CN1411400A - 线放电加工用电源装置 - Google Patents

Abstract

在能够向线电极(1a)与被加工物(2)的极间施加正反两种极性的电压的线放电加工用电源装置中，具有在向所述极间施加规定时间(T1)的第1脉冲电压后，经过用于防止开关装置受损坏而设定的规定时间(t)后，将与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压施加到所述极间电压变成能开始放电的电压Va以下的规定电压为止的规定时间(T2a)的控制装置(14)，用于使在加工液中、喷雾中和气体中的至少2种加工组合进行的加工。能够实现适合于高精度加工的可靠性高的线放电加工。

Description

线放电加工用电源装置

技术领域

本发明涉及在线电极与被加工物之间产生极间放电以对被加工物进行加工的线放电加工中使用的，向所述极间提供加工电力的线放电加工用电源装置的改进。

背景技术

放电加工作为模具等的加工技术已确立牢固的地位，在汽车工业、家电工业和半导体工业等的模具加工领域中被广泛应用。

图8是对放电加工的机理的说明图，图中，1是电极，2是被加工物，3是电弧柱，4是加工液，5是由放电加工生成的加工屑。一边反复进行以下的(a)至(e)的循环(与图8的(a)至(e)对应)一边利用放电对被加工物进行去除加工。即，(a)由于产生放电而形成电弧柱3，(b)由放电产生的热能引起的局部熔融和加工液4的气化、(c)加工液4的气化产生爆发力，(d)熔融部(加工屑5)的飞散，(e)利用加工液进行的冷却、凝固、极间绝缘的恢复。

本发明涉及放电加工也用于挖孔加工、切割加工等的线放电加工。线放电加工，尤其强烈要求高精度化，例如，在半导体行业等所使用的高精度模具的加工中，加工精度要求达到1～2μm高的程度。

图9是表示线放电加工的加工过程的例子的说明图。图中，1a是线电极，2是被加工物，4a是作为加工液的水，6是初始孔，图9(a)表示粗加工即第1次切割，图9(b)表示粗加工后的中间精加工即第2次切割，图9(c)表示最后的精加工即第3次切割。

图9(a)的第1次切割的加工例表示使线电极1a通过初始孔6而对被加工物进行挖孔加工。由于要在后面的加工中进行要求面粗糙度和精度的精加工，在这样的第1次切割的情况下，对面粗糙度和精度不要求那么严格，重要的是为了提高生产而提高加工速度。在线放电加工中，为了提高加工速度，为了有效地从极间排出加工屑，向电极间喷出水4a。又，为了消除喷向极间的水4a的不均，防止线电极1a断线，采用将水4a注入未图示的加工槽中对被加工物2进行浸渍的方法。这样使用向极间供给加工液的加工液供给装置。

在如上所述的一样的线放电加工方法中，第1次切割(图9(a)后的第2次切割(图9(b))和第3次切割(图9(c))等加工也可在作为加工液的水4a中进行。

当向线电极1a与被加工物2的极间施加电压时，由于正极性与负极性的相互吸引力的作用，由于该静电力，刚性小的线电极1a被吸引向被加工物2一侧。这是线电极1a振动的原因，并因这样的振动造成高精度加工困难的问题。

又，在利用放电能量产生加工液气化爆发力的状态下(例如，在图8(c))，在线电极1a上，因加工液气化爆发产生的很大的力作用于与被加工物2相反方向上，从而产生振动。因这样的振动，被加工物2上产生凹凸，存在与精度恶化有关的问题。

在作为线放电加工的利用领域的半导体行业等中，例如，在IC引线框架的模具等的加工中，形状精度为1μm、面粗糙度为1μm Rmax以下那样的被加工物，要求极高精度且非常光滑的面粗糙度的用途越来越多，尤其在这样的用途中，因如上所述的线电极振动等引起的问题就相当显著。

图10是表示已有的线放电加工用电源装置的结构方块图，图中，1a是线电极，2是被加工物，7是向线电极1a与被加工物2的极间供给直流电压的直流电源，8是开关装置，9是控制开关装置9的接通·断开的控制装置，10是间隙电阻。在线电极1a与被加工物2的极间附加间隙电阻，采用消耗因极间的杂散静电电容等的存在而引起的残存能量的结构。

图11是表示图10那样的电路结构的已有的线放电加工用电源装置中的极间电压波形的说明图，图中，V是极间电压，T1是脉冲电压的施加时间，Tr是休止时间。在开关装置8的断开后，极间电压V指数下降，不能使极间电压迅速下降。

又，在日本专利特开平1-257513号公报中揭示了通过对每一规定数目的脉冲电压改变脉冲电压的极性能够提高被加工物的加工质量，能防止电蚀的线放电加工用电源装置，但对于使在极间的脉冲电压的迅速下降的问题没有任何揭示，且由于在施加电压结束后的极间残存的电压不迅速下降，因此在一段时间内电压在可能开始放电的电压以上，因而存在着难于抑制这一段时间的放电的等问题。

在如上所述的已有的线放电加工用电源装置中，由于极间的残存能量的消耗需要时间，故存在难于使休止时间变短的问题。又，在电压下降到能够开始放电的电压以下之前，存在着发生控制范围外的放电的可能性，因此存在着加工质量低下的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述那样的问题而作出的，其目的在于，获得能实现适合于高精度加工的可靠性高的线放电加工的线放电加工用电源装置。

本发明的线放电加工用电源装置，是具备向线电极与被加工物之极间供给直流电压的直源电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、控制所述开关装置的接通·断开的控制装置，并且能向所述极间施加正反两极性的电压的线放电加工用电源装置；所述装置是还具有在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，将与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压施加规定时间，也就是直到所述极间电压成为与加工液中、喷雾中或气体中的各加工条件对应的、能开始放电的电压以下的规定电压为止的规定的时间、的控制装置，并且用于在加工液中、喷雾中和气体中的进行加工中的至少2种加工组合进行的加工用的线放电加工用电源装置。

又，本发明的线放电加工用电源装置，是具备向线电极与被加工物之极间提供直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、亦即控制所述开关装置的接通·断开的控制装置，能够向所述极间施加正反两极性的电压的线放电加工用电源装置，所述装置是，还具备检测所述极间的电压的电压检测装置、将由所述电压检测装置检测出的极间电压和预先设定于与在加工液中、喷雾中或气体中的各种加工条件对应的、能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、以及在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压，在利用所述电压比较装置检测出所述极间电压变成所述规定电压的情况下，控制所述开关装置的接通·断开，以停止施加所述第2脉冲电压的控制装置；并且用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工组合进行的加工用的线放电加工用电源装置。

又，本发明的线放电加工用电源装置是具有向线电极与被加工物之极间提供直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、以及控制所述开关装置的接通·断开的控制装置；能够向所述极间施加正反两极性的电压的线放电加工用电源装置，所述装置是还具备检测所述极间的电压的电压检测装置、将由所述电压检测装置检测出的极间电压和预先设于与在加工液中、喷雾中或气体中各种加工条件对应的、能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压变成能开始放电的电压以下的规定电压范围内的电压的控制装置；用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工组合进行的加工用的线放电加工用电源装置。

又，本发明的线放电加工用电源装置，在施加所述第1脉冲电压结束后，在经过用于防止所述开关装置损坏的规定时间后，施加所述第2脉冲电压。

又，本发明的线放电加工用电源装置是具备向线电极与被加工物之极间供给直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、控制所述开关装置的接通·断开的控制装置；并且能向所述极间施加正反两极性的电压的线放电加工用电源装置；所述装置是还具有检测所述极间的电压的电压检测装置、对将所述电压检测装置检测出的极间电压和预先设定于与在加工液中、喷雾中或气体中各种加工条件对应的、能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、检测所述极间的平均电压的平均电压检测装置、将所述平均电压检测装置检测出的极间平均电压与零伏特进行比较的平均电压比较装置、以及在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压在能开始放电的电压以下的规定电压范围内，在施加与所述第1脉冲电压相反极性的第3脉冲电压规定时间后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相同极性的第4脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压在能开始放电的电压以下的规定电压范围内，并利用所述平均电压检测装置的比较值，控制所述时间间隔中的所述极间的平均电压为零的控制装置，用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工加以组合进行的加工用的线放电加工用电源装置。

又，本发明的线放电加工用电源装置将施加所述第2脉冲电压时的能开始放电的电压以下的规定电压或施加所述第4脉冲电压时的能开始放电的电压以下的规定电压设定在能开始放电的电压附近。

又，本发明的线放电加工用电源装置在施加所述第1脉冲电压结束后，在经过用于防止所述开关装置受损坏的规定时间后施加所述第2脉冲电压，在施加所述第3脉冲电压结束后，在经过用于防止所述开关装置受损坏的规定时间后，施加所述第4脉冲电压。

由于本发明的线放电加工用电源装置如上所述构成，具有能获得可实现加工质量高，适合于高精度加工的高可靠性的线放电加工的线放电加工用电源装置的效果。又，具有获得能防止被加工物的电蚀，并能缩短加工时间的线放电加工用电源装置的效果。

附图概述

图1是表示本发明的实施形态1的利用线放电加工用电源装置的线放电加工之一例的说明图。

图2是表示本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置的结构的方块图。

图3是表示本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置中的开关装置的开关控制和极间电压波形的说明图。

图4是表示本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置中的开关装置的开关控制和极间电压波形的说明图。

图5是表示本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置中的开关装置的开关控制和极间电压波形的说明图。

图6是表示本发明的实施形态2及3的线放电加工用电源装置中的开关装置的开关控制和极间电压波形的说明图。

图7是表示本发明的实施形态2的线放电加工用电源装置中的开关装置的开关控制和极间电压波形和极间电流波形的放电发生时的说明图。

图8是放电加工机理的说明图。

图9是表示线放电加工的加工过程的例子的说明图。

图10是表示已有的线放电加工用电源装置的结构的说明图。

图11是表示已有的线放电加工用电源装置中的极间电压波形的说明图。

具体最佳形态

实施形态1

图1是表示本发明的实施形态1的利用线放电加工用电源装置的线放电加工之一例的说明图，图中，1a是线电极，2是被加工物，4a是作为加工液的水，6是初始孔，11是水等的喷雾，12是空气等的气体，图1(a)是粗加工即第1次切割，图1(b)是作为粗加工后中间精加工即第2次切割，图1(c)是作为最后精加工的第3次切割。第1次切割、第2次切割和第3次切割是为了说明上的方便，未必就是用3次加工完成线放电加工。在被加工物要求的精度低的加工中，有仅用第1次切割或仅用第1次切割和第2次切割完成加工的情况，在被加工物要求的精度高的加工中，也有进行7次、8次加工的情况。

图1(a)的第1次切割，是使线电极1a穿过初始孔6对被加工物2进行的挖孔加工。在第1次切割中，由于在后面的加工中要对面粗糙度及精度进行精加工，所以对面粗糙度和粗度的要求不那么严格，主要是了为提高生产率，尤其是提高加工速度，利用与背景技术的图9同样向极间供给加工液的加工液供给装置，使作为加工液的水4a充满极间地进行加工。这种加工液供给装置使用将水4a注入加工槽中并将被加工物2浸渍其中的手段和向极间喷水4a的手段中的至少某一种手段。

在图1(b)的作为中间精加工的第2次切割中，为了抑制线电极1a的振动，改善加工形状精度，不是在加工液4a中进行加工，而是在喷雾11中进行加工。在喷雾11中的加工速度与在加工液4a中的加工速度相比不那么逊色，由于能抑制由静电力引起线电极1a的振动，故加工精度得以提高。在喷雾11中的加工，能利用例如未图示的喷雾供给装置向线电极1a与被加工物2的极间喷雾来进行加工。

在图1(c)的作为最终精加工的第3次切割中，利用在气体12中的放电，能进一步抑制线电极1a的振动。在气体12中的加工，可以利用在大气中或未图示的气体供给装置向线电极1a与被加工物2的极间喷出规定成分的气体来进行加工。

利用如上所述的在喷雾11中及气体12中的线放电加工能获得高精度的理由如下。在向极间施加电压时，由于作用于线电极1a与被加工物2的静电力与极间的介电常数成正比，假设极间距离相同进行计算时，与极间充水4a的情况相比，在极间充满喷雾11或气体12的情况下，所述静电力仅为其数十分之一(例如，介电常数在真空中最小，在水中为真空中的约80倍)。又，由于放电引起的气化爆发力因充满极间的液体而产生，在极间仅存在喷雾11或气体12的情况下，线电极1a几乎不受到气化爆发力的影响。

因此，利用在喷雾11中或气体12中的放电能进行高精度的线放电加工，相应于生产率和对被加工物要求的精度等，通过将在加工液中的加工、在喷雾中的加工和在气体中的加工进行组合，能适应要求的规格。

线放电加工利用线放电加工用电源装置的直流电源，向线电极1a与被加工物2的极间供给直流电压而在极间产生放电，一边使线电极1a与被加工物2相对移动一边进行加工，向极间供给的直流电压通过接通·断开开关装置加以控制。又，由于在极间存在的杂散静电电容等所蓄积的能量，不仅因被加工物的大小、加工状态等而变化，而且因极间的加工液等的夹入物的状况、即是利用浸渍或吹送的进行的、在加工液中的加工、喷雾中的加工还是气体中的加工而有较大变化。因此，如图1所示，在进行加工液中、喷雾中和气体中的线放电加工的组合加工的情况下，如果使用图10所示的已有的线放电加工用电源装置，则能量消耗所需的时间变化较大，在能量消耗中产生放电时的放电能量不同，要实现稳定的加工比较困难，加工质量下降。

图2是表本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置的结构的方块图，图中，1a是线电极，2是被加工物，7是向线电极1a与被加工物2的极间供给直流电压的直流电源，10是间隙电阻，13a、13b、13c和13d是进行所述直流电压的开关的场效应晶体管等的开关装置，14是控制开关装置13a、13b、13c和13d的接通·断开的控制装置，15是检测所述极间电压的电压检测装置，16是检测所述极间的平均电压的平均电压检测装置，17是将电压检测装置15的电压检测值与设定值进行比较的电压比较装置，18是将平均电压检测装置16的平均电压检测值与设定值进行比较的平均电压比较装置。这样，本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置，采用能在线电极1a与被加工物2的极间施加正反两种极性的电压的桥式结构的开关电路。

图3是表示本发明的实施形态1的线放电加工用电源装置的开关装置的接通·断开控制及极间电压波形的说明图，图3(a)表示在规定时间T1的最后未产生放电的情况，图3(b)表示在规定时间T1的最后产生放电的情况。在图3中，V表示极间电压，T1表示脉冲电压的施加时间(使开关装置13a和13b导通的规定时间)，t表示为防止开关装置受损坏而设定的规定时间，T2a和T2b表示在经过规定时间t后使开关装置13c和13d导通的规定时间，T5表示休止时间，Va表示能开始放电的电压以下的极间电压的范围。

根据来自图2的控制装置14的控制信号，如图3所示使开关装置13a和13b导通后，经过规定时间T1后使开关装置13a和13b断开，此后，在经过规定时间t后，使开关装置13c和13d接通，在图3(a)的情况下，经过规定时间T2a后，在图3(b)的情况下经过规定时间T2b后，使开关装置13c和13d断开。作为规定时间T2a和T2b，只要与在加工液中的加工、在喷雾中的加工和在气体中的加工相对应，根据被加工物的大小、电气条件等加工条件，预先设定极间电压V变成电压范围Va内的任意电压为止的规定时间(在图3的情况下是极间电压V变成零为止的规定时间)即可。

或是，也可以取代预先设定规定时间T2a和T2b，而代之以利用电压比较装置17对电压检测装置15检测出的电压检测值与电压范围Va内的规定的设定值进行比较，在极间电压V变为所述设定值时，使开关装置13c和13d断开。

在图3中，设置规定时间t的理由是，如果存在开关装置13a或13b与13c或13d同时导通的时间段，就会产生短路电流，损坏开关装置，作为规定时间t，只要设定为例如500ns左右的时间即可。该规定时间t的值，在施加电压低的情况下由于可以使用动作速度快的开关装置而能够缩短，如果由于被加工物的种类或高速加工的原因而提高施加的电压，则由于必须使用高耐压的动作速度慢的开关装置而使t值加长。

又，在能够控制开关装置的接通·断开使开关装置13a或13b与13c或13d同时导通的时间段不存在的情况下，不必设置规定时间t。

如上所述，在施加规定时间T1的脉冲电压结束后，由于开关装置13c和13d在规定时间T2期间接通，通过施加与规定时间T1的电压相反极性的电压，在例如在能施加图2所示的正反两种极性的电压的桥式结构的开关电路中，就能如图3所示使在极间残存的电压迅速的下降。

这样，通过使极间的残存电压迅速下降、将其消除，能够抑制因残存电压而在线电极与被加工物之间产生的静电力。因此，由于在加工液中的加工、在喷雾中的加工和在气体中的加工的任何一种加工中都能抑制线电极的振动，故在将加工液中的加工、喷雾中的加工和气体中的加工组合进行的情况下，能防止被加工物的加工精度的下降。

又，由于能抑制因极间的残存电压引起的放电，能够实现仅在可控制的电压施加时间内的放电，因此能够提高加工质量。

又，能缩短图3的休止时间T5，能缩短加工时间。

又，即使如图4所示进行以上说明中的图3的开关装置的接通·断开控制，也能起到同样的效果。

又，图5是规定时间T3中的电压采用与规定时间T1中的电压相反极性的电压的情况，与进行图3那样的开关装置的接通·断开控制的情况具有同样的效果。又，在图5中，利用平均电压比较装置18对由图2的平均电压检测装置16检测出的平均电压检测值与设定成零伏特的电压设定值进行比较，在利用控制装置14控制开关装置13a、13b、13c和13d的接通·断开，使该平均电压检测值为零(所谓的零伏控制)的情况下，具有防止被加工物电蚀的效果。

实施形态2

图6是表示本发明的实施形态2的线放电加工用电源装置中的开关装置的接通·断开控制和极间电压波形的说明图。在图中，V为极间电压，Va表示能开始放电的电压以下的极间电压的范围，V1和V2表示电压范围Va内地规定电压，T1表脉冲电压的施加时间(使开关装置13a和13b接通的规定时间)，t是为防止开关装置受损坏而设定的规定时间，T2a’是在经过规定时间T1和t后对开关装置13c和13d进行接通·断开控制的规定时间，T3’是脉冲电压的施加时间(使开关装置13c和13d接通的规定时间)，T4a’表示在经过规定时间T3’和t后对开关装置13a和13b进行接通·断开控制的规定时间，T5’表示休止时间。又，表示线放电加工用电源装置的结构的方块图与实施形态1中所示的图2是同样的。

本发明的实施形态2的线放电加工用电源装置，由于极间的残存电压因加工状态及施加的电压等而变化，故使用检测图2的极间电压的电压检测装置15和在正反各自极性中将规定的电压与极间电压加以比较的电压比较装置17，控制使在极间的脉冲电压下降后的电压保持在电压范围Va内的规定电压范围内。

首先，在将例如正极性的电压施加规定的时间T1后，在经过规定时间t后施加反极性的电压，使开关装置不受损坏，再用电压检测装置15检测极间的电压，使用电压比较装置17对规定电压V2和极间电压进行比较，在达到规定电压V2时，立即使开关装置13c、13d断开，在规定时间T2a’的期间反复使开关装置13c、13d的接通·断开，使极间电压不小于规定电压V2。

又，在规定时间T3’期间施加反极性侧的电压后，经过规定时间t后施加正极性侧的电压，使开关装置不受损坏，使用电压检测装置15检测极间的电压，用电压比较装置17将设定于能开始放电的电压以下的极间电压的范围Va内的规定电压V1与极间的电压加以比较，在到达规定电压V1时立即使开关装置13a、13b断开，在规定时间T4a’期间反复使开关装置13a、13b接通·断开，使极间电压不超过规定电压V1。

利用如上所述的开关装置的接通·断开控制，在经过规定的脉冲电压施加时间(T1和T3’)后，能使极间的残存电压迅速地下降，同时能使极间的残存电压电平下降到能开始放电的电压以下，由于能抑制时间T2a’和T4a’中的放电，故与能提高加工质量等的实施形态1有同样的效果。

图7是表示本发明的实施形态2的线放电加工用电源装置中的开关装置的接通·断开控制及极间电压波形和极间电流波形的产生放电时的说明图，V是极间电压，I是极间电流，T1是脉冲电压的施加时间(使开关装置13a和13b接通的规定时间)，t是为防止开关装置受损坏而设定的规定时间，T2a’和T2b’是在经过规定时间T1和t后对开关装置13c和13d进行接通·断开控制的规定时间。如图7(a)所示，在规定时间T1的最后产生放电时，加工间隙中的电压由于在电压范围Va内，而在短时间内达到规定电压V2，虽然在时间T2b’内的脉冲电压的最初的施加时间短，但与图6同样，只要能在规定时间T2b’内时间电压即可。又，如图7(b)所示，在规定时间T1内产生放电而在规定时间T1的最后不产生放电的情况下，与图6同样只要能在时间T2a’内时间电压即可。又，例如在施加第3次切割、第4次切割等的精加工所使用的组脉冲状的电压的情况下，也只要能够根据在规定的脉冲电压施加时间的最后是否产生放电，如图7(a)或(b)所示在时间T2b’或T2a’内施加电压即可。

实施形态3

图6是表示本发明的实施形态3的线放电加工用电源装置中的开关装置的接通·断开控制和极间电压波形的说明图，表示线放电加工用电源装置的结构方块图与实施形态1中所示的图2是一样的。但是，在实施形态3中，脉冲电压的施加时间T3’不是规定时间，而是可以控制的时间。

在实施形态3中，在实施形态2的基础上，为了防止被加工物的电蚀，还使用图2的平均电压检测装置16和平均电压比较装置18，增加将在规定的时间间隔中的极间平均电压设定为零的控制(所谓零伏控制)。也就是说，利用平均电压检测装置16对在极间的一定时间内的平均电压进行检测，利用平均电压比较装置18将该平均电压检测值与设定为零伏特的电压设定值加以比较，对与规定时间T1的电压相反极性的脉冲电压的施加时间T3’的时间进行控制(进行与实施形态1的图5的说明相同的控制)，以使该平均电压检测值为零，具有能防止被加工物受到电蚀的效果。

又，在图6中，如箭头A所示，如果设定得使规定电压V2尽量靠近电压范围Va的端部(即，设定在电压范围Va内、且在能开始放电电压的附近)，为了增加在时间T2a’内与规定时间T1内的电压相反极性的平均电压，在进行零伏控制的情况下，能使图6的脉冲电压施加时间T3’比图5的脉冲电压施加时间T3更短(即，成为T3’＜T3)。又，利用更加长时间T2a’的方法，能够进一步缩短脉冲电压施加时间T3’。在这种情况下，例如，由于在规定时间T1的电压极性中容易进行加工，而在规定时间T3’的电压极性中难以进行加工，故即使脉冲电压施加时间T3’缩短也不会使加工生产效率下降。

能缩短脉冲电压施加时间T3’意味着能缩短从图6中的电压施加时间T1到下一电压施加时间T1的时间。即，通过进行图6所示的开关装置的接通·断开控制及零伏控制，能防止被加工物受到电蚀并能缩短加工时间。

在上面虽然对在时间T3’对用于零伏控制的脉冲电压施加时间进行控制的情况作了说明，但也可以在时间T1或T4’进行。

在以上的对本发明的实施形态的说明中，线放电加工用电源装置的结构虽然表示了使用图2那样的1个直流电源的桥式结构的情况，但例如使用日本专利特开平1-257513号公报所揭示的采用2个直流电源的结构等，只要能够在电极与被加工物的极间构施加正反两种极性的电压的加工就可以。

产业上的可利用性

如上所述，本发明的线放电加工用电源装置尤其适合用于高精度线放电加工作业。

Claims (7)

1.一种线放电加工用电源装置，具有向线电极与被加工物之极间供给直流电压的直源电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、以及控制所示开关装置的接通·断开的控制装置，能够向所述极间施加正反两种极性的电压，其特征在于，还具有

在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，将与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压施加直到所述极间电压变成与在加工液中、喷雾中或气体中各种加工条件对应的，能开始放电的电压以下的规定电压为止的规定时间的控制装置，用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工加以组合进行的加工的线放电加工用电源装置。

2.一种线放电加工用电源装置，具有向线电极与被加工物的极间提供直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、以及控制所述开关装置的接通·断开的控制装置，能够向所述极间施加正反两种极性的电压，其特征在于，还具有

检测所述极间的电压的电压检测装置、

将由所述电压检测装置检测出的极间电压和设定在与在加工液中、喷雾中或气体中各加工条件对应的、能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、以及

在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压，在所述电压比较装置检测出所述极间电压变成所述规定电压的情况下，控制所述开关装置的接通·断开，以停止施加所述第2脉冲电压的控制装置；

用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工组合进行的加工。

3.一种线放电加工用电源装置，具有向线电极与被加工物的极间提供直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、以及控制所述开关装置的接通·断开的控制装置；能够向所述极间施加正反两种极性的电压，其特征在于，还具有

检测所述极间的电压的电压检测装置、

将所述电压检测装置检测出的极间电压和预先设定在与在加工液中、喷雾中或气体中各种加工条件对应的，能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、以及

在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压在能开始放电的电压以下的规定电压范围内的控制装置；

用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工组合进行的加工。

4.如权利要求1～3中任一项所述的线放电加工用电源装置，其特征在于，在施加所述第1脉冲电压结束后，经过用于防止所述开关装置受损坏的规定时间后，施加所述第2脉冲电压。

5.一种线放电加工用电源装置，具有向线电极与被加工物的极间供给直流电压的直流电源、进行所述直流电压的开关的开关装置、以及控制所述开关装置的接通·断开的控制装置，能够向所述极间施加正反两种极性的电压，其特征在于，还具有：

检测所述极间的电压的电压检测装置、

将所述电压检测装置检测出的极间电压和预先设在与在加工液中、喷雾中或气体中各种加工条件对应的，能开始放电的电压以下的规定电压加以比较的电压比较装置、

检测所述极间的平均电压的平均电压检测装置、

将所述平均电压检测装置检测出的极间的平均电压与零伏特进行比较的平均电压比较装置、以及

在向所述极间施加规定时间的第1脉冲电压后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相反极性的第2脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压在能开始放电的电压以下的规定电压范围内，在将与所述第1脉冲电压相反极性的第3脉冲电压施加规定时间后，利用所述电压比较装置的比较值，控制施加与所述第1脉冲电压相同极性的第4脉冲电压的开关装置的接通·断开，使所述极间电压在能开始放电的电压以下的规定电压范围内，利用所述平均电压检测装置的比较值进行控制，以使规定时间间隔中的所述极间的平均电压为零的控制装置，

用于将在加工液中、喷雾中和气体中的加工中的至少2种加工组合进行的加工。

6.如权利要求5所述的线放电加工用电源装置，其特征在于，将施加所述第2脉冲电压时的能开始放电的电压以下的规定电压或施加所述第4脉冲电压时的能开始放电的电压以下的规定电压设定在能开始放电的电压附近。

7.如权利要求5所述的线放电加工用电源装置，其特征在于，在施加所述第1脉冲电压结束后，经过用于防止所述开关装置受损坏的规定时间后，施加所述第2脉冲电压，在施加所述第3脉冲电压结束后，经过用于防止所述开关装置受损坏的规定时间后，施加所述第4脉冲电压。

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