spannungszeit T1 verkürzt werden kann. Dies bedeutet, dass durch Durchführen der Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und der Null-Volt-Steuerung wie in 6 gezeigt, elektrolytische Korrosion eines Werkstücks verhütet werden kann und auch die Bearbeitungszeit verkürzt werden kann.
  • Obwohl oben der Fall der Durchführung einer Steuerung der angelegten Spannungspulszeit für die Null-Volt-Kontrolle vermittels der Zeit T3' beschrieben worden ist, kann die Steuerung z.B. vermittels der Zeit T1 oder T4' durchgeführt werden.
  • Obwohl der Fall, dass eine Konfiguration der Stromquellenvorrichtung zum elektrischen Entladungsbearbeiten eine wie in 2 gezeigte Brückenkonfiguration unter Verwendung von einer Gleichspannungsstromquelle in der Beschreibung der obigen Ausführungsform dieser Erfindung gezeigt worden ist, sind auch andere Konfigurationen dazu geeignet, Spannungen von sowohl von positiver als auch entgegengesetzter Polarität an einem Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück anzulegen, z.B. eine Konfiguration, wie sie in JP 1-257513 A offenbart ist unter Verwendung von zwei Gleichspannungsstromquellen.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Wie oben beschrieben, ist eine Stromquellenvorrichtung zum Drahtelektroentladungsbearbeiten gemäß dieser Erfindung dazu geeignet, besonders für eine hochgenaue Drahtelektroentladungsbearbeitung eines Werkstücks geeignet.

Claims (7)

  1. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anlegbar sind, wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst: eine Gleichspannungsquelle (7) zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2); eine Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zum Schalten der Gleichspannung; und eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d), um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T1) und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität für einen vorgegebenen Zeitraum (T2a; T2b) anzulegen, der notwendig ist, damit die am Spalt anliegende Spannung einen vorgegebenen Wert annimmt, welcher niedriger als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeignete Spannung, wobei letztere abhängig ist von der aus folgenden drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung, nämlich von (a) einer Bearbeitung in einer Bearbeitungsflüssigkeit (4a) oder (b) einer Bearbeitung in einem Nebel (11) oder (c) einer Bearbeitung in einem Gas (12), wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung für die Durchführung einer kombinierten Bearbeitung bei mindestens zwei der drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) verwendet wird.
  2. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anlegbar sind, wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst: eine Gleichspannungsquelle (7) zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2); eine Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zum Schalten der Gleichspannung; eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d); eine Spannungserfassungseinrichtung (15) zum Erfassen einer an dem Spalt anliegenden Spannung; und eine Spannungsvergleichseinrichtung (17) zum Vergleichen einer an dem Spalt anliegenden und durch die Spannungserfassungseinrichtung (15) erfassten Spannung mit einer vorgegebenen Spannung, wobei der Betragswert der Spannung niedriger ist als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeignete Spannung, wobei letztere abhängig ist von der aus folgenden drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung, nämlich von (a) einer Bearbeitung in einer Bearbeitungsflüssigkeit (4a) oder (b) einer Bearbeitung in einem Nebel (11) oder (c) einer Bearbeitung in einem Gas (12), wobei die Steuereinrichtung (14) vorgesehen ist, um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T1) und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität anzulegen und das Anlegen des zweiten Spannungsimpulses zu beenden, wenn durch die Spannungserfassungseinrichtung (15) erfasst wird, dass die am Spalt anliegende Spannung den vorgegebenen Wert annimmt, welcher an der Spannungsvergleichseinrichtung (17) eingestellt ist; wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung für die Durchführung einer kombinierten Bearbeitung bei mindestens zwei der drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) verwendet wird.
  3. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anlegbar sind, wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst: eine Gleichspannungsquelle (7) zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2); eine Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zum Schalten der Gleichspannung; eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d); eine Spannungserfassungseinrichtung (15) zum Erfassen einer an dem Spalt anliegenden Spannung; und eine Spannungsvergleichseinrichtung (17) zum Vergleichen einer an dem Spalt anliegenden und durch die Spannungserfassungseinrichtung (15) erfassten Spannung mit einer vorgegebenen Spannung V1, V2, wobei der Betragswert der Spannung V1, V2 niedriger ist als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeignetem Spannung, wobei letztere abhängig ist von der aus folgenden drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung, nämlich von (a) einer Bearbeitung in einer Bearbeitungsflüssigkeit (4a) oder (b) einer Bearbeitung in einem Nebel (11) oder (c) einer Bearbeitung in einem Gas (12), wobei die Steuereinrichtung (14) vorgesehen ist, um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T1) und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität in einem vorgegebenen Zeitraum (T2a'. T2b') jeweils so lange anzulegen, bis die am Spalt erfasste und durch die Spannungsvergleichseinrichtung (17) mit der vorgegebenen Spannung V1, V2 verglichene Spannung mit dieser identisch wird, wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung für die Durchführung einer kombinierten Bearbeitung bei mindestens zwei der drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) verwendet wird.
  4. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welcher die Steuereinrichtung (14) dafür vorgesehen ist, nach Beendigung des Anlegens des ersten Spannungsimpulses den zweiten Spannungsimpuls nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit (t) anzulegen, um eine Zerstörung der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zu verhindern.
  5. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung, mittels der Spannungen unterschiedlicher Polarität an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anlegbar sind, wobei die Energieversorgungseinrichtung umfasst: eine Gleichspannungsquelle (7) zum Anlegen einer Gleichspannung an den Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2); eine Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zum Schalten der Gleichspannung; eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d); eine Spannungserfassungseinrichtung (15) zum Erfassen einer an dem Spalt anliegenden Spannung; und eine Spannungsvergleichseinrichtung (17) zum Vergleichen einer an dem Spalt anliegenden und durch die Spannungserfassungseinrichtung (15) erfassten Spannung mit einer vorgegebenen Spannung V1, V2, wobei der Betragswert der Spannung V1, V2 niedriger ist als der Betragswert einer zum Starten einer elektrischen Entladung geeigneten Spannung, wobei letztere abhängig ist von der aus folgenden drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) jeweils gewählten Bearbeitungsbedingung, nämlich von (a) einer Bearbeitung in einer Bearbeitungsflüssigkeit (4a) oder (b) einer Bearbeitung in einem Nebel (11) oder (c) einer Bearbeitung in einem Gas (12), eine Durchschnittsspannungserfassungseinrichtung (16) zum Erfassen einer an den Spalt angelegten durchschnittlichen Spannung; eine Durchschnittsspannungsvergleichseinrichtung (18) zum Vergleichen einer an dem Spalt anliegenden und durch die Durchschnittsspannungserfassungseinrichtung (16) erfassten durchschnittlichen Spannung mit der Null-Spannung; und eine Steuereinrichtung (14) zum An- und Abschalten der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d), – um an den Spalt einen ersten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T1) und danach einen zweiten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität in einem vorgegeben Zeitraum (T2a', T2b') jeweils so lange anzulegen, bis die am Spalt erfasste und durch die Spannungsvergleichseinrichtung (17) mit der vorgegebenen Spannung V2 verglichene Spannung mit dieser identisch wird, – um an den Spalt einen dritten Spannungsimpuls für einen vorgegebenen Zeitraum (T3') und danach einen vierten Spannungsimpuls mit einer zum ersten Spannungsimpuls gleicher Polarität so zu steuern, dass die am Spalt erfasste und durch die Spannungsvergleichseinrichtung (17) mit der vorgegebenen Spannung V1 verglichene Spannung betragsmäßig kleiner oder gleich der Spannung V1 wird, – derart, dass die am Spalt anliegende, durch die Durchschnittsspannungserfassungseinrichtung (16) erfasste und durch die Durchschnittsspannungsvergleichseinrichtung (18) mit der Null-Spannung verglichene durchschnittliche Spannung in Intervallen vorgegebener Dauer auf Null-Spannung gesetzt wird; wobei die Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung für die Durchführung einer kombinierten Bearbeitung bei mindestens zwei der drei Bearbeitungsbedingungen ((a), (b), (c)) verwendet wird.
  6. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung nach Anspruch 5, bei welcher – eine vorgegebene Spannung V1, welche niedriger als oder gleich ist wie eine Spannung V, die zum Starten einer elektrischen Entladung zum Zeitpunkt des Anlegens des zweiten Spannungsimpulses geeignet ist, oder – eine vorgegeben Spannung V2, welche niedriger als oder gleich ist wie eine Spannung V, die zum Starten einer elektrischen Entladung zum Zeitpunkt des Anlegens des vierten Spannungsimpulses geeignet ist, auf einen Wert einstellbar ist nahe der Spannung, die zum Starten der elektrischen Entladung geeignet ist.
  7. Vorrichtung zur Bearbeitung mittels elektrischer Entladung mit einer Energieversorgungseinrichtung nach Anspruch 6, bei welcher – nach Beendigung des Anlegens des ersten Spannungsimpulses T1 der zweite Spannungsimpuls nach T2a', T2b' Verstreichen einer vorgegebenen Zeit t anlegbar ist, um eine Zerstörung der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zu verhindern; und – nach Beendigung des Anlegens des dritten Spannungsimpulses T3' der vierte Spannungsimpuls T4a' nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit t angelegt wird, um eine Zerstörung der Schalteinrichtung (13a, 13b, 13c, 13d) zu verhindern.
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