CH699826B1

CH699826B1 - Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung und Drahterosionsbearbeitungsverfahren.

Info

Publication number: CH699826B1
Application number: CH00031/03A
Authority: CH
Inventors: Toshiro Nakashima; Kouichirou Hattori; Yoshikazu Ukai; Atsushi Taneda; Akihiro Goto; Takashi Hashimoto
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-01-23
Filing date: 2001-01-23
Publication date: 2010-05-14
Also published as: WO2002058874A1; CN1434756A; TW521018B; JPWO2002058874A1; CN1272134C; CH699826B8; US20030132200A1; DE10196307T1; JP3882753B2; US6930273B2

Abstract

Eine Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche eine Hochfrequenz-Wechselstromversorgung zur Anlegung einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) verwendet, enthält einen Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis (4) und eine Pulsenergieversorgung (5), welche ein Mittel für die Zuführung periodischer hochfrequenter Wechselspannung zum Ausführen der Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück und zum Machen einer Pause ist. In der Drahterosionsbearbeitung, welche diese Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung verwendet, ist es möglich, die Vibration der Drahtelektrode (1a) infolge der elektrostatischen Kraft, welche zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2) wirkt, zu unterdrücken, wodurch es möglich wird, die Genauigkeit der Geradheit einer bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks (2) zu verbessern und die Oberflächenrauheit klein zu halten.

Description


  Technisches Gebiet

  

[0001]    Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verbesserungen einer Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung und eines Drahterosionsbearbeitungsverfahrens, welche in der Drahterosionsbearbeitung zum Bearbeiten eines Werkstücks durch die Erzeugung elektrischer Entladung in einem Elektrodenspalt zwischen einer Drahtelektrode und dem Werkstück verwendet werden, um elektrische Bearbeitungsenergie in den Elektrodenspalt zuzuführen.

Stand der Technik

  

[0002]    Bei einer konventionellen Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung für die Zuführung elektrischer Bearbeitungsenergie zwischen einer Elektrode und einem Werkstück ist es bekannt, dass am Werkstück durch die Anlegung einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück und die Erzeugung elektrischer Entladung von kurzen Zeitdauern mit einer hohen Wiederholungsfrequenz eine fein bearbeitete Oberfläche erhalten werden kann. Zum Beispiel ist in JP-A-61-260 915 offenbart, dass eine bearbeitete Oberfläche mit 1 [micro]m Rmax oder weniger durch die Anwendung einer hochfrequenten Wechselspannung von 1 MHz bis 5 MHz zwischen der Elektrode und dem Werkstück erreicht werden kann.

  

[0003]    Ausserdem ist in JP-A-7-9258 offenbart, dass eine bearbeitete Oberfläche mit 0.5 [micro]m Rmax oder weniger durch die Anwendung einer hochfrequenten Wechselspannung von 7 MHz bis 30 MHz zwischen der Elektrode und dem Werkstück erreicht werden kann.

  

[0004]    Fig. 10 ist ein Blockdiagramm, das ein Beispiel einer konventionellen Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung zeigt, die eine Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet. In der Zeichnung bezeichnet die Bezugszahl 1 eine Elektrode; 2 ein Werkstück; 3 eine Gleichstrom-Energieversorgung und 4 einen Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis. Eine fixe Spannung oder elektrische Energie wird dem Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis 4 von der Gleichstrom-Energieversorgung 3 durch einen externen Befehl zugeführt, welcher seinerseits eine hochfrequente Wechselspannung erzeugt, wobei durch die Anwendung der hochfrequenten Wechselspannung Vg zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 elektrische Entladungsbearbeitung des Werkstücks 2 durch elektrische Entladungsenergie ausgeführt wird.

  

[0005]    Fig. 11 ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer Badspannungswellenform zur Zeit der Nulllast in einem Fall zeigt, in dem eine hochfrequente Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück in der konventionellen Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, angelegt ist. Durch die kontinuierliche Zuführung der hochfrequenten Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück mit einer Frequenz von zum Beispiel 1 MHz oder höher, ist es möglich, eine bearbeitete Oberfläche zu erhalten, deren Oberflächenrauheit sehr fein ist.

  

[0006]    Die oben beschriebene konventionelle Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, hat den grossen Vorteil, dass die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks sehr fein wird. Jedoch ist bekannt geworden, dass in einem Fall, in dem diese Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung in der Drahterosionsbearbeitung verwendet wird, eine Anzahl von Problemen bei der Erfüllung der Genauigkeitsanforderungen auf neuem Markt bestehen. Die Probleme der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, werden nachstehend gezeigt.

(1) Genauigkeit der Geradheit sinkt.

  

[0007]    Weil bei der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, die Spannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück angelegt bleibt, wirkt auf Grund elektrostatischer Kraft eine Anziehungskraft zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück, so dass eine so genannte "Fassform" gebildet wird, in welcher ein zentraler Teil des Werkstücks zu einem höheren Grad bearbeitet wird. Infolgedessen besteht das Problem darin, dass die Genauigkeit der Geradheit sinkt.

(2) Schlieren in der bearbeiteten Oberfläche treten auf.

  

[0008]    Weil die Drahterosionsbearbeitung, bei der die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet wird, die Bearbeitung einer Fläche mit feiner Oberflächenrauheit ist, übermittelt sogar die geringste Vibration der Drahtelektrode ihre Wirkung merkbar auf die Qualität der bearbeiteten Oberfläche. Demzufolge besteht ein Problem darin, dass auf der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks infolge der Vibration der Drahtelektrode Schlieren auftreten, weil die auf der elektrischen Entladung basierende Reaktionskraft und die auf der zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wirkenden elektrostatischen Kraft basierende Anziehungskraft nicht unveränderlich sind. Ausserdem können solche Schlieren auf der bearbeiteten Oberfläche auch durch visuelle Beobachtung bestätigt werden.

  

[0009]    Bei der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks, basierend auf der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, ist es nicht selten, dass eine grosse Differenz zwischen der Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung (Richtung parallel zur Drahtelektrode während der Bearbeitung) und der Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung (Richtung rechtwinklig zur Drahtelektrode während der Bearbeitung) auftritt. Zum Beispiel gibt es Fälle, in denen die Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung um etwa 30 bis 40 Prozent schlechter ist, verglichen mit der Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung.

   Fig. 12Aund 12B zeigen ein Beispiel der Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks in einem Fall, in dem ein 20 mm dicker Stahl mit einer Messing-Drahtelektrode mit einem Durchmesser von 0.2 mm mittels der konventionellen Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, bearbeitet wurde. Fig. 12A zeigt die Kurve der Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung, während Fig. 12B die Kurve der Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung zeigt. Im Fall der Fig. 12A und 12B ist die Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung 1.82 [micro]m Rmax und die Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung 1.29 [micro]m Rmax, so dass gesehen werden kann, dass die Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung etwa 40% gröber ist als die Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung.

   Der von der Richtung abhängige Unterschied der Oberflächenrauheit hängt mit der Schlierenbildung auf der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks zusammen.

(3) Die Rauheit der bearbeiteten Oberfläche sinkt.

  

[0010]    Obwohl bei der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, die Polarität der Spannung wechselt, bleibt die Spannung konstant angelegt, so dass ein Phänomen bemerkbar wird, bei welchem die Entladung während eines langen Zeitraums andauert (entsprechend mehreren Zyklen oder mehreren Dutzend Zyklen). Infolgedessen besteht das Problem darin, dass nur eine Oberflächenrauheit erreicht werden kann, welche mehrmals gröber ist als die Oberflächenrauheit, die durch die Entladung eines Pulses (Halbwelle eines Wechselstroms) einer Wechselstromhochfrequenz erwartet wäre.

   Fig. 13zeigt ein Beispiel einer Badspannungswellenform zur Zeit der Ausführung der Bearbeitung durch die konventionelle Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung mit einer Stromversorgungsfrequenz von 13.55 MHz verwendet. Die An- oder Abwesenheit der Entladung kann primär bestimmt werden, weil der Spitzenwert der angelegten hochfrequenten Wechselspannung auf eine vorbestimmte Spannung oder darunter fällt. Bei der in Fig. 13gezeigten Spannungswellenform wird das Phänomen beobachtet, dass die Entladung kontinuierlich über mehrere Dutzend Zyklen der angelegten hochfrequenten Wechselspannung stattfindet. Bei der Rohbearbeitung ist es bekannt, dass die Entladung oft am selben Ort auftritt, wenn das Phänomen auftritt, dass es sofort nach dem Anlegen der Spannung zur Entladung kommt.

   Ausserdem wird bei der elektrischen Entladungsbearbeitung mit einer Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche die in Fig. 13gezeigte Hochfrequenz-Wechselstrom-Versorgung verwendet, angenommen, dass Entladungskonzentrationen auftreten, und es ist denkbar, dass die bearbeitete Oberflächenrauheit infolge der Entladungskonzentrationen sinkt.

  

[0011]    Als Anwendungen der Drahterosionsbearbeitung nehmen Anwendungen in der Halbleiterindustrie und anderen Industrien zu, bei denen extrem hohe Präzision und eine sehr feine Oberflächenrauheit gefordert werden. Zum Beispiel bestehen bei der Bearbeitung von Teilen wie Formen für Leiterplatinen für gedruckte Schaltungen derart strenge Anforderungen, bei denen die Formgenauigkeit 1 [micro]m oder kleiner ist, und die Oberflächenrauheit 0.5 [micro]m Rmax beträgt. Um solch strenge Anforderungen zu erfüllen, war es eine vordringliche Aufgabe, die oben beschriebenen Probleme zu überwinden.

Offenbarung der Erfindung

  

[0012]    Die vorliegende Erfindung wurde entworfen, um das oben beschriebene Problem zu überwinden, und ihr Ziel ist, eine Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung und ein Drahterosionsbearbeitungsverfahren zu erhalten, welche es ermöglichen, eine hohe Präzision und qualitativ hochwertig bearbeitete Oberflächen des Werkstücks zu erreichen.

  

[0013]    Die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der Erfindung ist eine Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche für die Anlegung einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück eine Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, so dass die Stromversorgungseinheit ein Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel umfasst, welches zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male eine erste hochfrequente Wechselspannung, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit entweder eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, anlegt, oder eine Pause macht.

  

[0014]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung das Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel ein Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung, welches zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male die hochfrequente Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine Pause macht.

  

[0015]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf eine vorbestimmte Zeit eingestellt, welche imstande ist, die Entladungsfortsetzung zu unterbrechen.

  

[0016]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die Dauer der Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung durch das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung auf 1 [micro]s oder weniger eingestellt.

  

[0017]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt wird, auf nicht mehr als 10 Zyklen der hochfrequenten Wechselspannung eingestellt.

  

[0018]    Ausserdem umfasst die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung ein Steuermittel, in welchem die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt wird, und die Pausendauer, sowie Bearbeitungseigenschaften, welche sich auf den Spitzenwert und die Frequenz der hochfrequenten Wechselspannung und Ähnliches beziehen, vorgängig gespeichert werden, und die gespeicherten Werte der Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung angelegt wird, und der Pausendauer, gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen abgerufen werden, um das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zu steuern.

  

[0019]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung das Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel ein Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung, welches ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit die erste hochfrequente Wechselspannung, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, wiederholend anlegt.

  

[0020]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt wird, auf eine vorbestimmte Zeit eingestellt, welche imstande ist, die Entladungsfortsetzung zu unterbrechen.

  

[0021]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt wird, auf 1 [micro]s oder weniger eingestellt.

  

[0022]    Ausserdem ist in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt wird, auf nicht mehr als 10 Zyklen der hochfrequenten Wechselspannung eingestellt.

  

[0023]    Ausserdem umfasst die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung ein Steuermittel, in welchem die erste vorbestimmte Zeit und die zweite vorbestimmte Zeit, sowie Bearbeitungseigenschaften, welche sich auf den Spitzenwert und die Frequenz der hochfrequenten Wechselspannung und Ähnliches beziehen, vorgängig gespeichert werden, und die gespeicherten Werte der ersten vorbestimmten Zeit und der zweiten vorbestimmten Zeit gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen abgerufen werden, um das genannte Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zu steuern.

  

[0024]    Ausserdem ist das Drahterosionsbearbeitungsverfahren entsprechend der Erfindung ein Drahterosionsbearbeitungsverfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks durch periodische Zuführung einer hochfrequenten Wechselspannung, so dass ein Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zwischen einer Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male eine hochfrequente Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine Pause macht.

  

[0025]    Ausserdem werden im Drahterosionsbearbeitungsverfahren entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung angelegt wird, und die Pausendauer, gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen variabel gemacht.

  

[0026]    Ausserdem ist das Drahterosionsbearbeitungsverfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks durch variable Zuführung einer hochfrequenten Hochspannung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittel für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine erste hochfrequenten Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, wiederholend anlegt.

  

[0027]    Ausserdem werden im Drahterosionsbearbeitungsverfahren entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung die erste vorbestimmte Zeit und die zweite vorbestimmte Zeit entsprechend erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen variabel gemacht.

  

[0028]    Wenn die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung und das Drahterosionsbearbeitungsverfahren entsprechend der Erfindung wie oben beschrieben ausgeführt werden, ist es möglich, die Genauigkeit der Geradheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks zu verbessern. Ausserdem ist es möglich, auf der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks gebildete Schlieren zu eliminieren. Ferner ist es möglich, die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks klein zu halten. Ausserdem ist es möglich, die Abnahme der Bearbeitungsproduktivität zu kontrollieren, während die gewünschte Formgenauigkeit und Oberflächenrauheit des Werkstücks gesichert werden.

  

[0029]    Kurze Beschreibung der Zeichnungen
<tb>Fig. 1<sep>ist ein Blockdiagramm der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer ersten Ausführungsform der Erfindung;


  <tb>Fig. 2A und 2B <sep>sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung der Spannungswellenform einer Pulsenergieversorgung und einer Badspannungswellenform in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung;


  <tb>Fig. 3<sep>ist ein Diagramm, das ein Beispiel der Badspannungswellenform in einem Fall zeigt, in dem eine periodische hochfrequente Wechselspannung durch die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der ersten Ausführungsart der Erfindung angelegt wird;


  <tb>Fig. 4A und 4B <sep>sind Diagramme, die das Resultat der Messung der Formkurve, Genauigkeit der Geradheit und Oberflächenrauheit einer bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks zeigen;


  <tb>Fig. 5<sep>ist ein Diagramm, das die Änderung der Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks in Abhängigkeit von einer vorbestimmten Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung zeigt;


  <tb>Fig. 6<sep>ist ein Schaltkreis-Diagramm einer Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;


  <tb>Fig. 7A und 7B <sep>sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung von Eingangssignalen der FETs und einer Badspannungswellenform in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der zweiten Ausführungsart der Erfindung;


  <tb>Fig. 8 <sep>ist ein Schaltkreis-Diagramm der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer dritten Ausführungsform der Erfindung;


  <tb>Fig. 9A und 9B <sep>sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung der Eingangssignale der FETs und der Badspannungswellenform in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der dritten Ausführungsform der Erfindung;


  <tb>Fig. 10<sep>ist ein Blockdiagramm, das ein Beispiel einer konventionellen Stromversorgungseinheit für die elektrische Entladungsbearbeitung zeigt;


  <tb>Fig. 11<sep>ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer Nulllastspannungswellenform zu einer Zeit zeigt, wenn eine hochfrequente Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück in der konventionellen Stromversorgungseinheit für elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, angelegt wird;


  <tb>Fig. 12A und 12B <sep>sind Diagramme, die ein Beispiel der Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks bei der konventionellen Stromversorgungseinheit für die elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, zeigen; und


  <tb>Fig. 13<sep>ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer Badspannungswellenform zur Zeit der Ausführung der Bearbeitung durch die konventionelle Stromversorgungseinheit für die elektrische Entladungsbearbeitung, welche die Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verwendet, zeigt.

Bester Weg zur Ausführung der Erfindung

Erste Ausführungsform

  

[0030]    Fig. 1 ist ein Blockdiagramm der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer ersten Ausführungsform der Erfindung. In der Zeichnung bezeichnet die Bezugszahl 1a eine Drahtelektrode; 2 ein Werkstück; 4 einen Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis; und 5 eine Pulsenergieversorgung. Wenn eine periodische Spannung V von der Pulsenergieversorgung 5 zum Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis 4 zugeführt wird, wird eine hochfrequente Wechselspannung mit einer Spannung Vg1 zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 angelegt.

  

[0031]    Fig. 2A und 2B sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung der Spannungswellenform V der Pulsenergieversorgung 5 und der Badspannungswellenform Vg1 in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung. Eine hochfrequente Wechselspannung wird periodisch zwischen der Elektrode und dem Werkstück angelegt, taktgesteuert durch eine vorbestimmte Zeit T1, während der eine von der Pulsenergieversorgung 5 ausgegebene Pulsspannung V angelegt wird, und eine vorbestimmte Zeit T2, während der die Pulsenergieversorgung 5 nicht angelegt wird.

  

[0032]    Die Pulsenergieversorgung 5 entspricht einem Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung, welches die Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück (vorbestimmte Zeit T1) und eine Pause (vorbestimmte Zeit T2) bewirkt.

  

[0033]    Fig. 3 zeigt ein Beispiel der Badspannungswellenform Vg1 in einem Fall, in dem die hochfrequente Wechselspannung mit einer Frequenz von 13.55 MHz periodisch mit der vorbestimmten Zeit T1 = 1.7 [micro]s und der vorbestimmten Zeit T2 = 2 [micro]s angelegt wird. Die Tatsache, dass die Amplitude der Badspannungswellenform Vg1 im Vergleich zu dem in Fig. 2Aund 2B gezeigten konzeptionellen Diagramm nicht unveränderlich ist, ist eine Folge von Effekten wie der Zeitkonstanten des Anstiegs und Abfalls.

  

[0034]    Durch die periodische Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung auf die oben beschriebene Art und Weise kann die elektrostatische Kraft reduziert werden, die im Elektrodenspalt während der vorbestimmten Zeit T2 auftritt, wenn die hochfrequente Wechselspannung nicht angelegt ist, so dass es möglich wird, die Vibration der Drahtelektrode 1a zu unterdrücken, wobei es möglich wird, eine Hochpräzisionsbearbeitung auszuführen.

  

[0035]    Fig. 4A und 4B zeigen die Resultate von Messungen der Formkurve, der Genauigkeit der Geradheit und der Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks. Fig. 4A zeigt die Formkurve und dergleichen in einem Fall, in dem eine hochfrequente Wechselspannung mit 13.55 MHz ununterbrochen angelegt war, während Fig. 4Bdie Formkurve und dergleichen in einem Fall zeigt (T1 = 1.7 [micro]s, T2 = 2 [micro]s), in dem die hochfrequente Wechselspannung mit 13.55 MHz periodisch angelegt wurde. Ausserdem zeigen beide der Fig. 4A und 4B die Resultate von Messungen in einem Fall, in dem das Werkstück ein 20 mm dicker Stahl war und die Drahtelektrode aus Messing mit 0.2 mm Durchmesser bestand.

  

[0036]    Schaut man auf die Formkurve im Fall von Fig. 4A, in dem die hochfrequente Wechselspannung ununterbrochen angelegt wurde, so sieht man, dass die so genannte "Fassform" gebildet wurde, in welcher der mittlere Teil des Werkstücks im Wesentlichen konkav ist, und die Genauigkeit der Geradheit mit 2.39 [micro]m gering ist; jedoch ist die Genauigkeit der Geradheit im Fall der Fig. 4B, in dem die hochfrequente Wechselspannung periodisch angelegt wurde, 0.19 [micro]m. Also war es möglich zu bestätigen, dass die Genauigkeit der Geradheit durch die periodische Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung wesentlich verbessert werden kann.

  

[0037]    Ausserdem wurde festgestellt, dass im Fall von Fig. 4B, in dem die hochfrequente Wechselspannung periodisch angelegt wurde, im Vergleich zum Fall von Fig. 4A, in dem die hochfrequente Wechselspannung ununterbrochen angelegt wurde, die Differenz zwischen der Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung und der Oberflächenrauheit in der vertikalen Richtung der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks klein war. Ebenso wurde bestätigt, dass im Fall von Fig. 4B, in dem die hochfrequente Wechselspannung periodisch angelegt wurde, Schlieren, welche infolge der Vibration der Drahtelektrode auf der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks auftraten, verschwanden.

  

[0038]    Jedoch kann verstanden werden, dass die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks unter der Bedingung von periodischer Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung nicht wesentlich verbessert werden kann.

  

[0039]    Dies ist denkbar der Tatsache zuzuschreiben, dass sich die periodische Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung in Bezug auf die Entladungsfortsetzung nicht stark von der ununterbrochenen Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung unterscheidet, weil die vorbestimmte Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung lang ist. Wenn dementsprechend Entladungen zustande gebracht wurden, indem die vorbestimmte Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung verkürzt wurde, um die Entladungsfortsetzung durch die Hochfrequenzwechselspannung zu unterbrechen, wurde festgestellt, dass die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks stark verkleinert werden kann, wenn die vorbestimmte Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung nicht höher als auf einen vorbestimmten Wert eingestellt wird.

  

[0040]    Fig. 5 zeigt die Änderung der Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks in der vertikalen Richtung, basierend auf der vorbestimmten Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung, und dokumentiert, dass die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks sehr klein wird und hohe Oberflächenqualitäten erreicht werden können, wenn die vorbestimmte Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung auf nicht mehr als ungefähr um 1 [micro]s (entsprechend etwa 10 zu 10 ungeraden Zyklen der hochfrequenten Wechselspannung) eingestellt wird.

   Beispielsweise betrug in dem Fall, in welchem die vorgegebene Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung 0.6 war, die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks in der vertikalen Richtung 0.76 [micro]m Rmax (die Oberflächenrauheit in der horizontalen Richtung: 0.89 [micro]m Rmax), so dass verstanden werden kann, dass die Oberflächenrauheit im Vergleich mit den in den Fig. 4A und 4Bgezeigten Messresultaten der Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks wesentlich verbessert werden kann.

  

[0041]    Obwohl wie oben beschrieben festgestellt wurde, dass die Bearbeitungseigenschaften des Werkstücks, wie die Genauigkeit der Geradheit, die Oberflächenrauheit und dergleichen durch die periodische Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung und die Wahl der vorbestimmten Anlegungszeit T1 der hochfrequenten Wechselspannung wesentlich verbessert werden können, sinkt die Bearbeitungseffizienz im Vergleich mit dem Fall der ununterbrochenen Anwendung der hochfrequenten Wechselspannung.

   Wenn demzufolge die Bearbeitungseigenschaften, welche sich auf die vorbestimmten Zeiten T1 und T2 als auch den Spitzenwert und die Frequenz der hochfrequenten Wechselspannung und dergleichen beziehen, durch Experimente im Voraus bestimmt und im nicht dargestellten Steuermittel gespeichert werden, und wenn die vorbestimmten Zeiten T1 und T2 durch das Steuermittel entsprechend erforderten Bedingungen und Bearbeitungsbedingungen eingestellt werden, ist es möglich, die Abnahme der Bearbeitungsproduktivität zu steuern, während die gewünschte Formgenauigkeit und die Oberflächenrauheit gesichert werden.

  

[0042]    Wenn zum Beispiel die Dicke des Werkstücks zunimmt, wird der Effekt infolge der elektrostatischen Kraft gross, so dass es möglich wird, wenn die elektrostatische Kraft durch Senken des Verhältnisses der vorbestimmten Zeit T1 durch Vergrössern der vorbestimmten Zeit T2 verkleinert wird, die Genauigkeit der Geradheit zu verbessern. Indessen ist in einem Fall, in dem der Bearbeitungsumfang gross wird, möglich, stabile Bearbeitung durch Erhöhen der Bearbeitungsfähigkeit auszuführen, indem die vorbestimmte Zeit T1 vergrössert wird, so dass die vorbestimmte Zeit T2 verkleinert wird.

  

[0043]    Um die oben beschriebene hochfrequente Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück anzulegen, gibt es verschiedene Methoden zusätzlich zur Verwendung der Pulsenergieversorgung 5, wie derjenigen, die in Fig. 1gezeigt ist, als Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung. Zum Beispiel kann eine Gleichstromversorgung anstelle der Pulsenergieversorgung 5 verwendet werden, und die zum Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis 4 zugeführte Spannung kann durch eine Schaltvorrichtung ein- und ausgeschaltet werden, oder es kann eine Anordnung vorgesehen werden, so dass eine ununterbrochene hochfrequente Wechselspannung vor der Energieversorgung erzeugt wird und der Elektrodenspalt gezwungenermassen periodisch kurzgeschlossen wird.

  

[0044]    Ausserdem ist beispielsweise die in JP-A-59-232 726 dargestellte Erfindung dafür bekannt, mit dem oben beschriebenen Konzept des Zwischenschaltens von Pausen in der Hochfrequenz-Wechselstromversorgung verbunden zu sein. In dieser Erfindung sind vorgesehen eine erste Energieversorgung für die Anlegung einer hochfrequenten Wechselspannung und eine zweite Energieversorgung, die einem Pulsstrom einer vorbestimmten Breite erlaubt, vom Zeitpunkt des Startens der Entladung an zu fliessen, und elektrische Entladungsbearbeitung wird durch den Pulsstrom ausgeführt, wenn in Anwendung der hochfrequenten Wechselspannung eine Entladung zwischen der Elektrode und dem Werkstück aufgetreten ist, und wenn die Erfindung eine Energieversorgung eines Typs betrifft, in dem die hochfrequente Wechselspannung verwendet wird, um die Entladung zu induzieren,

   und nach dem Detektieren der Entladung wird ein Gleichstrom angelegt. Demzufolge werden die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Elektrodenabnutzung durch den vorerwähnten Pulsstrom bestimmt, und das technische Konzept unterscheidet sich völlig von der vorliegenden Erfindung.

Zweite Ausführungsform

  

[0045]    Fig. 6 ist ein Schaltkreis-Diagramm einer Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. In der Zeichnung bezeichnet die Bezugszahl 1a die Drahtelektrode; 2 das Werkstück; 3 eine Gleichstromversorgung; 4 den Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis; und 6 eine Widerstandsvorrichtung. Die Nummern 7a und 7b bezeichnen Widerstände; 8a und 8b Dioden; und 9a und 9b FETs (Feldeffekttransistoren). Wird eine vorbestimmte Spannung von der Gleichstromversorgung 3 dem Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis 4 zugeführt, wird zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 eine hochfrequente Wechselspannung mit einer Spannung Vg2 angelegt.

   Die FETs 9a und 9b in der Widerstandsvorrichtung 6, welche mit dem Elektrodenspalt parallel verbunden sind, sind so eingestellt, dass sie in der Lage sind, unabhängig durch externe Signale S1 und S2 getrieben zu werden. Ausserdem ist die Diode 8a mit dem Widerstand 7a in Serie in einer Richtung verbunden, in welcher der Strom fliesst, wenn die Polarität der Drahtelektrode 1a negativ, und die Polarität des Werkstücks 2 positiv ist (gerade Polarität), wohingegen die Diode 8b mit dem Widerstand 7b in Serie in einer Richtung verbunden ist, in welcher der Strom fliesst, wenn die Polarität der Drahtelektrode 1a positiv, und die Polarität des Werkstücks 2 negativ ist (umgekehrte Polarität).

  

[0046]    Fig. 7A und 7B sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung der jeweiligen Eingangssignale S1 und S2 des FET 9a und des FET 9b und einer Badspannungswellenform Vg2 in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der zweiten Ausführungsart der Erfindung. In einem Fall, in dem die Ein- und Aus-Operationen des FET 9a und des FET 9b synchron ausgeführt werden, wie in Fig. 7A dargestellt, wird der Absolutwert der zwischen der Elektrode und dem Werkstück angelegten hochfrequenten Wechselspannung Vg2 im Fall einer vorbestimmten Zeit T3 (eine zweite vorbestimmte Zeit) kleiner, wenn die externen Signale S1 und S2 eingeschaltet sind, als im Fall einer vorbestimmten Zeit T4 (eine erste vorbestimmte Zeit), wenn die externen Signale S1 und S2 ausgeschaltet sind, wie in Fig. 7Bgezeigt.

  

[0047]    Die Widerstandsvorrichtung 6 in Fig. 6entspricht dem Mittel für die variable Zuführung einer hochfrequenten Wechselspannung, welches die Zuführung zum Elektrodenspalt bewirkt, indem der Absolutwert der hochfrequenten Wechselspannung für die zweite vorbestimmte Zeit um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als für die erste vorbestimmte Zeit wird, und welche solche variable Spannungszuführung wiederholt ausführen.

  

[0048]    Durch die Anlegung solch einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen der Elektrode und dem Werkstück ist es möglich, die elektrostatische Kraft zu reduzieren, die zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 während der vorbestimmten Zeit T3 auftritt, so dass es möglich wird, die Vibration der Drahtelektrode 1a zu unterdrücken und die Bearbeitung mit grösserer Präzision auszuführen.

Dritte Ausführungsform

  

[0049]    Fig. 8 ist ein Schaltkreis-Diagramm der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend einer dritten Ausführungsform der Erfindung und die gleichen Bezugszahlen wie jene in Fig. 6 entsprechend der zweiten Ausführungsform bezeichnen identische oder entsprechende Teile. In Fig. 8bezeichnet die Bezugszahl 5 eine Pulsenergieversorgung; 10 eine Widerstandsvorrichtung; 11 einen Widerstand. Die Nummern 12a und 12b bezeichnen Dioden; und 13a und 13b FETs. Wenn eine vorbestimmte Spannung von der Gleichstromversorgung 3 zum Hochfrequenz-Schwingungs- und Verstärkungsschaltkreis 4 geführt wird, wird eine hochfrequente Wechselspannung Vg3 zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 angelegt.

   Die FETs 13a und 13b in der Widerstandsvorrichtung 10, die parallel mit dem Elektrodenspalt verbunden sind, sind derart angeordnet, dass sie in der Lage sind, gleichzeitig durch die Pulsenergieversorgung 5 gespiesen zu werden. Bei umgekehrter Polarität fliesst der Strom über den Widerstand 11 durch den FET 13a und die Diode 12b des FET 13b, während bei gerader Polarität der Strom über den Widerstand 11 durch die Diode 12a des FET 13a und des FET 13b fliesst.

  

[0050]    Fig. 9A und 9B sind konzeptionelle Diagramme zur Erklärung der jeweiligen Eingangssignale S3 und S4 des FET 13a und des FET 13b und der Badspannungswellenform Vg3 in der Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der dritten Ausführungsform der Erfindung. Wenn der FET 13a und der FET 13b, wie in Fig. 9A gezeigt, synchron ein- und ausgeschaltet werden, ist es wie in Fig. 9Bgezeigt möglich, eine Badspannungswellenform ähnlich zu jener in Fig. 7Bentsprechend der zweiten Ausführungsart zu erhalten, und ein Vorteil ähnlich jenem der zweiten Ausführungsart ist geboten.

  

[0051]    Ausserdem entspricht in diesem Fall die Widerstandsvorrichtung 10 in Fig. 8 dem Mittel für die variable Zuführung einer hochfrequenten Wechselspannung, welches die Zuführung zum Elektrodenspalt bewirkt, indem es den Absolutwert der hochfrequenten Wechselspannung für die zweite vorbestimmte Zeit um ein vorbestimmtes Verhältnis als für die erste vorbestimmte Zeit verkleinert und solche variable Spannungszuführung wiederholt ausführt.

Gewerbliche Anwendbarkeit

  

[0052]    Wie oben beschrieben, sind die Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung und das Verfahren für die Drahterosionsbearbeitung entsprechend der Erfindung insbesondere geeignet für die Verwendung in der Drahterosionsbearbeitung mit hoher Präzision und hoher Qualität.

Claims

1. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung, welche für die Anlegung einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) eine Hochfrequenz-Wechselstromversorgung (4) verwendet, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromversorgungseinheit ein Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel (5, 6, 10) umfasst, welches zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male eine erste hochfrequente Wechselspannung, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit entweder eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, anlegt, oder eine Pause macht.

2. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel ein Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung ist, welches zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male die hochfrequente Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine Pause macht.

3. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf eine vorbestimmte Zeit eingestellt ist, welche imstande ist, die Entladungsfortsetzung zu unterbrechen.

4. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dauer der Anlegung der hochfrequenten Wechselspannung durch das genannte Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung auf 1 [micro]s oder weniger eingestellt ist.

5. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf nicht mehr als 10 Zyklen der hochfrequenten Wechselspannung eingestellt ist.

6. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromversorgungseinheit ein Steuermittel umfasst, in welchem Steuermittel die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, und die Pausendauer, sowie Bearbeitungseigenschaften, welche sich auf den Spitzenwert und die Frequenz der hochfrequenten Wechselspannung beziehen, vorgängig speicherbar sind, und die gespeicherten Werte der Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung angelegt ist, und der Pausendauer, gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen abrufbar sind, um das genannte Mittel für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zu steuern.

7. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hochfrequenz-Wechselspannungs-Zuführungsmittel ein Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung ist, welches ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit die erste hochfrequente Wechselspannung, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, wiederholend anlegt.

8. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf eine vorbestimmte Zeit eingestellt ist, welche imstande ist, die Entladungsfortsetzung zu unterbrechen.

9. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf 1 [micro]s oder weniger eingestellt ist.

10. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung durch das genannte Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung angelegt ist, auf nicht mehr als 10 Zyklen der hochfrequenten Wechselspannung eingestellt ist.

11. Stromversorgungseinheit für die Drahterosionsbearbeitung gemäss Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromversorgungseinheit ein Steuermittel umfasst, in welchem Steuermittel die erste vorbestimmte Zeit und die zweite vorbestimmte Zeit, sowie Bearbeitungseigenschaften, welche sich auf den Spitzenwert und die Frequenz der hochfrequenten Wechselspannung beziehen, vorgängig speicherbar sind, und die gespeicherten Werte der ersten vorbestimmten Zeit und der zweiten vorbestimmten Zeit gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen abrufbar sind, um das genannte Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zu steuern.

12. Drahterosionsbearbeitungsverfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mit einer Stromversorgungseinheit gemäss Anspruch 2 durch periodische Zuführung einer hochfrequenten Wechselspannung, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (5) für die periodische Zuführung hochfrequenter Wechselspannung zwischen einer Drahtelektrode und dem Werkstück ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine vorbestimmte Anzahl Male eine hochfrequente Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine Pause macht.

13. Drahterosionsbearbeitungsverfahren gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeitspanne, während welcher die hochfrequente Wechselspannung angelegt wird, und die Pausendauer, gemäss erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen variabel gemacht werden.

14. Drahterosionsbearbeitungsverfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mit einer Stromversorgungseinheit gemäss Anspruch 7 durch variable Zuführung einer hochfrequenten Wechselspannung, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (6, 10) für die variable Zuführung hochfrequenter Wechselspannung ununterbrochen während einer ersten vorbestimmten Zeit eine erste hochfrequente Wechselspannung anlegt, und dann während einer zweiten vorbestimmten Zeit eine zweite hochfrequente Wechselspannung, welche um ein vorbestimmtes Verhältnis kleiner als der Absolutwert der ersten hochfrequenten Wechselspannung ist, wiederholend anlegt.

15. Drahterosionsbearbeitungsverfahren gemäss Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die erste vorbestimmte Zeit und die zweite vorbestimmte Zeit entsprechend erforderten Beschreibungen und Bearbeitungsbedingungen variabel gemacht werden.